DE19931337A1

DE19931337A1 - Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente

Info

Publication number: DE19931337A1
Application number: DE19931337A
Authority: DE
Inventors: Kenji Yoshida; Takashi Naito; Shigeru Murayama; Katsuhiko Sakamoto; Takashi Masaki
Original assignee: Advantest Corp; AMP Japan Ltd
Current assignee: Advantest Corp; Tyco Electronics Japan GK
Priority date: 1998-07-09
Filing date: 1999-07-07
Publication date: 2000-01-27
Also published as: KR20000011584A; US6398570B1; KR100364065B1; TW475984B; KR100490608B1; CN1116709C; KR20010088878A; US6184698B1; CN1247318A

Abstract

Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente, mit der sich ein Halbleiter-Bauelement zum Prüfen seiner elektrischen Eigenschaften befestigen läßt, mit: einer Kontakteinrichtung (20), mit der das Halbleiter-Bauelement in Kontakt gelangt; einem Substrat (30), das ein elektrisches Signal zu der Kontakteinrichtung (20) leitet; einer Mehrzahl von Anschlußteilen (40), die jeweils an dem Substrat (30) festgelegt sind und einen elektrischen Anschluß (48) aufweisen, mit dem sich das elektrische Signal zu dem Substrat (30) leiten läßt; einer Mehrzahl von Steckverbindern (50), von denen jeder frei lösbar mit einem der Anschlußteile (40) verbunden ist, mit jeweils einem Kontaktstift (70), der einen Kontaktabschnitt (74) aufweist, der sich in Kontakt mit dem elektrischen Anschluß (48) des Anschlußteils (40) bringen läßt, einem Gehäuse (68), das den Kontaktstift (70) hält, einer Andrück-Einrichtung (78), mit der sich der Kontaktstift (70) an den elektrischen Anschluß (48) drücken läßt; einem Halter (80), der die Mehrzahl von Steckverbindern (50) hält; und einem Befestigungselement (86), mit dem der Halter (80) an dem Substrat (30) festgelegt ist; wobei der Kontaktabschnitt (74) an dem elektrischen Anschluß (48) entlanggleitet, während er den elektrischen Anschluß (48) kontaktiert, wenn die Andrück-Einrichtung (78) gegen den Kontaktstift (70) drückt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente, mit der sich ein Halbleiter-Bauelement befestigen läßt, so daß dessen elektrische Eigenschaften prüf bar sind. Darüber hinaus betrifft die Erfindung einen Steckver binder, der mit einem Anschlußteil elektrisch verbunden ist.

Um eine zuverlässige elektrische Verbindung zwischen einem Anschlußteil und einem Steckverbinder herzustellen, müssen die elektrischen Anschlüsse des Anschlußteils gegen die Kontakt stifte des Steckverbinders gedrückt werden. Eine hohe Andrück kraft erhöht zwar die Qualität des Anschlusses, aber auch die Reibkraft wird größer, so daß sich das Anschlußteil schwerer in den Steckverbinder einsetzen oder wieder von dem Steckverbinder lösen läßt. Insbesondere bei Steckverbindern mit mehreren Kontaktstiften oder bei gleichzeitig in mehrere Steckverbinder einzusetzenden Anschlußteilen erfordert das Einsetzen der Anschlußteile eine große Kraft.

Als Lösung für dieses Problem wurde der sogenannte Null kraftsteckverbinder bzw. ZIF-Steckverbinder (für engl. zero insertion force) vorgeschlagen, bei dem sich das Anschlußteil ohne jeglichen Kraftaufwand einsetzen läßt und die Kontakt stifte erst gegen das Anschlußteil gedrückt werden, nachdem dieses eingesetzt wurde. Wenn die Kontaktstifte gegen das Anschlußteil gedrückt werden, kann es jedoch zu geringfügigen Veränderungen der Relativstellung der Teile kommen. Wenn der Steckverbinder und das Anschlußteil mit hoher Genauigkeit zu einander positioniert werden müssen, hat eine solche gering fügige Verschiebung des Anschlußteils während des Andrückens der Kontaktstifte verhängnisvolle Auswirkungen.

