DE1963454B2 - Generator fuer die ansteuerung von ablenkvorrichtungen in elektronenstrahlgeraeten - Google Patents
Generator fuer die ansteuerung von ablenkvorrichtungen in elektronenstrahlgeraetenInfo
- Publication number
- DE1963454B2 DE1963454B2 DE19691963454 DE1963454A DE1963454B2 DE 1963454 B2 DE1963454 B2 DE 1963454B2 DE 19691963454 DE19691963454 DE 19691963454 DE 1963454 A DE1963454 A DE 1963454A DE 1963454 B2 DE1963454 B2 DE 1963454B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- generator
- input
- output
- operational amplifier
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/302—Controlling tubes by external information, e.g. programme control
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Amplifiers (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Generator für die Ansteuerung von elektromagnetischen oder elektrostatischen
Ablenkvorrichtungcn in Elektroncnstrahlgeräten mit Funktionsgeneratoren für Dreieck- und Sinus-Cosinusfunktioncn
zur Führung des Elektronenstrahls auf linearen und kreisförmigen Bahnkurven und einer
Einrichtung zur Steuerung der Bahngeschwindigkeit.
Der überwiegende Teil der in der Technik, insbesondere in der Hochtemperaturtechnik auftretenden
Schweiß- und Lötnähle beschreiben aus fertigungstechnischen Gründen verhältnismäßig einfache Kurven,
wie Geraden, Kreise, Ellipsen oder Kurven, die sich aus Elementen dieser Einzelkurven zusammensetzen.
Beim Elektronenstrahlschweißen und -löten ist es erforderlich, den Elektronenstrahl und das
Werkstück so relativ zueinander zu bewegen, daß der Elektronenstrahl die durch die Schweiß- oder Lötnaht
gegebene Kurve auf dem Werkstück durchläuft.
Es ist ein Funktionsgenerator der eingangs beschriebenen Art bekannt (schweizerische Patentschrift
950), der zwei Lincar-Potentiometcr und einen Sinus-Cosinus-Potentiometer enthält, deren Abgriffe
mittels eines Gleichstrommotors verschiebbar sind.
Die Bahngeschwindigkeit des über das Ausgangs- verbunden ist. welcher Addierei mindestens emeu
signal des Generators gesteuerten Elektronenstrahls weiteren Eingang aufweis!, der vorzugsweise mit einet
auf dem Werkstück wird dort also über die Drehzahl die Frequenzmodulation bestimmenden Wechselspan des
Motors bestimmt. Als Einrichtung zur Steuerung nungsquelle verbindbar ist. Dadurch läßt sich de;
der Bahngeschwindigkeit ist ein Drehzahlregler sowie 5 Elektronenstrahl längs der Bahnkurve mit der Mo.uiein
Einstellorgan für den Geschwindigkeitssollwerl lationsfrequenz hin- und herbewegen, wodurch ^ vorgesehen.
Wegen der Trägheit der Aniriebsorgane Schweiß- oder I.ötgefüge verbessert werden kann,
ist eine Frequenzmodulation und damit eine Modu- Der nach dem erlindungsgernäßen Prinzip autgclation der Bahngeschwindigkeit in dem für das Elek- baute Sinus-Cosinusgeneraior umfaßt vorteillutlteiirorxnstralilschweißen interessierenden Bereich der io weise zwei hintereinander angeordnete, als Inlegrierer Modulationsfrequenz von K)1.; bis K)OO Hz nicht beschaltete Operationsverstärker, deren Kapazitäten möglich. Ferner ist der Frequenzbereich auf höchstens paarweise gleichdimensioniert und mittels eines gezwei bis drei Größenordnungen der Frequenz be- meinsamen Schalters in die betreffenden Gegenkoppschränkt und die Genauigkeit bezüglich Amplitude. lungskreise einschaltbar sind. Die in der ersten Sciial-Frequenz und Phase der Ausgangssignale ist für die 15 tunu mn dem Eingang der Integrieier verbundenen hohen Anforderungen, die beim Elektronenstrahl- Spannungsteiler sind ebenfalls gleichdiinensiunieri schweißen häufig an diese Größen gestellt werden. und mittels eines gemeinsamen Einstellorgans ν erllicht ausreichend. stellbar. In der zweiten Schaltung liegen die zweiten.
