TW475984B - Mounting apparatus of semiconductor devices - Google Patents

Description

mm A7 505 7pif.doc/002 ___B7__ 五、發明說明（/ ) 技術領域 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 本發明是有關於一種半導體元件安裝裝置，用以安裝 半導體元件，係爲了測試半導體元件之特性◦本發明亦有 關於一種連接器，此連接器電性連接至連接元件。 發明背景 爲了使連接元件（connection component)能穩定地電性 連接至連接器（connector)，必須將連接元件之電子接頭推 向連接器的接腳（pins)。大力的推擠力量可增加電性連接， 但是卻造成摩擦力大增，導致連接元件插入到連接器或是 從連接器移除連接元件變得十分困難。特別是，在連接器 具有眾多的接腳，或是同時插入連接元件到眾多的連接器 之情況時，必須大力插入此連接元件。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲了解決上述問題，提議一種稱爲零插入力（Zero Insertion force，ZIF)連接器，當插入此連接元件時，其不 需要任何力量，並且在插入連接元件之後，將接腳推向連 接元件。然而，在將接腳推向連接元件時，相對位置可能 輕微地改變。當連接器與連接元件之間的相對位置需要高 度精確度時，在接腳推入時連接元件輕微的位移將導致重 大的損害。 例如，在半導體測試裝置中，需要對電性連接及位置 精確度極高的穩定性。爲了測試半導體速度與穩定性，在 測試裝置中使用的連接器必須穩定地連接至連接元件。而 且，爲了測試各型之半導體元件，必須提供各型含有接觸 器之基板，其中接觸器係與半導體相接觸。因此，需要使 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 5 05 7pif.doc/00 2 A7 B7 五、發明說明（么） 用在半導體測試裝置之連接器能夠輕易地安裝以及移除這 些各型基板。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) U之槪m 因此，本發明之目的在克服習知的這些缺點，並且提 供一種半導體元件安裝裝置以及一種連接器。此目的藉由 結合獨1申請項之敘述而達成。依附申請項定義出本發明 進一步的優點以及示範的結合。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲了達成此目的，依照本發明第一實施例之半導體元 件安裝裝置’爲一種半導體元件安裝裝置，用於安裝半導 體元件’藉以測試半導體元件之電性，此裝置包括：一接 觸器，與半導體元件接觸；一基板，供應電子訊號到接觸 器；複數個連接元件，每個具有電子接頭，用於供應電子 訊號到基板，並且固定於基板；複數個連接器，每個具有 接觸fee腳’接觸接腳包括一接觸部分，用於接觸連接元件 之電子接頭，一套殼，用於支撐接觸接腳，一推進部分， 用於推進接觸接腳到電子接頭，並且其爲可自由拆解地連 接到複數個連接元件其中之一；一支撐器，支撐複數個連 接器；以及一固定部分，固定支撐器到基板，其中當推進 部分推進接觸接腳，在與電子接頭接觸時，接觸部分沿著 電子接頭滑動。 接觸部分沿著電子接頭滑動之方向可爲連接元件從連 接器移出之移出方向。接觸部分沿著電子接頭滑動之方向 可爲連接元件插入連接器之插入方向。 複數個連接元件可輻射狀排列在基板上；並且複數個 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 475984 505 7pif.doc/〇〇2 A7 B7 五、發明說明（,） 連接器可輻射狀排列在支撐器上。 一個推進邰分之每一個可具有轉動凸輪（rotational cam) ’並且半導體元件安裝裝置對於每個轉動凸輪可更進 一步包括手柄，藉以轉動轉動凸輪；並且手柄可附加於複 數個輻射方向排列之連接器的外緣。 半導體元件固定裝置可更進一步包括手柄驅動部分， 其附加於複數個手柄之外側，並且驅動複數個手柄。 