DE19836614C2

DE19836614C2 - Halbleiterchip mit Leitung an einem Eckteil des Halbleiterchips

Info

Publication number: DE19836614C2
Application number: DE19836614A
Authority: DE
Inventors: Kazuyoshi Fukuda
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1998-01-13
Filing date: 1998-08-12
Publication date: 2003-08-21
Anticipated expiration: 2018-08-13
Also published as: JPH11204596A; DE19836614A1; US6184569B1

Description

Die Erfindung betrifft einen Halbleiterchip gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1. Ein derartiger Halbleiterchip ist beispielsweise aus der US 5 585 676 bekannt.

Fig. 8 ist eine Vorderansicht, die die Konfiguration eines bekannten Halbleiterchips zeigt. In der Figur bezeichnen die Bezugszeichen 6 jeweils interne Schaltungen, die auf einem zentralen Teil eines Halbleitersubstrats gebildet sind; die Bezugszeichen 5 bezeichnen jeweils externe Bondinseln, die entlang einem Umfangsrand des Halb leitersubstrats so angeordnet sind, daß Bonddrähte usw. damit verbunden werden können; und Bezugszeichen 19 bezeichnen jeweils externe Eingangs/Ausgangslei tungen zum Verbinden der jeweiligen externen Bondinseln 5 mit jeweiligen internen Schaltungen 6.

Ferner ist ein solcher Halbleiterchip durch Ausbilden von Schaltungsbauelementen wie Transistoren unter Anwendung von Techniken wie etwa Ionenimplantation auf einem Wafer, der aus einem Halbleiter besteht, und nach dem Auflaminieren von Verdrahtungen zum Verbindender Schaltungsbauelemente miteinander auf dem Wafer unter Durchführung einer Zerteilung des Wafers gebildet.

Da der bekannte Halbleiterchip wie oben angegeben konfiguriert ist, findet bei der Zerteilung ein Aussplittern statt, es treten Diffusionsschwankungen in einem Diffusi onsbereich infolge einer Änderung von Faktoren wie etwa des Ionenimplantations- Wirkungsgrads auf, oder es ergeben sich Änderungen der Dicke der Verdrahtung. Bei dem oben angegebenen Wafer ist insbesondere ein Einkristallstab, der das Originalmaterial dafür ist, zylindrisch geformt, und ferner besteht seit einigen Jahren die Tendenz, eine Fläche des Wafers zu vergrößern. Infolgedessen besteht eine Tendenz, daß leicht charakteristische Unterschiede zwischen einem zentralen Teil und einem Außenumfangsteil des Wafers ausgebildet werden, und es wird unmög lich, das Auftreten von Problemen der oben beschriebenen Art zu vermeiden.

Um ferner beim Stand der Technik diese Art von fehlerhaften Chips möglichst frühzeitig unterscheiden und auswählen zu können, wird zu Beginn einer Chip-Prü fung ein Anschlußstellen- bzw. Interface-Test (hier kurz "IF-Test") durchgeführt. Der IF-Test ist allgemein ein Test, bei dem eine einzelne Prüfsonde mit jeder externen Bondinsel 5 in Kontakt gebracht, eine Diodencharakteristik unter Verwendung dieser Prüfsonde gemessen und eine Annehmbar/Fehlerhaft-Produktbeurteilung durchge führt wird, indem das Meßergebnis mit einer vorbestimmten Charakteristik vergli chen wird. Wenn ein Chip ein annehmbarer Chip ist, was bei der vorgenannten Fig. 8 der Fall ist, besteht der Chip den Chiptest und wird dann einem nächsten Halblei terbauelement-Fertigungsvorgang zugeführt.

Im übrigen werden als von diesem Test verschiedene Chiptests auch ein Test der elektrischen Charakteristiken und ein Funktionstest durchgeführt.