ist eine Frequenzmodulation und damit eine Modu- Der nach dem erlindungsgernäßen Prinzip autgclation der Bahngeschwindigkeit in dem für das Elek- baute Sinus-Cosinusgeneraior umfaßt vorteillutlteiirorxnstralilschweißen interessierenden Bereich der io weise zwei hintereinander angeordnete, als Inlegrierer Modulationsfrequenz von K)1.; bis K)OO Hz nicht beschaltete Operationsverstärker, deren Kapazitäten möglich. Ferner ist der Frequenzbereich auf höchstens paarweise gleichdimensioniert und mittels eines gezwei bis drei Größenordnungen der Frequenz be- meinsamen Schalters in die betreffenden Gegenkoppschränkt und die Genauigkeit bezüglich Amplitude. lungskreise einschaltbar sind. Die in der ersten Sciial-Frequenz und Phase der Ausgangssignale ist für die 15 tunu mn dem Eingang der Integrieier verbundenen hohen Anforderungen, die beim Elektronenstrahl- Spannungsteiler sind ebenfalls gleichdiinensiunieri schweißen häufig an diese Größen gestellt werden. und mittels eines gemeinsamen Einstellorgans ν erllicht ausreichend. stellbar. In der zweiten Schaltung liegen die zweiten.
Ferner ist es an sich bekannt (schweizerische Pa- mit dem betreifenden Poteiiuometerabgriü verhunde-
tentschrift 455 950 und VDI-Zeitsciirilt. Bd. K)S. 20 nen Eingänge der beiden Multiplizierer auf gleichem
ll»66. S. 1260 bis 1273), die die Bahnkurve des Elek- Potential.
tronenstrahls bestimmenden Ausgangssignale zu Ein nach dem Einschalten der Glcidispannungs-
modulieren, damit der Strahl auf dem Werkstück eine Versorgung sehr schnelles Einschwingen des Smus-
bestimmle Fläche in der Umgebung der Sollbahn Cosinusgenerators auf die Sollamplitude wird durch
überstreicht. Als Modulationsarten sind dort eine 25 eine Schallung gewährleistet, die ein mit der an einen'.
Kreismodulation, eine Rechteekmodulation sowie bei Pol auf Massepotential liegenden Gleichspannungs-
Kreisführungcn für größere Punktschweißungen eine quelle in Reihe geschaltetes /»C'-Cilicd. einen Transi-
Durchmessermodulalion vorgeschlagen. stör, dessen Basis mit der Verbindungsstelle zwischen
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ünen Widerstand und Kapazität des /iC-Glieds. dessen
Generator der eingangs beschriebenen Art zu schaf- 30 Emitter mit der Masse und dessen Kollektor über die
fen. dessen Funklionsgeneratoren in dem Bereich der Spule eines Relais mit der Spannungsquelle verbun-
für das Elektronenstrahlschweißen interessierenden den ist. welches Relais in Schließstellung eine Verbin-
Frcquenzen von etwa K)"- bis 10'1Hz eine hohe dung zwischen der in den Gegenkopplunsiskreis eines
Stabilität hinsichtlich Amplitude, Frequenz und Phase der beiden Integrierer eingeschalteten Kapazität und
aufweisen, und deren Frequenz und damit die Bahn- 35 der Spannungsquelle herstellt, umfaßt,
geschwindigkeit des Elektronenstrahls unabhängig In einer besonders vorteilhaften Ausbildung des
von den übrigen Größen des Generatorsignals variiert Dreicck-Rechteckgenerators weist dessen dilferenzie-
werden kann. rendes Netzwerk einen mit dem Ausgang des Inte-
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch grierers verbundenen Hysterescschalter sowie eine
gelöst, daß die Funktionsgeneratoren mindestens einen 40 dem Hystereseschalter nachgeschaltete Impulstormer-
als Integrierer beschatteten Operationsverstärker auf- und Symmetrierstufe zur Erzeugung eines bezüglich
weisen, dessen Ausgang mit einem das Ausgangssignal des Spannungsnullpunkts symmetrischen Rechteck-
differenzicrenden Netzwerk verbunden ist. daß der signals auf.
