DE19955380C2 - Prüfmustergenerator, Prüfvorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von Prüfmustern - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Prüfvorrich­ tung, einen Prüfmustergenerator zum Erzeugen von Prüf­ mustern und ein Verfahren zum Erzeugen von Prüfmus­ tern zum Prüfen einer elektrischen Vorrichtung.

Ein herkömmlicher Prüfmustergenerator einer Prüfvor­ richtung für eine elektrische Vorrichtung weist einen SRAM (statischer Speicher) oder DRAM (dynamischer Speicher) mit einer großen Kapazität zum Speichern von Programmen für die Erzeugung von Prüfmustern auf. Der DRAM wird verwendet, wenn die Kapazität des SRAM nicht ausreicht, um die erforderlichen Programme für die Erzeugung der Prüfmuster zu speichern. Wenn der DRAM verwendet wird, wird ein Prüfmuster von dem DRAM über einen Cachespeicher erzeugt, da der DRAM in ei­ ner vorgegebenen Periode aufgefrischt werden muss und es störend ist, wenn bei der Benutzung des DRAM zu einer Adresse einer verschiedenen Reihe zugegriffen wird.

Fig. 1 ist ein Blockschaltbild eines einen SRAM auf­ weisenden herkömmlichen Prüfmustergenerators. Der herkömmliche Prüfmustergenerator umfasst eine Folge­ steuervorrichtung 62 und einen Prüfsignalgenerator 26. Die Folgesteuervorrichtung 62 umfasst einen Vek­ torspeicher 12, Vektorspeicherbänke 16 und 18, einen Vektorbefehls-Multiplexer 20 und einen Adressenexpan­ der 22. Der Mustersignalgenerator 26 umfasst einen Musterspeicher unter Verwendung des SRAM. Die Folge­ steuervorrichtung 62 erzeugt ein Adressensignal 24 in einer gewünschten Reihenfolge. Wenn das Adressensi­ gnal 24 aufeinanderfolgend in den Mustersignalgenera­ tor 26 eingegeben wird, wird jede der in dem Muster­ signalgenerator 26 gespeicherten Speicheradressen mit jedem der Prüfmuster verbunden, um eine gewünschte Reihe von Prüfmustern zu erzeugen. So werden die Prüfmuster erzeugt.

Die Lesesteuervorrichtung 14 der Folgesteuervorrich­ tung 62 liest die in dem Vektorspeicher 12 gespei­ cherten Vektorbefehle. Die Vektorbefehle werden vor­ übergehend in den Vektorspeicherbänken 16 und 18 ge­ speichert. Der Vektorbefehls-Multiplexer 20 wählt ei­ nen Vektorbefehl aus den vorübergehend in den Vektor­ speicherbänken 16 und 18 gespeicherten Vektorbefehlen aus und gibt den ausgewählten Vektorbefehl zu dem Adressenexpander 22 aus. Die Adresse des Adressensi­ gnals 24 wird durch den Adressenexpander 22 erweitert und zu dem Prüfsignalgenerator 26 übertragen. Jedes der in dem Musterspeicher gespeicherten Mustersignale wird mit jedem der Adressensignale 24 in dem Muster­ signalgenerator 26 verbunden, um Prüfmustersignale 28 zum Prüfen einer elektrischen Vorrichtung zu erzeu­ gen.

Fig. 2 zeigt ein Beispiel eines in dem Vektorspeicher 12 zu speichernden Musterprogramms. Der Befehl "GOSUB A" bedeutet, daß die Routine zu der mit "A" bezeich­ neten Subroutine gehen sollte. Der Befehl "RETURN" bedeutet, daß die Subroutine beendet werden sollte und die Routine zu dem nächsten Befehl (bei einer Adresse, bei der eine Adresse zu der vorhergehenden Adresse addiert ist) zu dem Befehl "GOSUB" zurückkeh­ ren sollte. Der Befehl "REPEAT n" bedeutet, daß das Prüfmuster der angezeigten Adresse n mal ausgegeben werden sollte. Der Befehl "NEXT" bedeutet, daß die Routine zu der nächsten Adresse (eine zu der vorher­ gehenden Adresse addierte Adresse) übergehen sollte. Der Befehl "STOP" bedeutet, daß die Prüfung beendet werden sollte.

Die Prüfmuster für eine elektrische Vorrichtung wer­ den erzeugt durch Anordnen jedes der durch diese Vek­ torbefehle bestimmten individuellen Prüfmuster. Die Befehle der Adressen #11 bis Adresse #15 werden mit "A" bezeichnet und arbeiten als die Subroutinen.

Fig. 3 zeigt eine Beispiel eines komprimierten Mu­ sterprogramms, das in dem Vektorspeicher zu speichern ist. Das Musterprogramm der in Fig. 2 gezeigten Vek­ torbefehle umfasst die Befehle "NEXT", welche bedeu­ ten, daß die Routine zu der nächsten Adresse gehen sollte. Daher werden die Befehle "NEXT" weggelassen und das Musterprogramm wird verdichtet, wie in Fig. 3 gezeigt ist, um in den Vektorspeicher gespeichert zu werden. Bei dieser Anwendung werden die Befehle "NEXT" weggelassen und das Musterprogramm wird insge­ samt verdichtet. Die Folge hiervon ist, daß eine Vek­ torspeicher mit kleiner Kapazität als Prüfmustergene­ rator dienen kann.

Der Befehl "GOSUB A #0 #11" bedeutet, daß der Befehl der Adresse #0 "GOSUB A" ist und die Adresse, zu wel­ cher die Routine gehen sollte, #11 ist. Der Befehl "REPEAT 3 #3" bedeutet, daß der Befehl der Adresse # 3 "REPEAT 3" ist, so daß der Befehl der Adresse #3 dreimal wiederholt werden sollte. Dies bedeutet auch, daß die Befehle der Adresse #1 und der Adresse #2 "NEXT" sind. Somit ist das Musterprogramm insgesamt verdichtet.

Fig. 4 zeigt in dem Mustersignalgenerator 26 zu spei­ chernde Befehle. Vorbestimmte Muster, die als PAT0, PAT1, . . ., PATn gezeigt sind, werden vorher in einem externen Speicher wie einer Platte gespeichert, wel­ che in den Zeichnungen nicht gezeigt ist. Die vorbe­ stimmten Muster werden dann von der Platte ausgele­ sen, wenn die Vorrichtung eingeschaltet ist, und an den jeweiligen Adressen #0, #1, . . ., #n des Mustersi­ gnalgenerators 26 gespeichert.

Fig. 5 zeigt die Arbeitsweise eines herkömmlichen Prüfmustergenerators. In Fig. 5 speichert jede der Vektorspeicherbänke 16 und 18 drei Wörter. Der Mu­ stergenerator 60 wird initialisiert, bevor die Prü­ fung beginnt. Bei der Initialisierung werden die Vek­ torbefehle aus dem Vektorspeicher 12, welche vorher in der Vektorspeicherbank 16 gespeichert wurden, auf der Grundlage der Befehle von der in Fig. 1 gezeigten Lesesteuervorrichtung 14 ausgelesen.

Die in Fig. 1 gezeigte Lesesteuervorrichtung 14 gibt die in dem Vektorspeicher 12 gespeicherten Befehle unter Berücksichtigung der Reihenfolgen zu der Vek­ torspeicherbank 16 aus. Beispielsweise bedeutet der Befehl "GOSUB A", daß die Routine zu der mit "A" be­ zeichneten Subroutine gehen sollte; daher wird der Befehl "REPEAT 2 #13" nachfolgend dem Befehl "GOSUB A #0 #11" geschrieben.

Wenn der Befehl "REPEAT" ausgegeben wird, geht die Routine zu der nächsten Adresse weiter. Der Befehl "RETURN #15 #1" wird als nächster nach dem Befehl "REPEAT" geschrieben. Die Initialisierung ist been­ det, wenn die ersten drei Wörter in die Vektorspei­ cherbank 16 eingeschrieben sind. Die Prüfung wird be­ gonnen, wenn die Initialisierung des Prüfmustergene­ rators 60 beendet ist. Die Prüfung schreitet fort wie nachfolgend erläutert. Der in Fig. 1 gezeigte Adres­ senexpander 14 dehnt die komprimierten Befehle, wel­ che in der Vektorspeicherbank 16 gespeichert waren, während der Prüfmustergenerator 60 initialisiert wird.

Das Adressensignal 24, das den Musterspeicher unter Verwendung des SRAM umfasst, wird zu der Musterform­ vorrichtung 26 geliefert. Die Musterformvorrichtung 26 gibt die darin gespeicherten Prüfmuster aus auf der Grundlage des Adressensignals 24 und liefert die ausgegebenen Prüfmustersignale zu der elektrischen Vorrichtung 76. Nachdem die Prüfung begonnen hat, gibt der Vektorbefehls-Multiplexer 20 selektiv die komprimierten Befehle von den Vektorspeicherbänken, in welchen die Vektorbefehle vorher gespeichert wa­ ren, zu dem Adressenexpander 22 aus.

Ein das die drei in der Vektorspeicherbank 16 gespei­ cherten drei Wörter aufweisendes Programm führt bei der Initialisierung die nachfolgend gezeigten Befehle aus. Zuerst geht die Routine durch den Befehl "GOSUB a #0, #11" von der Adresse #0 zu der Adresse #11. Die Routine geht dann in Reihenfolge von der Adresse #11 zu der Adresse #13 und die Adresse #13 wird durch den Befehl "REPEAT 2 #13" zweimal wiederholt. Die Routine geht dann zu der Adresse #14 weiter. Die Routine geht von der Adresse #14 zu der Adresse #15 weiter und geht durch den Befehl "RETURN #15 #1" zu der Adresse #1.

Während die Prüfmuster von der Vektorspeicherbank 16 erzeugt werden, wird der als nächstes auszuführende Vektorbefehl von dem Vektorspeicher 12 auf der Grund­ lage der Befehle von der Lesesteuervorrichtung 14 zu der Vektorspeicherbank 18 übertragen. Nachdem die Prüfmuster von der Vektorspeicherbank 16 erzeugt sind, wird eine andere Reihe von Prüfmustern auf der Grundlage der in der Vektorspeicherbank 18 gespei­ cherten Befehle erzeugt. Während die Prüfmuster von der Vektorspeicherbank 18 erzeugt werden, wird der als nächsten auszuführende Vektorbefehl auf der Grundlage der Befehle von der Lesesteuervorrichtung 14 von dem Vektorspeicher 12 zu der Vektorspeicher­ bank 16 übertragen. In gleicher Weise wird eine ande­ re Reihe von Prüfmustern auf der Grundlage der in der Vektorspeicherbank 16 gespeicherten Befehle erzeugt, nachdem die Prüfmuster von der Vektorspeicherbank 18 erzeugt wurden.

Durch Wiederholung dieser Operationen werden die Prüfmuster aufeinander folgend von einer der Vektor­ speicherbänke 16 und 18 ausgegeben. Der herkömmliche Prüfmustergenerator minimiert das Musterprogramm durch Verwendung des Initialisierungsmusters enthal­ tend gemeinsam die Subroutine wie den Befehl "GOSUB" und die "Kennzeichnung A". Durch Minimierung des Mu­ sterprogramms wird die erforderliche Kapazität des Vektorspeichers 12 minimiert.

Fig. 6 zeigt ein Blockschaltbild der herkömmlichen Musterformvorrichtung 26, welche einen DRAM aufweist. Die Musterformvorrichtung 26 umfasst einen Muster­ speicher 32, der durch den DRAM gebildet ist, eine Übertragungssteuervorrichtung 34, Multiplexer 36 und 38 für den Musterspeicher, Cashe-Speicherbänke 40 und 42 für den Musterspeicher und einen Multiplexer 44 für die Musterchache-Speicher.

Die den DRAM aufweisende Musterformvorrichtung 26 er­ zeugt die Prüfmustersignale aus dem Musterspeicher 32 über die Cache-Speicher 40 und 42. Die Arbeitsweise der Musterformvorrichtung 26 wird nachfolgen erläu­ tert. Das Adressensignal 24 wird zu den Multiplexern 36 und 38 sowie zu der Übertragungssteuervorrichtung 34 übertragen. Wenn das Adressensignal 24 in den Mul­ tiplexer 44 eingegeben wird, wählt der Multiplexer 44 eine der Cache-Speicherbänke 40 oder 42 aus auf der Grundlage der Differenz des früheren Bits und liest die Mustersignale aus der ausgewählten Cache- Speicherbank aus.

Das Adressensignal 24 wird auch in die Multiplexer 36 und 38 sowie die Übertragungssteuervorrichtung 34 eingegeben. Die Übertragungssteuervorrichtung 34 wählt eine der Musterspeicherbänke 40 und 42 aus, aus welcher das Mustersignal dann vollständig ausgelesen wird auf der Grundlage der die Adresse anzeigenden Bits. Die Übertragungssteuervorrichtung überträgt dann die nächsten Mustersignale von dem Musterspei­ cher 32 über den mit der ausgewählten Musterspeicher­ bank 40 oder 42 verbundenen Multiplexer 44 zu der ausgewählten Musterspeicherbank 40 oder 42. Wenn das Adressensignal in die Übertragungssteuervorrichtung 34 eingegeben ist, werden die Prüfmuster selektiv zu einer der Musterspeicherbänke 40 oder 42 übertragen. Die gewünschten Prüfmuster werden auf der Grundlage der Adresseninformation von dem Multiplexer 44 er­ zeugt.

Wenn der SRAM als der Musterspeicher des Mustersig­ nalgenerators 26 verwendet wird, wird die erforderli­ che Kapazität des Musterspeichers unter Verwendung einer Subroutine minimiert. Jedoch nimmt mit elektri­ schen Vorrichtungen von großem Ausmaß und multifunk­ tionellen elektrischen Vorrichtungen die Anzahl der zum Prüfen einer einzelnen elektrischen Vorrichtung erforderlichen Testmuster zu. Die Kapazität des SRAM ist nicht groß genug, um diese Anzahl von erforderli­ chen Mustern zu speichern. Somit ist es erforderlich, für den Prüfmustergenerator einen DRAM zu verwenden.

Fig. 7 zeigt ein Musterprogramm enthaltend das Initi­ alisierungsmuster am Beginn von jeder Prüfliste. Nur aufeinander folgende Adressen können von dem DRAM zu dem Cache-Speicher übertragen werden. In dem Fall, in welchem nur die aufeinander folgenden Adressen zu dem Cache-Speicher übertragen werden, ist es unmöglich, eine Subroutine einzuschließen. Daher wird in diesem Fall das Initialisierungsmuster von jeder der Prüf­ listen beim Beginn jeder Prüfliste ohne Einschluss der Subroutine geschrieben. Die Folge ist, dass ein DRAM mit einer extrem großen Kapazität benötigt wird, da der DRAM das Initialisierungsmuster für jede der Prüflisten speichern muss.