Wie oben erwähnt, dient der IF-Test dazu, eine Prüfsonde mit jeder externen Bond insel 5 in Kontakt zu bringen, die Diodencharakteristik des Halbleitersubstrats in dem Zustand zu messen und die Annehmbar/Fehlerhaft-Produktbeurteilung in Abhängigkeit davon durchzuführen, ob das Ergebnis dem gewünschten Ergebnis entspricht.

Fig. 9 ist eine Vorderansicht, die die Konfiguration eines bekannten Halbleiterchips zeigt, von dem ca. 30% der Fläche ausgesplittert ist. In der Figur bezeichnen Bezugszeichen 21 jeweils ausgesplitterte externe Bondinseln, die im Inneren des genannten ausgesplitterten Bereichs angeordnet sein sollten, und Bezugszeichen 20 bezeichnen jeweils ausgesplitterte externe Eingangs/Ausgangs-Leitungen, die im Inneren des genannten ausgesplitterten Bereichs angeordnet sein sollten. Die übrige Konstruktion gleicht derjenigen von Fig. 8, und somit bezeichnen gleiche Bezugs zeichen gleiche Elemente wie oben, und ihre Beschreibung entfällt. Im Fall eines solchen bekannten Halbleiterchips, von dem ca. 30% ausgesplittert sind, ist es möglich, den Chip als fehlerhaftes Produkt bei dem oben beschriebenen IF-Test zurückzuweisen, weil der Chip die externen Bondinseln 21 nicht aufweist.

Dagegen ist Fig. 10 eine Vorderansicht, die die Konfiguration eines bekannten Halb leiterchips zeigt, von dem ca. 10% der Fläche ausgesplittert sind. Der übrige Auf bau ist gleich dem von Fig. 9, und daher bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche Elemente und werden nicht erneut beschrieben. Im Fall eines solchen Halbleiter chips, von dem ca. 10% ausgesplittert sind, muß der Chip gewöhnlich als fehler haftes Produkt ausgesondert werden, um die Zuverlässigkeit bei der Bildung zu einem Halbleiterbauelement zu gewährleisten. In diesem Fall existieren jedoch sämtliche externen Bondinseln 5. Daher zeigt sich, daß die gewünschte Charakteri stik bei dem vorgenannten IF-Test erhalten wird und es somit unmöglich wird, den Chip als Ausschuß zurückzuweisen.

Um also diese Art von fehlerhaftem Produkt in einem tatsächlichen Herstellungs prozeß unterscheiden und auswählen zu können, mußte jeder Halbleiterchip unter Anwendung einer Sichtprüfung geprüft werden. Bei einer solchen Prüfung, bei der man sich auf menschliche Hilfe verläßt, treten Schwankungen in dem geprüften In halt auf. Es verbleiben daher Chips, die eigentlich als fehlerhafte Produkte beurteilt werden müssen, um die erwähnte Zuverlässigkeit beizubehalten, und schließlich bleibt die Gefahr bestehen, daß ein Halbleiterbauelement hergestellt worden ist, in dem solche fehlerhaften Chips verwendet worden sind.

Bei dem vorgenannten IF-Test gibt es außerdem in Abhängigkeit von der Beziehung zwischen den ausgesplitterten Teilen/Bereichen und einer Prüfordnung der externen Bondinseln 5 einen Fall, in dem erst nach Prüfen einer Vielzahl von externen Bond inseln 5 der Chip als ein fehlerhaftes Produkt beurteilt wird. In diesem Fall besteht das Problem, daß die Prüfzeit, die zum Messen der externen Bondinseln 5 bis zu die sem Zeitpunkt abgelaufen ist, umsonst aufgewendet worden ist.

In der US 5 585 676 sind Chips offenbart, auf denen Bondinseln bzw. Pads derart angeordnet sind, daß diese an verschiedene Typen von Pinkonfigurationen inte grierter Schaltungen anpaßbar sind. Dadurch ist nicht mehr für jeden Chip ein eigenes Gehäuse mit entsprechend angepaßter Pinkonfiguration erforderlich. Dies wird erreicht, indem verschiedene, miteinander in Beziehung stehende Bondinseln sym metrisch zum Zentrum des Chips oder in einem von vier Abschnitten des Halbleiter chips, die durch longitudinales und laterales Einteilen erhalten werden, angeordnet werden.