依照本發明第二實施例之連接器，爲一種連接器，電 性連接至連接元件，包括：一接觸接腳，連接到連接元件 之電子接頭；一套殼，支撐接觸接腳；至少二個轉動凸輪， 將接觸接腳推向電子接頭，並且對稱固定在左右兩側；一 手柄，其轉動轉動凸輪；以及手柄操作部分，附加於手柄 之一末端，其表面至少一部份爲球形。 二個推進部分之每一個可具有轉動凸輪；並且手柄可 轉動轉動凸輪。 手柄可具有一操作桿部分，其連接至轉動凸輪，並且 延伸在轉動凸輪之輻射方向，以及一延伸部分，附加於操 作桿部分，並且延伸在轉動凸輪之軸向；以及手柄操作部 分，附加於延伸部分之末端。對於每個轉動凸輪均提供手 柄。 依照本發明第三實施例之連接器，爲一種連接器，電 性連接到連接元件’包括：一^接觸接腳’連接到連接兀件 之電子接頭；一套殼，支撐接觸接腳；至少二個轉動凸輪， 將接觸接腳推向電子接頭，並且對稱固定在左右兩側；一 6 本紙張尺度適用中關家標準（CNS)A4規格（21ϋ Χ 297公f ) -----* — — 略 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂——*------線j 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 475984 A7 B7 5057pif.doc/002 五、發明說明（t) 轉動凸輪支撐器，附加於套殼之外側，並且支撐轉動凸輪； 一漸細部分，其厚度沿著轉動凸輪之軸向漸細。 連接器更包括固定部分，在細的部份之末端，所在之 處即漸細部分的厚度變得最薄，固定部份固定連接器到連 接器基底。 連接器更包括固定部分，在粗的部份之末端，所在之 處即漸細部分的厚度變得最厚，固定部份固定連接器到連 接器基底。 本發明之槪述不需敘述所有必要特徵，因此本發明亦 可爲這些敘述特徵之次結合。 圖式之簡要說明 爲讓本發明之上述目的、特徵、和優點能更明顯易懂， 下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下： 第1圖是繪示依照本發明一實施例之半導體元件安裝 裝置之剖面圖； 第2圖是繪示在第1圖中之聯結單元100的透視圖； 第3圖是繪示手柄52與導引器102之另一實例的放大 圖； 第4圖是繪示在第1圖中所示，關於連接元件40如何 插入連接器5 0之剖面圖； 第5圖是繪示在第1圖中所示之連接器50的詳細放大 圖； 第6圖是繪示在第1圖中所示之連接元件40的詳細放 大圖。 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---------*------------訂---------線 j (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 475984 )05 7pif.doc/002 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（义） 圖式標號之簡要說明 20 :接觸器 30 :基板 40 :連接元件 42 :鉚釘 44 :電子接頭支撐器 46 :強化板 48 :電子接頭 5〇 :連接器 52 :手柄 56 :操作桿部分 58 :延伸部分 62 :固定部分 64 :固定部分 66 :漸細部分 68 :套殼 70 :接觸接腳 72 :轉動凸輪 74 :接觸部分 75 :圓周部份 76 :轉動凸輪支撐器 77 :平面部份 78 :推進部分 80 :支撐器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----·—·------------矿------------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 475984 5057pif.doc/002 A7 B7 五、發明說明（厶） 86 :固定部分 90 :連接器基底 100 :連接器單元 102 :導引器 104 :手柄驅動部分 106 :滑輪 較佳實施例之詳細說明 本發明在此將以較佳實施例爲基礎做敘述，藉以示範 本發明，然其並非用以限定本發明之範圍◦在實施例中揭 示之所有特徵及結合對於本發明基本上並不一定需要。 第1圖是繪不一種半導體兀件安裝裝置之剖面圖，用 以安裝半導體元件，藉以測試半導體元件之特性。