DE19603107A1 - Selbst-Voralterungsschaltung für Halbleiterspeicher - Google Patents
Selbst-Voralterungsschaltung für HalbleiterspeicherInfo
- Publication number
- DE19603107A1 DE19603107A1 DE19603107A DE19603107A DE19603107A1 DE 19603107 A1 DE19603107 A1 DE 19603107A1 DE 19603107 A DE19603107 A DE 19603107A DE 19603107 A DE19603107 A DE 19603107A DE 19603107 A1 DE19603107 A1 DE 19603107A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- test
- aging
- address
- self
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
- G11C29/46—Test trigger logic
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/50—Marginal testing, e.g. race, voltage or current testing
Landscapes
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Dram (AREA)
- Static Random-Access Memory (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Selbst-Vor
alterungsschaltung für einen Halbleiterspeicher und beson
ders eine verbesserte Selbst-Voralterungsschaltung für ei
nen Halbleiterspeicher, die in der Lage ist, aus dem Inne
ren eines Bausteins ein Steuersignal, eine Adresse und ein
Testdatum für einen Voralterungstestbetrieb zu erzeugen,
wenn eine bestimmte Selbst-Voralterungstestbedingung er
füllt ist.
Wie Fachleuten bekannt ist, betrifft der Voralterungs
test einen Prozeß zum Testen eines Bausteins durch Anlegen
einer Spannung mit einem bestimmten Pegel, der höher als
der einer normalen Spannung ist, so daß ein anfänglicher
Fehler des Bausteins in verhältnismäßig kurzer Zeit geprüft
werden kann. Um jedoch die Verringerung der Zuverlässigkeit
des Produkts gemäß einer Feinheit des Bausteins zu verhin
dern und einen geringen Spannungsverbrauch zu implementie
ren, wird ein interner Leistungserzeuger bereitgestellt, so
daß das Bauelement des Bausteins mit einer Spannung betrie
ben werden kann, die niedriger als eine von außen zugeführ
te Spannung ist. Der interne Spannungserzeuger hat die Ei
genschaft, daß er in einem normalen Betriebsintervall unab
hängig von einer Veränderung einer von außen zugeführten
Spannung einen konstanten Spannungspegel aufrechterhält, um
so die Zuverlässigkeit des Bausteins und einen stabilen
Betrieb sicherzustellen. Deshalb sollte an die gesamten
Bauelemente des Bausteins eine bestimmte Spannung angelegt
werden, die höher als die des normalen Betriebs ist. Tritt
eine von außen zugeführte Spannung in ein Voralterungstest
intervall über das normale Betriebsintervall hinaus ein,
sollte der eine konstante Spannung aufrechterhaltende in
terne Spannungserzeuger eine zur Änderung der von außen
zugeführten Spannung proportionale Spannung erzeugen. Das
bedeutet, falls der Pegel der von außen zugeführten, an den
Baustein angelegten Spannung außerhalb des normalen Be
triebsintervalls ist und sich einer Startspannung für die
Voralterung nähert, detektiert die Voralterungsschaltung
den oben erwähnten Zustand und wandelt den Betriebszustand
des Bausteins zu einem Voralterungstestmodus. Falls zusätz
lich die von außen angelegte Spannung in den normalen Be
triebszustand gewandelt wird, wandelt die Voralterungs
schaltung den Betriebszustand des Bausteins zum normalen
Betriebsmodus.
Wie oben beschrieben, ist die herkömmliche Voralte
rungsschaltung zum Testen eines Voralterungstests darauf
gerichtet, einen Beginn des Voralterungsbetriebs zu detek
tieren, wenn eine von außen zugeführte Spannung bis zu ei
ner bestimmten Höhe angehoben wird, indem eine Voralte
rungs-Detektionseinheit bereitgestellt wird, und durch Emp
fangen eines Testdatums einen Zell-Alterungsprozeß durchzu
führen, um so den Betrieb der Zelle zur Auswahl eines Steu
ersignals und ein Zellenfeld von außerhalb des Systems zu
testen.