Wie in der JP 2-312255 A angegeben ist, wird in Betracht gezogen, einen ausge splitterten oder beschädigten Chip in einem speziell dafür bestimmten Prüfverfahren zu beurteilen. Fig. 11 ist eine Vorderansicht, die eine Ausführungsform eines Halb leiterchips zeigt, bei dem ein solches Prüfverfahren angewandt wird. Dabei bezeich nen die Bezugszeichen 22 jeweils Detektierinseln, die unabhängig von den externen Bondinseln 5 vorgesehen sind, und 23 bezeichnet eine Detektierleitung, die entlang dem gesamten Umfangsrand des Chips angeordnet ist und die beiden Detektierinseln 22, 22 miteinander verbindet. Die übrige Konstruktion gleicht derjenigen des be kannten Halbleiterchips von Fig. 8, und daher bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche Elemente und werden nicht erneut beschrieben.

Fig. 12 ist ferner eine Vorderansicht, die die Konfiguration des anderen bekannten Halbleiterchips zeigt, von dem ca. 10% der Fläche ausgesplittert sind, und Fig. 13 zeigt die Konfiguration des anderen bekannten Halbleiterchips, von dem ca. 30% der Fläche ausgesplittert sind.

In den Figuren bezeichnet dabei das Bezugszeichen 26 eine ausgesplitterte Prüflei tung, die im Inneren des ausgesplitterten Bereichs angeordnet sein soll, und die Bezugszeichen 25 bezeichnen ausgesplitterte Eingangs/Ausgangs-Kontaktflächen, die innerhalb des ausgesplitterten Bereichs angeordnet sein sollen.

Bei einem solchen Verfahren zum Prüfen des Halbleiterchips wird eine Prüfsonde in Kontakt mit den vorgenannten beiden Detektierinseln 22, 22 gebracht. Wenn zwi schen ihnen eine elektrische Leitung festgestellt wird, wird der Chip als annehm bares Produkt beurteilt, und wenn keine elektrische Leitung festgestellt wird, wird der Chip als fehlerhaftes Produkt beurteilt. Es ist somit möglich, nicht nur den Halb leiterchip, auf dem die externen Bondinseln 25 ausgesplittert sind, wie Fig. 13 zeigt, als fehlerhaftes Produkt zu beurteilen, sondern auch den Halbleiterchip, der in einem solchen Maß ausgesplittert ist, daß die externen Bondinseln 5 nicht beschädigt sind, wie in Fig. 12 gezeigt ist, weil die Aussplitterung als eine Beschädigung der Prüflei tung 26 detektiert werden kann. Infolgedessen wird es möglich, die Zuverlässigkeit eines Halbleiterbauelements sicherzustellen und außerdem die Prüfung mit hoher Effizienz auszuführen.

Wie in Fig. 4 der JP 2312255 A dargestellt, gibt es neben der Möglichkeit, zwei Detektierinseln 22, 22, die mit der Detektierung des Chips elektrisch leitfähig ver bunden sind, auf dem Chip vorzusehen, auch die Möglichkeit, die Detektierleitung an ihrem einen Ende mit einer Detektierinsel und an ihrem anderen Ende mit einer Bondinsel des zu prüfenden Chips elektrisch leitfähig zu verbinden. Somit kann eine der beiden Detektierinseln entfallen und das Layout des Chips wird somit verein facht.

Wenn man jedoch versucht, die Detektierinseln 22 und die Prüfleitung 26, die spezi ell zum einfachen Detektieren der Aussplitterung bestimmt sind, nur auf diese Weise auszubilden, tritt das Problem einer Vergrößerung der Chipfläche auf.

