DE19826259A1 - Verfahren und Einrichtung zum Vakuumbeschichten eines Substrates - Google Patents
Verfahren und Einrichtung zum Vakuumbeschichten eines SubstratesInfo
- Publication number
- DE19826259A1 DE19826259A1 DE19826259A DE19826259A DE19826259A1 DE 19826259 A1 DE19826259 A1 DE 19826259A1 DE 19826259 A DE19826259 A DE 19826259A DE 19826259 A DE19826259 A DE 19826259A DE 19826259 A1 DE19826259 A1 DE 19826259A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- carbon
- metal
- silicon
- layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
- C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
- Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
- Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/30—Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
Die Erfindung geht aus von einem Verfahren nach der Gattung
des Hauptanspruchs. Ein Verfahren dieser Art ist bekannt
aus der DE-C 195 13 614. Danach erfolgt die Beschichtung
eines Substrates mit amorphen Kohlenstoffschichten durch
Anlegen einer bipolaren Spannung, deren positive und nega
tive Pulsdauern getrennt voneinander einstellbar sind, an
das Substrat. Während der Abscheidung ist die positive
Pulsdauer kleiner als die negative Pulsdauer, die Pulsfre
quenz liegt im Bereich von 5 bis 100 kHz. Zur Verbesserung
der Haftung der erzeugten amorphen Kohlenstoffschicht auf
dem Substrat ist vorgesehen, eine modifizierte, metallhal
tige Kohlenstoffzwischenschicht aufzubringen. Bei diesem
bekannten Verfahren werden Plasmaerzeugung und Ionenbeschuß
der aufwachsenden Schicht gemeinsam durch die angelegte bi
polare Spannung realisiert und sind nicht einzeln kontrol
lierbar. Für viele Schichtqualitäten ist die
Schichtabscheidung mit diesem Verfahren deshalb auf ein
vergleichsweise enges Prozeßfenster beschränkt.
Aus der Deutschen Patentanmeldung AZ 196 09 804.1 ist ein
Verfahren zum Plasmabeschichten von Schüttgut bekannt, bei
dem sich ein Drehkorb langsam um eine Plasmabeschichtungs
quelle herumbewegt. An den Drehkorb ist eine Spannung an
legbar, um das zu beschichtende Schüttgut auf ein elek
trisch negatives Potential zu bringen. Innerhalb des Dreh
korbes befinden sich Mittel zur Erzeugung eines Reinigungs
plasmas, mittels dessen das Schüttgut vor Beginn der
Schichtabscheidung gereinigt wird. Das Reinigungsplasma
wird dabei unabhängig von der an den Drehkorb und das
Schüttgut angelegten Spannung erzeugt. Eine negative elek
trische Aufladung des zu beschichtenden Schüttgutes ist
allgemein auch für den nachfolgenden Beschichtungsschritt
vorgesehen. Weitere Angaben zur Art und Weise, wie die ne
gative Aufladung erfolgen soll, sind nicht offenbart.
Ein Verfahren zur Herstellung von harten, amorphen Kohlen
stoffschichten ist in R. S. Bonetti, M. Tobler, Oberfläche
und JOT, Heft 9, 1988, S. 15, beschrieben. In einem plas
maunterstützten CVD-Verfahren werden Plasmaerzeugung und
negative Substratvorspannung gemeinsam durch eine an die
Substrate gelegte Radiofrequenz (RF)-Leistungsversorgung
realisiert. Das Substratpotential gewährleistet den zur Ab
scheidung von dichten, harten und damit verschleißfesten
Schichten notwendigen Ionenbeschuß. Hierzu muß das Verhält
nis zwischen der Oberfläche der zu beschichtenden Teile und
der Innenwandfläche des Rezipienten vorzugsweise kleiner
als 1 sein, was die Beladungsdichte und Hochskalierbarkeit
des Verfahrens für industrielle Chargengrößen in unerwünsch
ter Weise limitiert. Einen weiteren Nachteil stellt die
notwendige, beladungsabhängige Anpassung der RF-Einkopplung
dar.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein für indu
strielle Chargengrößen einsetzbares, hochskalierbares Ver
fahren sowie eine Einrichtung zu seiner Durchführung an zu
geben, das es gestattet, Substrate gleichmäßig und mit ho
hen Raten zu beschichten und eine verschleißfeste und reib
mindernde Multilagenstruktur anzugeben.
Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren mit den Merkma
len des Hauptanspruchs. Durch die Trennung der Substrat
spannungserzeugung von der Plasmaerzeugung erlaubt das er
findungsgemäße Verfahren eine gezielte Einflußnahme auf die
physikalischen Eigenschaften der erzeugten Schichten. Be
einflussen lassen sich unter anderem die Schichthärte, die
Abrasionsbeständigkeit, die Elastizität der Schicht und die
Schichteigenspannung. Beschichtbar sind insbesondere auch
Substrate mit komplexen Geometrien. Die Trennung von Plas
maerzeugung und Substratspannungerzeugung erlaubt dabei ei
ne Regelung der Substrattemperatur. Dadurch kann die
Schichtabscheidung vielfach bei Temperaturen von 200°C und
darunter erfolgen. Als Substratspannung wird vorteilhaft
eine gepulste bipolare Gleichspannung eingesetzt, die hin
sichtlich Größe und Dauer des Negativenimpulses, Größe und
Dauer des Positivimpulses, sowie der spannungsfreien Zwi
schenintervalle bzw. Pausenzeiten änderbar ist. Zur Erwei
terung der möglichen erzielbaren Schichten ist zweckmäßig
der Zusatz von verschiedenen Prozeßgasen in jeweils geeig
neter Mischung und Abfolge vorgesehen.
Durch die Trennung von Plasmaerzeugung und Substratspan
nungserzeugung ist eine zur Durchführung des Verfahrens ge
eignete Einrichtung nicht auf die Verwendung einer bestimm
ten Plasinaerzeugungsquelle eingeschränkt. In Betracht kom
men vielmehr alle plasmaerzeugenden Quellen wie beispiels
weise Mikrowellenquellen, Hochfrequenzquellen, Hohlkathode
oder Hochstrombogen. Als Netzteil zur Erzeugung der Sub
stratspannung dient zweckmäßig ein bipolar gepulstes
Gleichspannungsnetzteil mit der Möglichkeit zur Unterlage
rung einer Gleichspannung und zur Realisierung spannungs
freier Pausenzeiten. Vorteilhaft sind in der Beschichtungs
kammer Blenden vorgesehen, die einen Teil der Beschich
tungskammer abschirmen. Durch Bewegung der zu beschichten
den Teile durch die damit entstehenden Teilvolumina unter
schiedlicher Plasmadichten lassen sich die Eigenschaften
der erzeugten Schichten auf einfache Weise beeinflussen.
Beachtliche Vorteile hat eine erfindungsgemäß hergestellte Mul
tilagenstruktur bestehend aus alternierenden Hartstoff- und
harten Kohlenstoffschichten, wobei die letzteren gegebenenfalls
zusätzlich Wasserstoff und/oder Silicium und/oder Metall ent
halten. Bei der Struktur wirken die Verschleißfestigkeit des
Hartstoffs und insbesondere die hervorragende Verschleißfestig
keit und reibmindernde, schmierende Wirkung des erfindungsgemäß
hergestellten harten Kohlenstoffs mit den Multilagenstrukturei
genschaften synergistisch zusammen. Die Multilagenstruktur hat
z. B. eine höhere Härte als die Einzelschichten, aus denen sie
besteht. Die Multilagenstruktur ist außerdem duktiler und ela
stischer als eine Einzelschicht vergleichbarer Härte.
Die erfindungsgemäß hergestellten Multilagenstrukturen sind
aufgrund des synergistischen Zusammenwirkens der o. g. Eigen
schaften bei neuartigen Anwendungsfeldern vorteilhaft einsetz
bar. So sind sie generell geeignet als Korrosions- und Ver
schleißschutz für tribologisch hochbelastete Bauteile und dabei
insbesondere als Verschleißschutz von Bauteilen im Trockenlauf- und
Mangelschmierungsbereich. Die Multilagenstrukturen eignen
sich beispielsweise als schmierende Verschleiß- und Korrosions
schutzschicht für zerspanende und umformende Werkzeuge, deren
Lebensdauer dadurch beachtlich erhöht wird, sie ermöglichen die
Trockenbearbeitung oder die Bearbeitung bei Minimalschmierung
durch mit ihnen beschichtete Werkzeuge, so daß man auf Kühl
schmierstoffe ganz verzichten oder zum mindesten die erforder
liche Menge stark vermindern kann. Darüber hinaus läßt sich
durch die Beschichtung mit den genannten Multilagenstrukturen
der Korrosionsschutz von Bauteilen in aggressiven Medien ver
bessern, und, wenn beschichtete Werkzeuge eingesetzt werden,
die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Bearbeitungsqualität
von Bauteilen erhöhen.
Es ist vorteilhaft, wenn die Kohlenstoffschicht aus amorphem
wasserstoffhaltigem Kohlenstoff (a-C : H im folgenden), amorphem
wasserstoffreiem Kohlenstoff (a-C), siliciumhaltigem
(wasserstoffhaltigem oder wasserstoffreiem) Kohlenstoff
oder metallhaltigem (wasserstoffhaltigem oder wasserstoffreiem)
Kohlenstoff (C-(MeC)) besteht, wobei das Metall aus den harten
Nebengruppenmetallen ausgewählt ist. Diese Auswahl ermöglicht
es dem Anwender, flexibel auf gestellte Anforderungen bezüglich
der Schmierwirkung und der Härte der Kohlenstoffschicht und
(s. o.) auf etwaige Anpassungsschwierigkeiten an die Hartstoff
schicht zu reagieren.
Alternativ können in die Multilagenschicht statt der Kohlen
stoffschicht auch Siliciumschichten, die gegebenenfalls zusätz
lich Wasserstoff und/oder Kohlenstoff und/oder Metall enthal
ten, eingebaut werden. Diese haben zwar keine Schmierwirkung,
sie sind jedoch auch durch hohe Härte (wenn sie auch in der
Tendenz etwas weicher als Kohlenstoffschichten sind) und nied
rige Reibwerte ausgezeichnet. Als besonderer Vorteil ist die
geringe Abhängigkeit der Schichteigenschaften, insbesondere des
Reibwerts, von der Umgebungsfeuchte zu nennen.
Es ist vorteilhaft, wenn die Siliciumschicht aus amorphem was
serstoffhaltigem Silicium (a-Si:H im folgenden), amorphem was
serstoffreiem Silicium (a-Si), kohlenstoffhaltigem
(wasserstoffhaltigem oder wasserstoffreiem) Silicium
oder metallhaltigem (wasserstoffhaltigem oder wasserstoffreiem)
Silicium (Si-(MeSi)) besteht. Diese Auswahl ermöglicht es - wie
beim Kohlenstoff - insbesondere flexibel auf gestellte Anforde
rungen zu reagieren.
Eine Multilagenstruktur aus harten Schichten, schmierenden
Schichten und gegebenenfalls oxidationsresistenten Schichten,
wobei die Eigenschaften der Struktur durch die Kombination der
Eigenschaften der Einzelschichten bestimmt ist, ist in dem US-Pa
tent 4,619,865 beschrieben, aber harte Kohlenstoff- bzw. Si
liciumschichten bzw. die genannten Metalle enthaltende harte
Kohlenstoff- bzw. Siliciumschichten werden in dem Patent nicht,
insbesondere nicht als reibmindernde Schichten beschrieben.
Bevorzugt bestehen die Einzelschichten bezüglich der Zusammen
setzung aus einer Art oder mehr Arten der Hartstoffschicht und
einer Art oder mehr Arten der Kohlenstoff- bzw. der Silicium
schicht, wobei am bevorzugtesten die Einzelschichten aus einer
Art der Hartstoffschicht und aus einer Art der Kohlenstoff- bzw.
der Siliciumschicht bestehen.
Um die Vorteile der Multilagen optimal auszunutzen, ist es gün
stig, wenn die Dicken der Einzelschichten zwischen etwa 1 und
etwa 10 nm und bevorzugt zwischen etwa 2 und etwa 5 nm liegen
und wenn die Gesamtdicke der Struktur zwischen etwa 1 und etwa
10 µm, und bevorzugt zwischen etwa 1 und 4 µm liegt.
Es ist vorteilhaft, wenn die Hartstoffschicht aus einem Metall
(Me im folgenden), einer Metallverbindung, Metallcarbid enthal
tendem Kohlenstoff (C-(MeC), Metallsilicid enthaltendem Silici
um (Si-(MeSi)), wobei bei den beiden letzteren Materialien die
angestrebte Härte u. a. beispielsweise durch eine entsprechende
Wahl des Metalls erreicht wird, oder Mischungen aus mindestens
zwei der genannten Materialien besteht. Diese Auswahl ermög
licht es dem Anwender flexibel auf gestellte Anforderungen be
züglich der Härte der Hartstoffschicht und auf etwaige Anpas
sungsschwierigkeiten an die Kohlenstoffschicht bzw. die Silici
umschicht zu reagieren und - wenn vorteilhaft - die Schicht
auch noch mit einer gewissen reibmindernden Wirkung auszustat
ten.
