JPS6285840A - 走査型電子顕微鏡を用いた試料処理方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、水分を含んだ生の試料あるいは乾燥試料に対
し、走査臂）電子類ＷＲ鏡による観察下にて切断、摘出
などの作業を行なって、試料から必要成分の取り出しを
行なう走査型電子顕微鏡を用いた試料処理方法ならびに
走査型電子顕微鏡を用いた試料処理装置に関する。

〔技術的背景ならびに従来技術〕

最近の生物学の応用分野では、生の試料から微細な必要
成分を取り出し、この必要成分を培養するなどの各種の
研究に使用する技術の開発が望まれている。たとえば、
植物の生試料から菌の菌糸を取り出し、さらに高度な解
析を行なう場合や、あるいは特定部位のカビの菌糸を取
り出し、培養する場合などがあげられる。

上記の試料から取り出される必要成分は極めて微細なも
のであるため、これを観察するには電子顕微鏡によらな
ければならない、従来のこの種の研究のための作業とし
ては、植物などの試料をランダムに割断、あるいは薄切
し、その部分を走査型電子顕微鏡（または透過型電子顕
微鏡）によって観察し、取り出すべき必要成分を探し出
す作業を行なっていた。しかしながら、このような従来
の試料の処理方法では、ランダムな割断あるいは切削部
分に必要成分が現れるのを、偶然性に期待して待たなけ
ればならなかった。また必要成分を見い出したとしても
、その取り出しを有効に行なうのは技術的に困難であっ
た。したがって、試料に対する必要成分の観察作業は極
めて非効率的であり、また試料から必要成分を数多くコ
ンスタントに取り出すことはほとんど不Ｏｆ能であった
。そのため、本格的な生物応用学の研究に走査型電子顕
微鏡をａ基以外の分野、例えば試料の一部分の取り出し
などに十分に活用できない問題があった。同様な問題は
台木状態、含溶媒状態を呈する高分子分野あるいは合成
部内についても指摘できる。

〔発明の［１的〕 本発明は１；記従来の問題点に着目してなされたもので
あり、植物などの生の試料を、凍結ならびにシ１．／＃
などの処理の後に、走査型電子顕微鏡の観察下にて処理
し、試料から必要成分を生に近い状態で取り出すことが
できるようにし、しかもこの処理作業が比較的簡単にで
きるようにした走査型’、ｔｔ　Ｐ顕微鏡を用いた試料
処理方法ならびに走査型電子ｗＪ微鏡を用いた試料処理
装置を提供することを目的としている。

〔発明の概要〕

本発明による試料処理方法は、第１図に示すように、水
分を含んだ生の試料Ｘを急速に凍結させる工ａＡと、凍
結された試料を真空中にて割断する工程Ｂと１割断され
た試料を真空中で徐々に加熱して試料内の水分を昇壱さ
せる工程Ｃと、水分が除かれた試料を走査型電子顕微鏡
によって観察しながら、試料の必要成分をマニュピレー
タによって切出す工程りとを有するものである。

本発明による試料処理方法では、生の試料Ｘを凍結させ
て割断し、さらに水分を昇華させた状態にて走査型電子
顕微鏡の観察下で処理するので。

試料から必要成分を生に近い状態で確実に取り出すこと
ができるものである。

また１本発明による試料処理装置は、−上記試料処理方
法を実施するためのものであり、急速に凍結された試料
を設置する真空室ならびに試料を割断するカッターが設
けられている凍結割断部と、割断された試料を設置する
真空室ならびに試料を徐々に加熱する加熱部材が設けら
れている昇華部とが、走査型電子顕微鏡の試料室に連設
されているとともに、走査型電子顕微鏡の試料室内には
、水分が昇華された試料を設置する冷却ステージと、こ
の冷却ステージ上に延びて、走査型電子顕微鏡の観察下
にて、試料の必要成分をジノ出すマニュピレータとが設
けられて成るものである。

〔発明の実施例〕

以下、未発１１の実施例を図面によって説明する。

第１図は本発明による試料処理方法の実施例を工程別に
示す説明図、第２図以下は本発明による試料処理装置の
実施例を示すものである。

まず、走査型電子顕微鏡を用いた試料処理装置の構造に
ついて説明する。

第２図は走査型電子顕微鏡の試料室、ならびに試料処理
のための各部分の配置を示すものである。

Ｄｌは走査型電子ｗＪ微鏡の試料室、Ｄ２は試料室Ｄ１
の中央に位置している冷却ステージ、　Ｄ３は工法電子
検出器である。Ｂｌは凍結割断部であリ、Ｃ１は昇華部
である。この凍結割断部Ｂ、と昇華部Ｃ１は共通の真空
室内に配置されている。