Ausgang des differenzierenden Netzwerks mit dem Die mit den erfindungsgemäßen Funktionsgenera-
cinen Anschluß eines am anderen Anschluß auf 45 loren erzeugbaren Ausgangssignale sind hinsichtlich
Massepotential liegenden verstellbaren Spannungs- Amplitude. Frequenz und Phase sehr stabil und erfül-
tcilers verbunden ist, dessen Abgriff mit dem Eingang len somit die von Elcktronenslrahlgeräten in dieser
des Intcgricrcrs verbunden ist, und daß in den den Hinsicht häufig geforderten Eigenscha^en. Diese
Ausgang mit dem Eingang des Operationsverstärkers Schaltungen sind ferner besonders gut zur Erzeugung
verbindender Gegenkopplungskreis des Integrieren 50 von Ausgangssignalen mit den für das Elektronen-
eine von mehreren unterschiedlich dimensionierten strahlschweißen und -löten verlangten Frequenzen
Kapazitäten wahlweise einschaltbar ist. im Bereich von 10 - bis K)+1 Hz geeignet. Die Fre-
In einer anderen zur Lösung der gestellten Aufgabe quenz läßt sich dabei in einem weiten Bereich stufengeeigneten
Schaltung, in der die Funktionsgencralo- los und ohne Beeinflussung der Amplitude des Ausren
ebenfalls mindestens einen als Integrierer beschäl- 55 gangssigndls variieren. Schließlich zeichnen sich die
teten Operationsverstärker aufweisen, dessen Ausgang erfindungsgemäßen Generatoren durch ihren besonmit
einem das Ausgangssignal differenzierenden Netz- ders einfachen Aufhau aus.
werk verbunden ist, ist der Ausgang des differenzie- In der Zeichnung sind einige Schaltungsbeispielc
renden Netzwerks mit dem Eingang eines Multipü- der erfindungsgemäßen Funktionsgeneratoren in
zierers verbunden, dessen zweiler Eingang mit dem 60 schematisier Weise dargestellt. Es zeigt
Abgriff eines von einer Glciehspannungsquelle gespei- F i g. 1 ein Blockschallbild des Generators zur
sten verstellbarer. Spannungsteilers verbunden ist. In Eiektronenstrahl-Stcuerung,
dieser zweiten Schaltung läßt sich sehr einfach eine Fig. 2 die Schaltung eines Sinus-Cosinusgenerators
Frequenzmodulation des Ausgangssignals dadurch mit Anfangsvverteinstellung,
erzielen, daß der /vveite Eingang des Multiplizicrers 65 Fig. 3 die Schaltung eines Drcieck-Rechteck-
mit dem Ausgang eines Addierers verbunden ist, des- Generators,
sen erster Eingang mit dem Abgriff des von der Fig. 4 eine Zusatzschaltung für eine Frcquenz-
Gleichspannungsquellc gespeisten Spannungsteilers modulation.
F i g. 5 cine Zusatzschaltung für cine Amplitudenmodulation.
In dem Blockschaltbild der F i g. 1 ist ein Frequenzgenerator
angegeben, der zwei Einzelgcncratoren enthält, einen Sinus-Cosinus-Gcnerator 1 mit
Ampliluclcnrcgler 2 und den zwei Ausgängen für die Sinusfunktion 3 und die Cosinusfunktion 4 sowie
einen Drcieck-Rcchtcck-Gencrator 5 mit jeweils einem Ausgang für die Dreieckfunktion 6 und die
Rechteckfunktion 7. Die Funktionsausgänge laufen in einem Funktionsschalter 8 zusammen und werden
von dort wahlweise an die Eingänge 9 und 10 der zwei Kanäle eines Ausgangsverstärkers 11. 12 gelegt,
dessen stromstabilisierte Ausgänge mit den Abicnkspulcn 13 und 14 eines Elcktroncnstrahlgeräts
verbunden sind. Die beiden Ablenkspulcn sind einseitig jeweils über einen Shunt 15 und 16 mit der
Masse 17 verbunden. In die Ausgangskreise des stromstabilisierten Verstärkers ist eine Begrenzungsanzeige 18 eingeschaltet, mit Hilfe derer bei Auftreten
einer vorgeschriebenen Maximalspannung an den Verstärkerausgängen eine Warnblinklampe 19 eingeschaltet
wird. Über die steuerbaren Glcichspannungscingänge 22 und 23 kann eine Parallclverschicbung
der von dem Elektronenstrahl auf dem Werkstück beschriebenen Kurven eingestellt werden.
