DE1614270A1 - Elektronenstrahlgeraet - Google Patents
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/224—Luminescent screens or photographic plates for imaging; Apparatus specially adapted therefor, e. g. cameras, TV-cameras, photographic equipment or exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e. g. microscopes for observing image on luminescent screen
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Description
■Anmelder: N.V. Philips1 Gloeilampenfabrieken . JW/mJ.
Akte No. ^SS- 1860
Anmeldungvomi 8 ,AUgUSt 1967
"Elektronenstrahlgerät".
Die Erfindung bezieht eich auf ein Elektronenetrahlgerät, wie
beispielsweise ein Elektronenmikroskop oder ein Elektronendiffraktionsgorät,
mit einer in seinem ΙΊιβ durch einen in der Strahlrichtung versohiebbaren
und in seiner ciuer zur Strahlriohtung stehenden Ebene drehbaren
mit einem Leuchtschirm veraehenen Träger abschliaasbaren Öffnung,
wobei neben dieser öffnung ein durch diese mit dem Innern des Geräts in.
Verbindung zu bringendes Magazin für photographisches Plattenmaterial
angeordnet ist, und Mittel vorhanden sind, um durch Drehung des Trägers
eine photographische Platte vom Magazin her bis unter die Öffnung im
?U8S des Geräts zu bringen. "
Bei einem bekannten Gerät dieser Art ist der Träger eine zentrisch
mit einem Leuchtschirm versehene Scheibe, die um eine durch die
Mitte der kreisförmigen Öffnung im Fuss gehende Achse drehbar ist.
Der Träger ist mit einem exzentrisch angeordneten Stift versehen, der
mit einem Spalt in einem mit einer photograph! β oh en Platte versehenen
Halter in einem auf der Seite liegenden Raum zusammenwirken kann.
0 09826/0565
BAD ORIGINAL
16U270
PIIN. 1860.
Naohdom duroh Ziehen an der Spindel des Trägere dieser vom Fuee wegbewegt ist, kann der Stift duroh Drehung des Trägers den Halter mit
der photographisohen Platte über den Träger und damit unter die Öffnung im Fuss ziehen« Nachdem eine photographiaoha Aufnahme gemaoht
worden ist, kann der Halter mit der Platte duroh abermaliges Drehen
des Trägers in den Raum zurückgedrüokt werden. Es kann jeweils nur ein·
Aufnahme gemacht werden, und dann muse die Platte im Halter duroh eineneue*, erseht werden, wozu der Raum von auesen her geöffnet werden muss.
Das bedeutet Arbeit und Zeitverlust, da na oh dem Anordnen einer h-euen
Platte in dem Halter der Baum zunäohst wieder evakuiert werden muss. Ein anderer Nachteil besteht darin, dass der Leuchtschirm von dem jeweils über ihn schiebenden Halter beschädigt werden kann. Ein anderer
Nachteil dieses beKannton Geräte ist, dass ea kaum geeignet ist für
die immer mehr Eingang findende Bildwiedergabetechnik mittels eines Fernsehkreiaes, wozu hinter einem den Elektronenstrahl auffangenden
Leuchtschirm eine optisch mit demselben gekoppelte Fernsehaufnahmeröhre angeordnet wird. Bei dem bekannten Gerät erlaubt der Träger eine
derartige Anordnung nicht.
Die Erfindung bezweckt, ein Elektronenstrahlgerät der eingangs
erwähnten Art zu schaffen, bei dem die erwähnten Nachteile vermieden sind, ohne dass dies zu einer nennenswerten verwickelten Bauart goführt hat.
