DE10031528A1 - Mustergenerator und Prüfvorrichtung für elektrische Teile - Google Patents

Abstract

Ein Mustergenerator (12), welcher ein Prüfmuster erzeugt, das zum Prüfen eines elektrischen Teils verwendet wird, enthält: einen Musterspeicher (52), welcher Prüfmusterinformationen speichert, die das Prüfmuster definieren; einen Vektorspeicher (30), welcher einen Vektorbefehl speichert, der eine Reihenfolge für das Auslesen der Prüfmusterinformationen aus dem Musterspeicher anzeigt; eine Adressenerweiterungseinheit (34), welche eine Adresse der Prüfmusterinformationen in dem Musterspeicher entsprechend dem in dem Vektorspeicher gespeicherten Vektorbefehl erzeugt; einen Unterbrechungsmusterspeicher (52), welcher Unterbrechungsprüfmuster-Informationen speichert, die das Prüfmuster während eines vorbestimmten Unterbrechungsprozesses definieren; einen Unterbrechungsvektorspeicher (40), welcher von dem Vektorspeicher verschieden ist und der einen Unterbrechungsvektorbefehl speichert, der eine Reihenfolge zum Auslesen der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen aus dem Unterbrechungsmusterspeicher anzeigt; eine Unterbrechungsadressen-Erweiterungseinheit (44), welche eine Adresse der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen entsprechend dem in dem Unterbrechungsvektorspeicher gespeicherten Unterbrechungsvektorbefehl erzeugt; und eine Mustererzeugungseinheit (38, 50), welche das Prüfmuster auf der Grundlage der Prüfmusterinformationen entsprechend der durch die Adressenerweiterungseinheit erzeugten Adresse oder der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen entsprechend der von der ...

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG 1. Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Mu­ stergenerator und eine Prüfvorrichtung für elektri­ sche Teile, welche ein Prüfmuster erzeugt, das zum Prüfen eines elektrischen Teils verwendet wird.

• 1. Beschreibung des Standes der Technik

Herkömmlicherweise weist eine Prüfvorrichtung für elektrische Teile, die zum Prüfen eines elektrischen Teils wie eines Halbleiterspeichers verwendet wird, einen Mustergenerator auf, der ein Prüfmuster er­ zeugt, welches zum Prüfen eines elektrischen Teils verwendet wird.

Fig. 1 zeigt eine Konfiguration eines herkömmlichen Mustergenerators. Ein Mustergenerator 100 erzeugt ein Prüfmuster für einen dynamischen Speicher mit wahl­ freiem Zugriff (DRAM), welcher ein Beispiel für ein elektrisches Teil ist.

Ein Mustergenerator 100 hat einen Vektorspeicher 102, eine Lesesteuervorrichtung 103, einen Vektor­ cachespeicher 104, eine Adressenerweiterungseinheit 106, eine Adressenbezeichnungseinheit (AP) 108, einen Zeitgeber 110, eine Unterbrechungs-Steuervorrichtung 112, eine Auffrischungsadressen-Bezeichnungseinheit (SPI) 114, eine Multiplexschaltung (MUX) 116 und eine Mustererzeugungseinheit 118. Ein Zeitgeber 110 er­ zeugt eine Unterbrechungsanforderung für jedes vorbe­ stimmte Zeitintervall. Die Unterbrechungs- Steuervorrichtung 112 setzt ein Wiederauffrischungs- Zyklussignal (REF-Zyklus) auf "1" und gibt es zu ei­ ner Adressenerweiterungseinheit 106 und ein Multi­ plexschaltung 116 aus, bei Empfang der Unterbre­ chungsanforderung von dem Zeitgeber 110.

Der Vektorspeicher 102 wird durch einen statischen Großspeicher mit wahlfreiem Zugriff, SRAM, gebildet und speichert einen Vektorbefehl (Folgebefehl), der eine Reihenfolge zum Auslesen eines Steuerbefehls de­ finiert, welcher ein zu erzeugendes Prüfmuster defi­ niert.

Die Lesesteuervorrichtung 103 nimmt einen Teil des Vektorbefehls von dem Vektorspeicher 103 auf und gibt den aufgenommenen Vektorbefehl zu dem Vektor­ cachespeicher 104 aus. Der Vektorcachespeicher 104 wir durch einen kleinen Speicher mit hoher Geschwin­ digkeit (SRAM) gebildet und speichert einen von der Lesesteuervorrichtung 103 eingegebenen Vektorbefehl. Weiterhin gibt der Vektorcachespeicher 104 den Vek­ torbefehl zu der Adressenerweiterungseinheit 106 aus auf der Grundlage der Adresse, welche von der Adres­ senbezeichnungseinheit 108 eingegeben wird.

Die Adressenerweiterungseinheit 106 erzeugt eine Adresse durch Interpretieren des von dem Vektor­ cachespeicher 104 eingegebenen Vektorbefehls und gibt die erzeugte Adresse zu der Adressenbezeichnungsein­ heit 108 aus. Darüber hinaus unterbricht die Adres­ senerweiterungseinheit 106 die Erzeugung der Adresse, wenn das Wiederauffrischungs-Zyklussignal, welches auf "1" gesetzt ist, von der Unterbrechungs- Steuervorrichtung 112 eingegeben wird. Die Adressener­ weiterungseinheit 106 beginnt wieder mit der Erzeu­ gung der Adresse, wenn das Wiederauffrischungs- Zyklussignal, welches auf "0" gesetzt ist, von der Unterbrechungs-Steuervorrichtung 112 eingegeben wird. Die Adressenbezeichnungseinheit 108 speichert die von der Adressenerweiterungseinheit 106 eingegebene Adresse und gibt diese aus.

Die Wiederauffrischungsadressen-Bezeichnungseinheit 114 speichert eine Adresse und gibt diese aus, welche dem Steuerbefehl zur Wiederauffrischung eines elek­ trischen Teils entspricht. Die Multiplexschaltung 116 wählt entweder die von der Unterbrechungs- Steuervorrichtung 112 eingegebene Adresse oder die von der Wiederauffrischungsadressen- Bezeichnungseinheit 114 eingegebene Adresse aus auf der Grundlage des von der Unterbrechungs- Steuervorrichtung 112 eingegebenen Wiederauffri­ schungs-Zyklussignals. Die von der Wiederauffri­ schungsadressen-Bezeichnungseinheit 114 eingegebene Adresse wird ausgewählt, wenn das Wiederauffri­ schungs-Zyklussignal gleich "1" ist, und die von der Adressenbezeichnungseinheit 108 eingegebene Adresse wird ausgewählt, wenn das Wiederauffrischungs- Zyklussignal gleich "0" ist.

Die Mustererzeugungseinheit 118 umfaßt einen Steuer­ befehlsspeicher 120, einen Musteroperator 122, einen Widerstand XB, einen Widerstand YB und einen Wider­ stand RF. Der Steuerbefehlsspeicher 120 speichert ei­ nen Steuerbefehl, welcher ein Prüfmuster erzeugt, und gibt den Steuerbefehl entsprechend der Adresse, wel­ che von der Multiplexschaltung 116 eingegeben ist, zu dem Musteroperator 122 aus. Der Widerstand XB spei­ chert einen als eine Spaltenadresse eines DRAM vorge­ sehenen Wert, welcher ein zu prüfender Gegenstand ist. Der Widerstand YB speichert einen Wert, der als eine Reihenadresse des DRAM vorgesehen ist, und der Widerstand RF speichert eine Reihenadresse zum Wie­ derauffrischen des DRAM. Der Musteroperator 122 er­ zeugt ein Prüfmuster auf der Grundlage des Steuerbe­ fehls, der von dem Steuerbefehlsspeicher 120 ausgege­ ben ist. Ein Beispiel von Prüfmustern enthält ein Adressensignal, ein Reihenadressen-Abtastsignal (RAS), ein Spaltenadressen-Abtastsignal (CAS), ein Datensignal und ein Schreibfreigabesignal (/WE: worin "/" Umkehrlogik bedeutet).

Fig. 2 zeigt verschiedene Arten von in dem herkömmli­ chen Mustergenerator gespeicherten Informationen. Fig. 2(A) zeigt eine in der Wiederauffrischungsadres­ sen-Bezeichnungseinheit 114 gespeicherte Adresse. Die Wiederauffrischungsadressen-Bezeichnungseinheit 114 speichert "#300" als eine Adresse entsprechend dem Wiederauffrischungs-Steuerbefehl. Fig. 2(B) zeigt ei­ nen in dem Vektorspeicher 102 gespeicherten Folgebe­ fehl. In Fig. 2(B) ist "NOP" ein Befehl, welcher den gegenwärtigen Adressenwert ausgibt und den Adressen­ wert auf den nächsten Wert fortschreibt, d. h. "1" zu dem gegenwärtigen Adressenwert addiert. "JNI STO" ist ein Befehl, der den gegenwärtigen Adressenwert aus­ gibt und den Befehl der Adresse ausführt, welcher ei­ ne Kennzeichnung STO zugewiesen ist.

Fig. 2(C) zeigt einen Teil eines Steuerbefehls, der in dem Steuerbefehlsspeicher 118 gespeichert ist. In Fig. 2(C) ist "XB < 0" ein Befehl, der den Wert des Widerstand XB in dem nächsten Zyklus auf "0" setzt. "XB < XB+1" ist ein Befehl, welcher in dem nächsten Zyklus "1" zu dem Wert des Widerstands XB addiert "YB < 0" ist ein Befehl, der den Wert des Widerstand YB in dem nächsten Zyklus auf "0" setzt. "YB < YB + 1" ist ein Befehl, welcher in dem nächsten Zyklus "1" zu dem Wert des Widerstands YB addiert. "RD < RF + 1" ist ein Befehl, welcher in dem nächsten Zyklus "1" zu dem Wert des Widerstands RF addiert.

"PAGE-IN" ist ein Befehl, welcher ein Signal zu dem DRAM zur Eingabe einer Reihenadresse und einer Spal­ tenadresse ausgibt, welches den Datenschreibvorgang oder Datenlesevorgang ausführt. Beispielsweise ist "PAGE-IN" ein Befehl, der den Wert des Widerstands YB als ein Adressensignal ausgibt und ein RAS-Signal ausgibt, welches auf "NIEDRIG" gesetzt ist, und der auch den Wert des Widerstands XB als ein Adressensi­ gnal ausgibt und das CAS-Signal ausgibt, welches auf einen negativen Impuls gesetzt ist. "PAGE" ist ein Befehl, der das Signal zu dem DRAM ausgibt zur Ände­ rung einer Spaltenadresse, welcher den Daten­ schreibvorgang oder Datenlesevorgang ausführt. Bei­ spielsweise ist "PAGE" ein Befehl, der den Wert des Widerstands als ein Adressensignal ausgibt und das CAS-Signal ausgibt, welches auf einen negativen Im­ puls gesetzt ist.

"PAGE-OUT" ist ein Befehl, der ein Signal zu dem DRAM ausgibt für die Beendigung des Datenlesevorgangs oder Datenschreibvorgangs. Beispielsweise ist "PAGE-OUT" ein Befehl, der den Wert des Widerstands XB als ein Adressensignal ausgibt und ein CAS-Signal ausgibt, das auf einen negativen Impuls gesetzt ist, und auch das RAS-Signal ausgibt, welches auf "HOCH" gesetzt ist. Durch Setzen des RAS-Signals auf "HOCH" wird der DRAM vorgeladen. D. h. die Verdrahtungskapazität des DRAM wird geladen. "REFRESH" ist ein Befehl, welcher ein Signal zum Ausführen des Wiederauffrischungsvor­ gangs bei dem DRAM ausgibt. Beispielsweise ist "RE- FRESH" ein Befehl, der den Wert des Widerstands RF als ein Adressensignal ausgibt und ein RAS-Signal ausgibt, welches auf "NIEDRIG" gesetzt ist.

Fig. 3 zeigt eine Operation des herkömmlichen Muster­ generators. Fig. 3 zeigt eine Operation des Musterge­ nerators 100, wenn die mehreren in Fig. 2 gezeigten Arten von Informationen in dem Mustergenerator ge­ speichert sind. Fig. 3(A) zeigt einen Wert einer von der Adressenbezeichnungseinheit 108 ausgegebenen Adresse, einen Wert der von der Multiplexschaltung 116 ausgegebenen Adresse PC, den Wert des Widerstands XB, den Wert des Widerstands YB, den Wert des Wider­ stands RF, den Wert des Wiederauffrischungszyklus (REF-Zyklus), die Operation des Widerstands, welcher die zu dem DRAM ausgegebene Adresse liefert, und die Operation des DRAM für jeden Zyklus während der Ope­ ration des Mustergenerators. Fig. 3(B) zeigt ein Si­ gnal, welches zu dem DRAM von dem Mustergenerator ausgegeben wird, vom Zyklus 6 bis zum Zyklus 11.

In dem Zyklus 1 holt die Adressenerweiterungseinheit 106 "NOP" aus dem Vektorcachespeicher 104 heraus, weist die Adressenbezeichnungseinheit 108 an, den ge­ genwärtigen Adressenwert "#0" auszugeben, und setzt den Adressenwert auf "#1". Hier wird das Wiederauf­ frischungs-Zyklussignal "#0" von der Unterbrechungs- Steuervorrichtung 112 ausgegeben. Die Multiplexschal­ tung 116 gibt "#0" aus, welche von der Adressenbe­ zeichnungseinheit 108 ausgegeben ist, als eine Adres­ se PC zu der Mustererzeugungseinheit 118, da das Wie­ derauffrischungs-Zyklussignal gleich "0" ist. Hier­ durch wird der Befehl "XB < 0", "YB < 0" von dem Steuerbefehlsspeicher 120 zu dem Musteroperator 122 ausgegeben. Daher setzt der Musteroperator 122 die Werte des Widerstands XB und des Widerstands YB auf "0" in dem nächsten Zyklus.

In dem Zyklus 2 holt die Adressenerweiterungseinheit 106 "NOP" aus dem Vektorcachespeicher 104 heraus, weist die Adressenbezeichnungseinheit 108 an, den ge­ genwärtigen Adressenwert "#1" auszugeben, und setzt den Adressenwert auf "#2". Hier wird das Wiederauf­ frischungs-Zyklussignal von "0" von der Unterbre­ chungs-Steuervorrichtung 112 ausgegeben. Die Multi­ plexschaltung 116 gibt "#1" aus, welche von der Adressenbezeichnungseinheit 108 als eine Adresse PC ausgegeben wird, zu der Mustererzeugungseinheit 118 aus, da das Wiederauffrischungs-Zyklussignal gleich "0" ist. Hierdurch wird der Befehl "XB < XB + 1", "PAGE-IN" von dem Steuerbefehlsspeicher 120 zu dem Musteroperator 122 ausgegeben.

Der Musteroperator 122 gibt den Wert des Widerstands YB als ein Adressensignal und das RAS-Signal, welches auf "NIEDRIG" gesetzt ist, aus, und gibt dann den Wert des Widerstands XB als ein Adressensignal und das CAS-Signal, welches auf einen negativen Impuls gesetzt ist, aus. Der DRAM führt hierdurch die PAGE- IN-Operation durch. Darüber hinaus addiert der Mu­ steroperator 122 "1" zu dem Wert des Widerstands XB in dem nächsten Zyklus. Dieselben Operationen, welche vorstehend gezeigt sind, werden von dem Zyklus 3 bis zum Zyklus 9 ausgeführt.