Bei einer Halbleiter-Prüfvorrichtung z. B. müssen Positio niergenauigkeit und elektrische Verbindung mit äußerst hoher Zuverlässigkeit gewährleistet werden. Der in der Prüfvorrich tung verwendete Steckverbinder muß zuverlässig mit dem An schlußteil verbunden werden, damit sich der Halbleiter schnell und zuverlässig prüfen läßt. Darüber hinaus müssen sich ver schiedene Typen von Substraten vorsehen lassen mit Kontaktein richtungen, die in Kontakt mit dem Halbleiter gebracht werden, so daß unterschiedliche Typen von Halbleiter-Bauelementen ge prüft werden können. Es ist daher wünschenswert, daß der in der Halbleiter-Prüfvorrichtung verwendete Steckverbinder ein leich tes Anbringen und Entfernen dieser verschiedenen Substrattypen ermöglicht.

Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, eine Befesti gungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente und einen Steck verbinder zu schaffen, mit denen sich diese Nachteile des Stands der Technik überwinden lassen.

Eine Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung ist eine Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente, die das Befestigen eines Halbleiter-Bauelements zum Prüfen von dessen elektrischen Eigenschaften ermöglicht, mit: einer Kontaktein richtung, mit der das Halbleiter-Bauelement in Kontakt kommt; einem Substrat, das ein elektrisches Signal an die Kontaktein richtung liefert; einer Mehrzahl von Anschlußteilen, die je weils an dem Substrat festgelegt sind von denen jedes einen elektrischen Anschluß aufweist, mit dem sich das elektrische Signal zu dem Substrat leiten läßt; einer Mehrzahl von Steck verbindern, von denen jeder frei lösbar mit einem der Anschluß teile verbunden ist und einen Kontaktstift aufweist mit einem Kontaktabschnitt, der sich in Kontakt mit dem elektrischen Anschluß des Anschlußteils bringen läßt, ein Gehäuse, das die Kontaktstifte hält, und eine Andrück-Einrichtung, mit der sich der Kontaktstift an den elektrischen Anschluß andrücken läßt; einem Halter, der die Mehrzahl von Steckverbindern hält; und einem Befestigungselement, mit dem sich der Halter an dem Substrat festlegen läßt, wobei der Kontaktabschnitt entlang des elektrischen Anschlusses verschoben wird und dabei in Kontakt mit dem elektrischen Anschluß ist, wenn die Andrück-Einrichtung gegen den Kontaktstift drückt.

Die Verschiebungsrichtung des Kontaktabschnitts entlang des elektrischen Anschlusses kann die Richtung sein, in der das Anschlußteil von-dem Steckverbinder gelöst wird. Die Verschie bungsrichtung des Kontaktabschnitts entlang des elektrischen Anschlusses kann aber auch die Richtung sein, in der das An schlußteil in den Steckverbinder eingesetzt wird.

Die Mehrzahl von Anschlußteilen können wie Speichen auf dem Substrat angeordnet sein, und die Mehrzahl von Steckverbin dern können wie Speichen auf dem Halter angeordnet sein.

Jede der beiden Andrück-Einrichtungen kann einen drehbaren Nocken aufweisen, und die Befestigungsvorrichtung für Halblei ter-Bauelemente kann ferner für jeden der drehbaren Nocken eine Handhabe aufweisen, mit der sich der drehbare Nocken drehen läßt, und die Handhaben können am Außenrand der wie Speichen angeordneten Mehrzahl von Steckverbindern befestigt sein.

Die Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente kann darüber hinaus einen Handhabe-Antriebsteil aufweisen, der an der Außenseite der Mehrzahl von Handhaben befestigt ist und diese antreibt.

Ein Steckverbinder nach der zweiten Ausführungsform der Erfindung ist ein Steckverbinder, der mit einem anzuschließen den Anschlußteil elektrisch verbunden ist, mit: einem Kontakt stift, der mit einem elektrischen Anschluß des Anschlußteils verbunden ist, einem Gehäuse, das den Kontaktstift hält, wenig stens zwei drehbaren Nocken, mit denen der Kontaktstift gegen den elektrischen Anschluß gedrückt wird und die symmetrisch auf der linken bzw. rechten Seite angeordnet sind, einer Handhabe zum Drehen des drehbaren Nockens, und einem Handhabe-Betäti gungsteil, das an einem Ende der Handhabe befestigt ist und bei dem wenigstens ein Teil der Oberfläche kugelförmig ist.