Die JP 10-153646 A offenbart einen Prüfmustergenera­ tor mit einem Signalspeicher, aus dem ein Befehlscode ausgelesen wird. Von einer Steuereinheit wird ge­ prüft, ob der Befehlscode eines Sprunganweisung ent­ hält. Ist dies nicht der Fall, wird mittels eines Ad­ resszeigers, der jeweils durch den Mustertakt inkre­ mentiert wird, auf einen Hauptmusterspeicher zuge­ griffen. Ist andererseits ein Sprung vorgesehen, wer­ den eine Start- und eine Stoppadresse an eine Sub- Sequenzer-Einheit gegeben, durch die dann auf einen Submusterspeicher zugegriffen wird.

Die US 5 142 223 A beschreibt eine Prüfvorrichtung für eine Halbleiterschaltung mit einem Hauptbefehls­ speicher, einer Hauptmuster-Steuervorrichtung und je­ weils einer Pinprüfungseinheit für jeden Pin der zu prüfenden Halbleiterschaltung. Die einzelnen Pinprü­ fungseinheiten enthalten jeweils einen Pinbefehls­ speicher, einen Musterspeicher, eine Pinmuster- Steuervorrichtung, einen Ausgangswellenform- Erzeugungskreis und einen Komparator. Über einen ex­ ternen Anschuss ist die jeweilige Pinprüfungseinheit mit dem zugehörigen Pin der Halbleiterschaltung ver­ bunden.

Messner, H.-P.: PC-Hardwarebuch, 3. erweiterte Aufla­ ge, Addison-Wesley Publishing Company, 1995, Seiten 253-262, erläutert das Cache-Prinzip, bei dem die jeweiligen Vorteile von schnellen SRAMs und kosten­ günstigen DRAMs kombiniert werden, um ein möglichst effektives Speichersystem zu erhalten.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen einfacheren Prüfmustergenerator, eine entsprechende Speicherprüfvorrichtung und ein Verfahren zum Erzeu­ gen von Prüfmustern anzugeben, durch die die genann­ ten Probleme des Standes der Technik nach den Fig. 1 bis 2 überwunden werden. Diese Aufgabe wird gelöst durch einen Prüfmustergenerator mit den Merkmalen des Anspruchs 1, eine Prüfvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 21 und ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 23. Vorteilhafte Weiterbildungen dieses Prüfmustergenerators dieser Prüfvorrichtung und die­ ses Verfahrens ergeben sich aus den jeweiligen Unter­ ansprüchen.

Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung ist ein Prüf­ mustergenerator zum Erzeugen von Prüfmustern für die Prüfung von elektrischen Eigenschaften einer elektri­ schen Vorrichtung vorgesehen, welcher aufweist:
einen Musterspeicher zum Speichern von Prüfmustern,
einen Muster-Cachespeicher zum vorübergehenden Spei­ chern von aus dem Musterspeicher ausgelesenen Prüf­ mustern, welcher Muster-Cachespeicher aus einem Hauptprüfmuster-Cachespeicher und einem Subprüfmus­ ter-Cachespeicher besteht,
einen Vektorspeicher zum Speichern von Vektorbefeh­ len, die eine Reihenfolge der zu erzeugenden Prüfmus­ ter anzeigen,
eine Lese-Steuervorrichtung, die aus dem Vektorspei­ cher einen Vektorbefehl ausliest und ein Übertra­ gungsbefehlssignal ausgibt, wenn der aus dem Vektor­ speicher ausgegebene Vektorbefehl einen Adressen­ sprung für die aus dem Musterspeicher auszulesenden Prüfmuster anzeigt, und
eine Übertragungssteuervorrichtung, die das Prüfmus­ ter entsprechend einem aus dem Vektorbefehl abgelei­ teten Adressensignal aus dem Musterspeicher ausliest und das Prüfmuster als ein Hauptprüfmuster an den Hauptprüfmuster-Cachespeicher überträgt, wenn der Vektorbefehl keinen Adressensprung anzeigt bzw. das Prüfmuster entsprechend dem Adressensignal aus dem Musterspeicher ausliest und das Prüfmuster als ein Subprüfmuster an den Subprüfmuster-Cachespeicher ü­ berträgt, wenn der Vektorbefehl einen Adressensprung anzeigt.

Das Subprüfmuster kann wiederholt in dem Prüfmuster enthalten sein.

Bevorzugt weist der Hauptprüfmuster-Cachespeicher zwei Musterspeicherbänke auf, und der Prüfmustergene­ rator weist weiterhin einen Hauptprüfmuster- Multiplexer auf zum Auslesen des vorher in einer der Musterspeicherbänke gespeicherten Hauptprüfmusters, um das ausgelesene Hauptprüfmuster zu der elektri­ schen Vorrichtung zu liefern, während das aus dem Musterspeicher ausgelesene Hauptprüfmuster zu der an­ deren der Musterspeicherbänke übertragen wird.

Darüber hinaus kann der Subprüfmuster-Cachespeicher zwei Musterspeicherbänke aufweisen, und der Prüfmus­ tergenerator kann weiterhin einen Subprüfmuster- Multiplexer aufweisen zum Auslesen des vorher in ei­ ner der Musterspeicherbänke gespeicherten Subprüfmus­ ters, um das ausgelesene Subprüfmuster zu der elekt­ rischen Vorrichtung zu liefern, während das aus dem Musterspeicher ausgelesene Subprüfmuster zu der ande­ ren der Musterspeicherbänke übertragen wird.

Vorteilhaft ist ein Vektor-Cachespeicher zum Spei­ chern des aus dem Vektorspeicher ausgelesenen Vektorbefehls vorgesehen, wobei die Lese- Steuervorrichtung feststellt, dass das Subprüfmuster zu einer Zeit erzeugt werden soll, zu der der aus dem Vektorspeicher ausgelesene Vektorbefehl zu dem Vektor-Cachespeicher übertragen wird. Hierbei kann ein Adressenexpander zum Erzeugen einer Adresse des aus dem Musterspeicher auszulesenden Prüfmusters auf der Grundlage des aus dem Vektor-Cachespeicher ausgelesenen Vektorbefehls dienen. Weiterhin kann der Vektor-Cachespeicher drei Vektorspeicherbänke aufweisen, und der Mustergenerator kann einen Vektorbefehls-Multiplexer aufweisen, um den aus einer der drei Vektorspeicherbänke ausgelesenen Vektorbefehl zu dem Adressenexpander zu lie­ fern, während der Vektorbefehl in eine andere der Vektorspeicherbänke eingeschrieben wird.

Zweckmäßig weist die Lese-Steuervorrichtung eine Vor­ richtung zum Erfassen einer Endadresse des Subprüf­ musters auf, und die Übertragungssteuervorrichtung überträgt ein neues auszulesendes Subprüfmuster, wel­ ches von der Lese-Steuervorrichtung erfasst wurde, nachdem das Subprüfmuster mit der von der Lese- Steuervorrichtung erfassten Endadresse übertragen ist, zu dem Subprüfmuster-Cachespeicher.

Der Subprüfmuster-Cachespeicher kann aufweisen:
einen Ringpuffer, welcher in Lage ist, das Subprüf­ muster auszugeben mit aufeinander folgender Aktuali­ sierung des Subprüfmusters darin, und
einen festen Puffer, welcher in Lage ist, das Sub­ prüfmuster auszugeben mit einer Speicherung des Sub­ prüfmusters darin. Hierbei weist der Vektorbefehl zweckmäßig eine Hauptroutine zum Auslesen des Haupt­ prüfmusters aus dem Musterspeicher und eine Subrouti­ ne zum Auslesen des Subprüfmusters aus dem Muster­ speicher auf, speichert die Übertragungssteuervor­ richtung einen ersten Teil des aufeinander folgend aus dem Musterspeicher durch die Subroutine ausgele­ senen Subprüfmusters, und wird das Subprüfmuster, welches durch die Subroutine aus dem Musterspeicher ausgelesen ist und welches nicht in dem festen Puffer gespeichert ist, aufeinander folgend in dem Ringpuf­ fer gespeichert und aus dem Ringpuffer ausgegeben, wenn die Subroutine ausgeführt wird. Auch kann die Lese-Steuervorrichtung einen Informationsdetektor zum Erfassen einer Information der in dem Vektorspeicher gespeicherten Subroutine aufweisen, und die Übertra­ gungssteuervorrichtung kann das Subprüfmuster in dem festen Puffer und/oder dem Ringpuffer auf der Grund­ lage der Information der Subroutine speichern. Der Informationsdetektor kann eine Startadresse der Sub­ routine erfassen und das durch einen ersten Teil der Subroutine aus dem Musterspeicher ausgelesene Sub­ prüfmuster basierend auf der Startadresse speichern. Weiterhin kann der Informationsdetektor einen Subrou­ tinenzahl-Detektor aufweisen zum Erfassen der Anzahl der in dem Vektorspeicher gespeicherten Subroutinen, und die Übertragungssteuervorrichtung kann bewirken, dass der feste Puffer das durch jede der mehreren Subroutinen ausgelesene Subprüfmuster speichert, wenn mehrere Subroutinen enthalten sind. Der Subroutinen­ zahl-Detektor kann einen Rückkehrbefehls-Detektor zum Erfassen der Anzahl der in dem Vektorbefehl enthalte­ nen Rückkehrbefehle, und einen Subroutinenzahl- Speicher der die Anzahl von Rückkehrbefehlen zählt, oder einen Sprungbefehlsdetektor zum Erfassen eines in dem Vektorbefehl enthaltenen Sprungbefehls, eine Beurteilungseinheit zur Feststellung, ob eine durch den Sprungbefehl bestimmte Adresse vorher durch den Sprungbefehl als eine Sprungadresse bestimmt wurde, und einen Subroutinenzahl-Speicher zum Zählen der An­ zahl von Malen, die die Beurteilungseinheit festge­ stellt hat, dass die durch den Sprungbefehl bestimmte Adresse nicht vorher als die Sprungadresse bestimmt war, aufweisen. Die Beurteilungseinheit enthält vor­ teilhaft ein Register zum Speichern der Adresse, für die festgestellt ist, dass sie nicht vorher als die Sprungadresse bestimmt war, und einen Anpassungsde­ tektor zum Feststellen, ob die in dem Register ge­ speicherte Adresse und eine durch den Sprungbefehl bestimmte Adresse die gleichen sind oder nicht, wenn der Sprungbefehlsdetektor den Sprungbefehl erfasst.

Der Informationsdetektor enthält bevorzugt einen Ka­ pazitätsdetektor zum Erfassen der Kapazität des Sub­ prüfmusters, und der Prüfmustergenerator speichert das Subprüfmuster in dem Ringpuffer durch Annahme des Ringpuffers als einen zweiten festen Puffer, wenn die Kapazität des Subprüfmusters kleiner ist als die Ka­ pazität des Subprüfmuster-Cachespeichers. Der Kapazi­ tätsdetektor kann einen Startadressen-Detektor zum Erfassen einer Startadresse des zuerst durch die Sub­ routine ausgelesenen Subprüfmusters, und einen Endad­ ressendetektor zum Erfassen einer Endadresse des zu­ letzt durch die Subroutine ausgelesenen Subprüfmus­ ters aufweisen, wobei die Kapazität des Prüfmusters erfasst wird durch Subtraktion der Startadresse des zuerst ausgelesenen Prüfmusters von der Endadresse des zuletzt ausgelesenen Prüfmusters.

Der Informationsdetektor kann eine Information der Subroutine zu einer Zeit erfassen, zu der der Vektor­ befehl in dem Vektorspeicher gespeichert wird, wobei der feste Puffer das Subprüfmuster in einer solchen Weise speichert, dass eine Zeit, die zum Speichern des in dem Musterspeicher gespeicherten Subprüfmus­ ters in den Ringpuffer benötigt wird, länger ist als eine Zeit, die zur Ausgabe des in dem festen Puffer gespeicherten Subprüfmusters benötigt wird.

Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Prüfvorrichtung zum Prüfen elektrischer Ei­ genschaften von elektrischen Vorrichtungen durch Ver­ wendung von Prüfmustern vorgesehen, welche aufweist:
einen Musterspeicher zum Speichern von Prüfmustern, jeweils enthaltend ein Eingabeprüfmuster, das für die Prüfung an eine elektrische Vorrichtung angelegt wird, und ein Muster aus erwarteten Werten, das von einer normalen elektrischen Vorrichtung ausgegeben wird, wenn das Eingabeprüfmuster an die normale e­ lektrische Vorrichtung angelegt wird,
einen Muster-Cachespeicher zum vorübergehenden Spei­ chern von aus dem Musterspeicher ausgelesenen Prüf­ mustern, welcher Muster-Cachespeicher aus einem Hauptprüfmuster-Cachespeicher und einem Subprüfmus­ ter-Cachespeicher besteht,
einen Vektorspeicher zum Speichern von Vektorbefeh­ len, die eine Reihenfolge der zu erzeugenden Prüfmus­ ter anzeigen,
eine Lese-Steuervorrichtung, die aus dem Vektorspei­ cher einen Vektorbefehl ausliest und ein Übertra­ gungsbefehlssignal ausgibt, wenn der aus dem Vektor­ speicher ausgegebene Vektorbefehl einen Adressen­ sprung für die aus dem Musterspeicher auszulesenden Prüfmuster anzeigt,
eine Übertragungssteuervorrichtung, die das Prüfmus­ ter entsprechend einem aus dem Vektorbefehl abgelei­ teten Adressensignal aus dem Musterspeicher ausliest und das Prüfmuster als ein Hauptprüfmuster an den Hauptprüfmuster-Cachespeicher überträgt, wenn der Vektorbefehl keinen Adressensprung anzeigt bzw. das Prüfmuster entsprechend dem Adressensignal aus dem Musterspeicher ausliest und das Prüfmuster als ein Subprüfmuster an den Subprüfmuster-Cachespeicher ü­ berträgt, wenn der Vektorbefehl einen Adressensprung anzeigt,
einen Stiftdatenselektor für die körperliche Zuord­ nung von wenigstens einem Signal, das das aus dem Mus­ ter-Cachespeicher ausgelesene Prüfmuster bildet, in Übereinstimmung mit der Anordnung von elektrischen Anschlüssen der elektrischen Vorrichtung,
eine Wellenform-Formungsvorrichtung zum Formen einer Wellenform des in dem von dem Stiftdatenselektor aus­ gegebenen Prüfmuster enthaltenen Eingabeprüfmusters, eine Vorrichtungs-Einsteckeinheit zur Aufnahme der elektrischen Vorrichtung und zum Anlegen des Eingabe­ prüfmusters, das von der Wellenform-Formungsvorrich­ tung geformt wurde, an die elektrischen Vorrichtung, und
einen Komparator zum Vergleichen eines von der elekt­ rischen Vorrichtung durch Anlegen des Eingabeprüfmus­ ters ausgegebenen Ausgangssignals mit dem Muster aus erwarteten Werten.

