DE19722414B4 - Verfahren und Vorrichtung zum Testen eines Halbleiterspeichers - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Testen eines Halbleiterspeichers Download PDF

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Abstract

Verfahren zum Testen eines Halbleiterspeichers, aufweisend die Schritte:
Schreiben von Daten, welche eine Störungszelle in einem beliebigen der Blöcke eines Störungsanalysespeichers bezeichnen, in einen Bereich eines Verdichtungsspeichers, der dem einen der Blöcke entspricht, wobei der Verdichtungsspeicher Bereiche jeweils entsprechend den Blöcken des Störungsanalysespeichers zum Speichern von Störungsinformation aufweist, welche das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein einer Störungszelle in jeder Adresse eines getesteten Halbleiterspeichers anzeigen, Ermitteln von Minimal- und Maximaladressen der Adressen, in denen Störungszellen in den Blöcken vorhanden sind, und
Lesen von Störungsdaten aus dem Störungsanalysespeicher in einem Bereich zwischen den Minimal- und Maximaladressen von jedem der Blöcke, die den Bereichen des Verdichtungsspeichers entsprechen, welche die Daten speichern, die eine Störungszelle anzeigen.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Testen eines Halbleiterspeichers.
  • 1 der beiliegenden Zeichnungen zeigt in Blockform eine herkömmliche Halbleiterspeichertestvorrichtung. Wie in 1 gezeigt, weist die herkömmliche Halbleiterspeichertestvorrichtung einen Taktgenerator 51, einen Mustergenerator 52, einen Störungsanalysespeicher 53, einen Wellenformformgeber 54 und einen Logikkomparator 55 zum Testen eines Halbleiterspeichers 56 auf.
  • Der Taktgenerator 51 erzeugt ein Bezugstaktsignal. Auf Grundlage des durch den Taktgenerator 51 erzeugten Bezugstaktsignals erzeugt der Mustergenerator 52 ein Adressensignal, Testdaten und ein Steuersignal, die an den zu testenden Halbleiterspeicher 56 angelegt werden sollen. Der Mustergenerator 52 gibt außerdem eine Adresse an den Störungsanalysespeicher 53 aus, und ferner gibt er Erwartungswertdaten an den Logikkomparator 55 aus. Das Adressensignal, die Testdaten und das Steuersignal werden dem Wellenformformgeber 54 zugeführt, der die Wellenformen des Adressensignals, der Testdaten und des Steuersignals in Wellenformen formt, die erforderlich sind, um den Halbleiterspeicher 56 zu testen, und er legt das Adressensignal, die Testdaten und das Steuersignal, welche die jeweils erforder 1ichen Wellenformen aufweisen, an den getesteten Halbleiterspeicher 56 an. Der getestete Halbleiterspeicher 56 wird gesteuert, um die Testdaten durch das Steuersignal zu schreiben und zu lesen. Die aus dem getesteten Halbleiterspeicher 56 gelesenen Testdaten werden dem Logikkomparator 55 zugeführt und durch ihn mit den Erwartungswertdaten verglichen, die von dem Mustergenerator 52 ausgegeben werden. Abhängig davon, ob die Testdaten mit den Erwartungsdaten übereinstimmen oder nicht, wird festgelegt, ob der getestete Halbleiterspeicher 56 in Ordnung ist oder nicht. Wenn die Testdaten nicht mit den Erwartungswertdaten übereinstimmen, werden Störungsdaten "1" von dem Logikkomparator 55 in dem Störungsanalysespeicher 53 gespeichert.