Naoh der Erfindung weist ein Gerät der eingangs erwähnten Art
das Kennzeichen auf, dass die Drehachse des Trägers auβaerhalb der öffnung im Fubs des Geräte liegt, und der Träger in einem über den Maga—
zinraum drehbaren Teil mit einer an einer anderen Stelle als der Leuchtschirm angeordneten durchgehenden fensterförmigen Öffnung zum
Aufnehmen einer photographisohen Platte aus diesem iiagaains guss versehen
ist, wozu das photographisohe Material im Uagazinraum durch Federdruck
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PHM* 1860.
in Hiohtung des Trägers gedrückt werden kann f wahrend weiter ebenfals
neben dar öffnung im Riss ein sweiter gleichartiger Magasinraua sum
Aufnehmen des tob Träger transportierten Materials angebracht 1st, wobei sich der sweite Magasinraua im gleichen Abstand von der Drehaohae
des Trägers befindet» wie das erstgenannte Magasin«
Bei ainar gunstigen Ausfuhrungsfora des erfindungagemäsaen
Geräts sind die Lagen beider Magacinräuae einer des anderen Spiegelbild gegenttber der durch die Drehachse des Trägers und die Strahlrichtung gehenden Ebene» und der Leuchtschirm und die fensterforaige Öffnung liegen diametral gegenüber der Drehachse des Trägers.
Ub die Anwandung· dar obenerwähnten fernsehteohnik in einfacher Weise su ermöglichen» iat nach einer weiteren Ausarbeitung der
Erfindung eine den Haue ait dem Träger auf der von dem Fuss abgewandten
Seite abdichtende Sohliaaeplatte ait einer Öffnung versehen, deren
Zentrum in der Strahlriohtung der Elektronen im Gerät hinter dem Zentrum der Öffnung im Fuae lisgt, und die vakuumdicht abaohliessbar ist.
Diese Öffnung lässt sich mit einem einfachen Hilfsteil abeohlieaeen,
der ohne viel Mühe durch einen Halter mit einem Leuchtschirm und einer
mit diesem optisch gekoppelten Pernsehaufnahmerohre ersetzt werden ksnn.
Dieser letztgenannte äohira ist für den Elektronenstrahl erreichbar,
wenn der Träger in eine derartige Lage gebracht wird, dass sich die fensterforaige Öffnung ohne eine darin befindliche photographische
Platte unter der öffnung im Püss befindet.
Ein erfindungsgeaässee Gerät, insbesondere ein Elektronenmikroskop wird an Hand der Zeichnung näher beschrieben.
Es zeigen
Fig. 1 eine Draufsicht des unteren Teils des Fusees, wobei die die Elektronen beinflueeenden MiKroskopteile fortgelassen sind,
ii-n, 009 826/05 6 5
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PHM.i860,
III-III,
Fig. 4 sine detaillierte Darstellung einer Erweiterung
des Mikroskopgebrauohs·
Der Fusa des Mikroskope 1 enthalt eine Grundplatte 2, auf
der das Mikroskop angeordnet ist, und ein an der Grundplatte befestigtee Gehäuse 3» dessen Verbindung mit der Grundplatte durch Verwendung eines Gummistreifen* 4 luftdicht ist.
In der Grundplatte 2 befindet sich eine öffnung 5 (Pig.3)· Diese dient
zum Durchlass der Elektronenstrahlen, mit denen ein Slektronenbild an
einem im Gehäuse 3 vorhandenen Leuchtschirm 6 oder auf einer photo»
graphischen Platte 7 gebildet wird.
Der Leuchtschirm oder die photographisohe Platte können beliebig
vor der öffnung 5 angeordnet werden.
Meistens wird eine photographisohe Aufnahme gemacht anlässlich dee
am Leuchtschirm erschienenen Bildes. Durch Beschädigung und Verformung
oder einige andere Ursachen von Objektverformung ist ein sohneller
Übergang vom sichtbaren Bild sur photographlsohen Aufnahme oft notwendig} was zur gleichzeitigen Verschiebung des Leuchtstoffträger·
und der Filmplatte geführt hat. Im dargestellten Hikroskopfuss befindet sich dazu im Gehäuse ein drehbarer Trager 8, auf dem eine mit
Leuchtstoff bedeckte Platte 9 durch Federn 10 unterstutet wird· De belichtete photographische Filmplatten aus dem Gehluse entfernt werden
können müssen, wird die Platte 9 zugleich dasu verwendet, die öffnung
5 luftdicht abzuschiiessen.
Dazu ist am Hand der Platte ein Dichtungsring 11 in einer BiHe angeordnet.
