DE2211423B2 - Verfahren und vorrichtung zur beobachtung biologischer proben mit einem abtastelektronenmikroskop - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur beobachtung biologischer proben mit einem abtastelektronenmikroskopInfo
- Publication number
- DE2211423B2 DE2211423B2 DE2211423A DE2211423A DE2211423B2 DE 2211423 B2 DE2211423 B2 DE 2211423B2 DE 2211423 A DE2211423 A DE 2211423A DE 2211423 A DE2211423 A DE 2211423A DE 2211423 B2 DE2211423 B2 DE 2211423B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sample
- microscope
- evacuation chamber
- scanning electron
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 title claims description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 56
- 230000008014 freezing Effects 0.000 claims description 6
- 238000007710 freezing Methods 0.000 claims description 6
- 239000012520 frozen sample Substances 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 3
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- VOPWNXZWBYDODV-UHFFFAOYSA-N Chlorodifluoromethane Chemical compound FC(F)Cl VOPWNXZWBYDODV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000007705 chemical test Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 208000015181 infectious disease Diseases 0.000 description 1
- 230000002458 infectious effect Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-OUBTZVSYSA-N nitrogen-15 Chemical compound [15N] QJGQUHMNIGDVPM-OUBTZVSYSA-N 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beobachtung biologischer Proben in einem Abtastelektronenmikro- μ
skop, bei dem die Probe auf einem Probenhalter befestigt und dieser zusammen mit der Probe in ein
Gefriermittel getaucht und danach in das Mikroskop eingebracht wird und bei dem die Probenoberfläche
zum Erzielen eines abgetasteten Bildes mit einem Elektronenstrahlbündel abgetastet wird, sowie eine
Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.
Instruments« (J, of Physics E), Bd, 1, 1968, Nr, II,
S. 1123-1124 bekannt.
Im Vergleich zu einem Durchstrahlungselektronenmikroskop
weist ein Abtastelektronenmikroskop den Vorteil auf, daß es ein räumliches Bild der Probengestalt
erzeugen kann. Bei großen Proben jedoch wirkt sich die Anwesenheit von Wasser, das mittels Sublimation in der
Mikroskopsäule entfernt wird, schädlich auf die Probe aus und beeinflußt die natürliche dreidimensionale
Gestalt der Probe nachteilig. Dies gilt insbesondere für
biologische und chemische Untersuchungsproben, bei denen der Wassergehalt hoch ist
Bei dem o. g. aus »Journal of Scientific Instruments« (J. of Physics E), Bd.!, 1968, Nr. 11, S. 1123-1124
bekannten Verfahren zur Beobachtung biologischer Proben in einem Abtastelektronenmikroskop kann
zwar kein Schaden mehr durch die Sublimation des Wassers in der Mikroskopsäule entstehen und es ist
auch nicht mehr erforderlich, die Probenoberfläche mit einem Oberzug zu versehen, um die Beobachtung
durchführen zu können; es ist jedoch erforderlich, die Frostbiidung an der Oberfläche der gefrorenen Probe
zu verhindern oder statt dessen den Frost von dieser Oberfläche wirksam zu entfernen.
Aus der deutschen Patentschrift 7 23 583 ist eine Vorrichtung zur Beobachtung infiziöser Proben in
einem Elektronenmikroskop bekannt, bei der der Probenträger mit der Probe mit einem Deckel
verschlossen wird, in die Vorevakuierungskammer des Mikroskops eingebracht wird, der Deckel in der
Vorevakuierungskaximer abgehoben wird und dann die
Probe in das Mikroskop übergeführt wird. Bei dieser Vorrichtung ergibt sich jedoch nicht das Problem der
Frostbildung auf der Probenoberfläche. Entsprechende Vorkehrungen sind an der bekannten Vorrichtung
demgemäß nicht vorhanden.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zur Beobachtung biologischer Proben in einem Abtasteiektronenmikroskop
zu schaffen, durch das die Frostbildung auf der Probenoberfläche verhindert wird.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird beim Verfahren der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgeschlagen,
daß die noch im Gefriermittel eingetauchte Probe mittels eines Deckels dicht verschlossen, darauf in die
Vorevakuierungskammer des Mikroskops überführt und dort unter Vakuum der Deckel abgenommen wird,
und daß die Probe mittels in der Vorevakuierungskammer angeordneter Einrichtungen behandelt und zum im
kalten Zustand gehaltenen Objektträger der Probenkammer des Mikroskops überführt wird.
Eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens unter Verwendung eines Abtastelektronenmikroskops
ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß in der Vorevakuierungskammer des Mikroskopes ein
Zwischenobjektträger angeordnet ist, mittels dem die Probe und der Probenhalter in kaltem Zustand haltbar
sind, und daß zum Schneiden der gefrorenen Probe ein Schneidwerkzeug vorgesehen ist, das an einem Ende
einer an der Vorevakuierungskammer befestigten Betätigungsstange angeordnet ist.
In vorteilhafter Weise wird durch die Erfindung verhindert, daß sich an der Schnittfläche der Probe, an
der die Beobachtung durchgeführt werden soll. Frost bildet. Außerdem wird noch verhindert, daß sich
während des Probenwechsels am Zwischenobjektträger, der in der Vorevakuierungskammer angeordnet ist,
oder an der Innenwand der Vorevakuierungskammer Frost bildet.
Die folgende Beschreibung erläutert Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung. Diese zeigt
in
Fig, 1 schematisch das Evakuierungssystem eines
Abtastelektronenmikroskopes;
F i g. 2 querschnittlich das Eintauchen einer an einem Halter befestigten Probe in ein Gefriermittel;
F i g. 3 querschnittlich eine Vorevakuierungskammer, in der der auf die Probe aufgebrachte Decke! entfernt
wird;
Fig.4 querschnittlich eine Ausführungsform der
Vorevakuierungskammer zur Beobachtung eines frostfreien Querschnittes der gefrorenen Probe;
Fig.5 querschnittlich eine Ausführungsform der
Vorevakuierungskammer mit einer Heizspule;
Fig.6 querschnittlich eine abgewandelte Ausführungsform
der Vorevakuierungskammer und
Fig.7 schematisch ein Abtastelektronenmikroskop,
bei dem die Frostbildung während des Probcnwechsels verhinderbar ist.
Wie aus Fig. 1 ersichtlich, weist das schematisch
dargestellte Abtasteiektronenmikroskop eine elektronenoptische
Säule auf, in der eine Probenicammer angeordnet ist Die Säule 1 wird durch eine Kreisslpumpe
2 Ober ein Ventil 3 vorevakuiert und durch eine Diffusionspumpe 4 sowie eine Kreiselpumpe 5 fiber ein
Ventil 6 vollständig evakuiert Es ist weiterhin eine Vorevakuierungskammer 7 vorgesehen, die von der in
der Mikroskopsäule 1 angeordneten Probenkammer mittels einer Tür 8 und von der Atmosphäre mittels
eines Deckels 9 abgetrennt ist Die Vorevakuierungskammer 7 ist fiber ein Ventil 10 mittels der
Kreiselpumpe 2 evakuiert; sie weist außerdem ein Nebenschlußventil 11 auf.
Wie aus F i g. 2 ersichtlich, ist auf einem Probenhalter
13, in den eine Halteraustauschstange 14 eingeschraubt ist, eine biologische Untersuchungsprobe 2 befestigt
Der Halter 13 wird zusammen mit der Probe 2 in flüssigen Stickstoff 15 oder in flüssiges Freon, d.h.