  • Einzelheiten des Störungsanalysespeichers 53 sind in 2 der beiliegenden Zeichnungen gezeigt. Wie in 2 gezeigt, weist der Störungsanalysespeicher 53 einen Adressenauswähler 61, eine Speichersteuereinheit 62 und eine Speichereinheit 63 auf. Der Adressenauswähler 61 unterteilt das Adressensignal von dem Mustergenerator 52 in eine hochrangige Adresse und eine niederrangige Adresse. Die hochrangige Adresse wird an die Speichersteuereinheit 62 ausgegeben, und die niederrangige Adresse wird an die Speichereinheit 63 ausgegeben. Es stehen so viele Speichereinheiten 63 bereit, wie hochrangige Adressen vorliegen. Wenn Störungsdaten von dem Logikkomparator 55 ausgegeben werden, gibt die Speichersteuereinheit 62 an die Speichereinheit 63 ein Schreibsignal aus, das durch die hochrangige Adresse wiedergegeben ist, um dadurch die Störungsdaten des getesteten Halbleiterspeichers 56 in der Speichereinheit 63 abzuspeichern. Nach dem Test werden die Inhalte des Störungsanalysespeichers 53 geprüft, um Störungsadressen des getesteten Halbleiterspeichers 56 zu analysieren.
  • Ein herkömmlicher Prozeß zum Auslesen von Störungsdaten aus einem Störungsanalysespeicher mit hoher Geschwindigkeit verwendet einen Verdichtungsspeicher. Bei dem Verdichtungsspeicher handelt es sich um einen Speicher zum Speichern von Störungsdaten, wobei bestimmte Adressenbereiche verdichtet sind. Wenn in dem verdichteten Adressenbereich (Block) gerade eben eine Störungszelle vorhanden ist, werden in dem Verdichtungsspeicher die Daten "1" gespeichert.
  • 3 der beiliegenden Zeichnungen zeigt ein Beispiel des Störungsanalysespeichers und des Verdichtungsspeichers. Wie in 3 gezeigt, ist ein Block des Störungsanalysespeichers in 4 × 4 Blöcke unterteilt, von denen jeder 4 × 4 Zellen aufweist, und der Verdichtungsspeicher weist 16 Bereiche entsprechend X- und Y-Adressen in jeden der Blöcke des Störungsanalysespeichers auf. Jeder der Bereiche des Verdichtungsspeichers speichert Daten "1", wenn gerade eben eine Störungszelle in dem entsprechenden Block des Störungsanalysespeichers vorliegt.
  • Da bei dem in 3 gezeigten Beispiel Störungszellen in den Blöcken (0, 0), (1, 1), (2, 1), (2, 2) des Störungsanalysespeichers vorliegen, werden die Daten "1" in jeden der entsprechenden Bereiche des Verdichtungsspeichers geschrieben. Die Daten "1", die in dem Verdichtungsspeicher gespeichert sind, werden gelesen, und die Daten in lediglich denjenigen Blöcken des Störungsanalysespeichers, die den Bereichen des Verdichtungsspeichers entsprechen, wo die Daten "1" gespeichert sind, werden gelesen. Auf diese Weise wird die Anzahl an Malen, mit denen die Daten, die in dem Störungsanalysespeicher gespeichert sind, gelesen werden, verringert, so daß der Prozeß zum Lesen der Daten aus dem Störungsanalysespeicher beschleunigt ist.
  • Wenn jedoch in einem Block des Störungsanalysespeichers eine Störungszelle vorhanden ist, wird die gesamte Störungsinformation im Block aus dem Störungsanalysespeicher gelesen. Wenn Störungszellen in sämtlichen Blöcken des Störungsanalysespeichers vorhanden sind, müssen sämtliche Blöcke des Störungsanalysespeichers gelesen werden.
  • Die Anzahl an Malen, mit denen die Daten, die in dem Störungsanalysespeicher gespeichert sind, gelesen werden, wird demnach erhöht, wodurch der Prozeß zum Lesen der Daten aus dem Störungsanalysespeicher verlangsamt ist.