Ｅ、は光学式顕微鏡の観察下におけるマニュピレータ処
理部、Ｆ！は導電処理部である。そして、Ｄ４は走査型
電子顕微鏡の観察下におけるミクロマニュピレータ処理
部である。

第３図（イ）（ロ）は試料ホルダを示している。この試
料ホルダｌには、試料設置部１ａ、試料保持針１ｂ、な
らびに必要成分の収納室１ｃが設けられている。試料が
菌°などを含んだ懸濁液である場合には、試料が試料設
置部ｌａ上にて表面張力によって保持される。また、試
料が植物の一部分などである場合には、試料が試料保持
針１ｂによって保持される。この試料ホルダ１の底部に
は固定爪１ｄが設けられている。この試料ホルダｌの固
定爪１ｄは、第３図（ロ）に示す保持部材２によって保
持され、この保持された状態にて、急速凍結工程ＡＣ第
１図参照）において凍結処理される。この急速凍結の一
例としては、試料ホルダｌを液体窒素などに急速に浸漬
させることなどによって行なわれる。そして、急速凍結
後の試料ホルダｌが、第２図に示す各処理Ｗ　Ｂ　ｔ〜
Ｆ１に移行されて処理されることになる。

ここで、外処理部Ｂ、−Ｆ、の具体的構造を説明する。

第４図は凍結割断部Ｂ、と昇華部Ｃ１の構造を示してい
る。この両部Ｂ１とＣＩは共通の真空室１０内に配置さ
れている。この真空室１０内は、！０（〜１０”　ｔｏ
ｒｒ稈度の高真空室である。また、この真空室ｌＯは第
４図の右側に設けられているゲートパルプｉｔを介して
走査型電子顕微鏡の試料室ＤＬに連通されている。一方
、真空室１０の図示左側には予備排気室１２が設けられ
ており、ゲートバルブ１３によって仕切られている。こ
の予＠排気室１２は１Ｏ−２ｔｏｒｒ程度の低真空室で
ある。

予備排気室１２は蓋１４によって閉鎖されており、この
蓋１４から試料交換棒１５が挿入されている。前記試料
ホルダｌは、試料交換棒１５の先端に連結されるテーブ
ル１５ａ上に保持される。

真空室１０内に位置している凍結割断部Ｂ！は、冷却ブ
ロック１６と、カッター１７と、このカンタ−１７を冷
却する冷却部１８とから構成されている。冷却ブロック
１６内には液体窒素Ｎ２が充填されている。前記テーブ
ル１５ａはこの冷却ブロック１６玉に設置される。カッ
ター１７は、−ｈ下回転式あるいは左右回転式のものが
使用され１手動により試料ホルダｌ上の凍結試料Ｘ！を
割断てきるようになっている。また、冷却部１８内には
液体窒素Ｎ２が充填されており、カッター１７が低温に
維持されるようになっている。

符号１９は低倍率の光学式顕微鏡である。この光学式ｗ
Ｊ微鏡１９によって凍結試料Ｘ、の割断状態を観察でき
るようになっている。

昇華部ＣＩは、前記冷却ブロック１６ｈに設けられた加
熱部材２１と、その上に対向しているシを柄部材２２と
から構成されている。加熱部材２１は内部にヒーター２
３を有しており、試料ホルダ１を徐々に加熱できるよう
になっている。昇華部材２２は内部に液体室Ｊ　Ｎ　２
が充填されている。

また、昇華部材２２の外下面は、　Ａｕメッキされたｙ
１壱血２２ａとなっている。前記テーブル１５ａは加８
部材２１」ユに設置され、試料ホルダ１上の凍結試料Ｘ
ｔが昇倍面２２ａに対し微小間隔にて対向するようにな
っている。そして、試料Ｘ！はヒーター２３にて徐々に
加熱され、凍結試料Ｘ。

の割断面の水分がシ１華されるようになっている。

このｙ１華工程では、テーブル１５ａを図の右方向へ徐
々に移行させながら行うことができる。また、凍結試料
Ｘｔと昇華面２２ａとの距離を微調整するために加熱部
材２１を上下方向へ微動させるようにしてもよい、昇華
を必要としない試料を処理することがある場合には、加
熱部材２１を除去できる構造にしてもよい。