Der Sinus-Cosinus-Gcnerator 1 enthält zwei als Integrierer beschaltete Operationsvcrsiärkei 30 und
31. die in Reihe geschaltet sind, sowie eine Rückführung über einen als Inverter beschaltcten Operationsverstärker
32. Eine derartige Schaltung stellt ein schwingungsfähiges System dar. wobei am Ausgang 3
des Operationsverstärkers 30 eine Sinusfunktion und am Ausgang 4 des Operationsverstärkers 31 eine
Cosinusfunktion zur Verfügung steht. Die Frequenz der Schwingung wird dabei durch die Ladewiderstände
33 und 34. durch die Kapazitäten 35 bis 44 sowie durch die Spannungsteiler 45 und 46 bestimmt.
Die Kapazitäten 35. 37. 39. 41. 43 sowie 36, 38, 40,
42. 44 in den Gcgcnkopplungskreisen der Operationsverstärker 30 und 31 sind dabei in ihren Kapazitätswerten vorzugsweise dekadisch gestaffelt und paarweise
gleichdimcnsionicrt. Einander entsprechende Kondensatoren können mit einem Stufenschalter 47
gemeinsam in den jeweiligen Gegcnkopplungskrcis eingeschaltet werden. Der Stufenschalter 47 dient damit
vorzugsweise als Bereichschalter der Frequenzdekaden. Die beiden als Potentiometer ausgebildeten
Spannungsteiler 45 und 46 sind gleichdimensioniert und werden durch eine gemeinsame Achse angetrieben.
Diese Potentiometer werden zur stufenlosen Verstellung der Frequenz des Schaltkreises vorzugsweise
innerhalb einer Frequenzdekade verwendet. Die Schaltung kann zum Schwingen angeregt werden,
indem man einen Teil des Signals vom Ausgang £6 des Operationsverstärkers 32" dem Eingang 48 des
Operationsverstärkers 31 zuführt. Zur Erzielung einer vorgeschriebenen konstanten Schwingungsamplitude
wird ein ganz bestimmter Rückkopplungsgrad benötigt, der über den Amplitudenrcgler 2 (Fig. 1) eingestellt
wird.
Ein beschleunigtes Einschwingen des Generators wird dadurch erzielt, daß für kurze Zeit nach dem
Einschalten des Geräts und damit nach dem Anlegen eines Pols der Speisespannung an die Klemme 49 der
Kondensator 37 (F i g. 2) eines der beiden Gcgenkopplungskreise auf eine durch den Spannungsteiler
50 bestimmte Spannung aufgeladen wird. Nach dem Einschalten der Speisespannung lädt sich der Kondensator
51 über den Widerstand 52 auf. Damit wird für eine bestimmte Zeitdauer, die vorwiegend von der
Zeitkonstanten des WC-Gliedes 51. 52 abhängt, die Basis des Transistors 53 positiv, der Stromweg zum
Relais wird geschlossen und das Relais zieht an und stellt die Verbindung zwischen dem Spannungsteiler
50 und dem Kondensator 37 über den Widerstand 55 her. Nach dem Aufladen des Kondensators 51 sperrt
i'u der Transistor 53 den Stromdurchgang zum Relais
54. Das Relais 54 fällt ab. und der Spannungsteiler 50 wird abgetrennt.
In einem Schaltungsbcispiel eines Dreieck-Rcchteck-Generators5
sind ein als Integrierer 60 besehalteter Operationsverstärker 61. ein Hystercseschalter 62.
ein Impulsformer 63. eine Symmeirierslufe 64 sowie eine symmetrische Ausgangsstufe 65 stufenweise hintcrcinandergcschaltet.