Die herkömmliche Voralterungsschaltung für einen
Voralterungstest hat jedoch Nachteile darin, daß die Test
platine in einem Zustand, in dem der Speicherbaustein mit
dem Voralterungstestgerät verbunden ist, durch die Leitun
gen zum Empfangen und Senden von Signalen kompliziert wird,
da ein Steuersignal, eine Adresse und ein vom Voralterungs
testgerät ausgegebenes Testdatum an den Baustein geliefert
werden, so daß die Anzahl der verfügbaren Bausteine be
grenzt ist und der Testprozeß kompliziert wird.
Es ist folglich ein Ziel der vorliegenden Erfindung,
eine Selbst-Voralterungsschaltung für einen Halbleiterspei
cher bereitzustellen, welche die bei einer herkömmlichen
Selbst-Voralterungsschaltung für einen Halbleiterspeicher
auftretenden Probleme überwindet.
Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung,
eine verbesserte Selbst-Voralterungsschaltung für einen
Halbleiterspeicher bereitzustellen, die in der Lage ist,
aus dem Inneren eines Bausteins ein Steuersignal, eine
Adresse und ein Testdatum für einen Voralterungstestbetrieb
zu erzeugen, wenn eine bestimmte Selbst-Voralterungstest
bedingung erfüllt ist.
Um die obigen Ziele zu erreichen, wird eine
Selbst-Voralterungsschaltung für einen Halbleiterspeicher bereit
gestellt, die einen Voralterungsdetektor zum Erzeugen eines
bestimmten Steuersignals, eines Adreßsignals und eines
Testdatums für einen Voralterungstestbetrieb, wenn eine
bestimmte Selbst-Voralterungstestbedingung erfüllt ist; und
ein Speicherfeld zum Durchführen eines Voralterungstestbe
triebs, wenn die Testdaten in eine/aus einer Speicherzelle
geschrieben/gelesen werden, die durch das Adreßsignal gemäß
dem Steuersignal ausgewählt wird, enthält.
Fig. 1 ist ein Blockdiagramm einer Selbst-Voralte
rungsschaltung für einen Halbleiterspeicher gemäß der vor
liegenden Erfindung.
Fig. 2 ist ein Flußdiagramm einer Arbeitsweise einer
Selbst-Voralterungsschaltung für einen Halbleiterspeicher
gemäß der vorliegenden Erfindung.
Fig. 3 ist eine Ansicht, die ein Adreß- und Testdaten
format von Fig. 1 gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 4A bis 4I sind Ansichten, die einen Zeitablauf
eines von jedem Element von Fig. 1 gemäß der vorliegenden
Erfindung ausgegebenen Signals zeigen.
Fig. 1 zeigt eine Selbst-Voralterungsschaltung für
einen Halbleiterspeicher gemäß der vorliegenden Erfindung,
die ein Speicherzellenfeld 10, einen Voralterungsdetektor
20 zum Ausgeben eines Steuersignals für den Selbst-Voralte
rungstest, einer Adresse und eines Testdatums, wenn ein
Modussignal für den Selbst-Voralterungstest TM, das einen
allgemeinen Voralterungstestbetrieb in einem Zustand an
zeigt, in dem die von außen zugeführte angelegte Spannung
auf eine bestimmte Höhe erhöht wird, nicht in diesen einge
geben wird, einen Steuersignalpuffer 30 zum Puffern eines
vom Voralterungsdetektor 20 ausgegebenen Steuersignals,
einen Adreßpuffer 40 zum Puffern einer vom Voralterungsde
tektor 20 ausgegebenen Adresse, einen Spaltendecoder 50 und
einen Zeilendecoder 60 zum Decodieren einer vom Adreßpuffer
gemäß einem vom Steuersignalpuffer 30 ausgegebenen Steuer
signal ausgegebenen Adresse und zum Auswählen einer Wort
leitung und einer Bitleitung des Speicherzellenfelds 10,
und einen Datenkomparator 70 zum Vergleichen der vom Spei
cherzellenfeld 10 ausgegebenen Daten mit den vom Voralte
rungsdetektor 20 ausgegebenen Daten enthält.
