DE7022544U - Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen - Google Patents

Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen

Info

Publication number
DE7022544U
DE7022544U DE7022544U DE7022544U DE7022544U DE 7022544 U DE7022544 U DE 7022544U DE 7022544 U DE7022544 U DE 7022544U DE 7022544 U DE7022544 U DE 7022544U DE 7022544 U DE7022544 U DE 7022544U
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
curve
potentiometers
potentiometer
control unit
deflection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE7022544U
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold Heraeus GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Heraeus GmbH filed Critical Leybold Heraeus GmbH
Priority to DE7022544U priority Critical patent/DE7022544U/de
Publication of DE7022544U publication Critical patent/DE7022544U/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/248Components associated with the control of the tube
    • H01J2237/2485Electric or electronic means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/30Electron or ion beam tubes for processing objects
    • H01J2237/304Controlling tubes
    • H01J2237/30472Controlling the beam
    • H01J2237/30483Scanning

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

, αυΠ ^ J. . ζ. . JLZJ ι ^.
ZR3-Zap/ßk - 7ο5ο7 -
Gebrauchsmuster - Anmeldung
<"Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannunpsfunktionen" J
Die Neuerung betrifft ein Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen, insbesondere zur Erzeugung vorgegebener Ablenkfunktionen für die Ablenkung eines Elektronenstrahl.'-: in einer Elcktronenstrahlbearbeitungsrraschine, bestehend aus einem programmierten Spannungsgenerator, v/elcher pro Periode nacheinanderfolgend eine entsprechende Anzahl von Rechteckimpulsen von konstanter Höhe liefert, und aus mehreren Verstellpotentiometern, von denen jedes einem Impuls zugeordnet ist, wobei an jedem Potentiometer zwischen 0 und 100 % Anteil des betreffenden Impulses abregriffen werden, wobei die Summe dieser Abgriffe eine Ausgangsgröße von einer den Potentiometerabgriffen entsprechenden Kurvenform liefert.
Bei der Steuerung von Elektronenstrahlen zur Herstellung von Schweißnähten und zur Materialverdampfung sind verschiedene Schaltungsanordnungen zur periodischen Strahlablenkung bekannt. In einfachster Weise kann der Strahl durch eine 5o-Hz-Sinusfunktion der Netzspannung abgelenkt werden, wobei jedoch die längere Verweilzeit des Strahles beim Durch fahren der Sinuskuppen in manchen Anwendungsfällen, z.B. durch einen Wärmeüberschuß an den Rändern der bearbeiteten Fläche, Nachteile mit sich bringt. Beim Verdampfen von
isolierenden Stoffen, wie Glas, Quarz und dgl., scheidet eine 5o-IIz-Ablenkung im Spannungsverlauf der Netzfrequenz ebenfalls aus, denn es kommt dabei infolge der hohen Bahngeschwindigkeit des Strahls nicht mehr zur Ausbildung des erforderlichen Brennfleckes.
Es bestellt daher eine Notwendigkeit, den zeitlichen Verlauf der Ablenkspannung abweichend von der Sinusfunktion so zu "deformieren", daß beliebige, dem Anwendungsfall entsprechende Energiemengen pro Zeiteinheit und Flä-chenelement auf dem »'eg des Elektronenstrahls einstellbar sind.-.Dabei soll außerdem der Kurvenlauf der Spannungsfunktion optisch wahrnehmbar sein, so daß dem Bedienungspersonal der Anlage der Betriebszustand des Steuergerätes jederzeit vor Augen geführt wird. Schließlich soll auch eine Veränderung bzw. manuelle Verstellung des Kurvenlaufes sofort sichtbar sein.