Der intervenierende Integrierer 60 integriert zunächst
eine am Eingang anliegende, beispielsweise negative Gleichspannung, wobei sich am Ausgang 66
eine stetig ansteigende Spannung ergibt. Diese Ausgangsspannung steuert den Hy.slcrcscsehalter 62 mit
den Tn.-!.;istoren 67 und 68. der beim Erreichen
eines bestimmten, beispielsweise positiven Spannungswertes kippt. Durch dieses Kippen wird über den
Impulsformer 63 die Symmctr.erstufe 64 sowie die symmetrische Ausgangsstufe 65 die Eingangsgleichspannung
des Integrierers auf den äquivalenten, bcispiclsweise positiven Wert geschaltet. Damit ergibt
sich am Ausgang 66 des Integricrers 60 eine stetig abfallende Spannung, die an den beim Kippvorgang
erreichten Endwert anschließt. Beim Erreichen eines bestimmten, beispielsweise negativen Grenzwerts
kippt der Hystcreseschalter erneut um. und der Vorgang wiederholt sich. Man erhält damit am Ausgang
66 des Integrierers einen drcieckförmigen Verlauf der
Spannung als Funktion der Zeit und am Ausgang 69 der symmetrischen Ausgangsstufe 65 eine Rcchtcckfunktion
gleicher Frequenz.
Über das Potentiometer 70 kann die positive und negative Schaltspannung des Hystercseschaltcrs 62
eingestellt werden. Der NTC-Widerstand 71 bewirkt einen Ausgleich dcrTempcraturdrift des Transistors 67.
Die Symmetrierung bezüglich des Masscnpotentials und die Amplitudenstabilisierung der Rccln.ckfunktion
wird durch die Zcnerdiodcn 72 und 73 bewirkt. Aus einer amplitudenstabilisierten symmetrischen
Rechteckfunktion ergibt sich in der Integrierstufe 60 eine Symmetrie der Dreieckfunktion bezüglich des
Spannungsnullpunkts sowie eine Frequenzstabilisierung des Generators, da die Anstiegsgeschwindigkeit
der Dreieckfunktion direkt von der Rechteck-Amplitude abhängt.
Die Frequenz des Generators ist durch den Wert der in den Gcgcnkopplungskreis des Integrierers 60
eingeschalteten Kapazität 72 bis 76. durch den Ladewiderstand 77 sowie durch die Stellung der Potentiometer
78 und 79 bestimmt. Die Kapazitäten 72 bis 76 sind in ihren Werten vorzugsweise dekadisch gestaffelt
und über den Stufenschalter 80 in den Gegenkopplungskreis des Operationsverstärkers 61 einschaltbar.
Hiermit ist eine Bereichsumschaltung der Frequenz vorzugsweise zwischen Zchnerpotenzen der
Frequenzwerte ermöglicht. Eine stufenlose Verstellung der Frequenz innerhalb einer Dekade der Frequenzwertc
wird vorzugsweise über eine Verstellung des Potentiometers 78 bewirkt, während das Potcntio-
meter 79 zur stufenloscn Verstellung eier Amplitude
der Dreieck- und Rcchieckfunktion vorgesehen ist. Die Klemmen 81 sind mit positiver und die Klemmen
82 mit betragsmüßig gleichgroßer negativer Gleichspannung bezüglich Massenpotential beaufschlagt.
Mit einer Ziisatzschaltung gemäß F i g. 4 kann
eine Frequenzmodulation der Sinus- und Cosimisfunktioncn
des Sinus-Cosinus-Gcnerators durchgeführt werden. Hierzu werden die Potentiometer 45
und 46 (F i g. 2) durch die Analogmultiplizicrcr 90 und 91 ersetzt, indem an den einen Eingang der
Multiplizierer die Ausgänge 56 bzw. 57 der davor angeordneten Operationsverstärker gelegt werden
und die Ausgänge der Multiplizierer mit den Ladcwidcrständen
33 bzw. 34 verbunden werden. Der zweite, in beiden Multiplizierern gleichbeaufschlagtc
Eingang ist über einen als Addierer beschältctcn Operationsverstärker 92 mit einem als Potentiometer
ausgebildeten Gleichspannungseingang 93 sowie mindestens einem weiteren Eingang 94 verbunden, an
den vorzugsweise der Ausgang eines zusätzlichen Einzelgenerators angelegt wird. Das Potentiometer
93 dient dabei zur Einstellung der Grundfrequenz des Generators vorzugsweise innerhalb einer Frequenzdekade,
während der zusätzliche Generator die Modulationsspannung in den Eingang 94 einspeist. Durch
eine derartige Frequenzmodulation erhält man iibei die Ablcnkorgane des FJcktroncnstrahlgcrüts ei tu
Modulation der Bahngeschwindigkeit des Elektronenstrahls entlang des auf dem Werkstück beschriebeneu
Kreises. Bei extremer Modulation kann sich die Umlaufrichtung dabei sogar umkehren. Durch eine
derartige Wedclung des Elektronenstrahls längs cinei
Schweißnaht kann das Sehweißgefüge erheblich verbessert werden.