第５図は光学式顕微鏡の観察下におけるマニュピレータ
処理部Ｅ１の構造を示すものである。このマニュピレー
タ処理部Ｅ、は、前記昇華部Ｃ。

によって処理された試料を低倍率にてＩｌｌ察しさらに
割断処理する場合などに、必要に応じて使用されるもの
である。第５図における符号３０は真空室であり、３１
は予備排気室である。真空室３０はゲートバルブ３２に
よって走査型電子顕微鏡の試料室ＤＩとの間が仕切られ
ている。また、真空室３０と予備排気室３１は、ゲート
バルブ３３によって仕切られている。予備排気室３１を
ｒＡ鎖する蓋３４には試料交換棒３５が挿入されている
。

この試料交換棒３５の前端に、試料ホルダｌを保持した
前記テーブル１５ａが取付けられるようになっている。

３６は冷却ブロックである。この冷却ブロック３６内に
は液体窒素Ｎ２が充填されており、低温に維持されるよ
うになっている。また、冷却ブロック３６内にはヒータ
ー３７が設けられており、冷却ブロック３６の温度調節
ができるようになっている。冷却ブロック３６１１には
昇降ブロック３８が設けられており、前記テーブル１５
ａはこの昇降ブロック３８ヒに設置されるようになって
いる。符号３９は投影型の光学式ｇＩＩＪ微鏡（以下、
投影型顕微鏡と呼ぶ）であり、その対物レンズ４１は真
空室３０内にて試料ホルダ１上に対向している。この対
物レンズ４１は作動距離の大きいものが使用されており
、試料ホルダ１との間に１０ＩＩ−程度の間隔が確保で
きるようになっている。また、対物レンズ４１の焦点距
離は、前記昇降ブロック３８の一ヒ下動によって合わさ
れるようになっている。

真空室３０内には手動のマニュピレータ４２が挿入され
ている。このマニュピレータ４２の先端には断熱材４２
ｂを介して処理部材４２ａが設けられている。この処Ｊ
！！！部材４２ａによって試料ホルダｌ上の凍結試料Ｘ
、などを再度割断処理できるようになっている。好まし
くは、マニュピレータ４２を複数本設け、各マニュピレ
ータ４２の処理部材４２ａとして、ナイフ、ニー１ル、
ビンセットなどを別々に備えるのがよい、このマニュピ
レータ４２による処理が、投影型ｍ微鏡３９のスクリー
ン３９ａに写し出されるようになっている。

第６図は導電処理部Ｆｌの構造を示すものである。符号
５０は真空室であり、ゲートバルブ５１によって走査型
電子ｍ微鏡の試料室ＤＩ　との間が仕切られている。５
２は予備排気室であり、真空室５０との間がゲートバル
ブ５３によって仕切られている。予備排気室５２の蓋５
４には、試料交換棒５５が挿入されており、前記テーブ
ル１５ａが試料交換棒５５の先端に取付けられるように
なっている。真空室５０内には冷却ブロック５６が設け
られている。冷却ブロック５６には液体窒素Ｎ２が充填
されているとともに、ヒーター５７が設けられて、温度
調節ができるようになっている。試料ホルダｌを保持し
ているテーブル１５ａは、前記試料交換棒５５によって
冷却ブロック５６内に導かれる。

真空室５０の丘にはロッド交換室６０が設置されており
、真空室５０との間がゲートバルブ６１によって仕切ら
れている。このロッド交換室６゜内には、カーボンロッ
ド６２と、これに電圧を付与する電極６３が設けられて
いる。この導電処理部Ｆ、では、カーボンロッド６２を
加熱することによって、試料ＸＩに対する導電処理を行
なうことができるようになっている。なお、このカーボ
ンロッド６２の代わりにイレクトロンポンバーガンを設
置してもよい。

第７図は走査型′電子顕微鏡の試料室Ｄｌ内を示すもの
である。この試料室Ｄ１の中央に位置している冷却ステ
ージＤ２は液体窒素Ｎ２によって冷却されている。なお
、図示は省略するが、この冷力】ステージＤｚ上に、１
Ｉ１２７１される前記テーブル１５ａは、回転方向なら
びに角度を可変できるように外部から調整ｕ丁能となっ
ている。そして、この冷却ステージＤ２は走査用電子ビ
ームの通路７１に対向している。また、前記二次電子検
出器Ｄ３は試料室Ｄ１内に臨まされている。また、前記
各処理部Ｂｌ　　、ＣＩ　　＋　”ｌならびにＦｌは、
第２図に示すように、冷却ステージＤ２を中心として放
射状に配置されている。そして、各部に設けられた試ネ
４交換棒１５．３５ならびに５５は、冷却ステージＤ２
　トへ伸びることができるようになっている。

