DE1963454C3 - Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten - Google Patents
Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geratenInfo
- Publication number
- DE1963454C3 DE1963454C3 DE1963454A DE1963454A DE1963454C3 DE 1963454 C3 DE1963454 C3 DE 1963454C3 DE 1963454 A DE1963454 A DE 1963454A DE 1963454 A DE1963454 A DE 1963454A DE 1963454 C3 DE1963454 C3 DE 1963454C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- output
- input
- generator
- integrator
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/302—Controlling tubes by external information, e.g. programme control
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Amplifiers (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Multiplizierer (90, 91) miteinander verbunden
Sin7d; Generator nach Anspruch 5 oder 6, gekennzeichnet
durch eine Schaltung mit einer an einem Pol au Massepotential liegenden Gleichspannungsquelle
(49). einem dazu in Reihe geschal eten RC-GWcd (Sl, 52), einem Trans,·, or (53), dessen
Basis mit der Verbindungsstelle zwischen Wderstand (52) und Kapazität (51) des RC-SdJ
dessen Emitter mit der Masse und dessen
Kollektor über die Spule eines Re ais (54) mit der
Spannungsquelle (49) verbunden ,st. welches Rcffis4)?n
Schließstellung eine Verbindung zwischen der in den Gegenkopplungskre.s e.nes der
beiden Integrierer (30) eingeschalteten^Kapazität
(37) und der Spannungsquelle (49) herstellt.
8 Generator nach einem der Ansprüche 1 bis 4.
dadurch gekennzeichnet, daß das differenzierende Netzwerk des Dreieckgenerators einen mit dem
Ausgang des Integrierers (61) verbundenen Hystereseschalter (62) sowie eine dem Hystereseschalter
nachgeschaltete Impulsformer- und Symmetrierstufe (63, 64, 65) zur Erzeugung eines
bezüglich des Spannungsnullpunkts symmetrischen Rechtecksignals aufweist.
Die Erfindung betrifft einen Generatoi für die Ansteuerung
von elektromagnetischen oder elektrostatischen Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahlgeräten
mit Funktionsgeneratoren für Dreieck- und Sinus-Cosinusfunktionen zur Führung des Elektronenstrahls
auf linearen und kreisförmigen Bahnkurven und einer Einrichtung zur Steuerung der Bahngeschwindigkeit.
Der überwiegende Teil der in der Technik, insbesondere in der Hochtemperaturtechnik auftretenden
Schweiß- und Lötnähte beschreiben aus fertigungstechnischen Gründen verhältnismäßig einfache Kurven,
wie Geraden, Kreise, Ellipsen oder Kurven, die sich aus Elementen dieser Einzelkurven zusammensetzen.
Beim Elektronenstrahlschweißen und -löten ist es erforderlich, den Elektronenstrahl und das
Werkstück so relativ zueinander zu bewegen, daß der Elektronenstrahl die durch die Schweiß- oder Lötnaht
gegebene Kurve auf dem Werkstück durchläuft.
Es ist ein Funktionsgenerator der eingangs beschriebenen Art bekannt (schweizerische Patentschrift
950), der zwei Linear-Potentiometer und einen Sinus-Cosinus-Potentiometer enthält, deren Abgriffe
mittels eines Gleichstrommotors verschiebbar sind.
Die Bahngeschwindigkeit des über das Ausgangssignal des Generators gesteuerten Elektronenstrahls
auf dem Werkstück wird dort also über die Drehzahl des Motors bestimmt. Als Einrichtung zur Steuerung
der Bahngeschwindigkeit ist ein Drehzahlregler sowie ein Einstellorgan für den Geschwindigkeitssollwert
vorgesehen. Wegen der Trägheit der Antriebsorgane ist eine Frequenzmodulation und damit eine Modulation
der Bahngeschwindigkeit in dem für das Elektronenstrahlschweißen interessierenden Bereich der
Modulationsfrequenz von 100 bis 1000 Hz nicht möglich. Ferner ist der Frequenzbereich auf höchstens
zwei bis drei GröSenordnungen der Frequenz beschränkt und die Genauigkeit bezüglich Amplitude.