υ Eine Amplitudenmodulation der Ausgangssignak des Sinus-Cosinus-Gcnerators und damit eine entsprechende
Modulation des vom Elektronenstrahl im Elcktroncnstrahlgerät auf dem Werkstück durchlaufenden
Kreisradius kann mit der Mischstufe gemäO Fig. 5 durchgeführt werden. Dazu werden die Ausgänge
3 und 4 sowohl direkt über die glcichdimensionicrten Widerstände 100 und 101 an die Eingänge
9, 10 des Ausgangsverstärkers 11, 12 gelegt, als auch über jeweils einen Analogmultiplizierer 102,
103, die mit ihren Ausgängen über jeweils glcichdimensionierte Widerstände 104,105 mit den entsprechenden
Eingängen 9, 10 des Ausgangsverstärkers verbunden sind. Am zweiten, in beiden Multiplizierern
gleichbcaufschlagten Eingang 106, 107 wird die Modulationsspannung vorzugsweise über den Ausgang
eines zusätzlichen Einzelgenerators zugeführt.
309 518/25»
Claims (7)
1. Generator für die Ansteuerung von elektromagnetischen
oder elektrostatischen Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahlgcrälen mit
Funktionsteileraioren für Dreieck- und Sinus-Cosirusfunktionen
zur Führung des Elektronenstrahls auf lii,_ ren und k-eisfurmigen Bahnkurven
und einer Hinrichtung /ur Steuerung der Bahngeschwindigkeit. dadurch gekennzeichnet,
daß die Funküonsgeneratoren (1.5)
mindestens einen als lntenrierer beschalteten Operationsverstärker (30, 31: 61) aufweisen,
dessen Ausgang mit einem das Ausgangssignal dilTeienzierenden Netzwerk verbunden ist. daß
tier Ausgang des differenzierenden Netzwerks mit dem einen Anschluß eines am anderen Anschluß
auf Massepotential liegenden \ersiellbaren Spannungsteilers (45, 46; 78) verbunden ist. dessen
Abgriff mit dem Eingang des Integrierers verbunden ist. und daß in den den Ausgang mit dem
Eingang des Operationsverstärkers verbindenden Gegenkopplungskreis des Ii.tegrierers eine von
mehreren unterschiedlich dimensionierten Kapazitäten (35 bis 44; 72 bis 76) wahlweise einschaltbar
ist.
2. Generator für di^ Ausleerung von elektromagnetischen
oder elektrostatischen Ablenkvorriclitungen
in Elektionerstrahlgeräten mit Funkiionsgeneratoren für Dreieck- und Sinus-Cosnusfunktionen
zur Führung des Elektronenstrahls auf linearen und kreisförmigen Bahnkurven und einer Einrichtung zur Steuerung der
Bahngeschwindigkeit, dadurch gekennzeichnet. daß die Funktionsgenerauiren (1, 5) mindestens
einen als Integrierer beschatteten Operationsverstärker (30, 31: 61) aufweisen, dessen Ausgang
mit einem das Ausgangssigiir'l differenzierenden
Netzwerk verbunden ist, daß der Ausgang des differenzierenden Netzwerks mit dem Eingang
eines Multiplizierers (90,91) verbunden ist. dessen zweiter Eingang mit dem Abgriff eines von einer
Gleichspannungsquelle gespeisten verstellbaren Spannungsteilers (93) verbunden ist, und daß in
den den Ausgang mit dem Eingang des Operationsverstärkers verbindenden Gegenkopplungskreis des Integrierers eine von mehreren unterschiedlich
dimensionierten Kapazitäten (35 bis 44; 72 bis 76) wahlweise einschaltbar ist.