Der Voralterungsdetektor 20 enthält hier einen Voral
terungsdetektor 21 zum Ausgeben eines Selbst-Voralterungs
testsignals SBITM für den Voralterungstest, wenn ein Test
modussignal TM, das einen Voralterungstestbetrieb anzeigt,
in einem Zustand, in dem eine von außen zugeführte Spannung
auf eine bestimmte Höhe erhöht wird, nicht in diesen einge
geben wird, einen Impulsgenerator 22 zum Ausgeben eines
Taktsignals mit einem bestimmten Zyklus gemäß einem vom
Voralterungsdetektor 21 ausgegebenen Selbst-Voralterungs
testsignal, einen Steuersignalgenerator 23 zum Erzeugen
eines Zeilenadreßimpulses (RAS) und eines Spaltenadreßim
pulses (CAS) unter Verwendung eines Taktimpulses gemäß ei
nem Selbst-Voralterungstestsignal und zum Ausgeben von
Schreib/Lese-Freigabesignalen WE und OE unter Verwendung
einer Adresse eines Adreßzählers 24, einen Adreßzähler 24
zum Erzeugen einer Adresse unter Verwendung eines Taktim
pulses gemäß einem Selbst-Voralterungstestsignal und zum
Synchronisieren der so erzeugten Adresse mit den RAS und
CAS, und einen Datengenerator 25 zum Lesen eines Testdatums
aus der Adresse und zum Ausgeben des so gelesenen Datums an
den Datenkomparator 70 gemäß einem Selbst-Voralterungstest
signal.
Mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen werden nun
die Arbeitsweise und die Auswirkungen der Selbst-Voralte
rungsschaltung für einen Halbleiterspeicher der vorliegen
den Erfindung erläutert.
Wenn eine bestimmte Spannung an das System angelegt
wird, detektiert der Voralterungsdetektor 21, ob die Span
nung Vcc auf einen bestimmten Pegel erhöht wird. Der Voral
terungsdetektor 21 schließt auf einen Voralterungsmodus für
einen Voralterungstest, wenn der Pegel der Spannung Vcc auf
einen bestimmten Pegel erhöht wird und schließt andernfalls
auf einen normalen Betriebsmodus. Wenn der Voralterungsde
tektor 21 einen Voralterungsmodus detektiert, werden des
halb die zum Voraltern gehörenden Operationen ausgeführt
und andernfalls wird ein normaler Betriebsmodus ausgeführt.
Danach entscheidet der Voralterungsdetektor 21, ob von au
ßen ein Voralterungstest-Betriebsmodus zugeführt wird. Wenn
das Testmodussignal TM, das einen allgemeinen Voralterungs
testbetrieb anzeigt, von außen eingegeben wird, führt der
Voralterungsdetektor 21 einen bestimmten Prozeß wie beim
Stand der Technik durch und andernfalls erzeugt der Voral
terungsdetektor 21 ein Selbst-Voralterungstestsignal SBITM
für einen Selbst-Voralterungstestbetrieb.
Wenn der Voralterungsdetektor 21 ein Selbst-Voralte
rungstestsignal SBITM ausgibt, gibt der Impulsgenerator 22
in Zusammenarbeit mit einem Oszillator oder ähnlichem einen
Taktimpuls mit einem konstanten Zyklus aus. Danach wird der
Steuersignalgenerator 23 gemäß einem Selbst-Voralterungs
testsignal freigegeben und teilt den Taktimpuls in einen
bestimmten Zyklus und gibt ein Selbst-Voralterungstest-RAS
und -CAS an den Steuersignalpuffer 30 aus. Zusätzlich wird
der Adreßzähler 24 durch ein Selbst-Voralterungstestsignal
SBITM freigegeben und gibt gemäß einem daran angelegten
Taktimpuls eine M Bit Zeilenadresse und eine N Bit Spal
tenadresse aus. Die Formen der Zeilenadresse und der Spal
tenadresse bestehen wie in Fig. 3 gezeigt jeweils aus den M
und N Bits. An einem oberen Teil der M und N Bit Adresse
werden Schreib/Lese-Auswahlbits bereitgestellt, die eine
Trennung zwischen dem Schreibvorgang und dem Lesevorgang
angeben und das in eine bestimmte, gemäß M und N Bit Adres
sen ausgewählte Zelle geschriebene und aus dieser gelesene
Testdatum befindet sich in einem höchstwertigen Bit. Die so
geformte Adresse wird mit vom Steuersignalgenerator 23 aus
gegebenen RAS und CAS synchronisiert und an den Adreßpuffer
40 ausgegeben. Der Steuersignalgenerator 23 gibt zusätzlich
gemäß einem Schreib/Lese-Auswahlbit der Adresse ein Schrei
be-Freigabesignal WE und ein Lese-Freigabesignal OE an den
Steuersignalpuffer 30 aus.