Z. B. gibt, wie in Fig. 3(B) gezeigt ist, im Zyklus 6 der Musteroperator 122 den Wert des Widerstands YB als ein Adressensignal aus, und gibt das RAS-Signal aus, welches auf "NIEDRIG" gesetzt ist. Der Muster­ operator 122 gibt dann den Wert des Widerstands XB als ein Adressensignal aus und gibt das CAS-Signal aus, welches auf einen negativen Impuls gesetzt ist. Der DRAM führt hierdurch die PAGE-IN-Operation durch, d. h. den Schreiprozeß oder den Leseprozeß der Spei­ cherzelle entsprechend der Spalte des Wertes des Wi­ derstands XB und der Reihe des Wertes des Widerstands YB.

Wie in Fig. 3(B) gezeigt ist, gibt im Zyklus 7 der Musteroperator 122 den Wert des Widerstands XB als ein Adressensignal aus und gibt das CAS-Signal aus, welches auf einen negativen Impuls gesetzt ist. Der DRAM führt hierdurch die PAGE-Operation durch, d. h. den Schreibvorgang oder den Lesevorgang der Speicher­ zelle entsprechend der Spalte des Wertes des Wider­ stands XB und der Reihe des Wertes des Widerstands YB, welcher in dem Zyklus 6 eingegeben ist. Der Zy­ klus 8 führt auch dieselbe Operation durch, wie vor­ stehend beschrieben ist.

In dem Zyklus 9 gibt der Musteroperator 122 den Wert des Widerstands XB als ein Adressensignal, das CAS- Signal, welches auf einen negativen Impuls gesetzt ist, und dann das RAS-Signal, welches auf "HOCH" ge­ setzt ist, aus. Der DRAM führt hierdurch die PAGE- OUT-Operation durch, d. h. den Schreibvorgang oder den Lesevorgang der Speicherzelle entsprechend der Spalte des Wertes des Widerstands XB und der Reihe des Wer­ tes des Widerstands YB, welcher in dem Zyklus 6 ein­ gegeben ist. Der DRAM wird hierdurch vorgeladen.

Wenn hier der Zeitgeber 110 den Ablauf der vorbe­ stimmten Zeit im Zyklus 9 erfaßt, wird die Zeit zum Durchführen des Wiederauffrischungsvorgangs ange­ zeigt, und daher gibt der Zeitgeber 110 die Unterbre­ chungsanforderung zu der Unterbrechungs- Steuervorrichtung 112 aus. Die Unterbrechungs- Steuervorrichtung 112 setzt das Wiederauffrischungs- Zyklussignal auf "1" und gibt das Wiederauffri­ schungs-Zyklussignal in dem nächsten Zyklus 10 zu der Adressenerweiterungseinheit 106 und der Multiplex­ schaltung 116 aus.

Im Zyklus 10 bewirkt, da das Wiederauffrischungs- Zyklussignal gleich "1" ist, die Adressenerweite­ rungseinheit 106, daß die Adressenbezeichnungseinheit 108 den gegenwärtigen Adressenwert hält und die Er­ zeugung einer durch den Vektorbefehl erzeugten Adres­ se anhält. Weiterhin gibt, da das Wiederauffri­ schungs-Zyklussignal gleich "1" ist, die Multiplex­ schaltung 116 die Adresse "#300" aus, welche von der Wiederauffrischungsadressen-Bezeichnungseinheit (SPI) 114 ausgegeben ist, als eine Adresse PC zu der Mu­ stererzeugungseinheit 118 aus.

Hierdurch gibt der Steuerbefehlsspeicher 120 "RF < RF + 1" und "REFRESH" in den Musteroperator 122 ein. Zu­ sätzlich gibt, wie in Fig. 3 gezeigt ist, der Muster­ operator 122 den Wert des Widerstands RF als ein Adressensignal aus, und gibt das RAS-Signal aus, wel­ ches auf "NIEDRIG" gesetzt ist. Als eine Folge führt der DRAM den REFRESH-Vorgang aus, d. h. das Wiederauf­ frischen des Reihenwertes des Widerstands RF. Weiter­ hin ändert die Unterbrechungs-Steuervorrichtung 112 die Reihenadresse, welche in dem nächsten Zyklus wie­ der aufzufrischen ist, durch Addieren von "1" zu dem Wert des Widerstands RF im nächsten Zyklus 11.

Im Zyklus 11 setzt die Unterbrechungs- Steuervorrichtung 112 das Wiederauffrischungs- Zyklussignal auf "0" und gibt das Wiederauffri­ schungs-Zyklussignal zu der Adressenerweiterungsein­ heit 116 und der Multiplexschaltung 116 aus. Die Adressenerweiterungseinheit 106 beginnt hierdurch wieder mit der Erzeugung der Adresse durch den Vek­ torbefehl. Darüber hinaus gibt die Multiplexschaltung 116 die Adresse, welche von der Adressenbezeichnungs­ einheit 108 ausgegeben ist, als eine Adresse PC zu der Mustererzeugungseinheit 118 aus. Dann liefert der Steuerbefehlsspeicher 120 zu dem Musteroperator 122 den Steuerbefehl entsprechen der Adresse, der von der Multiplexschaltung 116 geliefert wurde. Der Muster­ operator 122 erzeugt das Prüfmuster entsprechend dem Steuerbefehl. Die folgenden Zyklen werden wie vorste­ hend beschrieben ausgeführt.

Die herkömmliche Prüfvorrichtung für elektrische Tei­ le kann eine vorbestimmte Prüfung eines elektrischen Teils wie erwartet durchführen, wenn die Unterbre­ chungsanforderung von den Zeitgeber 10 in dem Zyklus des PAGE-OUT erzeugt wird, z. B. im Zyklus 9. Da je­ doch die von dem Zeitgeber 110 erzeugte Unterbre­ chungsanforderung mit der Prüfung des elektrischen Teils asynchron ist, kann die Unterbrechungsanforde­ rung während des Zyklus des PAGE-IN und des Zyklus des PAGE erzeugt werden. Daher können Probleme auf­ treten, welche die Prüfung behindern. Z. B. kann der Wiederauffrischungsvorgang ohne vorhergehende Ladung des elektrischen Teils ausgeführt werden, und somit können der Schreibvorgang oder der Lesevorgang nicht ordnungsgemäß nach dem Wiederauffrischungsvorgang während des Prüfens des elektrischen Teils durchge­ führt werden. Weiterhin besteht in einem Fall, in welchem ein Satz von mehreren wiederholt ausgeführten Befehlen zu einer Subroutine gemacht wird, ein Pro­ blem dahingehend, daß es schwierig ist, zu steuern, wann und wie diese Subroutine aus dem Vektorspeicher 102 in den Cashe gelesen wird. Auch besteht ein Pro­ blem dahingehend, daß die Konfiguration des Musterge­ nerators kompliziert wird, um das obige Problem zu lösen. Weiterhin ist es schwierig, ein Prüfmuster, welches zu jeder der Konfiguration zu liefern ist, kooperativ zu erzeugen, wenn der Mustergenerator das Muster zum Prüfen der Vorrichtung erzeugt, auf wel­ cher ein Speicher und eine logische Schaltung zusam­ men angeordnet sind. Selbst wenn das Muster koopera­ tiv erzeugt werden kann, wird die Konfiguration des Mustergenerators kompliziert.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Mustergenerator und eine Prüfvorrichtung für elektrische Teile vorzusehen, welche die obigen Pro­ bleme des Standes der Technik überwinden. Diese Auf­ gabe wird gelöst durch in den unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen. Die abhängigen Ansprüche definierten weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfindung.

Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann ein Mustergenerator, der ein Prüfmuster erzeugt, das zum Prüfen eines elektrischen Teils verwendet wird, vorgesehen sein. Der Mustergenerator kann auf­ weisen: einen Musterspeicher, welcher Prüfmusterin­ formationen, welche das Prüfmuster definieren, spei­ chert; einen Vektorspeicher, der einen Vektorbefehl speichert, welcher eine Reihenfolge zum Auslesen der Prüfmusterinformationen aus dem Musterspeicher an­ zeigt; eine Adressenerweiterungseinheit, welche eine Adresse der Prüfmusterinformationen in dem Muster­ speicher entsprechend dem in dem Vektorspeicher ge­ speicherten Vektorbefehl erzeugt; einen Unterbre­ chungs-Musterspeicher, welcher Unterbrechungsprüfmu­ ster-Informationen speichert, welche das Prüfmuster während eines vorbestimmten Unterbrechungsvorgangs definieren; einen Unterbrechungs-Vektorspeicher, wel­ cher unterschiedlich ist gegenüber dem Vektorspei­ cher, der einen Unterbrechungs-Vektorbefehl spei­ chert, welcher eine Reihenfolge zum Auslesen der Un­ terbrechungsprüfmuster-Informationen aus dem Unter­ brechungs-Musterspeicher anzeigt; eine Unterbre­ chungsadressen-Erweiterungseinheit, welche eine Adresse der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen entsprechend dem in dem Unterbrechungs-Vektorspeicher gespeicherten Unterbrechungs-Vektorbefehl erzeugt; und eine Mustererzeugungseinheit, welche das Prüfmu­ ster auf der Grundlage der Prüfmusterinformationen entsprechend der von der Adressenerweiterungseinheit erzeugten Adresse oder der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen entsprechend der von der Unterbre­ chungsadressen-Erweiterungseinheit erzeugten Adresse erzeugt.

Der Mustergenerator kann weiterhin aufweisen: eine Unterbrechungs-Erfassungseinheit, welche einen Zeit­ punkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs erfaßt; und die Unterbrechungsadressen-Erweiterungseinheit erzeugt die Adresse der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen auf der Grundlage der Erfassung des Zeitpunktes zum Starten des Unterbrechungsvorgangs durch die Unterbrechungs-Erfassungseinheit; und die Mustererzeugungseinheit erzeugt das Prüfmuster auf der Grundlage der Prüfmusterinformationen entspre­ chend der durch die Adressenerweiterungseinheit er­ zeugten Adresse, wenn die Unterbrechungs- Erfassungseinheit nicht den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs erfaßt, und die Mustererzeu­ gungseinheit erzeugt das Prüfmuster auf der Grundlage der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen entspre­ chend der durch die Unterbrechungsadressen- Erweiterungseinheiten erzeugten Adresse, wenn die Un­ terbrechungs-Erfassungseinheit den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs erfaßt.

Der Mustergenerator kann weiterhin aufweisen: eine Unterbrechungs-Steuervorrichtung, welche die Erzeu­ gung der von der Adressenerweiterungseinheit erzeug­ ten Adresse unterbricht auf der Grundlage der Erfas­ sung des Zeitpunkts zum Starten des Unterbrechungs­ vorgangs durch die Unterbrechungs-Erfassungseinheit; eine Unterbrechungsende-Erfassungseinheit, die das Ende des Unterbrechungsvorgangs erfaßt; und eine Startsteuervorrichtung, welche die Erzeugung der Adresse durch die Adressenerweiterungseinheit startet auf der Grundlage der Erfassung des Endes des Unter­ brechungsvorgangs durch die Unterbrechungsende- Erfassungseinheit.

Das elektrische Teil kann ein Speicher sein mit einer Funktion des Speicherns von Daten, welcher eine Wie­ derauffrischung benötigt, um die Daten zu halten, und der Unterbrechungs-Musterspeicher kann die Unterbre­ chungsprüfmuster-Informationen speichern, welche ein Prüfmuster zum Wiederauffrischen des Speichers defi­ nieren. Der Unterbrechungs-Musterspeicher kann wei­ terhin die Unterbrechungsprüfmuster-Informationen speichern, welche ein Prüfmuster für die vorhergehen­ de Ladung des Speichers und ein Prüfmuster, um eine Spaltenadresse, welche zu dem Speicher vor der Aus­ führung des Unterbrechungsvorgangs geliefert wird, zu dem Speicher zu liefern, definieren; die Mustererzeu­ gungseinheit kann das Prüfmuster in der Reihenfolge erzeugen: das Prüfmuster für die vorhergehende Ladung des Speichers, das Prüfmuster zum Wiederauffrischen des Speichers und das Prüfmuster zum Liefern der Spaltenadresse, wenn die Unterbrechungs- Erfassungseinheit den Zeitpunkt zum Starten des Un­ terbrechungsvorgangs erfaßt.

Der Mustergenerator kann weiterhin einen Zeitgeber zum Messen der Zeit aufweisen, und die Unterbre­ chungs-Erfassungseinheit erfaßt den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs auf der Grundlage der von dem Zeitgeber gemessenen Zeit. Der Vektorbe­ fehl, welcher in dem Vektorspeicher gespeichert ist, kann einen Text enthalten, der den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs anzeigt; und die Unterbrechungs-Erfassungseinheit erfaßt den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs auf der Grund­ lage des Textes. Sowohl die Prüfmusterinformationen als auch das Unterbrechungs-Prüfmuster können das Prüfmuster sein, oder ein Steuerbefehl zum Erzeugen des Prüfmusters. Entweder die Prüfmusterinformationen oder die Unterbrechungsprüfmuster-Informationen kön­ nen das Prüfmuster sein; und die anderen hiervon kön­ nen ein Steuerbefehl zum Erzeugen des Prüfmusters sein.

Die Prüfmusterinformationen und die Unterbrechungs­ prüfmuster-Informationen können in einem einzigen Speicherraum gespeichert sein entsprechend den Adres­ sen, welche einander unterschiedlich sind; und die Mustererzeugungseinheit kann enthalten: eine Adres­ senauswahleinheit, welche die von der Adressenerwei­ terungseinheit erzeugte Adresse auswählt, wenn die Unterbrechungs-Erfassungseinheit den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs nicht erfaßt, und die von der Unterbrechungsadressen- Erweiterungseinheit erzeugte Adresse auswählt, wenn die Unterbrechungs-Erfassungseinheit den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs erfaßt; und eine vereinigte Mustererzeugungseinheit, welche das Prüfmuster auf der Grundlage der Prüfmusterinforma­ tionen oder der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen erzeugt entsprechend der von der Adres­ senauswahleinheit ausgewählten Adresse.

Der Mustergenerator kann aufweisen: eine erste Mu­ stererzeugungseinheit, die das Prüfmuster auf der Grundlage der Prüfmusterinformationen entsprechend der von der Adressenerweiterungseinheit erzeugten Adresse erzeugt; eine zweite Mustererzeugungseinheit, welche das Prüfmuster auf der Grundlage des Unterbre­ chungs-Prüfmusters entsprechend der von der Unterbre­ chungsadressen-Erweiterungseinheit erzeugten Adresse erzeugt; und eine Prüfmuster-Auswahleinheit, welche das von der ersten Mustererzeugungseinheit erzeugte Prüfmuster auswählt, wenn die Unterbrechungs- Erfassungseinheit den Zeitpunkt zum Starten des Un­ terbrechungsvorgangs nicht erfaßt, und die das von der zweiten Mustererzeugungseinheit erzeugte Prüfmu­ ster auswählt, wenn die Unterbrechungs- Erfassungseinheit den Zeitpunkt zum Starten des Un­ terbrechungsvorgangs erfaßt.

Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann eine Prüfvorrichtung für elektrische Teile zum Prüfen eines elektrischen Teils vorgesehen sein. Die Prüfvorrichtung für elektrische Teile kann aufweisen: einen Musterspeicher, der Prüfmusterinformationen speichert, welche ein Prüfmuster enthaltend ein zu dem elektrischen Teil für die Prüfung zu lieferndes Prüfmuster und einen erwarteten Wert, von welchem er­ wartet wird, daß er von dem elektrischen Teil ausge­ geben wird, nachdem das Eingangsprüfmuster zu diesem geliefert wurde, definieren; einen Vektorspeicher, der einen Vektorbefehl speichert, welcher eine Rei­ henfolge zum Auslesen der Prüfmusterinformationen aus dem Musterspeicher anzeigt; eine Adressenerweite­ rungseinheit, welche eine Adresse der Prüfmusterin­ formationen in dem Musterspeicher entsprechend dem in dem Vektorspeicher gespeicherten Vektorbefehl er­ zeugt; einen Unterbrechungs-Musterspeicher, der Un­ terbrechungsprüfmuster-Informationen speichert, wel­ che das Prüfmuster während eines vorbestimmten Unter­ brechungsvorgangs definieren; einen Unterbrechungs- Vektorspeicher, welcher einen Unterbrechungs- Vektorbefehl speichert, der eine Reihenfolge zum Aus­ lesen der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen aus dem Unterbrechungs-Musterspeicher anzeigt; eine Un­ terbrechungsadressen-Erweiterungseinheit, welche eine Adresse der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen in dem Unterbrechungs-Musterspeicher anzeigt entspre­ chend dem in dem Unterbrechungs-Vektorspeicher ge­ speicherten Unterbrechungs-Vektorbefehl; eine Mu­ stererzeugungseinheit, welche das Prüfmuster auf der Grundlage der Prüfmusterinformationen entsprechend der von der Adressenerweiterungseinheit erzeugten Adresse oder der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen entsprechend der von der Unterbre­ chungsadressen-Erweiterungseinheit erzeugten Adresse erzeugt; eine Stiftdaten-Auswahlvorrichtung, welche das von der Mustererzeugungseinheit erzeugte Prüfmu­ ster neu anordnet entsprechend einer Stiftanordnung von elektrischen Anschlüssen des elektrischen Teils; eine Wellenform-Formatierungsvorrichtung, welche eine Wellenform des Eingangsprüfmusters formatiert, die in dem von der Stiftdaten-Auswahlvorrichtung ausgegebe­ nen Prüfmuster enthalten ist; eine Vorrichtungsbuch­ se, die das von der Wellenform- Formatierungsvorrichtung formatierte Eingangsprüfmu­ ster zu dem elektrischen Teil liefert und ein von dem elektrischen Teil ausgegebenes Ausgangssignal emp­ fängt; und einen Komparator, welcher das Ausgangs­ signal, welches von der Buchsenvorrichtung empfangen wurde, mit dem erwarteten Wert vergleicht.

Die Prüfvorrichtung für elektrische Teile kann wei­ terhin aufweisen: eine Unterbrechungs- Erfassungseinheit, welche einen Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs erfaßt; und die Unterbre­ chungsadressen-Erweiterungseinheit erzeugt die Adres­ se der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen auf der Grundlage der Erfassung des Zeitpunkts zum Starten des Unterbrechungsvorgangs durch die Unterbrechungs- Erfassungseinheit; und die Mustererzeugungseinheit erzeugt das Prüfmuster auf der Grundlage der Prüfmu­ sterinformationen entsprechend der von der Adres­ senerweiterungseinheit erzeugten Adresse, wenn die Unterbrechungs-Erfassungseinheit den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs nicht erfaßt, und die Mustererzeugungseinheit erzeugt das Prüfmuster auf der Grundlage der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen entsprechend der von der Unterbre­ chungsadressen-Erweiterungseinheit erzeugten Adresse, wenn die Unterbrechungs-Erfassungseinheit den Zeit­ punkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs erfaßt.

Die Prüfvorrichtung für elektrische Teile kann wei­ terhin aufweisen: eine Unterbrechungs- Steuervorrichtung, welche die Erzeugung der von der Adressenerweiterungseinheit erzeugten Adresse unter­ bricht auf der Grundlage der Erfassung des Zeitpunkts zum Starten des Unterbrechungsvorgangs durch die Un­ terbrechungs-Erfassungseinheit; eine Unterbrechungs­ ende-Erfassungseinheit, welche das Ende des Unterbre­ chungsvorgangs erfaßt; und eine Startsteuervorrich­ tung, welche die Erzeugung der Adresse durch die Adressenerweiterungseinheit startet auf der Grundlage der Erfassung des Endes des Unterbrechungsvorgangs durch die Unterbrechungsende-Erfassungseinheit.

Das elektrische Teil kann ein Speicher sein mit einer Funktion des Speicherns von Daten, welcher eine Wie­ derauffrischung benötigt, um die Daten zu halten, und der Unterbrechungs-Musterspeicher speichert die Un­ terbrechungsprüfmuster-Informationen, welche ein Prüfmuster zum Wiederauffrischen des Speichers defi­ nieren. Der Unterbrechungs-Musterspeicher kann wei­ terhin die Unterbrechungsprüfmuster-Informationen speichern, welche ein Prüfmuster für das vorhergehen­ de Laden des Speichers und ein Prüfmuster zum Liefern einer Spaltenadresse, welche zu dem Speicher vor der Ausführung des Unterbrechungsprogramms geliefert wird, zu dem Speicher zu liefern, definieren; die Mu­ stererzeugungseinheit kann das Prüfmuster in der Rei­ henfolge erzeugen: das Prüfmuster zum vorhergehenden Laden des Speichers, das Prüfmuster zum Wiederauffri­ schen des Speichers und das Prüfmuster zum Liefern der Spaltenadresse zu dem Speicher, wenn die Unter­ brechungs-Erfassungseinheit den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsvorgangs erfaßt.

Gemäß dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann ein Verfahren zum Erzeugen eines Prüfmusters, das zum Prüfen eines elektrischen Teils verwendet wird, vorgesehen werden. Das Verfahren kann enthal­ ten: die Erzeugung von Prüfmusterinformationen, wel­ che das Prüfmuster definieren; die Erzeugung eines Vektorbefehls, welcher eine Reihenfolge zum Auslesen der Prüfmusterinformationen anzeigt; die Erzeugung einer Adresse der Prüfmusterinformationen gemäß dem Vektorbefehl; die Erzeugung von Unterbrechungsprüfmu­ ster-Informationen, welche das Prüfmuster während ei­ nes vorbestimmten Unterbrechungsvorgangs definieten; die Erzeugung eines Unterbrechungs-Vektorbefehls, welcher eine Reihenfolge zum Auslesen der Unterbre­ chungsprüfmuster-Informationen anzeigt; die Erzeugung einer Adresse der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen gemäß dem Unterbrechungs-Vektorbefehl; und die Erzeugung des Prüfmusters auf der Grundlage der Prüfmusterinformationen entsprechend der Adresse, die durch die Erzeugung der Adresse der Prüfmusterin­ formationen erzeugt wurde, oder der Unterbrechungs­ prüfmuster-Informationen entsprechend der Adresse, die durch die Erzeugung der Adresse der Unterbre­ chungsprüfmuster-Informationen erzeugt wurde.

Diese Zusammenfassung der Erfindung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein. Die obigen und andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden offen­ sichtlicher anhand der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen, die in Verbindung mit den be­ gleitenden Zeichnung genommen wird.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 zeigt eine Konfiguration eines herkömmlichen Mustergenerators.

Fig. 2 zeigt verschiedene Arten von Informationen, die in dem herkömmlichen Mustergenerator ge­ speichert sind.

Fig. 3 zeigt eine Arbeitsweise des herkömmlichen Mustergenerators.

Fig. 4 zeigt eine Konfiguration einer Prüfvorrich­ tung für elektrische Teile, gemäß dem vor­ liegenden Ausführungsbeispiel.

Fig. 5 zeigt eine Konfiguration des Mustergenera­ tors gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Fig. 6 zeigt verschiedene Arten von Informationen, die in dem Mustergenerator gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin­ dung gespeichert sind.

Fig. 7 zeigt ein Beispiel der Arbeitsweise des Mu­ stergenerators gemäß dem ersten Ausführungs­ beispiel der vorliegenden Erfindung.

Fig. 8 zeigt ein anderes Beispiel def Arbeitsweise des Mustergenerators gemäß dem ersten Aus­ führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Fig. 9 zeigt ein weiteres anderes Beispiel der Ar­ beitsweise des Mustergenerators gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Fig. 10 zeigt eine Konfiguration des Mustergenera­ tors gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Fig. 11 zeigt verschiedene Arten von Informationen, die in dem Mustergenerator gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin­ dung gespeichert sind.

Fig. 12 zeigt ein Beispiel der Arbeitsweise des Mu­ stergenerators gemäß dem zweiten Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Fig. 13 zeigt eine Konfiguration des Mustergenera­ tors gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Fig. 14 zeigt verschiedene Arten von Informationen, die in dem Mustergenerator gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin­ dung gespeichert sind.

Fig. 15 zeigt ein Beispiel der Arbeitsweise des Mu­ stergenerators gemäß dem dritten Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Die Erfindung wird nun beschrieben auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsbeispiele, welche nicht dazu dienen, den Umfang der vorliegenden Erfindung zu begrenzen, sondern die Erfindung zu veranschaulichen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in dem Ausführungsbeispiel beschrieben sind, sind nicht not­ wendigerweise wesentlich für die Erfindung.

Fig. 4 zeigt eine Konfiguration einer Prüfvorrichtung für elektrische Teile gemäß dem vorliegenden Ausfüh­ rungsbeispiel. Die Prüfvorrichtung 10 für elektrische Teile weist einen Mustergenerator 12, eine Stiftda­ ten-Auswahlvorrichtung 14, eine Wellenform- Formatierungsvorrichtung 16, eine Vorrichtungsbuchse 22 mit einer Buchse 20, in welche ein elektrisches Teil 18 eingesteckt werden kann, und einen Komparator 24 auf.

Hier ist "elektrisches Teil" ein Teil zum Durchführen einer vorbestimmten Tätigkeit entsprechend einem elektrischen Strom oder einer elektrischen Spannung. Z. B. enthält "elektrisches Teil" nicht nur ein Halb­ leiterteil, welches durch ein aktives Element wie ei­ ne integrierte Schaltung (IC) oder eine integrierte Großschaltung (LSI) gebildet ist, sondern es enthält auch passive Elemente wie verschiedene Arten von Sen­ soren. Weiterhin enthält ein elektrisches Teil ein Teil, welches die vorstehend genannten Teile auf­ weist, welche in einer Verpackung miteinander verbun­ den sind, und ein Teil wie eine Brettschaltung, wel­ che die vorbestimmte Funktion realisiert, indem die vorstehend genannten Teile auf einer gedruckten Schaltung angeordnet werden.

Der Mustergenerator 12 gibt ein Eingabeprüfmuster aus, welches für eine elektrische Prüfung zu dem elektrischen Teil 18 zu liefern ist, und gibt ein Prüfmustersignal, welches ein Signal eines Prüfmu­ sters mit einem Erwartungswertmuster ist, zu der Stiftdaten-Auswahlvorrichtung 14 aus. Das Erwartungs­ wertmuster ist ein Muster, das von dem elektrischen Teil 18 auszugeben ist, wenn das Eingabeprüfmuster zu einem normalen elektrischen Teil 18 geliefert wird. Die Stiftdaten-Auswahlvorrichtung 14 ordnet die kör­ perliche Position des Eingabeprüfmusters in dem von dem Mustergenerator 12 ausgegebenen Prüfmustersignal neu entsprechend der Anordnung der elektrischen An­ schlüsse des elektrischen Teils 18 und gibt das Ein­ gabeprüfmuster zu der Wellenform- Formatierungsvorrichtung 16 aus. Die Stiftdaten- Auswahlvorrichtung 14 gibt auch den Erwartungswert des Prüfmustersignals zu dem Komparator 24 aus. Die Wellenform-Formatierungsvorrichtung 16 formatiert die Wellenform des von der Stiftdaten-Auswahlvorrichtung 14 ausgegebenen Eingabeprüfmusters in die vorbestimm­ te Wellenform und gibt das Eingabeprüfmuster zu der Vorrichtungsbuchse 22 aus.

Die Vorrichtungsbuchse 22 liefert das von der Wellen­ form-Formatierungsvorrichtung 16 ausgegebene Eingabe­ prüfmuster zu dem Eingangsanschluß des elektrischen Teils 18, welcher in die Buchse 20 eingesteckt ist. Hierdurch arbeitet das elektrische Teil 18 entspre­ chend dem von dem Eingangsanschluß eingegebenen Prüf­ muster auf der Grundlage der tatsächlichen Funktion des elektrischen Teils 18. Beispielsweise gibt das elektrische Teil 18 ein Ausgangsmuster von einem vor­ bestimmten Ausgangsanschluß zu der Vorrichtungsbuchse 22. Die Vorrichtungsbuchse 22 überträgt das von dem Ausgangsanschluß des elektrischen Teils 18, der in die Buchse 20 eingesteckt ist, eingegebene Ausgangs­ muster zu dem Komparator 24.

Der Komparator 24 vergleicht das Ausgangsmuster, wel­ ches von der Vorrichtungsbuchse 22 ausgegeben ist, und das von der Stiftdaten-Auswahlvorrichtung über­ tragene Erwartungswertmuster. Der Komparator 24 stellt fest, daß das elektrische Teil 18 normal ar­ beitet, wenn das Ausgangsmuster mit dem Erwartungs­ wert übereinstimmt, und stellt fest, daß das elektri­ sche Teil 18 nicht normal arbeitet, wenn das Aus­ gangsmuster nicht mit dem Erwartungswertmuster über­ einstimmt.

Fig. 5 zeigt eine Konfiguration des Mustergenerators gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Der in Fig. 5 gezeigte Mustergenerator 12 erzeugt ein Prüfmuster zum Prüfen eines dynamischen Speichers mit wahlfreiem Zugriff (DRAM), welcher ein Beispiel für ein elektrisches Teil 18 ist. Der Mu­ stergenerator 12 hat einen Vektorspeicher 30, eine Lesesteuervorrichtung 31, einen Vektorcachespeicher 32, eine Adressenerweiterungseinheit 34, eine Adres­ senbezeichnungseinheit 36, eine Multiplexschaltung 38, einen Subvektorspeicher 40, einen Zeitgeber 42, ein Subadressen-Erweiterungseinheit 44, eine Start­ adressen-Speichereinheit 46, eine Subadressen- Bezeichnungseinheit 48 und eine Mustererzeugungsein­ heit 50.

Der Zeitgeber 42 erzeugt eine Unterbrechungsanforde­ rung für jedes vorbestimmte Zeitintervall. Der Sub­ vektorspeicher 40 wird beispielsweise durch einen SRAM gebildet, welcher den Lese- und Schreibvorgang mit hoher Geschwindigkeit ausführen kann und einen Vektorbefehl speichert, der eine Reihenfolge des Steuerbefehls bestimmt, der ein Beispiel für die Prüfmusterinformationen ist, die während der Ausfüh­ rung des Wiederauffrischungsvorgangs verwendet wer­ den. Die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 nimmt den Vektorbefehl von dem Subvektorspeicher 40 auf, er­ zeugt eine Adresse durch Auswerten des Vektorbefehls und gibt die erzeugte Adresse zu der Subadressen- Bezeichnungseinheit 48 aus.