Angesichts der oben angegebenen Aspekte ist es die Aufgabe der Erfindung, einen Halbleiterchip anzugeben, der ein einfaches Beurteilen und Erkennen eines fehler haften Chips ohne die Ausbildung von Kontaktflächen und Verdrahtungen, die spe ziell nur zum Detektieren von Aussplitterungen bestimmt sind, ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch einen Halbleiterchip mit den Merkmalen gemäß dem Patentanspruch 1 und durch einen Halbleiterchip mit den Merkmalen gemäß dem Patentanspruch 3 gelöst.

Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Halbleiterchip an gegeben, der eine externe Eingangs/Ausgangsleitung hat, die auf solche Weise an wenigstens einem Eckteil des Halbleiterchips ausgebildet ist, daß sie zwischen einem Umfangsrand des Halbleiterchips und einer Position, an der eine externe Bondinsel gebildet ist, verläuft. Somit kann ohne zusätzliche Schaltungsteile, insbesondere ohne zusätzliche Bondinseln, und ohne zusätzliche Leitungen, überprüft werden, ob der Halbleiterchip an dem jeweiligen, mit der erfindungsgemäßen Leitungsführung versehenen Eckteil beim Zerteilen des Wafers Aussplitterungen erlitten hat.

Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine besonders vor teilhafte Weiterentwicklung des oben angegebenen Halbleiterchips angegeben. Auf dem Halbleiterchip gemäß diesem zweiten Aspekt ist die externe Bondinsel an einer Ecke des Halbleiterchips vorhanden. Dies ermöglicht eine besonders vorteilhafte Lei tungsführung, da die Leitungen durch diese Anordnungen möglichst kurz gehalten werden können, was einerseits zu einer möglichst einfachen und damit auch mög lichst fehlerunanfälligen Konstruktion führt, und andererseits die Leitungslänge und somit auch die entstehende Abwärme verringert.

Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung können zum Feststellen von Aussplitterungen eines Halbleiterchips auch Energiezuführungsleitungen genutzt werden. Gemäß diesem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Energiezufüh rungsleitung, die sog. Umfangsrand-Energiezuführungsleitung, an wenigstens einem Eckteil des Halbleiterchips ausgebildet und so verdrahtet, daß sie zwischen einem Umfangsrand des Halbleiterchips und einer Position, an der eine externe Bondinsel gebildet ist, verläuft und eine Vielzahl von Energiezuführungs-Kontaktflächen miteinander verbindet. Somit ist das Feststellen von Aussplitterungen durch eine Untersuchung der Umfangsrand-Energiezuführungsleitung möglich. Auch bei einer Halbleiter-Konstruktion gemäß diesem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung werden keine zusätzlichen Schaltungsteile benötigt, um Aussplitterungen des Halb leiterchips feststellen zu können.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die bei liegenden Zeichnungen näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in:

Fig. 1 eine Vorderansicht eines Halbleiterchips gemäß einer ersten Ausführungsform (Ausführungsform 1) zur Durchführung der Erfindung;

Fig. 2 eine Vorderansicht, die einen Wafer zeigt, auf dem eine große Anzahl Halbleiterchips gemäß Ausführungsform 1 gebildet ist;

Fig. 3 eine Vorderansicht des Halbleiterchips gemäß Ausführungsform 1, wobei ca. 10% der Chipfläche ausgesplittert sind;

Fig. 4 eine Vorderansicht des Halbleiterchips gemäß Ausführungsform 1, wobei ca. 30% der Chipfläche ausgesplittert sind;

Fig. 5 eine Vorderansicht eines Halbleiterchips gemäß einer zweiten Ausführungsform (Ausführungsform 2) zur Durchführung der Erfindung;

Fig. 6 eine Vorderansicht des Halbleiterchips gemäß Ausführungsform 2, wobei ca. 10% der Chipfläche ausgesplittert sind;