Jede der beiden Andrück-Einrichtungen kann einen drehbaren Nocken aufweisen, und der Nocken kann mit Hilfe der Handhabe gedreht werden.

Die Handhabe kann einen Hebelabschnitt aufweisen, der mit dem drehbaren Nocken verbunden ist und in radialer Richtung des drehbaren Nockens verläuft, sowie ein Ansatzstück, das an einem Ende des Hebelabschnitts angebracht ist und in axialer Richtung des drehbaren Nockens verläuft, und das Handhabe-Betätigungs teil ist an einem Ende des Ansatzstücks angebracht. Für jeden der drehbaren Nocken ist eine Handhabe vorgesehen.

Ein Steckverbinder nach der dritten Ausführungsform der Erfindung ist ein Steckverbinder, der mit einem anzuschließen den Anschlußteil elektrisch verbunden ist, mit: einem Kontakt stift, der mit einem elektrischen Anschluß des Anschlußteils verbunden ist, einem Gehäuse, das den Kontaktstift hält, wenig stens zwei drehbaren Nocken, mit denen der Kontaktstift gegen den elektrischen Anschluß gedrückt wird und die symmetrisch auf der linken bzw. rechten Seite angeordnet sind, einem Nockenhal ter, der an der Außenseite des Gehäuses befestigt ist und den drehbaren Nocken hält, und einem kegelförmigen Abschnitt, des sen Dicke in axialer Richtung des drehbaren Nockens abnimmt.

Der Steckverbinder kann ferner an einem Ende eines dünnen Abschnitts, wo eine der beiden Dicken des kegelförmigen Ab schnitts am geringsten wird, ein Befestigungsteil aufweisen, mit dem sich der Steckverbinder an einem Anschlußsockel befe stigen läßt.

Der Steckverbinder kann ferner an einem Ende eines dicken Abschnitts, wo eine der beiden Dicken des kegelförmigen Ab schnitts am größten wird, ein Befestigungsteil aufweisen, mit dem sich der Steckverbinder an einem Anschlußsockel befestigen läßt.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von bevorzugten Ausführungsformen und unter Bezugnahme auf die Zeichnung be schrieben. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 eine Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bau elemente nach einer Ausführungsform der Erfindung, im Schnitt,

Fig. 2 die aus Fig. 1 ersichtliche Steckverbinder-Einheit 100, aus der Perspektive,

Fig. 3 ein weiteres Beispiel für die Handhabe 52 und die Führung 102, vergrößert,

Fig. 4 das Einsetzen des Anschlußteils 40 in den aus Fig. 1 ersichtlichen Steckverbinder 50, im Schnitt,

Fig. 5 den aus Fig. 1 ersichtlichen Steckverbinder 50, als Einzelheit, und

Fig. 6 das aus Fig. 1 ersichtliche Anschlußteil 40, als Einzelheit.

Aus Fig. 1 ist eine Befestigungsvorrichtung für Halblei ter-Bauelemente im Querschnitt ersichtlich, mit der sich Halb leiter-Bauelemente zum Prüfen ihrer elektrischen Eigenschaften befestigen lassen. Wie aus Fig. 1 ersichtlich ist, weist die Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente nach einer Ausführungsform der Erfindung eine Kontakteinrichtung 20 auf, mit der ein Halbleiter-Bauelement in Kontakt gelangt, und ein Substrat 30, das ein elektrisches Signal an die Kontaktein richtung 20 liefert, eine Mehrzahl von Anschlußteilen 40, die an dem Substrat 30 festgelegt sind, eine Mehrzahl von Steck verbindern 50, die jeweils lösbar mit den Anschlußteilen 40 verbunden sind, einen Anschlußsockel 90, an dem die Anschluß teile 40 festgelegt sind, und einen Halter 80, der die Mehrzahl von Steckverbindern 50 und den Anschlußsockel 90 hält.