  • Da DRAM oder dergleichen als getesteter Halbleiterspeicher zunehmend größere Speicherkapazitäten aufweisen, wird die Speicherkapazität von jedem der Blöcke des Störungsanalysespeichers ebenfalls größer. Selbst dann, wenn die Daten, die in dem Verdichtungsspeicher gespeichert sind, der in Verbindung mit dem Störungsanalysespeicher verwendet wird, wenige Störungsblöcke in dem Störungsanalysespeicher darstellen, ist es zeitaufwendig, die Daten aus den Störungsblöcken des Störungsanalysespeichers zu lesen. Wenn die Speicherkapazität von jedem der Blöcke des Störungsanalysespeichers verringert ist, wird die Speicherkapazität des Verdichtungsspeichers erhöht. Es ist deshalb zeitaufwendig, die Daten aus dem Verdichtungsspeicher zu lesen, was zu einer langen Gesamtauslesezeit führt, die erforderlich ist, um den Halbleiterspeicher zu testen.
  • Aus der DE 40 28 819 A1 ist eine Schaltungsanordnung zum Testen eines Halbleiterspeichers mittels Paralleltests mit verschiedenen Test-Bitmustern bekannt. Um mit dieser Schaltungsanordnung unter minimalem Aufwand eine Lokalisierung fehlerhafter Einzelspeicherzellen oder Speicherzellen-n-TUPEL zu ermöglichen, ist vorgesehen, verschiedene Test-Bitmuster in Register und in Speicherzellen-n-TUPEL einzuschreiben, wobei die Vergleicherausgänge durch Paare von Wired-OR-Leitungen einer Adressmatrix zusammengestellt sind, um eine Fehlerlokalisierung zu ermöglichen, und wobei durch eine Fehlertyperkennungsschaltung Einzelfehler und/oder Mehrfachfehler erkennbar bzw. voneinander unterscheidbar sind. Die Adressmatrix ist dabei bevorzugt als Fehleradressmatrix ausgebildet, um fehlerhafte Einzelspeicherzellen zu lokalisieren.
  • Aus der DE 40 17 616 C2 ist eine Halbleiterspeichereinrichtung mit Testfunktion und ein Verfahren zum Testen einer Halbleiterspeichereinrichtung bekannt. Dabei wird bei einer Halbleiterspeichereinrichtung mit Testfunktion, aufweisend ein Speicherzellenfeld, mehrere von Teilfeldern gebildete Datenein-/-ausgabepins, Vergleichs- und Bestimmungseinrichtung und eine Registereinrichtung sowie eine Akzeptanz-Taktsignal-Steuereinrichtung, eine Eingangsimpedanz-Änderungseinrichtung vorgesehen, die von dein in der Registereinrichtung gespeicherten Wert des Vergleichs- und Bestimmungsergebnisses abhängig ist, um die Eingangsimpedanz vorbestimmter standardmäßig vorhandener Pins zu ändern, wobei sämtliche der genannten Einrichtungen auf einem einzigen Halbleitersubstrat gebildet sind.
  • Aus der DE 38 19 425 C2 ist eine Anordnung zum automatischen Prüfen von Speichern bekannt. Um eine Fehleranalyse hinsichtlich der Anzeige der räumlichen Position von Fehlern innerhalb eines Prüflings zu vereinfachen, ist bei dieser Anordnung, die einen Mustergenerator, einen Fehlerinformationsspeicher, eine Fehlerinformations-Ausleseeinrichtung und eine Fehleranalysiereinrichtung umfasst, vorgesehen, dass die Fehleranalyseeinrichtung ein Sichtgerät zur zweidimensionalen Darstellung von Fehlerinformation an Orten enthält, welche den räumlichen Positionen der betreffenden Speicherelemente dem Prüfling zugeordnet sind, dass die Lese-Adressierschaltung des Fehlerinformationsspeichers die Adressensignale des mit Hochgeschwindigkeit arbeitenden Mustergenerators empfängt und eine Steuereinrichtung enthält, welcher einzelne Bits von im Fehlerinformationsspeicher enthaltenen Mehr-Bitwörtern jeweils in einer derartigen Reihenfolge adressiert, und dass sie im ausgelesenen seriellen Bitstrom Positionen einnehmen, welche den räumlichen Positionen der betreffenden Speicherelemente im Prüfung zugeordnet sind.
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Testen eines Halbleiterspeichers zu schaffen, die es erlauben, Störungsdaten aus einem Störungsanalysespeicher mit erhöhter Geschwindigkeit auszulesen.