第８図は走査型電子顕微鏡の観察下におけるミクロマニ
ュピレータ処理部Ｄ４の構造を示すものである。符−）
８０はミクロマニュピレータ交換室である。このミクロ
マニュピレータ交換室８０は、ゲートバルブ８１によっ
て試料室Ｄ１から仕切られている。また、ミクロマニュ
ピレータ交換室８０には予備排気装置（図示せず）が連
設されている。ミクロマニュピレータ交換室８０内には
、ミクロマニュピレータ８２が設けられている。このミ
クロマニュピレータ８２は、駆動部８３によって進退動
作、ならびにＸ−Ｙ動作などができるように駆動されて
いる。この駆動部８３は、パルスモータなどを動力源と
しており、マイクロコンピュータの演算指令などに応じ
て、ミクロマニュピレータ８２が極めて微細な距離の動
作をできるようになっている。

ミクロマニュピレータ８２の先端には、断熱材８４を介
して、処理部材８５が設けられている。

第９図（イ）〜（ホ）は処理部材８５を種類別に示して
いる。この各図に示す処理部材８５は、心安に応じてミ
クロマニュピレータ８２に装着できるようになっている
。ｆ１処理部材８５はＡｕメッキを施したタングステン
などによって作成されている。（イ）図に示すものは、
ｆ板状のものに１〜・２ｐ程度のピンホールが穿設され
ているものである。（ロ）図に示すものは、ミクロピン
セットである。（ハ）図に示しているものは、先端に楕
円形状の切欠きを有しているものである。（ニ）図に示
しているものは、ミクロド゛リルであり、先端にダイヤ
モンド微粉が付着されている。（ホ）は先端が鋭く形成
されたミクロニードルである。

次に、前記試料処理装置を使用した試料処理方法を説明
する。

この試料処理方法の全体の１程は、第１図に示すように
、水を含んだ生の試料Ｘを急速凍結する工程Ａ、凍結さ
れた試料を真空状態で割断する工程Ｂ、割断された試料
の水分を昇華させる工程Ｃ１昇華された後の試料を光学
式顕微鏡の観察下においてマニュピレータでラフに処理
する工程Ｅ、ラフな処理後の試料に導電処理を施す工程
Ｆ、さらに走査型電子顕微鏡の観察五においてミクロマ
ニュピレータによる処理を行なって試料から菌糸などの
必要成分を取り出す工程Ｄ、の各［程から成るものであ
る。

以下、各工程を詳細に説明する。

まず、第３図に示す試料ホルダＩに試料を保持させる。

試料が菌などを含んだ懸濁液である場合には、試料設置
部１ａに表面張力によって付着させる。また、試料が植
物などの一部分である場合には、保持針１ｂに保持さ°
せる。

急速凍結工程Ａでは、上記試料ホルダ１を液体窒素など
へ急速に浸漬させ、マイナス二百数十度の低温内にて試
料Ｘを急速に凍結させる。

８Ｖ結：Ｉ；ｌ断工程Ｂと昇華工程Ｃは、第４図に示す
凍結割断部Ｂｌ、ならびに娃華部Ｃ，内にて行なう、す
なわち、急速凍結された試料Ｘ、を保持している試ネ４
ホルダｌは、テーブル１５ａ−ヒに保持され、試ネ１交
換棒１５を伸ばすことによって、真空室１０内の冷却ブ
ロック１６−１−に供給される。

′Ｊｄｉｆ＃（ｋｌＷｅ、ＨＱ、−ｙｓＩＡμｔｒｒｆ
ａ４１／−１１に’４ｆ１７１％ＩＰット１４’？−１
１）ろへ却カッター１７が操作され、試料ホルダ１上の
凍結試料ｘｌがランダムに割断される。この割断操作は
、カッター１７による−に下方向の回転、あるいは水モ
方向の回転によって連続的に行なわれる。また、割断処
理後の試料Ｘ１は、直らに光学式顕微鏡１９によって観
察される。この光学式顕微鏡１９による観察を行なうこ
とにより、凍結試料Ｘ、内の菌糸などの必要成分がなる
べく割断面に残るように割断処理できることになる。凍
結試料Ｘ＋　のうちの不要部分はこの割断処理の段階で
除去される。