Das Substrat 30 und der Anschlußsockel 90 sind kreisförmig ausgebildet, und ausgehend von ihrem Mittelpunkt sind die An schlußteile 40, die Steckverbinder 50 und Befestigungselemente 86, z. B. Schrauben, wie Speichen angeordnet. Da die gegenseiti ge Lage von Substrat 30 und Halter 80 festgelegt ist, läßt sich auch die Relativposition der Anschlußteile 40 und Steckverbin der 50 aufrechterhalten.

Aus Fig. 2 ist die in Fig. 1 schraffiert dargestellte Steckverbinder-Einheit 100 aus der Perspektive ersichtlich. An der Außenseite jedes Steckverbinders 50 sind zwei Handhaben 52 befestigt, mit denen sich ein in den Steckverbinder eingebauter drehbarer Nocken drehen läßt. Am Außenrand der Handhabe 52 sind ferner eine Führung 102 zum Bewegen der Handhabe 52 und ein Handhabe-Antriebsteil 104 zum Drehen der Führung 102 befestigt. Wenn die Anschlußteile 40 in den Steckverbinder 50 eingesetzt sind und das Handhabe-Antriebsteil 104 bewegt wird, bewegen sich die Führung 102 und die Handhaben 52 gleichzeitig mit, so daß der Steckverbinder 50 mit dem Anschlußteil 40 verbunden wird. Auf diese Weise lassen sich die Steckverbinder 50 pro blemlos und alle gleichzeitig an den Anschlußteilen 40 befe stigen.

Aus Fig. 3 ist ein weiteres Beispiel für die Handhabe 52 und die Führung 102 nach Fig. 2 in Vergrößerung ersichtlich. Bei dem aus Fig. 2 ersichtlichen Ausführungsbeispiel ist die Führung 102 am Außenrand der Handhaben 52 angebracht. Die Führung 102 kann jedoch auch am Innenrand der Handhaben 52 angebracht sein, wie aus Fig. 3 ersichtlich ist. Ferner ist es von Vorteil, zwischen dem Anschlußsockel 90 und der Führung 102 eine Rillenscheibe 106 vorzusehen, so daß eine gleichmäßige Drehbewegung der Führung 102 relativ zu den Steckverbindern 50 ermöglicht wird.

Aus Fig. 4 ist das Einsetzen des Anschlußteils 40 in den Steckverbinder 50 nach Fig. 1 im Schnitt ersichtlich. Das An schlußteil 40 weist einen Niet 42 auf, der sich in das Substrat 30 einpassen läßt, eine Verstärkungsplatte 46 zum Verstärken des Befestigungsabschnitts des Niets 42, einen elektrischen An schluß 48, mit dem ein elektrisches Signal in das Substrat 30 übertragen wird, und einen Anschlußhalter 44, der den elektri schen Anschluß 48 hält.

Demgegenüber weist der Steckverbinder 50 einen Kontakt stift 70 auf, der in Kontakt mit dem elektrischen Anschluß 48 des Anschlußteils 40 gelangt, ein Gehäuse 68, das den Kontakt stift 70 hält, wenigstens zwei Andrück-Einrichtungen 78, die symmetrisch zueinander auf der linken bzw. rechten Seite ange ordnet sind und den Kontaktstift 70 gegen den elektrischen Anschluß 48 drücken. Jede der beiden Andrück-Einrichtungen 78 weist einen drehbaren Nocken 72 und einen Nockenhalter 76 zum Halten des Nockens 72 auf. Wenn der drehbare Nocken 72 gedreht wird, bewegt sich der Abschnitt, in dem sich der Nocken 72 und der Kontaktstift 70 berühren, um den annähernd gleichen Betrag zu dem Anschlußteil 40 hin, und der Kontaktstift 70 wird gegen den elektrischen Anschluß 48 gedrückt. Da der Kontaktstift 70 während des Andrückens eine Gegenkraft auf den Nockenhalter 76 erzeugt, muß der Nockenhalter 76 steif genug sein, so daß er nicht ausgelenkt wird. Aus diesem Grund ist der Nockenhalter 76 vorzugsweise mit einer solchen Dicke ausgebildet, daß er über die Außenseite des Gehäuses 68 hinaussteht.

