DE2231644A1 - Praezisionsmessgeraet - Google Patents
PraezisionsmessgeraetInfo
- Publication number
- DE2231644A1 DE2231644A1 DE2231644A DE2231644A DE2231644A1 DE 2231644 A1 DE2231644 A1 DE 2231644A1 DE 2231644 A DE2231644 A DE 2231644A DE 2231644 A DE2231644 A DE 2231644A DE 2231644 A1 DE2231644 A1 DE 2231644A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- bearings
- carriage
- measuring device
- crossbeam
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims description 8
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000003339 pneumostatic effect Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000000763 evoking effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
- B23Q1/385—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports in which the thickness of the fluid-layer is adjustable
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/001—Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine
- B23Q11/0028—Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine by actively reacting to a change of the configuration of the machine
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
- G01B5/0009—Guiding surfaces; Arrangements compensating for non-linearity there-of
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0016—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to weight
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
- F16C2322/39—General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37193—Multicoordinate measuring system, machine, cmm
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
- G05B2219/49195—Slide, guideway, robot arm deviation
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
- G05B2219/49271—Air bearing slide, hydraulic, electromagnetic bearing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S33/00—Geometrical instruments
- Y10S33/02—Air
Description
Ing. C. Olivetti & C.f S.p.A.
(Bvrea. (Italien)
(Bvrea. (Italien)
Präzisionsmeßgerät
Die Erfindung betrifft ein Präzisionsmeßgerät mit Führungen in pneumostatisch abgestützten Lagern. Diese pneumostatische
Abstützung erlaubt eine Lageveränderung einiger der Lager gegenüber entsprechenden Lagerflächen der Führungen zwecks Korrektur
von Lage- oder Sinstellungsveränderungen des Geräts, die durch Bewegungen oder elastische Deformationen von Teilen des Geräts
hervorgerufen werden.
Es sind Meßgeräte bekannt, die einen zum Eingriff mit vorbestimmten
Teilen eines zu messenden Werkstücks angeordneten Taster enthalten, ferner Meßeinrichtungen zur Erzeugung von
Signalen entsprechend den von dem Taster ausgeführten Bewegungen, um ihn aus einer Stellung in die nächste zu bringen, sowie Einrichtungen
zur Anzeige der ausgeführten Messungen,
Dor Aufbau dieser Meßgeräte umfaßt üblicherweise ein Portal oder
Ginon aufrechtstehenden Rahmen, der auf Führungen eines Grund-
209884/0875
gestells verschiebbar ist, sowie einen Schlitten, der seinerseits auf Führungen des Querbalkens des Portals gleiten kann und mit
einem den Taster tragenden Arm versehen ist. Zwischen den Führungen des Grundgestells und des Querbalkens und zwischen den miteinander
gekoppelten Oberflächen des Portals und des Schlittens können pneumostatisch abgestützte Lager angeordnet sein, mittels
derer die vorerwähnten Bewegungen mit sehr geringer Reibung durchgeführt werden können.
Meßgeräte der erwähnten Art unterliegen Meßfehlern, deren Größe von der Stellung des Schlittens gegenüber dem Querbalken abhängt.
Tatsächlich verändert sich während der Bewegung des Schlittens die Größe der Belastungen, die auf die verschiedenen Lager der
Meßstation wirken und, da diese Veränderungen eine relative Verschiebung der Lager gegenüber den entsprechenden Lagerflächen
erzeugen, treten Veränderungen der Lage oder Einstellung des Portals gegenüber dem Grundgestell auf. Ferner rufen die elastischen
Deformationen, insbesondere des Querbalkens des Portals, die je nach der Stellung des Schlittens gegenüber dem Querbalken unterschiedlich
sind, ebenfalls Meßfehler hervor.
Zweck der Erfindung ist, ein besonders genaues,, von Meßfehlern
weitestgehend freies Präzisionsmeßgerät zu schaffen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Präzisionsmeßgerät mit Führungen in pneumostatischen Lagern anzugeben, bei dem die
oben erwähnten Meßfehlerquellen beseitigt sind.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Meßgerät gelöst, das ein aus von einem Querbalken überquerten Ständern gebildetes Portal umfaßt, wobei die Ständer auf Führungen eines Grundgestells
mittels pneumostatisch abgestützter Lager verschiebbar sind, ferner einen einen Taster tragenden Schlitten, der auf Führungen
des Querbalkens mittels pneumostatisch abgestützter Lager verschiebbar ist, sowie eine Einrichtung zur automatischen Vorände-
— 3 — 209884/0875
rung des einem oder mehreren der Lager zugeführten Luftdrucks zwecks Korrektur von Veränderungen in der Einstellung des Schlittens
gegenüber dem Grundgestell, die durch Bewegungen des Schlittens gegenüber dem Querbalken oder Deformationen des letzteren
erzeugt werden.
Zum besseren Verständnis der Erfindung wird eine Beschreibung
eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung gegeben. In dieser zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Stirnansicht des Meßgeräts nach der Erfindung;
Fig. 2 einen Teilschnitt längs der Linie H-II in Fig. 1 durch die Unterteile der dort dargestellten, das Portal bildenden
Ständer des Meßgeräts;
Fig. 3 eine Stirnansicht des Querbalkens des .Portals des Meßgeräts
nach Fig. 1 unter Fortlassung einiger Teile;
Fig. 4 einen Schnitt durch den Querbalken nach Fig. 3 längs
der Linie IV - IV;
Fig. 5 einen Schnitt durch einen Teil des Querbalkens ähnlich dem nach Fig. 4, jedoch in einer anderen Ebene;
Fig. 6 einen Schnitt durch den Arm, mit dem das Meßgerät versehen ist, längs der Linie VI - VI in Fig. 4;
Fig. 7 einen Schnitt durch den Werkstück-Tisch des Geräts nach
Fig. 1 längs der Linie VII - VII;
Fig. 8 ein Schaltschema für das dem Gerät Preßluft zuführende Leitungsnetz;
Fig. 9 und 10 eine schematische Darstellung zweier verschiedener
Lagen oder Einstellungen des Portals des Geräts entspre-
209884/0875
BAD OBlGlNAL
chend zwei verschiedenen Stellungen des Schlittens, auf dem der Taster des Geräts angebracht ist;
Pig. 11 und 12 eine schematische Darstellung einer elastischen^
Deformation des Portal-Querbalkens und die Stellung des Schlittens diesem gegenüber vor bzw. nach der Korrektur
seiner Lage oder Einstellung gegenüber dem Querbalkenί
und
Fig. 13 und 14 eine schematische Darstellung einer anderen elastischen
Deformation des Portal-Querbalkens und die Stellung des Schlittens gegenüber dem Querbalken vor
bzw. nach der Korrektur seiner Lage oder Einstellung gegenüber dem Querbalken.
