DE2102922C3 - Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte - Google Patents

Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte

Info

Publication number
DE2102922C3
DE2102922C3 DE2102922A DE2102922A DE2102922C3 DE 2102922 C3 DE2102922 C3 DE 2102922C3 DE 2102922 A DE2102922 A DE 2102922A DE 2102922 A DE2102922 A DE 2102922A DE 2102922 C3 DE2102922 C3 DE 2102922C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
mark
invisible
plane
arrangement according
image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2102922A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE2102922A1 (de
DE2102922B2 (de
Inventor
Guenter 6301 Fellingshausen Reinheimer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems Holdings GmbH
Original Assignee
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ernst Leitz Wetzlar GmbH filed Critical Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority to DE2102922A priority Critical patent/DE2102922C3/de
Priority to US00218335A priority patent/US3721827A/en
Priority to CH62772A priority patent/CH539274A/de
Priority to GB237172A priority patent/GB1355472A/en
Priority to AT43772A priority patent/AT349786B/de
Priority to FR7202072A priority patent/FR2122590B1/fr
Publication of DE2102922A1 publication Critical patent/DE2102922A1/de
Publication of DE2102922B2 publication Critical patent/DE2102922B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2102922C3 publication Critical patent/DE2102922C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/241Devices for focusing
    • G02B21/245Devices for focusing using auxiliary sources, detectors
    • G02B21/247Differential detectors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
DE2102922A 1971-01-22 1971-01-22 Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte Expired DE2102922C3 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2102922A DE2102922C3 (de) 1971-01-22 1971-01-22 Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte
US00218335A US3721827A (en) 1971-01-22 1972-01-17 Arrangement for automatically focussing an optical instrument
CH62772A CH539274A (de) 1971-01-22 1972-01-17 Verfahren zum selbsttätigen Fokussieren von Mikroskopen
GB237172A GB1355472A (en) 1971-01-22 1972-01-18 Arrangement for focussing
AT43772A AT349786B (de) 1971-01-22 1972-01-19 Vorrichtung an optischen geraeten - ins- besondere an mikroskopen - zum selbsttaetigen scharf-einstellen auf zu betrachtende objekte
FR7202072A FR2122590B1 (enExample) 1971-01-22 1972-01-21

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2102922A DE2102922C3 (de) 1971-01-22 1971-01-22 Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2102922A1 DE2102922A1 (de) 1972-09-21
DE2102922B2 DE2102922B2 (de) 1977-12-22
DE2102922C3 true DE2102922C3 (de) 1978-08-24

Family

ID=5796619

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2102922A Expired DE2102922C3 (de) 1971-01-22 1971-01-22 Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte

Country Status (6)

Country Link
US (1) US3721827A (enExample)
AT (1) AT349786B (enExample)
CH (1) CH539274A (enExample)
DE (1) DE2102922C3 (enExample)
FR (1) FR2122590B1 (enExample)
GB (1) GB1355472A (enExample)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3328821A1 (de) * 1983-08-10 1985-02-28 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Autofokus fuer mikroskope
DE102010030430A1 (de) * 2010-06-23 2011-12-29 Leica Microsystems Cms Gmbh Autofokuseinrichtung für Mikroskope und geeignete Autofokus-Aperturblenden

Families Citing this family (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AR205243A1 (es) * 1972-05-11 1976-04-21 Philips Nv Aparato para la lectura de un portador de grabacion reflector plano
AT353497B (de) * 1972-05-23 1979-11-12 Leitz Ernst Gmbh Vorrichtung an mikroskopen, zum automatischen fokussieren des geraetes auf unterschiedliche objekt-ebenen
DE2423136C3 (de) * 1974-05-13 1982-07-29 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Vorrichtung zur automatischen Fokussierung von Stereomikroskopen
US3946222A (en) * 1975-04-18 1976-03-23 Xerox Corporation Automatic focus with variable magnification
FR2325953A1 (fr) * 1975-09-29 1977-04-22 Thomson Brandt Senseur optique de focalisation et dispositif de focalisation comportant un tel senseur
GB1603596A (en) * 1977-06-06 1981-11-25 Mca Disco Vision Optical transducer and focusing system
US4230940A (en) * 1977-07-22 1980-10-28 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Automatic focusing apparatus
USD257358S (en) 1978-04-18 1980-10-14 American Optical Corporation Body and illuminator of a tissue culture microscope
USD257357S (en) 1978-04-18 1980-10-14 American Optical Corporation Body of a tissue culture microscope
JPS59802B2 (ja) * 1978-09-11 1984-01-09 株式会社保谷硝子 自動焦点可能な双眼鏡光学系
DE2902962A1 (de) * 1979-01-26 1980-08-07 Leitz Ernst Gmbh Mikroskop
JPS5853523Y2 (ja) * 1979-11-06 1983-12-06 オリンパス光学工業株式会社 顕微鏡の自動焦点装置
US4406526A (en) * 1980-05-19 1983-09-27 Vickers Limited Focusing of optical viewing apparatus
JPS57158826A (en) * 1981-03-27 1982-09-30 Nippon Kogaku Kk <Nikon> Automatic focusing device for stereoscopical microscope
JPS5821222A (ja) * 1981-07-31 1983-02-08 Olympus Optical Co Ltd 双眼実体顕微鏡
USD273592S (en) 1981-08-26 1984-04-24 Warner Lambert Technologies, Inc. Microscope
DE3219503C2 (de) * 1982-05-25 1985-08-08 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Vorrichtung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte
DE3410201A1 (de) * 1983-03-22 1984-10-04 Olympus Optical Co., Ltd., Tokio/Tokyo Mikroskop
US4609814A (en) * 1983-06-20 1986-09-02 Tokyo Kogaku Kikai Kabushiki Kaisha Control for operation microscopes
DE3339970A1 (de) * 1983-11-04 1985-05-15 Karl Süss KG, Präzisionsgeräte für Wissenschaft und Industrie GmbH & Co, 8046 Garching Einrichtung zum automatischen fokussieren von optischen geraeten
USD299357S (en) 1985-02-14 1989-01-10 Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz Microscope
US4677286A (en) * 1985-02-14 1987-06-30 Quantronix Corporation Method and apparatus for autofocusing a microscope
US4687913A (en) * 1985-11-25 1987-08-18 Warner Lambert Technologies, Inc. Microscope autofocus system
JPH07107481B2 (ja) * 1987-05-21 1995-11-15 アンリツ株式会社 変位測定装置
DE3739223A1 (de) * 1987-11-19 1989-06-01 Reichert Optische Werke Ag Verfahren zur autofokussierung von mikroskopen und mikroskope mit einer autofokussierung
US4843603A (en) * 1988-03-11 1989-06-27 Optotech, Inc. Concentric photodetector arrangement for focusing and tracking
JP2966514B2 (ja) * 1990-11-19 1999-10-25 オリンパス光学工業株式会社 焦準機構付き顕微鏡
JPH05142462A (ja) * 1991-11-18 1993-06-11 Olympus Optical Co Ltd 合焦装置
US5483079A (en) * 1992-11-24 1996-01-09 Nikon Corporation Apparatus for detecting an in-focus position of a substrate surface having a movable light intercepting member and a thickness detector
JPH0772378A (ja) * 1993-09-02 1995-03-17 Nikon Corp 合焦装置
JPH08254650A (ja) * 1995-03-15 1996-10-01 Nikon Corp 焦点検出装置
US5818637A (en) * 1996-02-26 1998-10-06 Hoover; Rex A. Computerized video microscopy system
JP3861357B2 (ja) * 1997-03-10 2006-12-20 株式会社ニコン 光学装置と一体化された顕微鏡用レボルバおよび顕微鏡
GB9705105D0 (en) 1997-03-12 1997-04-30 Brown & Sharpe Limited Optical surface measurement apparatus and methods
US6974938B1 (en) 2000-03-08 2005-12-13 Tibotec Bvba Microscope having a stable autofocusing apparatus
DE10106698A1 (de) 2001-02-14 2002-08-29 Leica Microsystems Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Fokussieren eines optischen Gerätes
USD465799S1 (en) 2001-02-27 2002-11-19 Olympus Optical Co., Ltd. Microscope
JP4370554B2 (ja) * 2002-06-14 2009-11-25 株式会社ニコン オートフォーカス装置およびオートフォーカス付き顕微鏡
USD477008S1 (en) 2002-08-06 2003-07-08 Olympus Optical Co., Ltd. Microscope
CN101061429B (zh) * 2003-04-10 2015-02-04 株式会社尼康 包括用于沉浸光刻装置的真空清除的环境系统
KR101369582B1 (ko) 2003-04-17 2014-03-04 가부시키가이샤 니콘 액침 리소그래피에서 이용하기 위한 오토포커스 소자의 광학적 배열
US7411653B2 (en) 2003-10-28 2008-08-12 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus
JP2005266083A (ja) * 2004-03-17 2005-09-29 Olympus Corp 観察装置及び観察方法
USD525636S1 (en) * 2005-01-27 2006-07-25 Leica Microsystems Cms Gmbh Microscope
JP4923541B2 (ja) 2005-11-30 2012-04-25 株式会社ニコン 顕微鏡
US7348528B2 (en) * 2005-12-20 2008-03-25 Marshall Daniel R Distance measuring system
USD607030S1 (en) * 2008-06-24 2009-12-29 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Microscope
USD646704S1 (en) * 2010-03-29 2011-10-11 Olympus Corporation Microscope lens barrel
USD673199S1 (en) * 2011-06-30 2012-12-25 Nikon Corporation Base with a light source for operation of a microscope
USD672800S1 (en) * 2011-06-30 2012-12-18 Nikon Corporation Microscope
EP3441812B1 (en) 2017-08-11 2020-07-01 Tecan Trading Ag Pattern based autofocus method for a microscopy
FR3076911A1 (fr) 2018-01-16 2019-07-19 Francois Perraut Dispositif d’eclairage de microscope permettant de mesurer un defaut de mise au point
US10247910B1 (en) * 2018-03-14 2019-04-02 Nanotronics Imaging, Inc. Systems, devices and methods for automatic microscopic focus
DE102019113975B4 (de) 2019-05-24 2023-10-19 Abberior Instruments Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen des Fokuszustands eines Mikroskops sowie Mikroskop
USD1048134S1 (en) * 2022-10-08 2024-10-22 Weiyi Xiao Microscope