Frequenz und Phase der Ausgangssignale ist für die »5
hohen Anforderungen, die beim Elektronenstrahlschweißen häufig an diese Größen gestellt werden,
nicht ausreichend.
Ferner ist es an sich bekannt (schweizerische Patentschrift 455 950 und VDI-Zeitschrift. Bd. 108,
1966, S. 1269 bis 1273), die die Bahnkurve des Elektronenstrahls
bestimmenden Ausgangssignule zu modulieren, damit der Strahl auf dem Werkstück eine
bestimmte Fläche in der Umgebung der Sollbahn überstreicht. Als Modulationsarten sind dort eine
Kreismodulation, eine Rechteckmodulation sowie bei Kreisführungen für größere Punktschweißungen eine
Durchmessermodulation vorgeschlagen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Generator der eingangs beschriebenen Art zu schaffen,
dessen Funktionsgeneratoren in dem Bereich der für das Elektronenstrahlschweißen interessierenden
Frequenzen von etwa 10 -' bis 10** Hz eine hohe
Stabilität hinsichtlich Amplitude. Frequenz und Phase aufweisen, und deren Frequenz und damit die Bahngeschwindigkeit
des Elektronenstrahls unabhängig von den übrigen Größen des (ieneratorsignals variiert
werden kann.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die Funktionsgeneratoren mindestens einen
als Integrierer beschalteten Operationsverstärker aufweisen, dessen Ausgang mit einem das Ausgangssignal
differenzierenden Netzwerk verbunden ist, daß der Ausgang des differenzierenden Netzwerks mit dem
einen Anschluß eines am anderen Anschluß auf Massepotential liegenden verstellbaren Spannungsteilers
verbunden ist, dessen Abgriff mit dem Eingang des Integrierers verbunden ist, und daß in den den
Ausgang mit dem Eingang des Operationsverstärkers verbindenden Gegenkopplungskreis de. Integrierers
eine von mehreren unterschiedlich dimensionierten Kapazitäten wahlweise einschaltbar ist.
In einer anderen zur Lösung der gestellten Aufgabe geeigneten Schaltung, in der die Funktionsgeneratoren
ebenfalls mindestens einen als Integrierer beschalteten Operationsverstärker aufweisen, dessen Ausgang
mit einem das Ausgangssignal differenzierenden Netzwerk verbunden ist, ist der Ausgang des differenzierenden
Netzwerks mit dem Eingang eines Multiplizierers verbunden, dessen zweiter Eingang mit dem
Abgriff eines von einer Gleichspannungsquelle gespeisten verstellbaren Spannungsteilers verbunden ist. In
dieser zweiten Schaltung läßt sich sehr einfach eine Frequenzmodulation des Ausgangssignals dadurch
erzielen, daß der zweite Eingang des Multiplizierers mit dem Ausgang eines Addierers verbunden ist, dessen
erster Eingang mit dem Abgriff des von der Gleichspannungsquelle gespeisten Spannungsteilers
verbunden ist, welcher Addierer mindestens einen weiteren Eingang aufweist, der vorzugsweise mit einer
die Frequenzmodulation bestimmenden Wechsclspannungsquellc verbindbar ist. Dadurch läßt sich der
Elektronenstrahl längs der Bahnkurve mit der Modulationsfrequenz hin-und herbewegen, wodurch das
Schweiß- oder Lötgefüge verbessert werden kann.