Günstige Kombinationen von Hartstoffschicht und Kohlenstoff
schicht sind gegeben, wenn die Hartstoffschicht aus Me, einem
Metallcarbid (MeC), einem Metallnitrid (MeN), einem Metallsili
cid (MeSi), einem Metallcarbonitrid (Me(CN)), einem Metallcar
bosilicid (Me(CSi)) oder einem Metallsiliconitrid (Me(SiN))
und die Kohlenstoffschicht aus a-C : H oder a-C besteht, wenn die
Hartstoffschicht aus C-(WC) und die Kohlenstoffschicht aus a-C : H
besteht, wobei die Hartstoffschicht wegen der Beteiligung
von Wolfram eine große Härte zeigt, aber wegen des nicht che
misch an Metall gebundenen Kohlenstoffanteil auch über eine be
achtliche Schmierwirkung verfügt, und wenn die Hartstoffschicht
aus MeC und die Kohlenstoffschicht aus C-(MeC) besteht, wobei
die Härte - allerdings auf Kosten der Schmierwirkung - beson
ders ausgeprägt ist.
Günstige Kombinationen von Hartstoffschicht und Siliciumschicht
sind gegeben, wenn die Hartstoffschicht aus Me, MeC, MeN, MeSi,
Me(CN), Me(CSi) oder Me(SiN) und die Siliciumschicht aus a-Si : H
oder a-Si besteht.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Ver
fahrens der erfindungsgemäßen Einrichtung und der erfindungsge
mäßen Multilagenstruktur sind in Unteransprüchen offenbart.
Unter Bezugnahme auf die Zeichnung wird die Erfindung nach
folgend anhand von Ausführungsbeispielen näher beschrieben.
Es zeigen Fig. 1 eine Einrichtung zur Plasma-CVD-Beschich
tung von Substraten in Seitenansicht, Fig. 2 dieselbe Ein
richtung in Draufsicht, Fig. 3 bis 5 Varianten zu der in
Fig. 1 dargestellten Einrichtung, Fig. 6 eine als Durch
laufanlage ausgeführte Einrichtung, Fig. 7 eine Mehrkam
mereinrichtung.
Fig. 1 zeigt eine Einrichtung zur Durchführung des vorge
schlagenen Verfahrens. Sie umfaßt einen Vakuumrezipienten
12, in dem eine Lagereinrichtung 11 angeordnet ist, auf der
sich zu beschichtende Substrate 10 befinden. Die Substrate
10 sind elektrisch an eine außerhalb des Rezipienten 12 an
geordnete Spannungsversorgung 13 gekoppelt. Die Lagerein
richtung 11 ist so ausgeführt, daß die Substrate 10 während
der Beschichtung gleichförmig rotiert werden können, bei
spielsweise wie in Fig. 1 angedeutet, in Form einer Dreh
scheibe. Es kann vorgesehen sein, die Substrate über ent
sprechende Vorrichtungen zusätzlich um weitere Drehachsen
zu drehen. Als Spannungsversorgung 13 dient eine bipolare
Gleichpulsquelle mit der Möglichkeit der zusätzlichen Über
lagerung eines Gleichspannungspotentiales. Sie gestattet
das Anlegen gepulster uni- oder bipolarer Gleichspannungs
potentiale von bis zu mehreren kV mit Frequenzen von 0,1
kHz bis 10 MHz, wobei Länge und Höhe der positiven und ne
gativen Pulse getrennt voneinander einstellbar sind und
spannungsfreie Pausenzeiten realisierbar sind. Der Vakuum
rezipient 12 verfügt über ein Gaseinlassystem 14, über das
Gase in seinen Innenraum eingebracht werden können. Des
weiteren besitzt der Rezipient 12 ein Pumpensystem 23 zu
seiner Evakuierung. Am Rezipienten 12 befindet sich weiter
eine Mikrowellenquelle 15 zur Einkopplung von Mikrowellen
in den Rezipienteninnenraum 21, wo sie ein Plasma 20 erzeu
gen. Sie ist beispielsweise als Quarzfenster mit mit Hohl
leiterstrahler oder mit Antennenkonfigurationen ausgebil
det. Im Rezipienteninnenraum 21 befinden sich Magnete 16,
die wie in Fig. 1 angedeutet als Magnetbänke ausgeführt
sein können. Sie bewirken eine gleichmäßige Verteilung des
mit Hilfe der Mikrowellenquelle 15 erzeugten Plasmas 20 im
Rezipienteninnenraum 21 und sind entsprechend angeordnet.
Die Anordnung der Plasmaquelle 15 erfolgt entsprechend kon
struktiven und prozeßtechnischen Randbedingungen. Sie kann
hierzu, wie in Fig. 1 angedeutet, mittig in Bezug auf die
Lagereinrichtung 11, an einer Wandseite oder verteilt über
den Rezipienten 12 erfolgen. Bei mittiger Anordnung ergibt
sich ein im wesentlichen zentralsymmetrisches Plasma 20,
das für eine gleichmäßige Beschichtung der nach innen wei
senden Substratflächen sorgt, während die Beschichtungsrate
der nach außen weisenden Flächen geringer ist und dort zur
Abscheidung von Schichten anderer Qualität führt. Bei an
einer Seitenwand des Rezipienten 12 angeordneter Plas
maquelle ergibt sich die umgekehrte Situation. Es können
auch Plasmaquellen innen und außen kombiniert werden, um
Schichten mit wieder anderer Qualität und anderen Eigen
schaften zu erzeugen. Im Rezipienten 12 können weiterhin
Blenden 22 vorgesehen sein, welche die Ausbildung eines
Plasmas in einem Teil des Rezipienteninnenraums 21 verhin
dern. Dadurch lassen sich im Rezipienteninnenraum 21 unter
schiedliche Beschichtungsbedingungen zur Herbeiführung un
terschiedlicher Einzelschichten erzeugen. Die zu beschich
tenden Substrate 10 werden dazu, wie in Fig. 2 durch Pfei
le angedeutet, durch die Teilvolumina des Rezipienteninnen
raums 21 mit den unterschiedlichen Plasmabedingungen be
wegt. In Folge ergeben sich damit steuerbare Eigenschaften
der aufwachsenden, aus einzelnen oder zahlreichen Einzel
schichten als Mehrfach- oder Multilagenschicht bestehenden
Gesamtschicht.
Der Betrieb der in den Fig. 1 und 2 wiedergegebenen An
lage erfolgt, indem im Rezipienteninnenraum 21 nach Evaku
ierung mittels des Pumpensystems 23 auf einen Restdruck von
typischerweise 10-4 mbar. Zweckmäßig werden die zu be
schichtenden Substrate 21 sodann zunächst vorkonditioniert,
z. B. durch Erwärmen, Reinigen durch Plasmaätzen und Vorbe
schichten zur Haftungsverbesserung der nachfolgend aufge
brachten Schicht. Anschließend wird über das Gaseinlaßsy
stem 14 ein Gas in den Rezipienten 21 eingeleitet und mit
Hilfe der Mikrowellenquelle 15 ein Plasma 20 erzeugt. Dabei
entstehen besondere Plasmabedingungen, wenn die Gase durch
die Plasmaquelle hindurch oder nahe der Plasmaquelle in den
Rezipienten eingeleitet werden, beispielsweise ergibt sich
eine räumlich erhöhte Plasmadichten und/oder ein erhöhter
Gasumsatz. Als Gase eignen sich eine Reihe von Gasen und
Gasgemischen. Reaktive Gase zur Aufbringung kohlenstoffhal
tiger Schichten sind beispielsweise Kohlenwasserstoffe
CXHY, insbesondere C2H2 und CH4 Zur Aufbringung silicium
haltiger Schichten eignen sich Silane und Siloxane, insbe
sondere SiH4 und HMDS, HMDS(O), HMDS(N), TEOS, TMS. Zur Er
zeugung und Aufrechterhaltung des Plasmas 20 werden Edelga
se, etwa Argon, Neon oder Helium eingesetzt. Bei Verwendung
von Argon lassen sich durch Variation des Argon-Partial
druckes der Beschuß mit nichtschichtbildenden Ionen während
der Schichtabscheidung, und darüber Härte und Eigenspannung
der Schicht einstellen. Wird Helium verwendet, ist es mög
lich, den in die Schichten durch wasserstoffhaltige Gase
eingebrachten Wasserstoffanteil zu beeinflussen und die
Schichten zusätzlich zu verdichten. Wird Neon eingesetzt,
kann eine gezielte Kompaktierung der Schichten erreicht
werden. Werden metallorganische Verbindungen als reaktives
Gas verwendet, kann über das reaktive Gas die Einbringung
von Metallen in die Beschichtung erfolgen. Mit H2 läßt sich
der H-Gehalt der Schichten beeinflussen, mit N2, NH2 oder
borhaltigen Gasen die Schichteigenschaften hinsichtlich Ei
genspannungen und Benetzungsverhalten. Si-haltige Gase be
einflussen die Eigenspannungen und das Benetzungsverhalten
von Kohlenstoffschichten, C-haltige Gase führen bei Silici
umschichten zu geringerer Reibung, zu Dotierung, elektri
scher Leitfähigkeit und zur Abscheidung von a-SiC : H.
Unabhängig von der Erzeugung des Plasmas 20 wird an die zu
beschichtenden Substrate 10 während der Beschichtung mit
Hilfe der Spannungsversorgung 13 ein veränderliches Span
nungspotential, die Substratspannung US angelegt. Sie dient
zur Steuerung des Ionenbeschusses der Substrate 10 während
der Beschichtung. Der positive Anteil der Substratspannung
bewirkt bei elektrisch isolierenden Substratoberflächen ei
ne Entladung der durch den vorangegangenen Ionenbeschuß
aufgeladenen Oberfläche. Die Dauer der positiven Pulse ist
hierfür kleiner oder gleich zu halten wie die Dauer der ne
gativen Pulse. Soll die Temperaturbelastung der Substrate
gering gehalten werden, ist die Spannungsamplitude der po
sitiven Pulse deutlich geringer als die der negativen Pulse
zu wählen.
Durch Variation der Zusammensetzung des zugeführten Gases
und der Beschaffenheit der durch die Spannungsversorgung 13
erzeugten Substratspannung US lassen sich auf den Substra
ten 10 Schichtsysteme mit einer Vielzahl von Schichten mit
jeweils unterschiedlichen Schichteigenschaften aufbauen.
Herstellen lassen sich insbesondere harte, verschleißfeste,
korrosionsbeständige und einen niedrigen Reibwert aufwei
sende Schichten. Die Haftung von Schichten, insbesondere
harter Schichten oder von Schichten mit hohen mechanischen
Eigenspannungen kann häufig durch Verwendung geeigneter
Zwischenschichten weiter verbessert werden. Als besonders
vorteilhaft hat sich die Ausbildung von Gradientenschichten
erwiesen, die einen weichen Übergang bezüglich ihrer mecha
nischen Eigenschaften, insbesondere Härte und Elastizität
zur Funktionsschicht hin ermöglichen. So wird die Haftung
einer amorphen Kohlenstoffschicht auf einem Stahlsubstrat
durch die Verwendung eines Zwischenschichtsystemes aus
durch geeignete Prozeßführung gradiert ineinander überführ
ten metallischen und modifizierten metallhaltigen Kohlen
stoffschichten verbessert. In einfacher Weise lassen sich
solche metallhaltigen Kohlenstoffschichten durch reaktives
Sputtern von Metall aufbringen. Zur Aufrechterhaltung des
Sputterprozesses ist dabei Argon (Ar) als weiteres Gas zu
zuführen.
Alternativ können Haftschichtsysteme verwendet werden, die
auf amorphen Silicium- oder Siliciumkohlenstoffschichten
basieren. Als reaktive Gase zur Abscheidung solcher Schich
ten eignen sich Silane und Siloxane neben den entsprechen
den kohlenstoffhaltigen Gasen.
Mit der in den Fig. 1 und 2 wiedergegebenen Anordnung
konnte in einer ersten Anwendung eine 2 µm dicke amorphe
Kohlenstoffschicht (a-C : H bzw. DLC) auf Stahl (100Cr6) und
Silicium abgeschieden werden mit haftungsvermittelnder Zwi
schenschicht. Dabei wurden folgende Prozeßparameter einge
stellt: reaktives Gas: Acetylen mit einem Durchfluß von 300
Standard-cm3/Min, Rezipientendruck: 3 × 10-3 mbar, Mikrowel
lenleistung: 1 kW, elektrische Leistung: 1 kW, Sub
stratspannung: bipolar gepulst, positive Pulse: 10 µsek,
negative Pulse: 10 µsek. Die erzeugte Schicht besaß eine
Mikrohärte von 35 Gpa bei einem E-Modul von 165 GPa. Der
Reibwert gegen Stahl (100Cr6) lag bei Raumbedingungen bei
0,12 im Trockenlauf. Eine solche Schicht eignet sich beson
ders als Verschleißschutzschicht. Durch Variation der elek
trischen Leistung zwischen 200 W und 2 kW ließ sich die
Schichthärte im Bereich von 10 GPa bis 42 GPa variieren.