如第1 圖所示，依照本發明一實施例之半導體安裝裝置，包括一 接觸器20，半導體元件與其接觸；以及一基板30，供應 電子訊號至接觸器20 ;複數個連接元件40，連接元件40 固定至基板30 ;複數個連接器50，連接器50爲可自由拆 解，連接到每一連接元件40 ;連接器基底90，複數個連 接器50固定於連接器基底90 ;以及支撐器80，支撐器80 支撐複數個連接器50以及連接器基底90。 基板30與連接器基底90爲圓柱形，並且從其圓心， 複數個連接元件40、連接器50、以及固定部分86如螺栓 爲輻射狀地排列。由於基板30與支撐器80之相對位置爲 固定，可以維持連接元件40與連接器50之相對位置。 第2圖是繪示在第1圖中之連接器單元100之透視圖。 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 475984 A7 B7 5 05 7pif.doc/002 五、發明說明（q) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在每一連接器50之外部附加二個用以轉動構成於連接器 中之轉動凸輪的手柄52(handle)。在手柄52之外緣，更附 加有導引器102用以驅動手柄52，以及手柄驅動部分104 用以轉動導引器102。藉由驅動手柄驅動部分1〇4與插在 連接器50中之連接元件40，導引器102與複數個手柄52 同時移動，並且連接連接器50至連接元件40 ◦因此，複 數個連接器可同時地並且容易地裝配於連接元件40。 第3圖是繪示在第2圖中之手柄52與導引器102之另 一實例的放大圖。在第2圖中，導引器102附加於手柄52 之外緣，但是導引器102亦可附加於手柄52之內緣，如 第3圖中所示。此外，爲了對連接器50緩慢地轉動導引 器102,最好滑輪106可附加於連接器基底90與導引器102 之間。 第4圖是關於在第1圖中所示，連接元件40如何插入 連接器50之剖面圖◦連接元件40具有鉚釘42安裝於基 板30，強化板46用以強化鉚釘42之固定部分，電子接頭 48供應電子訊號到基板30，以及電子接頭支撐器44支撐 電子接頭48。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另一方面，連接器50具有接觸接腳70，接觸接腳70 與連接元件40之電子接頭48接觸；套殼68，支撐接觸接 腳70 ;至少二個推進部分78，其將接觸接腳70推向電子 接頭48，並且對稱地位於左右兩側。二個推進部分78之 每一個具有轉動凸輪72，以及轉動凸輪支撐器76，支撐 轉動凸輪72。當轉動凸輪72轉動時，在轉動凸輪72與接 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 475984 A7 B7 505 7pif.doc/002 五、發明說明（ϊ) 觸接腳70之間的接觸部分以近乎相同的距離移向接觸元 件40，並且將接觸接腳7〇向電子接頭推進48。由於轉動 凸輪支撐器76接收從接觸接腳70推進之反應，轉動凸輪 支撐器76必須夠硬’避免其偏離。因此，最好轉動凸輪 支撐器76之厚度可以夠大’突出到套殼68的外部。 轉動凸輪72例如包括圓周部分75，其具有從轉動凸 輪之中心幾乎相同的距離，以及平面部分77，從其中心的 距離短於從中心到圓周部分的距離。接觸接腳70對稱排 列在左右兩側成二條線。當二個轉動凸輪72轉動時，推 進部分78之每一個分別推動複數個在左側之接觸接腳70 以及在右側之接觸接腳70。於此，爲了避免在每一條線之 接觸接腳70彼此短路（short-circuiting)，轉動凸輪72必須 絕緣。因此，最好轉動凸輪72之表面比如爲鐵氟龍覆蓋 (Teflon-coated) 〇 當左側及右側轉動凸輪72轉動在相同方向時，轉動凸 輪之一的上部推動接觸接腳70，另一轉動凸輪之下部推動 另一接觸接腳70。於此，爲了避免連接元件40移離連接 器50，最好左側與右側接觸接腳70等量推進。因此’在 推進部分78推進接觸接腳70之前，每一旋轉凸輪72在 連接元件40之插入方向爲對稱型式較佳◦當推進部分78 推進接觸接腳7〇時，二個轉動凸輪72與接觸接腳70接 觸之位置，對稱於連接元件4〇之中心。 接觸接腳7〇包括接觸部分74，接觸部分74與連接元 件4〇之電子接頭48接觸。