  • Gelöst wird diese Aufgabe hinsichtlich des Verfahrens durch die Merkmale des Anspruchs 1 und hinsichtlich der Vorrichtung durch die Merkmale des Anspruchs 2.
  • Gelöst wird die Aufgabe demnach erfindungsgemäß durch Bereitstellen eines Verfahrens zum Testen eines Halbleiterspeichers, aufweisend die Schritte: Schreiben von Daten, welche eine Störungszelle in einem beliebigen der Blöcke eines Störungsanalysespeichers bezeichnen, in einen Bereich eines Verdichtungsspeichers, der dem einen der Blöcke entspricht, wobei der Verdichtungsspeicher Bereiche jeweils entsprechend den Blöcken des Störungsanalysespeichers zum Speichern von Störungsinformation aufweist, welche das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein einer Störungszelle in jeder Adresse eines getesteten Halbleiterspeichers anzeigen, Ermitteln von Minimal- und Maximaladressen der Adressen, in denen Störungszellen in den Blöcken vorhanden sind, und Lesen von Störungsdaten aus dem Störungsanalysespeicher in einem Bereich zwischen den Minimal- und Maximaladressen von jedem der Blöcke, die den Bereichen des Verdichtungsspeichers entsprechen, welche die Daten speichern, die eine Störungszelle anzeigen.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird außerdem eine Vorrichtung zum Testen eines Halbleiterspeichers bereitgestellt, aufweisend: einen Störungsanalysespeicher, der in mehrere Blöcke mit verdichteten Adressen zum Speichern von Störungsinformation unterteilt ist, die für das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein einer Störungszelle in jeder Adresse eines getesteten Halbleiterspeichers repräsentativ ist, einen Verdichtungsspeicher mit Bereichen entsprechend jeweils den Blöcken des Störungsanalysespeichers, eine Datenschreibeinrichtung zum Schreiben von Daten, welche eine Störungszelle in einem der Blöcke des Störungsanalysespeichers bezeichnen, in einen Bereich des Verdichtungsspeichers, der dem einen der Blöcke entspricht, eine Minimaldressenspeichereinrichtung und eine Maximaladressenspeichereinrichtung zum Speichern einer Minimaladresse bzw. einer Maximaladresse von Adressen, in welchen Störungszellen in den Blöcken vorhanden sind, erste und zweite Adressenvergleichseinrichtungen zum Vergleichen einer Ausleseadresse von jedem der Blöcke des Störungsanalysespeichers mit der Minimaladresse, die in der Minimaladressenspeichereinrichtung gespeichert ist, und der Maximaladresse, die in der Maximaladressenspeichereinrichtung gespeichert ist, eine Einrichtung zum Speichern der Ausleseadresse in der Minimaladressenspeichereinrichtung, wenn die Ausleseadresse kleiner als die Minimaladresse ist und Störungsdaten des Störungsanalyse speichers in der Ausleseadresse eine Störungsadresse wiedergeben, eine Einrichtung zum Speichern der Ausleseadresse in der Maximaladressenspeichereinrichtung, wenn die Ausleseadresse größer als die Maximaladresse ist und die Störungsdaten aus dem Störungsanalysespeicher in der Ausleseadresse eine Störungsadresse wiedergeben, und eine Einrichtung zum Lesen von Störungsdaten aus dem Störungsanalysespeicher in einem Bereich zwischen den Minimal- und Maximaladressen von jedem der Blöcke, die in den Minimal- und Maximaladressenspeichereinrichtungen gespeichert sind.
  • Durch den erfindungsgemäßen Aufbau bzw. durch die erfindungsgemäße Anordnung werden Minimal- und Maximaladressen von Adressen, an welchen eine Störungszelle in einem verdichteten Block vorliegen, in einem getesteten Halbleiterspeicher aufgefunden, und Störungsdaten werden lediglich zwischen den Minimal- und Maximaladressen in dem Block ausgelesen, um dadurch die Anzahl an Malen zu verringern, mit denen die Störungsblöcke gelesen werden, wodurch der Prozess zum Auslesen der Störungsblöcke beschleunigt ist.