Fig. 7 eine Vorderansicht des Halbleiterchips gemäß Ausführungsform 2, wobei ca. 30% der Chipfläche ausgesplittert sind;

Fig. 8 eine Vorderansicht einer Konfiguration eines bekannten Halbleiterchips;

Fig. 9 eine Vorderansicht eines bekannten Halbleiterchips, wobei ca. 30% der Chipfläche ausgesplittert sind;

Fig. 10 eine Vorderansicht eines bekannten Halbleiterchips, von dem ca. 10% der Chipfläche ausgesplittert sind;

Fig. 11 eine Vorderansicht der Konfiguration eines anderen bekannten Halbleiterchips;

Fig. 12 eine Vorderansicht des anderen bekannten Halbleiterchips, wobei ca. 10% der Chipfläche ausgesplittert sind; und

Fig. 13 eine Vorderansicht des anderen bekannten Halbleiterchips, wobei ca. 30% der Chipfläche ausgesplittert sind.

Nachstehend folgt die Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen unter Bezug nahme auf die beigefügten Zeichnungen.

Ausführungsform 1

Fig. 1 ist eine Vorderansicht, die einen Halbleiterchip gemäß der Ausführungsform 1 zeigt. Dabei bezeichnen Bezugszeichen 6 jeweils interne Schaltungen, die auf einem zentralen Teil eines Halbleitersubstrats gebildet sind, Bezugszeichen 5 bezeichnen jeweils externe Bondinseln, die entlang einem Umfangsrand des Halbleitersubstrats zum Anschluß von Bonddrähten usw. angeordnet sind, und Bezugszeichen 7 be zeichnen jeweils externe Eingangs/Ausgangsleitungen, um externe Bondinseln 5 mit den jeweiligen internen Schaltungen 6 zu verbinden. Insbesondere sind die externen Eingangs/Ausgangsleitungen 7, die mit den externen Bondinseln 5 an vier Ecken des Chips verbunden sind, auf solche Weise verdrahtet, daß die externen Eingangs/Aus gangsleitungen an den Ecken des Chips, an denen die externen Bondinseln 5 vor handen sind, zwischen dem Umfangsrand des Chips und Positionen verlaufen, an denen die externen Bondinseln gebildet sind, und dann mit den internen Schal tungen 6 verbunden sind.

Fig. 2 ist eine Vorderansicht eines Wafers, auf dem die oben angegebene große Zahl von Halbleiterchips ausgebildet ist. Dabei bezeichnet 1 den Wafer, 2 bezeichnet einen Halbleiterchip, auf dem die Halbleiterstruktur vollständig ausgebildet ist, 3 bezeichnet einen Halbleiterchip, bei dem ca. 10% der Chipfläche ausgesplittert sind, und 4 bezeichnet einen Halbleiterchip, bei dem ca. 30% der Chipfläche ausgesplit tert sind.

Dabei sind die oben beschriebenen Halbleiterchips 2, 3, 4 durch die Bildung von Schaltungsbauelementen wie etwa Transistoren unter Anwendung von Verfahren wie beispielsweise Ionenimplantation auf einem Wafer, der aus einem Halbleiter besteht, und nach dem Auflaminieren von Verdrahtungen zum Verbinden der Schaltungsbau elemente miteinander auf dem Wafer durch Zerteilen des Wafers ausgebildet.

Als nächstes wird ein Verfahren zum Prüfen eines Halbleiterchips bei der Ausfüh rungsform 1 beschrieben.

Das Verfahren ist ein Test, bei dem zuerst eine Prüfsonde einzeln nacheinander in Kontakt mit den vorher angegebenen Bondinseln 5 an den vier Ecken gebracht wird, um die Diodencharakteristik unter Verwendung dieser Prüfsonde zu messen und eine Annehmbar/Fehlerhaft-Produktbeurteilung durchzuführen, indem das Meßergebnis mit einer vorbestimmten Charakteristik verglichen wird. Wenn ein Chip ein annehm barer Chip ist, was in der vorgenannten Fig. 1 der Fall ist, besteht der Chip den Test und wird dann einem weiteren Vorgang zur Fertigung eines Halbleiterbauelements zugeführt.