Bei Verkürzung des negativen Pulses ergaben sich härtere
Schichten und eine höhere Abscheiderate bei allerdings
steigender Substrattemperatur. Durch Einstellung von span
nungsfreien Pausenzeiten nach jedem Puls ist es, bei Reduk
tion der Beschichtungsrate und Schichthärte möglich, die
Beschichtungstemperatur abzusenken. Vorteilhaft kann es
sein, die Pausenzeit nach negativem Puls kleiner als nach
positivem Puls zu wählen. Durch Vorreinigung der Substrate
10 außerhalb der Anlage nach einem üblichen Verfahren konn
te die Schichthaftung weiter verbessert werden. Die
Schichtabscheidungsrate ließ sich durch Variation der Mikro
wellenleistung zwischen 0,6 kW und 1,1 kW sowie des Acety
lengasflusses zwischen 100 und 450 Standard-cm3/Min. steu
ern. Als vorteilhaft erwies sich zudem eine Plasmafeinrei
nigung nach einem bekannten Verfahren nach Einbringen der
Substrate 10 in den Rezipienten 12 und Evakuierung. Durch
Einbringen eines siliciumhaltigen reaktiven Gases zu Beginn
des Beschichtungsvorganges zwecks Abscheidung einer haft
vermittelnden Schicht ließ sich die Schichthaftung weiter
verbessern.
Die Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten lassen
sich etwa über den Wasserstoffgehalt oder über eine Dotie
rung bezüglich ihrer optischen und elektrischen Eigenschaf
ten über ein breites Spektrum von Absorption und schwarzer
Farbe bis zu Transparenz bzw. von Leitfähigkeit bis zu iso
lierender Wirkung einstellen. Die Schichten eignen sich da
durch für Anwendungen mit optischen und elektrischen Anfor
derungen, beispielsweise als elektrisch isolierende
Schicht, als transparente Kratzschutzschicht, als dekorati
ve verschleißfeste Schicht oder als Black-Matrix-Schicht im
Display.
In einer weiteren Anwendung der in den Fig. 1 und 2 wie
dergegebenen Anordnung konnte eine metallfreie amorphe Koh
lenstoffschicht von 2,5 µm Dicke auf ein Stahl(100Cr6)-Subs
trat als Korrosionsschutz aufgebracht werden. Vor Ein
bringen der Substrate in den Rezipienten erfolgte hier eine
Reinigung der Anlage, um lose Partikel zu entfernen und das
Abplatzen von aus vorherigen Beschichtungszyklen vorhande
nen Schichten zu vermeiden und so einen porenfreien
Schichtaufbau zu gewährleisten. Die Prozeßparameter wurden
wie im vorhergehenden Beispiel gewählt, jedoch wurde ein
geringerer Arbeitsdruck von 1-2 × 10-3 mbar eingestellt, um
den Effekt der Partikelbildung zu verringern.
In einer weiteren Anwendung eignet sich die in den Fig.
1 und 2 wiedergegebene Anlage zur Erzeugung von aus einer
Vielzahl dünner Einzelschichten unterschiedlicher Härte und
unterschiedlichen Spannungszustandes aufgebauten Multila
genschichten. Solche Multilagenschichten zeichnen sich
durch besonders geringe Eigenspannungen bei großer Härte
aus. Anwendbar ist diese Technik u. a. bei amorphen Kohlen
stoff- und Siliciumschichten. Der Multilagenaufbau aus Ein
zelschichten wird durch periodische Variation der Substrat
spannung realisiert. Bei Verringerung der Substratspannung
werden weichere Schichten erzeugt, bei Erhöhung härtere.
Die Schichtstruktur kann von graphitischen Schichten, ent
sprechend einer Substratspannung von 0 Volt, bis zu Schich
ten mit Härten von über 50 GPa variiert werden. Die Dauer
der einzelnen Pulse der Substratspannung wird dabei so an
die Schichtwachstumsrate angepaßt, daß Einzelschichten zwi
schen 1 nm und 2 µm bevorzugt 5 nm bis 200 nm abgeschieden
werden. Der Übergang zwischen den Einzelschichten wird
durch abrupte Änderung der Substratspannung bewirkt. Alter
nativ kann die Variation der Substratspannung langsam er
folgen, so daß ein kontinuierlicher Übergang zwischen den
Einzelschichten entsteht. Vorgesehen sein kann eine Prozeß
parametersteuerung derart, daß der entstehende Multilagen
verband aus einer Vielzahl verschiedenartiger Einzelschich
ten besteht.
Zur Unterstützung der unterschiedlichen Ausgestaltung der
Einzelschichten kann zusätzlich zur Substratspannung eine
Variation der über die Mikrowellenquelle 15 eingekoppelten
Mikrowellenleistung oder der Menge des zugeführten Gases
vorgesehen sein. Beides bewirkt eine Variation der Plasma
dichte sowie des Arbeitsdruckes und damit der Ionenenergie
verteilung, was für die jeweils gewünschten Schichteigen
schaften gezielt einzustellen ist.
Eine Variation der Prozeßparameter zur Erzeugung eines Mul
tilagenverbandes aus vielen Einzelschichten kann auch durch
Gliederung des Rezipienteninnenraumes 21 in Teilvolumina
mit unterschiedlichen Plasmadichten bewirkt werden, indem
die zu beschichtenden Substrate 10 nacheinander periodisch
durch die verschiedenen Teilvolumina bewegt werden. Errei
chen läßt sich eine solche Rezipienteninnenraumgliederung
beispielsweise, wie in Fig. 2 angedeutet, durch Blenden
22, welche die Ausbildung des Plasmas 20 in einem Teil des
Rezipienteninnenraums 21 verhindern. Bei rotatorischer Be
wegung der Substrate etwa durch Drehung einer als Dreh
scheibe ausgebildeten Lagereinrichtung 11 läßt sich die
Dicke der Einzelschichten über die Rotationsfrequenz der
Substrate durch die Teilvolumina steuern.
Eine Gliederung des Rezipienteninneraumes 21 in Teilvolumi
na läßt sich alternativ auch durch gleichzeitige Nutzung
unterschiedlicher, an verschiedenen Stellen des Rezipienten
12 plazierter Plasmaquellen wie Mikrowellenquelle(n) und
Hohlkathode(n) oder unterschiedlicher Mikrowellenquellen
herbeiführen.
In einer weiteren Ausführungsvariante wird als weichere von
zwei Einzelschichten eine modifizierte metallhaltige Koh
lenstoffschicht gewählt. Die Aufbringung der Teilschichten
erfolgt in bekannter Weise durch reaktives Magnetonsput
tern. Eine hierzu geeignete, modifizierte Anordnung zeigt
Fig. 3. Sie unterscheidet sich von einer Anordnung gemäß
Fig. 1 und 2 durch eine zusätzliche Magnetronsputter
quelle 17, welche wie in der Figur angedeutet, seitlich in
der Rezipientenwand angeordnet sein kann. Die Anlage ge
stattet durch Steuerung des Rücksputterns von den Substra
ten 10 über die angelegte Substratspannung eine gezielte
Beeinflussung des in die entstehenden Schichten eingebauten
Metallanteils.
Eine weitere Anwendung sieht die Verwendung derselben Pro
zeßparameter wie im ersten Anwendungsbeispiel vor, als zu
sätzliches reaktives Gas wird jedoch Silan oder Siloxan mit
20 Standard-cm3/min zugeführt. Das Silan bzw. Si-haltige
Gas als zusätzliches reaktives Gas führt zu einem Einbau
von einigen Atomprozent Silicium in die abgeschiedene
Schicht. Es bewirkt eine Verminderung von Schichteigenspan
nungen und beeinflußt das Benetzungsverhalten bezüglich
verschiedener Flüssigkeiten. Auf diese Weise läßt sich ins
besondere das Verhalten eines beschichteten Substrates im
tribologischen Kontakt steuern. In einer Variante dieser
Anwendung wird der Gasfluß der Si-haltigen Gase größer ge
wählt als der des Acetylens. Dadurch wird eine wasserstoff
haltige Siliciumschicht mit Kohlenstoff als zusätzlichem
Bestandteil abgeschieden. Zur Erhöhung der Haftung auf Glas
und metallischen Substraten wie Stahl (100Cr6) hat sich das
Aufbringen einer modifizierten Silicium-Haftschicht be
währt.
In einer weiteren Variante ist der Anteil des Acetylens im
reaktiven Gas zu Null gewählt, so daß eine amorphe, wasser
stoffhaltige Siliciumschicht (a-Si : H) abgeschieden wird.
Eine solche Schicht eignet sich als Verschleißschutz
schicht. Sie kann weiter modifiziert werden. So kann durch
Zugabe einer entsprechenden Komponente eine stöchiometri
sche Verbindung abgeschieden werden. Ein Beispiel dafür ist
die Abscheidung von Wasserstoffhaltigern Siliciumnitrid
(SiN) durch Zugabe von Stickstoff zum reaktiven Gas. Die
entstehende Schicht zeichnet sich durch hohe Verschleißbe
ständigkeit und elektrische Isolationswirkung aus. Analog
lassen sich des weiteren Schichten für andere Anwendungen
erzeugen, beispielsweise Schichten für den Aufbau von elek
trischen Halbleiterelementen. Die erforderlichen elektri
schen Eigenschaften können über die Prozeßparameter einge
stellt werden, etwa über den Wasserstoffgehalt und eine Do
tierung. Eine Isolationswirkung wird durch Abscheidung ei
ner isolierenden Verbindung erreicht. Geeignet sind solche
Schichten beispielsweise für die Herstellung von Solarzel
len oder Flat Panel Displays, bei denen besonders die Mög
lichkeit zur großflächigen Abscheidung einen großen Vorteil
bietet.
Die transparente, kratzfeste oder auch elektrisch leitfähi
ge Beschichtung von Glas, Solarzellen und Displays stellt
ein weiteres Anwendungsgebiet dieser Schichten dar.
Statt Acetylen, das den Vorteil hat, daß damit häufig höhe
re Abscheideraten realisiert werden können als mit anderen
kohlenwasserstoffhaltigen reaktiven Gasen, können in den
vorstehend genannten Ausführungsbeispielen auch andere koh
lenstoffhaltige reaktive Gase eingesetzt werden. Dazu sind
die Prozeßparameter an die geänderten Bedingungen anzupas
sen.
Fig. 4 zeigt eine modifizierte Anordnung zur Durchführung
des vorgeschlagenen Verfahrens. Sie unterscheidet sich von
der in den Fig. 1 und 2 wiedergegebenen Anordnung hin
sichtlich der Mittel zur Erzeugung des Beschichtungsplasmas
20. Als Plasmaquelle dient jetzt eine Hohlkathode 18, wel
che seitlich am Rezipienten 12 angeordnet und als Hohlzy
linder geformt ist. Das Gas wird durch die zylindrische
Hohlkathode 18 in den Rezipienteninnenraum 21 eingebracht.
Vorteil der Anordnung ist der hohe Anregungsgrad und damit
die hohe Effektivität der Plasmaerzeugung. In einer abge
wandelten Ausführung besteht die Hohlkathode 18 aus zwei
zueinander parallelen Platten, die in ihrer Länge an die
Größe des Rezipienten 12 angepaßt sind. Bei Verwendung von
Acetylen als reaktivem Gas können mit einer solchen Anord
nung diamantartige Kohlenstoffschichten mit Raten deutlich
größer als 5 µm/h auf bewegte Substrate 10 in industriell
üblichen Chargengrößen abgeschieden werden. Bei Erhöhung
des Gasdruckes kann zur Vermeidung von Partikelbildung der
Einsatz von CH4 oder Mischungen unterschiedlicher kohlen
wasserstoffhaltiger reaktiver Gase sinnvoll sein. Die Ein
stellung der Schichteigenschaften erfolgt wiederum über Va
riation der Substratspannung über die Spannungsversorgung
13. Bei Einbau von Metallatomen, die von der Hohlkathode 18
abgetragen werden, ist die auf den Substraten erzeugte
Schicht in Abhängigkeit von den Prozeßparametern und der
Konzentration der eingebauten Metallatome elektrisch leit
fähig. In diesem Fall kann an die Substrate 10 an Stelle
einer Wechselspannung eine Gleichspannung angelegt werden.
Zur Reduktion der Beschichtungstemperatur und zur besseren
Steuerung der Schichteigenschaften bietet es sich auch hier
der Einsatz einer gepulsten Bias-Spannungsquelle an.