Frigen, das sich im Behälter 16 befindet eingetaucht Die Probe 2 wird sodann mittels eines Deckels !7
verschlossen, wobei sie noch in das Gefriermittel 15 eingetaucht ist; darauf wird die abgedichtete Frobe 2 in
die Vorevakuierungskammer 7 überführt Daraufhin wird der Deckel 17, wie aus Fig.3 ersichtlich, unter
Vakuum mittels der Austauschstange 14 entfernt die mittels eines Kugelgelenkes 18 und einer Kugelpfanne
19 an der Vorevakuierungskammer 7 angeordnet ist; das Entfernen des Deckels 17 vom Halter 13 erfolgt
dadurch, daß er gegen einen vorspringenden Arm 20 gedrückt wird, der ein Teii der Vorevakuierungskammer
7 ist. Das Entfernen des Deckels 17 wird dadurch erleichtert, daß eine gläserne Sichtscheibe 21 vorgesehen
ist, die ein Teil des die Vorevakuierungskammer 7 abschließenden Deckels 9 ist Danach wird die Probe 2
zum Objektträger fiberführt der sich in der Probenkammer
in der Mikroskopsäule 1 befindet, wobei der Objektträger in kaltem Zustand gehalten wird; danach
wird die Probe 2 vom Abtastelektronenstrahlbündel beaufschlagt und das Probenbild beobachtet
Wie aus F i g. 4 ersichtlich, ist in der Vorevakuierungskammer 7 ein Zwischenobjektträger 22 vorgesehen, der
mittels eines mit flüssigem Stickstoff gefüllten Behälters 23 und einer wärmeleitenden Stange 24 in kaltem
Zustand gehalten wird. Weiterhin ist ein optisches Lichtmikroskop 25 vorgesehen, mittels dem die auf den
s Zwischenobjektträger 22 angeordnete Probe 2 beobachtet werden kann. In der Wand der Vorevakuierungskammer
7 ist mittels einer Gelenkkugel 27 und einer Kugelpfanne 28 eine Betätigungsstange 26 gelagert, die
aufgrund ihrer Lagerung leicht bedienbar ist An der
ίο Spitze der Stange 26 ist ein Messer 29 oder eine Nadel
befestigt, um die gefrorene Probe 2 schneiden bzw. hiervon Scheiben abtrennen zu können.
Da das Messer 29 oder die Nadel während der Bearbeitung der Probe 2 in kaltem Zustand gehalten
werden müssen, ist es erforderlich, entweder das Messer 29 bzw. die Nadel vor der Durchführung des Schnittes in
direkte Berührung mit dem Zwischenobjektträger 22 zu bringen oder aber mittels eines wärmeleitenden
Drahtgurtes 30 mit der wärmeleitenden Stange 24 zu verbinden, in jedem Fall ist aufgrund dieser Ausbildung
gewährleistet, daß die gefrorene P.obe 2 je nach Wunsch geschnitten oder in Scheiben aufg steilt werden
kann, ohne daß an der neu gebildeten Oberfläche Frostbildung entsteht; hierdurch ist es möglich, die
Innenstruktur der Probe in fast natürlichem Zustand zu beobach^n.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig.5 ist in der Nähe des Zwischenobjektträgers 22, auf dem der
Probenhalter 13 zusammen mit der Probe 2 angeordnet ist, eine Heizspule 31 vorgesehen. Der Heizstrom wird
an dieser Heizspule 31 von einer Stromquelle 32 über Isolatoren 33 geliefert Bei Verwendung dieser Ausführungsform
ist es möglich, einen beliebigen gesamten Bereich der Probenoberfläche aufzutauen.
Bei der Ausführungsform gemäß Fi g. 6 wird anstelle der Betätigungsstange 26 gemäß F i g. 4 eine Infrarotbestrahlungseinrichtung
34 verwendet. Um diese wiederum leicht verstellen zu können, ist sie auf einer Rolle 35
angeordnet Die von einer Lampe 36 ausgesandten Infrarotstrahlen werden durch zwei in die Einrichtung
34 eingebaute Linsen 37, 38 gebündelt und können wahlweise auf jede gewünschte Stelle der gefrorenen
Probenoberfläche gerichtet werden. Hierdurch ist es möglich, den zu beobachtenden spezieilen Hrobenbereich
aufzutauen, ohne daß die Gesamttemperatur der Probe wesentlich beeinflußt wird.
