DE2331004A1 - Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen von halbleiterstaeben - Google Patents
Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen von halbleiterstaebenInfo
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Description
Indulctionsheizs^ule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von
Halbleiterstäben.
Die vorliegende Patentanmeldung betrifft eine Induktionsheizsoule
mit mindestens zwei Windungen zum tiegelfreieri
Zonenschmelzen von Stäben aus halbleitermaterial in Schutzgasatmosphäre
.
Beim tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleitermaterial läßt
man eine durch eine InduktionsheizsOule aus Kupfer oder Silber
erzeugte Sohmelzzone durch einen stebförmigen Körper des
zu behandelnden Materials wandern. Hierbei werden Verunreinigungen an das eine Ende des Stabes transportiert. Oft wird
das Verfahren auch zum Einkristallzüchten verwendet, indem en das eine Ende des Stabes ein Keimkristall angeschmolzen
und von dienern ausgehend eine Schmelzzone durch den St?b
geführt wird. Der stabförmige Köroer wird dabei meist senkrecht
stehend mit seinen Enden in Halterungen eingesoannt.
Der Zonenschmelzurozeß wird entweder im Vakuum oder in Schutzgasatmosphäre,
bestehend aus Wasserstoff, -Argon oder einem anderen inerten Gas, durchgeführt.
I>ie Schmelzsoulen füv das Zonenschmelzen mit Hochfreouens
bestehen meist aus Xuofer- oder Silberrohr, durch das gleich-
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Ed t/H oh "
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zeltig Wasser zum Kühlen fließt. "Bei diesen Anordnungen sind
die stromführenden Teile nicht von der Atmosphäre der fchnelz
karcraer getrennt»
Um versetzungsfreies Krirtallmaterial zu erhalten, v/ird der
"Resilient "beim Zonenschmelzen mit einer hochgereinirten
frchutzgasatmosOhäre versehen und im "Rezipienten "bzw. in der
Schroelzkammer ein !Druck eingestellt, der höher ist als der
Atmosphärendruck. Bei Verwendung von Argon als Schutzgas entstehen
en den mit hochfrequentem T;fechselstrora gesoeisten. pus
einer oder nehreren "Indungen aus einem elektrisch cut leiten
den Tfeterial bestehenden Induktionsheizspulen bei hoher / .■?-
beitsfrequenz schon bei HF-Spenmmgen von ca. 5QO V elektrisc
Überschläge, v;elche sich sehr schädlich auf die K
qualität des durch das tiegelfreie Zonenschmelzen g-Halbleiterstebes
auswirken und außerdem die HP-Zuleitungen
zerstören.
Die Aufgabe, die der vorliegenden Erfindung zugrunaeliegt,
besteht in der Herstellung einer Tnduktionsheizsoule, welche auch im Bereich höherer Snannunir dies-e Überschläge verhindert
oder zumindest erheblich reduziert.
Durch die Verv/endung einer als Flachspule ausgebildeten
TnduktionsheizsDule (sogenannte Lochpfannkuchenspule) v/ird
die Überschlagsneigung auch erheblich gemindert. Diese Spule braucht nur wenig Spannung, de für aber viel Strom. Auf Grund
ihrer niedrigen Induktivität braucht man noch bei 4 MHz sehr
große Kapazitäten zur Resonanzabstimraung (ca. 2£.C00 pF) ·
Niedrigere Frequenzen lassen sich nicht mehr abstinken, veil
die Kondensatorbatterien zu groß ν,-erden. Längere ~:urchführunsien
müssen auf Grund der hohen Ströme verschachtelt v/erden
Diese Mängel werden.durch die Induktionsheizsrmle ge^ä.3 der
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ftAD ORIGINAL
Lehre der Erfindung dadurch beseitigt, daß die Oberfläche
der äußersten bindung der Spule mit einer ternOeraturfesten
Isolierung üb°rzogen ist. Dabei ist in einer Weiterbildung
des "SrfindunfFGedankens vorgesehen, die äußerste V'indunr
der Smile als Teil dei· "F-Durchführung auszubilden. Dadurch
wird erreicht, daß im Fereic^ der Purch.führunden (höchste
Spannung) keine SOennungsführenden meile einander unisoliert
gegenüberstehen. Dies ist besonders wichtig für die Herstellung
von Halbleiterstäten mit relativ großen Stebdurchmessern.
Die erfindungsgemäße Spule hat gegenüber der 1-windigen
Flachspule eine höhere Induktivität, braucht also mehr Spannung und weniger Strom. Dadurch lassen sich folgende Vorteile
erreichen:
1. Wesentlich kleinere Abstimmkapazität (bei 4 KHz ca.
6000 pF);
2. lange HF-Durchführungen brauchen nicht mehr verschachtelt
zu werden, v/eil der Strorc niedrig ist;
3. auch bei niedrigerer Arbeitsfrequenz v/erden die Abstimmkondensatoren
noch nicht unhandlich groß.