Eine weitere modifizierte, insbesondere zur Abscheidung von
Kohlenstoffschichten geeignete Anordnung zur Durchführung
des Verfahrens zeigt Fig. 5. Sie unterscheidet sich von
der in Fig. 1 und 2 wiedergegebenen Anordnung wiederum
hinsichtlich der Mittel zur Erzeugung des Plasmas 20. Die
Plasmaerzeugung erfolgt hier durch einen Hochstrombogen,
welcher zwischen einem in der Seitenwand des Rezipienten 12
angeordneten Kohlenstofftarget 19 und einer - nicht gezeig
ten - Anode gezündet wird, und durch eine in der gegenüber
liegenden Seitenwand angeordnete Sputterkathode 17. Vorteil
des Hochstrombogens ist der hohe Ionisierungsgrad des frei
gesetzten Kohlenstoffs. Da zur Einbringung des Kohlenstoffs
keine wasserstoffhaltigen Gase erforderlich sind, ist die
resultierende, auf den Substraten 10 abgeschiedene Schicht
wasserstoffrei und dadurch besonders temperaturbeständig.
Solche wasserstoffreien Kohlenstoffschichten weisen eine
Härte von bis zu 80 GPa auf. Bei der in Fig. 5 angedeute
ten Anordnungsausführung werden bei der Bogenverdampfung
entstehende graphitische Makropartikel ebenfalls auf den
Substraten 10 abgeschieden. Der Effekt kann erwünscht sein,
da sich die Makropartikel beispielsweise als in der Schicht
eingebaute Schmierstoffdepots eignen. Durch Pulsen des Bo
genstromes läßt sich die Makropartikelbildung andererseits
unterdrücken, wobei eine gleichzeitige Erhöhung des Bogen
stroms die Unterdrückung verstärkt. Eine nahezu vollständi
ge Unterdrückung von Makropartikeln läßt sich erreichen,
indem die durch die Bogenverdampfung erzeugten Ionen magne
tisch auf die Substrate 10 umgelenkt werden. Die ungelade
nen Makropartikel treffen auf eine Prallplatte und werden
von der Schichtabscheidung ferngehalten.
Die Lagereinrichtung kann alternativ so beschaffen sein,
daß die Substrate während der Beschichtung unbewegt sind.
Das kann beispielsweise aufgrund erhöhter Abscheideraten
oder erzielbarer Schichteigenschaften vorteilhaft sein. Die
Substrate können weiterhin auch getaktet bewegt werden, so
daß sie sich zu verschiedenen Zeiten in verschiedenen räum
lichen Bereichen des Rezipienten dort jeweils unbewegt be
finden.
In einer weiteren Anwendung kann die Beschichtung auch in
einer Einrichtung durchgeführt werden, die Teil eines grö
ßeren Verbundes von Einrichtungen ist. Die Substrate werden
dabei von Einrichtung zu Einrichtung mit oder ohne Unter
brechung des Vakuums bewegt, wobei in jeder einzelnen Ein
richtung ein oder mehrere Behandlungsschritte vollzogen
werden. Fig. 6 zeigt als Beispiel dafür eine lineare An
ordnung von Einrichtungen in Form einer Durchlaufanlage.
Die drehend oder fest gelagerten Substrate 10a, 10b werden
dabei durch einen geeigneten, durch einen Pfeil angedeute
ten b Lineartranslator durch die verschiedenen Einrichtun
gen, etwa wie in Fig. 6 gezeigt eine Magnetronsputterquel
le 17 und drei Mikrowellenquellen 15, und erfahren in jeder
Einrichtung 17, 15 entsprechende Behandlungs- oder Be
schichtungsschritte. Sequentiell aufeinanderfolgen können
so beispielsweise: Plasmaätzen, Haftschichtabscheidung und
Hauptschichtabscheidung. Dabei können die Substrate bewegt,
unbewegt, oder getaktet bewegt behandelt werden. In Abhän
gigkeit von Substrat, Einrichtung und Prozeß kann eine Be
handlung von liegenden oder stehenden Substraten erfolgen.
So ist etwa für die Behandlung von Folien oder Glas eine
liegende Anordnung der Substrate möglich.
Fig. 7 zeigt als weiteres Beispiel für einen Einrichtungs
verbund eine Mehrkammeranlage mit mit zwei, über vakuum
dichte Schleusentüren 24 verbundenen Rezipienten 12, zwi
schen denen zu beschichtende Substrate 10 hin und her
transportiert werden können. Im Beispiel Fig. 7 befindet
sich in einem Reziepienten eine Mikrowellenquelle 15, im
anderen eine Magnetronsputterquelle 17.
Zur Plasmabeschichtung von Schüttgut kann die Substrathal
terung desweiteren auch als Drehkorb ausgebildet sein, der
sich langsam um eine Plasmaquelle herumbewegt.
In vorteilhafter Weise läßt sich die erfindungsgemäße Einrich
tung zur Herstellung einer Multilagenstruktur aus alternieren
den Einzelschichten einsetzten. Multilagenstrukturen können im
Vergleich zu Einzelschichten gleicher Dicke mit niedrigerer Ei
genspannung abgeschieden werden. Dies reduziert die Neigung zu
Schichtenthaftungen.
Aufgrund ihrer hervorragenden Wirkung als Korrosions- und Ver
schleißschutz für tribologisch hochbelastete Bauteile sind Aus
führungen der o. g. Multilagenstrukturen besonders vorteilhaft,
welche aus alternierenden Hartstoff- und Kohlenstoffeinzel
schichten bestehen. Entsprechend der vorgesehenen Anwendung
werden dabei bezüglich der Zusammensetzung - bevorzugt - je
weils eine Art der Hartstoffschicht und eine Art der Kohlen
stoffschicht kombiniert, die je aus einer Vielzahl von Vertre
tern der beiden Schichttypen ausgewählt werden.
Bei der Herstellung der Schichten der genannten Multilagen
struktur wird im Prinzip in derselben Weise vorgegangen wie bei
der Herstellung von Einzelschichten. Ein Unterschied im Verfah
ren ergibt sich jedoch dadurch, daß aufeinanderfolgend alter
nierende Schichten aufgebracht werden müssen. Die Proben werden
vorgereinigt und in einen Rezipienten gebracht, wie er verein
facht in der Fig. 3 gezeigt ist. Dieser wird auf einen Druck
von weniger als etwa 1 × 10-4 mbar evakuiert. Anschließend werden
die Proben im Plasma feingereinigt, etwa durch Plasmaglimmen.
Dann werden die Schichten aufgebracht. Damit alternierende
Schichten erzeugt werden, werden die Proben beispielsweise mit
tels Planetengetrieben bewegt und dadurch cyclisch an unter
schiedlichen Quellen vorbeigeführt. Durch die Bewegung der Pro
ben relativ zu den Quellen wird auch die Abscheidung homogener
Schichten auf komplex geformten Proben erleichtert. Zur Durch
führung des Verfahrens sind die anhand der Fig. 1 bis 7 ver
anschaulichten Einrichtungen einsetzbar. Dabei können die Quel
len beliebig angeordnet sein, etwa - wie die Sputterkathode in
der Fig. 3 - an der Rezipientenwand oder im Innern des Rezi
pienten. Falls erforderlich können - beispielweise - die in den
Fig. 3 und 5 gezeigten Einrichtungen noch modifiziert wer
den, etwa durch den Einbau einer zusätzlichen Sputterkathode
(s. u.).
Während der Vorbeiführung an einer ersten Quelle wird eine er
ste Schicht auf der Probe deponiert. Die Schichtdicke hängt von
der Beschichtungsrate der Quelle und der Geschwindigkeit der
Probe ab. Dann wird die Probe an einer zweiten Quelle vorbeige
führt, und dabei eine zweite Schicht aufgebracht. Daraufhin
wird die Probe wieder an der ersten Quelle vorbeigeführt und
beschichtet usw. Durch diese Bewegung relativ zu unterschiedli
chen Quellen und die dabei durchgeführte cyclische Beschichtung
wird bei geeigneter Wahl der Beschichtungsrate und der Ge
schwindigkeit der Probe die gewünschte Multilagenstruktur abge
schieden.
Die Betriebsparameter sind abhängig von den verwendeten Quel
len. Sputterkathoden werden insbesondere in einem Druckbereich
von 1-3 × 10-3 mbar betrieben, der durch Einlaß von Ar oder eines
anderen Edelgases eingestellt wird. Die Hartstoffschichten wer
den bevorzugt durch Sputtern von wie die gewünschte Schicht zu
sammengesetzten Sputtertargets oder durch reaktives Sputtern er
zeugt. Alternativ zum Sputtern kann die Verdampfung im Lichtbo
gen (Arc) bei der Abscheidung angewandt werden. Als Kohlen
stoffspender für die Hartstoffschicht wie auch für die Kohlen
stoffschichten werden insbesondere kohlenstoffhaltige Gase, wie
Acetylen oder Methan, aber auch Graphittargets, aus Metallcar
bid bestehende Targets und Lichtbögen, als Stickstoffspender
besonders stickstoffhaltige Gase, wie Stickstoff und Ammoniak
und aus Metallnitrid bestehende Targets und als Siliciumspender
Silane und Siloxane und aus Metallsilicid bestehende Targets
eingesetzt. Die Leistung, mit der die Kathoden betrieben wer
den, liegt bevorzugt zwischen 2 kw und 20 kW pro Kathode. Durch
Leistungsregelung kann die Beschichtungsrate eingestellt wer
den, was von Bedeutung ist, weil die Quellen aus unterschiedli
chen Materialien bestehen, und eine Multilagenstruktur ange
strebt wird, in der die Einzelschichten etwa gleiche Schicht
dicken aufweisen.
Alternativ kann die Multilagenstruktur auch aus alternierenden
Hartstoff und Siliciumeinzelschichten aufgebaut sein. Die
Struktur, bei der die Siliciumschicht die oben angeführten Zu
sammensetzungen haben kann, hat die ebenfalls oben angeführten
Vorteile. Bei der Herstellung sind - bezüglich der
Targets und der reaktiven Gase entsprechend angepaßt - diesel
ben Verfahren und Einrichtungen anwendbar wie bei den aus al
ternierenden Hartstoff- und Kohlenstoffeinzelschichten beste
henden Strukturen.
Im folgendem werden sieben Ausführungsbeispiele der erfindungs
gemäßen Multilagenstruktur beschrieben, die aus alternierenden
Hartstoff und Kohlenstoffschichten aufgebaut sind, wobei die
beiden Schichtarten aus jeweils einem Material gebildet werden.
Die Multilagenstruktur besteht aus Metallcarbid (MeC)
und metallhaltigem Kohlenstoff (C-(MeC)). Vorteilhafte Metalle
sind u. a. Wolfram (W), Chrom (Cr) und Titan (Ti). Die Dicken
der Einzelschichten liegen zwischen etwa 3 und etwa 5 nm und
die Gesamtschichtdicke liegt zwischen etwa 2 und 3 µm. Das Mul
tilagensystem ist auf einem Stahl- oder Hartmetallsubstrat, wie
einem Bauteil oder einem Werkzeug, aufgebracht.
Die Herstellung der Struktur erfolgt durch reaktives Sputtern
von Targets einerseits aus Metallen (Me) und andererseits aus
Metallcarbiden (MeC) in einer Atmosphäre, die aus einer Mi
schung aus Edelgas, wie Argon, als Sputtergas und einem kohlen
stoffhaltigem Gas, wie Acetylen und Methan, als reaktivem Gas
besteht. Die Schichten können mit einer Einrichtung abgeschie
den werden, die sich von der in der Fig. 3 dargestellten durch
eine zusätzliche Sputterkathode unterscheidet. Der Gasfluß wird
in bekannter Weise so konstant eingestellt, daß im einen Ver
fahrensschritt vom Metalltarget MeC und im nächsten Schritt vom
MeC-Target C-(MeC) gesputtert wird und im übernächsten wieder
vom Metalltarget MeC usw., bis die erforderliche Gesamtschicht
dicke erreicht ist.
Das Multilagensystems besteht aus C-(MeC) als Hartstoff, wobei
das Metall bevorzugt Wolfram ist, und aus metallfreiem amorphem
wasserstoffhaltigem Kohlenstoff (a-C : H). Die Schichtdicken lie
gen in denselben Bereichen wie beim ersten Ausführungsbeispiel.
Die C-(MeC)-Schicht wird mittels reaktiven Sputterns - bei
spielsweise - eines WC-Targets erzeugt, wobei der zusätzliche
Kohlenstoff von Acetylen oder Methan geliefert wird. Die a-C : H-Schicht
erhält man mittels einer der oben beschriebenen Plas
maquellen, wie einer RF-Quelle, einer MW-Quelle (s. Fig. 3)
oder einer Hohlkathodenquelle (s. Fig. 4) in der Acetylen oder
Methan enthaltenden Atmosphäre. Die Abscheidung der Multilagen
struktur kann mit der in der Fig. 3 gezeigten Einrichtung oder
mit einer Einrichtung durchgeführt werden, die sich von der in
der Fig. 4 gezeigten durch eine zusätzliche Sputterkathode un
terscheidet.