Der nach dem erfindungsgem&ßen Prinzip aufgebau'.e
Sinus-Cosinusgenerator umfaßt vorteilhafterweise zwei hintereinander angeordnete, als Integrierer
beschaltete Operationsverstärker, deren Kapazitäten paarweise gleichdimensionierl und mittels eines gemeinsamen
Schalters in die betreifenden Gegenkopplungskreise cinschaltbar sind. Die in der ersten Schaltung
mit dem Eingang der Integrierer verbundenen Spannungsteiler sind ebenfalls gleichdimensioniert
und mittels eines gemeinsamen Einstellorgans verstellbar. In der zweiten Schaltung liegen die zweiten,
mit dem betreffenden Potcntiometcrabgriff verbundenen Eingänge der beiden Multiplizierer auf gleichem
Potential. ~
Ein nach dem Einschalten der Gleichspannungsversorgung sehr schnelles Einschwingen des Sinus-Cosinusgenerators
auf die Sollamplitude wird durch eine Schaltung gewährleistet, die ein mit der an einem
Pol auf Massepotential liegenden Gleichspannungsquelle in Reihe geschaltetes ÄC-Glied, einen Transistor,
dessen Basis mit der Verbindungsstelle zwischen Widerstand und Kapazität des KC-Glieds, dessen
Emitter mit der Masse und dessen Kollektor über die Spule eines Relais mit der Spannungsquelle verbunden
ist, welches Relais in Schließstellung eine Verbindung zwischen der in den Gegenkopplungskreis eines
der beiden Internerer eingeschalteten Kapazität und der Spannungsquelle herstellt, umfaßt.
In einer besonders vorteilhaften Ausbildung des
Dreieck-Rech!cckgenerators weist dessen differenzierendes
Netzwerk einen mit dem Ausgang des Integrierers verbundenen Hystereseschalter sowie eine
dem Hystereseschalter nachgeschaltete Impulsformerund Syinmetrierstufe zur Erzeugung eines bezüglich
des Spannungsnullpunkts symmetrischen Rechtecksignals auf.
Die mit den erfindungsgemäßen Funktionsgeneratoren erzeugbaren Ausgangssignale sind hinsichtlich
Amplitude; Frequenz und Phase sehr stabil und erfüllen somit die von Elektronenstrahlgeräten in dieser
Hinsicht häufig geforderten Eigenschaften. Diese Schaltungen sind ferner besonders gut zur Erzeugung
von Ausgangssignalen mit den für das Elektronenstrahlschweißen und -löten verlangten Frequenzen
im Bereich von 10 - bis 1O + 4 Hz geeignet. Die Frequenz
läßt sich dabei in einem weiten Bereich stufenlos und ohne Beeinflussung der Amplitude des Ausgangssignals
variieren. Schließlich zeichnen sich die erfindungsgemäßen Generatoren durch ihren besonders
einfachen Aufbau aus.
In der Zeichnung sind einige Schaltungsbeispiele der erfindungsgemäßen Funktionsgeneratoren in
schematischer Weise dargestellt. Es zeigt
Fig. 1 ein Blockschaltbild des Generators zur Elektronenstrahl-Steuerung,
F ig. 2 die Schaltung eines Sinus-Cosinusgenerators mit Anfangswerteinstellung,
Fig. 3 die Schaltung eines Dreieck-Rechteck-Generators,
Fig. 4 eine Zusatzschaltung für eine Frequenzmodulation.
Fig. 5 eine Zusatzsclialtung für eine Amplitudenmodulation.