Weiterhin setzt die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 ein Wiederauffrischungs-Zyklussignal auf "1", bis der Wiederauffrischungsprozeß, welcher das für den Wiederauffrischungsprozeß als ein Beispiels des Un­ terbrechungsprozesses verwendet Prüfmuster erzeugt, beendet wird, wenn die Unterbrechungsanforderung von dem Zeitgeber 42 empfangen wird, und gibt dieses zu der Adressenerweiterungseinheit 34 und der Multiplex­ schaltung 38 aus. In anderen Fällen setzt die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 das Wiederauffri­ schungs-Zyklussignal auf "0" und gibt es zu der Adressenerweiterungseinheit 34 und der Multiplex­ schaltung 38 aus.

Die Startadressen-Speichereinheit 46 speichert eine Startadresse, welche sich vor der Adresse in dem Steuerbefehlsspeicher 52 befindet, der den Steuerbe­ fehl für den Wiederauffrischungsprozeß speichert. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel speichert die Startadressen-Speichereinheit 46 eine Startadresse wie "#300". Die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 addiert die Adresse, welche von der Subadressen- Erweiterungseinheit 44 eingegeben wird, zu der Star­ tadresse, welche in der Startadressen-Speichereinheit 46 gespeichert ist, und gibt diese zu der Multiplex­ schaltung 38 aus. Der Vektorspeicher 30 wird bei­ spielsweise durch den Großspeicher DRAM gebildet und speichert den Vektorbefehl, welcher die Reihenfolge von Prüfmusterinformationen, welche zu verwenden sind, bestimmt.

Die Lesesteuervorrichtung 31 nimmt einen Teil des Vektorbefehls von dem Vektorspeicher 30 auf und gibt den Vektorbefehl zu dem Vektorcachespeicher 32 aus. Der Vektorcachespeicher 32 ist beispielsweise durch einen SRAM gebildet, welcher eine kleine Speicherka­ pazität hat, den Lese- und Schreibvorgang mit hoher Geschwindigkeit ausführt und den von der Lesesteuer­ vorrichtung 31 aufgenommenen Vektorbefehl speichert. Weiterhin gibt der Vektorcachespeicher 32 den Vektor­ befehl zu der Adressenerweiterungseinheit 34 auf der Grundlage der von der Adressenbezeichnungseinheit 36 aufgenommenen Adresse aus. Die Adressenerweiterungs­ einheit 34 nimmt den Vektorbefehl von dem Vektor­ cachespeicher 32 auf, erzeugt eine Adresse durch Aus­ werten des von dem Vektorcachespeicher 32 aufgenomme­ nen Vektorbefehls und gibt die erzeugte Adresse zu der Adressenbezeichnungseinheit 36 aus.

Darüber hinaus unterbricht die Adressenerweiterungs­ einheit 34 vorübergehend die Erzeugung einer Adresse, wenn das Wiederauffrischungs-Zyklussignal, welches auf "1" gesetzt ist, von der Subadressen- Erweiterungseinheit 44 aufgenommen ist. Die Adres­ senerweiterungseinheit 34 beginnt wieder mit der Er­ zeugung einer Adresse, wenn das Wiederauffrischungs- Zyklussignal, welches auf "0" gesetzt ist, von der Subadressen-Erweiterungseinheit 44 eingegeben ist. Die Adressenbezeichnungseinheit 36 gibt die Adresse, welche von der Adressenerweiterungseinheit 34 ausge­ geben ist, zu der Multiplexschaltung 38 und dem Vek­ torcachespeicher 32 aus.

Die Multiplexschaltung 38 wählt eine der Adressen, die von der Adressenbezeichnungseinheit 36 und der Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 eingegeben sind, auf der Grundlage des von der Subadressen- Erweiterungseinheit 44 eingegebenen Wiederauffri­ schungs-Zyklussignals aus und gibt diese aus. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird die von der Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 eingegebene Adres­ se ausgewählt, wenn das Wiederauffrischungs- Zyklussignal gleich "1" ist, und die von der Adres­ senbezeichnungseinheit 36 eingegebene Adresse wird ausgewählt, wenn das Wiederauffrischungs-Zyklussignal gleich "0" ist.

Die Mustererzeugungseinheit 50 hat einen Steuerbe­ fehlsspeicher 52, einen Musteroperator 54, einen Wi­ derstand XB, einen Widerstand YB und einen Widerstand RF. Der Steuerbefehlsspeicher 52 speichert den Steu­ erbefehl, welcher ein Prüfmuster erzeugt und gibt den Steuerbefehl, welcher der von der Multiplexschaltung 38 eingegebenen Adresse entspricht, zu dem Musterope­ rator 54 aus. Die Widerstände XB und YB speichern je­ weils einen Spaltenadressenwert und einen Reihena­ dressenwert des DRAM 18, welcher ein zu prüfender Ge­ genstand ist. Der Widerstand RF speichert die Rei­ henadresse zum Wiederauffrischen des DRAM 18, welcher ein zu prüfender Gegenstand ist.

Der Musteroperator 54 erzeugt ein Prüfmuster auf der Grundlage des von dem Steuerbefehlsspeicher 52 ausge­ gebenen Steuerbefehls. Als ein Prüfmuster sind bei­ spielsweise ein Adressensignal, ein RAS(Reihenadressenabtast)-Signal, ein CAS(Spaltenadressenabtast)-Signal, ein Daten(DATA)- Signal und ein Schreibfreigabesignal (/WE: worin "/" eine umgekehrte Logik bedeutet) vorgesehen. Das Da­ tensignal enthält ein Eingabeprüfmuster, welches in dem DRAM 18 einzugeben ist, oder ein Erwartungswert­ muster, von welchem erwartet wird, daß es von dem DRAM 18 ausgegeben wird.

Hier werden bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ein Musterspeicher und ein Unterbrechungs- Musterspeicher, die in den Ansprüchen erwähnt sind, durch den Steuerbefehlsspeicher 52 gebildet. Der in den Ansprüchen erwähnte Unterbrechungs-Vektorspeicher wird durch den Subvektorspeicher 40 gebildet. Die in den Ansprüchen erwähnte Unterbrechungsadressen- Erweiterungseinheit wird durch Subadressen- Erweiterungseinheit 44 gebildet. Der in den Ansprü­ chen erwähnte Mustergenerator wird durch die Multi­ plexschaltung 38 und die Mustererzeugungseinheit 50 gebildet. Die Unterbrechungs-Erfassungseinheit und die Unterbrechungsende-Erfassungseinheit, die in den Ansprüchen erwähnt sind, werden durch die Subadres­ sen-Erweiterungseinheit 44 gebildet. Die Unterbre­ chungs-Steuervorrichtung und die Startsteuervorrich­ tung, welche in den Ansprüchen erwähnt sind, werden durch die Adressenerweiterungseinheit 34 gebildet. Die in den Ansprüchen erwähnte Adressenauswahleinheit wird durch die Multiplexschaltung 38 gebildet, und die in den Ansprüchen erwähnte Erzeugungseinheit für ein vereinigtes Muster wird durch die Mustererzeu­ gungseinheit 50 gebildet.

Fig. 6 zeigt verschiedene Arten von Informationen, die in der Mustererzeugungseinheit gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ge­ speichert sind. Fig. 6(A) zeigt einen in dem Subvek­ torspeicher 40 gespeicherten Folgenbefehl. In Fig. 6(A) ist "RTN" ein Befehl, der die gegenwärtige Adresse ausgibt, die Adresse zu der anfänglichen Adresse zurückführt und den Prozeß der Ausgabe des Prüfmusters entsprechend dem in dem Vektorspeicher 30 gespeicherten Folgenbefehl wieder startet. Die Befeh­ le, welche vorstehend nicht beschrieben sind, sind ähnlich dem Befehl des in Fig. 2 gezeigten herkömmli­ chen Beispiels. Fig. 6(B) zeigt den in dem Vektor­ speicher 30 gespeicherten Folgenbefehl. In Fig. 6(B) ist jeder Befehl ähnlich den Befehlen des in Fig. 2 gezeigten herkömmlichen Beispiels.

Fig. 6(C) zeigt einen Teil des in dem Steuerbefehls­ speicher 52 gespeicherten Steuerbefehls. In Fig. 6(C) ist "REF-IN", welcher ein Beispiel für ein Unterbre­ chungs-Prüfmuster ist, ein Befehl zur Ausgabe des Si- gnals, welches den DRAM 18 anweist, die REF-IN- Operation auszuführen, welche ein Vorprozeß des Wie­ derauffrischungsprozesses ist. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist "REF-IN" ein Befehl zum vor­ hergehenden Laden des DRAM 18. Insbesondere ist bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel REF-IN ein Be­ fehl zur Ausgabe des Wertes des Widerstands XB als ein Adressensignal und zur Ausgabe des RAS-Signals, welches auf "HOCH" gesetzt ist.

"REF-OUT", welcher ein anderes Beispiel für ein Un­ terbrechungs-Prüfmuster ist, ist ein Befehl zur Aus­ gabe des Signals, das den DRAM 18 anweist, die REF- OUT-Operation auszuführen, welche ein dem Wiederauf­ frischungsprozeß nachfolgender Prozeß ist. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist "REF-OUT" ein Befehl zur Ausgabe des Signals, welches bewirkt, daß der DRAM 18 die Reihenadresse aufnimmt. Insbesondere ist bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel REF-OUT ein Befehl zur Ausgabe des Wertes des Widerstands YB als ein Adressensignal und zur Ausgabe des RAS- Signals, welches auf "NIEDRIG" gesetzt ist. Die ande­ ren als die vorstehend genannten Befehle sind ähnlich den Befehlen des in Fig. 2 gezeigten herkömmlichen Beispiels.

Fig. 7 zeigt ein Beispiel für die Arbeitsweise des Mustergenerators gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Fig. 7 zeigt die Arbeits­ weise des Mustergenerators 12, wenn die in Fig. 6 ge­ zeigten verschiedenen Arten von Informationen in dem Mustergenerator 12 gespeichert sind, und sie zeigt die Arbeitsweise, wenn der Zeitgeber 42 im Zyklus 7 die Unterbrechungsanforderung erzeugt, in welchem der DRAM 18 die PAGE-Operation ausführt.

Fig. 7(A) zeigt den Wert der von der Adressenbezeich­ nungseinheit 36 ausgegebenen Adresse, den Wert der von der Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 ausgegebe­ nen Adresse RAP, den Wert der von der Multiplexschal­ tung 38 ausgegebenen Adresse PC, den Wert des Wider­ stands XB, den Wert des Widerstands YB, den Wert des Widerstands RF, den Wert des Wiederauffrischungs- Zyklussignals (REF CYCLE), die Operation des Wider­ stands, welcher die zu dem DRAM 18 auszugebende Adresse liefert, und die Operation des DRAM 18 für jeden Zyklus während des Betriebs des Mustergenera­ tors 12. Fig. 7(B) zeigt ein Signal, welches von dem Mustergenerator 12 vom Zyklus 6 bis zum Zyklus 11 zu dem DRAM 18 auszugeben ist.

Im Zyklus 1 nimmt die Adressenerweiterungseinheit 34 "NOP" von dem Vektorcachespeicher 32 auf, bewirkt, daß die Adressenbezeichnungseinheit 36 den gegenwär­ tigen Adressenwert "#0" ausgibt, und setzt den Adres­ senwert auf "#1". Hier wird das Wiederauffrischungs- Zyklussignal "0" von der Subadressen- Erweiterungseinheit 44 ausgegeben. Da das Wiederauf­ frischungs-Zyklussignal gleich "0", gibt die Multi­ plexschaltung 38 "#0" aus, welches von der Adressen­ bezeichnungseinheit 36 als eine Adresse PC zu der Mu­ stererzeugungseinheit 50 ausgegeben wird. Hierdurch werden die Befehle "XB<0" und "YB<0" von dem Steuer­ befehlsspeicher 52 zu dem Musteroperator 54 gelie­ fert. Dann setzt der Musteroperator 54 den Wert des Widerstands XB und des Widerstands YB in dem nächsten Zyklus auf "0".

In dem Zyklus 2 nimmt die Adressenerweiterungseinheit 34 "NOP", welches der nächste Befehl ist, von dem Vektorcachespeicher 32 auf, bewirkt, daß die Adres­ senbezeichnungseinheit 36 den gegenwärtigen Adressen­ wert "#1" ausgibt, und setzt den Adressenwert auf "#2". Hier wird das Wiederauffrischungs-Zyklussignal "0" von der Subadressen-Erweiterungseinheit 44 ausge­ geben. Da das Wiederauffrischungs-Zyklussignal gleich "0" ist, gibt die Multiplexschaltung 38 "#1" zu der Mustererzeugungseinheit 50 aus, welches als eine Adresse PC von der Adressenbezeichnungseinheit 36 ausgegeben wird. Hierdurch werden die Befehle "XB < XB + 1" und "PAGE-IN" von dem Steuerbefehlsspeicher 52 zu dem Musteroperator 54 geliefert.

Der Musteroperator 54 gibt hierdurch den Wert des Wi­ derstands YB als ein Adressensignals aus und gibt das RAS-Signal aus, welches auf "NIEDRIG" gesetzt ist. Der Musteroperator 54 gibt auch den Wert des Wider­ stands XB als ein Adressensignals aus und gibt das CAS-Signals aus, welches so gesetzt ist, daß es ein negativer Impuls ist. Der DRAM 18 führt hierdurch die "PAGE-IN"-Operation aus. Weiterhin addiert der Mu­ steroperator 54 "1" zu dem Wert des Widerstands XB, um "1" in dem nächsten Zyklus zu sein. Ähnliche Ope­ rationen wie vorstehend beschrieben werden vom Zyklus 3 bis zum Zyklus 7 ausgeführt.

Im Zyklus 6 gibt, wie in Fig. 7(B) gezeigt ist, der Musteroperator 54 den Wert des Widerstands YB als ein Adressensignal aus und gibt das RAS-Signal aus, wel­ ches auf "NIEDRIG" gesetzt ist. Der Musteroperator 54 gibt dann den Wert des Widerstands XB als ein Adres­ sensignal aus und gibt das CAS-Signal aus, welches so gesetzt ist, daß es ein negativer Impuls ist. Der DRAM 18 führt hierdurch die "PAGE-IN"-Operation aus, d. h. den Leseprozeß oder den Schreibprozeß bei der Speicherzelle entsprechend der Spalte des Wertes des Widerstands XB und der Reihe des Wertes des Wider­ stands YB.

Im Zyklus 7 gibt, wie in Fig. 7(B) gezeigt ist, der Musteroperator 54 den Wert des Widerstands XB als ein Adressensignal aus und gibt das CAS-Signal aus, wel­ ches so gesetzt ist, daß es ein negativer Impuls ist. Der DRAM 18 führt hierdurch die "PAGE"-Operation aus, d. h. den Leseprozeß und den Schreibprozeß bei der Speicherzelle entsprechend der Spalte des Wertes des Widerstands XB und der Reihe des Wertes des Wider­ stands YB, welcher im Zyklus 6 eingegeben wurde.