Der Abschluss der Öffnung 5 erfolgt dadurch, dass der drehbare Träger 8 nach oben bewegt wird, wozu dessen Spindel 12 mit
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durok Kugeln 11 hin und hos bewegbar ist« Um dio Spindel
befindet sxefe ©ine Büo&s® 149 di© du^efe in Si11on 15 &Q^ Spindal
angeordnete Kugel» 16 unt©r®tütst trft^&g doren' LauffTaahan in der
Biislisa 14 Versehl©bung das1. letzteren gsgenüber der Spindel verhindern^
γ/ähraad die Buofes© uabsMneLo2?fc üb di© Stände! tow dysMs
Ein auf der Ause©ns©ito &θθ Oehäusos bodienbasOJ? Knopf 17
esj eine Spindel 18 au asdkon9 das·©» ladQ mit oiHQS" Soiioib© 19 mit
eia@a ossanteissfa daseuf angobsaohtgn Stift 20 vas-seh-sn ist,, d©r ia
ein© AusBpasuKg des Büaiiso gEoif'öo Su?@h Irahuiag ά&χ Spind©! 18 h@-
wagt oieä dio BS©hos ussdi. dadösÄ dos asolifesro Ss1IgQ^ 8 hin und hör«.
Fig. 2 ssigt; d©n frlg©s>
8 in mainei· unto?®n Lag©9 vjlhrena in
Figo 3 ä-QE1 Talges 8 naQb, ob©n gsbsaefet io"i5B und dia LQuehtstoffplatt®
9 eehliöost disna dio öffnung 5 ®^° Iß diosea PqII ^ana L»f§ ia da© Qe·=
hSuss 3 hinsi-ng©lEss©n werdono
B©i HQBiaalGa ü©braueh d©s Mikroakojos ist das ösh'äus© ,evakuiert
und di© Sffaung 5 kann froigsiaaoht vrardono Bssia bringt man dan
8 in ssine unters LsgQg wonaafe diQaog- frei dyahbas· ist» Duxoli Ein·
solisltuag oin©B saotorisahen Antri©bs9 von dca nur das mit des fra
&us©üm$nTO,2?koEid@ Treibrad 21 in ?igQ 1 da^gostsllt ist5 v?ird des»
go^ ma 180" gedsehtö MsmeteGl gsgersB^QS1 d&s Stoll© d©s
seiiisao 1st des1 TB'ägo^ mit siäos rooli^ookigon lifi'nung 22
An Quai llRdsS'n 2} uml 24 doEOQlbon siaA Flattsa 25 und ?6 mit
ί=4θά §8 angeoytoö'fej. dia Wäos oin©a tiupson Abstead j©BQOi-ös
23 UBd 24 in dio öffnung 22 Mneiraragcpo In «üq Öffneng
oi© is oiEoa äskaoa goopsaatos KIb ©dos· ©in@ Filmpla^te 7 Eß^
a"&ö äO5? feiste die ia das1 dabol" oingoHessoaaB Lage gogoa di©
2? «ad 28 feuokfco
Das Mabyiagoa &©s Filscs f ia dio TySgQS?*öffaung 22
sieli &qs ®ε°Δ§ο? β botgogto ÖGÄusrQiis dass diooos1 gsdrQht ivisdn
o&efa di© TrlgosBffaaag 22 SttöSefes^ aa sin©^1 öffnung 29 i
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Boden 30 des Gehäuses 3 vorbei, auf dessen Unterseite ein Raum 31
zur Lagerung einer Anzahl Filmblätter oder Platten 7 angeordnet ist. Das Filmcnaterial wird duroh eine Feder 32 aufwarte gedrückt und sobald eich die öffnung 22 im Träger 8 über der Öffnung 29 im Boden 30
des Gehäuses 3 befindet, springt ein Halter samt Film 7 in die Trägeroffnung 22 und kann daraus beim Weiterbewegen des Trägers 8 nicht entfernt werden. Der Antriebsmechanismus für den Träger 8 ist mit Mitteln»
beispielsweise elektrischen Kontakten versehen» die den elektrischen
Strom zur Motorerregimg unterbrochen, wenn sich der Träger so weit gedreht hat« dass die Öffnung 22 mit dem darin befindlichen Film 7 gegenüber der Ufi'nung 5 in der Grundplatte 2 angelangt ist. Im dargestellten
Beispiel hat sich der Träger dann um eine halbe Umdrehung gedreht. Nachdem die Bildaufnahme gemacht worden ist, führt der Träger 8 die