Danach gibt der Steuersignalpuffer 30 die vom Steuer
signalgenerator 23 ausgegebenen RAS, CAS und das
Schreibe-Freigabesignal WE jeweils an den Spaltendecoder 50 und den
Zeilendecoder 60 aus und der Adreßpuffer 40 gibt die vom
Adreßzähler 24 ausgegebene Adresse und das Testdatum je
weils an den Spaltendecoder 50 und den Zeilendecoder 60
aus. Deshalb decodieren der Spaltendecoder 50 und der Zei
lendecoder 60 die Zeilenadresse und die Spaltenadresse ge
mäß einem Steuersignal und wählen eine entsprechende Zelle
des Speicherzellenfelds 10 aus und schreiben ein Testdatum
in die entsprechende Zelle. Wenn die Testdaten in die ent
sprechenden gesamten Zellen geschrieben sind, werden die so
geschriebenen Daten gemäß einer Steuerung des vom Steuersi
gnalgenerator 23 ausgegebenen Lese-Freigabesignals OE gele
sen und an den Datenkomparator 70 ausgegeben. Der Datenkom
parator 70 vergleicht die von den Zellen des Speicherzel
lenfelds 10 ausgegebenen Daten mit den vom Datengenerator
25 ausgegebenen Daten. Der Datengenerator 25 liest hier das
im MSB (höchstwertigen Bit) der Adresse enthaltene Testda
tum und gibt es an den Datenkomparator 70 aus. Als Ergebnis
des Vergleichs wird, wenn zwei Daten gleich sind, entschie
den, daß die entsprechende Zelle normal ist, und andern
falls wird entschieden, daß die entsprechende Zelle Fehler
hat und ein Fehlerflag wird ausgegeben. Deshalb werden in
der vorliegenden Erfindung RAS, CAS, das Schreibe-Freigabe
signal WE, das Lese-Freigabesignal OE und die Adresse, die
vom von außen angeschlossenen Testgerät angelegt werden,
durch den Voralterungsdetektor 20 erzeugt.
Fig. 4A bis 4I zeigen Zeitabläufe jedes zum
Selbst-Voralterungsbetrieb gehörenden Signals. Fig. 4A zeigt eine
an den Voralterungsdetektor 21 angelegte Spannung Vcc. Wenn
die Spannung Vcc wie darin gezeigt eine bestimmte Höhe
überschreitet, erkennt der Voralterungsdetektor 21, daß es
sich um einen Voralterungsmodus handelt. Zusätzlich prüft
der Voralterungsdetektor 21, ob von außen ein Testmodus
signal TM angelegt wird. Wenn das von außen angelegte Test
modussignal TM wie in Fig. 4B gezeigt auf dem Pegel low
ist, gibt der Voralterungsdetektor 21 wie in Fig. 4C ge
zeigt ein Selbst-Voralterungstestsignal SBITM aus. Deshalb
wird der Impulsgenerator 22 gemäß einem Selbst-Voralte
rungstestsignal SBITM freigegeben und erzeugt wie in Fig.