Gemäß Fig. 1 umfaßt das Meßgerät ein Grundgestell 1, das mit einem Paar Führungen 2 versehen ist, ein Portal 3, das auf den
Führungen 2 verschiebbar ist, einen Schlitten 4, der gegenüber dem Portal in einer im rechten Winkel zu der Richtung der Führungen
2 verlaufenden Richtung verschiebbar und mit einem vertikal
gerichteten Arm 5 versehen ist, der einen (nicht dargestellton)
Taster aufzunehmen vermag. Auf dem Grundgestell 1 ist ein um eine senkrechte Achse drehbarer Werkstücktisch 6 angebracht.
Das Portal 3 umfaßt ein Paar Ständer 7, 8, die durch einen Querbalken
9 verbunden sind und deren Unterteile 10, 11 Nuten 12,
aufweisen, in die die Führungen 2 des Grundgestellts 1 eingreifen. Diese Führungen, die rechteckigen Querschnitt haben, wirken
als Gleitbahnen während der Bewegung des Portals 3 gegenüber
ist
dem Grundgestell 1. Der Arm 5/m Richtung senkrecht zu der Ebene der Führungen 2 gegenüber dem Schlitten 4 verschiebbar, und der an dem Arm befestigte Taster kann daher im wesentlichen in drei Richtungen x, y, ζ bewegt werden, die im rechten Winkel zueinander stehen, in Fig. 1 angegeben sind und mit den Vcrschicbungsrichtungen des Schlittens 4 gegenüber dem Querarm 9, dos
dem Grundgestell 1. Der Arm 5/m Richtung senkrecht zu der Ebene der Führungen 2 gegenüber dem Schlitten 4 verschiebbar, und der an dem Arm befestigte Taster kann daher im wesentlichen in drei Richtungen x, y, ζ bewegt werden, die im rechten Winkel zueinander stehen, in Fig. 1 angegeben sind und mit den Vcrschicbungsrichtungen des Schlittens 4 gegenüber dem Querarm 9, dos
BAD ORIGINAL 2 0 9 8 8 A / 0 8 7 5
Portals 3 gegenüber dem Grundgestell 1 und des Arms 5 gegenüber dem Schlitten 4 zusammenfallen. Der Werkstücktisch 6 ist andererseits
um eine zur Achse ζ parallele Achse drehbar.
Zwei Satz pneumostatisch abgestützter Lager sind so angeordnet, daß sie das Portal 3 auf den Führungen 2 des Grundgestells 1 tragen.
Einer dieser Sätze ist in Fig. 2 veranschaulicht. Jeder dieser
Sätze ist in derselben Ebene und symmetrisch zu der Mittellinie der Ständer 7 und 8 angeordnet. Jeder Satz enthält zwei Lager
14 und 15 (Fig. 2), die eine lasttragende Funktion ausüben
und auf der oberen Fläche zweier Führungen 2 aufliegen, sowie zwei Lager 16, die eine seitliche Zentrierfunktion ausüben und an
den seitlichen Flächen der einen dieser Führungen anliegen. Die lasttragenden Lager 14 und 15 bilden also vier Stützen für das
Portal 3, die an den Ecken eines Rechtecks angeordnet sind.
Jedes Lager wird in an sich bekannter Weise von einer Platte, z.B.
einer Scheibe, gebildet, in deren der Führung 2 zugewandten Oberfläche Kanäle oder Hohlräume (nicht dargestellt) für die Luft
ausgebildet sind, die ihnen durch geeignete Löcher in der Platte, welche mit Leitungen eines Preßluftverteilernetzes in Verbindung
stehen, zugeführt wird. Diese Lager sind mit den Unterteilen 10 und 11 beispielsweise durch Kugelgelenke, von denen jedes als
Ganzes mit 17 bezeichnet ist, verbunden. Jedes Kugelgelenk umfaßt eine Kugel 18, die in konischen Sitzen sowohl in dem Lager als
auch in dem Ende eines Schraubenbolzens 19 ruht, welcher in einen entsprechenden, aus einem Stück mit den Wänden der Unterteile
10 und 11 bestehenden, buchsenförmigen Ansatz 21 eingeschraubt ist. Durch Einstellen der axialen Lage jedes Schraubenbolzens
19 gegenüber dem entsprechenden Ansatz 21 (durch entsprechendes Herein- und Herausschrauben des Bolzens) ist es offensichtlich
möglich, die Einstellung des Portals gegenüber den Oberflächen der Führungen 2 zu regulieren.
Wiυ aus Fig. 2 ersichtlich, fehlen in dem Unterteil 10 Führungs-
209884/0875 BAD OBlGlNAL
lager, die mit den Seitenflächen der Führung 2 zusammenwirken, da die zwei Paar Lager 16, die in dejn Unterteil 11 angeordnet
sind, für die seitliche Zentrierung ausreichen.
Der Querbalken 9 (Fig. 4) des Portals 3 hat einen im wesentlichen rechteckigen Querschnitt und ist mit zwei Paar Führungen versehen,
nämlich oberen Führungen 25 und unteren Führungen 26, von denen die ersteren in einer einzigen, parallel zu der Ebene x, y
(Fig. 1-) verlaufenden Ebene enthalten sind und die zweiten geneigt
gegenüber dieser Ebene verlaufen. Die die Führungen 26 enthaltenden Ebenen bilden einen Flächen^-Winkel von im wesentlichen
90° miteinander. Der Querbalken 9 ist an seinen Enden mit den Ständern 7 und 8 (Fig. 3 und 4) des Portals 3 verbunden.
Der Schlitten 4 umfaßt eine Platte 27 (Fig. 3 und 4), auf der in
der nachstehend beschriebenen Weise der Arm 5 und ein Rahmen (Fig. 4) verschiebbar sind, welch letzterer mit den Führungen
und 26 des Querbalkens 9 zusammenwirkt. Zwischen diesen Führungen und dem Rahmen 28 sind zwei gleiche Satz von vier Lagern angeordnet,
von denen eines aus Fig. 4 ersichtlich ist.
Jeder Lager-Satz umfaßt ein Paar Lager 29, 31 (Fig. 3 und 4) mit lasttragender Funktion, die so angeordnet sind, daß sie mit den
Führungen 25 und einem Paar Lagern 30, 32 zusammenwirken, die mit den Führungen 26 zusammenwirken. Die Paare von Lagern 29 - 30
und 31 - 32 jedes Satzes haben Achsen, die in ein und derselben vertikalen Ebene liegen. Insbesondere befindet sich die Ebene des
Lager-Paars 29 - 30 in einem Abstand von der Achse des Arms 5 (Fig. 3), der sich von dem des Lager-Paars 31 - 32 unterscheidet.