Das Multilagensystem besteht aus einem Metall (Me) als Hart
stoff und a-C : H. Das Metall ist bevorzugt aus den im Beispiel 1
genannten ausgewählt. Die Schichtdicken liegen in denselben Be
reichen wie beim ersten Ausführungsbeispiel. Zum Aufbringen der
Schichten werden zwei voneinander getrennte Gasräume benötigt,
damit das Metall durch Sputtern oder Aufdampfen von Metall in
einer nicht kohlenstoffhaltigen Atmosphäre und a-C : H in einer
Methan oder Acetylen enthaltende Atmosphäre aufgebracht werden
kann. Die Herstellung der Multilagenstruktur läßt sich mit Ein
richtungen durchführen, die ähnlich den in den Fig. 6 und 7
gezeigten arbeiten, wobei eine Trennung der Gasräume auch - ob
wohl nicht gezeigt - bei der in der Fig. 6 gezeigten Einrich
tung möglich ist. Damit nicht für jede Schicht ein Vielzahl von
Quellen erforderlich ist, sind Ausbildungen der Einrichtungen
vorteilhaft, bei denen die Proben nach dem Aufbringen der er
sten zwei Schichten wieder an den Anfang der Einrichtung zu
rückgeführt und dann das Aufbringen weiterer zwei Schichten
wiederholt wird, usw.
In dem Multilagensystem bestehen die alternierenden Schichten
aus einem Metallcarbid (MeC) als Hartstoff und a-C : H. Die Me
talle sind bevorzugt aus den im Beispiel 1 genannten ausge
wählt. Die Schichtdicken liegen in denselben Bereichen wie beim
ersten Ausführungsbeispiel. Die MeC-Schicht wird durch reakti
ves Sputtern von einem aus dem Me bestehenden Target in einer
Acetylen enthaltenden Atmosphäre abgeschieden. Die a-C : H-Schicht
erhält man mittels einer der oben beschriebenen Plas
maquellen, wie einer RF-Quelle, einer MW-Quelle (s. Fig. 3)
oder einer Hohlkathodenquelle (s. Fig. 4) in der Acetylen ent
haltenden Atmosphäre. Die Abscheidung der Multilagenstruktur
kann mit der in der Fig. 3 gezeigten Einrichtung oder mit ei
ner Einrichtung erzeugt werden, die sich von der in der Fig. 4
gezeigten durch eine zusätzliche Sputterkathode unterscheidet.
Das Multilagensystem besteht aus einem Metallnitrid (MeN) als
Hartstoff, wobei die Metalle bevorzugt Titan oder Chrom sind,
und aus a-C : H. Die Schichtdicken liegen in denselben Bereichen
wie beim ersten Ausführungsbeispiel. Die Abscheidung der
MeN-Schicht wird erreicht entweder durch Sputtern von einem
MeN-Target oder durch reaktives Sputtern von einem Me-Target, wobei
ein stickstoffhaltiges Gas als reaktives Gas eingesetzt wird
und die Atmosphäre von der kohlenstoffhaltigen Atmosphäre ge
trennt ist, in der die a-C : H-Schicht abgeschieden wird. Die
Herstellung der Multilagenstruktur läßt sich - wie beim Bei
spiel 3 - mit Einrichtungen durchführen, die ähnlich den in den
Fig. 6 und 7 gezeigten arbeiten. Wegen der Einzelheiten wird
auf Beispiel 3 verwiesen.
Das Multilagensystem besteht aus einem Metallcarbonitrid (MeCN)
als Hartstoff, wobei die Metalle bevorzugt Titan oder Chrom
sind, und aus a-C : H. Zur Erzeugung der MeCN-Schicht gibt es
insbesondere zwei Alternativen: Reaktives Sputtern von einem
Me-Target, wobei das reaktive Gas aus einem stickstoffhaltigen
und einem kohlenstoffhaltigen Gas gemischt ist und reaktives
Sputtern von einem MeN-Target wobei ein kohlenstoffhaltiges Gas
als reaktives Gas eingesetzt wird. Zur Abscheidung der a-C : H-Schicht
wird ein kohlenstoffhaltiges Gas eingesetzt. Als sol
ches kann das bei der zweiten Alternative beim reaktiven Sput
tern eingesetzte reaktive Gas mitverwendet werden, während bei
der ersten Alternative die Abscheidung der a-C : H-Schicht in ei
nem von der Sputteratmosphäre getrennten Gasraum erfolgt, der
ein kohlenstoffhaltiges, aber stickstoffreies reaktives Gas
enthält. Die Abscheidung entsprechend der ersten Alternative
läßt sich - wie beim Beispiel 3 - mit Einrichtungen durchfüh
ren, die ähnlich den in den Fig. 6 und 7 gezeigten arbeiten,
wobei wegen der Einzelheiten auf Beispiel 3 verwiesen wird. Die
Abscheidung entsprechend der zweiten Alternative läßt sich mit
der in der Fig. 3 gezeigten Einrichtung durchführen.
Bei Varianten der in den Beispielen 3, 4, 5 und 6 beschriebenen
Multilagenstrukturen besteht die Kohlenstoffschicht statt aus
a-C : H aus a-C. Die Hartstoffschicht wird bevorzugt von einem
Target gesputtert, das je nach der gewünschten Zusammensetzung
der Hartstoffschicht aus Me, MeC, MeN bzw. MeCN besteht, und
die a-C-Schicht wird von einem Graphittarget gesputtet bzw.
mittels eines Kohlebogens erzeugt. Die Multilagenstruktur läßt
sich, je nachdem wie die a-C-Schicht erzeugt wird, mittels der
in der Fig. 5 gezeigten Einrichtung oder mittels einer Ein
richtung abscheiden, die sich von der in der Fig. 5 gezeigten
dadurch unterscheidet, daß statt des Kohlenstofftargets 19 ein
Graphittarget vorgesehen ist.
Durch entsprechende Wahl der Herstellbedingungen, wie der Sput
tertargets und der reaktiven Gase, lassen sich die obengenann
ten Beispiele so abwandeln, daß statt der Kohlenstoffschichten
entsprechende Siliciumschichten erzeugt und gegebenenfalls der
Kohlenstoff in der Hartstoffschicht durch Silicium ersetzt
wird. So lassen sich beispielsweise aus alternierenden Me- und
a-Si : H-Einzelschichten oder aus alternierenden MeSi- und
a-Si : H- bestehenden Multilagenstrukturen erzeugen, wie es im Bei
spiel 3 bzw. 4 beschrieben ist.
Es sind auch andere Schichtkombinationen vorteilhaft einsetz
bar, beispielsweise solche, bei denen die Hartstoffschichten
und ebenso die Kohlenstoff- bzw. Siliciumschichten nicht alle
aus demselben Material bestehen und/oder bei denen eine Kohlen
stoffschicht, mit einer Silicium oder Silicium und Kohlenstoff
enthaltenden Hartstoffschicht oder eine Siliciumschicht mit ei
ner Kohlenstoff oder Kohlenstoff und Silicium enthaltenden
Hartstoffschicht kombiniert ist.
Claims (35)
1. Verfahren zum Vakuumbeschichten eines Substrates mit ei
nem Plasma-CVD-Verfahren, wobei an das Substrat zur Steue
rung des Ionenbeschusses während der Beschichtung eine
Substratspannung angelegt ist, dadurch gekennzeichnet, daß
Substratspannung (US) und Beschichtungsplasma (20) unabhän
gig voneinander erzeugt und die Substratspannung (US) wäh
rend der Beschichtung verändert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Substratspannung (US) eine bipolar gepulste Gleichspan
nung mit einer Frequenz von 0,1 kHz bis 10 MHz, insbesonde
re 1-100 kHz, ist.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die positiven und negativen Pulse der Substratspannung (US)
in zeitlicher Länge und/oder Höhe unabhängig voneinander
eingestellt werden können.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
der Substratspannung (US) eine Gleichspannung überlagert
wird.
5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
zwischen den negativen und positiven Pulsen der Substrat
spannung (US) spannungslose Pausenzeiten von 0 bis 1 msek,
insbesondere 2 bis 100 µsek.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
die Pausenzeit nach einem negativen Puls kürzer ist als die
Pausenzeit nach einem positiven Puls.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
während der Beschichtung Gase unterschiedlicher Art und in
verschiedenen Kombinationen zugesetzt werden.
8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
die zugesetzten Gase durch die Plasmaquelle (18) hindurch
geleitet oder nahe an der Quelle eingeleitet werden.
9. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
als reaktives Gas (Cx, Hy) insbesondere (C2H2, CH4), Silane
und Siloxane, insbesondere (SiH4) oder HMDS und Derivate,
Edelgase, metallorganische Verbindungen oder eine Kombina
tion dieser Gase verwendet wird.
10. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach An
spruch 1 mit einem Vakuumrezipienten (12), einer Lagerein
richtung (11) zur Aufnahme von zu beschichtenden Substraten
(10), Mitteln (15 bis 19) zur Erzeugung eines Plasmas (20)
im Innenraum (21) des Rezipienten, gekennzeichnet durch ei
ne von den Plasmaerzeugungsmitteln (15 bis 19) getrennt
steuerbare Einrichtung (13) zur Erzeugung einer
Substratspannung (US) welche an die zu beschichtenden
Substrate (10) angelegt ist.
11. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß zur Erzeugung des Plasmas (20) eine Mikrowellenquelle
(15), eine Sputterkathode (17), eine Hohlkathode (18), eine
Hochfrequenzquelle oder eine Anordnung zur Erzeugung eines
Hochstrombogens (19) eingesetzt wird.
12. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die Spannungsversorgung (13) ein bipolar gepulstes Bi
as-Netzteil ist.
13. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß sie mit unbewegten, gleichförmig bewegten, oder getak
teten bewegten Substraten als Durchlaufanlage betrieben
wird.
14. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die Mittel (15, 17, 18, 19) zur Erzeugung des Plasmas
(20) gepulst betrieben werden.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9 unter Ver
wendung der Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14
zur Herstellung einer Kohlenstoffschicht, insbesondere ei
ner amorphen Kohlenstoffschicht (a-C : H).
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9 unter Ver
wendung der Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14
zur Herstellung einer Siliciumschicht, insbesondere einer
amorphen Siliciumschicht (a-Si : H).
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9 unter Ver
wendung der Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14
zur Herstellung eines mehrlagigen Schichtaufbaus bestehend
aus einer metallhaltigen Schicht zur Haftvermittlung und
einer darauf aufgebrachten amorphen Kohlenstoffschicht, wo
bei die Übergänge zu den haftungsvermittelten Schichten als
Gradienten über mindestens 1/5 der Einzelschichtdicken aus
geführt werden.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9 unter Ver
wendung der Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14
zur Abscheidung eines Schichtsystems, welches Silicium,
Bor, Stickstoff, Sauerstoff, Kohlenstoff, ein Metall oder
eine Kombination dieser Elemente enthält.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9 unter Verwendung
einer Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14 zur Her
stellung einer Multilagenstruktur aus alternierenden Einzel
schichten.
20. Multilagenstruktur bestehend aus alternierenden
Hartstoff- und Kohlenstoff- oder Siliciumeinzelschichten.
21. Multilagenstruktur nach Anspruch 20, dadurch gekennzeich
net, daß die Kohlenstoffschicht aus amorphem wasserstoffhalti
gem Kohlenstoff (a-C : H im folgenden), amorphem wasserstoffreiem
Kohlenstoff (a-C), siliciumhaltigem (wasserstoffhaltigem oder
wasserstoffreiem) Kohlenstoff oder metallhaltigem
(wasserstoffhaltigem oder wasserstoffreiem) Kohlenstoff (C-(MeC))
besteht, wobei das Metall aus den harten Nebengruppenme
tallen ausgewählt ist.
22. Multilagenstruktur nach Anspruch 20, dadurch gekennzeich
net, daß die Siliciumschicht aus amorphem Wasserstoffhaltigem
Silicium (a-Si : H im folgenden), amorphem wasserstoffreiem Sili
cium (a-Si), kohlenstoffhaltigem (wasserstoffhaltigen oder was
serstoffreiem) Silicium oder metallhaltigem
(wasserstoffhaltigem oder wasserstoffreiem) Silicium
(Si-(MeSi)) besteht.
23. Multilagenstruktur nach einem der Ansprüche 20 bis 22, da
durch gekennzeichnet, daß die Hartstoffschicht aus einem Metall
(Me im folgenden), einer Metallverbindung, Metallcarbid enthal
tendem Kohlenstoff (C-(MeC)), Metallsilicid enthaltendem Sili
cium (Si-(MeSi)) oder Mischungen aus mindestens zwei der ge
nannten Materialien besteht.