  • Wenn gemäß einem herkömmlichen Prozess ein Störungsanalysespeicher Störungszellen in einem Block enthält, wie in 10 der beiliegenden Zeichnungen gezeigt, ist es erforderlich, den Block sechzehn Mal auszulesen, um Störungsdaten in sämtlichen Adressen des Blocks aus dem Störungsanalysespeicher zu lesen. Dies ist deshalb der Fall, weil die Störungsdaten adressenverdichtet sind, wodurch keine Information zur Verfügung steht, wie viele Störungszellen in dem Block wo vorhanden sind. Um eine genaue Information über Störungszellen im Block zu erhalten, werden sämtliche Störungsdaten an verdichteten Adressen in dem Block aus dem Störungsanalysespeicher gelesen. Um das vorstehend genannte Problem zu überwinden, wird gemäß der vorliegenden Erfindung ermittelt bzw. sichergestellt, wo Störungszellen im Block vorhanden sind. Anstatt Störungsdaten an sämt lichen Adressen im Block auszulesen, werden lediglich diejenigen Adressen, an welchen die Störungszellen vorhanden sind, gelesen, wodurch die Anzahl an Malen verringert ist, mit denen der Block gelesen wird. Insofern, als sämtliche Adressen der Störungszellen in Störungsblöcken nicht gespeichert werden können, weil dies ebenso viel Hardware wie für den Störungsanalysespeicher erfordern würde, werden Minimal- und Maximaladressen von Störungszellen in Blöcken aufgefunden und Störungsdaten an Adressen zwischen den Minimal- und Maximaladressen werden gelesen. Da bei dem Beispiel von 10 Störungszellen an Adressen Y-#E, X-#0 (auf die nachfolgend als #E0, #E3 bezug genommen wird) vorhanden sind, werden die Adressen #E0, #E3 als Minimal- und Maximaladressen verwendet, und Daten werden in einem Bereich zwischen diesen Minimal- und Maximaladressen aus dem Störungsanalysespeicher gelesen. Während es bislang erforderlich war, den Block sechszehnmal zu lesen, reicht es aus, den Block gemäß der vorliegenden Erfindung viermal zu lesen. Deshalb ist der Prozeß zum Auslesen des Störungsanalysespeichers beschleunigt.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen beispielhaft näher erläutert; es zeigen:
  • 1 ein Blockdiagramm einer herkömmlichen Halbleiterspeichertestvorrichtung,
  • 2 ein detailliertes Blockdiagramm eines Störungsanalysespeichers der in 1 gezeigten herkömmlichen Halbleiterspeichertestvorrichtung,
  • 3 ein Diagramm eines Beispiels von Daten, die in dem adressenverdichteten Störungsanalysespeicher und einem Verdichtungsspeicher gespeichert sind,
  • 4 ein Diagramm eines weiteren Beispiels von Daten, die in einem adressenverdichteten Störungsanalysespeicher und einem Verdichtungsspeicher gespeichert sind,
  • 5 ein Blockdiagramm eines Störungsanalysespeichers einer Halbleiterspeichertestvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
  • 6 ein Flußdiagramm eines Prozesses zum Lesen von Störungsdaten aus einem Adressenstörungsspeicher in der in 5 gezeigten Halbleiterspeichertestvorrichtung,
  • 7 ein Blockdiagramm einer Zeigersteuerschaltung in der in 5 gezeigten Halbleiterspeichertestvorrichtung,
  • 8 ein Diagramm eines Beispiels von Störungsinformation in einem Störungsanalysespeicher,
  • 9 ein Diagramm der Anzahl von Malen, mit denen auf den in 8 gezeigten Störungsanalysespeicher zugegriffen wird, wenn die vorliegende Erfindung auf den Störungsanalysespeicher angewendet wird, und
  • 10 ein Diagramm eines weiteren Beispiels von Daten, die in einem adressenverdichteten Störungsanalysespeicher und einem Verdichtungsspeicher gespeichert sind, wobei die Ansicht die Prinzipien der vorliegenden Erfindung wiedergibt.