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2968994A (en) * 1956-04-23 1961-01-24 Polaroid Corp Automatic focusing devices and systems
US3639048A (en) * 1970-07-23 1972-02-01 Eastman Kodak Co Automatic ranging and focusing projector

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3328821A1 (de) * 1983-08-10 1985-02-28 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Autofokus fuer mikroskope
DE102010030430A1 (de) * 2010-06-23 2011-12-29 Leica Microsystems Cms Gmbh Autofokuseinrichtung für Mikroskope und geeignete Autofokus-Aperturblenden

Also Published As

Publication number Publication date
DE2102922A1 (de) 1972-09-21
AT349786B (de) 1979-04-25
DE2102922B2 (de) 1977-12-22
GB1355472A (en) 1974-06-05
US3721827A (en) 1973-03-20
ATA43772A (de) 1978-09-15
CH539274A (de) 1973-07-15
FR2122590A1 (enExample) 1972-09-01
FR2122590B1 (enExample) 1976-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2102922C3 (de) Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte
DE2015899C3 (de) Kamera mit koordinierter Blenden- und Entfernungseinstellung
DE19549048B4 (de) Teleskop mit Innenfokussierung
DE2415319B2 (de) Kamera zur aufnahme des augenhintergrundes
DE2226964C3 (de) Fokussiereinrichtung für optische Instrumente
DE3001244A1 (de) Fokussierungssystem fuer eine augengrundkamera
DE3328821C2 (de) Autofokus für Mikroskope
DE2732634A1 (de) Vorrichtung zur automatischen fokussierung von endoskopen
DE2056014A1 (de) Automatische Scharfeinstellvornchtung fur fotografische Kameras
DE10234757B4 (de) Autofokusmodul für Mikroskopbasierte Systeme
DE2710695C2 (de) Einäugige Spiegelreflexkamera
DE2731947C3 (de) Photographische Kamera mit einer einen zusätzlichen Strahlengang enthaltenden Einrichtung
DE3242716A1 (de) Optisches bildformungsgeraet
DE3142556C2 (de) Einrichtung zur Feststellung der Scharfeinstellung für eine einäugige Spiegelreflexkamera
DE2609877A1 (de) Optische anordnung zur benutzung von sensoren
DE3639497C3 (de) Vorrichtung zur Feststellung des Scharfeinstellzustandes eines optischen Abbildungssystems
DE2041237B2 (de) Automatische Scharfeinstellvorrichtung für Kameras oder dergleichen
DE3031822C2 (enExample)
DE3116380C2 (de) Augenhintergrund-Kamera
DE3423142A1 (de) Vorrichtung zur schaerfeermittlung
DE3708647C2 (enExample)
DE2108721A1 (de) Photographische Kamera
DE19744131A1 (de) Ophthalmologisches fotografierendes Instrument
DE7102307U (de) Anordnung zum selbsttaetigen fokussieren auf in optischen geraeten zu betrachtende objekte
DE3041768A1 (de) Entfernungsnachweiseinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: WILD LEITZ GMBH, 6330 WETZLAR, DE