Die Anbringung jedes Lagers auf dem Rannen 28 (Fig. ,4) wird auf dieselbe Weise bewirkt, wie bezüglich der Lager 14, 15 und 16
(Fig. 2) der Unterteile 10 und 11 des Portals 3 bereits beschrieben wurde.
Wie aus Fig. 6 ersichtlich, hat der Arm 5 im Querschnitt iia wesentlichen
die Form eines gleichschenkligen Trapezes und wird
- 7 -209884/0875 BAD ORIGINAL
durch ein Paar paralleler Flächen 34, 35 "begrenzt, von denen die
kleinere 3b dem Querbalken 9 zugewandt ist, sowie durch ein Paar
geneigt verlaufender Flächen 36. Der Arm 5 ist in einem Paar Hülsen 37, 38 (Fig. 4) verschiebbar, die fest mit der Platte 27 des
Schlittens 4 verbunden und mit Löchern mit einem Querschnitt versehen sind, der dem des Arms entspricht. In den Mündungen dieser
Löcher, die mit den Flächen 34 und 36 des Arms 5 verbunden sind,
sind Hohlräume oder Nuten 41 so ausgebildet, daß sie durch geeignete Löcher und Leitungen (nicht dargestellt) mit dem noch zu
beschreibenden Preßluft-Zuführleitungsnetz verbindbar sind. Ein
Kanal 4ia dient zum Abführen der Luft.
Das obere Ende des Arms 5 ist über ein Querglied 43 (Fig. 3 und 4) mit einer Stange 44 (Fig. 3) verbunden, die einen Teil eines
pneumatischen Zylinders 45 bildet und an einem Kolben 46 desselben
befestigt ist. Die Kammer 47 dieses Zylinders steht über (nicht dargestellte) Leitungen mit dem Preßluft-Zufuhrleitungsnetz
in Verbindung und ist mit einem von Hand betätigbaren Druckregler 48 versehen.
Auf der oberen Wand des Querbalkens 9 (Fig. 3, 4 und 5) sind, z.B. über Schrauben und Abstandshalter, vier Nocken 51, 52, 53
und 54 befestigt, die hinsichtlich der Nocken 51 und 52 von einem
ein im wesentlichen geradliniges, wirksames Profil 3^>
(Fig. 4) aufweisenden Metall-Lineal und hinsichtlich der Nocken 53 und einem im wesentlichen kurvenförmiges, wirksames Profil aufweisenden
Lineal gebildet werden. Mit dem wirksamen Profil 55 jedes dieser Nocken arbeitet ein Nockenfolgeglied 56 (Fig. 5) zusammen,
das sich auf einem Zapfen 57 drehen kann, welcher axial in einer Bohrung in dem Rahmen 28 beweglich und so angeordnet ist, daß er
eine Druckstange 58 entsprechender Druckregler 61, 62, 63 und 64 steuert, von denen jeder zu einem der Nocken gehört. Diese Druckregler
sind zwischen eine: einen Toil des erwähnten Druckluft-Zufuhr-Leitungsnetzüs
bildenden Druckluftquelle und die Lager 15,
- 8 • 209884/0875
22316U
14 (Fig. 2) und 29 und. 31 (Fig. 3 und 4) zwischengeschaltet.
Der Werkstückstisch 6 (Fig. 1 und 7) umfaßt eine Scheibe 65.
Ein zylindrischer Ansat2 66 derselben greift in eine entsprechende Bohrung eines ringförmigen Teils 67 ein. Das letztere ist
an einen Träger 68 befestigt, der seinerseits fest mit dem Grundgestell 1 verbunden ist. Zwischen dem zylindrischen Ansatz 66
und dem Träger 68 ist ein Stellungsanzeiger, z.B. nach Art eines "Inductosyn", angeordnet, der zwei Scheiben 73 (Fig. 7) umfaßt,
von denen eine an einer Scheibe 71 befestigt ist. Diese ist ihrerseits mittels Schrauben 72 an dem Ansatz 66, die andere ist
an dem Träger 68 befestigt. Der Stellungsanzeiger kann jedoch auch von jeder anderen bekannten Art sein.
In der oberen Fläche und in der Mündung der Bohrung des ringförmigen
Teils 67 sind Hohlräume oder Nuten 74 und 75 ausgebildet,
die über Bohrungen 76 mit dem Preßluft-Verteilernetz in Verbindung stehen.
Ein Verteiler-Netz der in Fig. 8 veranschaulichten Art ist so angeordnet,
daß es den verschiedenen pneumostatischen Lagern, die zu dem beschriebenen Meßgerät gehören, Preßluft zuführt. Diese
kommt von irgendeiner geeigneten Quelle, z.B. von einer Betriebspreßluftanlage,
über ein Filter 77 (Fig. 8) und einen allgemeinen Druckregler mit einem Manometer 78 mit Parallelverteilung
an die verschiedenen Lager des Meßgeräts. In Fig. 8 sind diese Lager schematisch dargestellt und mit den in den vorhergehenden
Abbildungen verwendeten Bozugszeichen gekennzeichnet.
Der den lasttragenden Lagern 15 des Unterteils 11 des Portals 3 (Fig. 2) zugeführte Luftdruck wird durch den Druckregler 61
(Fig. 8) geregelt, der von dem Nocken 51 gesteuert wird, während der Druck der den lasttragenden Lagern 14 (Fig. 2) dos anderen
Unterteils 10 zugeführten Luft durch dun von dem Nocken 52 gesteuerten
Druckregler geregelt wird. Dur Druck der den Ln^orn
und 31 (Fig. 3) des Schlittens 4 zugeführton Luft wird durch die
- 9 209884/0875
BAD ORIGINAL
Druckregler 63 "bzw. 64 gesteuert, die zu den Nocken 53 und 54 gehören.
Der Luftdruck innerhalb der Kammer 47 (Fig. 8 und 3) des
Zylinders 45 läßt sich mittels des handbetätigten Druckreglers einstellen, -während ein Verteiler 79 (Fig. 8) den Anschluß der
Hohlräume 74 (Fig. 8 und 7) des Werkstücktisches 6, wenn dieser gedreht werden soll, an die Preßluftquelle gestattet.
Die Betätigung des beschriebenen Meßgeräts erfolgt in folgender Weise. Ein zu messendes Teil oder Werkstück (nicht dargestellt)
wird auf dem Werkstücktisch 6 (Fig. 1) befestigt, und ein geeigneter Taster wird an dem unteren Ende des Arms 5 angeschlossen
und so angeordnet, daß er mit Teilen der Werkstücksoberflache
in Berührung bringbar ist. Durch Ergreifen des Arms 5 mit der Hand ist es möglich, ihn in die gewünschten, aufeinanderfolgenden
Stellungen zu bringen, denen entsprechende Bewegungen längs der Achsen x, y und ζ zugeordnet sind, welche durch an
sich bekannte Meßgeräte, mit denen das Gerät ausgerüstet ist, gemessen und durch ebenfalls an sich bekannte, mit diesen Meßgeräten
verbundene Anzeigeeinrichtungen angezeigt werden.