當接觸部分78推進接觸接腳 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） 4 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 475984 5〇57pif.doc/002 A7 --------B7 五、發明說明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 70，與電子接頭48接觸時，接觸部分74沿著電子接頭48 滑動。以此’電子接頭48爲可塗寫的，並且移除氧化層 覆蓋與灰塵’使得接觸接腳7〇可穩定地與電子接頭48接 觸◦當接觸部分74滑動時，若連接元件4〇與連接器5〇 沿者ί安觸接腳70排列之方向滑行，可能會遺失聯結性。 爲避免如此’要求接觸部分74滑動方向垂直於接觸接腳 排列之方向°因此’在第4圖中所顯示之實例中，接觸部 分74在連接元件4〇從連接器5〇移除之移除方向滑動。 在另一個實例中，接觸部分74可沿著連接元件40插入連 接器5〇之插入方向增動。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第5圖是繪示在第1圖中之連接器50之更詳細的剖面 圖。在輻射狀排列於連接器基底9〇上之複數個連接器5〇 之外緣上，用以轉動轉動凸輪72之手柄52附加於每個轉 動凸輪72 °手柄52具有操作桿部分56，操作桿部分56 連接於轉動凸輪72,她且延伸在轉動凸輪72之輻射方向， 以及延伸部分58，其附加於操作桿部分56之末端，並且 延伸於轉動凸輪72之軸向。手柄操作部分6〇更附加於延 伸部分58之末端，至少其表面一部份爲球形。藉此，當 導引器102(於第2 _)不會總是從右側推手柄52，手柄52 可以緩慢地轉動。 連接益50具有漸細部分(taper part)66，漸細部分66 的厚度沿著轉動凸輪72之軸向逐漸縮小。藉此，當連接 器50爲輻射狀排列，在相鄰的連接器5〇之間的間距逐漸 變小，並且防止灰塵從連接器5〇之間掉落。在連接器50 12

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐Y 475984 A7 B7 5 05 7pif.doc/〇〇2 五、發明說明（w) 長邊的兩端，所在之處的漸細部分66厚度變成最薄及最 厚，附加固定部分62與64藉以固定連接器50至連接器 基底90。由於固定部分62與64只排列在兩端，其可縮小 相鄰連接器50之間的間距。結果’可排列眾多的連接器50 於連接器基底90上。 第6圖是繪示在第1圖中所示之連接元件40更詳細的 剖面圖。連接元件40具有眾多的電子接頭48，電子接頭 48傳遞從連接器50到基板30接收之訊號，電子接頭支撐 器44支撐電子接頭48，鉚釘42固定連接元件40到基板 30，以及強化板46強化鉚釘42與連接元件40之間的接 觸部分◦鉚釘42整個穿透連接元件40，且更穿透基板30 與強化板46，然後使鉚釘42之末端皺摺定型，並且固定 連接元件4〇到基板30。藉此，跟連接元件4〇焊接在基板 30之情況相比，連接元件可以更堅固地固定在基板，並且 可防止與連接元件的分離。 從上述的解釋可以淸楚地了解，本發明提供一種連接 器，其可輕易地、正確地、並且穩定地連接到連接元件。 雖然本發明已以一示範實施例揭露如上，然任何熟習 此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種 之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專 利範圍所界定者爲準。 本紙張尺度悄國家標準（CNS)A_i規格（210 x 297公爱） --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Claims (1)