In dem Blockschaltbild der Fig. 1 ist ein Frc-Huenzgenerator
angegeben, der zwei Einzclgcncratoren enthält, einen Sinus-Cosinus-Gcncrator 1 mit
Amplitudenrcgler 2 und den zwei Ausgängen für die Sinusfunktion 3 und die Cosinusfunktion 4 sowie
einen Dreicck-Rcchtcck-Gencrator 5 mit jeweils einem Ausgang für die Dreieckfunktion 6 und die
Rechteckfunktion 7. Die Funktionsausgänge laufen in einem Funktionsschalter 8 zusammen und werden
von dort wahlweise an die Eingänge 9 und 10 der zwei Kanäle eines Ausgangsverstärkers 11. 12 gelegt,
dessen stromstabilisiertc Ausgänge mit den Abicnkspulcn 13 und 14 eines Elektroncnstrahlgcräts
verbunden sind. Die beiden Ablenkspulen sind einseitig jeweils über einen Shunt IS und 16 mit der
Masse 17 verbunden. In die Ausgangskreise des stromslabilisierten Verstärkers ist eine Begrenzungsanzeige 18 eingeschaltet, mit Hilfe derer bei Auftreten
einer vorgeschriebenen Maximalspannung an den Verstärkerausgängen eine Warnblinklampe 19 eingeschaltet
wird. Über die steuerbaren Gleichspannungseingänge 22 und 23 kann eine Parallelverschiebung
der von dem Elektronenstrahl auf dem Werkstück beschriebenen Kurven eingestellt werden.
Der Sinus-Cosinus-Generator 1 enthält zwei als lntegricrcr beschaltcte Operationsverstärker 30 und
31. die in Reihe geschaltet sind, sowie eine Rückführung über einen als Inverter beschaltctcn Operationsverstärker
32. Eine derartige Schaltung stellt ein schwingungsfähiges System dar. wobei am Ausgang 3
des Operationsverstärkers 30 eine Sinusfunktion und am Ausgang 4 des Operationsverstärkers 31 eine
Cosinusfunktion z.ur Verfugung steht. Die Frequenz der Schwingung wird dabei durch die Ladcwidcrstände
33 und 34, durch die Kapazitäten 35 bis 44 sowie durch die Spannungsteiler 45 und 46 bestimmt.
Die Kapazitäten 35, 37. 39, 41, 43 sowie 36, 38. 40,
42,44 in den Gegenkopplungskreisen der Operationsverstärker 30 und 31 sind dabei in ihren Kapazitätswerten vorzugsweise dekadisch gcstaficll und paarweise
glciehdimensioniert. Einander entsprechende Kondensatoren können mit einem Stufenschalter 47
gemeinsam in den jeweiligen Gcgenkopplungskrcis eingeschaltet werden. Der Stufenschalter 47 dient damit
vorzugsweise als Bereichschaltcr der Frequenzdekaden.
Die beiden als Potentiometer ausgebildeten Spannungsteiler 45 und 46 sind gleichdimcnsioniert
und werden durch eine gemeinsame Achse angetrieben. Diese Potentiometer werden zur stufenlosen Verstellung
der Frequenz des Schaltkreises vorzugsweise innerhalb einer Frequenzdekade verwendet. Die
Schaltung kann ram Schwingen angeregt werden,
indem man einen Teil des Signals vom Ausgang 56 des Operationsverstärkers 32 dem Eingang 48 des
Operationsverstärkers31 zuführt. Zur Erzielung einer
vorgeschriebenen konstanten Schwingungsamplitude wird ein ganz bestimmter Rückkopplungsgrad benötigt,
der über den Amplitudenregler 2 (F i j1.. 1) cinecstelll
wird.
I in beschleunigtes Einschwingen des Generators
wird dadurch erzielt, daIA für kurze Zeit nach dem
Einschalten des Geräts und damit nach dem Anlegen eines Pols der Speisespannung an die Klemme 49 der
Kondensator 37 (Ε·, μ. Ü) eines der beiden Gegcnkopphiiigskreis'e
auf eine durch den Spannungsteiler 50 bestimmte Spannuni; ;iufi»-liidcn wird. Nach dem
Einschalten der Speisespannung lädt sich der Kondensator 51 über den Widerstand 52 auf. Damit wird
für eine bestimmte Zeitdauer, die vorwiegend von der Zeitkonstanten des RC-Gliedcs 51. 52 abhängt, die
Basis des Transistors 53 positiv, der Stromweg zum Relais wird geschlossen und das Relais zieht an und
stellt die Verbindung zwischen dem Spannungsteiler 50 und dem Kondensator 37 über den Widerstand 55