Während einer Bewegung des Portals 3 gegenüber dem Grundgestell 1 wird es von den zwei Lagern 14 (Fig. 2) des Unterteils 10 und
von den zwei Lagern 16 des Unterteils 11 getragen. Während dieser
Bewegung üben die vier Lager.16 des Unterteils 11 einfach
eine seitliche Führungs- und Zentrierfunktion aus. In an sich bekannter Weise findet die pneumatische Abstützung des Portals
gegenüber den Führungen 2 des Grundgestells 1 mittels einer Preß-Luftschicht
statt, die zwischen den Oberflächen der Lager und dun ihnen gegenüberliegenden dor Führungen 2 fließt, auf denen
diesu Layer ruhen. Es tritt also beim Übergang aus den unwirksamen
Zustand diusor Lager in den wirksamen eine Aufwartsvorschieburi(5
dor Lager gegenüber dun tragendun Oberflächen auf, die bei
dun Ladern 14 und 15 dus Portals 3 in der Größenordnung einiger
zehn /Uia sein ran^. Wenn während des Traguns des Portals 3 die Rc-
- 10 -
209884/0875 Bad original
- ίο -
sultierende des Gewichts P des Schlittens 4 durch die Mittellinie des Querbalkens 9» wie schematisch in Fig. 9 veranschaulicht,
geht, kann angenommen werden, daß dieselbe Anhebung s der zwei Lager 14 und 15 stattgefunden h. t. Tatsächlich sind in
diesem Fall sowohl der Druck der jedem Lager zugeführten Luft und das auf sie einwirkende Gewicht gleich groß. Wenn andererseits,
wie in Fig. 10 veranschaulicht, die erwähnte Resultierende um χ aus der Mittellinie des Querbalkens verschoben ist,
wird das Gewicht des Schlittens 4 nicht gleichmäßig auf die Lager 14 und 15 verteilt, sondern im Verhältnis:
1 + 2x
1 - 2x
wobei 1 der Abstand zwischen den Achsen der Lager ist.
wobei 1 der Abstand zwischen den Achsen der Lager ist.
Dieses Verhältnis wird durch die Berücksichtigung der Tatsache bestimmt, daß die Reaktionen R, R1 auf die Lager 14 bzw. 15, die
von der Einzellast P erzeugt werden, folgende Beziehungen aufweisen:
= ρ
Deshalb erfolgt die Zunahme und die Abnahme der auf die Lager 14 und 15 einwirkenden Belastungen bei Verschiebung des Schlittens
4 auf dem Querbalken 9 linear und erzeugt entsprechende Verstellungen oder Bewegungen -as und +As der Lager, wobei s
der in Fig. 9 maßgebende Abstand ist. Infolgedessen nimmt der Schlitten 4 eine Lage oder Einstellung ein, die etwas gegenüber
der in Fig. 9 veranschaulichten Anordnung gedreht ist. Es ist ersichtlich, daß wegen dieser Lage, die sich mit einer Änderunj
(ies Abstands χ des Schlittens 4 gegenüber der Mittellinie des
Querbalkens 9 ändert, Meßfehler auftreten.
- 11 -
209884/0875
Bei dem Meßgeräi nach der Erfindung werden diese Meßfehler mittels
einer automatischen Korrektur der Verschiebungen -^s und
+ As der Lager 14 und 15 behoben, die in folgender Weise stattfindet.
Die Nocken 51 und 52 (Fig. 3, 4 und 5), deren wirksames Profil wie erwähnt, geradlinig verläuft, sind in der Weise angeordnet,
daß sie zwei Schubstangen 58 (Fig. 5) der entsprechenden Druckregler 61 und 62 gleich weit verstellen, wenn die Resultierende P
in der Mittellinie des Querbalkens liegt. Infolgedessen kommt an den Lagern 14 und 15 (Fig. 8 und 2) Luft mit demselben Druck
an, und es tritt daher dieselbe Anhebung s (Fig. 9) dieser Lager auf. Wenn der Schlitten 4 verschoben wird, beispielsweise nach
rechts, wie in Fig. 10 dargestellt, verstellt das Profil des Nockens 52 (Fig. 5 und 8) die Schubstange 58 des Druckreglers
in der Weise, daß der Druck der den Lagern 14 zugeführten Luft ansteigt und bei diesem höheren Druck ein Anheben der Lager um
einen Betrag, der gleichAs ist, eintritt. Zur selben Zeit verstellt
das Profil des Nockens 51 die Druckstange 58 des Reglers 61 in der Weise, daß der den Lagern 15 zugeführte Luftdruck vermindert
wird, um eine Verminderung des Anhebens dieser Lager um einen Betrag gleichAs zu erzeugen. Da die Veränderungen der
Belastung der Lager 14 und 15 und die Veränderungen der Anhebung
s, die von den Belastungen veranlaßt werden, der Koordinate χ (Fig. 10) proportional sind, um die erwähnten Druckänderungen zu
erzielen, brauchen die Profile der Nocken 51 und 52 einfach nur geradlinig zu verlaufen. Diese Nocken werden daher einfach von
Metall-Linealen mit geraden Kanten gebildet, die in geeignetem Ausnaß, gegenüber der Gleitrichtung des Schlittens 4 geneigt sind.
Während der Bewegung dos Schlittens 4 (Fig. 3 und 4) gegenüber
dem Querbalken 9 wird die Abstützung durch die Lager 29 und 31 bewirkt,
während die Lager 30 und 32 nur eine Führungs- und Gegenhaltüfunktion
ausüben.
- 12 -
209884/0875
223164A
Wenn die Resultierende P (Fig. 11) der Belastungen des Schlittens 4 sich in der Mittellinie des Querbalkens 9 befindet, v/i ο
in Fig. 11 veranschaulicht, findet eine elastische Deformation
des Querbalkens statt, die der eines an seinen Enden aufliegenden Balkens entspricht und schematisch durch die in der Zeichnung
v/iedergegebene Kurvenlinie dargestellt werden kann. Wegen der Verschiebung der Punkte des Querbalkens in senkrechter
Richtung (diese Verschiebung ist im Interesse größerer Klarheit in der Zeichnung übertrieben dargestellt) an den Lagern 29 und
31 (Fig. 11) des Schlittens 4 erfolgt eine Absenkung des Schlittens gegenüber seiner theoretischen Lage entsprechend einem idealen
Querbalken, der frei von elastischen Deformationen ist. Der Betrag dieser Verschiebung ist gleich dem Maß f an der Kurvenlinie,
gemessen an den Lagern 29 und 31. Wenn die genannte Resultierende um den Betrag χ von der Mittellinie des Querbalkens
(Fig. 13) verschoben v/ird, nimmt die elastische Deformation des Querbalkens eine von der vorhergehenden abweichende Fon air
wie durch die Kurvenlinie in Fig. 13 veranschaulicht. In die.-;/::
Fall treten an den Lagern 31 und 29 Vertikal ver Schiebungen au.:,
die an den Lagern gemessen gleich f. und f2 sind. Das Ergebnis
ist, daß nicht nur eine Vertikalverschiebung des Schlitten:; 4 auftritt wie im vorhergehenden Fall, sondern auch eine Verdrehung
des Schlittens. Es ist somit ersichtlich, daß wegen der elastischen Deformation des Querbalkens 9 eine Vertikalversc.a:.cbung
und eine Drehung des Schlittens 4 auftritt, deren Betrüge
von der Auswanderung der Lage des Schwerpunkts des Schlittens gegenüber der Mittellinie des Querbalkens abhängen. Die erwähnte
Verschiebung und Drehung, die offensichtlich Ursachen von Meßfehlern sind, können in dom Meßgerät in folgender Weise automatisch
berichtigt werden.