Das aus F i g. 7 ersichtliche Abtastelektronenmikroskop ist so ausgebildet, daß während des Probenwechsels
in der Probenkammer keine Frostbildung entsteht.
so Bei bekannten Mikroskopen ist es erforderlich, die
um die untersuchte Probe herausnehmen und eine neue einsetzen zu können.
mit Frost überzogen; darüber hinaus bewirkt die Sublimation, d.h. die Verdunstung dieses gefrorenen
Wassers aufgrund der darauffolgenden Evakuierung, daß sich auf der nejen Probe Frost bildet. Um dies zu
verhindern, wird bei dem Mikroskop gemäß Fig. 7 während der Zeit, in der die Probe 2 ausgetauscht wird,
von einer Gasquelle 39 über das Nebenschlußventil 11
Trockengas in die Vorevakuierungskammer 7 geleitet
Hierzu 6 Blatt Zeichnungen
Claims (7)
1. Verfahren zur Beobachtung biologischer Proben in einem Abtastelektronenmikroskop, bei dem
die Probe auf einem Probenhalter befestigt und dieser zusammen mit der Probe in ein Gefriermittel
getaucht und danach in das Mikroskop eingebracht wird und bei dem die Probenoberfläche zum
Erzielen eines abgetasteten Bildes mit einem Elektronenstrahlbündel abgetastet wird, dadurch
gekennzeichnet, daß die noch im Gefriermittel (15) eingetauchte Probe (2) mittels eines Deckels
(17) dicht verschlossen, darauf in die Vorevakuierungskammer (7) des Mikroskops überführt und dort
unter Vakuum der Deckel (17) abgenommen wird, is und daß die Probe (2) mittels in der Vorevakuierungskammer
(7) angeordneter Einrichtungen (29, 31, 34) behandelt und zum im kalten Zustand gehaltenen Objektträger der Probenkammer des
Mikroskops überführt wird.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch i unter Verwendung eines Abtastelektronenmikroskopes,
dadurch gekennzeichnet, daß in der Vorevakuierungskammer (7) des Mikroskopes
ein Zwischenobjektträger (22) angeordnet ist, mittels dem die Probe (2) und der Probenhalter
(13) in kaltem Zustand haltbar sind, und daß zum Schneiden der gefrorenen Probe ein Schneidwerkzeug
(29) vorgesehen ist, das an einem Ende einer an der Vorevakuierungskammer befestigten Betätigungsstange
(26) angeordnet ist (F i g. 4).
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß zum Beobachte" der Probe (2) ein Lichtmikroskop (25) vorgesehen ist, das in der Wand
der Vorevakuierungskammer (7) f ehalten ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, gekennzeichnet durch eine Kühleinrichtung (23,30), mittels
der das Schneidmesser (29) in kaltem Zustand haltbar ist
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß in der Vorevakuierungskammer
(7) eine mit einer Fokussiereinrichtung (37, 38) versehene Infrarot-Bestrahlungseinrichtung
(34) vorgesehen ist, mittels der wahlweise bestimmte Bereiche der Probenoberfläche auftaubar
sind (F i g. 6).
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorevakuierungskammer
(7) eine Heizspule (31) aufweist, die um die Probe (2) herum angeordnet ist (F i g. 5). so
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorevakuierungskammer
(7) des Mikroskopes während des Probenwechsels mit Trockengas belieferbar ist (F i g. 7).