  • Wie in 5 gezeigt, weist eine erfindungsgemäße Halbleiterspeichertestvorrichtung einen AFM (Adressenstörungsspeicher) 1 auf, einen CFM (Verdichtungsstörungsspeicher) 2, einen CFM-Adressenwähler 3, einen Wähler 4 für verdichtete Adressen, D-Flip-Flops 5, 7, einen Dekoder 6, UND-Gatter 8, 11, ein Minimaladressenregister 9, ein Maximaladressenregister 12 und Adressenkomparatoren 10, 13.
  • Bei dem AFM 1 handelt es sich um einen Störungsanalysespeicher, der dieselbe Speicherkapazität aufweist wie der getestete Halbleiterspeicher zum Speichern von Störungsdaten. Der AFM 1 ist in m-Blöcke unterteilt. Bei dem CFM 2 handelt es sich um einen Verdichtungsspeicher zum Speichern von adressenverdichteten Störungsdaten aus dem AFM 1. Der CFM-Adressenwähler 3 dekodiert Adressen von dem Mustergenerator, um Adressen (#0 bis #m-1) von dem CFM 2 zu wählen. Der Wähler 4 für verdichtete Adressen wählt verdichtete Adressen des getesteten Halbleiterspeichers. Durch den CFM-Adressenwähler 3 gewählte Adressen werden durch das D-Flip-Flop 5 verriegelt und daraufhin durch den Dekoder 6 dekodiert. Durch den Wähler 4 für verdichtete Adressen gewählte Adressen werden durch das D-Flip-Flop 7 verriegelt. Die UND-Gatter 8, 11, das Minimaladressenregister 9, das Maximaladressenregister 12 und die Komparatoren 10, 13 sind für jeden der Blöcke #1, #2, #m (die CFM-Adressen #0, #1, ... #m-1) des CFM 2 vorgesehen. Nachdem ein Halbleiterspeichertest gestartet wurde, werden das Minimaladressenregister 9 und das Maximaladressenregister 12 jeweils auf eine maximal verdichtete Adresse und #0 ansprechend auf ein Teststartsignal von dem Mustergenerator gesetzt. Wenn Störungsdaten "1" in einem verdichteten Block vorliegen, werden adressenverdichtete Störungsdaten im CFM 2 gespeichert. Die verdichtete Adresse wird mit den Minimal- und Maximaladressen verglichen, die jeweils in den Minimal- und Maximaladressenregistern 9, 10 gespeichert sind, und zwar durch die Adressenkomparatoren 10, 13. Wenn die verdichtete Adresse kleiner ist als die Minimaladresse, gibt das UND-Gatter ein Signal "1" aus, das die verdichtete Adresse in dem Minimaladressenregister 9 speichert. Wenn die verdichtete Adresse größer als die Maximaladresse ist, gibt das UND-Gatter 11 ein Signal "1" aus, das die verdichtete Adresse in dem Maximaladressenregister 12 speichert. Nach dem Halbleiterspeichertest liegt ein Bereich zum Lesen von Blöcken, die Fehlerzellen enthalten (die Daten, die aus dem CFM 2 gelesen werden, sind und "1" betragen), zwischen der Minimaladresse, die im Minimaladressenregister 9 gespeichert ist, und der Maximaladresse vor, die im Maximaladressenregister 12 gespeichert ist.