Fig. 3 ist eine Vorderansicht, die einen Halbleiterchip zeigt, von dem ca. 10% der genannten Chipfläche ausgesplittert sind. Fig. 4 ist eine Vorderansicht, die einen Halbleiterchip zeigt, von dem ca. 30% der genannten Chipfläche ausgesplittert sind. In den Figuren bezeichnen Bezugszeichen 8 ausgesplitterte externe Eingangs/Aus gangsleitungen, die innerhalb des ausgesplitterten Bereichs angeordnet sein sollen, und Bezugszeichen 9 bezeichnen ausgesplitterte externe Eingangs/Ausgangs- Kontaktflächen, die innerhalb des ausgesplitterten Bereichs angeordnet sein sollen. Die übrige Konstruktion gleicht derjenigen von Fig. 1, und somit werden für gleiche Elemente gleiche Bezugszeichen verwendet, und die Beschreibung entfällt.

Was den oben beschriebenen Halbleiterchip betrifft, dessen Umfangsrandteil ausge splittert ist, so ist es nicht möglich, eine vorbestimmte Diodencharakteristik bei dem oben angegebenen Test zu erhalten, und ein solcher Halbleiterchip wird daher als fehlerhaftes Produkt beurteilt.

Ferner werden Halbleiterchips, die bei dem Aussplitterungstest als annehmbare Pro dukte beurteilt wurden, nach Prüfung in den übrigen Chiptests zu einem Halbleiter bauelement fertiggestellt.

Wie oben beschrieben wird, ist es bei der Ausführungsform 1 möglich, einen ausge splitterten Chip als fehlerhaften Chip zurückzuweisen, indem elektrische Charakteri stiken der externen Bondinseln 5 an den vier Ecken geprüft werden. Infolgedessen ist es möglich, nicht nur den Halbleiterchip, auf dem die externen Bondinseln 9 wie in Fig. 4 gezeigt ausgesplittert sind, sondern auch den Halbleiterchip, der in solchem Maß ausgesplittert ist, daß die externen Bondinseln 5 nicht beschädigt sind, wie Fig. 3 zeigt, als fehlerhaftes Produkt zu beurteilen, weil die Aussplitterung als eine Aus splitterung der externen Eingangs/Ausgangsleitungen 8 detektiert werden kann. Somit tritt das Problem der Zuverlässigkeit, das sich bei der herkömmlichen Beur teilung auf der Basis der Sichtprüfung findet, niemals auf. Auch wenn ferner ein Chip aus anderen Gründen als einer Aussplitterung fehlerhaft ausgebildet ist, wenn beispielsweise die Verdrahtung, die als externe Ein/Ausgabeleitungen 7 dient, eine ge ringere als die erwünschte Dicke hat (ein Fall von fehlerhafter Verdrahtung), ist es möglich, dies zu beurteilen und den Chip zurückzuweisen, indem Abweichungen der elektrischen Charakteristiken geprüft werden.

Ferner ist es nicht notwendig, Kontaktflächen vorzusehen, die speziell zum Messen einer Aussplitterung ausgelegt sind, und daher tritt das Problem einer vergrößerten Chipfläche nicht auf.

Da weiterhin der oben beschriebene Test zu Beginn der Chiptests bei der Ausfüh rungsform 1 ausgeführt wird, wird es bei Durchführung der Beurteilung von höch stens vier externen Bondinseln 5 an den vier Ecken möglich, einen fehlerhaften Chip aufgrund der Aussplitterung sicher zu beurteilen, und noch dazu besteht keine Ge fahr, daß die Prüfzeit nutzlos aufgewandt worden ist.