55
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1757871U JPS5120680Y2 (de) | 1971-03-16 | 1971-03-16 | |
| JP10057771U JPS5127716Y2 (de) | 1971-10-29 | 1971-10-29 | |
| JP8740871A JPS5116252B2 (de) | 1971-11-02 | 1971-11-02 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2211423A1 DE2211423A1 (de) | 1972-09-21 |
| DE2211423B2 true DE2211423B2 (de) | 1979-03-15 |
| DE2211423C3 DE2211423C3 (de) | 1979-11-08 |
Family
ID=27281891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2211423A Expired DE2211423C3 (de) | 1971-03-16 | 1972-03-09 | Verfahren und vorrichtung zur beobachtung biologischer proben mit einem abtastelektronenmikroskop |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3761709A (de) |
| DE (1) | DE2211423C3 (de) |
| FR (1) | FR2130141B1 (de) |
| GB (1) | GB1391336A (de) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3952203A (en) * | 1972-07-21 | 1976-04-20 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Forderung Der Wissenschaften E.V. | Object adjustment device for a charged particle beam apparatus |
| US3858049A (en) * | 1973-09-17 | 1974-12-31 | Etec Corp | Method and apparatus for sem specimen coating and transfer |
| US3885158A (en) * | 1973-10-23 | 1975-05-20 | Harris Corp | Specimen block and specimen block holder |
| US3980885A (en) * | 1974-09-06 | 1976-09-14 | Vincent William Steward | Diagnosis by proton bombardment |
| US3984683A (en) * | 1975-05-27 | 1976-10-05 | Rca Corporation | Apparatus and method for analyzing biological cells for malignancy |
| JPS5478076A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Hitachi Ltd | Frozen sample observation device of scanning electron microscope and similar unit |
| DE2906153C2 (de) * | 1979-02-17 | 1984-10-31 | C. Reichert Optische Werke Ag, Wien | Kühlkammer zur Aufnahme von zu bearbeitenden Objekten, insbesondere biologischen Objekten |
| JPS56121151U (de) * | 1980-02-15 | 1981-09-16 | ||
| JPS6285840A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-20 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 走査型電子顕微鏡を用いた試料処理方法および装置 |
| JPH0668962B2 (ja) * | 1987-12-21 | 1994-08-31 | 株式会社東芝 | 真空装置及びそれを用いてプロセスを行う方法 |
| US4916314A (en) * | 1988-09-23 | 1990-04-10 | Amoco Corporation | Method and apparatus for analyzing components of selected fluid inclusions |
| JPH0374036A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-03-28 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡における試料交換装置 |
| DE4041029C1 (en) * | 1990-12-20 | 1992-02-06 | Siemens Nixdorf Informationssysteme Ag, 4790 Paderborn, De | Component cooler for vacuum chamber - has stamper-like heat sink inserted in sealed opening and directly contacting base of component |
| US5362964A (en) * | 1993-07-30 | 1994-11-08 | Electroscan Corporation | Environmental scanning electron microscope |
| US5412211A (en) * | 1993-07-30 | 1995-05-02 | Electroscan Corporation | Environmental scanning electron microscope |
| JP2000505944A (ja) * | 1996-12-23 | 2000-05-16 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 低温試料ホルダを含む粒子光学装置 |
| NL1021376C1 (nl) * | 2002-09-02 | 2004-03-03 | Fei Co | Werkwijze voor het verkrijgen van een deeltjes-optische afbeelding van een sample in een deeltjes-optisch toestel. |
| CN101461026B (zh) * | 2006-06-07 | 2012-01-18 | Fei公司 | 与包含真空室的装置一起使用的滑动轴承 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2417213A (en) * | 1944-12-28 | 1947-03-11 | Rca Corp | Device for indirect heating of materials |
| US2826701A (en) * | 1954-09-01 | 1958-03-11 | Gen Electric | Low temperature chamber for electronoptics instruments |