Der drehbare Nocken 72 weist z. B. einen Umfangsabschnitt 75 mit annähernd konstantem Abstand zum Nockenmittelpunkt auf, sowie einen flacheren Abschnitt 77, dessen Abstand zum Mittel punkt geringer ist als der des Umfangsabschnitts. Die Kontakt stifte 70 sind jeweils links und rechts symmetrisch in zwei Reihen angeordnet. Wenn die beiden drehbaren Nocken 72 gedreht werden, drückt jede der beiden Andrück-Einrichtungen 78 gegen die Mehrzahl der Kontaktstifte 70 auf der linken bzw. rechten Seite. Dabei muß der Nocken 72 isoliert sein, um zu verhindern, daß die Kontaktstifte 70 jeder Reihe kurzgeschlossen werden.

Die Oberfläche des Nockens 72 ist aus diesem Grund vorzugsweise mit einem Überzug aus z. B. Teflon versehen.

Wenn der rechte und der linke Nocken 72 in die gleiche Richtung gedreht werden, drückt der obere Teil des einen Nocken 72 gegen einen der Kontaktstifte 70, und der untere Teil des anderen Nockens 72 drückt gegen den anderen Kontaktstift 70. Hierbei ist es von Vorteil, den linken und rechten Kontaktstift 70 gleichermaßen anzudrücken, so daß sich das Anschlußteil 40 nicht relativ zu dem Steckverbinder 50 bewegt. Bevor die An drück-Einrichtungen 78 gegen die Kontaktstifte 70 drücken, sollten die Nocken 72 daher vorzugsweise in Richtung der Ein setzbewegung der Anschlußteile 40 symmetrisch sein. Ferner sollte die Lage, in der die beiden Nocken 72 die Kontaktstifte 70 berühren, vorzugsweise symmetrisch zur Mitte des Anschluß teils 40 sein, wenn die Andrück-Einrichtungen 78 gegen die Kontaktstifte 70 drücken.

Der Kontaktstift 70 weist einen Kontaktabschnitt 74 auf, der in Kontakt mit dem elektrischen Anschluß 48 des Anschluß teils 40 gelangt. Wenn die Andrück-Einrichtung 78 gegen den Kontaktstift 70 drückt, gleitet der Kontaktabschnitt 74 an dem elektrischen Anschluß 48 entlang, während er diesen kontak tiert. Dadurch wird die Oberfläche des elektrischen Anschlusses 48 aufgekratzt und darauf befindlicher Staub oder Oxidschichten werden entfernt, so daß der Kontaktstift 70 zuverlässig mit dem elektrischen Anschluß 48 verbunden wird. Während dieser Gleit bewegung des Kontaktabschnitts 74 könnte die Anschlußqualität verloren gehen, wenn das Anschlußteil 40 und der Steckverbinder 50 in Richtung der Anordnung der Kontaktstifte 70 verrutschen. Um dies zu verhindern, ist es wünschenswert, daß der Kontaktab schnitt 74 in eine Richtung verschoben wird, die vertikal zur Anordnungsrichtung der Kontaktstifte 70 liegt. In dem aus Fig. 4 ersichtlichen Beispiel wird der Kontaktabschnitt 74 daher in die Richtung verschoben, in der das Anschlußteil 40 von dem Steckverbinder 50 gelöst bzw. aus diesem herausgezogen wird. Bei einem anderen Beispiel kann der Kontaktabschnitt 74 entlang einer Richtung gleiten, in der das Anschlußteil 40 in den Steckverbinder 50 eingesteckt wird.

Aus Fig. 5 ist der Steckverbinder 50 nach Fig. 1 als Ein zelheit ersichtlich. Am Außenrand der Mehrzahl von Steckverbin dern 50, die wie Speichen auf dem Anschlußsockel 90 angeordnet sind, ist für jeden Nocken 72 eine Handhabe 52 angebracht, mit der sich der Nocken 72 drehen läßt. Die Handhabe 52 weist einen Hebelabschnitt 56 auf, der mit dem Nocken 72 verbunden ist und in radialer Richtung des Nocken 72 verläuft, sowie ein Ansatz stück 58, das am Ende des Hebelabschnitts 56 befestigt ist und in axialer Richtung des Nockens 72 verläuft. Ferner ist ein Handhabe-Betätigungsteil 60 mit einer wenigstens zum Teil kugelförmigen Oberfläche am Ende des Ansatzstücks 58 befestigt. Damit läßt sich die Handhabe 52 gleichmäßig drehen, wenn die aus Fig. 2 ersichtliche Führung 102 nicht ständig von rechts gegen die Handhabe 52 drückt.