Wenn die Last P (Fig. 11) des Schlittens 4 sich auf der Mittellinie des Querbalkens, wie in Fig. 11 veranschaulicht, befindet,
sind die wirksamen Profile 55 (Fig. 4) der Nocken 53 und 54
(Fig. 3 und 5) so angeordnet, clr.3 si^ Verstellungen der Drucl:-
- 13 - _
209884/0875 BADORiGINAL
stangen 58 (Fig. 5) der Druckregler 63 und 64 für die Zufuhr von
Preßluft zu den Lagern 29 und 31 (Fig. .3 und 8) bei denselben Drücken verursachen, die befähigt sind, ein Anheben dieser Lager
gegenüber dein Querbalken 9 (Fig. 11), das im wesentlichen gleich
f ist, zu veranlassen. Auf diese Weise wird die Stellung des Schlittens 4 in die theoretische Stellung gebracht, die einem
nicht-deformierten Querbalken 9 CFig. 12) entspricht.
Wenn der Schlitten 4 um den Betrag χ gegenüber der Mittellinie
des Querbalkens 9 (Fig. 13) verschoben ist, sind die wirksamen Profile der Nocken 53 und 54 (Fig. 3 und 5) so angeordnet, daß
sie eine Verstellung der Druckstangen 58 der Druckregler 63 und
64 (Fig. 5 und 8) verursachen, die die Lager 31 mit einem höheren Luftdruck beliefert als die Lager 29. Die Werte dieser Drücke
werden so gewählt, daß sie Anhebebewegungen der Lager gegenüber dem Querbalken 9 erzeugen, die im wesentlichen gleich f,, und ±2
(Fig. 13) sind, um den Schlitten 4 in die Stellung nach Fig.
zu bringen.
Das Profil der Nocken 53 und 54 ist offensichtlich nicht geradlinig
und kann z.B. analytisch bestimmt werden, indem man eine Mehrzahl von Kurven der in Fig. 11 und 13 wiedergegebenen Art
zeichnet, wobei jede derselben für eine Stellung des Schlittens auf dem Querbalken 9 bestimmt ist. Diese Linien lassen sich leicht
ziehen, wenn die Veränderung des Trägheitsmoments des Querbalkens 9 längs der Achse χ bekannt ist. Bequemer lassen sich die
Profile dieser Nocken mittels Versuchen bestimmen, die an dem Meßgerät in einer durchaus offensichtlichen Weise durchgeführt
werden.
Um die Scheibe 65 (Fig, 7) des Werkstücktisches 6 zu einer Drehung
zu veranlassen, genügt es, durch Inbetriebsetzen des Verteilers 79 (Fig. 8) Preßluft den Lagern 74 (Fig. 7 und 8) des
Tisches zuzuführen. Auf diese Weise wird ein Anheben der Scheibe
65 gegenüber dem ringförmigen Teil 67 erzielt, und deshalb wird
- 14 209884/0875
eine Drehung der Scheibe gegenüber diesem Teil mit sehr geringer
Reibung ermöglicht. Während dieser Drehung zentriert die den Hohlräumen 75 des erwähnten Teils zugeftihrte Preßluft die aus
dem Tisch und dem Werkstück bestehende Einheit und vermindert auch beträchtlich die zwischen der Außenfläche des zylindrischen
Ansatzes 66 und der Oberfläche der Bohrung in dem Teil auftretende Reibung.
Die Hauptwirkung des Vorhandenseins von Preßluft in den Hohlräumen
41 (Fig. 6) der Buchsen 37 und 38 (Fig. 4) ist die Selbstzentrierung
des Arms 5 gegenüber den Buchsen 37 und 38. Infolgedessen erfolgt wegen des Fehlens einer Berührung der Flächen 34,
35 und 36 (Fig. 6) die Bewegung des Arms 5 gegenüber dem Schlitten
4 mit einem Minimum an Reibung. Während dieser Bewegung wird dem Gewicht des Arms 5 und des daran angebrachton Tasters durch
die Druckluft das Gleichgewicht gehalten, die der Kammer 47 (Fig. 3 und 8) des Zylinders 45 zugeführt wird und auf den Kolben
46 desselben wirkt. Die Gleichgewichthaltung kann entsprechend dem Gewicht des Tasters reguliert werden, indem der Luftdruck
innerhalb der Kammer 47 verändert wird, was durch Einstellen des von Hand betätigten Druckreglers 48 (Fig. 3 und 8) erfolgt.
Patentansprüche - 15 -
209884/0875
Claims (17)
- - 15 Patentansprüche ιMeßgerät mit einem Portal, dessen Ständer auf Führungen eines Grundgestells unter Verwendung pneumostatisch abgestützter Lager verschiebbar sind, und mit einem einen Taster tragenden Schlitten, der unter Verwendung ebensolcher Lager auf Führungen des Querbalkens des Portals verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung(51 - 54, 61 - 64) vorgesehen ist, die automatisch den Druck der einem oder mehreren der Lager (15, 14; 31, 29) zugeführten Preßluft in der Weise zu regeln vermag, daß Veränderungen in der Einstellung des Schlittens (4) gegenüber dem Grundgestell (1), die durch Bewegungen des Schlittens (4) gegenüber dem Querbalken (9) oder Deformationen des Querbalkens selbst erzeugt werden, kompensiert werden.
- 2. Meßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (51 - 54, 61 - 64) so ausgebildet ist, daß sie den Druck der den Lagern (14, 15) jedes Ständers (10, 13) zugeführten Preßluft proportional zu den Belastungsänderungen jedes dieser Lager, die in jedem von ihnen durch die Bewegung des Schlittens (4) gegenüber dem Querbalken (9) von der Stellung aus erzeugt werden, in der der Schwerpunkt des Schlittens (4) sich auf der Mittellinie des Querbalkens (9) befindet, so verändert, daß die Veränderungen der Einstellung des Portals (3) gegenüber dem Grundgestell (1) kompensiert werden.
