DE7022544U - Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen - Google Patents
Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren SpannungsfunktionenInfo
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- DE7022544U DE7022544U DE7022544U DE7022544U DE7022544U DE 7022544 U DE7022544 U DE 7022544U DE 7022544 U DE7022544 U DE 7022544U DE 7022544 U DE7022544 U DE 7022544U DE 7022544 U DE7022544 U DE 7022544U
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/248—Components associated with the control of the tube
- H01J2237/2485—Electric or electronic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/304—Controlling tubes
- H01J2237/30472—Controlling the beam
- H01J2237/30483—Scanning
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
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ZR3-Zap/ßk - 7ο5ο7 -
Gebrauchsmuster - Anmeldung
<"Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannunpsfunktionen" J
Die Neuerung betrifft ein Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen, insbesondere
zur Erzeugung vorgegebener Ablenkfunktionen für
die Ablenkung eines Elektronenstrahl.'-: in einer Elcktronenstrahlbearbeitungsrraschine,
bestehend aus einem programmierten Spannungsgenerator, v/elcher pro Periode nacheinanderfolgend
eine entsprechende Anzahl von Rechteckimpulsen von konstanter Höhe liefert, und aus mehreren Verstellpotentiometern,
von denen jedes einem Impuls zugeordnet ist, wobei an jedem Potentiometer zwischen 0 und 100 % Anteil
des betreffenden Impulses abregriffen werden, wobei die Summe dieser Abgriffe eine Ausgangsgröße von einer den
Potentiometerabgriffen entsprechenden Kurvenform liefert.
Bei der Steuerung von Elektronenstrahlen zur Herstellung von Schweißnähten und zur Materialverdampfung sind verschiedene
Schaltungsanordnungen zur periodischen Strahlablenkung bekannt. In einfachster Weise kann der Strahl durch eine
5o-Hz-Sinusfunktion der Netzspannung abgelenkt werden, wobei jedoch die längere Verweilzeit des Strahles beim Durch
fahren der Sinuskuppen in manchen Anwendungsfällen, z.B.
durch einen Wärmeüberschuß an den Rändern der bearbeiteten Fläche, Nachteile mit sich bringt. Beim Verdampfen von
isolierenden Stoffen, wie Glas, Quarz und dgl., scheidet
eine 5o-IIz-Ablenkung im Spannungsverlauf der Netzfrequenz ebenfalls aus, denn es kommt dabei infolge der hohen Bahngeschwindigkeit
des Strahls nicht mehr zur Ausbildung des erforderlichen Brennfleckes.
Es bestellt daher eine Notwendigkeit, den zeitlichen Verlauf der Ablenkspannung abweichend von der Sinusfunktion
so zu "deformieren", daß beliebige, dem Anwendungsfall entsprechende Energiemengen pro Zeiteinheit und Flä-chenelement
auf dem »'eg des Elektronenstrahls einstellbar sind.-.Dabei
soll außerdem der Kurvenlauf der Spannungsfunktion optisch wahrnehmbar sein, so daß dem Bedienungspersonal der Anlage
der Betriebszustand des Steuergerätes jederzeit vor Augen geführt wird. Schließlich soll auch eine Veränderung
bzw. manuelle Verstellung des Kurvenlaufes sofort sichtbar sein.
Die Lösung bei der gestellten Aufgabe erfolgt bei dem eingangs beschriebenen Steuergerät neuerungsgemäß dadurch,
daß die Potentiometer lineare Schiebepotentiometer sind, die parallel nebeneinander angeordnet und mit Verschiebeschlitze
durchgreifenden Verschiebeteilen an der Vorderseite der Frontplattc des Gerätes verstellbar.sind.
In der Frontplatte sind demnach je nach der gewünschten Unterteilung eine Anzahl paralleler Verschiebeschlitze
angeordnet, von denen die Verschiebeteile "= der Potentiometer
liegen. Die Stellung der einzelnen Verschiebeteile entspricht dem abgegriffenen Anteil und damit dem
gewünschten Abbild der Spannungsfunktion.
Durch eine solche Vorrichtung gelingt es in einfachster
Weise, nahezu jede beliebige Kurvenform zu realisieren und sofort sichtbar zu machen. Für den Anwendungsfall
der Verdampfung mit Hilfe von !Elektronenstrahlen: empfiehlt es sich dabei, eine geringe Frequenz von einigen
Hz zu verwenden, wobei eine nie-derohmige Ansteuerung in einer Transistorschaltung gewählt werden kann. Da alle
Kopplungen galvanisch sind, läßt sich zusätzlich eine Gleichstromkomponente übertragen, welche eine Grundverschiebung
des Elektronenstrahles zu Einstellzwecken ermöglicht.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiei des Gegenstandes
der Neuerung schematisch dargestellt; es zeigen:
Figur 1 ein Schaltbild, welches Grundlage des Gegenstandes
der Neuerung ist und
Figur 2 eine perspektivische Vorderansicht eines Gerätes mit einstellbarer Spannfunktion.