her. Nach dem Aufladen des Kondensators 51 sperrt
ίο der Transistor 53 den Stromdurchgang zum Relais
54. Das Relais 54 fällt ab, und der Spannungsteiler 50 wird abgetrennt.
In einem Schaltungsbcispicl eines Dreieck-Rechtcck-GencratorsS
sind ein als Integrierer60 beschalteter Operationsverstärker 61. ein Hystcreseschaltcr 62.
ein Impulsformer 63, eine Symmetricrstufe 64 sowie
eine symmetrische Ausgangsstufe 65 stufenweise hintcreinandergeschaltet.
Der intervenierende Integrierer 60 integriert zunächst
eine am Eingang anliegende, beispielsweise negative Gleichspannung, wobei sich am Ausgang 66
eine stetig ansteigende Spannung ergibt. Diese Ausgangsspannung steuert den Hystcrcscschalter 62 mit
den Transistoren 67 und 68, der beim Erreichen eines bestimmten, beispielsweise positiven Spannungswertes kippt. Durch dieses Kippen wird über den
Impulsformer 63 die Symmetrierstufe 64 sowie die symmetrische Ausgangsstufe 65 die Eingangsglcichspannung
des Integrierers auf den äquivalenten, beispielsweise positiven Wert geschaltet. Damit ergibt
sich am Ausgang 66 des Integrierers 60 eine stetig abfallende Spannung, die an den beim Kippvorgang
erreichten Endwert anschließt. Beim Erreichen eines bestimmten, beispielsweise negativen Grenzwerts
kippt der Hystcrcscschalter erneut um, und der Vorgang wiederholt sich. Man erhält damit am Ausgang
66 des Integrierers einen dreieckförmigen Verlauf der
Spannung als Funktion der Zeit und am Ausgang 69 der symmetrischen Ausgangsstufe 65 eine Rechteck funktion
gleicher Frequenz.
Über das Potentiometer 70 kann die positive und negative Schaltsp:<nnunc des Hystereseschalters 62
eingestellt werden. Der NTC-Widerstand 71 bewirkt einen Ausgleich der Temperaturdrift desTransistors 67.
Die Symmetrierung bezüglich des Masscnpotentia'is
und die Amplitudenstabilisierung der Rechteckfunktion wird durch die Zcncrdiodcn 72 und 73 bewirkt.
Aus einer amplitudenstabilisierten symmetrischer RechtcekfunUtion ergibt sich in der Integrierstufe 60
eine Symmetrie der Dreieckfunktion bezüglich de* Spannungsnullpunkts sowie eine Frequcnzstabilisie
rung des Generators, da die Ansliegsgeschwindigkei: der Dreieckfunktion diTekt von der Rcchtcck-Ampli
tude abhängt.
Die Frequenz des Generators ist durch den Wer der in den Gegenkopplungskreis des Integrierers 61
eingeschalteten Kapazität 72 bis 76. durch den l.adc
widerstand 77 sowie durch die Stellung der Potentio meter 78 und 79 bestimmt. Die Kapazitäten 72 bis 7
sind in ihren Werten vorzugsweise dekadisch gcsla feit und über den Stufenschalter 80 in den Geger
kopphmgskrcis des Operationsverstärkers 61 eil schaltbar. Hiermit ist eine Bereichsumschaltung d>
Frequenz vorzugsweise Avischen Zehnerpotenzen di Fiv'uicn/wcitc ermöglicht. Eine stufcnlose Vcrstc
hing der Frequenz innerhalb einer Dekade der Fr qucn/werte wird vorzugsweise über eine Versiellui
des Poientiometers 78 bewirkt, während das Potenti
meter 79 zur stufcnlosen Verstellung der Amplitude der Dreieck- und RcclUeckl'unktion vorgesehen ist.