4D gezeigt einen bestimmten Taktimpuls. Zusätzlich wird der
Steuersignalgenerator 23 gemäß einem Selbst-Voralterungs
testsignal SBITM freigegeben und teilt den Taktimpuls in
einem bestimmten Verhältnis und gibt wie in Fig. 4E und 4F
gezeigt ein RAS-Signal SBIRASB und CAS-Signal SBICASB für
den Selbst-Voralterungstest aus. Der Adreßzähler 24 wird
gemäß einem Selbst-Voralterungstestsignal SBITM freigegeben
und teilt den Taktimpuls in einem bestimmten Verhältnis und
gibt wie in Fig. 4G gezeigt eine Adresse aus und die so
ausgegebene Adresse wird mit dem RAS SBIRASB und CAS SBICASB
für die Selbst-Voralterung synchronisiert und ausgege
ben. Zusätzlich ist die Adresse darauf gerichtet, der Reihe
nach die Zeilenadresse hinsichtlich einer Spaltenadresse zu
verändern und alle Zellen hinsichtlich der entsprechenden
Spaltenadresse werden ausgewählt. Wenn eine bestimmte Zelle
hinsichtlich einer Spaltenadresse ausgewählt ist, wird die
nächste Zelle hinsichtlich einer bestimmten Spaltenadresse
ausgewählt. Das bedeutet, mit dem oben erwähnten Verfahren
werden alle Zellen ausgewählt. Wenn die Testdaten SBIDin
hinsichtlich aller Zellen des Speicherzellenfelds 10 ge
schrieben sind, wird wie in Fig. 4H gezeigt ein Datenlese
vorgang hinsichtlich der so geschriebenen Daten ausgeführt.
Der Zeitpunkt, zu dem die Testdaten geschrieben/gelesen
werden wird bestimmt, wenn der Steuersignalgenerator 23 das
Schreib/Lese-Auswahlbit aus der vom Adreßzähler 24 ausgege
benen Adresse liest. Während die Testdaten in die/aus der
Moduszelle des Speicherzellenfelds 10 geschrieben/gelesen
werden, behalten die vom Datengenerator 25 ausgegebenen
Testdaten SBIDin die Datenform wie in Fig. 4I gezeigt, da
die oben erwähnten geschriebenen Testdaten bei einem Lese
zyklus gelesen werden und da die anfänglichen Testdaten
verglichen werden. Nachdem die Testdaten SBIDin in alle/aus
allen Zellen geschrieben/gelesen sind, wird zusätzlich der
Wert des Datenbits der Adresse zwischen null und eins (1)
variiert. Beim nächsten Voralterungsvorgang werden der vor
herige Wert und das invertierte Datum mit dem oben erwähn
ten Verfahren geschrieben und gelesen.
Wie oben beschrieben, ist die Selbst-Voralterungs
schaltung für einen Halbleiterspeicher gemäß der vorliegen
den Erfindung darauf gerichtet, einen anwendungsspezifi
schen Speicher (ASM) effektiv an einen Voralterungstestbe
trieb anzupassen, so daß der Selbst-Voralterungstest von
selbst durchgeführt wird, falls eine von außen zugeführte
Spannung einen bestimmten Pegel übersteigt und der Voralte
rungstestbetrieb wird nicht zwingend durchgeführt. Da zu
sätzlich verschiedene Steuersignale, die für den allgemei
nen Voralterungstestprozeß nötig sind, im Baustein erzeugt
werden, ist es möglich, die Zeit für den Voralterungstest
im allgemeinen Voralterungstestbetrieb, der zwingend durch
geführt wird, zu verringern. Zusätzlich ist es möglich, die
Anzahl von Bausteinen zu erhöhen, die zu einem Zeitpunkt
getestet werden.
Obwohl die bevorzugten Ausführungsformen der vorlie
genden Erfindung zum Zweck der Darstellung beschrieben wur
den, werden Fachleute erkennen, daß verschiedene Modifika
tionen, Zusätze und Ersetzungen möglich sind, ohne vom Be
reich und vom Geist der Erfindung abzuweichen, wie sie in
den beigefügten Patentansprüchen beschrieben ist.