Es liegt ira Rahmen der Erfindung, daß als Isolierung ein ent-SOrechend
der äußeren Windung gebogenes Quarz- oder Glasrohr verwendet wird, in welches das die äußere Windung bildende
Metallrohr, welches vorzugsweise aixs Silber besteht, geschoben
wird.
einem anderen besonders günstigen Ausführu.ngsbeist>iel
wird die Isolierung aus Keramiknerlen gebildet, welche über
nas als äußere YJIndung dienende Metallrohr geschoben werden.
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Die dabei entstehenden Hohl- oder Zwischenräume werden mit
im Vakuum aufgebrachtem temDeraturfestem Isolierstoff ausgefüllt.
Zu diesem Zweck wird beispielsweise Silikonkautschuk,
Silikonharz oder "Polybismaleinimid verwendet.
Eine weitere Möglichkeit der Isolierung beeteht darin, de.ß ein
mit einer YerguSmsspe wie Silikonharz, Silikonkautschuk oder
Polybismaleiniraid getränktes Quarzgewebe, beisDielsweise
ein Quarzstrumpf, verwendet wird.
In einer Weiterbildung des Erfindungsgedankens ist eine
Induktionsheizsoule vorgesehen, welche durch die Kombination
einer als Flachsüule ausgebildeten inneren Windung und einer
als gebogenes Metallrohr mit einer tenroera turf eeten Isolierung
versehenen äußeren Windung gekennzeichnet ist. Gemäß einem besonders günstigen AusführungsbeispieL ist dabei die innere
Windung geerdet.
Um Halbleiterstäbe mit größeren Stabdurchmessern zonenzuschmelzen,
ist gemäß einem anderen Ausführungsbeisüiel nach der Lehre der Erfindung die Induktionsheizspule zerlegbar
aufgebaut, wobei die Srmle mindestens zwei Bauteile aufweist,
welche durch Schraubverbindungen und für die Kühlung vorgesehene Abdichtungen miteinander verbunden sind.
Weitere Einzelheiten der Erfindung werden en Hand von zwei
Ausführungsbeispielen und der Figuren 1 und 2 noch näher
erläutert. Dabei zeigt
Fig. 1 in !Draufsicht eine Induktionsheizstmle, bei welcher
die äußerste Windung als Teil der HF-Durchführung ausgebildet ist, während
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UHiQiNAL
Fig. 2 eine Ausführung form darstellt, "bei welcher die
äußerste T»rindung über ein Metallzv/ischenstück
mit der HT31-Zuführung verbunden ist.
Die in Fi?1. 1 abgebildete mehrwind-ige Sicherhei+.s-Induktionshei^poule
für das Zonenschmelzen in Schutzgasetraosohäre, insbesondere
in AritonstmoSphäre, besteht aus einer als Plachsoule
(Lochtjfannlcuchenspule) ausgebildeten inneren Windung 1 und
einet' aus einem gebogenen Metallrohr aus Silber bestehenden
äußeren Windung 2, welche zugleich als Teil der HF-Durchführung
3 ausgebildet ist und auf ihrer Oberfläche bis zur HF-Durchführung "* eine Ummantelung mit einem temperaturfesten
Isolierstoff 4 aufweist. Dieser Isolierstoff 4 besteht beispielsweise
aus einem mit Silikonharz getränkten Quarzgewebe oder einem über das Silberrohr geschobenen Quarzrohr. Der
Süulenteil ι ist mit dem Spulenteil 2 über das Ketallzwischenstück
5 durch Verschraubung verbunden. Ein Meta11ζwischenstück
6 sorgt für die Verbindung zwischen dem Spulenteil 1 und der HF-Durchführung "5. Die Abdichtung der Spulenanordnung
erfolgt über die mit äem Bezugszeichen 7 bezeichneten Silikongummidichtungen.
Der innere Spulenteil 1 enthält ein Ansatzstück in Form einer Öse 8, an welcher die Spule geerdet werden
kann.
In Fig. 2 ist eine ähnliche Ausführungsform wie in Fig. 1 dargestellt. Dabei wird die äußere Windung 2 nicht als
Teil der FP-Thirehführung verwendet, sondern über das Metallzwischenstrick
9 nit der HF-7)urchführung 3 verbunden. Auch bei
dieser SmilenpnordTiunp ist die äußerste Windunr 2 bis
V?A 9/i1O/'O" - 6
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Metallzwischenstück 9 πι it einer Ummanteluns' 4 aus einen
teroperaturfesten Isolierstoff wie Silikonharz oder -kautschuk
versehen. Ansonsten gelten die gleichen Bezu^szeichen wie
in Fi^r. 1.