| FR1520418A (fr) * | 1965-11-25 | 1968-04-12 | Balzers Patent Beteilig Ag | Microscope à émission électronique |
| US3483373A (en) * | 1966-07-28 | 1969-12-09 | Siemens Ag | Airlock assembly for corpuscular ray devices |
| US3374349A (en) * | 1966-11-14 | 1968-03-19 | Victor G. Macres | Electron probe having a specific shortfocal length magnetic lens and light microscope |
-
1972
- 1972-03-07 US US00232405A patent/US3761709A/en not_active Expired - Lifetime
- 1972-03-09 FR FR7208209A patent/FR2130141B1/fr not_active Expired
- 1972-03-09 DE DE2211423A patent/DE2211423C3/de not_active Expired
- 1972-03-14 GB GB1190472A patent/GB1391336A/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB1391336A (en) | 1975-04-23 |
| FR2130141B1 (de) | 1976-06-11 |
| DE2211423C3 (de) | 1979-11-08 |
| DE2211423A1 (de) | 1972-09-21 |
| US3761709A (en) | 1973-09-25 |
| FR2130141A1 (de) | 1972-11-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2211423C3 (de) | Verfahren und vorrichtung zur beobachtung biologischer proben mit einem abtastelektronenmikroskop | |
| DE69600484T2 (de) | Verfahren zur Bearbeitung von organischen Proben | |
| DE102014110724B4 (de) | Manipulationsbehälter für die Kryo-Mikroskopie | |
| WO2016016000A1 (de) | Lichtmikroskop mit einem probentisch für die kryo-mikroskopie | |
| DE3024029C2 (de) | ||
| DE102012024105A1 (de) | Kryo-Lagereinrichtung und Verfahren zu deren Betrieb | |
| DE2363775A1 (de) | Verfahren und geraet zur untersuchung mikroskopischer objekte durch pyrolyse | |
| DE60220648T2 (de) | Vorrichtung zur vorbereitung von proben für ein kryo-elektronenmikroskop | |
| AT506233B1 (de) | Mikromanipulator für ein kryomikrotom | |
| DE2459218A1 (de) | Verfahren zur transferierung und/oder behandlung eines tiefgekuehlten praeparatschnittes, insbesondere eines ultramikrotomschnittes, und einrichtungen zur durchfuehrung des verfahrens | |
| DE2942057A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines einkristall-siliziumstabs | |
| DE1572904A1 (de) | Einrichtung zur Herstellung von Kuehlschnitten fuer die Mikroskopie | |
| DE3634505C2 (de) | ||
| DE112015001149T5 (de) | Kryostationssystem | |
| EP0935773B1 (de) | Anlage für den einschluss von histologischen und biologischen proben | |
| DE4019182A1 (de) | Verfahren zum impraegnieren von gewebeproben in paraffin | |
| AT515423B1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Gefrier- oder Tieftemperatursubstitution | |
| DE102013204646B4 (de) | Gerät zum Bearbeiten von histologischen Proben | |
| DE3220619C2 (de) | Vorrichtung zur Handhabung von Dünnschnitten, insbesondere Kryoschnitten, und Verfahren zur Gefriertrocknung solcher Dünnschnitte | |
| AT508017B1 (de) | Transfer eines probenträgers in der korrelativen elektronenmikroskopie | |
| DE3332741C2 (de) | Vorrichtung zur Beleuchtung der Probe und Probenhalterung sowie des Kühlbads an einer Einrichtung zur Immersions-Kryofixation | |
| DE735286C (de) | Verfahren zur Vorbehandlung von Objekten, die mikroskopisch untersucht werden sollen | |
| DE2138567C3 (de) | Tieftemperatur-Präparatstufe mit Präparathalter für Elektronenmikroskope | |
| DE2001700A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Atomabsorptions- oder Atomfluoreszenz-Spektralanalyse | |
| DE895472C (de) | Verfahren zum AEtzen von vorzugsweise mechanisch vorbehandelten Halbleiterkristallen |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| BI | Miscellaneous see part 2 | ||
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |