DE659554C - Verfahren zur Herstellung von Elektronenroehren - Google Patents

Description

Die Erfindung bezweckt eine weitere Verbesserung des Verfahrens zur Herstellung von hochevakuierten Elektronenröhren, bei welchen eine Gettersubstanz vor der Zerstäubung entgast und getrennt von den Systemteilen .erhitzt und zerstäubt werden kann, durch Herstellung eines gasfreien Getterniederschlages auf der Anode, der bei einer betriebsfertigen, z. B. an einem Empfangsapparat montierten Röhre jederzeit eine Nachevakuierung gestattet. Eine solche Nachevakuierung erweist sich insbesondere als notwendig bei Elektronenröhren mit Oxydkathoden, soweit diese durch Eintauchen in ein Bad oder durch Aufschmieren in Pastenform die Oxydschicht erhalten haben, weil solche Elektronenröhren im Betrieb Gas abgeben.

Aber auch für Elektronenröhren, die im Metalldampf hergestellte Kathoden besitzen, kann das erfindungsgemäße Verfahren zur Nachevakuierung vorteilhaft sein.

Erfindungsgemäß ist eine zweimalige Zerstäubung eines Getters vorgesehen. Die erste Zerstäubung dient dazu, alle Restgase in der Röhre zu binden, ohne daß ein Getterniederschlag auf .der Anode erfolgen kann, während die zweite Zerstäubung dazu dient, nach Bindung aller Restgase auf der Anode einen Getterniederschlag herzustellen, der völlig gasfrei ist.

Das Verfahren der Erfindung kann mit einer einzigen Gettersubstanz in der Weise erfolgen, daß die auf dem Quetschfuß montierte und auf dem Pumpstengel sitzende Röhre zunächst mit der Grob- und Feinpumpe evakuiert wird. Hierauf werden zweckmäßig die verschiedenen Systemteile, insbesondere die Anoden, entgast. Die Gettersubstanz ist so angeordnet, daß sie durch die zwecks Entgasung zur Hochglut gebrachten Systemteile noch nicht zur Zerstäubung gelangen konnte. Die Gettersubstanz wird in einem besonderen Arbeitsprozeß vorentgast, und dann erfolgt die erste Zerstäubung der Gettersubstanz zur Bindung von Restgasen in der Weise, daß ein Niederschlag auf der Anode nicht auftreten kann.

Es erfolgt sodann erfindungsgemäß eine abermalige Zerstäubung des Getters derart, daß nunmehr ein Niederschlag auf der Anode entsteht, die zu diesem Zwecke bei diesem Verfahrensschritt vorzugsweise in kaltem Zustand gehalten wird. Damit nicht bereits bei Vorentgasung der Gettersubstanz und bei ihrer Hauptzerstäubung sich ein Niederschlag auf der Anode bilden kann, kann man erfindungsgemäß während dieser Phase des Arbeitsverfahrens einen in der Röhre beweglich angebrachten Schirm zwischen Gettersubstanz und Anode in Stellung bringen, beispielsweise durch Änderung der Lage der Röhre, und diesen Schirm auf demselben Wege bei Bestäubung der kalten Anode entfernen. Es besteht aber auch die Möglichkeit, einen Niederschlag der Gettersubstanz bei ihrer Vorentgasung und bei der HaupZerstäubung auf dem Anodensystem dadurch zu verhindern, daß während dieser Zeit das Anodensystem

65Ö554

am einfachsten durch eine Wirbelstromeinrichtung ebenfalls erwärmt wird. Zwischen Gettersubstanz und Anodensystem kann dann bei richtiger Durchführung des Verfahrens kein Temperaturgefälle sich ausbilden und somit auch kein unerwünschter Niederschlag auf der Anode entstehen. Erfindungsgemäß wird der Niederschlag· auf der Anode erst dann gebildet, wenn diese entgast ist. ίο Ferner ist für die erfindungsgemäße Anordnung wesentlich, daß sich die verdampfte Gettersubstanz, wozu sich bekanntermaßen vorzugsweise Leichtmetalle, wie Magnesium oder Magnesiumlegierungen, eignen, zur Vermeidung von Kurzschlüssen 'und anderen nächteiligen Wirkungen nicht atif den übrigen Syst einteilen niederschlagen kann. Alle diese Bedingungen in Verbindung mit der weiteren Bedingung, daß bei sämtlichen Zerstäubungen des Magnesiums die Hauptteile der Gefäßwandungen beschlagfrei bleiben, werden am einfachsten dadurch erfüllt, daß zwischen Anode und Gettersubstanz ein Schirm angeordnet ist, der indessen auf der Linie der kürzesten Verbindung zwischen beiden Teilen eine Öffnung besitzt.

Wesentlich für die Erfindung ist ferner, daß, wie bereits erwähnt, die zweite Zerstäubung der Gettersubstanz bei niederer Tempe-■ 30 ratur der Anode hergestellt wird. Die Nachevakuierung der betriebsfertigen Röhre erfolgt nämlich dadurch, daß durch die Anodenwärme bei normaler Betriebstemperatur der auf der Anode niedergeschlagene Belag der Gettersubstanz frei gemacht wird und durch die zerstäubten Teile das beispielsweise von .. der Oxydkathode abgegebene Gas wieder gebunden wird.