Hierbei ist zweckmäßig ein Multiplexer zur Auswahl des aus dem Hauptprüfmuster-Cachespeicher ausgelese­ nen Hauptprüfmusters oder des aus dem Subprüfmuster- Cachespeicher ausgelesenen Subprüfmusters vorgesehen.

Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist ein Verfahren zum Erzeugen von Prüfmustern für die Prüfung von elektrischen Eigenschaften einer e­ lektrischen Vorrichtung die Schritte auf:
einen Leseschritt zum Auslesen eines Vektorbefehls, der eine Reihenfolge eines zu erzeugenden Prüfmusters anzeigt, aus einem Vektorbefehle speichernden Vektor­ speicher,
einen Beurteilungsschritt zur Feststellung, ob der ausgelesene Vektorbefehl einen Adressensprung für das aus einem Musterspeicher auszulesende Prüfmuster an­ zeigt oder nicht, und
einen Übertragungsschritt zum Auslesen des Prüfmus­ ters entsprechend einem aus dem Vektorbefehl abgelei­ teten Adressensignal aus dem Musterspeicher und Über­ tragen des Prüfmusters als ein Hauptprüfmuster an ei­ nen Hauptprüfmuster-Cachespeicher eines Muster- Cachespeichers zum vorübergehenden Speichern von aus dem Musterspeicher ausgelesenen Prüfmustern, wenn der Vektorbefehl keinen Adressensprung anzeigt bzw. zum Auslesen des Prüfmusters entsprechend dem Adressen­ signal aus dem Musterspeicher und Übertragen des Prüfmusters als ein Subprüfmuster an einen Subprüf­ muster-Cachespeicher des Muster-Cachespeichers, wenn der Vektorbefehl einen Adressensprung anzeigt.

Hierbei kann das Subprüfmuster in dem Prüfmuster ent­ halten sein.

Zweckmäßig verwendet der Hauptprüfmuster- Cachespeicher zwei Musterspeicherbänke, wobei ein Schritt des Auslesens des Hauptprüfmusters, das vor­ her in einer der Musterspeicherbänke gespeichert war, vorgesehen ist, um das ausgelesene Hauptprüfmuster zu der elektrischen Vorrichtung zu liefern, während das aus dem Musterspeicher ausgelesene Hauptprüfmuster zu der anderen der Musterspeicherbänke übertragen wird.

Zweckmäßig verwendet auch der Subprüfmuster- Cachespeicher zwei Musterspeicherbänke, wobei ein Schritt des Auslesens des vorher in einer der Muster­ speicherbänke gespeicherten Subprüfmusters vorgesehen ist, um das ausgelesene Subprüfmuster zu der elektri­ schen Vorrichtung zu liefern, während das aus dem Musterspeicher ausgelesene Subprüfmuster zu der ande­ ren der Musterspeicherbänke übertragen wird.

Vorteilhaft ist ein Schritt des Speicherns der in dem Ausleseschritt aus dem Vektorspeicher ausgelesenen Vektorbefehle in einem Vektor-Cachespeicher vorgese­ hen, wobei eine Adresse des aus dem Musterspeicher auszulesenden Prüfmusters auf der Grundlage des aus dem Vektor-Cachespeicher ausgelesenen Vektorbefehls erzeugt werden kann, und weiterhin ein Vektor- Cachespeicher mit drei Vektorspeicherbänken verwendet werden kann, wobei die Adresse durch den aus einer der Vektorspeicherbänke ausgelesenen Vektorbefehl er­ zeugt wird, während der Vektorbefehl in eine andere der Vektorspeicherbänke während des Adressenerzeu­ gungsschrittes geschrieben wird.

Auch kann eine Endadresse des Subprüfmusters erfasst werden, wobei in dem Übertragungsschritt ein neues Subprüfmuster aus dem Musterspeicher in den Subprüf­ muster-Cachespeicher übertragen wird, wenn für das neue Subprüfmuster in dem Erfassungsschritt festge­ stellt wurde, dass es auszulesen ist, nachdem das Subprüfmuster mit der Endadresse übertragen wurde.

Schließlich kann der Subprüfmuster-Cachespeicher ei­ nen Ringpuffer, welcher in der Lage ist, das Subprüf­ muster mit aufeinander folgender Aktualisierung des Subprüfmusters darin auszugeben, und einen festen Puffer, welcher in der Lage ist, das Subprüfmuster mit Speicherung des Subprüfmusters darin auszugeben, aufweisen, wobei die Vektorbefehle eine Hauptroutine zum Auslesen des Hauptprüfmusters aus dem Musterspei­ cher und eine Subroutine zum Auslesen des Subprüfmus­ ters aus dem Musterspeicher aufweisen, und der Schritt zum Speichern in den Subprüfmuster- Cachespeicher kann einen Schritt zum Speichern eines ersten Teils des Subprüfmusters, das aufeinander fol­ gend durch die Subroutine aus dem Musterspeicher aus­ gelesen wurde, in dem festen Puffer, und einen Schritt des aufeinander folgenden Speicherns des Sub­ prüfmusters, welches durch die Subroutine aus dem Musterspeicher ausgelesene wurde und welches nicht in dem festen Puffer gespeichert ist, in dem Ringpuffer aufweisen.

Diese Erfindung wird im Folgenden anhand von in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher er­ läutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Blockschaltbild eines bekannten Prüfmus­ tergenerators mit einem SRAM,

Fig. 2 ein Beispiel eines in dem Vektorspeicher zu speichernden Musterprogramms,

Fig. 3 ein Beispiel eines komprimierten, in dem Vektorspeicher zu speichernden Musterpro­ gramms,

Fig. 4 einen in dem Mustersignalgenerator zu spei­ chernden Befehl,

Fig. 5 die Arbeitsweise eines bekannten Prüfmuster­ generators,

Fig. 6 ein Blockschaltbild einer bekannten Muster- Formungsvorrichtung mit einem DRAM,

Fig. 7 ein Musterprogramm enthaltend ein Initiali­ sierungsmuster am Beginn jeder Prüfliste, ohne Verwendung von Subroutinen,

Fig. 8 ein Blockschaltbild der gesamten Prüfvor­ richtung gemäß der vorliegenden Erfindung,

Fig. 9 ein Blockschaltbild einer Folgensteuervor­ richtung des Prüfmustergenerators gemäß der vorliegenden Erfindung,

Fig. 10 ein Blockschaltbild einer Musterformungsvor­ richtung des Prüfmustergenerators gemäß der vorliegenden Erfindung,

Fig. 11 eine Arbeitsweise des Prüfmustergenerators gemäß der vorliegenden Erfindung,

Fig. 12 eine andere Arbeitsweise des Prüfmustergene­ rators gemäß der vorliegenden Erfindung,

Fig. 13 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbei­ spiels des Prüfmustergenerators,

Fig. 14 ein Blockschaltbild eines Subprüfmuster- Cachespeichers,

Fig. 15(a) eine in dem Subprüfmuster-Cachespeicher gespeicherte Subroutine, wobei eine Sub­ routine vorhanden ist,

Fig. 15(b) eine in dem Subprüfmuster-Cachespeicher gespeicherte Subroutine, wobei mehrere Subroutinen vorhanden sind,

Fig. 15(c) eine in dem Subprüfmuster-Cachespeicher gespeicherte Subroutine, wenn mehrere Sub­ routinen vorhanden sind,

Fig. 16 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbei­ spiels der Lesesteuervorrichtung,

Fig. 17(a) ein Beispiel eines von einem externen Speicher gelieferten Vektorbefehls,

Fig. 17(b) ein Beispiel der drei Subroutinen enthal­ tenden Befehle,

Fig. 18 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbei­ spiels eines Subroutinenzahl-Speichers 186,

Fig. 19 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbei­ spiels des Startadressendetektors,

Fig. 20 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbei­ spiels eines Endadressendetektors,

Fig. 21 ein Beispiel der von einem externen Speicher gelieferten Vektorbefehle,

Fig. 22 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbei­ spiels des Subroutinenzahl-Detektors, und

Fig. 23 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbei­ spiels des Subroutinenzahl-Detektors.

Fig. 8 ist ein Blockschaltbild einer Prüfvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Prüfvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst einen Mu­ stergenerator 60, einen Stiftdatenselektor 66, eine Wellenform-Formungsvorrichtung 72, eine Vorrichtungs- Einsteckeinheit 80 mit einem Vorrichtungsschlitz 78 und einen Komparator 84. Der Prüfmustergenerator 60 enthält eine Folgensteuervorrichtung 62 und eine Mu­ sterformungsvorrichtung 26. Der Mustergenerator 60 überträgt Prüfmuster zu dem Stiftdatenselektor 66. Die Prüfmuster enthalten Eingabeprüfmuster, die an eine elektrische Vorrichtung 76 angelegt werden, um die elektrischen Eigenschaften der elektrischen Vor­ richtung 76 zu prüfen. Die Prüfmuster enthalten auch Muster für erwartete Werte, welche dieselben sind wie die Prüfmuster, die von einer normalen elektrischen Vorrichtung ausgegeben werden, wenn die Eingabeprüf­ muster an die normale elektrische Vorrichtung ange­ legt werden.

"Elektrische Vorrichtung" bedeutet in dieser Anmel­ dung jedes elektrische Teil, das mit Elektrizität oder Spannung betrieben wird. Die elektrische Vor­ richtung enthält ein passives Element und verschiede­ ne Sensoren, zusätzlich zu halbleitenden Teilen, die aus einem aktiven Element wie einem integrierten Schaltkreis oder einer integrierten Großschaltung zu­ sammengesetzt sind. Weiterhin enthält die elektrische Vorrichtung eine Baugruppe, bei der die passiven Ele­ mente und die halbleitenden Teile angeordnet sind und ein Schaltungsbrett, auf welches die passiven Elemen­ te und die halbleitenden Teile geladen sind, um eine vorbestimmte Funktion zu zeigen. "Prüfmuster" bedeu­ tet eine zeitliche und räumliche Zuordnung von in die elektrische Vorrichtung einzugebenden digitalen Si­ gnalen und digitalen Ausgangssignalen, deren Ausgabe erwartet wird, um die elektrische Vorrichtung zu prü­ fen. Weiterhin bedeutet "Muster für erwartete Werte" eine zeitliche und räumliche Zuordnung von ausgegebe­ nen digitalen Signalen, deren Ausgabe von der elek­ trischen Vorrichtung erwartet wird, wenn ein vorbe­ stimmtes Signal in die elektrische Vorrichtung einge­ geben wird.

Der Stiftdatenselektor 66 ordnet wieder eine körper­ liche Zuordnung wenigstens eines Signals zu, wobei er die von dem Mustergenerator 60 übertragenen Prüfmu­ ster zusammensetzt, gemäß der Anordnung der elektri­ schen Anschlüsse der elektrischen Vorrichtung 76. Der Stiftdatenselektor 66 überträgt auch ein Muster von erwarteten Werte zu dem Komparator und das Prüfmuster zu der Wellenform-Formungsvorrichtung 72. Die Wellen­ form-Formungsvorrichtung 72 formt eine Wellenform des Eingabeprüfmusters, das in dem von dem Stiftdatense­ lektor 66 ausgegebenen Prüfmuster enthalten ist, und überträgt die Wellenform zu der Vorrichtungs- Einsteckeinheit 80. Die elektrische Vorrichtung 76 wird in den Vorrichtungsschlitz 78 der Vorrichtungs- Einsteckeinheit 80 eingesetzt. Die Vorrichtungs- Einsteckeinheit 80 liefert das von der Wellenform- Formungsvorrichtung 72 übertragene Prüfmuster über den Vorrichtungsschlitz 78 zu den Eingangsanschlüssen der elektrischen Vorrichtung 76. Die elektrische Vor­ richtung 76 gibt auf der Grundlage ihrer Funktion ein Ausgangsmuster von den Ausgangsanschlüssen zu dem Komparator 84 aus.

Der Komparator 84 vergleicht das von der elektrischen Vorrichtung 76 ausgegebene Ausgangsmuster und das Mu­ ster aus erwarteten Werten, das von dem Stiftdatense­ lektor 66 übertragen wurde. Der Komparator 84 stellt fest, daß die elektrische Vorrichtung 76 eine normale Funktion hat, wenn das Ausgangsmuster und das Muster aus den erwarteten Werten dieselben sind. Der Kompa­ rator 84 stellt fest, daß die elektrische Vorrichtung 76 keine normale Funktion hat, wenn das Ausgangsmu­ ster und das Muster aus erwarteten Werten nicht die­ selben sind. Alle Prüfmuster und Muster aus erwarte­ ten Werten sollten vorher in den Prüfmustergenerator 60 gespeichert sein. Wenn jedoch die Kapazität des Musterspeichers 32 nicht ausreichend ist, können die Daten des Musterspeichers 32 wieder geschrieben wer­ den.

Fig. 9 ist ein Blockschaltbild der Folgensteuervor­ richtung des Mustergenerators gemäß der vorliegenden Erfindung. Diese Folgensteuervorrichtung 62 umfasst einen Vektorspeicher 12, eine Lese-Steuervorrichtung 14, einen Vektor-Cachespeicher 56 mit drei Vektor­ speicherbänken 16, 18 und 19 sowie einem Vektorbe­ fehls-Multiplexer 20, und einen Adressenexpander 22. Die Lese-Steuervorrichtung 14 liest den in dem Vek­ torspeicher 12 gespeicherten Vektorbefehl. Der ausge­ lesene Vektorbefehl wird vorübergehend in den Vektor­ speicherbänken 16, 18 und 19 gespeichert.

Die Lese-Steuervorrichtung 14 überträgt den Übertra­ gungsbefehl "GOSUB" und das Startadressensignal 25 zu dem Mustergenerator 26, wenn der ausgelesene Vektor­ befehl "GOSUB" ist. Der Vektorbefehls-Multiplexer 20 wählt einen Vektorbefehl aus den vorübergehend in den Vektorspeicherbänken 16, 18 und 19 gespeicherten Vek­ torbefehlen aus und überträgt den ausgewählten Vek­ torbefehl zu dem Adressenexpander 22. Der Adressenex­ pander 22 überträgt ein BKSL-Signal 30, welches die Auswahl der Cachespeicherbank in der Musterformungs­ vorrichtung 26 bestimmt, und ein gedehntes Adressen­ signal 24 zu der Musterformungsvorrichtung 26.