24. Multilagenstruktur nach Anspruch 23, dadurch gekennzeich
net, daß das Metall aus der Gruppe Wolfram (W), Chrom (Cr), Ti
tan (Ti), Niob (Nb) und Molybdän (Mo) ausgewählt ist.
25. Multilagenstruktur nach Anspruch 23, dadurch gekennzeich
net, daß die Metallverbindung ein Metallcarbid (MeC), ein Me
tallnitrid (MeN), ein Metallsilicid (MeSi), ein Metallcarboni
trid (Me(CN)), ein Metallcarbosilicid (Me(CSi) oder ein Metall
siliconitrid (Me(SiN) ist.
26. Multilagenstruktur nach einem der Ansprüche 20 bis 25, da
durch gekennzeichnet, daß die Einzelschichten aus einer Art
oder mehr Arten der Hartstoffschicht und einer Art oder mehr
Arten der Kohlenstoff- bzw. der Siliciumschicht bestehen.
27. Multilagenstruktur nach Anspruch 26, dadurch gekennzeich
net, daß die Einzelschichten aus einer Art der Hartstoffschicht
und aus einer Art der Kohlenstoff bzw. der Siliciumschicht be
stehen.
28. Multilagenstruktur nach einem der Ansprüche 20 bis 27, da
durch gekennzeichnet, daß die Dicken der Einzelschichten zwi
schen etwa 1 und etwa 10 nm und bevorzugt zwischen etwa 2 und
etwa 5 nm liegen.
29. Multilagenstruktur nach einem der Ansprüche 20 bis 28, da
durch gekennzeichnet, daß die Gesamtdicke der Struktur zwischen
etwa 1 und etwa 10 µm, und bevorzugt zwischen etwa 1 und etwa 4
µm liegt.
30. Multilagenstruktur nach einem der Ansprüche 23 bis 29, da
durch gekennzeichnet, daß die Hartstoffschicht aus Me, MeC,
MeN, MeSi, Me(CN) Me(CSi) oder Me(SiN) und die Kohlenstoff
schicht aus a-C : H oder a-C besteht.
31. Multilagenstruktur nach einem der Ansprüche 23 bis 29, da
durch gekennzeichnet, daß sie aus alternierenden C-(WC)- und
a-C : H-Schichten besteht.
32. Multilagenstruktur nach einem der Ansprüche 23 bis 29, da
durch gekennzeichnet, daß sie aus alternierenden MeC- und und
C-(MeC)-Schichten besteht.
33. Multilagenstruktur nach einem der Ansprüche 23 bis 28, da
durch gekennzeichnet, daß die Hartstoffschicht aus Me, MeC,
MeN, MeSi, Me(CN) Me(CSi) oder Me(SiN) und die Siliciumschicht
aus a-Si : H oder a-Si besteht.
34. Multilagenstruktur nach einem der Ansprüche 20 bis 33, da
durch gekennzeichnet, daß die Einzelschichten zusätzlich minde
stens ein Element aus der Gruppe Silicium, Bor, Stickstoff,
Sauerstoff, Kohlenstoff und ein Metall unter der Voraussetzung
enthalten, daß nicht gleichzeitig Bor und Kohlenstoff in ihnen
vorhanden ist.
35. Multilagenstruktur nach einem der Ansprüche 20 bis 34, da
durch gekennzeichnet, daß ein Werkzeug, insbesondere ein Zer
span- oder Umformwerkzeug, mit ihr beschichtet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19826259A DE19826259A1 (de) | 1997-06-16 | 1998-06-15 | Verfahren und Einrichtung zum Vakuumbeschichten eines Substrates |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19725383 | 1997-06-16 | ||
DE19826259A DE19826259A1 (de) | 1997-06-16 | 1998-06-15 | Verfahren und Einrichtung zum Vakuumbeschichten eines Substrates |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19826259A1 true DE19826259A1 (de) | 1998-12-17 |
Family
ID=7832611
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19826259A Ceased DE19826259A1 (de) | 1997-06-16 | 1998-06-15 | Verfahren und Einrichtung zum Vakuumbeschichten eines Substrates |
DE59813331T Expired - Lifetime DE59813331D1 (de) | 1997-06-16 | 1998-06-15 | Verfahren und einrichtung zum vakuumbeschichten eines substrates |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59813331T Expired - Lifetime DE59813331D1 (de) | 1997-06-16 | 1998-06-15 | Verfahren und einrichtung zum vakuumbeschichten eines substrates |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US6372303B1 (de) |
EP (1) | EP0990061B1 (de) |
JP (2) | JP2002504189A (de) |
CN (1) | CN1264432A (de) |
AU (1) | AU734809B2 (de) |
DE (2) | DE19826259A1 (de) |
ES (1) | ES2256948T3 (de) |
WO (1) | WO1998058100A1 (de) |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10005614A1 (de) * | 2000-02-09 | 2001-08-16 | Hauzer Techno Coating Europ B | Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen sowie Gegenstand |
EP1123990A1 (de) | 2000-02-09 | 2001-08-16 | Hauzer Techno Coating Europe Bv | Verfahren zur PVD-Beschichtung |
DE10018143A1 (de) * | 2000-04-12 | 2001-10-25 | Balzers Hochvakuum | DLC-Schichtsystem sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines derartigen Schichtsystems |
DE10242475B3 (de) * | 2002-09-11 | 2004-06-17 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Verschleißschutzschicht |
DE102004004177A1 (de) * | 2004-01-28 | 2005-09-01 | AxynTeC Dünnschichttechnik GmbH | Verfahren zur Herstellung dünner Schichten |
DE102004036170A1 (de) * | 2004-07-26 | 2006-03-23 | Schott Ag | Vakuumbeschichtungsanlage und Verfahren zur Vakuumbeschichtung |
WO2006116889A1 (de) * | 2005-05-04 | 2006-11-09 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Plasmaverstärker für plasmabehandlungsanlage |
DE10159907B4 (de) * | 2001-12-06 | 2008-04-24 | Interpane Entwicklungs- Und Beratungsgesellschaft Mbh & Co. | Beschichtungsverfahren |
WO2008145459A1 (de) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Vakuumbehandlungsanlage und vakuumbehandlungsverfahren |
DE102010052971A1 (de) | 2010-11-30 | 2012-05-31 | Amg Coating Technologies Gmbh | Werkstück mit Si-DLC Beschichtung und Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen |
EP1111087B2 (de) † | 1998-07-03 | 2012-08-29 | Shincron Co., Ltd. | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht |
EP2628822A1 (de) | 2012-02-15 | 2013-08-21 | Hauzer Techno Coating BV | Stromisolierende Lagerkomponenten und Lager |
EP2628817A1 (de) | 2012-02-15 | 2013-08-21 | Hauzer Techno Coating BV | Beschichteter Artikel aus Martensitstahl und Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Artikels aus Stahl |
DE102012007796A1 (de) | 2012-04-20 | 2013-10-24 | Amg Coating Technologies Gmbh | Beschichtung enthaltend Si-DLC, DLC und Me-DLC und Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen |
WO2013156107A1 (de) | 2012-04-20 | 2013-10-24 | Amg Coating Technologies Gmbh | Beschichtung enthaltend si-dlc, dlc und me-dlc und verfahren zur herstellung von beschichtungen |
WO2018019482A1 (de) | 2016-07-28 | 2018-02-01 | Robert Bosch Gmbh | Verbesserte lenkung von ionen aus einem plasma auf ein zu beschichtendes substrat |
WO2018171977A1 (de) * | 2017-03-24 | 2018-09-27 | Robert Bosch Gmbh | VERSCHLEIßSCHUTZBESCHICHTETES METALLISCHES BAUTEIL HIERAUS BESTEHENDE BAUTEILANORDNUNG |
DE102017214432A1 (de) | 2017-08-18 | 2019-02-21 | Gühring KG | Verfahren zum beschichten temperaturempfindlicher substrate mit polykristallinem diamant |
WO2019034728A1 (de) | 2017-08-18 | 2019-02-21 | Gühring KG | Verfahren zum beschichten temperaturempfindlicher substrate mit polykristallinem diamant |
DE102017217464A1 (de) | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Gühring KG | Verfahren zum Beschichten temperaturempfindlicher Substrate mit polykristallinem Diamant |
Families Citing this family (79)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001279455A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Canon Inc | 堆積膜形成方法及び堆積膜形成装置 |
JP2003231203A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-08-19 | Toshiba Corp | 炭素膜被覆部材 |
ATE396287T1 (de) * | 2002-07-08 | 2008-06-15 | Galileo Vacuum Systems S R L | Vorrichtung zur chargenweisen vakuumbeschichtung von gegenständen |
FR2853418B1 (fr) * | 2003-04-01 | 2005-08-19 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif optique a stabilite mecanique renforcee fonctionnant dans l'extreme ultraviolet et masque de lithographie comportant un tel dispositif |
US7138180B2 (en) * | 2003-10-16 | 2006-11-21 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Hard carbon films formed from plasma treated polymer surfaces |
NL1025096C2 (nl) * | 2003-12-21 | 2005-06-23 | Otb Group Bv | Werkwijze alsmede inrichting voor het vervaardigen van een functionele laag bestaande uit ten minste twee componenten. |
PL1580299T5 (pl) | 2004-03-25 | 2020-12-28 | Whirlpool Corporation | Powłoka ochronna dla sprzętu gospodarstwa domowego |
US7498062B2 (en) * | 2004-05-26 | 2009-03-03 | Wd Media, Inc. | Method and apparatus for applying a voltage to a substrate during plating |
JP5133057B2 (ja) * | 2004-07-09 | 2013-01-30 | エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト,トリュープバッハ | Me−DLC硬質材料コーティングを備えた銅含有導電性材料 |
WO2006011028A1 (en) * | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Element Six Limited | Orthopaedic implants |
DE102004041234A1 (de) * | 2004-08-26 | 2006-03-02 | Ina-Schaeffler Kg | Verschleißfeste Beschichtung und Verfahren zur Herstellung derselben |
DE102004041235A1 (de) * | 2004-08-26 | 2006-03-02 | Ina-Schaeffler Kg | Verschleißfeste Beschichtung und Verfahren zur Herstellung derselben |
ES2565165T3 (es) * | 2004-09-08 | 2016-03-31 | Bic Violex S.A. | Método para deposición de una capa sobre un filo de cuchilla de afeitar y cuchilla de afeitar |
JP4517791B2 (ja) * | 2004-09-10 | 2010-08-04 | 凸版印刷株式会社 | 窒化シリコン膜を用いたパターン形成方法 |
US7244493B2 (en) * | 2004-11-12 | 2007-07-17 | Delphi Technologies, Inc. | Coated article |
US7459188B2 (en) * | 2004-12-02 | 2008-12-02 | Alliance For Sustainable Energy, Llc | Method and apparatus for making diamond-like carbon films |
JP4853857B2 (ja) * | 2005-06-15 | 2012-01-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板の処理方法,コンピュータ読み取り可能な記録媒体及び基板処理装置 |
WO2006134781A1 (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-21 | Kyocera Corporation | 堆積膜形成方法、堆積膜形成装置、堆積膜およびこれを用いた感光体 |
ATE452218T1 (de) * | 2005-09-10 | 2010-01-15 | Schaeffler Kg | VERSCHLEIßFESTE BESCHICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN |
US8664124B2 (en) | 2005-10-31 | 2014-03-04 | Novellus Systems, Inc. | Method for etching organic hardmasks |
US8110493B1 (en) | 2005-12-23 | 2012-02-07 | Novellus Systems, Inc. | Pulsed PECVD method for modulating hydrogen content in hard mask |
JP4735309B2 (ja) * | 2006-02-10 | 2011-07-27 | トヨタ自動車株式会社 | 耐キャビテーションエロージョン用部材及びその製造方法 |
JP4704950B2 (ja) * | 2006-04-27 | 2011-06-22 | 株式会社神戸製鋼所 | 非晶質炭素系硬質多層膜及びこの膜を表面に備えた硬質表面部材 |
US7981810B1 (en) | 2006-06-08 | 2011-07-19 | Novellus Systems, Inc. | Methods of depositing highly selective transparent ashable hardmask films |
US20080014466A1 (en) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Ronghua Wei | Glass with scratch-resistant coating |
EP1918967B1 (de) * | 2006-11-02 | 2013-12-25 | Dow Corning Corporation | Verfahren zur Herstellung einer Schicht durch Abscheidung aus einem Plasma |
US7915166B1 (en) | 2007-02-22 | 2011-03-29 | Novellus Systems, Inc. | Diffusion barrier and etch stop films |
US7981777B1 (en) | 2007-02-22 | 2011-07-19 | Novellus Systems, Inc. | Methods of depositing stable and hermetic ashable hardmask films |
JP2007160506A (ja) * | 2007-02-23 | 2007-06-28 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 非晶質カーボン被覆工具 |
US8962101B2 (en) | 2007-08-31 | 2015-02-24 | Novellus Systems, Inc. | Methods and apparatus for plasma-based deposition |