Die Klemmen 81 sind mit positiver und die Klemmen 82 mit bclragsmäßig gleichgroßer negativer Gleichspannung
bezüglich Massenpotenliul beaufschlagt.
Mit einer Zusalzschaltun;; gemäß Fig. 4 kann
eine Frequenzmodulation der Sinus- und Cosinusfunktionen des Sinus-Cosiiuis-Gcncralors durchgeführt
werden. Hierzu werden die Potentiometer 45 und 46 (Fig. 2) durch die Analogmullipliziercr 90
und 91 ersetzt, indem an den einen Eingang der Multiplizierer die Ausgänge 56 bzw. 57 der davor
angeordneten Operationsverstärker gelegt werden und die Ausgänge der Multiplizierer mit den Ladewiderständen
33 bzw. 34 verbunden werden. Der zweite, in beiden Multiplizierern glcichbcaufschlagte
Eingang ist über einen als Addierer beschalteten Operationsverstärker 92 mit einem als Potentiometer
ausgebildeten Gleichspannungscingang 93 sowie mindestens einem weiteren Eingang 94 verbunden, an
den vorzugsweise der Ausgang eines zusätzlichen Einzclgcncrators angelegt wird. Das Potentiometer
93 dient dabei zur Einstellung der Grundfrequenz des Generators vorzugsweise innerhalb einer Frequenzdekade,
während der zusätzliche Generator die Modulationsspannung in den Eingang 94 einspeist. Durch
eine derartige Frequenzmodulation erhält man über die Ablcnkorgane des Elcktroncnstrahlgeräts eine
Modulation der Bahngeschwindigkeit des Elektronenstrahls entlang des auf dem Werkstück beschriebencn
Kreises. Bei extremer Modulation kann sich die Unilaufrichlung dabei sogar umkehren. Durch eine
derartige Wedclung des Elektronenstrahls längs einer Schweißnaht kann das Schwcißgefügc erheblich verbessert
werden.
to Eine Amplitudenmodulation der Ausgangssignale des Sinus-Cosinus-Gcnerators und damit eine entsprechende
Modulation des vom Elektronenstrahl im Elcklroncnslrahlgcrät auf dem Werkstück durchlaufenden
Kreisradius kann mit der Mischstufc gemäß Fig. 5 durchgeführt werden. Dazu werden die Ausgänge
3 und 4 sowohl direkt über die glcichdimcnsionierten Widerstände 100 und 101 an die Eingänge
9, 10 des Ausgangsverstärkers 11, 12 gelegt, als auch über jeweils einen Analogmultiplizicrer 102,
103, die mit ihren Ausgängen über jeweils glcichdimensionicrte
Widerstände 104,105 mit den entsprechenden Eingängen 9, 10 des Ausgangsverstärkers
verbunden sind. Am zweiten, in beiden Multiplizierern glcichbcaufschlagten Eingang 106, 107 wird die
Modulationsspannung vorzugsweise über den Ausgang eines zusätzlichen Einzelgencrators zugeführt.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
30? ί 49/325
Claims (6)
1. Generator für die Ansteuerung von elektromagnetischen
oder elektrostatischen Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahlgeräten mit Funktionsgeneratoren für Dreieck- und Sinus-Cosinusfunktionen
zur Führung des Elektronenstrahls auf linearen und kreisförmigen Bahnkurven und einer Einrichtung zur Steuerung der
Bahngeschwindigkeit, dadurch gekennzeichnet,
daß die Funktionsgeneratoren (1,5) mindestens einen als Integrierer beschalteten
Operationsverstärker (30, 31; 61) aufweisen, dessen Ausgang mit einem das Ausgangssignal
differenzierenden Netzwerk verbunden ist, daß dei Ausgang des differenzierenden Netzwerks mit
dem einen Anschluß eines am anderen Anschluß auf Massepotential liegenden verstellbaren Spannungsteilers
(45, 46; 78) verbunden ist, dessen At^rili mit dem Eingang des Integrierers verbunden
ist. und daß in den den Ausgang mit dem Eingang des Operationsverstärkers verbindenden
Gegenkopplungskreis des Integrierers eine von mehreren unterschiedlich dimensionierten Kapazitäten
(35 bis 44; 72 bis 76) wahlweise einschaltbar ist.