次に、テーブル１５ａをＦ／華部Ｃ１の加熱部材２１１
に進行させ、凍結試料ｘ１の割断面を昇華１ｉ’！１２
２ａｃｇ小間隔で対向させながら、ヒーター？３で徐々
に加熱し、試料Ｘ【内の水分を昇華させる。なお、昇や
状態を知るため、一定時間加熱後に、テーブル１５ａを
再１ｆ光学式ｙｒＪ微鏡１９の下へ移動させ観察しても
よい、この観察の便宜を図るため、光学式顕微鏡１９を
、凍結割断部Ｂ。

と昇崩部Ｃ１の中間に配首してもよい。

光学式顕微鏡の観察下におけるマニュピレータ処理工程
Ｅは、必要な場合にのみ行なわれる。この工程Ｅに移行
するためには、昇華部Ｃ１上のテーブル１５ａを試料交
換棒１５によって進出させ、一旦テーブル１５ａを試料
室り、内の冷却ステージＤ２上に設置する。そして、第
５図に示す光学式顕微鏡によるマニュピレータ処理部Ｅ
１の試料交換棒３５を伸ばして冷却ステージＤ２上のテ
ーブル１５ａに連結し、このテーブル１５ａを処理ｉ’
ｉｌｌ　Ｅ　ｌ内の昇降ブロー７り３８上に設こする。

そして、投影型顕微鏡３９によって観察しながら、マニ
ュピレータ４２によって凍結試料Ｘ！をさらに割断し、
試料の中の必要成分の周囲部分のみを残し、不要部分を
除去する。

次に、導電処理工程Ｆは、前記処理工程Ｅによってラフ
に割断処理された試料に導電処理が必要な場合にのみ行
なわれる。この工程では、第５図の処理部Ｅ！による処
理が行なわれた後、試料交換棒３５によってテーブル１
５ａが冷却ステージＤ２に戻される。そして、第６図に
示す導電処理部Ｆｌ内の試料交換棒５５によってテーブ
ル１５ａは冷却ブロック５６内に導かれる。この導電処
理部Ｆ１では、ゲートバルブ５１と５３が閉鎖され、真
空下にてゲートバルブ６１が開かれる。

そして、カーボンロッド６２に電圧が付与され。

カーボンロッド６２から放出される炭素粒子が凍結試料
Ｘ、にコーティングされる。この導電処理工程Ｆが完了
した後、試料交換棒５５により、テーブル１５ａは試料
室ＤＩ内の冷却ステージＤ２上に戻される。

そして、走査型電子顕微鏡の観察下におけるミクロマニ
ュピレータによる処理工程りが行なわれる。この工程で
は、第８図において、ミクロマニュピレータ８２の先端
に必要な処理部材８５が装着された後、交換室８０内が
予備排気され、ゲートバルブ８１が開放される。そして
、ミクロマニュピレータ８２がマイクロコンピュータな
どの指令に応じてパルスモータにて駆動され、処理部材
８５が凍結試料Ｘ、上へ進出する。そして、走査型電子
顕微鏡のディスプレイによって観察しながら、処理部材
８５によって試料ｘ１内から菌糸などの必要成分を取り
出す作業が行なわれる。

この作業は、：Ｓ９図（イ）〜（ホ）に示す各種形状の
処理部材８５を隨時交換して使用することによって行な
われる０例えば、（ニ）図に示す処理部材によって試料
表面が削られる。また、（イ）図や（ハ）図に示す処理
部材によって、試料から菌糸などが引き出され、あるい
は切断される。また、　　（ｃｌ）図に示すミクロピン
セットによって菌糸などを引き出されることも行なわれ
る。このようにして、試料から取り出された必要成分は
（ホ）図に示すミクロニードルによって刺され。

必要成分が試料から分離されて試料ホルダｌの収納室ｌ
ｃ内に収納される。

以Ｅの処理が完了した後、試料室Ｄｌ内から試料ホルダ
ｌが取り出され、収納室ＩＣ内の必要成分が研究や培養
などの対象として使用される。

また、第１図に示すように、前記処理装置では、乾燥試
料Ｘ　ｏ　を処理することもできる。この観察下におけ
るマニュピレータ処理「程Ｅへ移行され、この「程Ｅに
てラフな割断処理が行なわれる。そして、導電処理工程
Ｆを経た後、ミクロマニュピレータによる処理工程りへ
移行されることになる。

