DE2357688A1 - Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen von halbleiterstaeben - Google Patents

Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen von halbleiterstaeben

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DE2357688A1
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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    • H05B6/02—Induction heating
    • H05B6/22—Furnaces without an endless core
    • H05B6/30—Arrangements for remelting or zone melting

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Description

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 8 München 2 1 9. NOV1973 Berlin und München Witteisbacherplatz 2
73/1232
Induktionsheizspule zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben.
Das Hauptpatent .(Patentanmeldung P 23.31.004.5)
"betrifft eine Induktionsheizspule mit mindestens zwei Yfindungen zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben in Schutzgasatmosphäre, bei der die Oberfläche der äußeren Windung der Spule mit einer temperaturfesten Isolierung überzogen ist.'
Die vorliegende Patentanmeldung betrifft eine vorteilhafte Weiterbildung dieser Induktionsheizspule und ist dadurch gekennzeichnet, daß die äußeren Windungen in einer Nut der innersten Windung angeordnet sind. Durch die Einbringung in die Nut und den Überzug mit der temperaturfesten Isolierung ist die Außenwindung sehr gut gegen mechanische und elektrische Beschädigungen geschützt. Dieser Vorteil überragt den Nachteil des Auftretens etwas höherer Wirbelstromverluste gegenüber der im Hauptpatent beanspruchten Bauform.
Es liegt im Rahmen des Erfindungsgedankens, daß die Induktionsheizspule aus einer als Flachspule ausgebildeten inneren Windung besteht, in deren äußerem Rand eine mit einem temperaturfesten Isolierstoff allseitig umschlossene zweite Windung versenkt ist. Gemäß einem besonders vorteilhaften Ausführungsbexspiel nach der Lehre der. Erfindung wird Silikonkautschuk für das Vergießen der Außenwindung verwendet. -■-."_
VPA 9/110/3091
Edt/dd 50982170555 ' - 2 -.
Eine solche Induktionsheizspule soll an Hand der in der Zeichnung befindlichen Figur, welche ein Schnittbild einer zweiwindigen Sicherheits-Schmelzspule darstellt, noch näher beschrieben werden.
Die Spule besteht aus einer als Flachspule (sogenannte Lochpfannkuchenspule) ausgebildeten inneren Windung 1 und einer aus einem gebogenen Metallrohr aus Kupfer oder Silber bestehenden äußeren Windung 2, welche mit Silikonkautschuk vergossen in einer Hut 4 im äußeren Rand der Flachspule (1) angeordnet ist. Mit dai Bezugszeichen 5 wird das die Spulenwindungen 1 und 2 durchfließende Kühlwasser bezeichnet.
Nach der Lehre der Erfindung sind auch Spulenanordnungen möglich, die mehr als zwei Windungen aufweisen. An Stelle von Silikonkautschuk können auch andere temperaturfeste Isolierstoffe wie Silikonharz oder Polybismaleinimid verwendet werden.
Die erfindungsgemäße Induktionsheizspule wird verwendet beim tiegelfreien Zonenschmelzen von Siliciumkristallstäben in Schutzgasatmosphäre, insbesondere aus Argon bestehend, und ist geeignet, die bei höheren HP-Spannungen auftretenden elektrischen Überschläge, welche sich sehr schädlich auf die Kristallqualität der hergestellten Kristallstäbe auswirken, zu vermeiden.
5 Patentansprüche
1 Figur
VPA 9/110/3091 5 0*9 821/0555

Claims (3)

  1. Patentansprüche
    Induktionsheizspule mit mindestens zwei Windungen zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben in Schutzgasatmosphäre, bei der die Oberfläche der äußersten Windung der Spule mit einer temperaturfest.en Isolierung überzogen ist, nach Patent.-......... (Patentanmeldung P 23.3I.OO4.5), dadurch gekennzeichnet, daß die äußeren Windungen in einer Nut der innersten Windung angeordnet sind.
  2. 2) Induktionsheizspule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einer als Flachspule ausgebildeten inneren Windimg besteht, in deren äußerem Rand eine mit einem temperaturfesten Isolierstoff allseitig umschlossene zweite Windung versenkt ist.
  3. 3) Induktionsheizspule nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der temperaturfeste Isolierstoff aus Silikonkautschuk besteht.
    YPA 9/IIO/3O9I
    509821/0555
    Leerseite
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JPS5080541A (de) 1975-06-30
JPS5439056B2 (de) 1979-11-26

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