Die Lösung bei der gestellten Aufgabe erfolgt bei dem eingangs beschriebenen Steuergerät neuerungsgemäß dadurch, daß die Potentiometer lineare Schiebepotentiometer sind, die parallel nebeneinander angeordnet und mit Verschiebeschlitze durchgreifenden Verschiebeteilen an der Vorderseite der Frontplattc des Gerätes verstellbar.sind.
In der Frontplatte sind demnach je nach der gewünschten Unterteilung eine Anzahl paralleler Verschiebeschlitze angeordnet, von denen die Verschiebeteile "= der Potentiometer liegen. Die Stellung der einzelnen Verschiebeteile entspricht dem abgegriffenen Anteil und damit dem gewünschten Abbild der Spannungsfunktion.
Durch eine solche Vorrichtung gelingt es in einfachster Weise, nahezu jede beliebige Kurvenform zu realisieren und sofort sichtbar zu machen. Für den Anwendungsfall der Verdampfung mit Hilfe von !Elektronenstrahlen: empfiehlt es sich dabei, eine geringe Frequenz von einigen Hz zu verwenden, wobei eine nie-derohmige Ansteuerung in einer Transistorschaltung gewählt werden kann. Da alle Kopplungen galvanisch sind, läßt sich zusätzlich eine Gleichstromkomponente übertragen, welche eine Grundverschiebung des Elektronenstrahles zu Einstellzwecken ermöglicht.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiei des Gegenstandes der Neuerung schematisch dargestellt; es zeigen:
Figur 1 ein Schaltbild, welches Grundlage des Gegenstandes
der Neuerung ist und
Figur 2 eine perspektivische Vorderansicht eines Gerätes mit einstellbarer Spannfunktion.
In Fig.l ist ein astabiler Multivibrator 1 gezeigt, welcher als Ausgangsgröße nacheinander 16 Impulse in einen vierstufigen Frequenzteiler 2 mit einem Teilungsverhältnis von 2:1 in jeder Stufe liefert. Der Ausgang des Frequenzteilers 2 wird in einen Decodierer 3 (dual/dezimal) übertragen, der 8 Eingänge und 16 Ausgänge aufweist. Die 16 Ausgänge sind jeweils mit Potentiometern 4 bis 19 versehen, deren Spannungsabgriffe über Vorschaltwiderstände 20 bis 35 dem Eingang eines Mischverstärkers 36 zugeführt werden. Im Ausgang des Mischverstärkers 36 liegt ein zur Steuerung der Gesamtamplitude vorgesehenes Amplitudenpotentiometer 37, dessen Abgriff über einen weiteren Vorschaltwiderstand 38 einem Endverstärker 39 als Eingangsgröße zugeführt wird. Dieser Endverstärker 39 enthält als weitere Eingangsgröße ein von einem weiteren Potentiometer 40 abgreifbares Gleichspannungspotential, das
über einen zusätzlichen Vorschaltwiderstand 41 angelegt
τ OX*5Cuclx b*wjLu£x"5 bäüu
führung 42 entsprechend dem Ablenkstrom in einer Ablenkspule 43 abgegriffenen Rückführungsspannungswert, der zur Regelung der Spannung nach dem Stromwert benutzt wird. Im Stromkreis der Ablenkspule 43 liegt außerdem ein Shunt-Widerstand 44. Die Frequenz an der Ablenkspule beträgt 1/16 der Frequenz des astabilen Multivibrators I.
Die Vorderansicht des Gerätes nach Fig. 2 zeigt die Potentiometer 4 bis 19 als lineare Schiebepotentiometer mit Verschiebeteilen 45 bis 60, wobei jeweils die Lage der Verschiebeteile in den Verschiebeschlitzen das Abbild der eingestellten Kürvenform repräsentiert. An der Vorderseite des Gerätes sind außerdem das Potentiometer für die überlagerte Gleichspannungsamplitude 40 und das Amplitudenpotentiömeter 37, sowie ein Netzschalter 61 mit einer Kontrollampe 62 vorgesehen. Das gesamte Gerät ist zweckmäßig als Einschubteil aufgebaut.
1 Anspruch
2 Figuren

Claims (1)