- 3. Meßgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (51 - 54, 61 - 64) so ausgebildet ist, daß sie automatisch den Druck der den Lagern (31, 29) des Schlittens (4) zugeführten Preßluft proportional zu den Bewegungen der Punkte der Führungen- 16 ■209884/0875(25) des Querbalkens (9), auf denen diese Lager aufruhen, in der Weise verändert, daß die Veränderungen in der Einstellung des Schlittens (4) gegenüber dem Querbalken (9), die durch elastische Deformationen des letzteren bedingt werden, kompensiert werden.
- 4. Meßgerät nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung mindestens einen Druckregler (63, 64) umfaßt, der so ausgebildet ist, daß er den Druck der Luft, die durch ihn hindurchgeht, in Auswirkung der Betätigung eines mit ihm verbundenen Steuerelements (58) und eines mit diesem zusammenwirkenden Nockens (53, 54) während der Bewegung des Schlittens (4) gegenüber dem Querbalken (9) reguliert, wobei der Druckregler (63, 64) an dem Schlitten (4) bzw. dem Querbalken (9) und der Nocken (53, 54) an dem Querbalken (9) bzw. dem Schlitten (4) so befestigt ist, daß eine Relativbewegung des Druckreglers gegenüber dem Nocken während der Bewegung des Schlittens gegenüber dem Querbalken erzeugt wird.
- 5. Meßgerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zwei Druckregler (61, 62) umfaßt, von denen jeder mit einem entsprechenden Nocken (51, 52) zusammenwirkt und den Druck der den Lagern (14, 15)eines Ständers (10, 13) zugeführten Preßluft steuert.
- 6. Meßgerät nach Anspruch 5, dadurch- gekennzeichnet, daß jeder Ständer (10, 13) zwei Lager (14, 15) umfaßt, die symmetrisch gegenüber der Mittellinie des Ständers (10, 13) angeordnet sind.
- 7. Meßgerät nach Anspruch 6, bei dem jede Führung des Grundgestells durch eine obere und ein Paar paralleler, seitlicher Oberflächen begrenzt ist, dadurch gekennzeichnet, daß mit jedem Lager (15) mindestens- 17 209884/0875eines Ständers (13) ein Paar von Lagern (16) verbunden ist, die auf den Seitenflächen der zugehörigen Führung (2) des Grundgestells (1) aufliegen.
- 8. Meßgerät nach einem der Ansprüche 4 bis 7 mit einen zwei Satz von in der Richtung der Achse des Querbalkens auseinanderliegenden Lagern aufweisenden Schlitten, d a d u r c h gekennzeichnet, daß die Einrichtung zwei Druckregler (63, 64) umfaßt, von .denen jeder mit einem entsprechenden Nocken (53, 54) zusammenwirkt und den Druck der den Lagern (29, 31) der beiden Sätze zugeführten Druckluft steuert.
- 9. Meßgerät nach Anspruch 8, dad.ur. ch gekennzeichnet, daß jedes der Lagersätze zwei Lager (29, ?1) umfaßt, von denen jedes auf einer entsprechenden Führung (25, 26) verschiebbar ist, die sich auf einander gegenüberliegenden Seiten des Querbalkens (9) befinden und in derselben Ebene liegen.
- 10. Meßgerät nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß mit jedem der beiden Lager (29, 31) eines Satzes weitere zwei Lager (30) mit einer Führungsaufgabe verbunden sind, von denen jedes auf einer entsprechenden Führung (26) gleitet, die in einer Ebene liegt, welche gegenüber der geneigt ist, die die anderen Führungen des Querbalkens (9) enthält.
- 11. Meßgerät nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die geneigten Ebenen miteinander einen Flächenwinkel von im wesentlichen 90° bilden.
- 12. Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit einen Taster, der von einem auf dem Schlitten verschiebbaren Arm getragen wird, dadurch gekennzeich-- 18 209884/0875net, daß der Querschnitt des Arms (5) im wesentlichen die Form eines gleichschenkligen Trapezes aufweist.
- 13. Meßgerät nach Anspruch 12, bei dem die Verschiebbarkeit des Arms gegenüber dem Schlitten mittels pneumostatisch abgestützter Lager ermöglicht wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Lager (41) zwischen dem Schlitten (4) und der breiteren Oberfläche des Arms sowie zwischen dem Schlitten und den geneigt verlaufenden Oberflächen des Arms angeordnet sind.
- 14. Meßgerät nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Lager (41) in Buchsen (37, 38) ausgebildet sind, die an dem Schlitten (4) befestigt sind und in denen der Arm (5) vergleitbar ist.
- 15. Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Preßluftzylinder (45) mit einem von Hand betätigbaren Druckregler (48) versehen ist, der zum Ausgleich des Gewichts des Arms (5) und des Tasters dient.
- 16. Meßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das zu messende Werkstück von einem Werkstücktisch getragen wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstücktisch (6) um eine Achse drehbar ist, die parallel zu der Achse der Bewegung des Arms (5) gegenüber dem Schlitten (4) verläuft.