Der Steckverbinder 50 weist einen kegelförmigen Abschnitt 66 auf, dessen Dicke in axialer Richtung des Nockens 72 ab nimmt. Auf diese Weise wird bei einer speichenförmigen Anord nung der Steckverbinder 50 der jeweils zwischen diesen verblei bende Spalt verkleinert und somit verhindert, daß Staub zwi schen benachbarte Steckverbinder 50 fällt. An den beiden Enden des länglichen Körpers des Steckverbinders 50, wo der kegel förmige Abschnitt 66 die jeweils größte bzw. geringste Dicke aufweist, sind die Befestigungsteile 62 und 64 angebracht, mit denen sich der Steckverbinder 50 an dem Anschlußsockel 90 befe stigen läßt. Da die Befestigungsteile 62 und 64 nur an den bei den Enden angeordnet sind, läßt sich der Spalt zwischen benach barten Steckverbindern 50 verringern. Folglich läßt sich auf dem Anschlußsockel 90 eine Anzahl von Steckverbindern 50 anord nen.

Aus Fig. 6 ist das Anschlußteil 40 nach Fig. 1 als Einzel heit ersichtlich. Das Anschlußteil 40 weist eine Anzahl von elektrischen Anschlüssen 48 auf, welche die von dem Steckver binder 50 gelieferten Signale zu dem Substrat 30 übertragen, einen Anschlußhalter 44, der die elektrischen Anschlüsse 48 hält, Niete 42 zum Festlegen des Anschlußteils an dem Substrat 30, und eine Verstärkungsplatte 46, die den Verbindungsab schnitt der Niete 42 mit dem Anschlußteil 40 verstärkt. Die Niete 42 sind so eingeschlagen, daß sie durch das gesamte An schlußteil 40 verlaufen und dann weiter durch das Substrat 30 und die Verstärkungsplatte 46, und ihr Ende ist gestaucht, so daß das Anschlußteil 40 an dem Substrat 30 festgelegt ist. Auf diese Weise läßt sich das Anschlußteil zuverlässiger an dem Substrat festlegen als durch ein Lötverfahren, und ein Loslösen des Anschlußteils läßt sich verhindern.

Mit der beschriebenen Erfindung wird somit ein Steckver binder geschaffen, der sich leicht, genau und zuverlässig mit dem Anschlußteil verbinden läßt.

Claims

1. Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente, mit der sich ein Halbleiter-Bauelement zum Prüfen seiner elektri schen Eigenschaften befestigen läßt, mit
einer Kontakteinrichtung, mit der das Halbleiter-Bauele ment in Kontakt gelangt,
einem Substrat, das ein elektrisches Signal zu der Kon takteinrichtung leitet,
einer Mehrzahl von Anschlußteilen, von denen jedes an dem Substrat festgelegt ist und einen elektrischen Anschluß auf weist, mit dem sich das elektrische Signal zu dem Substrat leiten läßt,
einer Mehrzahl von Steckverbindern, von denen jeder frei lösbar mit einem der Anschlußteile verbunden ist und folgendes aufweist: einen Kontaktstift mit einem Kontaktabschnitt, der sich in Kontakt mit dem elektrischen Anschluß des Anschlußteils bringen läßt, ein Gehäuse, das den Kontaktstift hält, und eine Andrück-Einrichtung, mit der sich der Kontaktstift an den elek trischen Anschluß drücken läßt,
einem Halter, der die Mehrzahl von Steckverbindern hält, und
einem Befestigungselement, mit dem der Halter an dem Sub strat festgelegt ist,
wobei der Kontaktabschnitt an dem elektrischen Anschluß entlanggleitet, während er den elektrischen Anschluß kontak tiert, wenn die Andrück-Einrichtung gegen den Kontaktstift drückt.

2. Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente nach Anspruch 1, wobei die Richtung, in welcher der Kontaktabschnitt an dem elektrischen Anschluß entlanggleitet, eine Demon tage-Richtung ist, in der das Anschlußteil von dem Steckverbinder gelöst wird.

3. Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente nach Anspruch 1, wobei die Richtung, in welcher der Kontaktabschnitt an dem elektrischen Anschluß entlanggleitet, eine Ein steck-Richtung ist, in der das Anschlußteil in den Steckverbinder eingesteckt wird.

4. Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente nach Anspruch 1, wobei
die Mehrzahl von Anschlußteilen wie Speichen auf dem Substrat angeordnet sind, und
die Mehrzahl von Steckverbindern wie Speichen auf dem Halter angeordnet sind.

5. Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente nach Anspruch 4, wobei jede der beiden Andrück-Einrichtungen einen drehbaren Nocken aufweist,
die Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente ferner für jeden drehbaren Nocken eine Handhabe aufweist, mit der sich der drehbare Nocken drehen läßt,
wobei die Handhaben jeweils an einem Außenrand der Mehr zahl von speichenartig angeordneten Steckverbindern befestigt sind.

6. Befestigungsvorrichtung für Halbleiter-Bauelemente nach Anspruch 5, wobei diese ferner ein Handhabe-Antriebsteil auf weist, das an der Außenseite der Mehrzahl von Handhaben ange bracht ist und mit dem sich die Mehrzahl von Handhaben antrei ben lassen.

7. Steckverbinder, der mit einem anzuschließenden Anschluß teil elektrisch verbunden ist, mit
einem Kontaktstift, der mit einem elektrischen Anschluß des Anschlußteils verbunden ist,
einem Gehäuse, das den Kontaktstift hält,
wenigstens zwei einander gegenüberliegenden Andrück-Ein richtungen, mit denen der Kontaktstift gegen den elektrischen Anschluß gedrückt wird,
einer Handhabe, mit der sich die Andrück-Einrichtungen drehen lassen, und
einem Handhabe-Betätigungsteil, das an einem Ende der Handhabe befestigt ist und dessen Oberfläche wenigstens zum Teil kugelförmig ist.

8. Steckverbinder nach Anspruch 7, wobei
jede der beiden Andrück-Einrichtungen einen drehbaren Nocken aufweist, und
sich der drehbare Nocken mittels der Handhabe drehen läßt.

9. Steckverbinder nach Anspruch 8, wobei
die Handhabe einen Hebelabschnitt aufweist, der mit dem drehbaren Nocken verbunden ist und in radialer Richtung des drehbaren Nockens verläuft, und ein Ansatzstück, das an einem Ende des Hebelabschnitts angebracht ist und in axialer Richtung des drehbaren Nockens verläuft, und
das Handhabe-Betätigungsteil an einem Ende des Ansatz stücks angebracht ist.

10. Steckverbinder nach Anspruch 8, wobei die Handhabe an jedem der drehbaren Nocken vorgesehen ist.

11. Steckverbinder, der mit einem anzuschließenden Anschluß teil elektrisch verbunden ist, mit
einem Kontaktstift, der mit einem elektrischen Anschluß des Anschlußteils verbunden ist,
einem Gehäuse, das den Kontaktstift hält,
wenigstens zwei einander gegenüberliegenden drehbaren Nocken, mit denen der Kontaktstift gegen den elektrischen An schluß gedrückt wird,
einem Halter für den drehbaren Nocken, der an einer Außen seite des Gehäuses befestigt ist und den drehbaren Nocken hält,
einem kegelförmigen Abschnitt, dessen Dicke in axialer Richtung des drehbaren Nockens abnimmt.

12. Steckverbinder nach Anspruch 11, wobei dieser ferner am Ende eines dünnen Abschnitts, wo eine der beiden Dicken des kegelförmigen Abschnitts am geringsten wird, ein Befestigungs teil aufweist, mit dem sich der Steckverbinder an einem An schlußsockel befestigen läßt.

13. Steckverbinder nach Anspruch 11, wobei dieser ferner am Ende eines dicken Abschnitts, wo eine der beiden Dicken des kegelförmigen Abschnitts am größten wird, ein Befestigungsteil aufweist, mit dem sich der Steckverbinder an einem Anschluß sockel befestigen läßt.