Claims (9)
1. Eine Selbst-Voralterungsschaltung für einen Halb
leiterspeicher die folgendes umfaßt:
einen Voralterungsdetektor (20) zum Erzeugen eines be stimmten Steuersignals, eines Adreßsignals und eines Test datums, für einen Voralterungstestbetrieb, wenn eine be stimmte Selbst-Voralterungstestbedingung erreicht wird; und
ein Speicherfeld (10) zum Durchführen eines Voralte rungstestbetriebs, wenn das Testdatum in eine/aus einer Speicherzelle geschrieben/gelesen werden, die durch das Adreßsignal gemäß dem Steuersignal ausgewählt wird.
einen Voralterungsdetektor (20) zum Erzeugen eines be stimmten Steuersignals, eines Adreßsignals und eines Test datums, für einen Voralterungstestbetrieb, wenn eine be stimmte Selbst-Voralterungstestbedingung erreicht wird; und
ein Speicherfeld (10) zum Durchführen eines Voralte rungstestbetriebs, wenn das Testdatum in eine/aus einer Speicherzelle geschrieben/gelesen werden, die durch das Adreßsignal gemäß dem Steuersignal ausgewählt wird.
2. Die Schaltung von Anspruch 1, bei der die
Selbst-Voralterungsschaltung weiter einen Datenkomparator (70) zum
Vergleichen eines aus dem Speicherzellenfeld (10) gelesenen
Testdatums mit einem vom Voralterungsdetektor (20) ausgegebe
nen Testdatum enthält.
3. Die Schaltung von Anspruch 2, bei welcher der
Voralterungsdetektor (20) folgendes enthält:
einen weiteren Voralterungsdetektor (21) zum Erzeugen eines Selbst-Voralterungstestsignals, wenn eine bestimmte Selbst-Voralterungstestbedingung erfüllt ist; und
einen Impulsgenerator (22) zum Erzeugen eines Taktimpul ses gemäß einem daran angelegten Selbst-Voralterungstest signal;
einen Adreßzähler (24) zum Erzeugen einer Adresse unter Verwendung eines Taktimpulses gemäß einem daran angelegten Selbst-Voralterungstestsignal;
einen Steuersignalgenerator (23) zum Erzeugen von RAS, CAS, Schreibe-Freigabesignal und Lese-Freigabesignal unter Verwendung eines Taktimpulses und einer Adresse gemäß einem daran angelegten Selbst-Voralterungstestsignal; und
einen Datengenerator (25) zum Lesen eines Testdatums aus der Adresse und zum Ausgeben des so gelesenen Datums an den Datenkomparator (70) gemäß einem daran angelegten Selbst-Voralterungstestsignal.
einen weiteren Voralterungsdetektor (21) zum Erzeugen eines Selbst-Voralterungstestsignals, wenn eine bestimmte Selbst-Voralterungstestbedingung erfüllt ist; und
einen Impulsgenerator (22) zum Erzeugen eines Taktimpul ses gemäß einem daran angelegten Selbst-Voralterungstest signal;
einen Adreßzähler (24) zum Erzeugen einer Adresse unter Verwendung eines Taktimpulses gemäß einem daran angelegten Selbst-Voralterungstestsignal;
einen Steuersignalgenerator (23) zum Erzeugen von RAS, CAS, Schreibe-Freigabesignal und Lese-Freigabesignal unter Verwendung eines Taktimpulses und einer Adresse gemäß einem daran angelegten Selbst-Voralterungstestsignal; und
einen Datengenerator (25) zum Lesen eines Testdatums aus der Adresse und zum Ausgeben des so gelesenen Datums an den Datenkomparator (70) gemäß einem daran angelegten Selbst-Voralterungstestsignal.
4. Die Schaltung von Anspruch 3, bei der die
Selbst-Voralterungstestbedingung eine Bedingung darstellt, bei der
eine von außen angelegte Spannung einen bestimmten Pegel
übersteigt und ein Testmodussignal, das einen normalen
Voralterungstestbetrieb angibt, nicht daran angelegt ist.