3. Generator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der zweite Eingang des Multiplizicrers (90, 91) mit dem Ausgang eines Addierers
(92) verbunden ist, dessen erster Eingang mit dem Abgriff des von der Gleichspannungsquelle
gespeisten Spannungsteilers (93) verbunden ist, und der mindestens einen weiteren Eingang
(94) aufweist.
4. Generator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß ein weiterer Eingang (94) des fio Addierers (92) mit einer Wcchselspannungsquelle
verbindbar ist.
5. Generator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Sinus-Cosinusgenerator zwei hintereinander angeordnete, als Tntegricrcr
beschaltete Operationsverstärker (30, 31) aufweist, daß die Kapazitäten (35 bis 44) der beiden
Tntegrierer paarweise gleichdimensioniert und mittels eines gemeinsamen Schalters (47) in die
betreffenden Geg^nkopplungskreise einschaltbar sind, und daß die inii de:n Eingang der Integriere!"
verbundenen Spannungsteiler (45. 46) gleichdimensioniert und mittels eines gemeinsamen
Einstellorgans verstellbar sind.
6. Generator nach eine.n der Ansprüene 2 bis 4.
dadurch gekennzeichnet, daß der Sinus-Cosinusgenerator zwei hintereinander angeordnete, als
Integrierer beschaltete Operationsverstärker (30. 31) aufweist, daß die Kapazitäten (35 bis 44) der
beiden Integrierer paarweise glcichdimensionieii und mittels eines gemeinsamen Schalters (47) in
die betreffenden Gegenkopplungskreise einschaltbar sind, und daß die zweiten Eingänge der beiden
Multiplizierer (90. 91) miteinander verbunden sind.
7. Generator nach Anspruch 5 oder 6, gekennzeichnet durch eine Schaltung mit einer an einem
Pol auf Massepotential liegenden Gleichspannungsquclle (49). einem dazu in Reihe geschalteten
/iC-Glied (51. 52). einem Transistor (53). dessen
Basis mii der Verbindungsstelle zwischen Widerstand (52) und Kapazität (51) des RC-Glieds.
dessen Emitter mit der Masse und dessen Kollektor über die Spule eines Relais (54) mit der
Spannungsquelle (49) verbunden ist, welches Relais (54) in Schließstellung eine Verbindung zwischen
der in den Gegcnkopplungskreis eines der beiden Integrierer (30) eingeschalteten Kapazität
(37) und der Spannungsquelle (49) herstellt.
S Generator nach einem der Ansprüche 1 bis 4. dadurch gekennzeichnet, daß das differenzierende
Netzwerk des Dreieckgenerators einen mit dem Ausgang des Integrierers (Π1 verbundenen Hystereseschalter
(62) sowie eine dem Hystereseschalter nachgeschaltete Impulsformer- und Symmetrierstufc
(63, 64. 65) zur Erzeugung eines bezüglich djs Spannungsnullpunkts symmetrischen
Rechtecksiiinals aufweist.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1963454A DE1963454C3 (de) | 1969-12-18 | 1969-12-18 | Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten |
US97095A US3674977A (en) | 1969-12-18 | 1970-12-11 | Electron beam deflection apparatus |
FR7045126A FR2075018A5 (de) | 1969-12-18 | 1970-12-15 | |
GB5980270A GB1337130A (en) | 1969-12-18 | 1970-12-16 | Deflection of radiant beams |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1963454A DE1963454C3 (de) | 1969-12-18 | 1969-12-18 | Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1963454A1 DE1963454A1 (de) | 1971-09-16 |
DE1963454B2 true DE1963454B2 (de) | 1973-05-03 |
DE1963454C3 DE1963454C3 (de) | 1973-12-06 |
Family
ID=5754251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1963454A Expired DE1963454C3 (de) | 1969-12-18 | 1969-12-18 | Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3674977A (de) |
DE (1) | DE1963454C3 (de) |
FR (1) | FR2075018A5 (de) |
GB (1) | GB1337130A (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5347776A (en) * | 1976-10-14 | 1978-04-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Control system of charged particle beam deflection |