  • 6 zeigt ein Flußdiagramm eines Prozesses zum Lesen gespeicherter Daten aus dem CFM 2. Zunächst wird ein Blockzeiger BP im Schritt 21 auf #0 gesetzt. Daraufhin werden verdichtete Störungsdaten #1 im Schritt 22 aus dem CFM 2 gelesen. Im Schritt 23 wird ermittelt, ob es sich bei den verdichteten Störungsdaten #1 um "1" oder "0" handelt. Wenn die verdichteten Störungsdaten #1 "0" betragen, wird im Schritt 24 ermittelt, ob es sich bei dem Blockzeiger BP um eine finale Blockadresse BPSPA handelt oder nicht. Wenn es sich bei dem Blockzeiger BP um die finale Blockadresse BPSPA handelt, wird der Prozeß deshalb zuendegebracht, weil der Prozeß zum Endblock fortgeschritten ist. Falls nicht, wird der Blockzeiger BP im Schritt 25 um "1" erhöht, woraufhin die Steuerung zum Schritt 22 zurückgeht. Wenn die verdichteten Störungsdaten #1 im Schritt 23 "1" betragen, werden die Minimal- und Maximaladressen, die jeweils in den Minimal- und Maximaladressenregistern 9, 12 des Blocks gespeichert sind, der durch den Blockzeiger BP bezeichnet ist, jeweils in einen Adressenzeiger AP und eine Stopadresse SPA in einem Schritt 26 geladen. Daraufhin werden in dem AFM 1 gespeicherte Daten in einem Schritt 27 gelesen. Der Wert des Adressenzeigers AP wird mit dem Wert der Stopadresse SPA in einem Schritt 28 verglichen. Wenn der Wert des Adressenzeigers AP nicht gleich dem Wert der Stopadresse SPA ist, wird der Adressenzeiger AP in einem Schritt 29 um "1" inkrementiert, woraufhin die Steuerung zum Schritt 27 zurückkehrt. Falls der Wert des Adressenzeigers AP gleich dem Wert der Stopadresse SPA ist, kehrt die Steuerung zum Schritt 22 zurück.
  • 7 zeigt in Blockform eine Zeigersteuerschaltung in der in 5 gezeigten Halbleiterspeichertestvorrichtung. Wenn, wie in 7 gezeigt, der Block durch den Dekoder 6 dekodiert wird, werden die Minimaladresse, die im Minimaladressenregister 9 gespeichert ist, und die Maximaladresse, die im Maximaladressenregister 12 gespeichert ist, durch jeweilige UND-Gatter 31, 32 zugüführt und in einem STA-Register 33 bzw. einem SPA-Register 34 gespeichert. Die im STA-Register 33 gespeicherte Minimaladresse wird durch ein Störungssignal aus dem CFM 2 in ein AP-Register 35 geladen. Der Wert des SPA-Registers 34 und der Wert des AP-Registers 35 werden in ein Exklusiv-NOR-Gatter 36 eingegeben. Der Wert des im AP-Register 35 gespeicherten Adressenzeigers AP wird in den Adressenzeigerwähler 41 eingegeben. Eine Block-Startadresse ist in einem BPSTA-Register 37 gespeichert und wird daraufhin in einem BP-Register 38 gespeichert. Eine Block-Stopadresse BPSPA ist in einem BPSPA-Register 39 gespeichert. Der Wert des Blockzeigers BP, der im BP-Register 38 gespeichert ist, und die Blockstopadresse BPSPA, die in BPSPA-Register 39 gespeichert ist, werden in ein Exklusiv-NOR-Gatter 40 eingegeben. Der Wert des BP-Zeigers, der in dem BP-Register 38 gespeichert ist, wird in den Adressenzeigerwähler 41 eingegeben. Der Adressenzeigerwähler 41 wählt den Adressenzeiger AP von dem AP-Register 35 oder den Blockzeiger BP von dem BP-Register 38 und gibt den ausgewählten Zeiger an eine Speichereinheit und den CFM-Adressenwähler 3 aus. Einem UND-Gatter 42 werden die Ausgangssignale von den Exklusiv-NOR-Gattern 36, 40 zugeführt, und es gibt ein Leseendsignal aus, das anzeigt, daß der Prozeß zum Lesen der Daten aus dem CFM 2 ein Ende erreicht, wenn die Ausgangssignale von den Exklusiv-NOR-Gattern 36, 40 "1" werden.