Ausführungsform 2

Fig. 5 ist eine Vorderansicht eines Halbleiterchips gemäß der Ausführungsform 2. In der Figur bezeichnet das Bezugszeichen 10 jeweils Energiezuführungs-Kontaktflä chen zur Zuführung einer identischen Speisespannung zu dem Chip, 11 bezeichnet eine Umfangsrand-Energiezuführungsleitung, die entlang dem gesamten Außen umfang des vorgenannten Halbleiterchips auf solche Weise verdrahtet ist, daß sie zwischen dem Umfangsrand und Positionen, an denen Kontaktflächen gebildet sind, durchgeht und die genannten beiden Energiezuführungs-Kontaktflächen 10, 10 mit einander verbindet, und 24 bezeichnen Energiezuführungs-Einführungsleitungen zur Zuführung von Energie zu jedem Teil von internen Schaltungen 6 von der Umfangs rand-Energiezuführungsleitung 11. Die übrige Konstruktion gleicht derjenigen von Ausführungsform 1, so daß die gleichen Bezugszeichen für gleiche Elemente ver wendet sind und keine erneute Beschreibung erfolgt.

Der Halbleiterchip ist ferner mit der gleichen Methode wie bei der ersten Ausfüh rungsform gebildet.

Als nächstes wird ein Verfahren zum Prüfen eines Halbleiterchips im Fall der Ausfüh rungsform 2 beschrieben.

Die auszuführende Prüfung besteht darin, zuerst eine Prüfsonde in Kontakt mit den genannten beiden Energiezuführungs-Kontaktflächen 10, 10 zu bringen, eine Cha rakteristik der Energiezuführungsverdrahtung unter Anwendung dieser Prüfsonde zu messen und eine Annehmbar/Fehlerhaft-Produktbeurteilung auszuführen durch Ver gleich des Meßergebnisses mit einer vorbestimmten Charakteristik. Wenn ein Chip annehmbar ist, wie in Fig. 5 gezeigt ist, besteht der Chip den Test und wird dann einem nächsten Fertigungsvorgang für Halbleiterbauelemente zugeführt.

Fig. 6 ist eine Vorderansicht eines Halbleiterchips, von dem ca. 10% der Chipfläche ausgesplittert sind, und Fig. 7 ist eine Vorderansicht eines Halbleiterchips, von dem ca. 30% der Chipfläche ausgesplittert sind. In den Figuren bezeichnet 12 eine aus gesplitterte externe Eingangs/Ausgangsleitung, die innerhalb des ausgesplitterten Bereichs angeordnet sein soll, und 9 bezeichnen ausgesplitterte externe Eingangs/ Ausgangs-Kontaktflächen, die innerhalb des ausgesplitterten Bereichs angeordnet sein sollen. Die übrige Konstruktion gleicht derjenigen von Fig. 5, so daß gleiche Bezugszeichen für gleiche Elemente verwendet sind und keine erneute Beschreibung erfolgt.

In bezug auf den oben beschriebenen Halbleiterchip, dessen Umfangsrandteil ausge splittert ist, kann bei dem vorgenannten Test keine vorbestimmte Charakteristik der Energiezuführungsverdrahtung erhalten werden, so daß ein Halbleiterchip als feh lerhaftes Produkt beurteilt wird.

Halbleiterchips, die bei dem Aussplitterungstest als annehmbare Produkte beurteilt wurden, werden ferner nach Prüfung in den übrigen Chiptests zu einem Halbleiter bauelement fertiggestellt.