  1. rZANSPRüCH
    Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenverlauf einstellbaren Spannungsfunktionen, insbesondere zur Erzeugung vorgegebener Ablenkfunktionen für die Ablenkung eines Elektronenstrahls in einer Elektronenstrahlbearbeitungsmaschine, bestehend aus einem programmierten Spannungsgenerator, \\relcher pro Periode nacheinanderfolgend eine entsprechende Anzahl von Rechteckimpulsen von konstanter Höhe liefert, und aus mehreren Verstellpotentiornetern, von denen jedes einem Impuls zugeordnet ist, wobei an jedem Potentiometer zwischen 0 und 100 % Anteil des betreffenden Impulses abgegriffen werden, wobei die Summe dieser Abgriffe eine Ausgangsgröße von einer den Potentiometerabgriffen entsprechenden Kurvenform liefert, dadurch gekennzeichnet, daß die Potentiometer(4 - 19) lineare Schiebepotentiometer sind, die parallel nebeneinander angeordnet und mit Verschiebeschlitzen durchgreifende Verschiebeteilen (45 - 6o) an der Vorderseite der Frontplatte des Gerätes verstellbar sind.
DE7022544U 1970-06-16 1970-06-16 Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen Expired DE7022544U (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE7022544U DE7022544U (de) 1970-06-16 1970-06-16 Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE7022544U DE7022544U (de) 1970-06-16 1970-06-16 Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE7022544U true DE7022544U (de) 1972-05-10

Family

ID=34174555

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE7022544U Expired DE7022544U (de) 1970-06-16 1970-06-16 Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE7022544U (de)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2245455B2 (de) Kühlsystem mit den Kältemittelstrom drosselnden Stellgliedern
DE4138923A1 (de) Elektronische vorrichtung zur verwaltung und steuerung des elektrischen speisungsstroms zum widerstandsschweissen, insbesondere von metallenen dosenkoerpern
DE2321357A1 (de) Schweissvorrichtung mit abschmelzendem schweissdraht
DE2726890B2 (de) Speise- und Regelschaltungsanordnung für eine gasgefüllte Neutronenröhre und Verfahren zum Speisen und Regeln der Neutronenröhre
DE7022544U (de) Steuergerät zur Erzeugung von im Kurvenlauf einstellbaren Spannungsfunktionen
DE3340722A1 (de) Automatische elektroschweisseinrichtung zur aufrechterhaltung einer gleichmaessigen temperatur waehrend des schweissens
DE1613620B2 (de) Vorrichtung zum steuern eines wechselrichters
DE2029588A1 (de) Verfahren zur Erzeugung von im Kurvenverlauf einstellbaren Spannungs funktionen und Vorrichtung hierzu
DE1537073B1 (de) Verfahren zur Erzeugung von dreieckfoermigen Signalen und Generator zur Durchfuehrung dieses Verfahrens
DE741290C (de) Lichtbogenschweisseinrichtung fuer Wechselstrom mit durch einen Gleichstrommotor entsprechend der Lichtbogenspannung selbsttaetig vorgeschobener Abschmelzelektrode
DE2940109C2 (de) In Abhängigkeit von einer veränderbaren Zustandsgröße steuerbare elektronische Leistungsregelung für einen Verbraucher elektrischer Energie, insbesondere temperaturabhängig regelbarer Antrieb für eine Kältemaschine
DE837431C (de) Selbsttaetige Lichtbogenschweisseinrichtung
DE3437677C2 (de)
DE1963454C3 (de) Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten
DE1922398C3 (de) Einstellbares Milliamperesekunden-Relais für einen Röntgendiagnostikapparat
DE2554223A1 (de) Einrichtung an einem wechselrichter
DE2549827C2 (de) Impulsbreitensteuerung
DE912237C (de) Anordnung zur Fernsteuerung mehrerer Verstellgegenstaende durch einen gemeinsamen Geber
DE1913705A1 (de) Schweissstromquelle mit gesteuerter und/oder geregelter Schweissspannung
DE1133453B (de) Schaltungsanordnung zur Steuerung eines Gleichstromenergie benoetigenden elektrischen Verbrauchers, vorzugsweise zur spasmodischen Regelung von Elektromotoren
DE2241529A1 (de) Schweisstromgenerator
DE2501929C3 (de) Röntgenuntersuchungsgerät, bei dem die Lage eines Geräteteils durch eine Nachlaufsteuerung motorisch steuerbar ist
DE1613620C3 (de) Vorrichtung zum Steuern eines Wechselrichters
DE900707C (de) Schaltungsanordnung zur Erzeugung von Impulsen mit konstantem Verhaeltnis der Impulsdauer zur Impulspause bei verschiedenen Impulsfrequenzen
DE2144746C3 (de) Schaltung zur Erzeugung eines vom Null-Durchgang der Netzspannung abgeleiteten Schaltimpulses