1. 475984 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 A8 B8 5Q57pifd〇C/Q°2_D8_ 々、申請專利範圍 1. 一種半導體元件安裝裝置，於安裝半導體元件， u七 藉以測試該半導體元件之電性，呈&隹括： ί Λ气 一接觸器，與該半導體元件接丨觸j 一基板，供應一電子訊號至該器； 複數個連接元件，其每個具有用於供應該電子訊號到 該基板之一電子接頭，並且固定於該基板； 複數個連接器，其每個具有一接觸接腳，該接觸接腳 包括一接觸部分，用於接觸該電子接頭與該連接兀件，一 套殼，用於支撐該接觸接腳，一推進部分，用於推進該接 觸接腳到該電子接頭，並且其爲可自由拆解，連接到該些 連接元件其中之一； 一支擦器，支撑該些連接器；以及 一固定部分，固定該支撐器到該基板， 其中當該推進部分推進該接觸接腳，在該接觸部分與 該電子接頭接觸時，該接觸部分沿著該電子接頭滑動。 2. 如申請專利範圍第1項所述之半導體元件安裝裝置， 其中該接觸部分沿著該電子接頭滑動之方向爲該連接元件 從該連接器移出之一移出方向。 3. 如申請專利範圍第1項所述之半導體元件安裝裝置， 其中該接觸部分沿著該電子接頭滑動之方向爲該連接元件 插入至該連接器之一插入方向。 4. 如申請專利範圍第1項所述之半導體元件安裝裝置， 其中： 該些連接元件輻射狀排列於該基板上；以及 14 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線一 本紙張尸、度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4^5984— 5 05 7pif.doc/002 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 該些連接器輻射狀排列於該支撐器上。 5·如申請專利範圍第4項所述之半導體元件安裝裝置， 其中二個推進部分之每一個具有一轉動凸輪， 該半導體元件對於每一該轉動凸輪更包括一手柄，藉 以轉動該轉動凸輪， 其中該手柄附加於該些輻射狀排列之連接器的外緣。 6·如申請專利範圍第5項所述之半導體元件安裝裝置， 其中更包括一手柄驅動部分，附加於該些手^側，並 且驅動該些手柄。 ‘

   7.—種連接器，電性連接至一連接元件，包括 一接觸接腳，連接到該連接元件之一電^蕾; 一套殼，支撐該接觸接腳； 佐f 至少 推進部分，將該接觸接腳推向該電子接頭 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且彼此相對； 一手柄，轉動該些推進部分；以及 一手柄操作部分，附加於該手柄之末端’並且至少其 表面一部份爲球形。 8. 如申請專利範圍第7項所述之連接器，其中： 每一該推進部分具有一轉動凸輪；以及 該手柄轉動該轉動凸輪。 9. 如申請專利範圍第8項所述之連接器，其中： 該手柄具有一操作桿部分，連接到該轉動凸輪，並且 在該轉動凸輪之一輻射方向延伸，以及一延伸部分，附加 於該操作桿部分之一末端，並且在該轉動凸輪之一軸向延 訂------------線I 本紙張K度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） 475984 A8 B8 C8 D8 5 05 7pif.doc/002 六、申請專利範圍 伸；以及 該手柄操作部分附加於該延伸部分之一末端

   該手柄 包括 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 10. 如申請專利範圍第8項所述之連接器 提供於每一該轉動凸輪。 11. 一種連接器，電性連接到一連接元件 一接觸接腳，連接到該連接元件之一電子 一套殼，支撐該接觸接腳； / ' 至少二個轉動凸輪，將該接觸接腳推向該電子接頭， 並且彼此相對； 一轉動凸輪支撐器，附加於該套殼之外側，並且支撐 該轉動凸輪； 一漸細部分，其厚度沿著該轉動凸輪之一軸向逐漸縮 /J、 12. 如申請專利範圍第11項所述之連接器，其中更包 括一固定部分，位於一細的部分之一末端，所在之處即該 漸細部分的厚度變得最細，該固定部分固定該連接器到一 連接器基底。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 13. 如申請專利範圍第11項所述之連接器，其中更包 括一固定部分，位於一粗的部分之一末端，所在之處即該 漸細部分的厚度變得最厚，該固定部分固定該連接器到一 連接器基底。 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）