- 17. Meßgerät nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstücktisch (6) eine Scheibe (65) umfaßt, die mit einem koaxialen, zylindrischen Ansatz (66) versehen ist, der auf einer Platte (67) mit einer Bohrung aufruht, von der der Ansatz (66) entnommen wird, wobei zwischen der Platte (67) und der Scheibe (65)- 19 209884/087522316Usowie zwischen der Bohrung und dem Ansatz (66) pneumostatisch abgestützte Lager (74, 75) angeordnet sind, die die Drehung des Tisches mit geringer Reibung ermöglichen.Wb/Pe - 25 028/9209884/0 8 7 5
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT6933971 | 1971-07-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2231644A1 true DE2231644A1 (de) | 1973-01-18 |
Family
ID=11311910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2231644A Pending DE2231644A1 (de) | 1971-07-09 | 1972-06-23 | Praezisionsmessgeraet |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3831283A (de) |
CA (1) | CA969756A (de) |
CH (1) | CH537570A (de) |
DD (1) | DD101974A5 (de) |
DE (1) | DE2231644A1 (de) |
FR (1) | FR2145931A5 (de) |
GB (1) | GB1393035A (de) |
SU (1) | SU518161A3 (de) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2647147A1 (de) * | 1975-10-23 | 1977-05-05 | Johansson Ab C E | Verfahren und vorrichtung an einer koordinatenmessmaschine |
DE2914905A1 (de) * | 1978-05-08 | 1979-11-15 | Bendix Corp | Koordinatenmessmaschine mit ausfallsicherungssystem |
DE2914906A1 (de) * | 1978-05-08 | 1979-11-15 | Bendix Corp | Koordinatenmessmaschine mit luftausgleichssystem |
DE2941412A1 (de) * | 1979-10-12 | 1981-04-23 | Schneider & Kern, 7119 Niedernhall | Messmaschine, insbesondere zur laengenmessung |
DE3024455A1 (de) * | 1980-06-28 | 1982-01-21 | Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart | Mehrkoordinaten-messgeraet |
DE3243088A1 (de) * | 1981-11-25 | 1983-06-01 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokyo | Koordinatenmessgeraet |
US4464839A (en) * | 1981-09-16 | 1984-08-14 | Beta Engineering And Development Ltd. | Three dimensional digitizer for digitizing the surface contour of a solid body |
DE3336002A1 (de) * | 1983-10-04 | 1985-04-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Fuehrungsvorrichtung |
Families Citing this family (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1074271B (it) * | 1976-09-30 | 1985-04-20 | Olivetti & Co Spa | Macchina di misurazione di precisione a portale |
DE2718506C2 (de) * | 1977-04-26 | 1978-11-23 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Mehrkoordinaten-Meßmaschine |
US4155173A (en) * | 1977-05-13 | 1979-05-22 | Sprandel Hans W | Mounting for coordinate measuring machine arms and probes |
DE2724858A1 (de) * | 1977-06-02 | 1978-12-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung |
JPS5478581A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-22 | Toshiba Mach Co Ltd | Centering method in lathe and its device |
JPS5485678A (en) * | 1977-12-20 | 1979-07-07 | Canon Inc | High accuracy alignment method for air bearing guide system xy stage |
US4209910A (en) * | 1978-05-12 | 1980-07-01 | Gunther Rathsack Ingenieurtechnik | Auxiliary device for vertical turning and boring machine tools |
GB2099151B (en) * | 1981-02-14 | 1985-09-04 | Lk Tool Co Ltd | Measuring machine |
GB2112140B (en) * | 1981-12-16 | 1985-08-07 | Mauser Werke Oberndorf | Coordinate measuring machine |
DE3150977A1 (de) * | 1981-12-23 | 1983-06-30 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und einrichtung zur ermittlung und korrektur von fuehrungsfehlern |
DE3150978A1 (de) * | 1981-12-23 | 1983-06-30 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Messmaschine in portalbauweise |
US4507868A (en) * | 1982-08-30 | 1985-04-02 | The Warner & Swasey Company | Coordinate measuring machine with a self aligning pneumatic counterbalance |
JPS5978533A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-07 | Canon Inc | 露光装置 |
GB2160975B (en) * | 1984-05-14 | 1988-11-09 | Mitutoyo Mfg Co Ltd | Coordinate measuring instrument |
US4630381A (en) * | 1984-07-24 | 1986-12-23 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Coordinate measuring instrument |
IT1185224B (it) * | 1984-08-16 | 1987-11-04 | Mauser Werke Oberndorf | Contropunta per apparecchi di misurazione a coordinate |
BR8604536A (pt) * | 1985-01-22 | 1987-07-14 | Mitutoyo Mfg Co Ltd | Instrumento para medicao de coordenadas |
USRE33254E (en) * | 1985-01-24 | 1990-07-10 | Bridge type coordinate measuring machine | |
US4594791A (en) * | 1985-01-24 | 1986-06-17 | The Warner & Swasey Company | Bridge type coordinate measuring machine |
US4630374A (en) * | 1985-01-24 | 1986-12-23 | The Warner & Swasey Company | Bridge type coordinate measuring machine |
GB2188571B (en) * | 1986-04-05 | 1990-02-21 | Butterley Engineering Limited | Machine measurement systems |
US4719705A (en) * | 1986-06-24 | 1988-01-19 | The Perkin-Elmer Corporation | Reticle transporter |
DE3723466A1 (de) * | 1987-07-16 | 1989-01-26 | Barry Controls Gmbh | Nachstelleinrichtung zum korrigieren der lage einer maschine |
JPS6435310A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-06 | Mitutoyo Corp | Multidimensional measuring machine |
US4887360A (en) * | 1989-02-03 | 1989-12-19 | The Warner & Swasey Company | Way bearing arrangement for a horizontal arm coordinate measuring machine |
US4882847A (en) * | 1989-02-03 | 1989-11-28 | The Warner And Swasey Company | Coordinate measuring machine with improved carriage way arrangement |
US4958438A (en) * | 1989-03-30 | 1990-09-25 | The Warner & Swasey Company | Rotary table for a coordinate measuring machine and method of determining the axis of table rotation |
US5160883A (en) * | 1989-11-03 | 1992-11-03 | John H. Blanz Company, Inc. | Test station having vibrationally stabilized X, Y and Z movable integrated circuit receiving support |
US5166606A (en) * | 1989-11-03 | 1992-11-24 | John H. Blanz Company, Inc. | High efficiency cryogenic test station |
US5077523A (en) * | 1989-11-03 | 1991-12-31 | John H. Blanz Company, Inc. | Cryogenic probe station having movable chuck accomodating variable thickness probe cards |
SE468727B (sv) * | 1991-07-09 | 1993-03-08 | Johansson Ab C E | Maskinstativ, saerskilt foer s k koordinatmaetmaskiner, jaemte saett att utfoera maskinstativet |
DE4126532A1 (de) * | 1991-08-10 | 1993-02-11 | Plath Hans Henning Dr Ing | Koordinatenmessgeraet |
IT1257067B (it) * | 1992-07-31 | 1996-01-05 | Dea Spa | Macchina di misura. |
KR0141161B1 (ko) * | 1995-03-20 | 1998-07-01 | 이대원 | 회전 테이블을 구비한 스테이지 장치 및 스테이지 장치의 구동 방법 |