12 Patentansprüche 2 Figuren
9/110/*! 0"* ^ . - 7 -
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Claims (12)
1.) Tnduktioneheizspule mit mindestens zwei Windungen zum
tiegelfreien Zonenschmelzen in Schutzgasatmosphäre,
dadurch rekennzeichnet, daß die Oberfläche der äußersten
Windung der Spule mit einer temperaturfesten Isolierung
überzogen ist.
2. Induktionsheizspule nsch Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dpß die äußerste Windung der Spule als Teil
der HF-Ourchführung ausgebildet ist.
?. Induktionsheizsoule nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daS eis Isolierung ein entsorechend der au Seren.
Windung geborenes Quarz- oder Glasrohr verwendet wird,
"in welches des die äußere Windung bildende Metallrohr
geschoben wird.
4. Induktionsheizspule nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß als Metallrohr ein filberrohr verwendet wird.
5. Induktionsheizspule nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Isolierung pus Keramikperlen besteht, welche über das als äußere Windung dienende Metallrohr
geschoben werden.
6. Tnduktionpheizepule nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet,
da3 die Hohlräume mit im Vakuum aufgebrachtem tesroera
tür festen Isolierstoff aus r-e füllt sind.
VPA 9/11O/* 0? 1^ t - 8 -
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7. Induktionsheizspule nsch Anspruch 5 und 6, dadurch
gekennzeichnet, daß als tenmeraturfester Isolierstoff
Silikonharz. Silikonkautschuk oder Polybismaleininiid
verwendet ist.
8. TnduktionsheizsOule nach Anspruch 1 und 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Isolierung aus einem mit einer Vergußmasse wie Silikonharz, Silikonkautschuk oder
Polybismaleininiid getränkten Quarzgewebe besteht.
9. Induktionsheizspule nach Anst>ruch 1 bis 8, gekennzeichnet
durch die Kombination einer als Flachspule ausgebildeten inneren Windung und mindestens einer als gebogenes
Metallrohr mit einer tenroeraturfesten Isolierung
versehenen äußeren Windung.
10. Induktionsheizspule nach Anstmich 9, dadurch gekennzeichnet,
daß die innere bindung geerdet ist.
11. Induktionsheizspule nach Anspruch 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die Spule zerlegbar aufgebaut ist.
12. InduktionsheizsDule nach AnsDruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß die Sr>ule mindestens zwei Bauteile aufweist, welche durch Schraubverbindungen und für die
Kühlung vorgesehene Abdichtungen miteinander verbunden sind.
VPA //
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Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2331004A DE2331004C3 (de) | 1973-06-18 | 1973-06-18 | Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen |
US460538A US3898413A (en) | 1973-06-18 | 1974-04-12 | Induction heat coil arrangement |
IT23824/74A IT1014933B (it) | 1973-06-18 | 1974-06-11 | Bobina di riscaldamento a induzio ne per la fusione a zone senza cro giuolo di bacchette semiconduttrici |
JP49067624A JPS5037346A (de) | 1973-06-18 | 1974-06-13 | |
BE145560A BE816495A (fr) | 1973-06-18 | 1974-06-18 | Bobine de chauffage par induction pour une fusion par zones sans creuset de barreaux semi-conducteurs |
JP1979161054U JPS5755339Y2 (de) | 1973-06-18 | 1979-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2331004A1 true DE2331004A1 (de) | 1975-01-09 |
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DE (1) | DE2331004C3 (de) |
IT (1) | IT1014933B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4142245A1 (de) * | 1991-12-17 | 1993-06-24 | Tro Transformatoren Und Schalt | Isolierung fuer induktoren von induktiven erhitzungsanlagen und verfahren zu ihrer herstellung |
EP1968355A1 (de) | 2007-03-08 | 2008-09-10 | HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG | Induktionsspule und Vorrichtung zum induktiven Erwärmen von Werkstücken |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2357688C2 (de) * | 1973-11-19 | 1982-11-18 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen |
US4184135A (en) * | 1978-04-10 | 1980-01-15 | Monsanto Company | Breakapart single turn RF induction apparatus |
DE3229461A1 (de) * | 1982-08-06 | 1984-02-09 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines, insbesondere aus silicium bestehenden halbleiterstabes |