5. Die Schaltung von Anspruch 4, bei der ein norma
ler Voralterungstestbetrieb durchgeführt wird, wenn das
Testmodussignal eingegeben wird.
6. Die Schaltung von Anspruch 3, bei der ein höchst
wertiges Bit und das nächste Bit der Adresse jeweils aus
einem Testdatum und einem Schreibe/Lese-Auswahlbit beste
hen.
7. Die Schaltung von Anspruch 6, bei der das
Schreib/Lese-Auswahlbit darauf gerichtet ist, einen Zeit
punkt zu bestimmen, zu dem ein Testdatum in das und aus dem
Speicherzellenfeld (10) geschrieben und gelesen wird.
8. Die Schaltung von Anspruch 6, bei der, wenn Test
daten wiederholt in das/aus dem Speicherzellenfeld (10) ge
schrieben/gelesen werden, das Testdatum, das gerade ge
schrieben und gelesen wird, der invertierte Wert des vorhe
rigen Werts ist.
9. Die Schaltung von Anspruch 3, bei der die Adresse
gemäß dem RAS und CAS freigegeben und ausgegeben wird.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR56430/95 | 1995-12-26 | ||
KR1019950056430A KR100214466B1 (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 반도체 메모리의 셀프 번인회로 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19603107A1 true DE19603107A1 (de) | 1997-07-03 |
DE19603107B4 DE19603107B4 (de) | 2013-01-31 |
Family
ID=19444345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19603107A Expired - Fee Related DE19603107B4 (de) | 1995-12-26 | 1996-01-29 | Selbst-Voralterungsschaltung für Halbleiterspeicher |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6473346B1 (de) |
JP (1) | JP2938797B2 (de) |
KR (1) | KR100214466B1 (de) |
DE (1) | DE19603107B4 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1136833A1 (de) * | 2000-03-23 | 2001-09-26 | Infineon Technologies AG | Verfahren zur Durchführung eines Burn-in-Prozesses zum elektrischen Stressen eines Halbleiterspeichers |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998054727A2 (en) * | 1997-05-30 | 1998-12-03 | Micron Technology, Inc. | 256 Meg DYNAMIC RANDOM ACCESS MEMORY |
KR100510480B1 (ko) * | 1999-02-25 | 2005-08-26 | 삼성전자주식회사 | 번-인 모드 데이터 기입회로 |
DE10129625A1 (de) * | 2001-06-20 | 2003-01-02 | Infineon Technologies Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Testen einer Einrichtung zum Speichern von Daten |
KR100406555B1 (ko) * | 2001-06-29 | 2003-11-20 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 메모리 장치 및 그 테스트 방법 |
US6910162B2 (en) * | 2003-05-12 | 2005-06-21 | Kingston Technology Corp. | Memory-module burn-in system with removable pattern-generator boards separated from heat chamber by backplane |
KR100753050B1 (ko) * | 2005-09-29 | 2007-08-30 | 주식회사 하이닉스반도체 | 테스트장치 |
KR100873613B1 (ko) * | 2006-11-14 | 2008-12-12 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 메모리 장치의 전압 생성 회로 및 방법 |
KR100864624B1 (ko) * | 2007-03-31 | 2008-10-22 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 메모리 소자 |
CN109346119B (zh) * | 2018-08-30 | 2021-07-23 | 武汉精鸿电子技术有限公司 | 一种半导体存储器老化测试核心板 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5375091A (en) * | 1993-12-08 | 1994-12-20 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for memory dynamic burn-in and test |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63184989A (ja) * | 1987-01-28 | 1988-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH02276090A (ja) * | 1989-04-17 | 1990-11-09 | Nec Corp | 半導体メモリ集積回路 |
JPH033200A (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-09 | Nec Corp | 半導体記憶装置 |
JP2830269B2 (ja) * | 1990-01-12 | 1998-12-02 | ソニー株式会社 | ディスク装置 |