2. Generator für die An steuerung von elektromagnetischen
oder elektrostatischen Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahlgeräten mit Funktionsgeneratoren für Dreieck- und Sinus-Cosinusfunktioncn
/ur Führung des Elektronenstrahls auf linearen und kreisförmigen Bahnkurven
und einer Einrichtung zur Steuerung der Bahngeschwindigkeit, dadurch gekennzeichnet,
daß die Funktionsgeneratoren (1. 5) mindestens einen als Integrierer beschalteten Operationsverstärker
(30, 31; 61) aufweisen, dessen Ausgang mit einem das Ausgangssignal differenzierenden
Netzwerk verbunden ist, daß der Ausgang des differenzierenden Netzwerks mit dem Eingang
eines Multiplizierers (90,91) verbunden ist, dessen zweiter Eingang mit dem Abgriff eines von einer
Gleichspannungsquelle gespeisten verstellbaren Spannungsteilers (93) verbunden ist, und daß in
den den Ausgang mit dem Eingang des Operationsverstärkers verbindenden Gegenkopplungskreis des Integrierers eine von mehreren unterschiedlich
dimensionierten Kapazitäten (35 bis 44; 72 bis 76) wahlweise einschaltbar ist.
3. Generator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der zweite Eingang des Multiplizierers (90. 91) mit dem Ausgang eines Addierers
(92) verbunden ist, dessen erster Eingang mit dem Abgriff des von der Gleichspannungsquelle
gespeisten Spannungsteilers (93) verbunden ist, und der mindestens einen weiteren Eingang
(94) aufweist.
4. Generator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein weiterer Eingang (94) des
Addierers (92) mit einer Wechselspannungsquelle verbindbar ist.
5. Generator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Sinus-Cosinusgenerator
zwei hintereinander angeordnete, ah Integrierer beschaltete Operationsverstärker (30, 31) aufweist,
daß die Kapazitäten (35 bis 44) der beiden Integrierer paarweise gleichdimensioniert und
verbundenen P^J dimensioniert und mittels ei
Einstellorgans verstellbar sind. .
Einstellorgans verstellbar sind. .
6 Generator nach einem der Ansprüche _ ms *,
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1963454A DE1963454C3 (de) | 1969-12-18 | 1969-12-18 | Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten |
US97095A US3674977A (en) | 1969-12-18 | 1970-12-11 | Electron beam deflection apparatus |
FR7045126A FR2075018A5 (de) | 1969-12-18 | 1970-12-15 | |
GB5980270A GB1337130A (en) | 1969-12-18 | 1970-12-16 | Deflection of radiant beams |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1963454A DE1963454C3 (de) | 1969-12-18 | 1969-12-18 | Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1963454A1 DE1963454A1 (de) | 1971-09-16 |
DE1963454B2 DE1963454B2 (de) | 1973-05-03 |
DE1963454C3 true DE1963454C3 (de) | 1973-12-06 |
Family
ID=5754251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1963454A Expired DE1963454C3 (de) | 1969-12-18 | 1969-12-18 | Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3674977A (de) |
DE (1) | DE1963454C3 (de) |
FR (1) | FR2075018A5 (de) |
GB (1) | GB1337130A (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5347776A (en) * | 1976-10-14 | 1978-04-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Control system of charged particle beam deflection |
DE50213645D1 (de) * | 2001-07-11 | 2009-08-13 | Carl Zeiss Vision Gmbh | Bedampfungsanlage |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3393370A (en) * | 1965-08-04 | 1968-07-16 | Gen Electric | Multi-geometric pattern electric generator |
US3390222A (en) * | 1965-08-17 | 1968-06-25 | Air Reduction | Electron beam apparatus with variable orientation of transverse deflecting field |
US3491236A (en) * | 1967-09-28 | 1970-01-20 | Gen Electric | Electron beam fabrication of microelectronic circuit patterns |
US3543286A (en) * | 1969-04-25 | 1970-11-24 | Atomic Energy Commission | Multi-geometric pattern electric generator |
-
1969
- 1969-12-18 DE DE1963454A patent/DE1963454C3/de not_active Expired
-
1970
- 1970-12-11 US US97095A patent/US3674977A/en not_active Expired - Lifetime
- 1970-12-15 FR FR7045126A patent/FR2075018A5/fr not_active Expired
- 1970-12-16 GB GB5980270A patent/GB1337130A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1337130A (en) | 1973-11-14 |
DE1963454B2 (de) | 1973-05-03 |
US3674977A (en) | 1972-07-04 |
FR2075018A5 (de) | 1971-10-08 |
DE1963454A1 (de) | 1971-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE1957718A1 (de) | Elektronischer Temperaturregler | |
DE2709282A1 (de) | Massenspektrometereinrichtung | |
DE1963454C3 (de) | Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten | |
DE1807038A1 (de) | Mechanisch-elektrisches Umformungssystem | |
DE910427C (de) | Verstaerker mit zweifacher Rueckkopplung | |
EP0118396B1 (de) | Messverfahren für ein elektrisches Signal, serie-parallel-gegengekoppelter Messkreis sowie Verwendung des Verfahrens oder des Messkreises zur Messung von Spannungsquellen mit höchstohmigen Innenimpedanzen | |
DE2834499C2 (de) | Schaltungsanordnung zum potentialfreien Messen von Strömen oder Spannungen | |
DE1261938B (de) | ||
DE2931877C2 (de) | Oszillatorschaltung mit einer der Amplitudeneinstellung dienenden Regelschaltung | |
DE3143669A1 (de) | Schaltung zum messen des effektivwertes einer wechselspannung | |
DE3813013A1 (de) | Reizstromgeraet | |
DE2845013C2 (de) | Amplitudenstabilisierter Wechselspannungsgenerator | |
EP0314947A1 (de) | Schaltung zur vergrösserungsunabhängigen Bildverschiebung in einem Korpuskularstrahlgerät | |
DE1516912C3 (de) | Generator einer Dreiphasenspannung | |
DE950565C (de) | Verfahren zur Gewinnung der hinsichtlich seiner Ohmschen Komponente richtigen Anpassung eines Widerstandes | |
DE2908942B2 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung einer elektrischen Dreiecksspannung | |
DE930038C (de) | Verfahren und Anordnung zur Feinregelung einer Wechselspannung | |
DE2922634A1 (de) | Stromrichter mit einem gleichstromausgang fuer lichtbogenschweissen | |
DE2520160C3 (de) | Statisches Meßgerät zur Messung der Leistung oder der Arbeit in einem Wechselstromnetz | |
DE1512573C3 (de) | Schaltungsanordnung zum Erzeugen eines Triggerimpulses | |
DE2332650C3 (de) | Generator zur Erzeugung von dynamischen Fokussiersignalen für Kathodenstrahlröhren | |
DE1202914B (de) | Verfahren und Anordnung zum Messen der auf die beschleunigende HF-Spannung bezogenen Phasenlage der Ionen auf den Umlaufbahnen eines Isochron-Zyklotrons beim Durchtritt durch eine Messebene | |
DE7022544U (de) | Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen | |
DE2100734A1 (de) | Hochspannungsgenerator | |
DE1289182B (de) | Wobbeleinrichtung mit voreinstellbarem Frequenzmarkengeber |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |