DE2049462A1 - Verfahren zum Aufdampfen gegeneinander isolierter Metallschichten - Google Patents

Description

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AnmelJ-gvo«« 7. Okt. 1970 Va/ WJM.

Verfahren zum Aufdampfen gegeneinander isolierter Metallschichten.

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Aufdampfen gegeneinander isolierter Metallschichten auf eine isolierende Oberfläche, bei dem die unterschiedlichen Metallschxchten mittels\vorher in der isolierenden Oberfläche angebrachter Nuten voneinander getrennt sind.

Die Erfindung bezieht sich insbesondere auf

ein Verfahren zum Anbringen von Elektroden auf der Innenwand des Kolbens einer elektrischen Entladungsröhre.

Es ist aus der britischen Patentschrift 513*155 bekannt, leitende Schichten auf der Wand eines Isolierkörpers anzubringen, wobei Schichten, die verschiedene Elektroden bilden, durch in der isolierenden Grundschicht angebrachte

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Nuten voneinander getrennt sind. Die Schichten bestehen aus Graphit und werden nicht durch Aufdampfen angebracht.

Nach der USA Patentschirift 2.957.999 werden Nuten in isolierenden Zentriergliedern angebracht, um die Bildung von Leckwegen durch Metalldampfniederschlag zu vermeiden. Der Metalldampf l'rtihrt dabei vondden Elektroden her und ist daher besonders dünn, während ferner die gegebenenfalls niedergeschlagenen mehr oder weniger leitenden Schichten äusserst dünn sein werden. Es hat sich herausgestellt, dass, wenn als Elektroden dienende gut leitende Metallschichten mit einer Dicke von etwa O,1 /um durch Aufdampfen angebracht wenden, derartige Nuten die Schichten in ungenügendem Masse voneinander trennen, weil eine geringe Metalldampfmenge bis an den Grund der Nuten gelangen kann, es sei denn, dass die Tiefe der Nuten in bezug auf ihre Breite gross gemacht wird. Tiefe Nuten lassen sich aber im allgemeinen nur mit grossen Schwierigkeiten und häufig gar nicht anbringen, insbesondere nicht, wenn die Nuten in der Wand eines Vakuumgefässes angebracht werden müssen, weil die Festigkeit der Wand dann zu stark verringert wird.

Wenn die unterschiedlichen Metallschichten ausserdem hohe Potentialunterschiede aufweisen, ist es wichtig, dass auch die Seitenwände einer Nut nicht mit Metallniederschlag überzogen werden, damit eine genügend lange Isolierstrecke erhalten wird.

Die erwähnten Schwierigkeiten und Nachteile werden bei einem Verfahren zum Aufdampfen derartiger Metall-

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schichten vermieden, wenn nach der Erfindung zuvor ein Gegenstand in die Nuten eingeführt wird, der das Niederschlagen von Metall in den Nuten verhindert und der nach dem Aufdampfen der Metallschichten aus den Nuten entfernt werden kann. Da die Wand beim Aufdampfen der Metallschichten heiss wird, müssen die in die Nuten eingeführten Gegenstände hitzbeständig sein. Es hat sich herausgestellt, dass sich besonders vorteilhaft Metallfedern verwenden lassen, bei denen, wenn mehrere Windungen benutzt werden, diese Windungen aneinander anliegen. Derartige Federn drücken sich ausserdem infolge ihrer Federwirkung gut in die Nuten ein.

Die Erfindung wird nachstehend an Hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Schnitt durch eine Bildaufnahmeröhre mit nach der Erfindung angebrachten Metallschichten,

Fig. 2 einen Schnitt durch einen. Teil der

Röhrenwand mit einer Nut vor dem Aufdampfen der Metallschichten, und

Fig. 3 eine andere Ausführungsform eines in eine Nut eingeführten Körpers.

In Fig. 1 bezeichnet 1 die zylindrische Wand

einer Bildaufnahmeröhre vom "Vidikon"-Typ, 2 einen Bodenteil mit Kontaktstiften 3 und 4 ein Fenster mit einer photoleitenden Schicht. In der Röhre 1 ist ein Elektronenstzrahlerzeugungssystem 5 angebracht.