Figur 2 eine perspektivische Vorderansicht eines Gerätes mit einstellbarer Spannfunktion.
In Fig.l ist ein astabiler Multivibrator 1 gezeigt, welcher
als Ausgangsgröße nacheinander 16 Impulse in einen vierstufigen Frequenzteiler 2 mit einem Teilungsverhältnis
von 2:1 in jeder Stufe liefert. Der Ausgang des Frequenzteilers 2 wird in einen Decodierer 3 (dual/dezimal)
übertragen, der 8 Eingänge und 16 Ausgänge aufweist. Die 16 Ausgänge sind jeweils mit Potentiometern 4 bis 19 versehen,
deren Spannungsabgriffe über Vorschaltwiderstände 20 bis 35 dem Eingang eines Mischverstärkers 36 zugeführt
werden. Im Ausgang des Mischverstärkers 36 liegt ein zur Steuerung der Gesamtamplitude vorgesehenes Amplitudenpotentiometer
37, dessen Abgriff über einen weiteren Vorschaltwiderstand 38 einem Endverstärker 39 als Eingangsgröße
zugeführt wird. Dieser Endverstärker 39 enthält als weitere Eingangsgröße ein von einem weiteren Potentiometer
40 abgreifbares Gleichspannungspotential, das
über einen zusätzlichen Vorschaltwiderstand 41 angelegt
τ OX*5Cuclx b*wjLu£x"5 bäüu
führung 42 entsprechend dem Ablenkstrom in einer Ablenkspule 43 abgegriffenen Rückführungsspannungswert, der zur
Regelung der Spannung nach dem Stromwert benutzt wird. Im Stromkreis der Ablenkspule 43 liegt außerdem ein Shunt-Widerstand
44. Die Frequenz an der Ablenkspule beträgt 1/16 der Frequenz des astabilen Multivibrators I.
Die Vorderansicht des Gerätes nach Fig. 2 zeigt die Potentiometer 4 bis 19 als lineare Schiebepotentiometer mit Verschiebeteilen
45 bis 60, wobei jeweils die Lage der Verschiebeteile in den Verschiebeschlitzen das Abbild der eingestellten
Kürvenform repräsentiert. An der Vorderseite des Gerätes sind außerdem das Potentiometer für die überlagerte
Gleichspannungsamplitude 40 und das Amplitudenpotentiömeter
37, sowie ein Netzschalter 61 mit einer Kontrollampe 62 vorgesehen. Das gesamte Gerät ist zweckmäßig
als Einschubteil aufgebaut.
1 Anspruch
2 Figuren
Claims (1)
- rZANSPRüCHSteuergerät zur Erzeugung von im Kurvenverlauf einstellbaren Spannungsfunktionen, insbesondere zur Erzeugung vorgegebener Ablenkfunktionen für die Ablenkung eines Elektronenstrahls in einer Elektronenstrahlbearbeitungsmaschine, bestehend aus einem programmierten Spannungsgenerator, \\relcher pro Periode nacheinanderfolgend eine entsprechende Anzahl von Rechteckimpulsen von konstanter Höhe liefert, und aus mehreren Verstellpotentiornetern, von denen jedes einem Impuls zugeordnet ist, wobei an jedem Potentiometer zwischen 0 und 100 % Anteil des betreffenden Impulses abgegriffen werden, wobei die Summe dieser Abgriffe eine Ausgangsgröße von einer den Potentiometerabgriffen entsprechenden Kurvenform liefert, dadurch gekennzeichnet, daß die Potentiometer(4 - 19) lineare Schiebepotentiometer sind, die parallel nebeneinander angeordnet und mit Verschiebeschlitzen durchgreifende Verschiebeteilen (45 - 6o) an der Vorderseite der Frontplatte des Gerätes verstellbar sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE7022544U DE7022544U (de) | 1970-06-16 | 1970-06-16 | Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE7022544U DE7022544U (de) | 1970-06-16 | 1970-06-16 | Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE7022544U true DE7022544U (de) | 1972-05-10 |
Family
ID=34174555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE7022544U Expired DE7022544U (de) | 1970-06-16 | 1970-06-16 | Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE7022544U (de) |
-
1970
- 1970-06-16 DE DE7022544U patent/DE7022544U/de not_active Expired
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