  • Die Anzahl an Malen, mit denen ein Störungsanalysespeicher Störungsinformation, wie in 8 gezeigt, speichert, ist in 9 gezeigt. Da in Übereinstimmung mit dem herkömmlichen Prozeß, sämtliche Blöcke Störungsblöcke sind, wird auf den Verdichtungsspeicher sechszehnmal zugegriffen und auf den Störungsanalysespeicher wird 16 × 16 = 256-Mal zugegriffen. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird auf den Störungsanalysespeicher jedoch 43 Mal zugegriffen. Die Anzahl an Malen, mit denen auf den Störungsanalysespeicher in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung zugegriffen wird, ist deshalb viel kleiner als die Anzahl an Malen, mit denen auf den Störungsanalysespeicher gemäß dem herkömmlichen Prozeß zugegriffen wird. Folglich ist gemäß der vorliegenden Erfindung der Prozeß zum Auslesen des Störungsanalysespeichers beschleunigt.

Claims (2)

  1. Verfahren zum Testen eines Halbleiterspeichers, aufweisend die Schritte: Schreiben von Daten, welche eine Störungszelle in einem beliebigen der Blöcke eines Störungsanalysespeichers bezeichnen, in einen Bereich eines Verdichtungsspeichers, der dem einen der Blöcke entspricht, wobei der Verdichtungsspeicher Bereiche jeweils entsprechend den Blöcken des Störungsanalysespeichers zum Speichern von Störungsinformation aufweist, welche das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein einer Störungszelle in jeder Adresse eines getesteten Halbleiterspeichers anzeigen, Ermitteln von Minimal- und Maximaladressen der Adressen, in denen Störungszellen in den Blöcken vorhanden sind, und Lesen von Störungsdaten aus dem Störungsanalysespeicher in einem Bereich zwischen den Minimal- und Maximaladressen von jedem der Blöcke, die den Bereichen des Verdichtungsspeichers entsprechen, welche die Daten speichern, die eine Störungszelle anzeigen.
  2. Vorrichtung zum Testen eines Halbleiterspeichers, aufweisend: Einen Störungsanalysespeicher, der in mehrere Blöcke mit verdichteten Adressen zum Speichern von Störungsinformation unterteilt ist, die für das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein einer Störungszelle in jeder Adresse eines getesteten Halbleiterspeichers repräsentativ ist, einen Verdichtungsspeicher mit Bereichen entsprechend jeweils den Blöcken des Störungsanalysespeichers, eine Datenschreibeinrichtung zum Schreiben von Daten, welche eine Störungszelle in einem der Blöcke des Störungsanalysespeichers bezeichnen, in einen Bereich des Verdichtungsspeichers; der dem einen der Blöcke entspricht, eine Minimaladressenspeichereinrichtung und eine Maximaladressenspeichereinrichtung zum Speichern einer Minimaladresse bzw. einer Maximaladresse von Adressen, in welchen Störungszellen in den Blöcken vorhanden sind, erste und zweite Adressenvergleichseinrichtungen zum Vergleichen einer Ausleseadresse von jedem der Blöcke des Störungsanalysespeichers mit der Minimaladresse, die in der Minimaladressenspeichereinrichtung gespeichert ist, und der Maximaladresse, die in der Maximaladressenspeichereinrichtung gespeichert ist, eine Einrichtung zum Speichern der Ausleseadresse in der Minimaladressenspeichereinrichtung, wenn die Ausleseadresse kleiner als die Minimaladresse ist und Störungsdaten des Störungsanalysespeichers in der Ausleseadresse eine Störungsadresse wiedergeben, eine Einrichtung zum Speichern der Ausleseadresse in der Maximaladressenspeichereinrichtung, wenn die Ausleseadresse größer als die Maximaladresse ist und die Störungsdaten aus dem Störungsanalysespeicher in der Ausleseadresse eine Störungsadresse wiedergeben, und eine Einrichtung zum Lesen von Störungsdaten aus dem Störungsanalysespeicher in einem Bereich zwischen den Minimal- und Maximaladressen von jedem der Blöcke, die in den Minimal- und Maximaladressenspeichereinrichtungen gespeichert sind.
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