Das Verfahren der Erfindung kann aber auch mit HiMe von zwei Gettersubstajizen durchgeführt werden, die getrennt verdampft werden. Man kann in diesem Falle die HaUp tgettersubstanz nach den oben erörterten Gesichtspunkten anordnen, also vorzugsweise hinter einem Schirm, daß sowohl der Hauptteil der Glaswandungen als auch das Anodensystem vor dem Niederschlag der zerstäubten Gettersubstanz geschützt wird. Die zweite Gettersubstanz wird zweckmäßig seitlich von der zu beschlagenden Anode angeordnet, wobei vorteilhaft ein durchlöcherter Schirm zwischen Gettersubstanz und Anode vorgesehen ist, der nur einen Niederschlag der zierstäubten Substanz auf die letzte anläßt.

Die erfindungsgemäße Anordnung bezieht sieh nicht nur auf Elektronenröhren mit einem einzigen Elektrodensystem. Sie kommt insbesondere auch in Frage bei Mehrsystemröhren und Mehrfachröhren. Dabei können diese Röhren in beliebigen Schaltungen Verwendung finden. Die Gasbildung macht sich aber besonders unangenehm bemerkbar bei Röhren mit durch einen Kondensator abgeriegeltem . und durch einen hochöhmigen Widerstand "überbrücktem Gitter. Hat der Gitterableitwiderstand einen Widerstandswert von 1 Megohm, so ist bereits ein Gitterionenstrom von •!"Mikroampere in der Lage, eine negative Gittervorspannung um ι Volt zu reduzieren. Bei Gasröhren mit abgeriegeltem Gitter und hochohmigem Gitterableitwiderstand wird automatisch der Arbeitspunkt in das. Gebiet positiver Gitterspannungen verschoben. Die Folge ist, daß im Anodenstromkreis Sättigungsstroro eintritt und die Anode maximal erwärmt wird. Normalerweise machen diese Erscheinungen jeden Empfang unmöglich. Bei der Anordnung der Erfindung führen diese Erscheinungen zur Zerstäubung der als Anodenbelag gebildeten Gettersubstanz. Dadurch werden die frei gewordenen Gase wieder gebunden.

Die erfindungsgemäße Röhre kann aber auch so arbeiten, daß bereits bei normaler Anodentemperatur dauernd etwas Magnesium frei wird und damit fortwährend die evtl. frei gewordenen Gase wieder gebunden werden.

Das Wesen der Erfindung wird an einem Ausführungsbeispiel erläutert. In der Abbildung ist „in perspektivischer Darstellung eine Mehrfachröhre dargestellt, bei der zwei Gettersubstanzen in der betriebsfertigen Röhre vorgesehen sind. Im einzelnen ist 1 das Entladungsgefäß; 2 und 3 sind zwei Spannungsverstärkersysteme. Zur Übersichtlichkeit der Darstellung sind die Kopplungselemente nicht 95 eingezeichnet. 4 sei die Leistungsverstärkerstufe, während S die Hauptgettersubsfanz und 6 den Schirm darstellt, der einen Niederschlag der zerstäubten Substanz 5 auf den Hauptteilen der Glaswandungen und der Elektrodensysteme verhindert.

Die zweite Gettersubstanz 7 ist seitlich von dem Anodensystem 4 hinter dem Schirm 8 angebracht, der eine Öffnung 9 besitzt, die die Bildung des Niederschlages auf der Anode 4 ermöglicht. Es steht nichts im Wege, auch bei den Spannungsverstärkersystemen 2 und 3 Gettersubstanzen mit den zugehörigen Abschirmungen vorzusehen. Man kann auch die Anordnung der Systeme so treffen, daß gleichzeitig mit einer 'einzigen Gettersubstanz sämtliche Anoden bestäubt werden können. Für das Leistungs system ist allerdings die erfindungsgemäße Anordnung besonders wichtig, da deren Anode den größten Anodenstrom aufnimmt und deshalb evtl. entsprechende läse vor allem von ihr abgegeben werden. Wie bereits deutlich geworden, ist es für die Erfindung von besonderer Bedeutung, daß der Magnesiumjiiederschlag durch die Anodenwärme bei normaler Temperatur frei gemacht wird. Zu diesem Zwecke wird deshalb

im allgemeinen die Anode selbst bestäubt. Es steht aber auch nichts im Wege, auf einer besonderen Anordnung, insbesondere .einem Blech, die Gettersubstanz für die Nachevakuierung niederschlagen zu lassen. Dieses Blech muß dann allerdings so angeordnet sein, daß es von der Anode her genügend stark erwärmt werden kann.

Claims (3)

1. Patentansprüche:

   i. Verfahren zur Herstellung von Elektronenröhren unter Verwendung von Getterstoff, bei dem zuerst die Systemteile für sich entgast, dann der Getterstoff entgast wird, und schließlich in. einem besonderen Arbeitsgang das Getter verdampft wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweimalige Getterverdampfung so geleitet wird, daß bei der ersten Zerstäubung ein Niederschlag auf den Systemteilen verhindert, bei der zweiten Zerstäubung ein gasfreier Getterniederschlag für Nachgetterung auf der Anode niedergeschlagen wird, beispielsweise mittels eines beweglichen Schirmes, der bei der ersten Zerstäubung zwisehen Getter und Anode geschoben wird, oder durch Anordnung von zwei Gettersubstanzen, die getrennt verdampft werden und von denen die eine gegen die Anode abgeschirmt ist.
2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anode bei der ersten Getterverdampfung geglüht und bei der zweiten Getterverdampfung kalt gehalten wird.
3. 3. Elektronenröhre, hergestellt nach dem Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der vorzugsweise aus Glimmer oder einem anderen vakuumbeständigen Isoliermaterial bestehende Schirm, der gegebenenfalls mit Öffnungen versehen ist, auch den größten Teil der Glaswandung der Röhre gegen den Gettemiederschlag abschirmt.

   Hierzu 1 Blatt Zeichnungen