Hier gibt der Zeitgeber 42, wenn er feststellt, daß im Zyklus 7 eine vorbestimmte Zeit vergangen ist, die Unterbrechungsanforderung an die Subadressen- Erweiterungseinheit 44 aus. Dies findet statt, da der Zeitgeber 42 anzeigt, wenn die Zeit zum Ausführen des Wiederauffrischungsvorgangs erreicht ist. Die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 setzt das Wieder­ auffrischungs-Zyklussignal auf "1" im nächsten Zyklus 8 und gibt das Wiederauffrischungs-Zyklussignal zu der Adressenerweiterungseinheit 34 und der Multiplex­ schaltung 38 aus.

Im Zyklus 8 bewirkt die Adressenerweiterungseinheit 34, da das Wiederauffrischungs-Zyklussignal gleich "1" ist, daß die Adressenbezeichnungseinheit 36 den gegenwärtigen Adressenwert hält und die Erzeugung ei­ ner durch den Vektorbefehl erzeugten Adresse anhält. Andererseits nimmt die Subadressen- Erweiterungseinheit 44 den Befehl "NOP" von dem Sub­ vektorspeicher 40 auf, bewirkt, daß die Subadressen- Bezeichnungseinheit 48 den gegenwärtigen Adressenwert "#0" ausgibt, und setzt den Adressenwert auf "#1". Die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 addiert den Adressenwert "#0", der von der Subadressen- Erweiterungseinheit 44 empfangen wurde, und den in der Startadressen-Speichereinheit 46 gespeicherten Adressenwert "#300" und gibt die Summe zu der Multi­ plexschaltung 38 aus.

Da das Wiederauffrischungs-Zyklussignal gleich "1" ist, gibt die Multiplexschaltung 38 die Adresse "#300", welche von der Subadressen- Bezeichnungseinheit 48 ausgegeben ist, als eine Adresse PC zu der Mustererzeugungseinheit 50 aus. Der Steuerbefehlsspeicher 52 gibt hierdurch "REF-IN", welches der Adresse "#300" entspricht, in den Muster­ operator 54 ein, wie in Fig. 7(B) gezeigt ist, gibt der Musteroperator 54 dann den Wert des Widerstands XB als ein Adressensignal aus und gibt das RAS-Signal aus, welches auf "HOCH" gesetzt ist. Der DRAM ist hierdurch vorgeladen.

Im Zyklus 9 hält, da das Wiederauffrischungs- Zyklussignal gleich "1" ist, die Adressenerweite­ rungseinheit 34, die Erzeugung einer durch den Vek­ torbefehl erzeugten Adresse an. Andererseits nimmt die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 den nächsten Befehl "NOP" von dem Subvektorspeicher 40 auf, be­ wirkt, daß die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 den gegenwärtigen Adressenwerte "#1" ausgibt, und setzt den Adressenwert auf "#2". Die Subadressen- Bezeichnungseinheit 48 gibt den Adressenwert "#301", welcher die Summe aus dem von der Subadressen- Erweiterungseinheit 44 empfangenen Adressenwert "#1" und dem in der Startadressen-Speichereinheit 46 ge­ speicherten Adressenwert "#300" ist, zu der Multi­ plexschaltung 38 aus.

Da das Wiederauffrischungs-Zyklussignal gleich "1" ist, gibt die Multiplexschaltung 38 die Adresse "#301", welche von der Subadressen- Bezeichnungseinheit 48 ausgegeben ist, als eine Adresse PC zu der Mustererzeugungseinheit 50 aus. Der Steuerbefehlsspeicher 52 gibt hierdurch "REFRESH", welches der Adresse "#301" entspricht, zu dem Muster­ operator 54 aus. Der Musteroperator 54 gibt hierdurch den Wert des Widerstands RF als ein Adressensignal aus und gibt das RAS-Signal aus, welches auf "NIED­ RIG" gesetzt ist. Der DRAM 18 führt hierdurch die "REFRESH"-Operation aus, d. h. die Wiederauffri­ schungsoperation bei der Reihe des Wertes des Wider­ stands RF.

Im Zyklus 10 hält, da das Wiederauffrischungs-Zyklus­ signal gleich "1" ist, die Adressenerweiterungsein­ heit 34 die Erzeugung einer durch den Vektorbefehl erzeugten Adresse an. Andererseits nimmt die Sub­ adressen-Erweiterungseinheit 44 den nächsten Befehl "RTN" von dem Subvektorspeicher 40 auf, bewirkt, daß die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 den gegenwär­ tigen Adressenwert "#2" ausgibt, und setzt den Adres­ senwert auf "#0". Die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 setzt das Wiederauffrischungs-Zyklussignal auf "0" und gibt das Wiederauffrischungs-Zyklussignal aus. Die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 gibt den Adressenwert "#302", welcher die Summe des von der Subadressen-Erweiterungseinheit 44 empfangenen Adres­ senwerts "#2" und des in der Startadressen-Speicher­ einheit 46 gespeicherten Adressenwerts "#300" ist, zu der Multiplexschaltung 38 aus. Da das Wiederauffri­ schungs-Zyklussignal gleich "1" ist, gibt die Multi­ plexschaltung 38 die Adresse "#302", welche von der Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 ausgegeben ist, als eine Adresse PC zu der Mustererzeugungseinheit 50 aus.

Der Steuerbefehlsspeicher 52 gibt hierdurch "RF < RF + 1" und "REF-OUT", welcher an der Adresse "#302" gespei­ chert ist, in den Musteroperator 54 ein. Der Muster­ operator 54 gibt hierdurch den Wert des Widerstands YB als ein Adressensignal aus, setzt das RAS-Signal auf "NIEDRIG" und gibt das RAS-Signal aus. Der DRAM 18 führt daher die "REF-OUT"-Operation aus, d. h. die Operation zur Eingabe der vor der Ausführung der "RE­ FRESH"-Operation gehaltenen Reihenadresse. Darüber hinaus addiert der Musteroperator 54 "#1" zu dem Wert des Widerstands RF im nächsten Zyklus.

Im Zyklus 11 setzt die Subadressen- Erweiterungseinheit 44 das Wiederauffrischungs- Zyklussignal auf "0" und gibt das Wiederauffri­ schungs-Zyklussignal zu der Adressenerweiterungsein­ heit 34 und der Multiplexschaltung 38 aus. Die Adres­ senerweiterüngseinheit 34 beginnt daher wieder mit der Erzeugung der Adresse durch den Vektorbefehl. Darüber hinaus gibt die Multiplexschaltung 38 die Adresse "#3", welche von der Adressenbezeichnungsein­ heit 36 ausgegeben ist, als eine Adresse PC zu der Mustererzeugungseinheit 50 aus. Dann gibt der Steuer­ befehlsspeicher 52 "XB < XB + 1" und "PAGE", welches der Adresse "#3" entspricht, zu dem Musteroperator 54 aus. Wie in Fig. 7(B) gezeigt ist, gibt der Muster­ operator 54 den Wert des Widerstands XB als ein Adressensignal aus und gibt das CAS-Signal aus, wel­ ches so gesetzt ist, daß es ein negativer Impuls ist.

Hier führt, da die Reihenadresse, welche vor der Aus­ führung der Wiederauffrischungsoperation gehalten wurde, bereits im Zyklus 10 in den DRAM 18 eingegeben wurde, der DRAM 18 die "PAGE"-Operation aus, d. h. den Leseprozeß und den Schreibprozeß bei der Speicherzel­ le entsprechend der Spalte des Wertes des Widerstands XB und der Reihe des Wertes des Widerstands YB, der bereits im Zyklus 10 eingegeben wurde. Der folgende Zyklus wird wie nachfolgend gezeigt, ausgeführt. Auf diese Weise kann die Unterbrechungsanforderung durch den Zeitgeber 42 während der "PAGE"-Operation erzeugt werden, der DRAM 18 kann wieder aufgefrischt werden und der DRAM 18 kann die "PAGE"-Operation ohne Schwierigkeiten nach der Wiederauffrischungsoperation ausführen.

Fig. 8 zeigt ein anderes Beispiel der Arbeitsweise des Mustergenerators gemäß dem ersten Ausführungsbei­ spiel der vorliegenden Erfindung. Fig. 8 zeigt eine Arbeitsweise des Mustergenerators 12, wenn die in Fig. 6 gezeigten verschiedenen Arten von Informatio­ nen in dem Mustergenerator 12 gespeichert sind. Fig. 8 zeigt insbesondere die Arbeitsweise des Mustergene­ rators 12, wenn der Zeitgeber 42 im Zyklus 6 eine Un­ terbrechungsanforderung erzeugt, in welchem der DRAM 18 die "PAGE-IN"-Operation ausführt.

Fig. 8(A) zeigt den Wert der von der Adressenbezeich­ nungseinheit 36 ausgegebenen Adresse, den Wert der von der Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 ausgegebe­ nen Adresse RAP, den Wert der von der Multiplexschal­ tung 38 ausgegebenen Adresse PC, den Wert des Wider­ stands XB, den Wert des Widerstands YB, den Wert des Widerstands RF, den Wert des Wiederauffrischungs- Zyklussignals, die Operation des Widerstands, welcher die zu dem DRAM 18 auszugebende Adresse liefern soll, und die Operation des DRAM für jeden Zyklus während der Operation des Mustergenerators 12. Fig. 8(B) zeigt ein Signal, welches von dem Mustergenerator 12 vom Zyklus 6 bis zum Zyklus 10 zu dem DRAM 18 auszu­ geben ist.

Vom Zyklus 1 bis zum Zyklus 6 führt der Mustergenera­ tor 12 dieselbe Operation wie der in Fig. 7 gezeigte Zyklus aus. Hier gibt der Zeitgeber 42, wenn er fest­ stellt, daß eine vorbestimmte Zeit im Zyklus 6 ver­ gangen ist, die Unterbrechungsanforderung zu der Subadressen-Erweiterungseinheit 44 aus. Dies findet statt, weil der Zeitgeber 42 anzeigt, daß die Zeit zum Ausführen der Wiederauffrischungsoperation er­ reicht ist. Die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 setzt das Wiederauffrischungs-Zyklussignal im näch­ sten Zyklus 7 auf "1" und gibt das Wiederauffri­ schungs-Zyklussignal zu der Adressenerweiterungsein­ heit 34 und der Multiplexschaltung 38 aus. Der Mu­ stergenerator 12 führt dieselbe Operation wie in Fig. 7 gezeigt vom Zyklus 7 bis zum Zyklus 9 aus und gibt das Signal wie in Fig. 8(B) gezeigt zu dem DRAM 18 aus.

Im Zyklus 10 setzt die Subadressen- Erweiterungseinheit 44 das Wiederauffrischungs- Zyklussignal auf "0" und gibt dieses zu der Adres­ senerweiterungseinheit 34 und der Multiplexschaltung 38 aus. Die Adressenerweiterungseinheit 34 beginnt hierdurch wieder mit der Erzeugung der Adresse durch den Vektorbefehl. Darüber hinaus gibt die Multiplex­ schaltung 38 die Adresse "#2", welche von der Adres­ senbezeichnungseinheit 36 ausgegeben wurde, als eine Adresse PC zu der Mustererzeugungseinheit 50 aus.

Dann gibt der Steuerbefehlsspeicher 52 "XB < B + 1" und "PAGE", welche der Adresse "#2" entsprechen, zu dem Musteroperator 54 aus. Wie in Fig. 8(B) gezeigt ist, gibt der Musteroperator 54 den Wert des Widerstands XB als ein Adressensignal aus und gibt das CAS-Signal aus, welches so gesetzt ist, daß es ein negativer Im­ puls ist. Hier führt, da die Reihenadresse, welche vor der Ausführung der "REFRESH"-Operation gehalten wurde, bereits im Zyklus 9 in den DRAM 18 eingegeben wurde, der DRAM 18 die "PAGE"-Operation aus, d. h. den Leseprozeß und den Schreibprozeß bei der Speicherzel­ le entsprechend der Spalte des Wertes des Widerstands XB und der Reihe des Wertes des Widerstands YB, die bereits im Zyklus 6 eingegeben wurden. Die folgenden Zyklen werden wie vorstehend gezeigt ausgeführt. Auf diese Weise wird die Unterbrechungsanforderung durch den Zeitgeber 42 während der "PAGE-IN"-Operation er­ zeugt, der DRAM 18 kann wieder aufgefrischt werden und der DRAM 18 kann die "PAGE"-Operation ohne Schwierigkeiten nach der Wiederauffrischungsoperation ausführen.

Fig. 9 zeigt ein weiteres anderes Beispiel der Ar­ beitsweise des Mustergenerators gemäß dem ersten Aus­ führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Fig. 9 zeigt die Arbeitsweise des Mustergenerators 12, wenn die in Fig. 6 gezeigten verschiedenen Arten von In­ formationen in dem Mustergenerator 12 gespeichert sind. Fig. 9 zeigt besonders die Arbeitsweise des Mu­ stergenerators 12, wenn der Zeitgeber 42 im Zyklus 5, in welchem der DRAM 18 die "PAGE-OUT"-Operation aus­ führt, eine Unterbrechungsanforderung erzeugt.

Fig. 9(A) zeigt den Wert der von der Adressenbezeich­ nungseinheit 36 ausgegebenen Adresse, den Wert der von der Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 ausgegebe­ nen Adresse RAP, den Wert der von der Multiplexschal­ tung 38 ausgegebenen Adresse PC, den Wert des Wider­ stands XB, den Wert des Widerstands YB, den Wert des Widerstands RF, den Wert des Wiederauffrischungs- Zyklussignals, die Operation des Widerstands, welcher die zu dem DRAM 18 auszugebende Adresse liefern soll, und die Operation des DRAM für jedes Zyklus während der Operation des Mustergenerators 12. Fig. 9(B) zeigt ein Signal, welches von dem Mustergenerator 12 zu dem DRAM 18 auszugeben ist, vom Zyklus 4 bis zum Zyklus 9.

Vom Zyklus 1 bis zum Zyklus 5 führt der Mustergenera­ tor 12 dieselbe Operation wie der in Fig. 7 gezeigte Zyklus aus. Hier gibt der Zeitgeber 42, wenn er fest­ stellt, daß eine vorbestimmte Zeit im Zyklus 5 ver­ strichen ist, die Unterbrechungsanforderung zu der Subadressen-Erweiterungseinheit 44 aus. Dies folgt daraus, daß der Zeitgeber 42 anzeigt, wenn die Zeit zur Ausführung der Wiederauffrischungsoperation er­ reicht ist. Die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 setzt das Wiederauffrischungs-Zyklussignal im näch­ sten Zyklus 6 auf "1" und gibt das Wiederauffri­ schungs-Zyklussignal zu der Adressenerweiterungsein­ heit 34 und der Multiplexschaltung 38 aus. Der Mu­ stergenerator 12 führt dieselbe Operation wie in Fig. 7 vom Zyklus 6 bis zum Zyklus 8 aus und gibt das Si­ gnal wie in Fig. 9(B) gezeigt zu dem DRAM 18 aus.

Im Zyklus 9 setzt die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 das Wiederauffrischungs-Zyklussignal auf "0" und gibt das Wiederauffrischungs-Zyklussignal zu der Adressenerweiterungseinheit 34 und der Multiplex­ schaltung 38 aus. Die Adressenerweiterungseinheit 34 beginnt hierdurch wieder mit der Erzeugung der Adres­ se durch den Vektorbefehl. Darüber hinaus gibt die Multiplexschaltung 38 die Adresse "#1", welche von der Adressenbezeichnungseinheit 36 ausgegeben wurde, als eine Adresse PC zu der Mustererzeugungseinheit 50 aus.

Dann gibt der Steuerbefehlsspeicher 52 "XB < XB + 1" und "PAGE-IN", welche der Adresse "#1" entsprechen, zu dem Musteroperator 54 aus. Wie in Fig. 9(B) gezeigt ist, gibt der Musteroperator 54 den Wert des Wider­ stands YB als ein Adressensignal aus und gibt das RAS-Signal aus, welches auf "NIEDRIG" gesetzt ist. Der Musteroperator 54 gibt dann den Wert des Wider­ stands XB als ein Adressensignal aus und gibt das CAS-Signal aus, welches so gesetzt ist, daß es ein negativer Impuls ist. Der DRAM 18 führt hierdurch die "PAGE-IN"-Operation aus. Die folgenden Zyklen werden wie vorstehend gezeigt ausgeführt. Auf diese Weise kann, selbst wenn die Unterbrechungsanforderung wäh­ rend der "PAGE-OUT"-Operation durch den Zeitgeber er­ zeugt werden kann, der DRAM 18 wieder aufgefrischt werden, und der DRAM 18 kann die "PAGE-IN"-Operation ohne Schwierigkeiten nach der "REFRESH"-Operation ausführen.

Wie vorstehend gezeigt ist, kann selbst die Unterbre­ chungsanforderung zu irgendeinem Zeitpunkt der "PAGE"-Operation, der "PAGE-IN"-Operation oder der "PAGE-OUT"-Operation erzeugt werden, der DRAM 18 kann wieder aufgefrischt werden und der DRAM 18 kann eine gewünschte Operation ohne Schwierigkeiten nach der "REFRESH"-Operation ausführen.

Fig. 10 zeigt eine Konfiguration des Mustergenerator gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegen­ den Erfindung. Der in Fig. 10 gezeigte Mustergenera­ tor 12 erzeugt ein Prüfmuster zum Prüfen einer Vor­ richtung mit einer logischen Einheit als ein Beispiel für das elektrische Teil 18. In Fig. 10 ist die Kon­ figuration mit demselben Funktionselement wie beim ersten Ausführungsbeispiel mit denselben Bezugszahlen versehen.

Der Unterschied zwischen dem Mustergenerator 12 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel und dem Muster­ generator 12 nach dem ersten Ausführungsbeispiel wird nachfolgend erläutert. Der Mustergenerator 12 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält nicht den Zeitgeber 42 und weist anstelle der Mustererzeu­ gungseinheit 50 einen Logikmusterspeicher 60, welcher ein Logikmuster als Beispiel für ein Prüfmuster spei­ chert. Die Adressenerweiterungseinheit 34 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel gibt die Unterbre­ chungsanforderung zu der Subadressen-Expansionsein­ heit 44 aus, wenn ein Sprungbefehl (JSR) in dem Vek­ torbefehl, welcher einen Sprung zu der Subroutine be­ fiehlt, erfaßt wird.

Die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 setzt das Wie­ derauffrischungs-Zyklussignal auf "1" bis zum Ende des Erzeugungsprozesses für das Prüfmuster, welches verwendet wird für die Subroutine des Unterbrechungs­ prozesses, wenn die Unterbrechungsanforderung von der Adressenerweiterungseinheit 34 empfangen wird. Dann gibt die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 das Wie­ derauffrischungs-Zyklussignal, welches auf "1" ge­ setzt ist, zu der Adressenerweiterungseinheit 34 und der Multiplexschaltung 38 aus. In anderen Fällen, d. h. wenn die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 die Unterbrechungsanforderung von der Adressenerweite­ rungseinheit 34 nicht empfängt, setzt die Subadres­ sen-Erweiterungseinheit 44 das Wiederauffrischungs- Zyklussignal auf "0" und gibt es zu der Adressener­ weiterungseinheit 34 und der Multiplexschaltung 38 aus.

Hier werden in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel der Musterspeicher und der Unterbrechungs-Musterspei­ cher, die in den Ansprüchen erwähnt werden, durch den Logikmusterspeicher 60 gebildet. Der in den Ansprü­ chen erwähnte Unterbrechungs-Vektorspeicher wird durch den Subvektorspeicher 40 gebildet. Die in den Ansprüchen erwähnte Unterbrechungsadressen-Erweite­ rungseinheit wird durch die Subadressen-Erweiterungs­ einheit 44 gebildet. Die in den Ansprüchen erwähnte Mustererzeugungseinheit wird durch die Multiplex­ schaltung 38 und den Logikmusterspeicher 60 gebildet. Die Unterbrechungs-Erfassungseinheit und die Unter­ brechungsende-Erfassungseinheit, die in den Ansprü­ chen erwähnt sind, werden die durch die Subadressen- Erweiterungseinheit 44 gebildet. Die Unterbrechungs- Steuervorrichtung und die Startsteuervorrichtung, die in den Ansprüchen erwähnt, sind, werden durch die Adressenerweiterungseinheit 34 gebildet. Die in den Ansprüchen erwähnte Adressenauswahleinheit wird durch die Multiplexschaltung 38 gebildet, und die in den Ansprüchen erwähnte Erzeugungseinheit für ein verei­ nigtes Muster wird durch den Logikmusterspeicher 60 gebildet.

Fig. 11 zeigt verschiedene Arten von in dem Musterge­ nerator gespeicherten Informationen gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Fig. 11(A) zeigt einen in dem Vektorspeicher 30 gespei­ cherten Folgenbefehl. In Fig. 11(A) ist "JSR" ein Be­ fehl, der die gegenwärtige Adresse ausgibt, zu der Subroutine springt und "#1" zu der gegenwärtigen Adresse addiert. Die Befehle, welche vorstehend nicht beschrieben sind, sind ähnlich dem Befehl des in Fig. 2 gezeigten herkömmlichen Beispiels. Fig. 11(B) zeigt den in dem Subvektorspeicher 40 gespeicherten Folgen­ befehl. In Fig. 11(B) ist jeder Befehl ähnlich den Befehlen des in Fig. 6 gezeigten ersten Ausführungs­ beispiels.

Fig. 11(C) zeigt ein Beispiel eines in dem Logikmu­ sterspeicher 60 gespeicherten Prüfmusters. In Fig. 11(C) sind PAT-1, PAT-2 usw. Prüfmuster für eine Hauptroutine, und SPAT-1, SPAT-2 und SPAT-3 sind Prüfmuster für eine Subroutine als ein Beispiel eines Unterbrechungsprüfmusters. Jedes Prüfmuster enthält ein Eingabeprüfmuster zum Prüfen eines elektrischen Teils und ein Erwartungswertmuster, von welchem er­ wartet wird, daß es ausgegeben wird, nachdem das Ein­ gabeprüfmuster in ein normales elektrisches Teil ein­ gegeben wurde.

Fig. 12 zeigt ein Beispiel für die Arbeitsweise des Mustergenerators gemäß dem zweiten Ausführungsbei­ spiel der vorliegenden Erfindung. Fig. 12 zeigt die Arbeitsweise des Mustergenerators 12, wenn die in Fig. 11 gezeigten verschiedenen Arten von Informatio­ nen in dem Mustergenerator 12 gespeichert sind. Dar­ über hinaus zeigt Fig. 12 den Wert der von der Adres­ senbezeichnungseinheit 36 ausgegeben Adresse, den Wert der von der Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 ausgegebenen Adresse RAP, den Wert der von der Multi­ plexschaltung 38 ausgegebenen Adresse PC, den Wert des Wiederauffrischungs-Zyklussignals und das auszu­ gebende Logikmuster.

Im Zyklus 1 nimmt die Adressenerweiterungseinheit 34 "NOP" von dem Vektorcachespeicher 32 auf, bewirkt, daß die Adressenbezeichnungseinheit 36 den gegenwär­ tigen Adressenwert "#0" ausgibt, und setzt den Adres­ senwert auf "#1". Hier wird das Wiederauffrischungs- Zyklussignal mit dem Wert "0" von der Subadressen- Erweiterungseinheit 44 ausgegeben. Da das Wiederauf­ frischungs-Zyklussignal gleich "0" ist, gibt die Mul­ tiplexschaltung 38 "#0", welches von der Adressenbe­ zeichnungseinheit 36 ausgegeben wird, als eine Adres­ se PC zu dem Logikmusterspeicher 60 aus. Hierdurch gibt der Logikmusterspeicher 60 PAT-1 aus, welches der Adresse "#0" entspricht.

Im Zyklus 2 nimmt die Adressenerweiterungseinheit 34 "JSR" von dem Vektorcachespeicher 32 auf, bewirkt, daß die Adressenbezeichnungseinheit 36 den gegenwär­ tigen Adressenwert "#1" ausgibt, setzt den Adressen­ wert auf "#2" und gibt die Unterbrechungsanforderung zu der Subadressen-Erweiterungseinheit 44 aus. Die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 setzt hierdurch das Wiederauffrischungs-Zyklussignal auf "1" und gibt das Wiederauffrischungs-Zyklussignal zu der Adres­ senerweiterungseinheit 34 und der Multiplexschaltung 38 von dem nächsten Zyklus 3 bis zu dem Zyklus, in welchem der RTN-Befehl ausgeführt wird, aus. Darüber hinaus gibt, da das Wiederauffrischungs-Zyklussignal gleich "0" ist, die Multiplexschaltung 38 "#1", wel­ ches von der Adressenbezeichnungseinheit 36 ausgege­ ben wurde, als eine Adresse PC zu dem Logikmuster­ speicher 60 aus. Hierdurch gibt der Logikmusterspei­ cher 60 PAT-2 aus, welches der Adresse "#1" ent­ spricht.

Im Zyklus 3 bewirkt, da das Wiederauffrischungs- Zyklussignal gleich "1" ist, die Adressenerweite­ rungseinheit 34, daß die Adressenbezeichnungseinheit 36 den gegenwärtigen Adressenwert hält, und hält die Erzeugung einer Adresse durch den Vektorbefehl an. Andererseits nimmt die Subadressen-Erweiterungsein­ heit 44 den Befehl "NOP" von dem Subvektorspeicher 40 auf, bewirkt, daß die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 den gegenwärtigen Adressenwert "#0" ausgibt und setzt den Adressenwert auf "#1". Die Subadressen- Bezeichnungseinheit 48 addiert den von der Subadres­ sen-Erweiterungseinheit 44 empfangenen Adressenwert "#0" und den in der Startadressen-Speichereinheit 46 gespeicherten Adressenwert "#300" und gibt die Summe zu der Multiplexschaltung 38 aus. Da das Wiederauf­ frischungs-Zyklussignal gleich "1" ist, gibt die Mul­ tiplexschaltung 38 die Adresse "#300", welche von der Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 ausgegeben wurde, als eine Adresse PC zu dem Logikmusterspeicher 60 aus. Der Logikmusterspeicher 60 gibt hierdurch das Logikmuster SPAT-1, welches eine Subroutine ist, aus.

Im Zyklus 4 bewirkt, da das Wiederauffrischungs- Zyklussignal gleich "1" ist, die Adressenexpansions­ einheit 34, daß die Adressenbezeichnungseinheit 36 den gegenwärtigen Adressenwert hält, und hält die Er­ zeugung einer Adresse durch den Vektorbefehl an. An­ dererseits nimmt die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 den Befehl "NOP" von dem Subvektorspeicher 40 auf, bewirkt, daß die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 den gegenwärtigen Adressenwert "#1" ausgibt, und setzt den Adressenwert auf "#2". Die Subadressen- Bezeichnungseinheit 48 addiert den von der Subadres­ sen-Erweiterungseinheit 44 empfangenen Adressenwert "#1" und den in der Startadressen-Speichereinheit 46 gespeicherten Adressenwert "#300" und gibt den ad­ dierten Wert "#301" zu der Multiplexschaltung 38 aus. Da das Wiederauffrischungs-Zyklussignal gleich "1" ist, gibt die Multiplexschaltung 38 die Adresse "#301", welche von der Subadressen-Bezeichnungsein­ heit 48 ausgegeben wurde, als eine Adresse PC zu dem Logikmusterspeicher 60 aus. Der Logikmusterspeicher 60 gibt hierdurch das Logikmuster SPAT-2 15833 00070 552 001000280000000200012000285911572200040 0002010031528 00004 15714, welches ei­ ne Subroutine ist, aus.

Im Zyklus 5 bewirkt, da das Wiederauffrischungs- Zyklussignal gleich "1" ist, die Adressenerweite­ rungseinheit 34, daß die Adressenbezeichnungseinheit 36 den gegenwärtigen Adressenwert hält, und hält die Erzeugung einer Adresse durch den Vektorbefehl an. Andererseits nimmt die Subadressen-Erweiterungsein­ heit 44 den Befehl "RTN" von dem Subvektorspeicher 40 auf, bewirkt, daß die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 den gegenwärtigen Adressenwert "#2" ausgibt, und setzt den Adressenwert auf "#0". Da der von dem Sub­ vektorspeicher 40 aufgenommene Befehl gleich "RTN" ist, setzt die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 das Wiederauffrischungs-Zyklussignal auf "0" und gibt den Wiederauffrischungszyklus in dem nächsten Zyklus aus.

Die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 addiert den von der Subadressen-Erweiterungseinheit 44 empfange­ nen Adressenwert "#2" und den in der Startadressen- Speichereinheit 46 gespeicherten Adressenwert "#300" und gibt den addierten Wert "#302" zu der Multiplex­ schaltung 38 aus. Da das Wiederauffrischungs-Zyklus­ signal gleich "1" ist, gibt die Multiplexschaltung 38 die Adresse "#302", welche von der Subadressen- Bezeichnungseinheit 48 ausgegeben wurde, als eine Adresse PC zu dem Logikmusterspeicher 60 aus. Der Lo­ gikmusterspeicher 60 gibt hierdurch das Logikmuster SPAT-3, welches eine Subroutine ist, aus.

Im Zyklus 6 setzt die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 das Wiederauffrischungs-Zyklussignal auf "0" und gibt das Wiederauffrischungs-Zyklussignal zu der Adressenerweiterungseinheit 34 und die Multiplex­ schaltung 38 aus. Die Adressenerweiterungseinheit 34 beginnt hierdurch wieder mit der Erzeugung der Adres­ se des Vektorbefehls. Darüber hinaus gibt die Multi­ plexschaltung 38 die Adresse "#2", welche von der Adressenbezeichnungseinheit 36 ausgegeben wurde, als eine Adresse PC zu dem Logikmusterspeicher 60 aus. Der Logikmusterspeicher 60 gibt hierdurch das Muster PAT-3, welches eine Subroutine ist, aus. Der folgende Zyklus wird wie vorstehend gezeigt, ausgeführt. Auf diese Weise kann der Mustergenerator gemäß der vor­ liegenden Erfindung ein Prüfmuster auf der Grundlage des Vektorbefehls, welcher eine Subroutine wird, er­ zeugen, wobei eine einfache Konfiguration verwendet wird.

Fig. 13 zeigt eine Konfiguration des Mustergenerators gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der vorliegen­ den Erfindung. Der in Fig. 13 gezeigte Mustergenera­ tor 12 erzeugt ein Prüfmuster zum Prüfen einer Vor­ richtung mit einer Speichereinheit und einer Logik­ einheit, die zusammen angeordnet sind, als ein Bei­ spiel für das elektrische Teil 18. Dieselben Bezugs­ zahlen wie die Bezugszahlen des ersten Ausführungs­ beispiels und des zweiten Ausführungsbeispiels sind für die Konfigurationen des Mustergenerators nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel mit denselben Funk­ tionselementen wie den Funktionselementen des ersten Ausführungsbeispiels und den zweiten Ausführungsbei­ spiels vorgesehen.

Der Unterschied zwischen dem Mustergenerator 12 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel und dem zweiten Ausführungsbeispiel wird nachfolgend erläutert. Der Mustergenerator 12 nach dem vorliegenden Ausführungs­ beispiel enthält nicht die Multiplexschaltung 38 und die Startadressen-Speichereinheit 46. Jedoch weist der Mustergenerator 12 nach dem vorliegenden Ausfüh­ rungsbeispiel die Mustererzeugungseinheit 50 und die Multiplexschaltung 62 auf. Die Mustererzeugungsein­ heit 50 erzeugt ein Prüfmuster für eine Speicherein­ heit oder ein Speichermuster auf der Grundlage der von der Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 ausgegebe­ nen Adresse.

Die Multiplexschaltung 62 wählt ein Prüfmuster für die Logikeinheit oder ein Logikmuster, das von dem Logikmusterspeicher 60 ausgegeben wurde, und ein Speichermuster, das von der Mustererzeugungseinheit 50 ausgegeben wurde, auf der Grundlage des von der Subadressen-Erweiterungseinheit 44 aufgenommenen Wie­ derauffrischungs-Zyklussignals aus und gibt dieses aus. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird das von der Mustererzeugungseinheit 50 ausgegebene Speichermuster ausgewählt, wenn das Wiederauffri­ schungs-Zyklussignal gleich "1" ist, und das von dem Logikmusterspeicher 60 ausgegebene Logikmuster wird ausgewählt, wenn das Wiederauffrischungs-Zyklussignal gleich "0" ist.

Hier wird bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ein in den Ansprüchen erwähnter Musterspeicher durch den Logikmusterspeicher 60 gebildet. Der in den An­ sprüchen erwähnte. Unterbrechungsmusterspeicher wird durch den Steuerbefehlsspeicher 52 gebildet. Der in den Ansprüchen erwähnte Unterbrechungs-Vektorspeicher wird durch den Subvektorspeicher 40 gebildet. Die in den Ansprüchen erwähnte Unterbrechungsadressen-Erwei­ terungseinheit wird durch die Subadressen-Erweite­ rungseinheit 44 gebildet. Die in den Ansprüchen er­ wähnte erste Mustererzeugungseinheit wird durch den Logikmusterspeicher 60 gebildet. Die in den Ansprü­ chen erwähnte zweite Mustererzeugungseinheit wird durch die Mustererzeugungseinheit 50 gebildet. Die Unterbrechungs-Erfassungseinheit und die Unterbre­ chungsende-Erfassungseinheit, die in den Ansprüchen erwähnt sind, werden durch die Subadressen-Erweite­ rungseinheit 44 gebildet. Die Unterbrechungs-Steuer­ vorrichtung und die Startsteuervorrichtung, die in den Ansprüchen erwähnt sind, werden durch die Adres­ senerweiterungseinheit 34 gebildet. Die in den An­ sprüchen erwähnte Prüfmuster-Auswahleinheit wird durch die Multiplexschaltung 62 gebildet.

Fig. 14 zeigt verschiedene Arten von Informationen, die in dem Mustergenerator gemäß dem dritten Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gespeichert sind. Fig. 14(A) zeigt einen in dem Vektorspeicher 30 gespeicherten Folgenbefehl. In Fig. 14(A) ist jeder Befehl derselbe wie die vorstehend erläuterten Befeh­ le. Fig. 14(B) zeigt den in dem Subvektorspeicher 40 gespeicherten Folgenbefehl. In Fig. 14(B) ist jeder Befehl derselbe wie die vorstehend erläuterten Befeh­ le. Fig. 14(C) zeigt ein Beispiel des in dem Logikmu­ sterspeicher 60 gespeicherten Prüfmusters. In Fig. 14(C) sind PAT-1, PAT-2 usw. Prüfmuster. Fig. 14(D) zeigt ein Beispiel des in dem Steuerbefehlsspeicher 52 gespeicherten Steuerbefehls. In Fig. 14(D) ist je­ der der Befehle derselbe wie die vorstehend erläuter­ ten Befehle.

Fig. 15 zeigt ein Beispiel der Arbeitsweise des Mu­ stergenerators gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel nach der vorliegenden Erfindung. Fig. 15 zeigt die Arbeitsweise des Mustergenerators 12, wenn die in Fig. 14 gezeigten verschiedenen Arten von Informatio­ nen in dem Mustergenerator 12 gespeichert sind. Dar­ über hinaus zeigt Fig. 15 den Wert der von der Adres­ senbezeichnungseinheit 36 ausgegebenen Adresse, den Wert der von der Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 ausgegebenen Adresse RAP, den Wert des Wiederauffri­ schungs-Zyklussignals und das auszugebende Muster.

Im Zyklus 1 nimmt die Adressenerweiterungseinheit 34 "NOP" von dem Vektorcachespeicher 32 auf, bewirkt, daß die Adressenbezeichnungseinheit 36 den gegenwär­ tigen Adressenwert "#0" ausgibt, und setzt den Adres­ senwert auf "#1". Der Logikmusterspeicher 60 gibt PAT-1, welches der Adresse "#0" entspricht, aus. Hier wird das Wiederauffrischungs-Zyklussignal mit dem Wert "0" von der Subadressen-Erweiterungseinheit 44 ausgegeben. Da das Wiederauffrischungs-Zyklussignal gleich "0" ist, gibt die Multiplexschaltung 62 PAT-1 aus, welches von dem Logikmusterspeicher 60 ausgege­ ben wurde.

Im Zyklus 2 nimmt die Adressenerweiterungseinheit 34 den nächsten Befehl "JSR" von dem Vektorcachespeicher 32 auf, bewirkt, daß die Adressenbezeichnungseinheit den gegenwärtigen Adressenwert "#1" ausgibt, setzt den Adressenwert auf "#2" und gibt die Unterbre­ chungsanforderung an die Subadressen-Erweiterungsein­ heit 44 aus. Die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 setzt hierdurch das Wiederauffrischungs-Zyklussignal auf "1" und gibt dies zu der Adressenerweiterungsein­ heit 34 und der Multiplexschaltung 62 von dem näch­ sten Zyklus 3 bis zu dem Zyklus, in welchem der RTN- Befehl ausgeführt wird, aus. Darüber hinaus gibt der Logikmusterspeicher 60 PAT-2, welches der Adresse "#1" entspricht, aus. Da das Wiederauffrischungs- Zyklussignal gleich "0" ist, gibt die Multiplexschal­ tung 62 PAT-2 aus, welches von dem Logikmusterspei­ cher 60 ausgegeben wurde.

Im Zyklus 3 bewirkt, da das Wiederauffrischungs- Zyklussignal gleich "1" ist, die Adressenerweite­ rungseinheit 34, daß die Adressenbezeichnungseinheit 36 den gegenwärtigen Adressenwert hält, und hält die Erzeugung der Adresse durch den Vektorbefehl an. An­ dererseits nimmt die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 den Befehl "NOP" von dem Subvektorspeicher 40 auf, bewirkt, daß die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 den gegenwärtigen Adressenwert "0" ausgibt, und setzt den Adressenwert auf "#1". Die Subadressen-Bezeich­ nungseinheit 48 gibt den von der Subadressen-Erweite­ rungseinheit 44 empfangenen Adressenwert "#0" zu der Mustererzeugungseinheit 50 aus. Hierdurch werden die Befehle "XB<0" und "YB<0" von dem Steuerbefehlsspei­ cher 52 zu dem Musteroperator 54 geliefert. Daher setzt der Musteroperator 54 den Wert des Widerstands XB und den Wert des Widerstands YB im nächsten Zyklus auf "0". Der Musteroperator 54 erzeugt das Speicher­ muster gemäß dem Steuerbefehl. Da das Wiederauffri­ schungs-Zyklussignal gleich "1" ist, gibt die Multi­ plexschaltung 62 das Speichermuster aus, welches von der Mustererzeugungseinheit 50 ausgegeben wurde.

Im Zyklus 4 nimmt die Subadressen-Erweiterungseinheit 44 den Befehl "NOP" von dem Subvektorspeicher 40 auf, bewirkt, daß die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 den gegenwärtigen Adressenwert "#1" ausgibt, und setzt den Adressenwert auf "#2". Subadressen-Bezeich­ nungseinheit 48 gibt den von der Subadressen-Erweite­ rungseinheit 44 empfangenen Adressenwert "#1" aus. Der Befehl "XB < XB + 1" wird hierdurch von dem Steuerbe­ fehlsspeicher 52 zu dem Musteroperator 54 geliefert. Der Musteroperator 54 addiert somit "1" in dem näch­ sten Zyklus zu dem Wert des Widerstands XB. Der Mus­ teroperator 54 erzeugt das Speichermuster gemäß dem Steuerbefehl. Da das Wiederauffrischungs-Zyklussignal gleich "1" ist, gibt die Multiplexschaltung 62 das von der Mustererzeugungseinheit 50 ausgegebene Spei­ chermuster aus. Der Mustergenerator 12 operiert ähn­ lich wie vorstehend erläutert für die Zyklen 5 bis 11.

Im Zyklus 12 nimmt die Subadressen-Erweiterungsein­ heit 44 den Befehl "RTN" von dem Subvektorspeicher 40 auf und bewirkt, daß die Subadressen-Bezeichnungsein­ heit 48 den gegenwärtigen Adressenwert "#5" ausgibt. Die Subadressen-Bezeichnungseinheit 48 gibt den von der Subadressen-Erweiterungseinheit 44 empfangenen Adressenwert "#5" zu der Mustererzeugungseinheit 50 aus. Da der von dem Subvektorspeicher 40 aufgenommene Befehl "RTN" ist, setzt die Subadressen-Erweiterungs­ einheit 44 das Wiederauffrischungs-Zyklussignal auf "0" und gibt das Wiederauffrischungs-Zyklussignal in dem nächsten Zyklus 13 aus.

Im Zyklus 13 setzt die Subadressen-Erweiterungsein­ heit 44 das Wiederauffrischungs-Zyklussignal auf "0" und gibt das Wiederauffrischungs-Zyklussignal zu der Adressenerweiterungseinheit 34 und der Multiplex­ schaltung 62 aus. Die Adressenerweiterungseinheit 34 beginnt hierdurch wieder mit der Erzeugung der Adres­ se des Vektorbefehls, nimmt den nächsten Befehl "NOP" von dem Vektorcachespeicher 32 auf, bewirkt, daß die Adressenbezeichnungseinheit 36 den gegenwärtigen Adressenwert "#2" ausgibt, und setzt den Adressenwert auf "#3". Der Logikmusterspeicher 60 gibt dann PAT-3 aus, welches der Adresse "#2" entspricht. Da das Wie­ derauffrischungs-Zyklussignal gleich "0" ist, gibt die Multiplexschaltung 62 PAT-3 aus, welches von dem Logikmusterspeicher 60 ausgegeben wurde. Der folgende Zyklus wird wie vorstehend erläutert ausgeführt. Auf diese Weise kann der Mustergenerator nach dem vorlie­ genden Ausführungsbeispiel das Logikmuster und das Speichermuster unter Verwendung einer einfachen Kon­ figuration erzeugen. Weiterhin kann der Mustergenera­ tor nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ein Lo­ gikmuster und ein Speichermuster erzeugen, welche miteinander synchronisiert sind.

Diese Erfindung ist nicht auf die vorstehend be­ schriebenen Ausführungsbeispiele begrenzt, sondern es können verschiedene Modifikationen gemacht werden. Z. B. gibt bei dem vorstehend beschriebenen zweiten Ausführungsbeispiel der Logikmusterspeicher 60 das Prüfmuster aus. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Konfiguration beschränkt und die in dem ersten Ausführungsbeispiel gezeigte Mustererzeu­ gungseinheit 50 kann das Prüfmuster ausgeben.

Darüber hinaus entspricht bei dem vorstehend be­ schriebenen dritten Ausführungsbeispiel die in den Ansprüchen erwähnte erste Mustererzeugungseinheit dem Logikmusterspeicher 60, und die in den Ansprüchen er­ wähnte zweite Mustererzeugungseinheit entspricht der Mustererzeugungseinheit 50. Jedoch ist die vorliegen­ de Erfindung nicht auf diese Konfiguration be­ schränkt, und die erste Mustererzeugungseinheit kann der Mustererzeugungseinheit 50 entsprechen, und die zweite Mustererzeugungseinheit kann dem Logikmuster­ speicher 60 entsprechen. Weiterhin kann jede der er­ sten Mustererzeugungseinheit und der zweiten Mu­ stererzeugungseinheit dem Logikmusterspeicher 60 ent­ sprechen, und jede der ersten Mustererzeugungseinheit und der zweiten Mustererzeugungseinheit kann der Mu­ stererzeugungseinheit 50 entsprechen.

Obgleich die vorliegende Erfindung anhand von erläu­ ternden Beispielen beschrieben wurde, ist darauf hin­ zuweisen, daß viele Änderungen und Ersetzungen durch den Fachmann durchgeführt werden können, ohne daß von dem Geist und dem Umfang der vorliegenden Erfindung abgewichen wird, welche nur durch die angefügten An­ sprüche definiert sind.

Claims (17)

1. Mustergenerator (12), welcher ein Prüfmuster er­ zeugt, das zum Prüfen eines elektrischen Teils (18) verwendet wird, mit einem Musterspeicher (52, 60), der Prüfmusterinformationen speichert, welche das Prüfmuster definieren; einem Vektor­ speicher (30), der einen Vektorbefehl speichert, welcher eine Reihenfolge zum Auslesen der Prüf­ musterinformationen aus dem Musterspeicher (52, 60) anzeigt; und einer Adressenerweiterungsein­ heit (34), welche eine Adresse der Prüfmusterin­ formationen in dem Musterspeicher (52, 60) ent­ sprechend dem in dem Vektorspeicher (30) gespei­ cherten Vektorbefehl erzeugt, dadurch gekennzeichnet, daß der Mustergenerator (12, 100) weiterhin auf­ weist: einen Unterbrechungsmusterspeicher (52, 60) der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen speichert, welche das Prüfmuster während eines vorbestimmten Unterbrechungsprozesses definie­ ren; einen Unterbrechungsvektorspeicher (40) welcher gegenüber dem Vektorspeicher (30) unter­ schiedlich ist, der einen Unterbrechungsvektor­ befehl speichert, welche eine Reihenfolge zum Auslesen der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen aus dem Unterbrechungsmusterspei­ cher (52, 60) anzeigt; eine Unterbrechungsadres­ sen-Erweiterungseinheit (44), die eine Adresse der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen gemäß dem in dem Unterbrechungsvektorspeicher (40) ge­ speicherten Unterbrechungsvektorbefehl erzeugt; und eine Mustererzeugungseinheit (38, 50, 60), die das Prüfmuster auf der Grundlage der Prüfmu­ sterinformationen entsprechend der von der Adressenerweiterungseinheit (34) erzeugten Adresse oder der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen entsprechend der von der Unterbre­ chungsadressen-Erweiterungseinheit (44) erzeug­ ten Adresse erzeugt.

2. Mustergenerator nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Mustergenerator weiterhin auf­ weist: eine Unterbrechungs-Erfassungseinheit (44), welche einen Zeitpunkt zum Starten des Un­ terbrechungsprozesses erfaßt; und die Unterbre­ chungsadressen-Erweiterungseinheit (44) erzeugt die Adresse der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen auf der Grundlage der Erfassung des Zeitpunktes zum Starten des Unterbrechungs­ prozesses durch die Unterbrechungs- Erfassungseinheit (44); und die Mustererzeu­ gungseinheit (38, 50, 60) erzeugt das Prüfmuster auf der Grundlage der Prüfmusterinformationen entsprechend der von der Adressenerweiterungs­ einheit (34) erzeugten Adresse, wenn die Unter­ brechungs-Erfassungseinheit (44) den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsprozesses nicht erfaßt, und die Mustererzeugungseinheit (38, 50, 60) erzeugt das Prüfmuster auf der Grundlage der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen entspre­ chend der von der Unterbrechungsadressen- Erweiterungseinheit (44) erzeugten Adresse, wenn die Unterbrechungs-Erfassungseinheit (44) den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsprozes­ ses erfaßt.

3. Mustergenerator nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Mustergenerator weiterhin auf­ weist: eine Unterbrechungs-Steuervorrichtung (34) die die Erzeugung der von der Adressener­ weiterungseinheit (34) erzeugten Adresse unter­ bricht auf der Grundlage der Erfassung des Zeit­ punktes zum Starten des Unterbrechungsprozesses durch die Unterbrechungs-Erfassungseinheit (44); eine Unterbrechungsende-Erfassungseinheit (44), welche ein Ende des Unterbrechungsprozesses er­ faßt; und eine Startsteuervorrichtung (34), wel­ che mit der Erzeugung der Adresse durch die Adressenerweiterungseinheit (34) beginnt auf der Grundlage der Erfassung des Endes des Unterbre­ chungsprozesses durch die Unterbrechungsende- Erfassungseinheit (49).

4. Mustergenerator nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das elektrische Teil (18) ein Speicher mit einer Funktion zum Speichern von Daten ist, und welches eine Wiederauffrischung benötigt, um die Daten zu halten, und daß der Unterbrechungsmusterspeicher (52, 60) die Unter­ brechungsprüfmuster-Informationen speichert, welche ein Prüfmuster zum Wiederauffrischen des Speichers (18) definieren.

5. Mustergenerator nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Unterbrechungsmusterspeicher (52, 60) weiterhin die Unterbrechungsprüfmuster- Informationen speichert, welche ein Prüfmuster für die vorherige Ladung des Speichers definie­ ren, und ein Prüfmuster, um eine Spaltenadresse zu liefern, welche zu dem Speicher (18) vor der Ausführung des Unterbrechungsprozesses geliefert wird, zu dem Speicher (18); daß die Mustererzeu­ gungseinheit (38, 50, 60) das Prüfmuster in der Reihenfolge erzeugt: das Prüfmuster zum vorheri­ gen Laden des Speichers (18), das Prüfmuster zum Wiederauffrischen des Speichers, und das Prüfmu­ ster zum Liefern der Spaltenadresse, wenn die Unterbrechungs-Erfassungseinheit (44) den Zeit­ punkt zum Starten des Unterbrechungsprozesses erfaßt.

6. Mustergenerator nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Mustergenerator weiterhin ei­ nen Zeitgeber (42) zum Messen der Zeit aufweist, und daß die Unterbrechungs-Erfassungseinheit (44) den Zeitpunkt zum Starten des Unterbre­ chungsprozesses auf der Grundlage der von dem Zeitgeber (42) gemessenen Zeit erfaßt.

7. Mustergenerator nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Vektorbefehl, welcher in dem Vektorspeicher (30) gespeichert ist, eine Be­ schreibung enthält, welche den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsprozesses anzeigt; und daß die Unterbrechungs-Erfassungseinheit (44) den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungspro­ zesses auf der Grundlage der Beschreibung er­ faßt.

8. Mustergenerator nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß jede von den Prüfmusterinformatio­ nen und den Unterbrechungsprüfmuster- Informationen das Prüfmuster sind, oder ein Steuerbefehl zum Erzeugen des Prüfmusters.

9. Mustergenerator nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß entweder die Prüfmusterinformatio­ nen oder die Unterbrechungsprüfmuster- Informationen das Prüfmuster sind und die ande­ ren hiervon ein Steuerbefehl zum Erzeugen des Prüfmusters sind.

10. Mustergenerator nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Prüfmusterinformationen und die Unterbrechungsprüfmuster-Informationen in einem einzelnen Speicherraum gespeichert sind entsprechend den Adressen, welche voneinander verschieden sind; und daß die Mustererzeugungs­ einheit (38, 50, 60) enthält: eine Adressenaus­ wahleinheit (38), welche die von der Adressener­ weiterungseinheit (34) erzeugte Adresse aus­ wählt, wenn die Unterbrechungs-Erfassungseinheit (44) den Zeitpunkt zum Starten des Unterbre­ chungsprozesses nicht erfaßt, und die von der Unterbrechungsadressen-Erweiterungseinheit (44) erzeugte Adresse auswählt, wenn die Unterbre­ chungs-Erfassungseinheit (44) den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsprozesses erfaßt; und eine Erzeugungseinheit (50, 60) für ein verei­ nigtes Muster, welche das Prüfmuster auf der Grundlage der Prüfmusterinformationen oder der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen erzeugt entsprechend der von der Adressenauswahleinheit (38) ausgewählten Adresse.

11. Mustergenerator nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Mustererzeugungseinheit ent­ hält: eine erste Mustererzeugungseinheit (60), welche das Prüfmuster auf der Grundlage der Prüfmusterinformationen entsprechend der von der Adressenerweiterungseinheit (34) erzeugten Adresse erzeugt; eine zweite Mustererzeugungs­ einheit (50), welche das Prüfmuster auf der Grundlage der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen entsprechend der von der Unterbre­ chungsadressen-Erweiterungseinheit (44) erzeug­ ten Adresse erzeugt; und eine Prüfmuster- Auswahleinheit (62), die das von der ersten Mu­ stererzeugungseinheit (60) erzeugte Prüfmuster auswählt, wenn die Unterbrechungs- Erfassungseinheit (44) den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsprozesses nicht erfaßt, und die das von der zweiten Mustererzeugungseinheit (50) erzeugte Prüfmuster auswählt, wenn die Un­ terbrechungs-Erfassungseinheit (44) den Zeit­ punkt zum Starten des Unterbrechungsprozesses erfaßt.

12. Prüfvorrichtung (10) für elektrische Teile zum Prüfen eines elektrischen Teils, welche auf­ weist: einen Musterspeicher (52, 60) der Prüfmu­ sterinformationen speichert, welche ein Prüfmu­ ster enthaltend ein Eingabeprüfmuster, das für die Prüfung zu dem elektrischen Teil (18) gelie­ fert wird, und einen erwarteten Wert, von wel­ chem erwartet wird, daß er von dem elektrischen Teil (18) ausgegeben wird, nachdem das Eingabe­ prüfmuster zu dem elektrischen Teil (18) gelie­ fert wurde, definieren; einen Vektorspeicher (30), welcher einen Vektorbefehl speichert, der eine Reihenfolge des Auslesens der Prüfmusterin­ formationen aus dem Musterspeicher (52, 60) an­ zeigt; eine Adressenerweiterungseinheit (34), welche eine Adresse der Prüfmusterinformationen in dem Musterspeicher (52, 60) entsprechend dem in dem Vektorspeicher (30) gespeicherten Vektor­ befehl erzeugt, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfvorrichtung für elektrische Teile weiterhin aufweist: einen Unterbrechungsmusterspeicher (52, 60) welcher Unterbrechungsprüfmuster-Informationen spei­ chert, die das Prüfmuster während eines vorbe­ stimmten Unterbrechungsprozesses definieren; ei­ nen Unterbrechungsvektorspeicher (40), welcher einen Unterbrechungsvektorbefehl speichert, der eine Reihenfolge für das Auslesen der Unterbre­ chungsprüfmuster-Informationen aus dem Unterbre­ chungsmusterspeicher (52, 60) anzeigt; eine Un­ terbrechungsadressen-Erweiterungseinheit (44), welche eine Adresse der Unterbrechungsprüfmu­ ster-Informationen in dem Unterbrechungsmuster­ speicher (52, 60) entsprechend dem in dem Unter­ brechungsvektorspeicher (40) gespeicherten Un­ terbrechungsvektorbefehl erzeugt; eine Musterer­ zeugungseinheit (38, 50, 60), welche das Prüfmu­ ster auf der Grundlage der Prüfmusterinformatio­ nen entsprechen der von der Adressenerweite­ rungseinheit (34) erzeugten Adresse oder der Un­ terbrechungsprüfmuster-Informationen entspre­ chend der von der Unterbrechungsadressen- Erweiterungseinheit (44) erzeugten Adresse er­ zeugt; eine Stiftdaten-Auswahlvorrichtung (14), welche das von der Mustererzeugungseinheit (38, 50, 60) erzeugten Prüfmuster entsprechend einer Stiftanordnung von elektrischen Anschlüssen des elektrischen Teils (18) neu ordnet; eine Wellen­ form-Formatierungsvorrichtung (16), welche eine Wellenform des Eingabeprüfmusters formatiert, das in dem von der Stiftdaten-Auswahlvorrichtung (14) ausgegebenen Prüfmuster enthalten ist; eine Vorrichtungsbuchse (22), welche das von der Wel­ lenform-Formatierungsvorrichtung (16) formatier­ te Eingabeprüfmuster zu dem elektrischen Teil (18) liefert und ein von dem elektrischen Teil (18) ausgegebenes Ausgangssignal empfängt; und einen Komparator (24), welcher das Ausgangs­ signal, das von der Vorrichtungsbuchse (22) emp­ fangen wurde, mit dem erwarteten Wert ver­ gleicht.

13. Prüfvorrichtung für elektrische Teile nach An­ spruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfvorrichtung für elektrische Teile weiterhin aufweist: eine Unterbrechungs-Erfassungseinheit (44), welche einen Zeitpunkt zum Starten des Un­ terbrechungsprozesses erfaßt; und daß die Unter­ brechungsadressen-Erweiterungseinheit (44) die Adresse der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen erzeugt auf der Grundlage der Er­ fassung des Zeitpunktes zum Starten des Unter­ brechungsvorgangs durch die Unterbrechungs- Erfassungseinheit (44); und daß die Mustererzeu­ gungseinheit (38, 50, 60) das Prüfmuster erzeugt auf der Grundlage der Prüfmusterinformationen entsprechend der von der Adressenerweiterungs­ einheit (34) erzeugten Adresse, wenn die Unter­ brechungs-Erfassungseinheit (44) den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsprozesses nicht erfaßt, unci die Mustererzeugungseinheit (38, 50, 60) das Prüfmuster erzeugt auf der Grundlage der Unterbrechungsprüfmuster-Tnformationen entspre­ chend der von der Unterbrechungsadressen- Erweiterungseinheit (44) erzeugten Adresse, wenn die Unterbrechungs-Erfassungseinheit (44) den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungsprozes­ ses erfaßt.

14. Prüfvorrichtung für elektrische Teile nach An­ spruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Prüfvorrichtung für elektrische Teile weiterhin aufweist: eine Unterbrechungs-Steuervorrichtung (34), welche die Erzeugung der von der Adres­ senerweiterungseinheit (34) erzeugten Adresse unterbricht auf der Grundlage der Erfassung des Zeitpunktes zum Starten des Unterbrechungspro­ zesses durch die Unterbrechungs- Erfassungseinheit (44); eine Unterbrechungsende- Erfassungseinheit (44), welche ein Ende des Un­ terbrechungsprozesses erfaßt; und eine Start­ steuervorrichtung (34), welche die Erzeugung der Adresse durch die Adressenerweiterungseinheit (34) beginnt auf der Grundlage der Erfassung des Endes des Unterbrechungsprozesses durch die Un­ terbrechungsende-Erfassungseinheit (44).

15. Prüfvorrichtung für elektrische Teile nach An­ spruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das elek­ trische Teil (18) ein Speicher mit einer Funkti­ on zum Speichern von Daten ist, welcher eine Wiederauffrischung benötigt, um die Daten zu halten, und daß der Unterbrechungsmusterspeicher (52, 60) die Unterbrechungsprüfmuster- Informationen speichert, welche ein Prüfmuster zum Wiederauffrischen des Speichers (18) defi­ nieren.

16. Prüfvorrichtung für elektrische Teile nach An­ spruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Un­ terbrechungsmusterspeicher (52, 60) weiterhin die Unterbrechungsprüfmuster-Informationen spei­ chert, welche ein Prüfmuster zum vorherigen La­ den des Speicher (18) und ein Prüfmuster zum Liefern einer Spaltenadresse, welche zu dem Speicher vor der Ausführung des Unterbrechungs­ prozesses geliefert wird, zu dem Speicher (18) definieren; daß die Mustererzeugungseinheit (38, 50, 60) das Prüfmuster in der Reihenfolge er­ zeugt: das Prüfmuster zum vorherigen Laden des Speichers (18), das Prüfmuster zum Wiederauffri­ schen des Speichers (18), und das Prüfmuster zum Liefern der Spaltenadresse zu dem Speicher (18), wenn die Unterbrechungs-Erfassungseinheit (44) den Zeitpunkt zum Starten des Unterbrechungspro­ zesses erfaßt.

17. Verfahren zum Erzeugen eines Prüfmusters, das zum Prüfen eines elektrischen Teils (18) verwen­ det wird, enthaltend: Erzeugen von Prüfmusterin­ formationen, welche das Prüfmuster definieren; Erzeugen eines Vektorbefehls, welcher eine Rei­ henfolge zum Auslesen der Prüfmusterinformatio­ nen anzeigt; Erzeugen einer Adresse der Prüfmu­ sterinformationen entsprechend dem Vektorbefehl; dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren wei­ terhin aufweist: Erzeugen von Unterbrechungs­ prüfmuster-Informationen, welche das Prüfmuster während eines vorbestimmten Unterbrechungspro­ zesses definieren; Erzeugen eines Unterbre­ chungsvektorbefehls, welcher eine Reihenfolge zum Auslesen der Unterbrechungsprüfmuster- Informationen anzeigt; Erzeugen einer Adresse der Unterbrechungsprüfmuster-Informationen ent­ sprechend dem Unterbrechungsvektorbefehl; und Erzeugen des Prüfmusters auf der Grundlage der Prüfmuster-Informationen entsprechend der Adres­ se, die durch Erzeugen der Adresse der Prüfmu­ sterinformationen erzeugt wurde, oder der Unter­ brechungsprüfmuster-Informationen entsprechend der Adresse, die durch Erzeugen der Adresse der Unterbrechungsprüfmuster-Tnformationen erzeugt wurde.