EP1275750B1 (de) * | 2001-07-11 | 2009-07-01 | Carl Zeiss Vision GmbH | Bedampfungsanlage |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3393370A (en) * | 1965-08-04 | 1968-07-16 | Gen Electric | Multi-geometric pattern electric generator |
US3390222A (en) * | 1965-08-17 | 1968-06-25 | Air Reduction | Electron beam apparatus with variable orientation of transverse deflecting field |
US3491236A (en) * | 1967-09-28 | 1970-01-20 | Gen Electric | Electron beam fabrication of microelectronic circuit patterns |
US3543286A (en) * | 1969-04-25 | 1970-11-24 | Atomic Energy Commission | Multi-geometric pattern electric generator |
-
1969
- 1969-12-18 DE DE1963454A patent/DE1963454C3/de not_active Expired
-
1970
- 1970-12-11 US US97095A patent/US3674977A/en not_active Expired - Lifetime
- 1970-12-15 FR FR7045126A patent/FR2075018A5/fr not_active Expired
- 1970-12-16 GB GB5980270A patent/GB1337130A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2075018A5 (de) | 1971-10-08 |
DE1963454A1 (de) | 1971-09-16 |
DE1963454C3 (de) | 1973-12-06 |
US3674977A (en) | 1972-07-04 |
GB1337130A (en) | 1973-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2822484C3 (de) | Einrichtung zur elektrischen Leistungsmessung und -überwachung | |
DE3637026A1 (de) | Anordnung zur behebung der instabilitaet eines schrittmotors | |
DE102013201686A1 (de) | Verfahren und Schaltungsanordnung zur Wandlung eines Sinussignals in ein Rechtecksignal, sowie Verwendung hierfür | |
DE1963454C3 (de) | Generator für die Ansteuerung von Ablenkvorrichtungen in Elektronenstrahl geraten | |
EP2088672B1 (de) | Schaltung zum Einstellen einer Impedanz | |
EP0118396B1 (de) | Messverfahren für ein elektrisches Signal, serie-parallel-gegengekoppelter Messkreis sowie Verwendung des Verfahrens oder des Messkreises zur Messung von Spannungsquellen mit höchstohmigen Innenimpedanzen | |
DE3826551C2 (de) | Vorrichtung zur Leistungsfaktormessung | |
DE2444626A1 (de) | Vorrichtung zum erfassen des effektivwertes und/oder der leistung von elektrischen signalen | |
DE2834499C2 (de) | Schaltungsanordnung zum potentialfreien Messen von Strömen oder Spannungen | |
DE575122C (de) | Radio-Richtungssucher mit Phasenunterscheidungsmitteln | |
DE969358C (de) | Schwingungserzeuger zur Erzeugung von im wesentlichen saegezahnfoermigen elektrischen Schwingungen | |
DE709150C (de) | Einrichtung zur Bestimmung bzw. Anzeige der Abweichung eines Fahrzeuges, insbesondere eines Flugzeuges, vom Kurs, vorzugsweise fuer die Zwecke einer Kurssteuerung | |
DE3927833A1 (de) | Messschaltung und anwendung derselben, insbesondere mit induktiven weggebern | |
DE1289182B (de) | Wobbeleinrichtung mit voreinstellbarem Frequenzmarkengeber | |
DE3143669A1 (de) | Schaltung zum messen des effektivwertes einer wechselspannung | |
DE1103403B (de) | Generatorsystem zur Erzeugung einer vorzugsweise sinusfoermigen Wechselspannung mit in weiten Grenzen veraenderbarer Frequenz | |
DE3813013A1 (de) | Reizstromgeraet | |
DE690371C (de) | Vorrichtung zur Richtungsbestimmung elektrischer Wellen | |
DE2845013C2 (de) | Amplitudenstabilisierter Wechselspannungsgenerator | |
DE950565C (de) | Verfahren zur Gewinnung der hinsichtlich seiner Ohmschen Komponente richtigen Anpassung eines Widerstandes | |
EP0314947A1 (de) | Schaltung zur vergrösserungsunabhängigen Bildverschiebung in einem Korpuskularstrahlgerät | |
DE1303681B (de) | ||
DE740992C (de) | Kathodenstrahlroehre zur Erzeugung von kurzen oder ultrakurzen Schwingungen | |
DE1025516B (de) | Verfahren zur vorzeichenrichtigen Messung kleiner veraenderlicher Gleichspannungen | |
DE2332650C3 (de) | Generator zur Erzeugung von dynamischen Fokussiersignalen für Kathodenstrahlröhren |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |