DE1614270A1 - Elektronenstrahlgeraet - Google Patents

Description

Dr. Herbert Sehe!« Patentanwalt PHH. i860,

■Anmelder: N.V. Philips¹ Gloeilampenfabrieken . JW/mJ.

Akte No. ^SS- 1860 Anmeldungvomi 8 ,AUgUSt 1967

"Elektronenstrahlgerät".

Die Erfindung bezieht eich auf ein Elektronenetrahlgerät, wie beispielsweise ein Elektronenmikroskop oder ein Elektronendiffraktionsgorät, mit einer in seinem ΙΊιβ durch einen in der Strahlrichtung versohiebbaren und in seiner ciuer zur Strahlriohtung stehenden Ebene drehbaren mit einem Leuchtschirm veraehenen Träger abschliaasbaren Öffnung, wobei neben dieser öffnung ein durch diese mit dem Innern des Geräts in. Verbindung zu bringendes Magazin für photographisches Plattenmaterial angeordnet ist, und Mittel vorhanden sind, um durch Drehung des Trägers eine photographische Platte vom Magazin her bis unter die Öffnung im ?U8S des Geräts zu bringen. "

Bei einem bekannten Gerät dieser Art ist der Träger eine zentrisch mit einem Leuchtschirm versehene Scheibe, die um eine durch die Mitte der kreisförmigen Öffnung im Fuss gehende Achse drehbar ist. Der Träger ist mit einem exzentrisch angeordneten Stift versehen, der mit einem Spalt in einem mit einer photograph! β oh en Platte versehenen Halter in einem auf der Seite liegenden Raum zusammenwirken kann.

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Naohdom duroh Ziehen an der Spindel des Trägere dieser vom Fuee wegbewegt ist, kann der Stift duroh Drehung des Trägers den Halter mit der photographisohen Platte über den Träger und damit unter die Öffnung im Fuss ziehen« Nachdem eine photographiaoha Aufnahme gemaoht worden ist, kann der Halter mit der Platte duroh abermaliges Drehen des Trägers in den Raum zurückgedrüokt werden. Es kann jeweils nur ein· Aufnahme gemacht werden, und dann muse die Platte im Halter duroh eineneue*, erseht werden, wozu der Raum von auesen her geöffnet werden muss. Das bedeutet Arbeit und Zeitverlust, da na oh dem Anordnen einer h-euen Platte in dem Halter der Baum zunäohst wieder evakuiert werden muss. Ein anderer Nachteil besteht darin, dass der Leuchtschirm von dem jeweils über ihn schiebenden Halter beschädigt werden kann. Ein anderer Nachteil dieses beKannton Geräte ist, dass ea kaum geeignet ist für die immer mehr Eingang findende Bildwiedergabetechnik mittels eines Fernsehkreiaes, wozu hinter einem den Elektronenstrahl auffangenden Leuchtschirm eine optisch mit demselben gekoppelte Fernsehaufnahmeröhre angeordnet wird. Bei dem bekannten Gerät erlaubt der Träger eine derartige Anordnung nicht.

Die Erfindung bezweckt, ein Elektronenstrahlgerät der eingangs erwähnten Art zu schaffen, bei dem die erwähnten Nachteile vermieden sind, ohne dass dies zu einer nennenswerten verwickelten Bauart goführt hat.

Naoh der Erfindung weist ein Gerät der eingangs erwähnten Art das Kennzeichen auf, dass die Drehachse des Trägers auβaerhalb der öffnung im Fubs des Geräte liegt, und der Träger in einem über den Maga— zinraum drehbaren Teil mit einer an einer anderen Stelle als der Leuchtschirm angeordneten durchgehenden fensterförmigen Öffnung zum Aufnehmen einer photographisohen Platte aus diesem iiagaains guss versehen ist, wozu das photographisohe Material im Uagazinraum durch Federdruck

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in Hiohtung des Trägers gedrückt werden kann _f wahrend weiter ebenfals neben dar öffnung im Riss ein sweiter gleichartiger Magasinraua sum Aufnehmen des tob Träger transportierten Materials angebracht 1st, wobei sich der sweite Magasinraua im gleichen Abstand von der Drehaohae des Trägers befindet» wie das erstgenannte Magasin«

Bei ainar gunstigen Ausfuhrungsfora des erfindungagemäsaen Geräts sind die Lagen beider Magacinräuae einer des anderen Spiegelbild gegenttber der durch die Drehachse des Trägers und die Strahlrichtung gehenden Ebene» und der Leuchtschirm und die fensterforaige Öffnung liegen diametral gegenüber der Drehachse des Trägers.

Ub die Anwandung· dar obenerwähnten fernsehteohnik in einfacher Weise su ermöglichen» iat nach einer weiteren Ausarbeitung der Erfindung eine den Haue ait dem Träger auf der von dem Fuss abgewandten Seite abdichtende Sohliaaeplatte ait einer Öffnung versehen, deren Zentrum in der Strahlriohtung der Elektronen im Gerät hinter dem Zentrum der Öffnung im Fuae lisgt, und die vakuumdicht abaohliessbar ist. Diese Öffnung lässt sich mit einem einfachen Hilfsteil abeohlieaeen, der ohne viel Mühe durch einen Halter mit einem Leuchtschirm und einer mit diesem optisch gekoppelten Pernsehaufnahmerohre ersetzt werden ksnn. Dieser letztgenannte äohira ist für den Elektronenstrahl erreichbar, wenn der Träger in eine derartige Lage gebracht wird, dass sich die fensterforaige Öffnung ohne eine darin befindliche photographische Platte unter der öffnung im Püss befindet.

Ein erfindungsgeaässee Gerät, insbesondere ein Elektronenmikroskop wird an Hand der Zeichnung näher beschrieben. Es zeigen

Fig. 1 eine Draufsicht des unteren Teils des Fusees, wobei die die Elektronen beinflueeenden MiKroskopteile fortgelassen sind,

Fig, 2 einen Schnitt durch diesen Teil gemäes der Linie

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Fig. j einen Schnitt durch diesen Teil gemaes der Linie

III-III,

Fig. 4 sine detaillierte Darstellung einer Erweiterung des Mikroskopgebrauohs·

Der Fusa des Mikroskope 1 enthalt eine Grundplatte 2, auf der das Mikroskop angeordnet ist, und ein an der Grundplatte befestigtee Gehäuse 3» dessen Verbindung mit der Grundplatte durch Verwendung eines Gummistreifen* 4 luftdicht ist.

In der Grundplatte 2 befindet sich eine öffnung 5 (Pig.3)· Diese dient zum Durchlass der Elektronenstrahlen, mit denen ein Slektronenbild an einem im Gehäuse 3 vorhandenen Leuchtschirm 6 oder auf einer photo» graphischen Platte 7 gebildet wird.

Der Leuchtschirm oder die photographisohe Platte können beliebig vor der öffnung 5 angeordnet werden.

Meistens wird eine photographisohe Aufnahme gemacht anlässlich dee am Leuchtschirm erschienenen Bildes. Durch Beschädigung und Verformung oder einige andere Ursachen von Objektverformung ist ein sohneller Übergang vom sichtbaren Bild sur photographlsohen Aufnahme oft notwendig} was zur gleichzeitigen Verschiebung des Leuchtstoffträger· und der Filmplatte geführt hat. Im dargestellten Hikroskopfuss befindet sich dazu im Gehäuse ein drehbarer Trager 8, auf dem eine mit Leuchtstoff bedeckte Platte 9 durch Federn 10 unterstutet wird· De belichtete photographische Filmplatten aus dem Gehluse entfernt werden können müssen, wird die Platte 9 zugleich dasu verwendet, die öffnung 5 luftdicht abzuschiiessen.

Dazu ist am Hand der Platte ein Dichtungsring 11 in einer BiHe angeordnet.

Der Abschluss der Öffnung 5 erfolgt dadurch, dass der drehbare Träger 8 nach oben bewegt wird, wozu dessen Spindel 12 mit

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durok Kugeln 11 hin und hos bewegbar ist« Um dio Spindel befindet sxefe ©ine Büo&s® 149 di© du^efe in Si11on 15 &Q^ Spindal angeordnete Kugel» 16 unt©r®tütst trft^&g doren' LauffTaahan in der Biislisa 14 Versehl©bung das¹. letzteren gsgenüber der Spindel verhindern^ γ/ähraad die Buofes© uabsMneLo2?fc üb di© Stände! tow dysMs Ein auf der Ause©ns©ito &θθ Oehäusos bodienbasOJ? Knopf 17 esj eine Spindel 18 au asdkon₉ das·©» ladQ mit oiHQS" Soiioib© 19 mit eia@a ossanteissfa daseuf angobsaohtgn Stift 20 vas-seh-sn ist,, d©r ia ein© AusBpasuKg des Büaiiso gEoif'öo Su?@h Irahuiag ά&χ Spind©! 18 h@- wagt oieä dio BS©hos ussdi. dadösÄ dos asolifesro Ss¹IgQ^ 8 hin und hör«.

Fig. 2 ssigt; d©n frlg©s> 8 in mainei· unto?®n Lag©₉ vjlhrena in Figo 3 ä-QE¹ Talges 8 naQb, ob©n gsbsaefet io"i5_B und dia LQuehtstoffplatt® 9 eehliöost disna dio öffnung 5 ®^° Iß diosea PqII ^ana L»f§ ia da© Qe·= hSuss 3 hinsi-ng©lEss©n werdono

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Boden 30 des Gehäuses 3 vorbei, auf dessen Unterseite ein Raum 31 zur Lagerung einer Anzahl Filmblätter oder Platten 7 angeordnet ist. Das Filmcnaterial wird duroh eine Feder 32 aufwarte gedrückt und sobald eich die öffnung 22 im Träger 8 über der Öffnung 29 im Boden 30 des Gehäuses 3 befindet, springt ein Halter samt Film 7 in die Trägeroffnung 22 und kann daraus beim Weiterbewegen des Trägers 8 nicht entfernt werden. Der Antriebsmechanismus für den Träger 8 ist mit Mitteln» beispielsweise elektrischen Kontakten versehen» die den elektrischen Strom zur Motorerregimg unterbrochen, wenn sich der Träger so weit gedreht hat« dass die Öffnung 22 mit dem darin befindlichen Film 7 gegenüber der Ufi'nung 5 in der Grundplatte 2 angelangt ist. Im dargestellten Beispiel hat sich der Träger dann um eine halbe Umdrehung gedreht. Nachdem die Bildaufnahme gemacht worden ist, führt der Träger 8 die nächste halbe Umdrehung durch· Dabei wird sioh die öffnung 22 im Träger kurz über einer anderen Öffnung 33 im Boden 30 des Gehäuses 3 befinden, auf dessen Unterseite ein Raum 34 sum Aufnehmen des der Strahlung ausgesetzten Filmmaterials 7 angeordnet ist. Dadurch, dass in diesem Augenbliok jede Unterstützung fehl*, fällt dar Filmhalter oder die Platte duroh sein bzw...ihr Eigengewicht in diesen Baum 34* Die Umdrehung dee Trägers 8 wird danach vollendet und das Getriebe auf» neue ausser Betrieb gesetzt, wonach ein Leuchtstoffbild betraohtet oder eine nächste Filmplatte, durch das abermalige Drehen des Trägers 8, an die zur Herstellung einer Aufnahme bestimmte Stelle gebracht werden kann. MgH kann die beiden Bäume 31 und 34, der eine zum Füllen mit neuem Filmraaterial und der andere zum Leeren, leicht entfernen, nachdem die Öffnung¹ 5 i»" der Grundplatte durch die Leuchtstoffplatte 9 abgeschlossen und Luft in das Gehäuse 3 eingelassen worden ist. Die Räume sind über auf der Aueseneeite am Boden 30 des Gehäuses 3 angeordneten Profilleisten 33 verschiebbar und duroh Ziehen beide in derselben Hiohtung

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entfernbar· Datu ist jeder Raum mit einem Griff 36 versehen.

Selbstverständlich müssen die Bäume mit einem lichtdichten Abschluss versehen sein, wozu ein Schiebedeckel dienen kamig der in übrigens bekannter Weise beim Einschieben eines Raumes in die Arbeitslage entfernt wird, und der sich schlieest'_f wenn der Sau» in entgegengesetzter Siohtung verschoben wird.

Sine Sondervorkehrung» die d&a Mikroskop ©hn» weiteres gun Aß« Schluss eines Ferneehkreises geeignet laeelit, 1st mittels einer dritten ia Boden des Gehäuses 3 angeordneten öffnung 3? getroffen worden,deren Mitte mit der Achse des Mikroskops zusammenfällt« An einer nash unten gerichteten Sohnause 38 ist ein Befestigungerand 39 angebracht^ gegen den eine Abdeckplatte 41 durch Knebel 40 luftdicht angedrückt wird« Die Abdeckplatte 41 ist ersetzbar durch einen Halter 42® der einen ubertragungslsuchteohirn 42, eine optische Linse 44 und eine Fernsehauf·» nahmerbhre 45 vom Vidikontyp enthält, und dessen Band 46 duroh die Knebel 40 gegen den Befestigungsrand 39 der Sohnause 38 gekleead «ird. Duroh eine Umkehrbewegung der Brehriohtung des Antriebe de® Trägers 3

kann dieser eine halbe Umdrehung in entgegengesetztem Sinn® durchführen, wobei sich also die öffnung 22 im Trager an der öffnung 33 is Boden 30 des Gehäuses 3 entlang bewegt, die mit dem Baum 34 sum Aufnehmen der belichteten Filmplatten in Verbindung steht. Lies ergibt, dass der Trager 8 nach der halben Umdrehung die Lage einnimmt, bei der die Öffnung 22 gegenüber der öffnung 5 in der Gründplatte 2 liegt, und die Strahlung aus dem Mikroskop dann unbehindert den Übertragungsschirm 42 der Fernsehaufnahmevorriohtung erreichen kann. Die an sich einfache Umschaltung der Drehung des Antriebsmechanismus kann mit bekannten Mitteln erfolgen.

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Claims (1)

1. ο PHN*i860.

   —ο— ,, -

   PATMTANSPRUECHS, .

   1« Elektronenstrahlgerät mit einer in seinem' Fuß durch einen in Strahlriohtung verschiebbaren und in seiner quer zur Strahlrichtung "stehenden Ebene drehbaren und mit einem Leuchtschirm versehenen Träger abschliessbaren öffnung, wobei neben dieser Öffnung ein durch diese mit dem Innern dee Geräts in Verbindung zu bringendes Magazin für photographisches Plattenmaterial angeordnet ist, und Mittel vorhanden sind, um durch Drehung des Trägers eine photographieohe Platte vom Magazin her bis unter '■-.' die öffnung im Puss des Gerate zu bringen, daduroh gekennzeichnet, dass die Drehachse des Trägers aueserhalb der öffnung im Puss dee Oeräta liegt, und der Träger in einem Über den Magazinraum drehbaren Teil mit einer an einer anderen Stelle als der Leuchtschirm angeordneten durchgehenden fensterformigen öffnung zum Aufnehmen einer pbotographisohen Platte aus die«· βem Magazinraum versehen iet, wozu das photographieohe Material .Im Ma* gazlnraum durch Federdruck in Richtung dee Trägers gedrückt werden kann, während weiter ebenfalls neben der Öffnung im Fuse ein zweiter gleichartiger Magazinraum zum Aufnehmen des vom Träger transportierten Materials angebracht ist, wobei sich der zweite Magazinraum im gleichen ' Abstand von der Drehachse des Trägers'befindet, wie das erstgenannte Magazin.

   2v Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lagen beider iiagazinraume einer des' anderen Spiegelbild gegenüber der durch die Drehachse des Trägers und die Strahlrichtung gehenden Ebene sind, — und der Leuchtschirm und die fensterformige öffnung diametral gegenüber der Drehachse des Trägers liegt.

   3* Gerät nach "Anepruoh 1 oder 2, daduroh gekennzeichnet, dass die Magazine je in einer Schublade angeordnet sind, die im Betriebszustand vakuumdicht an der Ausseneeite einer den Baum mit dem Träger auf der von dem Fuss abgewandten Seite abdichtenden Sohliessplatte, die über jedem liagazin mit einer zum Durchführen des photograph!βohen

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   Materials geeigneten Offmsrag¹ νοεβφ©η let_e l

   4. „ Gerat naoh Änapruofe 1, 2 und 3s dsdupsh. ge&snnzeiQhnstp dass für dia Schubladen aioh parallel. ®u dar duröls. di@ D^eiisohu© das Trägere und die Strahl?! ohtuttg; gfsfeildatsa Ibona ©ysti?®sk©nd@n Q-I eltbahn an angeordnet sind.

   5· Qer'dt naete ©inea v©ssfe©h©sid©ia Anspguofej dadursh. g©teenna©leh~

   net, dass au» Veysshiabuag αθθ frSg©EO'in der Stgafelx'ielä.tung mit @lnar die Drohashos des feigste umfassenden UhtogOMtsu&g&bBo&QO: ein u® ©ine q,U0S sur «öfwStotoBi BsefeiaAae stohondg Ä©feoQ droEboi?©? Sasont©:? au= aammenwirkt, und dos* Iious.eä"6©©hlsa s>u£ ©ins^ ve® tlbsigon foil das Trä=-

   β» Gerlt naofe

   da®@-Qine den Bausi mt% a@m Ts'&qbv auf des vom Fusg abgatisndten S©it© abdiohtende Sofeliossglatto alt ©in©ff Öffnung v©r©©fe©n 4St₁, deren Zentrum in der Strahlriöhtung d@r llsktronsn im (!©rat feintsr d®m Zentrum

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   dar Öffnung im fUes liagtg und di© vakuumdicht absshliossb©!¹ ist» 7· . Garät nach AnsprutJä. 6₅ dadu^sk gafounnselöhngrlp da@©.an dio Öffnung in der Sohli©sapla&t@ ©in Haitos mit ein ca- LsuehtBohiEa und ©inejr mit diesem optiseh gekpppsltan '
   sen ist.

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