nächste halbe Umdrehung durch· Dabei wird sioh die öffnung 22 im Träger kurz über einer anderen Öffnung 33 im Boden 30 des Gehäuses 3 befinden, auf dessen Unterseite ein Raum 34 sum Aufnehmen des der Strahlung ausgesetzten Filmmaterials 7 angeordnet ist. Dadurch, dass in diesem Augenbliok jede Unterstützung fehl*, fällt dar Filmhalter oder die
Platte duroh sein bzw...ihr Eigengewicht in diesen Baum 34* Die Umdrehung dee Trägers 8 wird danach vollendet und das Getriebe auf» neue
ausser Betrieb gesetzt, wonach ein Leuchtstoffbild betraohtet oder eine
nächste Filmplatte, durch das abermalige Drehen des Trägers 8, an die zur Herstellung einer Aufnahme bestimmte Stelle gebracht werden kann.
MgH kann die beiden Bäume 31 und 34, der eine zum Füllen mit neuem
Filmraaterial und der andere zum Leeren, leicht entfernen, nachdem die
Öffnung1 5 i»" der Grundplatte durch die Leuchtstoffplatte 9 abgeschlossen und Luft in das Gehäuse 3 eingelassen worden ist. Die Räume sind
über auf der Aueseneeite am Boden 30 des Gehäuses 3 angeordneten Profilleisten 33 verschiebbar und duroh Ziehen beide in derselben Hiohtung
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entfernbar· Datu ist jeder Raum mit einem Griff 36 versehen.
Selbstverständlich müssen die Bäume mit einem lichtdichten
Abschluss versehen sein, wozu ein Schiebedeckel dienen kamig der in
übrigens bekannter Weise beim Einschieben eines Raumes in die Arbeitslage entfernt wird, und der sich schlieest'f wenn der Sau» in entgegengesetzter Siohtung verschoben wird.
Sine Sondervorkehrung» die d&a Mikroskop ©hn» weiteres gun Aß«
Schluss eines Ferneehkreises geeignet laeelit, 1st mittels einer dritten
ia Boden des Gehäuses 3 angeordneten öffnung 3? getroffen worden,deren Mitte mit der Achse des Mikroskops zusammenfällt« An einer nash unten gerichteten Sohnause 38 ist ein Befestigungerand 39 angebracht^ gegen den eine Abdeckplatte 41 durch Knebel 40 luftdicht angedrückt wird«
Die Abdeckplatte 41 ist ersetzbar durch einen Halter 42® der einen ubertragungslsuchteohirn 42, eine optische Linse 44 und eine Fernsehauf·»
nahmerbhre 45 vom Vidikontyp enthält, und dessen Band 46 duroh die Knebel 40 gegen den Befestigungsrand 39 der Sohnause 38 gekleead «ird.
Duroh eine Umkehrbewegung der Brehriohtung des Antriebe de® Trägers 3
kann dieser eine halbe Umdrehung in entgegengesetztem Sinn® durchführen,
wobei sich also die öffnung 22 im Trager an der öffnung 33 is Boden 30
des Gehäuses 3 entlang bewegt, die mit dem Baum 34 sum Aufnehmen der
belichteten Filmplatten in Verbindung steht. Lies ergibt, dass der Trager 8 nach der halben Umdrehung die Lage einnimmt, bei der die Öffnung 22 gegenüber der öffnung 5 in der Gründplatte 2 liegt, und die
Strahlung aus dem Mikroskop dann unbehindert den Übertragungsschirm 42
der Fernsehaufnahmevorriohtung erreichen kann. Die an sich einfache
Umschaltung der Drehung des Antriebsmechanismus kann mit bekannten Mitteln
erfolgen.