US7820556B2 (en) * | 2008-06-04 | 2010-10-26 | Novellus Systems, Inc. | Method for purifying acetylene gas for use in semiconductor processes |
US8435608B1 (en) | 2008-06-27 | 2013-05-07 | Novellus Systems, Inc. | Methods of depositing smooth and conformal ashable hard mask films |
CH699109A1 (fr) * | 2008-07-10 | 2010-01-15 | Swatch Group Res & Dev Ltd | Procédé de fabrication d'une pièce micromécanique. |
EP2145857B1 (de) * | 2008-07-10 | 2014-03-19 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils |
TW201020336A (en) * | 2008-11-20 | 2010-06-01 | Yu-Hsueh Lin | Method for plating film on surface of heat dissipation module and film-plated heat dissipation module |
KR101496149B1 (ko) * | 2008-12-08 | 2015-02-26 | 삼성전자주식회사 | 결정질 실리콘 제조 방법 |
US7955990B2 (en) * | 2008-12-12 | 2011-06-07 | Novellus Systems, Inc. | Method for improved thickness repeatability of PECVD deposited carbon films |
US8267831B1 (en) | 2009-05-19 | 2012-09-18 | Western Digital Technologies, Inc. | Method and apparatus for washing, etching, rinsing, and plating substrates |
KR20120092545A (ko) * | 2009-06-26 | 2012-08-21 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 비정질 탄소의 도핑에 의해 불화탄소(cfx) 막의 접착성을 향상시키는 방법 |
CN107359103A (zh) * | 2009-10-28 | 2017-11-17 | 应用材料公司 | 用于等离子体增强化学气相沉积的腔室 |
DE102010002686A1 (de) * | 2010-03-09 | 2011-09-15 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Gleitelement, insbesondere Kolbenring, und Verfahren zur Beschichtung eines Gleitelements |
DE102010002688C5 (de) * | 2010-03-09 | 2014-03-06 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Schraubendruckfeder für einen Ölabstreifring eines Kolbens in einem Verbrennungsmotor und Verfahren zur Beschichtung einer Schraubendruckfeder |
US8563414B1 (en) | 2010-04-23 | 2013-10-22 | Novellus Systems, Inc. | Methods for forming conductive carbon films by PECVD |
DE102010033543A1 (de) * | 2010-08-05 | 2012-02-09 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Verfahren zur Beschichtung von Stahl-Bauteilen |
JP2012125923A (ja) * | 2012-03-19 | 2012-07-05 | Okouchi Kinzoku Co Ltd | Dlc被覆を有する切削工具の製造方法 |
SG195494A1 (en) | 2012-05-18 | 2013-12-30 | Novellus Systems Inc | Carbon deposition-etch-ash gap fill process |
DE102012017809A1 (de) * | 2012-09-10 | 2014-03-13 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Verfahren zur Herstellung einer Metallborocarbidschicht auf einem Substrat |
US9362133B2 (en) | 2012-12-14 | 2016-06-07 | Lam Research Corporation | Method for forming a mask by etching conformal film on patterned ashable hardmask |
JP2014125670A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Kobe Steel Ltd | プラズマcvd法による保護膜の形成方法 |
US9304396B2 (en) | 2013-02-25 | 2016-04-05 | Lam Research Corporation | PECVD films for EUV lithography |
JP6060016B2 (ja) | 2013-03-28 | 2017-01-11 | ブラザー工業株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び成膜プログラム |
US9320387B2 (en) | 2013-09-30 | 2016-04-26 | Lam Research Corporation | Sulfur doped carbon hard masks |
US9589799B2 (en) | 2013-09-30 | 2017-03-07 | Lam Research Corporation | High selectivity and low stress carbon hardmask by pulsed low frequency RF power |
JP2016084495A (ja) * | 2014-10-24 | 2016-05-19 | 株式会社日本製鋼所 | 金属膜と保護膜とを形成する成膜方法および成膜装置 |
US9523146B1 (en) | 2015-06-17 | 2016-12-20 | Southwest Research Institute | Ti—Si—C—N piston ring coatings |
DE102015115167B4 (de) * | 2015-09-09 | 2017-03-30 | Lisa Dräxlmaier GmbH | Formkörper aufweisend eine Funktionsschicht, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung |
US10368939B2 (en) | 2015-10-29 | 2019-08-06 | Covidien Lp | Non-stick coated electrosurgical instruments and method for manufacturing the same |
US10441349B2 (en) | 2015-10-29 | 2019-10-15 | Covidien Lp | Non-stick coated electrosurgical instruments and method for manufacturing the same |
RU2742325C2 (ru) * | 2016-04-22 | 2021-02-04 | Эрликон Серфиз Солюшнз Аг, Пфеффикон | TiCN С СОКРАЩЕННЫМИ ДЕФЕКТАМИ РОСТА С ПОМОЩЬЮ HiPIMS |
KR102451440B1 (ko) | 2016-06-15 | 2022-10-05 | 이스트만 케미칼 컴파니 | 물리적 증착된 바이오센서 컴포넌트 |
US10249495B2 (en) * | 2016-06-28 | 2019-04-02 | Applied Materials, Inc. | Diamond like carbon layer formed by an electron beam plasma process |
JP7111698B2 (ja) | 2016-09-16 | 2022-08-02 | イーストマン ケミカル カンパニー | 物理蒸着によって製造されるバイオセンサー電極 |
EP3512957B1 (de) | 2016-09-16 | 2022-03-09 | Eastman Chemical Company | Biosensorelektroden hergestellt durch physikalische gasphasenabscheidung |
EP3642605A1 (de) | 2017-06-22 | 2020-04-29 | Eastman Chemical Company | Physikalische dampfabscheidungselektrode für elektrochemische sensoren |
US11043375B2 (en) | 2017-08-16 | 2021-06-22 | Applied Materials, Inc. | Plasma deposition of carbon hardmask |
US10973569B2 (en) | 2017-09-22 | 2021-04-13 | Covidien Lp | Electrosurgical tissue sealing device with non-stick coating |
US10709497B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-07-14 | Covidien Lp | Electrosurgical tissue sealing device with non-stick coating |
JP7005367B2 (ja) * | 2018-02-05 | 2022-02-04 | 東京エレクトロン株式会社 | ボロン系膜の成膜方法および成膜装置 |
WO2019199681A1 (en) | 2018-04-09 | 2019-10-17 | Applied Materials, Inc. | Carbon hard masks for patterning applications and methods related thereto |
CN109536858A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-29 | 深圳大学 | 锁杆及其制备方法 |
KR20220002748A (ko) | 2019-05-29 | 2022-01-06 | 램 리써치 코포레이션 | 고 전력 펄싱된 저 주파수 rf에 의한 고 선택도, 저 응력, 및 저 수소 다이아몬드-유사 탄소 하드 마스크들 |
KR20220037456A (ko) | 2019-07-01 | 2022-03-24 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 플라즈마 결합 재료들을 최적화하는 것에 의한 막 특성들의 조절 |
US11207124B2 (en) | 2019-07-08 | 2021-12-28 | Covidien Lp | Electrosurgical system for use with non-stick coated electrodes |
US11369427B2 (en) | 2019-12-17 | 2022-06-28 | Covidien Lp | System and method of manufacturing non-stick coated electrodes |
US11664226B2 (en) | 2020-06-29 | 2023-05-30 | Applied Materials, Inc. | Methods for producing high-density carbon films for hardmasks and other patterning applications |
US11664214B2 (en) | 2020-06-29 | 2023-05-30 | Applied Materials, Inc. | Methods for producing high-density, nitrogen-doped carbon films for hardmasks and other patterning applications |
CN111893455B (zh) * | 2020-09-08 | 2023-10-03 | 河北美普兰地环保科技有限公司 | 金属基材碳纳米膜材料制造设备及其制备方法 |
CN113215537A (zh) * | 2021-04-21 | 2021-08-06 | 合肥波林新材料股份有限公司 | 一种连杆用防护涂层的制备方法及其应用 |
RU2762426C1 (ru) * | 2021-09-06 | 2021-12-21 | Общество с ограниченной ответственностью "Вириал" (ООО "Вириал") | Установка модифицирования поверхности заготовок для режущих пластин |
Family Cites Families (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4727000A (en) * | 1983-06-06 | 1988-02-23 | Ovonic Synthetic Materials Co., Inc. | X-ray dispersive and reflective structures |
JPS6091629A (ja) | 1983-10-25 | 1985-05-23 | Nec Corp | プラズマ気相成長装置 |
US4785470A (en) * | 1983-10-31 | 1988-11-15 | Ovonic Synthetic Materials Company, Inc. | Reflectivity and resolution X-ray dispersive and reflective structures for carbon, beryllium and boron analysis |
US4619865A (en) * | 1984-07-02 | 1986-10-28 | Energy Conversion Devices, Inc. | Multilayer coating and method |
EP0221531A3 (de) * | 1985-11-06 | 1992-02-19 | Kanegafuchi Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Isoliertes gut wärmeleitendes Substrat und sein Herstellungsverfahren |
JPS6393861A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-25 | Nec Corp | 低応力薄膜の堆積方法 |
DE3733135C1 (de) * | 1987-10-01 | 1988-09-22 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Beschichten oder AEtzen mittels eines Plasmas |
US4963239A (en) | 1988-01-29 | 1990-10-16 | Hitachi, Ltd. | Sputtering process and an apparatus for carrying out the same |
FR2639363B1 (fr) * | 1988-11-23 | 1991-02-22 | Centre Nat Rech Scient | Procede et dispositif de traitement de surface par plasma, pour un substrat porte par une electrode |
JPH02205666A (ja) | 1989-02-01 | 1990-08-15 | Fujitsu Ltd | スパッタ膜の形成方法 |
EP0395415B1 (de) | 1989-04-27 | 1995-03-15 | Fujitsu Limited | Gerät und Verfahren zur Bearbeitung einer Halbleitervorrichtung unter Verwendung eines durch Mikrowellen erzeugten Plasmas |
JP2538691B2 (ja) * | 1989-04-27 | 1996-09-25 | 富士通株式会社 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JPH03114234A (ja) | 1989-09-28 | 1991-05-15 | Toshiba Corp | 薄膜トランジスタ及びその製造方法 |
FR2653234A1 (fr) * | 1989-10-13 | 1991-04-19 | Philips Electronique Lab | Dispositif du type miroir dans le domaine des rayons x-uv. |
JPH0430900A (ja) | 1990-05-25 | 1992-02-03 | Kosaku Ono | 物干し乾燥機 |
JP3384490B2 (ja) | 1990-06-04 | 2003-03-10 | ティーディーケイ株式会社 | 高周波プラズマcvd法による炭素膜の形成法 |
US5268217A (en) * | 1990-09-27 | 1993-12-07 | Diamonex, Incorporated | Abrasion wear resistant coated substrate product |
US5268216A (en) * | 1990-12-21 | 1993-12-07 | Ovonic Synthetic Materials Company, Inc. | Multilayer solid lubricant composite structures and method of making same |
JP3106528B2 (ja) | 1991-03-12 | 2000-11-06 | 株式会社島津製作所 | 硬質カーボン膜形成方法及び形成装置 |
JPH07109034B2 (ja) | 1991-04-08 | 1995-11-22 | ワイケイケイ株式会社 | 硬質多層膜形成体およびその製造方法 |
US5786068A (en) * | 1991-05-03 | 1998-07-28 | Advanced Refractory Technologies, Inc. | Electrically tunable coatings |
DE9109503U1 (de) * | 1991-07-31 | 1991-10-17 | Magtron Magneto Elektronische Geraete Gmbh, 7583 Ottersweier | Schaltungsanordnung für ein Stromversorgungsgerät für Geräte und Anlagen der Plasma- und Oberflächentechnik |
DE4127317C2 (de) * | 1991-08-17 | 1999-09-02 | Leybold Ag | Einrichtung zum Behandeln von Substraten |
DE69216218T2 (de) * | 1991-10-14 | 1997-06-19 | Commissariat Energie Atomique | Erosionsbeständiges und abrasionsbeständiges Mehrschichtenmaterial |
JP3263499B2 (ja) * | 1993-10-19 | 2002-03-04 | 三洋電機株式会社 | ダイヤモンド状被膜形成方法及び装置 |
US5900103A (en) | 1994-04-20 | 1999-05-04 | Tokyo Electron Limited | Plasma treatment method and apparatus |
US5593719A (en) * | 1994-03-29 | 1997-01-14 | Southwest Research Institute | Treatments to reduce frictional wear between components made of ultra-high molecular weight polyethylene and metal alloys |
NZ283189A (en) * | 1994-04-01 | 1997-12-19 | Mobil Oil Corp | Polymeric film comprising amorphous nylon layer coated with carbon by plasma vapour deposition |
JPH08134629A (ja) * | 1994-09-16 | 1996-05-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 超微粒積層膜と、それを有する工具用複合高硬度材料 |
EP0701982B1 (de) | 1994-09-16 | 2002-07-03 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Mehrschichtfilm aus ultrafeinen Partikeln und harter Verbundwerkstoff für Werkzeuge, die diesen Film enthalten |
US5500312A (en) * | 1994-10-11 | 1996-03-19 | At&T Corp. | Masks with low stress multilayer films and a process for controlling the stress of multilayer films |
DE19500262C1 (de) | 1995-01-06 | 1995-09-28 | Metaplas Oberflaechenveredelun | Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken |
US5569487A (en) * | 1995-01-23 | 1996-10-29 | General Electric Company | Capacitor dielectrics of silicon-doped amorphous hydrogenated carbon |
JPH08255782A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Toshiba Corp | プラズマ表面処理装置 |
DE19513614C1 (de) | 1995-04-10 | 1996-10-02 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Abscheidung von Kohlenstoffschichten, Kohlenstoffschichten auf Substraten und deren Verwendung |
DE19515565B4 (de) | 1995-04-27 | 2005-08-04 | Hyundai Motor Co. | Hinterradaufhängung für Kraftfahrzeuge |
US5593234A (en) * | 1995-05-16 | 1997-01-14 | Ntn Corporation | Bearing assembly with polycrystalline superlattice coating |
US5693376A (en) * | 1995-06-23 | 1997-12-02 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method for plasma source ion implantation and deposition for cylindrical surfaces |
JPH09106899A (ja) * | 1995-10-11 | 1997-04-22 | Anelva Corp | プラズマcvd装置及び方法並びにドライエッチング装置及び方法 |
JPH09111458A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-04-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
US5672054A (en) * | 1995-12-07 | 1997-09-30 | Carrier Corporation | Rotary compressor with reduced lubrication sensitivity |
DE19609804C1 (de) * | 1996-03-13 | 1997-07-31 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung, ihre Verwendung und ihr Betrieb zum Vakuumbeschichten von Schüttgut |
JPH1079372A (ja) * | 1996-09-03 | 1998-03-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
EP0827817A1 (de) * | 1996-09-06 | 1998-03-11 | Sandvik Aktiebolag | Beschichtetes Kettensägekettenrad |
-
1998
- 1998-06-15 AU AU85315/98A patent/AU734809B2/en not_active Ceased
- 1998-06-15 WO PCT/DE1998/001610 patent/WO1998058100A1/de active IP Right Grant
- 1998-06-15 DE DE19826259A patent/DE19826259A1/de not_active Ceased
- 1998-06-15 US US09/446,054 patent/US6372303B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-15 CN CN98806256.9A patent/CN1264432A/zh active Pending
- 1998-06-15 EP EP98936157A patent/EP0990061B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-15 DE DE59813331T patent/DE59813331D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-15 ES ES98936157T patent/ES2256948T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-15 JP JP50355499A patent/JP2002504189A/ja not_active Ceased
-
2001
- 2001-12-21 US US10/026,259 patent/US6869676B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-12-09 US US11/008,413 patent/US7942111B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2008
- 2008-12-24 JP JP2008327799A patent/JP2009133008A/ja active Pending
Cited By (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1111087B2 (de) † | 1998-07-03 | 2012-08-29 | Shincron Co., Ltd. | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht |
EP1876257A2 (de) * | 2000-02-09 | 2008-01-09 | Hauzer Techno Coating BV | Verfahren zur PVD-Beschichtung |
EP1123990A1 (de) | 2000-02-09 | 2001-08-16 | Hauzer Techno Coating Europe Bv | Verfahren zur PVD-Beschichtung |
US6599400B2 (en) | 2000-02-09 | 2003-07-29 | Hauzer Techno Coating Europe Bv | Method for the manufacture of coatings and an article |
DE10005614A1 (de) * | 2000-02-09 | 2001-08-16 | Hauzer Techno Coating Europ B | Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen sowie Gegenstand |
US6767617B2 (en) | 2000-02-09 | 2004-07-27 | Hauzer Techno Coating Europe Bv | Method for the manufacture of an article and an article |
EP1876257A3 (de) * | 2000-02-09 | 2008-03-12 | Hauzer Techno Coating BV | Verfahren zur PVD-Beschichtung |
DE10018143A1 (de) * | 2000-04-12 | 2001-10-25 | Balzers Hochvakuum | DLC-Schichtsystem sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines derartigen Schichtsystems |
DE10018143B4 (de) * | 2000-04-12 | 2006-05-04 | Unaxis Balzers Ag | DLC-Schichtsystem sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines derartigen Schichtsystems |
DE10018143C5 (de) * | 2000-04-12 | 2012-09-06 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | DLC-Schichtsystem sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines derartigen Schichtsystems |
DE10159907B4 (de) * | 2001-12-06 | 2008-04-24 | Interpane Entwicklungs- Und Beratungsgesellschaft Mbh & Co. | Beschichtungsverfahren |
DE10242475B3 (de) * | 2002-09-11 | 2004-06-17 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Verschleißschutzschicht |
DE102004004177B4 (de) * | 2004-01-28 | 2006-03-02 | AxynTeC Dünnschichttechnik GmbH | Verfahren zur Herstellung dünner Schichten sowie dessen Verwendung |
DE102004004177A1 (de) * | 2004-01-28 | 2005-09-01 | AxynTeC Dünnschichttechnik GmbH | Verfahren zur Herstellung dünner Schichten |
DE102004036170B4 (de) * | 2004-07-26 | 2007-10-11 | Schott Ag | Vakuumbeschichtungsanlage und Verfahren zur Vakuumbeschichtung und deren Verwendung |
DE102004036170A1 (de) * | 2004-07-26 | 2006-03-23 | Schott Ag | Vakuumbeschichtungsanlage und Verfahren zur Vakuumbeschichtung |
US7798097B2 (en) | 2005-05-04 | 2010-09-21 | Oerlikon Trading Ag, Trubbach | Plasma booster for plasma treatment installation |
WO2006116889A1 (de) * | 2005-05-04 | 2006-11-09 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Plasmaverstärker für plasmabehandlungsanlage |
WO2008145459A1 (de) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Vakuumbehandlungsanlage und vakuumbehandlungsverfahren |
US8496793B2 (en) | 2007-05-25 | 2013-07-30 | Oerlikon Trading Ag, Trubbach | Vacuum treatment installation and vacuum treatment method |
DE102010052971A1 (de) | 2010-11-30 | 2012-05-31 | Amg Coating Technologies Gmbh | Werkstück mit Si-DLC Beschichtung und Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen |
WO2012072225A1 (de) | 2010-11-30 | 2012-06-07 | Amg Coating Technologies Gmbh | Werkstück mit si-dlc beschichtung und verfahren zur herstellung von beschichtungen |
EP2628822A1 (de) | 2012-02-15 | 2013-08-21 | Hauzer Techno Coating BV | Stromisolierende Lagerkomponenten und Lager |
EP2628817A1 (de) | 2012-02-15 | 2013-08-21 | Hauzer Techno Coating BV | Beschichteter Artikel aus Martensitstahl und Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Artikels aus Stahl |
WO2013156107A1 (de) | 2012-04-20 | 2013-10-24 | Amg Coating Technologies Gmbh | Beschichtung enthaltend si-dlc, dlc und me-dlc und verfahren zur herstellung von beschichtungen |
DE102012007796A1 (de) | 2012-04-20 | 2013-10-24 | Amg Coating Technologies Gmbh | Beschichtung enthaltend Si-DLC, DLC und Me-DLC und Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen |
WO2018019482A1 (de) | 2016-07-28 | 2018-02-01 | Robert Bosch Gmbh | Verbesserte lenkung von ionen aus einem plasma auf ein zu beschichtendes substrat |
DE102016213951A1 (de) | 2016-07-28 | 2018-02-01 | Robert Bosch Gmbh | Verbesserte Lenkung von Ionen aus einem Plasma auf ein zu beschichtendes Substrat |
WO2018171977A1 (de) * | 2017-03-24 | 2018-09-27 | Robert Bosch Gmbh | VERSCHLEIßSCHUTZBESCHICHTETES METALLISCHES BAUTEIL HIERAUS BESTEHENDE BAUTEILANORDNUNG |
CN110475902A (zh) * | 2017-03-24 | 2019-11-19 | 罗伯特·博世有限公司 | 防磨损涂覆的金属构件、由其组成的构件组件 |
CN110475902B (zh) * | 2017-03-24 | 2022-03-08 | 罗伯特·博世有限公司 | 防磨损涂覆的金属构件、由其组成的构件组件 |
DE102017214432A1 (de) | 2017-08-18 | 2019-02-21 | Gühring KG | Verfahren zum beschichten temperaturempfindlicher substrate mit polykristallinem diamant |
WO2019034728A1 (de) | 2017-08-18 | 2019-02-21 | Gühring KG | Verfahren zum beschichten temperaturempfindlicher substrate mit polykristallinem diamant |
US11162172B2 (en) | 2017-08-18 | 2021-11-02 | Guehring Kg | Method for coating temperature-sensitive substrates with polycrystalline diamond |
DE102017217464A1 (de) | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Gühring KG | Verfahren zum Beschichten temperaturempfindlicher Substrate mit polykristallinem Diamant |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0990061A1 (de) | 2000-04-05 |
CN1264432A (zh) | 2000-08-23 |
ES2256948T3 (es) | 2006-07-16 |
DE59813331D1 (de) | 2006-03-30 |
JP2002504189A (ja) | 2002-02-05 |
AU734809B2 (en) | 2001-06-21 |
WO1998058100A1 (de) | 1998-12-23 |
EP0990061B1 (de) | 2006-01-04 |
US7942111B2 (en) | 2011-05-17 |
US20020100420A1 (en) | 2002-08-01 |
JP2009133008A (ja) | 2009-06-18 |
US6372303B1 (en) | 2002-04-16 |
US20050098119A1 (en) | 2005-05-12 |
US6869676B2 (en) | 2005-03-22 |
AU8531598A (en) | 1999-01-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0990061B1 (de) | Verfahren und einrichtung zum vakuumbeschichten eines substrates | |
EP1362931B2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines DLC-Schichtsystems | |
DE69605280T2 (de) | Verfahren zum aufbringen diamantähnlicher kohlenstoff-filme | |
DE4423184C2 (de) | Mit einer harten Kohlenstoffschicht beschichtetes Substrat sowie Verfahren und Vorrichtung zu dessen Herstellung | |
DE19526387A1 (de) | Doppelt beschichteter Stahlverbundgegenstand und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE4407274C1 (de) | Verfahren zur Herstellung von verschleißfesten Schichten aus kubischem Bornitrid und ihre Anwendung | |
DE19547305A1 (de) | Verfahren zum Beschichten von metallischen Substraten | |
WO2003018862A2 (de) | Verfahren zur erzeugung einer nanostrukturierten funktionsbeschichtung und damit herstellbare beschichtung | |
EP2148939A1 (de) | Vakuumbehandlungsanlage und vakuumbehandlungsverfahren | |
EP2165003A1 (de) | Pdv-verfahren und pvd-vorrichtung zur erzeugung von reibungsarmen, verschleissbeständigen funktionsschichten und damit hergestellte beschichtungen | |
DE10005614A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen sowie Gegenstand | |
EP1784524A2 (de) | Schichtverbund mit kubischen bornitrid | |
DE3832692A1 (de) | Dichtungselement mit einem absperrkoerper aus einem metallischen oder nichtmetallischen werkstoff und verfahren zum auftragen von hartstoffschichten auf den absperrkoerper | |
WO2012072225A1 (de) | Werkstück mit si-dlc beschichtung und verfahren zur herstellung von beschichtungen | |
DE60300293T2 (de) | Mit einer Kohlenstoffbeschichtung versehener Gegenstand und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE10203730A1 (de) | Verfahren zur Abscheidung von metallfreien Kohlenstoffschichten | |
EP1876257A2 (de) | Verfahren zur PVD-Beschichtung | |
DE102008022145B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Hochleistungs-Puls-Gasfluß-Sputtern | |
DE19538046C2 (de) | Schichtsystem | |
DE102011009347B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines kohlenstoffhaltigen Schichtsystems sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE19538045C1 (de) | Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten | |
WO2002097157A2 (de) | Modifizierter dlc-schichtaufbau | |
DE19822904C2 (de) | Verfahren zum haftenden Aufbringen einer Schmierstoffschicht auf eine freiliegende und tribologisch beanspruchte Oberfläche einer Anlaufscheibe sowie Anlaufscheibe | |
EP1427265A2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines Substrates und Beschichtung auf einem Substrat | |
DE10023122A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer verschleiß- und reibarmen Beschichtung auf Leichtmetallbauteilen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8131 | Rejection |