JP3127981B2 (ja) * | 1995-01-31 | 2001-01-29 | 信越半導体株式会社 | 高周波誘導加熱装置 |
US5778681A (en) * | 1997-04-15 | 1998-07-14 | Varian Associates, Inc. | Cooling device for cooling heatable gas chromatography analyte sample injector |
JP4581977B2 (ja) * | 2005-11-24 | 2010-11-17 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶の製造方法 |
JP2009158598A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 平面コイル及びこれを用いた非接触電力伝送機器 |
US20110073591A1 (en) * | 2008-07-17 | 2011-03-31 | Seiichi Sawatsubashi | Guide Chip Structure for High-Frequency Induction Heating Coil |
JP5505362B2 (ja) * | 2011-04-21 | 2014-05-28 | 信越半導体株式会社 | 複巻誘導加熱コイル及びこれを有する単結晶製造装置並びにこれを用いた単結晶製造方法 |
JP5505365B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2014-05-28 | 信越半導体株式会社 | 誘導加熱コイルにおける放電防止用絶縁部材及びこれを用いた単結晶製造装置並びに単結晶製造方法 |
WO2021005853A1 (ja) | 2019-07-05 | 2021-01-14 | 株式会社Sumco | 誘導加熱コイル及びこれを用いた単結晶製造装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1044768B (de) * | 1954-03-02 | 1958-11-27 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen eines stabfoermigen kristallinen Koerpers, vorzugsweise Halbleiterkoerpers |
US3017485A (en) * | 1957-11-19 | 1962-01-16 | Asea Ab | Means for electric vacuum furnaces |
DE1205167B (de) * | 1964-06-15 | 1965-11-18 | Halbleiterwerk Frankfurt Oder | Spulenkoerper zum induktiven Erhitzen eines elektrisch leitenden Koerpers im magnetischen Hochfrequenzfeld beim Zonenschmelzen |
DE1615429A1 (de) * | 1967-12-23 | 1970-05-27 | Siemens Ag | Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Staeben aus Halbleitermaterial |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2459971A (en) * | 1945-08-30 | 1949-01-25 | Induction Heating Corp | Inductor for high-frequency induction heating apparatus |
DE1802524B1 (de) * | 1968-10-11 | 1970-06-04 | Siemens Ag | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen eines kristallinen Stabes,insbesondere Halbleiterstabes |
US3697716A (en) * | 1971-11-19 | 1972-10-10 | Gen Electric | Induction cooking power converter with improved coil position |
DE2158274A1 (de) * | 1971-11-24 | 1973-05-30 | Siemens Ag | Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen von staeben aus halbleitermaterial |
DE2217407A1 (de) * | 1972-04-11 | 1973-11-29 | Siemens Ag | Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen |
-
1973
- 1973-06-18 DE DE2331004A patent/DE2331004C3/de not_active Expired
-
1974
- 1974-04-12 US US460538A patent/US3898413A/en not_active Expired - Lifetime
- 1974-06-11 IT IT23824/74A patent/IT1014933B/it active
- 1974-06-13 JP JP49067624A patent/JPS5037346A/ja active Pending
- 1974-06-18 BE BE145560A patent/BE816495A/xx unknown
-
1979
- 1979-11-20 JP JP1979161054U patent/JPS5755339Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1044768B (de) * | 1954-03-02 | 1958-11-27 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen eines stabfoermigen kristallinen Koerpers, vorzugsweise Halbleiterkoerpers |
US3017485A (en) * | 1957-11-19 | 1962-01-16 | Asea Ab | Means for electric vacuum furnaces |
DE1205167B (de) * | 1964-06-15 | 1965-11-18 | Halbleiterwerk Frankfurt Oder | Spulenkoerper zum induktiven Erhitzen eines elektrisch leitenden Koerpers im magnetischen Hochfrequenzfeld beim Zonenschmelzen |
DE1615429A1 (de) * | 1967-12-23 | 1970-05-27 | Siemens Ag | Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Staeben aus Halbleitermaterial |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Benkowsky, G.: "Induktionserwärmung", 2. Aufl., Berlin 1970, S. 67, 76, 77 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4142245A1 (de) * | 1991-12-17 | 1993-06-24 | Tro Transformatoren Und Schalt | Isolierung fuer induktoren von induktiven erhitzungsanlagen und verfahren zu ihrer herstellung |
EP1968355A1 (de) | 2007-03-08 | 2008-09-10 | HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG | Induktionsspule und Vorrichtung zum induktiven Erwärmen von Werkstücken |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT1014933B (it) | 1977-04-30 |
JPS5755339Y2 (de) | 1982-11-30 |
JPS5037346A (de) | 1975-04-08 |
US3898413A (en) | 1975-08-05 |
DE2331004C3 (de) | 1982-02-04 |
JPS5571170U (de) | 1980-05-16 |
DE2331004B2 (de) | 1981-05-21 |
BE816495A (fr) | 1974-10-16 |
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