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Claims (1)
- ο PHN*i860.—ο— ,, -PATMTANSPRUECHS, .1« Elektronenstrahlgerät mit einer in seinem' Fuß durch einen in Strahlriohtung verschiebbaren und in seiner quer zur Strahlrichtung "stehenden Ebene drehbaren und mit einem Leuchtschirm versehenen Träger abschliessbaren öffnung, wobei neben dieser Öffnung ein durch diese mit dem Innern dee Geräts in Verbindung zu bringendes Magazin für photographisches Plattenmaterial angeordnet ist, und Mittel vorhanden sind, um durch Drehung des Trägers eine photographieohe Platte vom Magazin her bis unter '■-.' die öffnung im Puss des Gerate zu bringen, daduroh gekennzeichnet, dass die Drehachse des Trägers aueserhalb der öffnung im Puss dee Oeräta liegt, und der Träger in einem Über den Magazinraum drehbaren Teil mit einer an einer anderen Stelle als der Leuchtschirm angeordneten durchgehenden fensterformigen öffnung zum Aufnehmen einer pbotographisohen Platte aus die«· βem Magazinraum versehen iet, wozu das photographieohe Material .Im Ma* gazlnraum durch Federdruck in Richtung dee Trägers gedrückt werden kann, während weiter ebenfalls neben der Öffnung im Fuse ein zweiter gleichartiger Magazinraum zum Aufnehmen des vom Träger transportierten Materials angebracht ist, wobei sich der zweite Magazinraum im gleichen ' Abstand von der Drehachse des Trägers'befindet, wie das erstgenannte Magazin.2v Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lagen beider iiagazinraume einer des' anderen Spiegelbild gegenüber der durch die Drehachse des Trägers und die Strahlrichtung gehenden Ebene sind, — und der Leuchtschirm und die fensterformige öffnung diametral gegenüber der Drehachse des Trägers liegt.3* Gerät nach "Anepruoh 1 oder 2, daduroh gekennzeichnet, dass die Magazine je in einer Schublade angeordnet sind, die im Betriebszustand vakuumdicht an der Ausseneeite einer den Baum mit dem Träger auf der von dem Fuss abgewandten Seite abdichtenden Sohliessplatte, die über jedem liagazin mit einer zum Durchführen des photograph!βohen009828/0565-9- - ' · ' FHM6ΐ86(ΗMaterials geeigneten Offmsrag1 νοεβφ©η lete l4. „ Gerat naoh Änapruofe 1, 2 und 3s dsdupsh. ge&snnzeiQhnstp dass für dia Schubladen aioh parallel. ®u dar duröls. di@ D^eiisohu© das Trägere und die Strahl?! ohtuttg; gfsfeildatsa Ibona ©ysti?®sk©nd@n Q-I eltbahn an angeordnet sind.5· Qer'dt naete ©inea v©ssfe©h©sid©ia Anspguofej dadursh. g©teenna©leh~net, dass au» Veysshiabuag αθθ frSg©EO'in der Stgafelx'ielä.tung mit @lnar die Drohashos des feigste umfassenden UhtogOMtsu&g&bBo&QO: ein u® ©ine q,U0S sur «öfwStotoBi BsefeiaAae stohondg Ä©feoQ droEboi?©? Sasont©:? au= aammenwirkt, und dos* Iious.eä"6©©hlsa s>u£ ©ins^ ve® tlbsigon foil das Trä=-β» Gerlt naofeda®@-Qine den Bausi mt% a@m Ts'&qbv auf des vom Fusg abgatisndten S©it© abdiohtende Sofeliossglatto alt ©in©ff Öffnung v©r©©fe©n 4St1, deren Zentrum in der Strahlriöhtung d@r llsktronsn im (!©rat feintsr d®m Zentrum•ir ■ - " 'dar Öffnung im fUes liagtg und di© vakuumdicht absshliossb©!1 ist» 7· . Garät nach AnsprutJä. 65 dadu^sk gafounnselöhngrlp da@©.an dio Öffnung in der Sohli©sapla&t@ ©in Haitos mit ein ca- LsuehtBohiEa und ©inejr mit diesem optiseh gekpppsltan '
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |