DE1963454C3 - Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten - Google Patents

Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten

Info

Publication number
DE1963454C3
DE1963454C3 DE1963454A DE1963454A DE1963454C3 DE 1963454 C3 DE1963454 C3 DE 1963454C3 DE 1963454 A DE1963454 A DE 1963454A DE 1963454 A DE1963454 A DE 1963454A DE 1963454 C3 DE1963454 C3 DE 1963454C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
output
input
generator
integrator
electron beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE1963454A
Other languages
English (en)
Other versions
DE1963454B2 (de
DE1963454A1 (de
Inventor
Rolf Dipl.-Ing. Mayer
Johann Reitinger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
UNIVERSITAET STUTTGART VERTRETEN DURCH DAS INSTITUT fur KERNENERGETIK 7000 STUTTGART
Original Assignee
UNIVERSITAET STUTTGART VERTRETEN DURCH DAS INSTITUT fur KERNENERGETIK 7000 STUTTGART
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by UNIVERSITAET STUTTGART VERTRETEN DURCH DAS INSTITUT fur KERNENERGETIK 7000 STUTTGART filed Critical UNIVERSITAET STUTTGART VERTRETEN DURCH DAS INSTITUT fur KERNENERGETIK 7000 STUTTGART
Priority to DE1963454A priority Critical patent/DE1963454C3/de
Priority to US97095A priority patent/US3674977A/en
Priority to FR7045126A priority patent/FR2075018A5/fr
Priority to GB5980270A priority patent/GB1337130A/en
Publication of DE1963454A1 publication Critical patent/DE1963454A1/de
Publication of DE1963454B2 publication Critical patent/DE1963454B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1963454C3 publication Critical patent/DE1963454C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/302Controlling tubes by external information, e.g. programme control
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/24Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Amplifiers (AREA)
  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

Multiplizierer (90, 91) miteinander verbunden Sin7d; Generator nach Anspruch 5 oder 6, gekennzeichnet durch eine Schaltung mit einer an einem Pol au Massepotential liegenden Gleichspannungsquelle (49). einem dazu in Reihe geschal eten RC-GWcd (Sl, 52), einem Trans,·, or (53), dessen Basis mit der Verbindungsstelle zwischen Wderstand (52) und Kapazität (51) des RC-SdJ dessen Emitter mit der Masse und dessen Kollektor über die Spule eines Re ais (54) mit der Spannungsquelle (49) verbunden ,st. welches Rcffis4)?n Schließstellung eine Verbindung zwischen der in den Gegenkopplungskre.s e.nes der beiden Integrierer (30) eingeschalteten^Kapazität (37) und der Spannungsquelle (49) herstellt.
8 Generator nach einem der Ansprüche 1 bis 4. dadurch gekennzeichnet, daß das differenzierende Netzwerk des Dreieckgenerators einen mit dem Ausgang des Integrierers (61) verbundenen Hystereseschalter (62) sowie eine dem Hystereseschalter nachgeschaltete Impulsformer- und Symmetrierstufe (63, 64, 65) zur Erzeugung eines bezüglich des Spannungsnullpunkts symmetrischen Rechtecksignals aufweist.
Die Erfindung betrifft einen Generatoi für die Ansteuerung von elektromagnetischen oder elektrostatischen Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahlgeräten mit Funktionsgeneratoren für Dreieck- und Sinus-Cosinusfunktionen zur Führung des Elektronenstrahls auf linearen und kreisförmigen Bahnkurven und einer Einrichtung zur Steuerung der Bahngeschwindigkeit.
Der überwiegende Teil der in der Technik, insbesondere in der Hochtemperaturtechnik auftretenden Schweiß- und Lötnähte beschreiben aus fertigungstechnischen Gründen verhältnismäßig einfache Kurven, wie Geraden, Kreise, Ellipsen oder Kurven, die sich aus Elementen dieser Einzelkurven zusammensetzen. Beim Elektronenstrahlschweißen und -löten ist es erforderlich, den Elektronenstrahl und das Werkstück so relativ zueinander zu bewegen, daß der Elektronenstrahl die durch die Schweiß- oder Lötnaht gegebene Kurve auf dem Werkstück durchläuft.
Es ist ein Funktionsgenerator der eingangs beschriebenen Art bekannt (schweizerische Patentschrift 950), der zwei Linear-Potentiometer und einen Sinus-Cosinus-Potentiometer enthält, deren Abgriffe mittels eines Gleichstrommotors verschiebbar sind.
Die Bahngeschwindigkeit des über das Ausgangssignal des Generators gesteuerten Elektronenstrahls auf dem Werkstück wird dort also über die Drehzahl des Motors bestimmt. Als Einrichtung zur Steuerung der Bahngeschwindigkeit ist ein Drehzahlregler sowie ein Einstellorgan für den Geschwindigkeitssollwert vorgesehen. Wegen der Trägheit der Antriebsorgane ist eine Frequenzmodulation und damit eine Modulation der Bahngeschwindigkeit in dem für das Elektronenstrahlschweißen interessierenden Bereich der Modulationsfrequenz von 100 bis 1000 Hz nicht möglich. Ferner ist der Frequenzbereich auf höchstens zwei bis drei GröSenordnungen der Frequenz beschränkt und die Genauigkeit bezüglich Amplitude. Frequenz und Phase der Ausgangssignale ist für die »5 hohen Anforderungen, die beim Elektronenstrahlschweißen häufig an diese Größen gestellt werden, nicht ausreichend.
Ferner ist es an sich bekannt (schweizerische Patentschrift 455 950 und VDI-Zeitschrift. Bd. 108, 1966, S. 1269 bis 1273), die die Bahnkurve des Elektronenstrahls bestimmenden Ausgangssignule zu modulieren, damit der Strahl auf dem Werkstück eine bestimmte Fläche in der Umgebung der Sollbahn überstreicht. Als Modulationsarten sind dort eine Kreismodulation, eine Rechteckmodulation sowie bei Kreisführungen für größere Punktschweißungen eine Durchmessermodulation vorgeschlagen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Generator der eingangs beschriebenen Art zu schaffen, dessen Funktionsgeneratoren in dem Bereich der für das Elektronenstrahlschweißen interessierenden Frequenzen von etwa 10 -' bis 10** Hz eine hohe Stabilität hinsichtlich Amplitude. Frequenz und Phase aufweisen, und deren Frequenz und damit die Bahngeschwindigkeit des Elektronenstrahls unabhängig von den übrigen Größen des (ieneratorsignals variiert werden kann.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die Funktionsgeneratoren mindestens einen als Integrierer beschalteten Operationsverstärker aufweisen, dessen Ausgang mit einem das Ausgangssignal differenzierenden Netzwerk verbunden ist, daß der Ausgang des differenzierenden Netzwerks mit dem einen Anschluß eines am anderen Anschluß auf Massepotential liegenden verstellbaren Spannungsteilers verbunden ist, dessen Abgriff mit dem Eingang des Integrierers verbunden ist, und daß in den den Ausgang mit dem Eingang des Operationsverstärkers verbindenden Gegenkopplungskreis de. Integrierers eine von mehreren unterschiedlich dimensionierten Kapazitäten wahlweise einschaltbar ist.
In einer anderen zur Lösung der gestellten Aufgabe geeigneten Schaltung, in der die Funktionsgeneratoren ebenfalls mindestens einen als Integrierer beschalteten Operationsverstärker aufweisen, dessen Ausgang mit einem das Ausgangssignal differenzierenden Netzwerk verbunden ist, ist der Ausgang des differenzierenden Netzwerks mit dem Eingang eines Multiplizierers verbunden, dessen zweiter Eingang mit dem Abgriff eines von einer Gleichspannungsquelle gespeisten verstellbaren Spannungsteilers verbunden ist. In dieser zweiten Schaltung läßt sich sehr einfach eine Frequenzmodulation des Ausgangssignals dadurch erzielen, daß der zweite Eingang des Multiplizierers mit dem Ausgang eines Addierers verbunden ist, dessen erster Eingang mit dem Abgriff des von der Gleichspannungsquelle gespeisten Spannungsteilers verbunden ist, welcher Addierer mindestens einen weiteren Eingang aufweist, der vorzugsweise mit einer die Frequenzmodulation bestimmenden Wechsclspannungsquellc verbindbar ist. Dadurch läßt sich der Elektronenstrahl längs der Bahnkurve mit der Modulationsfrequenz hin-und herbewegen, wodurch das Schweiß- oder Lötgefüge verbessert werden kann.
Der nach dem erfindungsgem&ßen Prinzip aufgebau'.e Sinus-Cosinusgenerator umfaßt vorteilhafterweise zwei hintereinander angeordnete, als Integrierer beschaltete Operationsverstärker, deren Kapazitäten paarweise gleichdimensionierl und mittels eines gemeinsamen Schalters in die betreifenden Gegenkopplungskreise cinschaltbar sind. Die in der ersten Schaltung mit dem Eingang der Integrierer verbundenen Spannungsteiler sind ebenfalls gleichdimensioniert und mittels eines gemeinsamen Einstellorgans verstellbar. In der zweiten Schaltung liegen die zweiten, mit dem betreffenden Potcntiometcrabgriff verbundenen Eingänge der beiden Multiplizierer auf gleichem Potential. ~
Ein nach dem Einschalten der Gleichspannungsversorgung sehr schnelles Einschwingen des Sinus-Cosinusgenerators auf die Sollamplitude wird durch eine Schaltung gewährleistet, die ein mit der an einem Pol auf Massepotential liegenden Gleichspannungsquelle in Reihe geschaltetes ÄC-Glied, einen Transistor, dessen Basis mit der Verbindungsstelle zwischen Widerstand und Kapazität des KC-Glieds, dessen Emitter mit der Masse und dessen Kollektor über die Spule eines Relais mit der Spannungsquelle verbunden ist, welches Relais in Schließstellung eine Verbindung zwischen der in den Gegenkopplungskreis eines der beiden Internerer eingeschalteten Kapazität und der Spannungsquelle herstellt, umfaßt.
In einer besonders vorteilhaften Ausbildung des Dreieck-Rech!cckgenerators weist dessen differenzierendes Netzwerk einen mit dem Ausgang des Integrierers verbundenen Hystereseschalter sowie eine dem Hystereseschalter nachgeschaltete Impulsformerund Syinmetrierstufe zur Erzeugung eines bezüglich des Spannungsnullpunkts symmetrischen Rechtecksignals auf.
Die mit den erfindungsgemäßen Funktionsgeneratoren erzeugbaren Ausgangssignale sind hinsichtlich Amplitude; Frequenz und Phase sehr stabil und erfüllen somit die von Elektronenstrahlgeräten in dieser Hinsicht häufig geforderten Eigenschaften. Diese Schaltungen sind ferner besonders gut zur Erzeugung von Ausgangssignalen mit den für das Elektronenstrahlschweißen und -löten verlangten Frequenzen im Bereich von 10 - bis 1O + 4 Hz geeignet. Die Frequenz läßt sich dabei in einem weiten Bereich stufenlos und ohne Beeinflussung der Amplitude des Ausgangssignals variieren. Schließlich zeichnen sich die erfindungsgemäßen Generatoren durch ihren besonders einfachen Aufbau aus.
In der Zeichnung sind einige Schaltungsbeispiele der erfindungsgemäßen Funktionsgeneratoren in schematischer Weise dargestellt. Es zeigt
Fig. 1 ein Blockschaltbild des Generators zur Elektronenstrahl-Steuerung,
F ig. 2 die Schaltung eines Sinus-Cosinusgenerators mit Anfangswerteinstellung,
Fig. 3 die Schaltung eines Dreieck-Rechteck-Generators,
Fig. 4 eine Zusatzschaltung für eine Frequenzmodulation.
Fig. 5 eine Zusatzsclialtung für eine Amplitudenmodulation.
In dem Blockschaltbild der Fig. 1 ist ein Frc-Huenzgenerator angegeben, der zwei Einzclgcncratoren enthält, einen Sinus-Cosinus-Gcncrator 1 mit Amplitudenrcgler 2 und den zwei Ausgängen für die Sinusfunktion 3 und die Cosinusfunktion 4 sowie einen Dreicck-Rcchtcck-Gencrator 5 mit jeweils einem Ausgang für die Dreieckfunktion 6 und die Rechteckfunktion 7. Die Funktionsausgänge laufen in einem Funktionsschalter 8 zusammen und werden von dort wahlweise an die Eingänge 9 und 10 der zwei Kanäle eines Ausgangsverstärkers 11. 12 gelegt, dessen stromstabilisiertc Ausgänge mit den Abicnkspulcn 13 und 14 eines Elektroncnstrahlgcräts verbunden sind. Die beiden Ablenkspulen sind einseitig jeweils über einen Shunt IS und 16 mit der Masse 17 verbunden. In die Ausgangskreise des stromslabilisierten Verstärkers ist eine Begrenzungsanzeige 18 eingeschaltet, mit Hilfe derer bei Auftreten einer vorgeschriebenen Maximalspannung an den Verstärkerausgängen eine Warnblinklampe 19 eingeschaltet wird. Über die steuerbaren Gleichspannungseingänge 22 und 23 kann eine Parallelverschiebung der von dem Elektronenstrahl auf dem Werkstück beschriebenen Kurven eingestellt werden.
Der Sinus-Cosinus-Generator 1 enthält zwei als lntegricrcr beschaltcte Operationsverstärker 30 und 31. die in Reihe geschaltet sind, sowie eine Rückführung über einen als Inverter beschaltctcn Operationsverstärker 32. Eine derartige Schaltung stellt ein schwingungsfähiges System dar. wobei am Ausgang 3 des Operationsverstärkers 30 eine Sinusfunktion und am Ausgang 4 des Operationsverstärkers 31 eine Cosinusfunktion z.ur Verfugung steht. Die Frequenz der Schwingung wird dabei durch die Ladcwidcrstände 33 und 34, durch die Kapazitäten 35 bis 44 sowie durch die Spannungsteiler 45 und 46 bestimmt. Die Kapazitäten 35, 37. 39, 41, 43 sowie 36, 38. 40, 42,44 in den Gegenkopplungskreisen der Operationsverstärker 30 und 31 sind dabei in ihren Kapazitätswerten vorzugsweise dekadisch gcstaficll und paarweise glciehdimensioniert. Einander entsprechende Kondensatoren können mit einem Stufenschalter 47 gemeinsam in den jeweiligen Gcgenkopplungskrcis eingeschaltet werden. Der Stufenschalter 47 dient damit vorzugsweise als Bereichschaltcr der Frequenzdekaden. Die beiden als Potentiometer ausgebildeten Spannungsteiler 45 und 46 sind gleichdimcnsioniert und werden durch eine gemeinsame Achse angetrieben. Diese Potentiometer werden zur stufenlosen Verstellung der Frequenz des Schaltkreises vorzugsweise innerhalb einer Frequenzdekade verwendet. Die Schaltung kann ram Schwingen angeregt werden, indem man einen Teil des Signals vom Ausgang 56 des Operationsverstärkers 32 dem Eingang 48 des Operationsverstärkers31 zuführt. Zur Erzielung einer vorgeschriebenen konstanten Schwingungsamplitude wird ein ganz bestimmter Rückkopplungsgrad benötigt, der über den Amplitudenregler 2 (F i j1.. 1) cinecstelll wird.
I in beschleunigtes Einschwingen des Generators wird dadurch erzielt, daIA für kurze Zeit nach dem Einschalten des Geräts und damit nach dem Anlegen eines Pols der Speisespannung an die Klemme 49 der Kondensator 37 (Ε·, μ. Ü) eines der beiden Gegcnkopphiiigskreis'e auf eine durch den Spannungsteiler 50 bestimmte Spannuni; ;iufi»-liidcn wird. Nach dem Einschalten der Speisespannung lädt sich der Kondensator 51 über den Widerstand 52 auf. Damit wird für eine bestimmte Zeitdauer, die vorwiegend von der Zeitkonstanten des RC-Gliedcs 51. 52 abhängt, die Basis des Transistors 53 positiv, der Stromweg zum Relais wird geschlossen und das Relais zieht an und stellt die Verbindung zwischen dem Spannungsteiler 50 und dem Kondensator 37 über den Widerstand 55 her. Nach dem Aufladen des Kondensators 51 sperrt
ίο der Transistor 53 den Stromdurchgang zum Relais 54. Das Relais 54 fällt ab, und der Spannungsteiler 50 wird abgetrennt.
In einem Schaltungsbcispicl eines Dreieck-Rechtcck-GencratorsS sind ein als Integrierer60 beschalteter Operationsverstärker 61. ein Hystcreseschaltcr 62.
ein Impulsformer 63, eine Symmetricrstufe 64 sowie eine symmetrische Ausgangsstufe 65 stufenweise hintcreinandergeschaltet.
Der intervenierende Integrierer 60 integriert zunächst eine am Eingang anliegende, beispielsweise negative Gleichspannung, wobei sich am Ausgang 66 eine stetig ansteigende Spannung ergibt. Diese Ausgangsspannung steuert den Hystcrcscschalter 62 mit den Transistoren 67 und 68, der beim Erreichen eines bestimmten, beispielsweise positiven Spannungswertes kippt. Durch dieses Kippen wird über den Impulsformer 63 die Symmetrierstufe 64 sowie die symmetrische Ausgangsstufe 65 die Eingangsglcichspannung des Integrierers auf den äquivalenten, beispielsweise positiven Wert geschaltet. Damit ergibt sich am Ausgang 66 des Integrierers 60 eine stetig abfallende Spannung, die an den beim Kippvorgang erreichten Endwert anschließt. Beim Erreichen eines bestimmten, beispielsweise negativen Grenzwerts kippt der Hystcrcscschalter erneut um, und der Vorgang wiederholt sich. Man erhält damit am Ausgang 66 des Integrierers einen dreieckförmigen Verlauf der Spannung als Funktion der Zeit und am Ausgang 69 der symmetrischen Ausgangsstufe 65 eine Rechteck funktion gleicher Frequenz.
Über das Potentiometer 70 kann die positive und negative Schaltsp:<nnunc des Hystereseschalters 62 eingestellt werden. Der NTC-Widerstand 71 bewirkt einen Ausgleich der Temperaturdrift desTransistors 67.
Die Symmetrierung bezüglich des Masscnpotentia'is und die Amplitudenstabilisierung der Rechteckfunktion wird durch die Zcncrdiodcn 72 und 73 bewirkt. Aus einer amplitudenstabilisierten symmetrischer RechtcekfunUtion ergibt sich in der Integrierstufe 60 eine Symmetrie der Dreieckfunktion bezüglich de* Spannungsnullpunkts sowie eine Frequcnzstabilisie rung des Generators, da die Ansliegsgeschwindigkei: der Dreieckfunktion diTekt von der Rcchtcck-Ampli tude abhängt.
Die Frequenz des Generators ist durch den Wer der in den Gegenkopplungskreis des Integrierers 61 eingeschalteten Kapazität 72 bis 76. durch den l.adc widerstand 77 sowie durch die Stellung der Potentio meter 78 und 79 bestimmt. Die Kapazitäten 72 bis 7 sind in ihren Werten vorzugsweise dekadisch gcsla feit und über den Stufenschalter 80 in den Geger kopphmgskrcis des Operationsverstärkers 61 eil schaltbar. Hiermit ist eine Bereichsumschaltung d> Frequenz vorzugsweise Avischen Zehnerpotenzen di Fiv'uicn/wcitc ermöglicht. Eine stufcnlose Vcrstc hing der Frequenz innerhalb einer Dekade der Fr qucn/werte wird vorzugsweise über eine Versiellui des Poientiometers 78 bewirkt, während das Potenti
meter 79 zur stufcnlosen Verstellung der Amplitude der Dreieck- und RcclUeckl'unktion vorgesehen ist. Die Klemmen 81 sind mit positiver und die Klemmen 82 mit bclragsmäßig gleichgroßer negativer Gleichspannung bezüglich Massenpotenliul beaufschlagt.
Mit einer Zusalzschaltun;; gemäß Fig. 4 kann eine Frequenzmodulation der Sinus- und Cosinusfunktionen des Sinus-Cosiiuis-Gcncralors durchgeführt werden. Hierzu werden die Potentiometer 45 und 46 (Fig. 2) durch die Analogmullipliziercr 90 und 91 ersetzt, indem an den einen Eingang der Multiplizierer die Ausgänge 56 bzw. 57 der davor angeordneten Operationsverstärker gelegt werden und die Ausgänge der Multiplizierer mit den Ladewiderständen 33 bzw. 34 verbunden werden. Der zweite, in beiden Multiplizierern glcichbcaufschlagte Eingang ist über einen als Addierer beschalteten Operationsverstärker 92 mit einem als Potentiometer ausgebildeten Gleichspannungscingang 93 sowie mindestens einem weiteren Eingang 94 verbunden, an den vorzugsweise der Ausgang eines zusätzlichen Einzclgcncrators angelegt wird. Das Potentiometer 93 dient dabei zur Einstellung der Grundfrequenz des Generators vorzugsweise innerhalb einer Frequenzdekade, während der zusätzliche Generator die Modulationsspannung in den Eingang 94 einspeist. Durch eine derartige Frequenzmodulation erhält man über die Ablcnkorgane des Elcktroncnstrahlgeräts eine Modulation der Bahngeschwindigkeit des Elektronenstrahls entlang des auf dem Werkstück beschriebencn Kreises. Bei extremer Modulation kann sich die Unilaufrichlung dabei sogar umkehren. Durch eine derartige Wedclung des Elektronenstrahls längs einer Schweißnaht kann das Schwcißgefügc erheblich verbessert werden.
to Eine Amplitudenmodulation der Ausgangssignale des Sinus-Cosinus-Gcnerators und damit eine entsprechende Modulation des vom Elektronenstrahl im Elcklroncnslrahlgcrät auf dem Werkstück durchlaufenden Kreisradius kann mit der Mischstufc gemäß Fig. 5 durchgeführt werden. Dazu werden die Ausgänge 3 und 4 sowohl direkt über die glcichdimcnsionierten Widerstände 100 und 101 an die Eingänge 9, 10 des Ausgangsverstärkers 11, 12 gelegt, als auch über jeweils einen Analogmultiplizicrer 102, 103, die mit ihren Ausgängen über jeweils glcichdimensionicrte Widerstände 104,105 mit den entsprechenden Eingängen 9, 10 des Ausgangsverstärkers verbunden sind. Am zweiten, in beiden Multiplizierern glcichbcaufschlagten Eingang 106, 107 wird die Modulationsspannung vorzugsweise über den Ausgang eines zusätzlichen Einzelgencrators zugeführt.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
30? ί 49/325

Claims (6)

Patentansprüche:
1. Generator für die Ansteuerung von elektromagnetischen oder elektrostatischen Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahlgeräten mit Funktionsgeneratoren für Dreieck- und Sinus-Cosinusfunktionen zur Führung des Elektronenstrahls auf linearen und kreisförmigen Bahnkurven und einer Einrichtung zur Steuerung der Bahngeschwindigkeit, dadurch gekennzeichnet, daß die Funktionsgeneratoren (1,5) mindestens einen als Integrierer beschalteten Operationsverstärker (30, 31; 61) aufweisen, dessen Ausgang mit einem das Ausgangssignal differenzierenden Netzwerk verbunden ist, daß dei Ausgang des differenzierenden Netzwerks mit dem einen Anschluß eines am anderen Anschluß auf Massepotential liegenden verstellbaren Spannungsteilers (45, 46; 78) verbunden ist, dessen At^rili mit dem Eingang des Integrierers verbunden ist. und daß in den den Ausgang mit dem Eingang des Operationsverstärkers verbindenden Gegenkopplungskreis des Integrierers eine von mehreren unterschiedlich dimensionierten Kapazitäten (35 bis 44; 72 bis 76) wahlweise einschaltbar ist.
2. Generator für die An steuerung von elektromagnetischen oder elektrostatischen Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahlgeräten mit Funktionsgeneratoren für Dreieck- und Sinus-Cosinusfunktioncn /ur Führung des Elektronenstrahls auf linearen und kreisförmigen Bahnkurven und einer Einrichtung zur Steuerung der Bahngeschwindigkeit, dadurch gekennzeichnet, daß die Funktionsgeneratoren (1. 5) mindestens einen als Integrierer beschalteten Operationsverstärker (30, 31; 61) aufweisen, dessen Ausgang mit einem das Ausgangssignal differenzierenden Netzwerk verbunden ist, daß der Ausgang des differenzierenden Netzwerks mit dem Eingang eines Multiplizierers (90,91) verbunden ist, dessen zweiter Eingang mit dem Abgriff eines von einer Gleichspannungsquelle gespeisten verstellbaren Spannungsteilers (93) verbunden ist, und daß in den den Ausgang mit dem Eingang des Operationsverstärkers verbindenden Gegenkopplungskreis des Integrierers eine von mehreren unterschiedlich dimensionierten Kapazitäten (35 bis 44; 72 bis 76) wahlweise einschaltbar ist.
3. Generator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Eingang des Multiplizierers (90. 91) mit dem Ausgang eines Addierers (92) verbunden ist, dessen erster Eingang mit dem Abgriff des von der Gleichspannungsquelle gespeisten Spannungsteilers (93) verbunden ist, und der mindestens einen weiteren Eingang (94) aufweist.
4. Generator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein weiterer Eingang (94) des Addierers (92) mit einer Wechselspannungsquelle verbindbar ist.
5. Generator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Sinus-Cosinusgenerator zwei hintereinander angeordnete, ah Integrierer beschaltete Operationsverstärker (30, 31) aufweist, daß die Kapazitäten (35 bis 44) der beiden Integrierer paarweise gleichdimensioniert und verbundenen P^J dimensioniert und mittels ei
Einstellorgans verstellbar sind. .
6 Generator nach einem der Ansprüche _ ms *,
DE1963454A 1969-12-18 1969-12-18 Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten Expired DE1963454C3 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1963454A DE1963454C3 (de) 1969-12-18 1969-12-18 Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten
US97095A US3674977A (en) 1969-12-18 1970-12-11 Electron beam deflection apparatus
FR7045126A FR2075018A5 (de) 1969-12-18 1970-12-15
GB5980270A GB1337130A (en) 1969-12-18 1970-12-16 Deflection of radiant beams

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1963454A DE1963454C3 (de) 1969-12-18 1969-12-18 Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1963454A1 DE1963454A1 (de) 1971-09-16
DE1963454B2 DE1963454B2 (de) 1973-05-03
DE1963454C3 true DE1963454C3 (de) 1973-12-06

Family

ID=5754251

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1963454A Expired DE1963454C3 (de) 1969-12-18 1969-12-18 Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten

Country Status (4)

Country Link
US (1) US3674977A (de)
DE (1) DE1963454C3 (de)
FR (1) FR2075018A5 (de)
GB (1) GB1337130A (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5347776A (en) * 1976-10-14 1978-04-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Control system of charged particle beam deflection
DE50213645D1 (de) * 2001-07-11 2009-08-13 Carl Zeiss Vision Gmbh Bedampfungsanlage

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3393370A (en) * 1965-08-04 1968-07-16 Gen Electric Multi-geometric pattern electric generator
US3390222A (en) * 1965-08-17 1968-06-25 Air Reduction Electron beam apparatus with variable orientation of transverse deflecting field
US3491236A (en) * 1967-09-28 1970-01-20 Gen Electric Electron beam fabrication of microelectronic circuit patterns
US3543286A (en) * 1969-04-25 1970-11-24 Atomic Energy Commission Multi-geometric pattern electric generator

Also Published As

Publication number Publication date
GB1337130A (en) 1973-11-14
DE1963454B2 (de) 1973-05-03
US3674977A (en) 1972-07-04
FR2075018A5 (de) 1971-10-08
DE1963454A1 (de) 1971-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1957718A1 (de) Elektronischer Temperaturregler
DE2709282A1 (de) Massenspektrometereinrichtung
DE1963454C3 (de) Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten
DE1807038A1 (de) Mechanisch-elektrisches Umformungssystem
DE910427C (de) Verstaerker mit zweifacher Rueckkopplung
EP0118396B1 (de) Messverfahren für ein elektrisches Signal, serie-parallel-gegengekoppelter Messkreis sowie Verwendung des Verfahrens oder des Messkreises zur Messung von Spannungsquellen mit höchstohmigen Innenimpedanzen
DE2834499C2 (de) Schaltungsanordnung zum potentialfreien Messen von Strömen oder Spannungen
DE1261938B (de)
DE2931877C2 (de) Oszillatorschaltung mit einer der Amplitudeneinstellung dienenden Regelschaltung
DE3143669A1 (de) Schaltung zum messen des effektivwertes einer wechselspannung
DE3813013A1 (de) Reizstromgeraet
DE2845013C2 (de) Amplitudenstabilisierter Wechselspannungsgenerator
EP0314947A1 (de) Schaltung zur vergrösserungsunabhängigen Bildverschiebung in einem Korpuskularstrahlgerät
DE1516912C3 (de) Generator einer Dreiphasenspannung
DE950565C (de) Verfahren zur Gewinnung der hinsichtlich seiner Ohmschen Komponente richtigen Anpassung eines Widerstandes
DE2908942B2 (de) Vorrichtung zur Erzeugung einer elektrischen Dreiecksspannung
DE930038C (de) Verfahren und Anordnung zur Feinregelung einer Wechselspannung
DE2922634A1 (de) Stromrichter mit einem gleichstromausgang fuer lichtbogenschweissen
DE2520160C3 (de) Statisches Meßgerät zur Messung der Leistung oder der Arbeit in einem Wechselstromnetz
DE1512573C3 (de) Schaltungsanordnung zum Erzeugen eines Triggerimpulses
DE2332650C3 (de) Generator zur Erzeugung von dynamischen Fokussiersignalen für Kathodenstrahlröhren
DE1202914B (de) Verfahren und Anordnung zum Messen der auf die beschleunigende HF-Spannung bezogenen Phasenlage der Ionen auf den Umlaufbahnen eines Isochron-Zyklotrons beim Durchtritt durch eine Messebene
DE7022544U (de) Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen
DE2100734A1 (de) Hochspannungsgenerator
DE1289182B (de) Wobbeleinrichtung mit voreinstellbarem Frequenzmarkengeber

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
8339 Ceased/non-payment of the annual fee