〔発明の効果〕

以ｌ−のように本発明による走査型電子顕微鏡を用いた
試料処理方法によれば、水分を含んだ生の試ネ１を急速
に凍結させ、これを真空中にて割断し、さらに水分を針
柄させた後に、走査型電子顕微鏡によって観察しながら
試料の必要成分を切出しているので、菌糸などの微小成
分を生に近い状７ｇで取り出すことができるようになる
。よって。

この必要成分を培養、あるいはさらに高度な解析を行な
うなど種々の研究に利用できるようになる。

また１本発明による走査型電子顕微鏡を用いた試料処理
装置によれば、生の試料から必要成分を取り出す作業を
一連の作業にて正確にできるようじなス− 特に、図の実施例に示すように、凍結割断部、ｄｔＰ部
、導電処理部などを走査型電子顕微鏡の試料室の周囲に
放射状に配置すれば、一定の真空条件下にて連続して正
確な処理作業を行なうことができるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による走査型電子顕微鏡を用いた試料処
理方法の実施例を示す工程図、第２図以下は本発明によ
る走査型型：ｆ−顕微鏡を用いた試料処理装置の実施例
を示すものであり、第２図は走査型電子顕微鏡の試料室
と各処理部の配置を示すモ面図、第３図（イ）は試料ホ
ルダの平面図、第３図（ロ）はその側面図、第４図は凍
結割断部と針柄部の構造を示す側面図、第５図は光学式
顕微鏡の観察下におけるマニュピレータ処理部を示す側
面図、第６図は導電処理部を示す側面図、第７図は走査
型電子ｗＪｌｉ１鏡の試料室および冷却ステージを示す
側面図、第８図は走査型電子顕微鏡の観察ドにおけるミ
クロマニュピレータの処理部を示す側面図、第９図は（
イ）〜（ホ）はミクロマニュピレータの処理部材を種類
別に示す平面図である。 Ｘ・・・含水試料、Ａ・・・急速凍結工程、Ｂ・・・凍
結割断工程、Ｂ、・・・凍結割断部、ｌ・・・試料ホル
ダ、ｌＯ・・・真空室、１５ａ・・・テーブル、１６・
・・冷却プロ・ツク、１７・・・カッター、１８・・・
冷却部材、Ｃ・・・１＋華工程、Ｃ！・・・昇華部、２
１・・・加熱部材、２２ａ・・・昇華面、Ｅ・・・光学
式顕微鏡の観察下におけるマニュピレータ処理工程、Ｅ
ｌ・・・光学式顕微鏡の観察下におけるマニュピレータ
処理部、３０・・・１空室、３６・・・冷却ブロック、
３９・・・投影型顕微鏡、４２・・・マニュピレータ、
Ｆ・・・導電処理工程、Ｆ、・・・導電処理部、５０・
・・真空室、５６・・・冷却ブロック、６２・・・カー
ボンロッド、Ｄ・・・走査型型ｆｗＪ微鏡の観察下にお
けるミクロマニュピレータ処理工程、Ｄ！・・・走査型
電子顕微鏡の試料室、Ｄ２・・・冷却ステージ、Ｄ３・
・・二次電子検出器、Ｄ４・・・ミクロマニュピレータ
処理部、８２・・・ミクロマニュピレータ、８５・・・
処理部材。 第２図 第３図 第４図 第５図 第８図 第９図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）水分を含んだ生の試料を急速に凍結させる工程と
   、 凍結された試料を真空中にて割断する工程 と、 割断された試料を真空中で徐々に加熱して試料内の水分
   を昇華させる工程と、 水分が除かれた試料を走査型電子顕微鏡によって観察し
   ながら、試料の必要成分をマニュピレータによって切出
   す工程と、 を有して成る走査型電子顕微鏡を用いた試料処理方法。
2. （２）急速に凍結された試料を設置する真空室、ならび
   に試料を割断するカッターが設けられている凍結割断部
   と、 割断された試料を設置する真空室、ならびに試料を徐々
   に加熱する加熱部材が設けられている昇華部と、 が走査型電子顕微鏡の試料室に連設されているとともに
   、 走査型電子顕微鏡の試料室内には、 水分が昇華された試料を設置する冷却ステージと、 この冷却ステージ上に延びて、走査型電子顕微鏡の観察
   下にて、試料の必要成分を切出すマニュピレータと、 が設けられて成る走査型電子顕微鏡を用いた試料処理装
   置。