Die Elektroden für die Elektronenlinse bestehen aus Metallschichten 6, 7 und 8, die auf der Innenseite der

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Röhrenwand 1 durch Aufdampfen angebracht sind. Die Schicht 6 ist mit einer Anode des Elektronenstrahlerzeugungssystems 5 verbunden, während die Elektroden 7 und 8 mittels eingeschmolzener Kontaktstreifen 13 an die benötigten Potentiale gelegt werden können. Die Schichten 6, 7 und 8 sind durch Nuten 9 voneinander getrennt.

Wie in den Figuren 2 und 3 angegeben ist, werden ™ bei der Herstellung der Röhre zunächst die Nuten 9 in dem Glaszylinder 1 gesägt oder geschliffen. Die Nuten haben z.B. eine Breite von 0,5 mm und eine Tiefe von 1,0 mm. Die Röhrenwand hat z.B, eine Dicke von 2 mm, während der Innendurchmesser der Röhre 1 z.B. 12 mm beträgt.

Nach Anbringung der Nuten 9 wird nach Fig. 2

in jeder Nut eine Metallfeder 10 angeordnet. Die Federn haben die Form einer Sicherungsfeder, deren Enden nach innen abgebogen sind; sie schirmen die ganze Innenoberfläche der fe Nut 9 gegen Metallniederschlag ab, der durch Verdampfen der Glühfäden 11 auf der Innenwand der Röhre 1 abgelagert wird. Die Glühfäden 11 können an verschiedene Potentiale gelegt sein, so dass die Metallschichten 6, 7 und 8 durch Zerstäubung angebracht werden. Eine Anzahl von Glühfaden 11 kann durch Stromdurchgang parallel verdampft werden. Nach Anbringung der Metallschichten 6, 7 und 8 können die Federn 10 entfernt werden. Nach Fig. 3 wird eine Spiralfeder 1^ mit drei aneinander anliegenden Windungen verwendet, während ein einziger Verdampfungsdraht 12 vorhanden ist.

Statt Federn 10, 14 könnemaurh andere Körper,

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wie ein biegsamer Kunststoff-»·, Gummi- oder Asbestring, in die Nuten 9 gesetzt werden; das Anbringen von Federn 10,14 ist jedoch einfacher. Die Nuten können nicht mit einer Masse ausgefüllt werden, die nachher durch Schmelzen oder Verdampfen entfernt werden muss, weil die Metallschichten 6, 7 und 8 dann verunreinigt und beschädigt werden können. Die Metallschichten 6, 7 und 8 werden z.B. in einer Dicke von 0,1 /um angebracht, weil dann der Widerstand genügend niedrig ist und der Unterschied zwischen den Ausdehnungskoeffizienten des Isoliermaterials der Wand 1 und des Metalls der Schichten 6, 7 und 8 keine Schwierigkeiten bereitet.

Das Aufdampfen erfolgt vorzugswe&se-'im Vakuum, aber kann auchiin einer inerten Gasatmosphäre stattfinden. Die Massnahme nach der Erfindung kann nicht nur beim Aufdampfen, sondern auch beim Anbringen von Metallschichten durch Zerstäubung angewandt werden.

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Claims (2)

1. PHN. 4395. - 6 - PATENTANSPRtJ CIlH E .

   1 .J Verfahren zum Anbringen voneinander getrennter

   Metallschichten auf einer isolierenden Oberfläche durch Aufdampfen oder Zerstäubung, bei dem die unterschiedlichen Metallschichten durch vorher in der Oberfläche angebrachte' Nuten voneinander getrennt werden, dadurch gekennzeichnet,

   P dass vorher ein Gegenstand in die Nuten eingeführt wird, der das Niederschlagen von Metall in den Nuten verhindert und nach dem Anbringen der Metallschichten aus den Nuten entfernt wird.
2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass vorher eine Metallfeder in eine Nut eingeführt wird.

   3· Elektrische Entladungsröhre mit mindestens

   zwei Elektroden, die aus durch das Verfahren nach Anspruch

   fc 1 oder 2 auf einer isolierenden Oberfläche angebrachten Metallschichten bestehen.

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