IT1289550B1 (it) * | 1996-12-31 | 1998-10-15 | Inpeco S R L | Processo per la fabbricazione di un basamento per lo scorrimento a sostentamento pneumostatico di carri mobili,particolarmente |
JP2004142035A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械 |
FR2853056B1 (fr) * | 2003-03-28 | 2005-07-15 | Snecma Moteurs | Dispositif et procede de mesure de profil |
SE527899C2 (sv) * | 2004-12-15 | 2006-07-04 | Hexagon Metrology Ab | Koordinatmätmaskin med inbördes förflyttbara ben |
JP4933775B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2012-05-16 | 独立行政法人理化学研究所 | 微小表面形状測定プローブ |
US7421795B2 (en) * | 2006-08-04 | 2008-09-09 | Seagate Technology Llc | Sapphire alignment fixture |
US7885786B2 (en) * | 2008-10-15 | 2011-02-08 | Seagate Technology Llc | Sleeve cone quality measurement system and method |
DE102009008722A1 (de) * | 2009-02-06 | 2010-08-19 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie ein Tastkopfsystem für ein solches Koordinatenmessgerät |
CN102012204B (zh) * | 2010-11-24 | 2011-12-21 | 南京工业大学 | 数控静压转台的精度检测装置及方法 |
US9435766B2 (en) | 2013-12-05 | 2016-09-06 | General Electric Company | System and method for inspection of components |
EP3392610B1 (de) | 2017-04-19 | 2022-02-23 | Renishaw PLC | Lagerbefestigung |
EP3392611B1 (de) | 2017-04-19 | 2019-12-25 | Renishaw PLC | Kontaminationsfalle |
US10826369B2 (en) | 2017-04-19 | 2020-11-03 | Renishaw Plc | Positioning apparatus with relatively moveable members and a linear motor mounted thereon |
WO2018193228A1 (en) | 2017-04-19 | 2018-10-25 | Renishaw Plc | Measuring apparatus counterbalance |
EP3612796B1 (de) | 2017-04-19 | 2023-09-20 | Renishaw PLC | Koordinatenpositionierungsvorrichtung mit lageranordnung |
CN109551308B (zh) * | 2018-12-04 | 2020-08-11 | 中国航发贵州红林航空动力控制科技有限公司 | 一种高精度阀组件的加工方法 |
CN111256558B (zh) * | 2020-02-27 | 2021-08-06 | 浙江博阳压缩机有限公司 | 一种用于气缸滑片槽的综合检测装置及方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3218108A (en) * | 1962-10-11 | 1965-11-16 | Link Division Of General Prec | Precision positioning apparatus |
GB1076404A (en) * | 1963-03-16 | 1967-07-19 | Asquith Ltd William | Improvements in silde bearing for machine tools |
US3447840A (en) * | 1966-07-15 | 1969-06-03 | Bendix Corp | Bearing means |
BE720283A (de) * | 1967-09-14 | 1969-02-17 | ||
US3639993A (en) * | 1970-02-09 | 1972-02-08 | Dea Spa | Improvements relating to machines and apparatus having a support for guiding a movable member |
-
1972
- 1972-06-13 GB GB2765872A patent/GB1393035A/en not_active Expired
- 1972-06-23 DE DE2231644A patent/DE2231644A1/de active Pending
- 1972-07-04 FR FR7224123A patent/FR2145931A5/fr not_active Expired
- 1972-07-05 CA CA146,332A patent/CA969756A/en not_active Expired
- 1972-07-07 SU SU1806581A patent/SU518161A3/ru active
- 1972-07-07 US US00269908A patent/US3831283A/en not_active Expired - Lifetime
- 1972-07-07 DD DD164257A patent/DD101974A5/xx unknown
- 1972-07-07 CH CH1021672A patent/CH537570A/it not_active IP Right Cessation
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2647147A1 (de) * | 1975-10-23 | 1977-05-05 | Johansson Ab C E | Verfahren und vorrichtung an einer koordinatenmessmaschine |
DE2914905A1 (de) * | 1978-05-08 | 1979-11-15 | Bendix Corp | Koordinatenmessmaschine mit ausfallsicherungssystem |
DE2914906A1 (de) * | 1978-05-08 | 1979-11-15 | Bendix Corp | Koordinatenmessmaschine mit luftausgleichssystem |
DE2941412A1 (de) * | 1979-10-12 | 1981-04-23 | Schneider & Kern, 7119 Niedernhall | Messmaschine, insbesondere zur laengenmessung |
DE3024455A1 (de) * | 1980-06-28 | 1982-01-21 | Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart | Mehrkoordinaten-messgeraet |
US4464839A (en) * | 1981-09-16 | 1984-08-14 | Beta Engineering And Development Ltd. | Three dimensional digitizer for digitizing the surface contour of a solid body |
DE3243088A1 (de) * | 1981-11-25 | 1983-06-01 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokyo | Koordinatenmessgeraet |
DE3336002A1 (de) * | 1983-10-04 | 1985-04-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Fuehrungsvorrichtung |
US4615568A (en) * | 1983-10-04 | 1986-10-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Guide device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DD101974A5 (de) | 1973-11-20 |
US3831283A (en) | 1974-08-27 |
SU518161A3 (ru) | 1976-06-15 |
CH537570A (it) | 1973-05-31 |
FR2145931A5 (de) | 1973-02-23 |
GB1393035A (en) | 1975-05-07 |
CA969756A (en) | 1975-06-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2231644A1 (de) | Praezisionsmessgeraet | |
DE2839180C2 (de) | ||
DE2744687A1 (de) | Praezisionsmessgeraet der portalart | |
DE3723466A1 (de) | Nachstelleinrichtung zum korrigieren der lage einer maschine | |
EP0423428A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Zustellen einer Druckrakel und einer Flutrakel beim Siebdruck | |
DE2750383A1 (de) | Universal-messmaschine | |
DE4338596A1 (de) | Vorrichtung zum Bohren eines Werkstücks prismatischer oder zylindrischer Form | |
DE2223213B2 (de) | Gestell für eine Meß- oder Werkzeugmaschine | |
WO2018215607A1 (de) | Stützvorrichtung | |
DE2608501A1 (de) | Hoehenmess- und anreissgeraet mit druckluftlagerung zwischen dem geraetefuss und der richtplatte | |
DE2137730C3 (de) | Schablonenabrichtvornchtung fur Pro filschleifscheiben | |
DE2900469A1 (de) | Verfahren zum einmessen eines profils in einer maschine | |
DE1575423C3 (de) | Entlastungsvornchtung für eine Fuhrung | |
DE1193337B (de) | Werkzeugmaschine mit einem aus einer Ausnehmung ihres Staenders herausschiebbaren Tragarm | |
EP0347366A1 (de) | Abstützung eines Trägers | |
EP0899536A2 (de) | Koordinatenmessgerät oder Bearbeitungsmaschine | |
DE1402999C3 (de) | Vorrichtung zum Bearbeiten von Werk stucken | |
CH646086A5 (de) | Einrichtung zur korrektur geometrischer maschinenfehler. | |
DE4027942A1 (de) | Werkstueckanschlag | |
DE1602984A1 (de) | Vorrichtung zur Erzielung einer Geradfuehrung an balkenfoermigen Traegern von Werkzeugmaschinen,insbesondere den Querbalken von Karusselldrehmaschinen | |
DE3638350A1 (de) | Fraes- oder bohrmaschine | |
DE2234377C3 (de) | Verfahren und Einrichtung zum Ausrichten großer Werkstücke | |
DE711289C (de) | Blechboerdelwerkzeug, insbesondere zum Boerdeln von Kurven | |
DE234862C (de) | ||
DE202019102186U1 (de) | Prüfvorrichtung zum Überprüfen eines Abstands und/oder einer Achsenparallelität eines Palettenkarussells und einer Leimwalze zueinander an einem Etikettieraggregat |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OHJ | Non-payment of the annual fee |