DE2357688C2 - Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen - Google Patents

Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen

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DE2357688C2
DE2357688C2 DE19732357688 DE2357688A DE2357688C2 DE 2357688 C2 DE2357688 C2 DE 2357688C2 DE 19732357688 DE19732357688 DE 19732357688 DE 2357688 A DE2357688 A DE 2357688A DE 2357688 C2 DE2357688 C2 DE 2357688C2
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Germany
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heating coil
induction heating
crucible
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zone melting
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Wolfgang Dr. 8000 München Keller
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Siemens AG
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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    • H05B6/02—Induction heating
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Description

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Das ältere Patent DE-PS 23 31 004 betrifft eine mit Hochfrequenz betreibbare als Flachspule ausgebildete Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen unter Luftabschluß, bestehend aus zwei aus metallenen Hohlkörpern gebildeten, von einem Kühlmittel durchströmbaren elektrisch in Reihe geschalteten Windungen, von denen die metallenen Oberflächen der inneren Windung wesentlich gröbere radiale als axialer Abmessungen aufweisen und die äußere Windung aus einem Rohr kreisförmigen Querschnitts geformt ist, wobei die äußere Oberfläche des Rohres mit einer temperaturbeständigen Isolierung überzogen ist
Die vorliegende Erfindung behandelt eine vorteilhafte Weiterbildung dieser weiOgytens zv/ei Windungen aufweisenden aus metallischen HcMkörpern gebildeten Induktionsheizspule und ist dadurch gekennzeichnet, daß die Heizspule aus einer als Flachspule ausgebildeten inneren Windung besteht in deren äußeren Rand eine mit einem temperaturfesten Isolierstoff allseitig umschlossene zweite Wicklung versenkt ist
Durch die Einbringung in die Nut und den Oberzug mit der temperaturfesten Isolierung ist die Außenwindung sehr gut gegen mechanische und elektrische Beschädigungen geschützt Dieser Vorteil überragt den Nachteil des Auftretens etwas höheren Wirbelstromverlusten gegenüber der in dem älteren deutschen Patent beanspruchten Bauform.
Gemäß einem besonders vorteilhaften Ausführungsbeispiel nach der Lehre der Erfindung wird Silikonkautschuk für das Vergießen der Außenwindung verwendet
Eine solche Induktionsheizspule soll an Hand der in der Zeichnung befindlichen Figur, welche ein Schnittbüd einer zweiwindigen Sicherheits-Schmelzspule darstellt, noch näher beschrieben werden.
Die Spule besteht aus einer als Flachspule ausgebildeten inneren Windung 1 und einer aus einem gebogenen Metallrohr aus Kupfer oder Silber bestehenden äußeren Windung 2, weiche mit Silikonkautschuk 3 vergossen in einer Nut 4 im äußeren Rand der Flachspule (1) angeordnet ist Mit dem Bezugszeichen 5 wird das die Spulenwindungen 1 und 2 durchfließende Kühlwasser bezeichnet
An Stelle von Silikonkautschuk kennen auch andere temperaturfeste Isolierstoffe wie Silikonharz oder Polybismaleinimid verwendet werden.
Die erfindungsgemäße Induktionsheizspule wird verwendet beim tisgelfreien Zonenschmelzen von Siliciumkristallstäben in Schutzgasatmosphäre, insbesondere aus Argon bestehend, und ist geeignet, die bei höheren HF-Spannungen auftretenden elektrischen Überschläge, welche sich sehr schädlich auf die Kristallqualität der hergestellten Kristallstäbe auswirken, zu vermeiden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

  1. Patentansprüche:
    1, Mit Hochfrequenz betreibbare Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben mit wenigstens zwei aus metallischen Hohlkörpern gebildeten, von Kühlmittel durchströmbaren Windungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizspule aus einer als Flachspule ausgebildeten inneren Windung besteht, in deren äußeren Rand eine mit einem temperaturfesten Isolierstoff allseitig umschlossenen zweiten Windung versenkt ist
  2. 2. Induktionsheizspule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der temperaturfeste Isolierstoff :s aus Silikonkautschuk besteht
DE19732357688 1973-11-19 1973-11-19 Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen Expired DE2357688C2 (de)

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DE2357688A1 DE2357688A1 (de) 1975-05-22
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JPS5080541A (de) 1975-06-30
DE2357688A1 (de) 1975-05-22
JPS5439056B2 (de) 1979-11-26

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