Wie oben beschrieben, ist es bei der Ausführungsform 2 möglich, einen ausgesplit terten Chip als fehlerhaft zurückzuweisen, indem elektrische Charakteristiken der Energiezuführungs-Kontaktflächen 10, 10 geprüft werden, die entlang dem Umfangsrand des Chips ausgebildet sind. Infolgedessen kann nicht nur der Halbleiterchip, an dem die externen Bondinseln 9 wie in Fig. 7 ausgesplittert sind, sondern auch der Halbleiterchip, der in solchem Maß ausgesplittert ist, daß die externen Bondinseln 5 wie in Fig. 6 nicht ausgesplittert sind, als fehlerhaftes Produkt beurteilt werden, weil die Aussplitterung als eine Aussplitterung einer Umfangsrand-Energiezuführungslei tung 12 detektiert werden kann. Somit tritt das Problem der mangelnden Zuverläs sigkeit, das sich bei der herkömmlichen Beurteilung auf der Basis der Sichtprüfung findet, zu keiner Zeit auf.

Selbst wenn ferner ein Chip als fehlerhafter Chip aus anderen Gründen als denen einer Aussplitterung gebildet ist, wenn beispielsweise eine als Umfangsrand-Energie versorgungsleitung 11 verwendete Verdrahtung dünner als mit einer erwünschten Dicke ausgebildet ist (ein Fall von fehlerhafter Verdrahtung), kann der Chip durch Prüfen von Abweichungen der Energieversorgungs-Verdrahtungscharakteristik beur teilt und zurückgewiesen werden.

Es ist ferner nicht notwendig, Kontaktflächen vorzusehen, die speziell zur Messung der Aussplitterung ausgelegt sind, und somit tritt das Problem einer Vergrößerung der Chipfläche nicht auf.

Da ferner die oben beschriebene Prüfung zu Beginn der Chiptests bei der zweiten Ausführungsform durchgeführt wird, kann ein aufgrund von Aussplitterung fehler hafter Chip mit Sicherheit beurteilt werden, und außerdem besteht nicht die Gefahr, daß die Prüfzeit umsonst aufgewandt wird.

Claims

1. Halbleiterchip, der folgendes aufweist:
eine externe Bondinsel (5), um eine elektrische Verbindung mit einer externen Schaltungseinrichtung herzustellen;
eine interne Schaltung (6), die mit der externen Bondinsel (5) verbunden ist, um eine vorbestimmte Operation auszuführen; und
eine externe Eingangs/Ausgangsleitung (7) zum Verbinden der externen Bondinsel (5) mit der internen Schaltung (6);
dadurch gekennzeichnet, daß
die externe Eingangs/Ausgangsleitung (7) auf solche Weise an wenigstens einem Eckteil des Halbleiterchips ausgebildet ist, daß sie zwischen einem Umfangsrand des Halbleiterchips und einer Position, an der die externe Bondinsel (5) gebildet ist, verläuft.

2. Halbleiterchip nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die externe Bondinsel (5) an einer Ecke des Halbleiterchips vorhanden ist.

3. Halbleiterchip, der folgendes aufweist:
eine externe Bondinsel (5), um eine elektrische Verbindung mit einer externen Schaltungseinrichtung herzustellen;
eine interne Schaltung (6), die mit der externen Bondinsel (5) verbunden ist, um eine vorbestimmte Operation auszuführen;
eine externe Eingangs/Ausgangsleitung (7) zum Verbinden der externen Bondinsel (5) mit der internen Schaltung (6),
eine Vielzahl von Energiezuführungs-Kontaktflächen (10) zur Zuführung einer identischen Versorgungsspannung;
eine Umfangsrand-Energiezuführungsleitung (11), die derart ausgebil det ist, daß sie zwischen einem Umfangsrand des Halbleiterchips und einer Position, an der die externe Bondinsel (5) gebildet ist, verläuft und die Vielzahl von Energiezuführungs-Kontaktflächen (10) miteinan der verbindet; und
eine Energiezuführungs-Einführungsleitung (24) zum Zuführen von Energie von der Umfangsrand-Energiezuführungsleitung (11) zur internen Schaltung (6);
dadurch gekennzeichnet, daß
die Umfangsrand-Energiezuführungsleitung (11) an wenigstens einem Eckteil des Halbleiterchips ausgebildet ist.