Fig. 10 ist ein Blockschaltbild der Musterformungs­ vorrichtung des Prüfmustergenerators gemäß der vor­ liegenden Erfindung. Die Musterformungsvorrichtung 26 des Prüfmustergenerators umfasst einen Musterspeicher 32, eine Übertragungssteuervorrichtung 34, Muster­ speicher-Multiplexer 36, 37 und 38, einen Muster- Cachespeicher 54 und Multiplexer 44, 45 und 46. Der Muster-Cachespeicher 54 umfasst einen Hauptprüfmu­ ster-Cachespeicher 50 und einen Subprüfmuster- Cachespeicher 52.

Der Hauptprüfmuster-Cachespeicher 50 weist zwei Mu­ sterspeicherbänke 40 und 41 auf. Der Subprüfmuster- Cachespeicher 52 weist zwei Musterspeicherbänke 42 und 43 auf. Wenn das Adressensignal 24 in die Über­ tragungssteuervorrichtung 34 eingegeben wird, wird das Prüfmuster aus dem Musterspeicher 32 in Überein­ stimmung mit dem eingegebenen Adressensignal ausgele­ sen und zu einer der Musterspeicherbänke 40 bis 43 übertragen. Die Multiplexer 36 bis 39 und die Multi­ plexer 44 und 45 wählen die eingegebenen Daten gemäß dem Adressensignal 24 aus.

Fig. 11 zeigt ein Beispiel der Arbeitsweise eine Prüfmustergenerators zum Prüfen einer elektrischen Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Ar­ beitsweise des Prüfmustergenerators 60 gemäß der vor­ liegenden Erfindung wird nachfolgend erläutert auf der Grundlage von Fig. 11 mit Bezug auf die in Fig. 9 gezeigte Folgensteuervorrichtung 62 und die in Fig. 10 gezeigte Musterformungsvorrichtung 26. Das Muster erzeugende Programm dieses Beispiels ist dasselbe wie das in Fig. 5 gezeigte. Die Anzahl von Wörtern des Speichers ist dieselbe wie die in Fig. 5 gezeigt. Die komprimierten Befehle sind auch dieselben wie die in Fig. 3 gezeigten.

Der Vektor-Cachespeicher 56 der Folgensteuervorrich­ tung umfasst drei Vektorspeicherbänke. Der Adres­ senexpander 22 erweitert den Vektorbefehl, welcher ein in der Vektorspeicherbank 16 gespeicherter kom­ primierter Befehl ist. Der Adressenexpander 22 setzt auch das BKSL-Signal 30 auf "1" auf der Grundlage des Befehls "GOSUB" und setzt das BKSL-Signal 30 auf "0" auf der Grundlage des Befehls "RETURN". Der Adres­ senexpander 22 überträgt dann das BKSL-Signal 30 zu dem Multiplexer 46. Der Multiplexer 46 wählt den Mul­ tiplexer 44 aus, wenn der Wert des BKSL-Signals 30 gleich "1" ist, und er wählt den Multiplexer 45 aus, wenn der Wert des BKSL-Signals 30 gleich "0" ist. Die Initialisierung des Prüfmustergenerators 60 wird nachfolgend erläutert. Die Lese-Steuervorrichtung 14 initialisiert den Prüfmustergenerator 60 durch Über­ tragen der ersten drei Wörter zu der Vektorspeicher­ bank 16 und der nächsten drei Wörter zu der Vektor­ speicherbank 18.

Der erste Vektorbefehl ist "GOSUB A #0 #11", wie in den Fig. 2, 3 und 11 gezeigt ist. Die Operation zum Initialisieren des Prüfmustergenerators 60 wird nach­ folgend erklärt. Die Übertragungssteuervorrichtung 34 überträgt die Adresse #0 zu dem Musterspeicher 32, wenn die Übertragungssteuervorrichtung 34 die Adresse #0 empfängt. Die Adresse #0 wählt einen der Multiple­ xer 36 bis 39 aus und wirkt so, daß der Hauptprüfmu­ ster-Cachespeicher 50 ausgewählt wird. Die von dem Musterspeicher 32 übertragenen Adressendaten #0 wäh­ len andererseits den Multiplexer 36 aus, damit die Daten in den Bankspeicher 40, der in dem Hauptprüfmu­ ster-Cachespeicher 50 enthalten ist, geschrieben wer­ den.

In der Musterformungsvorrichtung 26 werden bei der Initialisierung des Prüfmustergenerators 60 vier auf­ einander folgende Daten von dem Prüfmuster "PAT 0" bis "PAT 3" von dem Musterspeicher 32 zu dem Muster- Cachespeicher 54 übertragen und in die Musterspei­ cherbank 40 des Hauptprüfmuster-Cachespeichers 50 eingeschrieben. Hier entspricht das Prüfmuster "PAT 0" der Adresse #0.

Wenn die Lese-Steuervorrichtung 14 den Befehl "GOSUB" erfasst, überträgt sie den GOSUB-Übertragungsbefehl und das Übertragungsstart-Adressensignal 25 zu der Übertragungssteuervorrichtung 34. Daher weiß die Übertragungssteuervorrichtung 34, daß der Befehl "GO­ SUB" von der Lese-Steuervorrichtung 14 empfangen wur­ de, und die Adresse, zu der durch den Befehl "GOSUB" gesprungen wurde, ist die Adresse #11. Nachdem die Daten von "PAT 0" bis "PAT 3" zu der Musterspeicher­ bank 40 übertragen wurden, steuert die Übertragungs­ steuervorrichtung 34 den Musterspeicher 32, um vier aufeinander folgende Daten "PAT 11" bis "PAT 14" ent­ sprechend der Adresse #11 der Subroutine zu dem Mu­ ster-Cachespeicher 50 zu übertragen.

Die Daten "PAT 11" bis "PAT 14" werden dann in die Musterspeicherbank 42 des Subprüfmuster- Cachespeichers 52 durch die Übertragungssteuervor­ richtung 34 auf der Grundlage des Befehls einge­ schrieben. Die nächsten Daten "PAT 15" der Subroutine werden in die Musterspeicherbank 43 geschrieben. In diesem Fall wird eine der Musterspeicherbänke 42 und 43 ausgewählt durch Schalten eines der Multiplexer 38 und 39 bei einer Adresse vor der Endadresse der in jede der Musterspeicherbänke einzugebenden Adressen.

Die Arbeitsweise nach der Initialisierung wird als Nächstes erläutert. Die Prüfung beginnt nach der In­ itialisierung. Der Adressenexpander 22 erweitert in bekannter Weise die in der Vektorspeicherbank 16 ge­ speicherten Befehl in ein Adressensignal 24. Die er­ sten drei Wörter der Befehle werden erweitert als #0, #11, #12, #13, #13, #14 und #15, wie in Fig. 2, Fig. 3 und Fig. 11 gezeigt ist. Das erweiterte Adressensi­ gnal 24 wird zu der Musterformungsvorrichtung 26 übertragen.

Das BKSL-Signal entscheidet, welche der Musterspei­ cherbänke 40 und 41 und der Musterspeicherbänke 42 und 43 zu verwenden sind. Die ernannte Adresse ist #0 und das BKSL-Signal ist anfänglich "0". Wenn daher die Prüfung beginnt, werden die in der Musterspei­ cherbank 40 des Hauptprüfmuster-Cachespeichers 50 ge­ speicherten Daten "PAT 0" bis "PAT 3" aus der Muster­ speicherbank 40 ausgelesen, um das Muster zu erzeu­ gen. Die Vorgänge werden wiederholt, bis der Befehl "GOSUB" zum Gehen zu der Subroutine gemacht wird.

Anfänglich jedoch ist der Vektorbefehl der Befehl "GOSUB" zum Springen zu der Adresse #11, wie in Fig. 11 gezeigt. Der Adressenexpander 22 setzt das BKSL- Signal auf "1" und überträgt es zu der Musterfor­ mungsvorrichtung 26. Der Multiplexer 46 überträgt den Muster-Cachespeicher 54 zu dem Subprüfmuster- Cachespeicher 52 enthaltend die Speicherbänke 42 und 43. Die Prüfmuster der Sprungadresse werden, wenn der Befehl "GOSUB" ausgeführt wird, in der Speicherbank 42 und der Speicherbank 43 gespeichert. Der Multiple­ xer 45 wählt die Speicherbank 42 in Übereinstimmung mit der nächsten Adresse #11 aus. Der Multiplexer 45 wählt die Speicherbank 43 aus, wenn die in der Spei­ cherbank 42 gespeicherten Prüfmuster vollständig aus­ gegeben sind.

Wie vorbeschrieben ist, wird die Subroutine bis zum letzten Vektorbefehl, der in der Vektorspeicherbank 16 gespeichert und der Befehl "RETURN" ist, ausge­ führt. Durch Ausführung des in der Vektorspeicherbank 16 gespeicherten Befehls "RETURN" wird das BKSL- Signal auf "0" gesetzt und der Hauptprüfmuster- Cachespeicher 50 wird als Nächstes ausgewählt. Unter­ dessen werden die nächsten vier Daten nach "PAT 3", welche die Daten "PAT 4" bis "PAT 7" sind, zu der Mu­ sterspeicherbank 41 der Musterformungsvorrichtung 26 übertragen und in dieser gespeichert. Die nächsten drei Wörter der Vektorbefehle, die als "RETURN #15, #6", "REPEAT2 #8" und "REPEAT3 #9" in Fig. 11 gezeigt sind, werden zu der Vektorspeicherbank 19 übertragen und darin gespeichert.

Durch Wiederholung derselben Operationen kann das Subroutinen aufweisende Musterprogramm, wie in Fig. 11 gezeigt ist, ausgeführt werden. Fig. 11 zeigt ein Beispiel, bei welchem der Befehl "GOSUB" erzeugt wird, während der Prüfmustergenerator initialisiert wird. Jedoch kann der Fall auftreten, bei welchem der Befehl "GOSUB" nicht erzeugt wird, während der Prüf­ mustergenerator initialisiert wird. Statt dessen wird der Übertragungsbefehl "GOSUB" erzeugt, während die Prüfmuster nach der Initialisierung erzeugt werden.

In einem solchen Fall sollten die Daten zu dem Sub­ prüfmuster-Cachespeicher 52 übertragen werden, nach­ dem die Daten zu dem Hauptprüfmuster-Cachespeicher 50 übertragen wurden, wie in dem Fall, in welchem der Befehl "GOSUB" erzeugt wird, während der Prüfmuster­ generator initialisiert wird. Während eine Bank der Daten ausgelesen wird, kann das Subroutinenmuster zu dem Subprüfmuster-Cachespeicher 52 übertragen werden. In diesem Fall haben die von DRAM zusammengesetzten Prüfmuster, die von dem Musterspeicher 32 zu einer der Musterspeicherbänke 40 bis 43 übertragen wurden, immer aufeinander folgende Adressen. Daher können die Daten mit einer hohen Geschwindigkeit durch Multi­ plexverarbeitung der Daten übertragen werden.

Fig. 12 zeigt ein Beispiel der Arbeitsweise des Prüf­ mustergenerators zum Prüfen einer elektrischen Vor­ richtung gemäß der vorliegenden Erfindung. In Fig. 12 sind mehr Muster für die Subroutine vorhanden als in dem Fall, in welchem der Subprüfmuster-Cachespeicher 52 zwei Musterspeicherbänke aufweist, wobei jede vier aufeinander folgende Muster speichert. Die Muster für die Subroutine von "PAT 11" bis "PAT 20" sind ge­ zeigt. In diesem Fall wird ein Teil der Subroutine in den Musterspeicherbänken 42 und 43 gespeichert, wäh­ rend der Prüfmustergenerator 60 initialisiert wird. Nachdem die Muster von der Musterspeicherbank 42 er­ zeugt sind, werden die nächsten Muster in der Muster­ speicherbank 42 gespeichert.

Wenn der in der Vektorspeicherbank gespeicherte Be­ fehl "RETURN" erweitert und ausgeführt wird, werden die Prüfmuster vom Beginn der Subroutine zu dem Sub­ prüfmuster-Cachespeicher 52 übertragen. Der zweite "SCHREIB"-Befehl in der Musterspeicherbank 42, PAT11 bis PAT14, der in Fig. 11 gezeigt ist, ist für den Fall vorgesehen, in welchem der Befehl "GOSUB" aus dem Vektorspeicher 12 gelesen wird, um in der Vektor­ speicherbank gelesen zu werden. Das Ergebnis ist, daß das Initialisierungsmuster durch Subroutinen ausge­ führt werden kann.

Fig. 13 ist ein Blockschaltbild eines anderen Ausfüh­ rungsbeispiels des Prüfmustergenerators 60. Der Prüf­ mustergenerator 60 umfasst eine Lese- Steuervorrichtung 170, einen Vektorspeicher 12, eine Datenübertragungseinheit 176 und einen Musterspeicher 32. Die Lese-Steuervorrichtung 170 umfasst einen In­ formationsdetektor 172 und einen Adressenexpander 174. Der Vektorspeicher umfasst eine Hauptroutine 12a und eine Subroutine 12b. Die Subroutine 12b enthält eine Subroutine SR1, Subroutine SR2, . . ., Subroutine SRn. Die Subroutine 12b braucht bei einem anderen Ausführungsbeispiel nicht mehrere Subroutinen zu ent­ halten. Die Datenübertragungseinheit 176 umfasst eine Übertragungssteuervorrichtung 178, einen Hauptprüfmu­ ster-Cachespeicher 180, einen Subprüfmuster- Cachespeicher 182 und eine Ausgabeeinheit 184. Der Musterspeicher 32 weist ein Prüfmuster 32a und ein Muster 32b aus erwarteten Werten auf.

Der Musterspeicher 32 speichert das Prüfmuster 32a und das Muster 32b aus erwarteten Werten, das von dem externen Speicher 10 geliefert wurde. Der Vektorspei­ cher 12 speichert die von dem externen Speicher 10 gelieferten Vektorbefehle. Die Vektorbefehle enthal­ ten die Hauptroutine 12a und die Subroutine 12b, wel­ che ausgelesen wird, während die Hauptroutine 12a ausgeführt wird.

Der Informationsdetektor 172 der Lese- Steuervorrichtung 170 erfasst die Information der in den von dem externen Speicher 10 gelieferten Vektor­ befehlen enthaltenen Subroutine 12b. Der Informati­ onsdetektor 172 erfasst die Zahl der Subroutine 12b und gibt die Subroutinenzahl zu der Übertragungssteu­ ervorrichtung 178 aus. Der Informationsdetektor 172 kann auch die Kapazität des Prüfmusters und des von der Subroutine 12b ausgelesenen Musters aus erwarte­ ten Werten erfassen und die erfasste Kapazität zu der Übertragungssteuervorrichtung 178 ausgeben. Der In­ formationsdetektor 172 erfasst vorzugsweise die In­ formation der Subroutine 30b, wenn der von dem exter­ nen Speicher 10 zu dem Vektorspeicher 12 gelieferte Befehl gespeichert wird. Bei anderen Ausführungsbei­ spielen kann der Informationsdetektor 172 die Infor­ mation der Subroutine 30b erfassen, indem der in dem Vektorspeicher 12 gespeicherte Befehl gelesen wird.

Der Adressenexpander 174 gibt die Adresse aus, welche das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten, das im Musterspeicher gespeichert ist, benennt, ba­ sierend auf den in dem Vektorspeicher 12 gespeicher­ ten Vektorbefehlen. Die Übertragungssteuervorrichtung 178 liest das Prüfmuster und das Muster aus erwarte­ ten Werten aus dem Musterspeicher aus, basierend auf der von dem Adressenexpander 174 gelieferten Adresse, zum Einschreiben in den Hauptprüfmuster-Cachespeicher 180 oder den Subprüfmuster-Cachespeicher 182. Bei­ spielsweise liest, wenn der Adressenexpander 174 die Adressen A1, A2 und A3 zu der Übertragungssteuervor­ richtung 178 auf der Grundlage der Subroutine 12b liefert, die Übertragungssteuervorrichtung 178 die Prüfmuster D1, D2 und D3, die jeweils durch die Adressen A1, A2 und A3 benannt sind, aus dem Muster­ speicher 32 aus und schreibt sie in den Subprüfmu­ ster-Cachespeicher 182.

Die Ausgabeeinheit 184 gibt die Prüfmuster und die Muster aus erwarteten Werten, welche in dem Haupt­ prüfmuster-Cachespeicher 180 und dem Subprüfmuster- Cachespeicher 182 gespeichert sind, zu dem Stiftda­ tenselektor 66 aus. Die Ausgabeeinheit 184 kann bei­ spielsweise ein Multiplexer zur Auswahl des Haupt­ prüfmuster-Cachespeichers oder des Subprüfmuster- Cachespeichers sein.

Fig. 14 ist ein Blockschaltbild, das den Subprüfmu­ ster-Cachespeicher 182 zeigt. Der Subprüfmuster- Cachespeicher 182 weist einen festen Puffer 182a mit einer vorbestimmten Kapazität und einen Ringpuffer 182b auf. Die Übertragungssteuervorrichtung 178 spei­ chert das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten in dem festen Puffer 182a und dem Ringpuffer 182b auf der Grundlage der von dem Informationsdetek­ tor 172 gelieferten Information der Subroutine.

Fig. 15(a) zeigt die in dem Subprüfmuster- Cachespeicher 182 gespeicherte Subroutine, wenn eine Subroutine 12b vorhanden ist. Das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werte, das von der Subroutine SUB1 ausgelesen ist, werden als ein Subroutinenmuster SUB1 bezeichnet. Wenn das Subroutinenmuster SUB1 in A1, A2, A3. . . unterteilt ist, welche jeweils eine vorbestimmte Kapazität haben, wird der erste Teil des Subroutinenmusters SUB1, A1, A2 und A3 in dem festen Puffer 182a gespeichert und der nächste Teil der Sub­ routine A4, A5, A6 und A7 wird in dem Ringpuffer 182b gespeichert. Der Rest der Subroutine, von A8 an, wird in seiner Reihenfolge gespeichert, wobei das Aus­ gangssignal der Prüfmuster und der Muster mit erwar­ teten Werten in dem Ringpuffer 182b gespeichert sind.

Somit ist die Kapazität des Prüfmusters und des Mu­ sters aus erwarteten Werten, das entsprechend der Subroutine 12b ausgelesen ist, nicht begrenzt. Wenn die Subroutine SUB1 von der Hauptroutine gerufen wird, werden das Prüfmuster und das Muster aus erwar­ teten Werten, welche vorher in dem festen Speicher 182a gespeichert wurden, ausgegeben. Während die Prüfmuster und die Muster aus erwarteten Werten, die in dem festen Speicher gespeichert sind, ausgegeben werden, speichert die Übertragungssteuervorrichtung 178 den Rest der Subroutine SUB1, von A4 an, in jedem der Blöcke des Ringpuffers 182.

Der erste Teil des Subroutinenmusters SUB1 ist immer in dem festen Puffer 182a gespeichert. Selbst wenn die Subroutine SUB1 gerufen wird, werden das Prüfmu­ ster und das Muster aus erwarteten Werten unverzüg­ lich ausgegeben. Daher speichert der feste Puffer 182a vorzugsweise das Prüfmuster 32a und das Muster 32b aus erwarteten Werten in einer solchen Weise, daß die zum Auslesen des Prüfmusters und des Musters aus erwarteten Werten, die in dem festen Puffer 182a ge­ speichert sind, erforderliche Zeit länger ist als die Zeit, die erforderlich ist zum Speichern des Prüfmu­ sters und des Musters aus erwarteten Werten in dem Ringpuffer 182b.

Fig. 15(b) zeigt die in dem Subprüfmuster- Cachespeicher 182 gespeicherte Subroutine 12b, wenn mehrere Subroutinen vorhanden sind. Das Testmuster und das Muster aus erwarteten Werten, die durch die Subroutine SUB1, SUB2 und SUB3 ausgelesen sind, wer­ den jeweils als Subroutinenmuster SUB1, SUB2 und SUB3 bezeichnet. Jedes der Subroutinenmuster SUB1, SUB2 und SUB3 ist in A, B1, B2, B3 . . . unterteilt, wobei jedes eine vorbestimmte Kapazität hat. Der erste Teil jedes der Subroutinenmuster SUB1, SUB2 und SUB3 "A" in diesem Fall, ist in dem festen Puffer 182a gespei­ chert.

Der Ringpuffer 182b speichert jede der geteilten Sub­ routinen in Reihenfolge; jedes Mal, wenn die Subrou­ tine von der Hauptroutine gerufen wird. Wenn bei­ spielsweise die Subroutine SUB2 von der Hauptroutine gerufen wird, werden das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten des Teils "A" des Subroutinen­ musters SUB2, die vorher in dem festen Puffer 182 ge­ speichert wurden, ausgegeben. Während das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten, die in dem fe­ sten Puffer gespeichert sind, ausgegeben werden, speichert die Übertragungssteuervorrichtung 178 B1, B2, B3 und B4 des Subroutinenmusters SUB2 in jedem der Blöcke des Ringpuffers 182b. Der Rest der geteil­ ten Subroutinen von B5 an wird in Reihenfolge gespei­ chert, wobei das Prüfmuster und das Muster aus erwar­ teten Werten, die in dem Ringpuffer gespeichert sind, ausgegeben werden. Daher sind die Kapazitäten des Prüfmusters und des Musters aus erwarteten Werten, die basierend auf der Subroutine 12b ausgelesen wer­ den, nicht begrenzt.

Weiterhin können, wenn die Subroutine 12b mehrere Subroutinen aufweist und die Subroutine SUB2 gerufen wird, unmittelbar nachdem die Subroutine SUB1 gerufen wurde, das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten ohne Verzögerung ausgegeben werden. Dies be­ ruht darauf, daß das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten, die in dem ersten Teil von jeder der Subroutinen ausgelesen werden, in dem festen Puf­ fer 182a gespeichert sind. Der Teil A von jedem der Subroutinenmuster, der in dem festen Puffer 182a ge­ speichert ist, speichert vorzugsweise das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten in einer solchen Weise, daß die Zeit, die zum Auslesen des Prüfmusters und des Musters aus erwarteten Werten benötigt wird, länger ist als die Zeit, die zum Speichern des Prüf­ musters und des Musters aus erwarteten Werten in dem Ringpuffer 182b erforderlich ist.

Fig. 15(c) zeigt die in dem Subprüfmuster- Cachespeicher 182 gespeicherte Subroutine 12b, wenn mehrere Subroutinen vorhanden sind, wenn die Kapazi­ tät des Prüfmusters und des Musters aus erwarteten Werten, die durch die mehreren Subroutinen ausgelesen werden, kleiner ist als die Kapazität des festen Puf­ fers 182a und des Ringpuffers 182b, kann der Ringpuf­ fer 182b als der feste Puffer 182b verwendet werden. Der feste Puffer 182a speichert die Subroutine SUB1 und einen Teil der Subroutine SUB2. Der Ringpuffer 182b speichert einen Teil der Subroutine SUB2 und die Subroutine SUB3.

Wie mit Bezug auf Fig. 15(a) und (b) beschrieben ist, werden das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten vorübergehend gespeichert ohne die Länge und die Zahl der Subroutine zu beschränken, da der Sub­ prüfmuster-Cachespeicher 182 den festen Puffer 182a und den Ringpuffer 182b aufweist.

Fig. 16 ist ein Blockschaltbild eines Ausführungsbei­ spiels der Lese-Steuervorrichtung 170. Die Lese- Steuervorrichtung 170 umfasst eine Befehlsspeicher­ adressen-Benennungsvorrichtung 192 und einen Informa­ tionsdetektor 172. Der Informationsdetektor 172 um­ fasst einen Analysator 171, einen Subroutinenzahl- Detektor 185, einen Subroutinenzahl-Speicher 186, ei­ nen Kapazitätsdetektor 188 und einen Kapazitätsspei­ cher 190. Die Befehlsspeicheradressen- Benennungsvorrichtung 192 speichert den von dem ex­ ternen Speicher 10 gelieferten Vektorbefehl an der durch den Vektorspeicher 12 benannten Adresse. Der Analysator 171 gibt jeweils einen Operationscode und einen Operanden, die in dem Vektorbefehl enthalten sind, zu dem Subroutinenzahl-Detektor 185 und dem Ka­ pazitätsdetektor 188 aus. Der Subroutinenzahl- Detektor 185 erfasst die Zahl der Subroutinen, die in dem von dem externen Speicher 10 gelieferten Vektor­ befehl enthalten sind, auf der Grundlage des von dem Analysator 171 gelieferten Operationscodes. Der Sub­ routinenzahl-Detektor 185 gibt dann das erfasste Er­ gebnis zu dem Subroutinenzahl-Speicher 186 aus. Der Subroutinenzahl-Speicher 186 gibt die Zahl der Sub­ routinen zu der Übertragungssteuervorrichtung 178 aus.

Der Kapazitätsdetektor 188 erfasst die Kapazität des Prüfmusters und des Musters aus erwarteten Werten, die durch die in dem von dem externen Speicher 10 ge­ lieferten Vektorbefehl enthaltene Subroutine ausgele­ sen sind, auf der Grundlage des Operationscodes und des Operanden, die von dem Analysator 171 geliefert sind. Der Kapazitätsdetektor 188 gibt dann das er­ fasste Ergebnis zu dem Kapazitätsspeicher 190 aus. Der Kapazitätsspeicher 190 gibt die Kapazität zu der Übertragungssteuervorrichtung 178 aus. Beispielsweise kann der Kapazitätsdetektor 188 die Kapazität des Prüfmusters und des Musters aus erwarteten Werten, die von der Subroutine ausgelesen wurden, erfassen durch Subtrahieren der Startadresse von der Endadres­ se des Prüfmusters und des Musters aus erwarteten Werten, welche in dem Musterspeicher 32 gespeichert sind.

Fig. 17(a) zeigt ein Beispiel der von dem externen Speicher 10 gelieferten Vektorbefehle. Von Zeile Nr. 10 bis zur Zeile Nr. 20 sind die Hauptroutine und in der Hauptroutine 12a gespeichert. Von Zeile Nr. 21 bis zur Zeile Nr. 26 sind die Subroutine und in der Subroutine 12b gespeichert. Bei diesem Ausführungs­ beispiel enthält ein Befehl einen Operationscode und mehrere Operanden.

In der Zeile Nr. 10 ist das Wort "STRT:" ein Etikett und der Operationscode "IDXI" ist ein Befehl zum Aus­ geben derselben Adresse für die durch die Operanden angezeigte Anzahl von Malen. Der Operand "2" ist auf den Operationscode "IDXI" bezogen und zeigt an, daß dieselbe Adresse für zwei Zyklen ausgegeben wird. Die Zeile Nr. 11 ist ein Befehl derart, daß dieselbe Adresse für zwei Zyklen auszugeben ist.

In der Zeile Nr. 12 ist der Operationscode "JSR" ein Befehl, um zu der durch den Operanden "SUB1" ange­ zeigten Subroutine zu springen. Es ist nur ein Opera­ tionscode in Fig. 17(a) gezeigt, welcher die Adresse ist, an welcher die Subroutine SUB1 des Vektorspei­ chers 12 und die Adresse des Prüfmusters und des Mu­ sters aus erwarteten Werten, welche durch die Subrou­ tine SUB1 ausgelesen werden, in dem Musterspeicher 32 eingeschrieben sind. Die Zeile Nr. 13 ist ein Befehl zum Springen zu der Subroutine SUB1.

In der Zeile Nr. 14 ist der Operationscode "STI" ein die Anzahl der Schleifen bestimmender Befehl. Die An­ zahl der Schleifen wird auf "3" gesetzt, die durch den Operanden bestimmt ist. In der Zeile Nr. 15 ist "LOOP1:" ein Etikett, und der Operationscode "IDXI 4" ist ein Befehl zur Ausgabe derselben Adresse für vier Zyklen. Die Zeile Nr. 16 ist ein Befehl zum Springen zu der Subroutine SUB1. Die Zeile Nr. 17 ist ein Be­ fehl zur Ausgabe derselben Adresse für vier Zyklen.

In Zeile Nummer 18 ist der Operationscode "JNI" ein Befehl zur Wiederholung des Befehls des Etiketts "LOOP1" zu Zeile Nummer 17. Die Wiederholungszahl ist gesetzt als die in Zeile Nummer 14 bestimmte Zahl. Daher werden die Zeile Nummer 15 bis Zeile Nummer 18 dreimal wiederholt. Die Zeile Nummer 19 ist ein Be­ fehl derart, daß dieselbe Adresse achtmal ausgegeben wird. Die Zeile Nummer 20 ist ein Befehl, die Ausgabe des Prüfmusters und des Musters aus erwarteten Werten zu beenden.

In Zeile Nummer 21 ist "SUB1" ein Etikett und diese Adresse ist eine Startadresse der Subroutine. Die Zeile Nummer 22 bis Zeile Nummer 24 sind Befehle zur zweifachen Wiederholung von Zeile Nummer 23 und Zeile Nummer 24. Die Zeile Nummer 25 ist ein Befehl zur Ausgabe derselben Adresse für vier Zyklen. In Zeile Nummer 26 zeigt der Operationscode "RTN" das Ende der Subroutine an und ist ein Befehl zur Rückkehr zu der Zeilennummer, welche der Zeilennummer, bei welcher die Subroutine gerufen wird, am nächsten ist. Wenn beispielsweise die Subroutine SUB1 durch den Operati­ onscode "JSR" von Zeile Nummer 13 gerufen wird, kehrt der Befehl durch den Operationscode "RTN" in Zeile Nummer 26 zu der Zeile Nummer 14 zurück.

Fig. 17(b) zeigt ein Beispiel für die drei Subrouti­ nen enthaltenden Befehle. Die Zeile Nummer 10 bis Zeile Nummer 21 ist die Hauptroutine. Die Zeile Num­ mer 22 bis Zeile Nummer 27 ist die Subroutine SUB1. Die Zeile Nummer 28 bis Zeile Nummer 30 ist die Sub­ routine SUB2. Die Zeile Nummer 31 ist die Subroutine SUB3. Die Erläuterung der Befehle für jede der Zeilen ist weggelassen.

Fig. 18 ist ein Blockschaltbild eines Ausführungsbei­ spiels des Subroutinenzahl-Detektors 185. Der Subrou­ tinenzahl-Detektor 185 umfasst einen Rückkehrbefehls- Detektor 117, einen Addierer 118 und einen Zählspei­ cher 119. Der Rückkehrbefehls-Detektor 117 bewirkt, daß der Zählspeicher 119 den von dem Addierer 118 ge­ lieferten Wert speichert, wenn der von dem Analysator 181 gelieferte Operationscode der Rückkehrbefehl "RTN" ist. Der Addierer 118 addiert immer 1 zu dem in dem Zählspeicher 119 gespeicherten Wert. Dies bedeu­ tet, daß die in dem Zählspeicher 119 gespeicherte Zahl von Subroutinen jedes Mal erhöht wird, wenn der Rückkehrbefehls-Detektor 117 den Rückkehrbefehl "RTN" erfasst.

Die Arbeitsweise des Subroutinenzahl-Detektors 185 wird mit Bezug auf Fig. 17(b) erläutert. Der anfäng­ liche Wert des Zählspeichers 119 wird auf "0" ge­ setzt. Wenn der Rückkehrbefehls-Detektor 117 den Ope­ rationscode "RTN" der Zeile Nummer 27 erfasst, be­ wirkt der Rückkehrbefehls-Detektor 117, daß der Zähl­ speicher 119 den von dem Addierer 118 gelieferten Wert speichert. Der Addierer 118 gibt zu dieser Zeit den Wert "1" zu dem Zählspeicher 119 für die Speiche­ rung darin aus. Wenn der Wert "1" in dem Zählspeicher 119 gespeichert ist, gibt der Addierer 118 dann den Wert "2" zu dem Zählspeicher 119 aus. Wenn der Zähl­ speicher 119 den Operationscode "RTN" von Zeile Num­ mer 30 erfasst, speichert der Zähler 119 den Wert "2". Wenn der Zählspeicher 119 den Operationscode "RTN" von Zeile Nummer 31 erfasst, speichert der Zählspeicher 119 den Wert "3". Somit kann der Subrou­ tinenzahl-Detektor 185 die Anzahl von Subroutinen er­ fassen.

Fig. 19 ist ein Blockschaltbild eines Ausführungsbei­ spiels des Startadressen-Detektors 188a. Der Start­ adressen-Detektor 188a erfasst die kleinste Adresse des Prüfmusters und des Musters für erwartete Werte, die durch die Subroutine 12b ausgelesen wurden. Der Startadressen-Detektor 188a umfasst einen Rufbefehls- Detektor 111, einen Komparator 112 und einen Start­ adressenspeicher 113. Der Komparator 112 vergleicht den von dem Analysator 171 gelieferten Operanden (Adresse) und die von dem Startadressenspeicher 13 gelieferte Adresse und gibt die kleinere Adresse zu dem Startadressenspeicher 113 aus. Der Rufbefehls- Detektor 111 bewirkt, daß der Startadressenspeicher 113 die von dem Komparator 112 gelieferte Adresse speichert, wenn der Rufbefehls-Detektor 111 den Ope­ rationscode "JSR" erfasst. Dies bedeutet, daß die Subroutine zu rufen ist, geliefert von dem Analysator 171. Daher kann der Startadressenspeicher 113 die Startadresse des Prüfmusters und des Musters für er­ wartete Werte speichern, die durch die Subroutine ausgelesen wurden.

Die Operation des Startadressen-Detektors 188a wird mit Bezug auf Fig. 17(b) erläutert. Der Musterspei­ cher 32 speichert vorzugsweise das Prüfmuster und das Muster für erwartete Werte in der folgenden Reihen­ folge: das Prüfmuster und das Muster für erwartete Werte, die durch die Subroutine SUB1 ausgelesen wur­ den; das Prüfmuster und das Muster für erwartete Wer­ te, die durch die Subroutine SUB2 ausgelesen wurden; und das Prüfmuster und das Muster für erwartete Wer­ te, die durch Subroutine SUB3 ausgelesen wurden.

Der anfängliche Wert des Startadressenspeichers 113 wird an der maximalen Adresse eingestellt, welche für den Musterspeicher 32 möglich ist. Beispielsweise werden alle Bits auf 1 gesetzt. In Zeile Nummer 12 (**) vergleicht der Komparator 112 die maximale Adresse, die in dem Startadressenspeicher 113 gespei­ chert ist, und die Adresse der von dem Analysator 171 gelieferten Subroutine SUB3. Der Komparator 112 gibt die kleinere Adresse, welche in diesem Fall die Adresse der Subroutine SUB3 ist, zu dem Startadres­ senspeicher 113 aus. Der Rufbefehls-Detektor 111 be­ wirkt, daß der Startadressenspeicher 113 die von dem Komparator 112 gelieferte Adresse der Subroutine SUB3 speichert.

In Zeile Nummer 13 vergleicht der Komparator 112 die in dem Startadressenspeicher 113 gespeicherte Adresse der Subroutine SUB3 und die Adresse der von dem Ana­ lysator 171 gelieferten Subroutine SUB1. Der Kompara­ tor 112 gibt dann die kleinere Adresse, welche in diesem Fall die Adresse der Subroutine SUB1 ist, zu dem Startadressenspeicher 113 aus. Der Rufbefehls- Detektor 111 bewirkt, daß der Startadressenspeicher 113 die von dem Komparator 112 gelieferte Adresse der Subroutine SUB1 speichert.

In der Zeile Nummer 16 vergleicht der Komparator 112 die in dem Startadressenspeicher 113 gespeicherte Adresse der Subroutine SUB1 und die Adresse der von dem Analysator 171 gelieferten Subroutine SUB2. Der Komparator 112 gibt dann die kleinere Adresse, welche in diesem Fall die Adresse der Subroutine SUB1 ist, zu dem Startadressenspeicher 113 aus. Der Rufbefehls- Detektor 111 bewirkt, daß der Startadressenspeicher 113 die von dem Komparator 112 gelieferte Adresse der Subroutine SUB1 speichert.

In Zeile Nummer 19 vergleicht der Komparator 112 die Adresse der in dem Startadressenspeicher 113 gespei­ cherten Subroutine SUB1 und die Adresse der von dem Analysator 171 gelieferten Subroutine SUB3. Der Kom­ parator 112 gibt dann die kleinere Adresse, welche in diesem Fall die Adresse der Subroutine SUB1 ist, zu dem Startadressenspeicher 113 aus. Der Rufbefehls- Detektor 111 bewirkt, daß der Startadressenspeicher 113 die von dem Komparator 112 gelieferte Adresse der Subroutine SUB1 speichert. Der Operationscode "JSR", welcher das Rufen der Subroutine bedeutet, ist nicht in den Befehlen nach Zeile Nummer 20 enthalten. Die Adresse der Subroutine SUB1 wird in dem Startadres­ senspeicher 113 aufrecht erhalten.

Fig. 20 ist ein Blockschaltbild eines Ausführungsbei­ spiels des Endadressendetektors 188b. Der Endadres­ sendetektor 188b erfasst die größte Adresse des Prüf­ musters und des Musters aus erwarteten Werten, die durch die Subroutine 12b ausgelesen wurden. Der Enda­ dressendetektor 188b umfasst einen Rückkehrbefehlsde­ tektor 114, einen Komparator 115 und einen Endadres­ senspeicher 116. Der Komparator 115 vergleicht den von dem Analysator 171 gelieferten Operanden (Adres­ se) und die von dem Startadressenspeicher 113 gelie­ ferte Adresse. Der Komparator 115 gibt dann die grö­ ßere Adresse zu dem Startadressenspeicher 113 aus. Der Rückkehrbefehlsdetektor 114 bewirkt, daß der Endadressenspeicher 116 die von dem Komparator 115 gelieferte Adresse speichert, wenn der Rückkehrbe­ fehlsdetektor 114 den Operationscode "RTN" erfasst. Dies ist der Rückkehrbefehl der Subroutine, der von dem Rückkehrbefehlsanalysator 171 geliefert wurde. Daher kann der Endadressenspeicher 116 die Endadresse des Prüfmusters und des Musters aus erwarteten Wer­ ten, die durch die Subroutine ausgelesen wurden, speichern.

Die Arbeitsweise des Endadressendetektors 188b wird mit Bezug auf Fig. 17(b) erläutert. Der Musterspei­ cher 32 speichert vorzugsweise das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten in der folgenden Reihen­ folge: Das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten, die durch die Subroutine SUB1 ausgelesen wur­ den; das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten, die durch die Subroutine SUB2 ausgelesen wur­ den; und das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten, die durch die Subroutine SUB3 ausgelesen wur­ den.

Der anfängliche Wert des Endadressenspeichers 116 wird auf die kleinste Adresse eingestellt, die für den Musterspeicher 32 möglich ist. Beispielsweise werden alle Bits auf "0" gesetzt. In Zeile Nummer 27 vergleicht der Komparator 115 die in dem Endadressen­ speicher 116 gespeicherte minimale Adresse und die von dem Analysator 171 gelieferte Adresse der Zeile Nummer 27. Der Komparator 115 gibt die größere Adres­ se, welche in diesem Fall die Adresse der Zeile Num­ mer 27 ist, zu dem Startadressenspeicher 113 aus. Der Rückkehrbefehlsdetektor 1 11664 00070 552 001000280000000200012000285911155300040 0002019955380 00004 1154514 bewirkt, daß der Enda­ dressenspeicher 116 die Adresse der Zeile Nummer 27 speichert, welche die vom Komparator 115 gelieferte Endadresse der Subroutine SUB1 ist.

In Zeile Nummer 30 vergleicht der Komparator 115 die in den Endadressenspeicher 116 gespeicherte Endadres­ se der Subroutine SUB1, die Adresse der Zeile Nummer 27 und die von dem Analysator 171 gelieferte Adresse der Zeile Nummer 30. Der Komparator 115 gibt die grö­ ßere Adresse, welche die Adresse der Zeile Nummer 30 ist, zu dem Endadressenspeicher 116 aus. Der Rückbe­ fehlsdetektor 114 bewirkt, daß der Endadressenspei­ cher 116 die Adresse der Zeile Nummer 30 speichert, welche die von dem Komparator 115 gelieferte Enda­ dresse der Subroutine SUB2 ist.

In Zeile Nummer 31 vergleicht der Komparator 115 die in dem Endadressenspeicher 116 gespeicherte Endadres­ se der Subroutine SUB2, die Adresse von Zeile Nummer 30 und die von dem Analysator 171 gelieferte Adresse der Zeile Nummer 31. Der Komparator 115 gibt die grö­ ßere Adresse, welche die Adresse der Zeile Nummer 31 ist, zu dem Endadressenspeicher 116 aus. Der Rück­ kehrbefehlsdetektor 114 bewirkt, daß der Endadressen­ speicher 116 die Adresse von Zeile Nummer 31 spei­ chert, welche die von dem Komparator 115 gelieferte Endadresse der Subroutine SUB3 ist. Daher wird die Endadresse der Subroutine SUB3 in dem Endadressen­ speicher 116 gespeichert.

Der Kapazitätsdetektor 188 erfasst die Kapazität des Prüfmusters und des Musters aus erwarteten Werten, die durch die Subroutine 12b ausgelesen wurden, durch Subtrahieren der in dem Startadressenspeicher 113 ge­ speicherten Adresse von der in dem Endadressenspei­ cher 116 gespeicherten Adresse.

Die Übertragungssteuervorrichtung 178 speichert das Prüfmuster und das Muster aus erwarteten Werten in dem festen Puffer 182a und dem Ringpuffer 182b, ba­ sierend auf den Zahlen der Subroutinen und der durch den Informationsdetektor 172 erfassten Kapazität der Subroutinen.

Obgleich die vorliegende Erfindung durch beispielhaf­ te Ausführungen beschrieben wurde, ist darauf hinzu­ weisen, daß die Idee und der Umfang der vorliegenden Erfindung nicht auf die vorstehend beschriebenen Aus­ führungsbeispiele begrenzt sind. Es ist aus den ange­ fügten Ansprüchen offensichtlich, daß viele Änderun­ gen und Verbesserungen bei den vorbeschriebenen Aus­ führungsbeispielen durchgeführt werden können. Einige Änderungen sind nachfolgend erläutert.

Bei der ersten Änderung kann der Subprüfmuster- Cachespeicher 182 als eine Cachevorrichtung zum vor­ übergehenden Speichern und Ausgeben von gewünschten Daten verwendet werden. Beispielsweise kann der Sub­ prüfmuster-Cachespeicher 182 als eine Cachevorrich­ tung zur Eingabe und Ausgabe von Daten mit einer ho­ hen Geschwindigkeit bei der Verarbeitung von Grafiken für ein Computerspiel verwendet werden.

Bei der zweiten Änderung kann der Prüfmustergenerator mehrere Subprüfmuster-Cachespeicher 182 aufweisen, und jeder der Subprüfmuster-Cachespeicher 182 kann jeweils jedes der Subprüfmuster speichern, wenn die Subroutine 30b die mehreren Subroutinen enthält.

Fig. 21 zeigt ein Beispiel des von dem externen Spei­ cher 10 gelieferten Vektorbefehls. Der Vektorbefehl weist zwei Subroutinen SUB1 und SUB2 auf. Jedoch ent­ hält der Vektorbefehl nur einen Rückkehrbefehl. Daher kann der Subroutinenzahl-Detektor 185, der mit Bezug auf Fig. 18 erläutert wurde, nicht die beiden Subrou­ tinen erfassen.

Bei der dritten Änderung kann der in Fig. 18 gezeigte Subroutinenzahl-Detektor 185 die Zahl von Subroutinen auf der Grundlage des Sprungbefehls erfassen. Fig. 22 zeigt einen Subroutinenzahl-Detektor 200, welcher die Änderung der Subroutinenzahl-Detektoren 185 und 186 ist. Der Subroutinenzahl-Detektor 200 umfasst eine Beurteilungseinheit 250, einen Subroutinenzahl- Speicher 214 und einen Sprungbefehlsdetektor 216. Die Beurteilungseinheit 250 umfasst Anpassungsdetektoren 202, 210 und 206, UND-Glieder 204 und 212 sowie ein Register 208.

Der Subroutinenzahl-Speicher 214 speichert die Anzahl von Subroutinen. Beispielsweise kann der Subroutinen­ zahl-Speicher 214 ein Zähler sein, welcher gemäß dem gelieferten logischen Wert 1 zählt. Der Anpassungsde­ tektor 202 gibt den logischen Wert 1 zu dem UND-Glied 212 aus, wenn der in dem Subroutinenzahl-Speicher 214 gespeicherte Wert gleich 0 ist. Der Anpassungsdetek­ tor 210 gibt den logischen Wert 1 zu dem UND-Glied 204 aus, wenn der in dem Subroutinenzahl-Speicher 214 gespeicherte Wert gleich 1 ist. Das Register 208 speichert den von dem Analysator 171 gelieferten Ope­ randen, wenn der Schreibbefehl, der logische Wert 1, von dem UND-Glied 212 geliefert wird. Der Anpassungs­ detektor 206 vergleicht den in dem Register 208 ge­ speicherten Operanden und den von dem Analysator 171 gelieferten Operanden, und stellt fest, ob diese ein­ ander gleich sind oder nicht.

Der Sprungbefehlsdetektor 216 erfasst, ob der von dem Analysator 171 gelieferte Operationscode der Sprung­ befehl "JSR" ist oder nicht, und gibt das Ergebnis zu den UND-Gliedern 212 und 204 aus. Beispielsweise gibt der Sprungbefehlsdetektor 216 den logischen Wert 1 aus, wenn er den Sprungbefehl erfasst. Das UND-Glied 204 gibt den umgekehrten Ausgangswert des Anpassungs­ detektors 206 und das logische Produkt der Ausgangs­ werte des Anpassungsdetektors 210 und des Sprungbe­ fehlsdetektors 216 zu dem Subroutinenzahl-Speicher 214 aus.

Der Subroutinenzahl-Speicher 214 initialisiert den Zählwert als 0 vor der Erfassung der Information der Subroutine 30b. Daher gibt der Anpassungsdetektor 202 den logischen Wert 1 zu dem UND-Glied 212 aus. Wenn der Sprungbefehlsdetektor 216 den Sprungbefehl "JSR" erfasst, wird die Startadresse der Subroutine in dem Register 208 gespeichert. Der Subroutinenzahl- Speicher 214 erhöht den Zählwert. Daher kann der Sub­ routinenzahl-Speicher 214 1 als die Zahl der Subrou­ tinen speichern. Wenn der Sprungbefehlsdetektor 216 wieder den Sprungbefehl erfasst, stellt der Anpas­ sungsdetektor 206 fest, daß der in dem Register 208 gespeicherte Operand und der von dem Analysator 171 gelieferte Operand einander unterschiedlich sind, und er gibt den logischen Wert 0 zu dem UND-Glied 204 aus. Der Anpassungsdetektor 210 und der Sprungbe­ fehlsdetektor 216 liefern den logischen Wert 1 zu dem UND-Glied 204. Das UND-Glied 204 gibt dann den logi­ schen Wert 1 zu dem Subroutinenzahl-Speicher 214 aus. Der Subroutinenzahl-Speicher 214 erhöht den Zählwert. Somit kann der Subroutinenzahl-Speicher 214 2 als die Zahl der Subroutinen speichern. Der Subroutinenzahl- Detektor 200 kann die Zahl der Subroutinen erfassen, selbst wenn die Zahl der Subroutinen und die Zahl der Rückkehrbefehle unterschiedlich ist, wie in Fig. 21 gezeigt ist.

Bei der vierten Änderung kann der Subroutinenzahl- Detektor 200 mehrere Register aufweisen. Fig. 23 zeigt einen Subroutinenzahl-Detektor 300, der mehrere Register aufweist. Der Subroutinenzahl-Detektor 300 umfasst eine Beurteilungseinheit 250, einen Sprungbe­ fehlsdetektor 216 und einen Subroutinenzahl-Speicher 214. Die Beurteilungseinheit 250 umfasst Register 208a bis 208n und einen Anpassungsdetektor 220.

Der Sprungbefehlsdetektor 216 gibt ein identisches Signal aus, wenn er den Sprungbefehl erfasst, wobei er dem Anpassungsdetektor 220 anzeigt, daß die Werte einander gleich sind. Der Anpassungsdetektor 220 ver­ gleicht den in jedem der Register 208a bis 208n ge­ speicherten Operanden und den von dem Analysator 171 gelieferten Operanden. Der Anpassungsdetektor 220 speichert den von dem Analysator 171 zu den Registern 208a bis 208n gelieferten Operanden, in welchen der Operand noch nicht gespeichert wird, wenn der in den Registern 208a bis 208n gespeicherte Operand und der von dem Analysator 171 gelieferte Operand nicht ein­ ander gleich sind. Der Subroutinenzahl-Speicher 214 erhöht den Zählwert, wenn der in den Registern 208a bis 208n gespeicherte Operand und der von dem Analy­ sator 171 gelieferte Operand nicht einander gleich sind.

Die Register 208a bis 208n und der Subroutinenzahl- Speicher 214 werden vor der Erfassung der Zahl der Subroutinen auf 0 initialisiert. Wenn der Sprungbe­ fehlsdetektor 216 den Sprungbefehl erfasst, speichert der Anpassungsdetektor 220 den von dem Analysator 171 zu dem Register 208a gelieferten Operanden. Zur sel­ ben Zeit bewirkt der Anpassungsdetektor, daß der Sub­ routinenzahl-Speicher 214 den Zählwert erhöht. Wenn der Sprungbefehlsdetektor 216 den Sprungbefehl wieder erfasst, vergleicht der Anpassungsdetektor 220 den in dem Register 208a gespeicherten Operanden und den von dem Analysator 171 gelieferten Operanden. Wenn die verglichenen Operanden einander unterschiedlich sind, speichert der Anpassungsdetektor 220 den von dem Ana­ lysator 171 zu dem Register 208b gelieferten Operan­ den und bewirkt, daß der Subroutinenzahl-Speicher 214 den Zählwert erhöht. Die Erläuterung der restlichen Operation wird weggelassen. Durch Vorsehen mehrerer Register kann jede Anzahl von Subroutinen, die größer als 2 ist, erfasst werden.

Wie vorstehend beschrieben ist, kann eine Subroutine wiederholt ausgeführt werden, selbst wenn ein DRAM als ein Musterspeicher verwendet wird. Daher wird das Programm vereinfacht. Das Ergebnis ist, daß ein ande­ res Programm von einer Platte zu dem Programm mit ei­ ner hohen Geschwindigkeit übertragen wird, und eine elektrische Vorrichtung mit einer hohen Geschwindig­ keit geprüft wird. Weiterhin sind drei Vektorspei­ cherbänke vorgesehen. Somit kann der in einer der Vektorspeicherbänke gespeicherte Vektorbefehl erwei­ tert werden, während der Befehl zur Ausführung der Subroutine erzeugt und die Subroutine gestartet wer­ den. Zur selben Zeit kann das Prüfmuster zu dem Prüf­ muster-Cachespeicher übertragen werden.

Claims (31)

1. Prüfmustergenerator zum Erzeugen von Prüfmustern für die Prüfung von elektrischen Eigenschaften einer elektrischen Vorrichtung, welcher auf­ weist:
einen Musterspeicher (32) zum Speichern von Prüfmustern,
einen Muster-Cachespeicher (54, 180, 182) zum vorübergehenden Speichern von aus dem Muster­ speicher (32) ausgelesenen Prüfmustern, welcher Muster-Cachespeicher (54, 180, 182) aus einem Hauptprüfmuster-Cachespeicher (50, 180) und ei­ nem Subprüfmuster-Cachespeicher (52, 182) be­ steht,
einen Vektorspeicher (12) zum Speichern von Vek­ torbefehlen, die eine Reihenfolge der zu erzeu­ genden Prüfmuster anzeigen,
eine Lese-Steuervorrichtung (14, 170), die aus dem Vektorspeicher (12) einen Vektorbefehl aus­ liest und ein Übertragungsbefehlssignal (25) ausgibt, wenn der aus dem Vektorspeicher (12) ausgegebene Vektorbefehl einen Adressensprung für die aus dem Musterspeicher (32) auszulesen­ den Prüfmuster anzeigt, und
eine Übertragungssteuervorrichtung (34, 178), die das Prüfmuster entsprechend einem aus dem Vektorbefehl abgeleiteten Adressensignal (24) aus dem Musterspeicher (32) ausliest und das Prüfmuster als ein Hauptprüfmuster an den Haupt­ prüfmuster-Cachespeicher (50, 180) überträgt, wenn der Vektorbefehl keinen Adressensprung an­ zeigt bzw. das Prüfmuster entsprechend dem Ad­ ressensignal (24) aus dem Musterspeicher (32) ausliest und das Prüfmuster als ein Subprüfmus­ ter an den Subprüfmuster-Cachespeicher (52, 182) überträgt, wenn der Vektorbefehl einen Adressen­ sprung anzeigt.

2. Prüfmustergenerator nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, dass das Subprüfmuster wiederholt in dem Prüfmuster enthalten ist.

3. Prüfmustergenerator nach Anspruch 1 oder 2, da­ durch gekennzeichnet, dass der Hauptprüfmuster- Cachespeicher (50) zwei Musterspeicherbänke (40, 41) aufweist, und der Prüfmustergenerator wei­ terhin einen Hauptprüfmuster-Multiplexer (44) aufweist zum Auslesen des vorher in einer der Musterspeicherbänke (40, 41) gespeicherten Hauptprüfmusters, um das ausgelesene Hauptprüf­ muster zu der elektrischen Vorrichtung zu lie­ fern, während das aus dem Musterspeicher (32) ausgelesene Hauptprüfmuster zu der anderen der Musterspeicherbänke (40, 41) übertragen wird.

4. Prüfmustergenerator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Subprüf­ muster-Cachespeicher (52) zwei Musterspeicher­ bänke (42, 43) aufweist, und dass der Prüfmus­ tergenerator weiterhin einen Subprüfmuster- Multiplexer (45) aufweist zum Auslesen des vor­ her in einer der Musterspeicherbänke (42, 43) gespeicherten Subprüfmusters, um das ausgelesene Subprüfmuster zu der elektrischen Vorrichtung zu liefern, während das aus dem Musterspeicher (32) ausgelesene Subprüfmuster zu der anderen der Mu­ sterspeicherbänke (42, 43) übertragen wird.

5. Prüfmustergenerator nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Vektor- Cachespeicher (56) zum Speichern des aus dem Vektorspeicher (12) ausgelesenen Vektorbefehls vorgesehen ist, und dass die Lese- Steuervorrichtung feststellt, dass das Subprüf­ muster zu einer Zeit erzeugt werden soll, zu der der aus dem Vektorspeicher (12) ausgelesene Vek­ torbefehl zu dem Vektor-Cachespeicher (56) über­ tragen wird.

6. Prüfmustergenerator nach Anspruch 5, gekenn­ zeichnet durch einen Adressenexpander (22) zum Erzeugen einer Adresse des aus dem Musterspei­ cher (32) auszulesenden Prüfmusters auf der Grundlage des aus dem Vektor-Cachespeicher (56) ausgelesenen Vektorbefehls.

7. Prüfmustergenerator nach Anspruch 6, dadurch ge­ kennzeichnet, dass der Vektor-Cachespeicher (56) drei Vektorspeicherbänke (16, 18, 19) aufweist, und dass der Mustergenerator weiterhin einen Vektorbefehls-Multiplexer (20) aufweist, um den aus einer der drei Vektorspeicherbänke (16, 18, 19) ausgelesenen Vektorbefehl zu dem Adressenex­ pander (22) zu liefern, während der Vektorbefehl in eine andere der Vektorspeicherbänke (16, 18, 19) eingeschrieben wird.

8. Prüfmustergenerator nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Lese- Steuervorrichtung (14) eine Vorrichtung zum Er­ fassen einer Endadresse des Subprüfmusters auf­ weist, und dass die Übertragungssteuervorrich­ tung (34) ein neues auszulesendes Subprüfmuster, welches von der Lese-Steuervorrichtung (14) er­ fasst wurde, nachdem das Subprüfmuster mit der von der Lese-Steuervorrichtung (14) erfassten Endadresse übertragen ist, zu dem Subprüfmuster- Cachespeicher (52) überträgt.

9. Prüfmustergenerator nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, dass der Subprüfmuster- Cachespeicher (182) aufweist:
einen Ringpuffer (182b), welcher in Lage ist, das Subprüfmuster auszugeben mit aufeinander folgender Aktualisierung des Subprüfmusters dar­ in, und
einen festen Puffer (182a), welcher in Lage ist, das Subprüfmuster auszugeben mit einer Speiche­ rung des Subprüfmusters darin.

10. Prüfmustergenerator nach Anspruch 9, dadurch ge­ kennzeichnet, dass
der Vektorbefehl eine Hauptroutine zum Auslesen des Hauptprüfmusters aus dem Musterspeicher (32) und eine Subroutine zum Auslesen des Subprüfmus­ ters aus dem Musterspeicher (32) aufweist,
die Übertragungssteuervorrichtung (178) einen ersten Teil des aufeinander folgend aus dem Mus­ terspeicher (32) durch die Subroutine ausgelese­ nen Subprüfmusters speichert, und
das Subprüfmuster, welches durch die Subroutine aus dem Musterspeicher (32) ausgelesen ist und welches nicht in dem festen Puffer (182b) ge­ speichert ist, aufeinander folgend in dem Ring­ puffer (182a) gespeichert und aus dem Ringpuffer (182a) ausgegeben wird, wenn die Subroutine aus­ geführt wird.

11. Prüfmustergenerator nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Lese-Steuervorrichtung (170) einen Informationsdetektor (172) zum Er­ fassen einer Information der in dem Vektorspei­ cher (12) gespeicherten Subroutine aufweist, und dass die Übertragungssteuervorrichtung (178) das Subprüfmuster in dem festen Puffer (182a) und/oder dem Ringpuffer (182b) auf der Grundlage der Information der Subroutine speichert.

12. Prüfmustergenerator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Informationsdetektor (172) eine Startadresse der Subroutine erfasst und das durch einen ersten Teil der Subroutine aus dem Musterspeicher (132) ausgelesene Sub­ prüfmuster basierend auf der Startadresse spei­ chert.

13. Prüfmustergenerator nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Informationsdetektor (172) einen Subroutinenzahl-Detektor (185, 200, 300) aufweist zum Erfassen der Anzahl der in dem Vektorspeicher (12) gespeicherten Subroutinen, und dass die Übertragungssteuervorrichtung (178) bewirkt, dass der feste Puffer (182a) das durch jede der mehreren Subroutinen ausgelesene Sub­ prüfmuster speichert, wenn mehrere Subroutinen enthalten sind.

14. Prüfmustergenerator nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Subroutinenzahl- Detektor (185) aufweist:
einen Rückkehrbefehls-Detektor (117) zum Erfas­ sen der Anzahl der in dem Vektorbefehl enthalte­ nen Rückkehrbefehle, und
einen Subroutinenzahl-Speicher (186) der die An­ zahl von Rückkehrbefehlen zählt.

15. Prüfmustergenerator nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Subroutinenzahl- Detektor (200, 300) aufweist:
einen Sprungbefehlsdetektor (216) zum Erfassen eines in dem Vektorbefehl enthaltenen Sprungbe­ fehls,
eine Beurteilungseinheit (250) zur Feststellung, ob eine durch den Sprungbefehl bestimmte Adresse vorher durch den Sprungbefehl als eine Sprungad­ resse bestimmt wurde, und
einen Subroutinenzahl-Speicher (214) zum Zählen der Anzahl von Malen, die die Beurteilungsein­ heit (250) festgestellt hat, dass die durch den Sprungbefehl bestimmte Adresse nicht vorher als die Sprungadresse bestimmt war.

16. Prüfmustergenerator nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Beurteilungseinheit (250 aufweist:
ein Register (208) zum Speichern der Adresse, für die festgestellt ist, dass sie nicht vorher als die Sprungadresse bestimmt war, und
einen Anpassungsdetektor (206) zum Feststellen, ob die in dem Register (208) gespeicherte Adres­ se und eine durch den Sprungbefehl bestimmte Ad­ resse die gleichen sind oder nicht, wenn der Sprungbefehlsdetektor (216) den Sprungbefehl er­ fasst.

17. Prüfmustergenerator nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Informationsdetektor (172) einen Kapazitätsdetektor (188) zum Erfas­ sen der Kapazität des Subprüfmusters aufweist, und dass der Prüfmustergenerator das Subprüfmus­ ter in dem Ringpuffer (182b) speichert durch An­ nahme des Ringpuffers (182b) als einen zweiten festen Puffer, wenn die Kapazität des Subprüf­ musters kleiner ist als die Kapazität des Subprüfmuster-Cachespeichers (182).

18. Prüfmustergenerator nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Kapazitätsdetektor (188) aufweist:
einen Startadressen-Detektor (188a) zum Erfassen einer Startadresse des zuerst durch die Subrou­ tine ausgelesenen Subprüfmusters, und
einen Endadressendetektor (188b) zum Erfassen einer Endadresse des zuletzt durch die Subrouti­ ne ausgelesenen Subprüfmusters,
wobei die Kapazität des Prüfmusters erfasst wird durch Subtraktion der Startadresse des zuerst ausgelesenen Prüfmusters von der Endadresse des zuletzt ausgelesenen Prüfmusters.

19. Prüfmustergenerator nach einem der Ansprüche 11 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Infor­ mationsdetektor (172) eine Information der Subroutine zu einer Zeit erfasst, zu der der Vektorbefehl in dem Vektorspeicher (12) gespeichert wird.

20. Prüfmustergenerator nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass der feste Puffer (182a) das Subprüfmuster in einer solchen Weise speichert, dass eine Zeit, die zum Speichern des in dem Musterspeicher (32) gespeicherten Subprüfmusters in den Ringpuffer (182b) benötigt wird, länger ist als eine Zeit, die zur Ausgabe des in dem festen Puffer (182a) gespeicherten Subprüfmus­ ters benötigt wird.

21. Prüfvorrichtung zum Prüfen elektrischer Eigen­ schaften von elektrischen Vorrichtungen durch Verwendung von Prüfmustern, welche aufweist:
einen Musterspeicher (32) zum Speichern von Prüfmustern, jeweils enthaltend ein Eingabeprüf­ muster, das für die Prüfung an eine elektrische Vorrichtung angelegt wird, und ein Muster aus erwarteten Werten, das von einer normalen elekt­ rischen Vorrichtung ausgegeben wird, wenn das Eingabeprüfmuster an die normale elektrische Vorrichtung angelegt wird,
einen Muster-Cachespeicher (54, 180, 182) zum vorübergehenden Speichern von aus dem Muster­ speicher (32) ausgelesenen Prüfmustern, welcher Muster-Cachespeicher (54, 180, 182) aus einem Hauptprüfmuster-Cachespeicher (80, 180) und ei­ nem Subprüfmuster-Cachespeicher (52, 182) be­ steht,
einen Vektorspeicher (12) zum Speichern von Vek­ torbefehlen, die eine Reihenfolge der zu erzeu­ genden Prüfmuster anzeigen,
eine Lese-Steuervorrichtung (14, 170), die aus dem Vektorspeicher (12) einen Vektorbefehl aus­ liest und ein Übertragungsbefehlssignal (25) ausgibt, wenn der aus dem Vektorspeicher (12) ausgegebene Vektorbefehl einen Adressensprung für die aus dem Musterspeicher (32) auszulesen­ den Prüfmuster anzeigt,
eine Übertragungssteuervorrichtung (34, 178), die das Prüfmuster entsprechend einem aus dem Vektorbefehl abgeleiteten Adressensignal (24) aus dem Musterspeicher (32) ausliest und das Prüfmuster als ein Hauptprüfmuster an den Haupt­ prüfmuster-Cachespeicher (50, 180) überträgt, wenn der Vektorbefehl keinen Adressensprung an­ zeigt bzw. das Prüfmuster entsprechend dem Ad­ ressensignal (24) aus dem Musterspeicher (32) ausliest und das Prüfmuster als ein Subprüfmus­ ter an den Subprüfmuster-Cachespeicher (52, 182) überträgt, wenn der Vektorbefehl einen Adressen­ sprung anzeigt,
einen Stiftdatenselektor (66) für die körperli­ che Zuordnung von wenigstens einem Signal, das das aus dem Muster-Cachespeicher (54, 180, 182) ausgelesene Prüfmuster bildet, in Übereinstim­ mung mit der Anordnung von elektrischen An­ schlüssen der elektrischen Vorrichtung,
eine Wellenform-Formungsvorrichtung (72) zum Formen einer Wellenform des in dem von dem Stiftdatenselektor (66) ausgegebenen Prüfmuster enthaltenen Eingabeprüfmusters,
eine Vorrichtungs-Einsteckeinheit (80) zur Auf­ nahme der elektrischen Vorrichtung und zum Anle­ gen des Eingabeprüfmusters, das von der Wellen­ form-Formungsvorrichtung (72) geformt wurde, an die elektrischen Vorrichtung, und
einen Komparator (84) zum Vergleichen eines von der elektrischen Vorrichtung durch Anlegen des Eingabeprüfmusters ausgegebenen Ausgangssignals mit dem Muster aus erwarteten Werten.

22. Prüfvorrichtung nach Anspruch 21, gekennzeichnet durch einen Multiplexer (44, 45) zur Auswahl des aus dem Hauptprüfmuster-Cachespeicher (50, 180) aus­ gelesenen Hauptprüfmusters oder des aus dem Sub­ prüfmuster-Cachespeicher (52, 182) ausgelesenen Subprüfmusters.

23. Verfahren zum Erzeugen von Prüfmustern für die Prüfung von elektrischen Eigenschaften einer e­ lektrischen Vorrichtung, welches die Schritte aufweist:
einen Leseschritt zum Auslesen eines Vektorbe­ fehls, der eine Reihenfolge eines zu erzeugenden Prüfmusters anzeigt, aus einem Vektorbefehle speichernden Vektorspeicher (12),
einen Beurteilungsschritt zur Feststellung, ob der ausgelesene Vektorbefehl einen Adressen­ sprung für das aus einem Musterspeicher (32) auszulesende Prüfmuster anzeigt oder nicht, und einen Übertragungsschritt zum Auslesen des Prüf­ musters entsprechend einem aus dem Vektorbefehl abgeleiteten Adressensignal (24) aus dem Muster­ speicher (32) und Übertragen des Prüfmusters als ein Hauptprüfmuster an einen Hauptprüfmuster- Cachespeicher (50, 180) eines Muster- Cachespeichers (54, 180, 1829 zum vorübergehen­ den Speichern von aus dem Musterspeicher (32) ausgelesenen Prüfmustern, wenn der Vektorbefehl keinen Adressensprung anzeigt bzw. zum Auslesen des Prüfmusters entsprechend dem Adressensignal (24) aus dem Musterspeicher (32) und Übertragen des Prüfmusters als ein Subprüfmuster an einen Subprüfmuster-Cachespeicher (52, 182) des Mus­ ter-Cachespeichers (50, 180, 182), wenn der Vek­ torbefehl einen Adressensprung anzeigt.

24. Verfahren zum Erzeugen von Prüfmustern nach An­ spruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass das Sub­ prüfmuster in dem Prüfmuster enthalten ist.

25. Verfahren zum Erzeugen von Prüfmustern nach ei­ nem der Ansprüche 23 oder 24, dadurch gekenn­ zeichnet, dass der Hauptprüfmuster-Cachespeicher (50, 180) zwei Musterspeicherbänke (40, 41) ver­ wendet und dass ein Schritt des Auslesens des Hauptprüfmusters, das vorher in einer der Mus­ terspeicherbänke (40, 41) gespeichert war, vor­ gesehen ist, um das ausgelesene Hauptprüfmuster zu der elektrischen Vorrichtung zu liefern, wäh­ rend das aus dem Musterspeicher (32) ausgelesene Hauptprüfmuster zu der anderen der Musterspei­ cherbänke (40, 41) übertragen wird.

26. Verfahren zum Erzeugen von Prüfmustern nach ei­ nem der Ansprüche 23 oder 24, dadurch gekenn­ zeichnet, dass der Subprüfmuster-Cachespeicher (52) zwei Musterspeicherbänke (42, 43) verwen­ det, und dass ein Schritt des Auslesens des vor­ her in einer der Musterspeicherbänke (42, 43) gespeicherten Subprüfmusters vorgesehen ist, um das ausgelesene Subprüfmuster zu der elektri­ schen Vorrichtung zu liefern, während das aus dem Musterspeicher (32) ausgelesene Subprüfmus­ ter zu der anderen der Musterspeicherbänke (42, 43) übertragen wird.

27. Verfahren zum Erzeugen eines Prüfmusters nach einem der Ansprüche 23 oder 26, gekennzeichnet durch einen Schritt des Speicherns der in dem Ausleseschritt aus dem Vektorspeicher (12) aus­ gelesenen Vektorbefehle in einem Vektor- Cachespeicher (56).

28. Verfahren zum Erzeugen eines Prüfmusters nach Anspruch 27, gekennzeichnet durch einen Adres­ senerzeugungsschritt zum Erzeugen einer Adresse des aus dem Musterspeicher (32) auszulesenden Prüfmusters auf der Grundlage des aus dem Vek­ tor-Cachespeicher (56) ausgelesenen Vektorbe­ fehls.

29. Verfahren zum Erzeugen eines Prüfmusters nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass ein Vektor-Cachespeicher (56) mit drei Vektorspei­ cherbänken (16, 18, 19) verwendet wird, und dass die Adresse durch den aus einer der Vektorspei­ cherbänke (16, 18, 19) ausgelesenen Vektorbefehl erzeugt wird, während der Vektorbefehl in eine andere der Vektorspeicherbänke (16, 18, 19) wäh­ rend des Adressenerzeugungsschrittes geschrieben wird.

30. Verfahren zum Erzeugen eines Prüfmusters nach einem der Ansprüche 23 bis 29, gekennzeichnet durch einen Erfassungsschritt zum Erfassen einer Endadresse des Subprüfmusters, wobei in dem Ü­ bertragungsschritt ein neues Subprüfmuster aus dem Musterspeicher (32) in den Subprüfmuster- Cachespeicher (52) übertragen wird, wenn für das neue Subprüfmuster in dem Erfassungsschritt festgestellt wurde, dass es auszulesen ist, nachdem das Subprüfmuster mit der Endadresse ü­ bertragen wurde.

31. Verfahren zum Erzeugen eines Prüfmusters nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass der Subprüfmuster-Cachespeicher (182) aufweist:
einen Ringpuffer (182b), welcher in der Lage ist, das Subprüfmuster mit aufeinander folgender Aktualisierung des Subprüfmusters darin aus­ zugeben, und
einen festen Puffer (182a), welcher in der Lage ist, das Subprüfmuster mit Speicherung des Sub­ prüfmusters darin auszugeben,
wobei die Vektorbefehle eine Hauptroutine zum Auslesen des Hauptprüfmusters aus dem Muster­ speicher (32) und eine Subroutine zum Auslesen des Subprüfmusters aus dem Musterspeicher (32) aufweisen, und wobei der Schritt zum Speichern in den Subprüfmuster-Cachespeicher (182) auf­ weist:
einen Schritt zum Speichern eines ersten Teils des Subprüfmusters, das aufeinander folgend durch die Subroutine aus dem Musterspeicher (32) ausgelesen wurde, in dem festen Puffer (182a), und
einen Schritt des aufeinander folgenden Spei­ cherns des Subprüfmusters, welches durch die Subroutine aus dem Musterspeicher (132) ausgele­ sene wurde und welches nicht in dem festen Puf­ fer (182b) gespeichert ist, in dem Ringpuffer (182a).