KR950004858B1 (ko) * | 1992-03-17 | 1995-05-15 | 삼성전자 주식회사 | 내부전원전압 발생회로 |
KR950008453B1 (ko) * | 1992-03-31 | 1995-07-31 | 삼성전자주식회사 | 내부전원전압 발생회로 |
JP2557594B2 (ja) * | 1992-04-16 | 1996-11-27 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
KR960005387Y1 (ko) * | 1992-09-24 | 1996-06-28 | 문정환 | 반도체 메모리의 번 인 테스트(Burn-In Test) 장치 |
KR970010658B1 (ko) * | 1993-11-26 | 1997-06-30 | 삼성전자 주식회사 | 번-인회로를 가지는 반도체메모리장치 및 그 번-인방법 |
-
1995
- 1995-12-26 KR KR1019950056430A patent/KR100214466B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1996
- 1996-01-19 US US08/587,746 patent/US6473346B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-01-25 JP JP8011145A patent/JP2938797B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-01-29 DE DE19603107A patent/DE19603107B4/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5375091A (en) * | 1993-12-08 | 1994-12-20 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for memory dynamic burn-in and test |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1136833A1 (de) * | 2000-03-23 | 2001-09-26 | Infineon Technologies AG | Verfahren zur Durchführung eines Burn-in-Prozesses zum elektrischen Stressen eines Halbleiterspeichers |
US6445630B2 (en) | 2000-03-23 | 2002-09-03 | Infineon Technologies Ag | Method for carrying out a burn-in process for electrically stressing a semiconductor memory |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100214466B1 (ko) | 1999-08-02 |
JP2938797B2 (ja) | 1999-08-25 |
DE19603107B4 (de) | 2013-01-31 |
KR970051423A (ko) | 1997-07-29 |
JPH09219099A (ja) | 1997-08-19 |
US6473346B1 (en) | 2002-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69124170T2 (de) | Automatisches Prüfausrüstungssystem, das eine Stiftscheibenarchitektur verwendet | |
KR100432791B1 (ko) | 메모리 시험방법 및 메모리 시험장치 | |
US4965799A (en) | Method and apparatus for testing integrated circuit memories | |
EP0287303B1 (de) | Abfrageprüfgerät für digitale Systeme mit dynamischem Direktzugriffspeicher | |
EP0077736B1 (de) | Verfahren und Gerät zur Testvektorindizierung | |
DE3587223T2 (de) | Unabhängige Matrixtaktierung. | |
DE10321913A1 (de) | System-in-package-Halbleitervorrichtung | |
GB1356324A (en) | Electronic circuit tester | |
US20070255982A1 (en) | Memory device testing system and method having real time redundancy repair analysis | |
DE19540621A1 (de) | Funktionsprüfgerät für integrierte Schaltungen | |
DE19603107A1 (de) | Selbst-Voralterungsschaltung für Halbleiterspeicher | |
US4837521A (en) | Delay line control system for automatic test equipment | |
US6252811B1 (en) | Method and apparatus for testing memory devices | |
DE10062081A1 (de) | Integrierte Halbleiterschaltung und Verfahren zum Testen der integrierten Halbleiterschaltung | |
EP0019150B1 (de) | Verfahren und Schaltung zum Prüfen der Arbeitsweise eines internen Regenerierungszählers in einem Speicher mit wahlfreiem Zugriff | |
EP0220577B1 (de) | Speicherzellenanordnung | |
JP2583055B2 (ja) | Icテストシステム | |
KR100776855B1 (ko) | Bist 기능을 가진 모듈에서 규정된 펄스 길이를 가진 신호 펄스를 발생시키기 위한 장치 | |
DE10031528A1 (de) | Mustergenerator und Prüfvorrichtung für elektrische Teile | |
JP2000156098A (ja) | メモリセルフテスト装置及びこのメモリセルフテスト装置を内蔵した半導体集積回路 | |
SU1024924A1 (ru) | Устройство дл контрол логических узлов | |
KR920009060B1 (ko) | 메모리 시험장치 | |
JPS5938679B2 (ja) | Ic試験装置 | |
JP2761539B2 (ja) | 機能素子試験装置 | |
JP2651178B2 (ja) | Icカード試験装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20130501 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20140801 |