DE1614270B2 - Elektronenstrahlgeraet - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektronenstrahlgerät, wie beispielsweise ein Elektronenmikroskop oder ein Elektronendiffraktionsgerät, mit einer öffnung in seinem Fuß, die durch einen in der Strahlrichtung verschiebbaren und in seiner senkrecht zur Strahlrichtung verlaufenden Ebene drehbaren mit einem Leuchtschirm versehenen Träger abschließbar ist, bei dem neben dieser öffnung ein durch diese mit dem Innern des Geräts in Verbindung zu bringendes Magazin für photographisches Plattenmaterial angeordnet ist und bei dem Mittel vorhanden sind, um durch Drehung des Trägers eine photographische Platte vom Magazin her

bis unter die Öffnung im Fuß des Geräts zu bringen.

Bei einem bekannten Gerät dieser Art ist der Träger eine zentrisch mit einem Leuchtschirm versehene Scheibe, die um eine durch die Mitte der kreisförmigen Öffnung im Fuß gehende Achse drehbar ist. Der Träger ist mit einem exzentrisch angeordneten Stift versehen, der mit einem Spalt in einem mit einer photographischen Platte versehenen Halter in einem auf der Seite liegenden Raum zusammenwirken kann.
Nachdem durch Ziehen an der Spindel des Trägers dieser vom Fuß wegbewegt ist, kann der Stift durch Drehung des Trägers den Halter mit der photographischen Platte über den Träger und damit unter die öffnung im Fuß ziehen. Nachdem eine photographische Aufnahme gemacht worden ist, kann der Halter mit der Platte durch abermaliges Drehen des Trägers in den Raum zurückgedrückt werden.

Es ist auch eine Vorrichtung zum Einbringen von photographischem Material in Elektronenstrahlgeräte bekannt, bei der ein um eine exzentrisch zur öffnung im Fuß der Geräte angeordnete Achse drehbarer Träger vorgesehen ist, auf dem eine Photoplatte angeordnet und durch Drehen der Träger um 180° unter die öffnung im Gerätefuß gebracht wird (DT-PS 9 61 369). Es kann bei diesen Geräten jeweils nur eine Aufnahme gemacht werden, und dann muß die Platte im Halter durch eine neue ersetzt werden, wozu der Raum von außen her geöffnet werden muß. Das bedeutet Arbeit und Zeitverlust, da nach dem Anordnen einer neuen Platte in dem Halter der Raum zunächst wieder evakuiert werden muß. Ein anderer Nachteil des erstgenannten Geräts besteht darin, daß der Leuchtschirm von dem jeweils über ihn schiebenden Halter beschädigt werden kann. Ein anderer Nachteil dieser bekannten Geräte ist, daß sie kaum geeignet sind für die im_mer mehr Eingang findende Bildwiedergabetechnik mittels einer Fernsehröhre, wozu hinter einem den Elektronenstrahl auffangenden Leuchtschirm eine optisch mit demselben gekoppelte Fernsehaufnahmeröhre angeordnet wird. Bei den bekannten Geräten erlaubt

⁶S der Träger eine derartige Anordnung nicht.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Elektronenstrahlgerät der eingangs erwähnten Art zu schaffen, bei dem die erwähnten Nachteile vermieden

sind, ohne daß dies zu einer nennenswerten verwickelten Bauart geführt hat.

Nach der Erfindung weist ein Gerät der eingangs erwähnten Art das Kennzeichen auf, daß die Drehachse des Trägers außerhalb der öffnung im Fuß des Geräts liegt, daß der Träger in einem über den Magazinraum drehbaren Teil mit einer an einer anderen Stelle als der Leuchtschirm angeordneten durchgehenden fensterförmigen öffnung zum Aufnehmen einer photographic sehen Platte aus diesem Magazinraum versehen ist, wozu das photographische Material im Magazinraum durch Federdruck in Richtung des Trägers gedrückt werden kann, daß ebenfalls neben der öffnung im Fuß ein zweiter gleichartiger Magazinraum zum Aufnehmen des vom Träger transportierten Materials angebracht ist und daß sich der zweite Magazinraum im gleichen Abstand von der Drehachse des Trägers befindet wie das erstgenannte Magazin.

Bei einer günstigen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Geräts sind die Lagen beider Magazinräume einer des anderen Spiegelbild gegenüber der durch die Drehachse des Trägers und die Strahlrichtung gehenden Ebene und der Leuchtschirm und die fensterförmif ge öffnung liegen diametral gegenüber der Drehachse des Trägers.

Um die Anwendung der obenerwähnten Fernsehtechnik in einfacher Weise zu ermöglichen, ist nach einer weiteren Ausarbeitung der Erfindung eine den Raum mit dem Träger auf der von dem Fuß abgewandten Seite abdichtende Schließplatte mit einer öffnung versehen, deren Zentrum in der Strahlrichtung der Elektronen im Gerät hinter dem Zentrum der öffnung im Fuß liegt und die vakuumdicht abschließbar ist. Diese öffnung läßt sich mit einem einfachen Hilfsteil abschließen, der ohne viel Mühe durch einen Halter mit einem Leuchtschirm und einer mit diesem optisch gekoppelten Fernsehaufnahmeröhre ersetzt werden kann. Dieser letztgenannte Schirm ist für den Elektronenstrahl erreichbar, wenn der Träger in eine derartige Lage gebracht wird, daß sich die fensterförmige öffnung ohne eine darin befindliche photographische Platte unter der öffnung im Fuß befindet.

Als Ausführungsbeispiel der Erfindung wird ein Elektronenmikroskop an Hand der Zeichnung näher beschrieben. Es zeigt

F i g. 1 eine Draufsicht des unteren Teils des Fußes, wobei die die Elektronen beeinflussenden Mikroskopteile fortgelassen sind,

F i g. 2 einen Schnitt durch diesen Teil gemäß der Linie H-II,

F i g. 3 einen Schnitt durch diesen Teil gemäß der Linie III-III,

F i g. 4 eine detaillierte Darstellung einer Erweiterung des Mikroskopgebrauchs.

Der Fuß des Mikroskops 1 enthält eine Grundplatte 2, auf der das Mikroskop angeordnet ist, und ein an der Grundplatte befestigtes Gehäuse 3, dessen Verbindung mit der Grundplatte durch Verwendung eines Gummistreifens 4 luftdicht ist.

In der Grundplatte 2 befindet sich eine Öffnung 5 (F i g. 3). Diese dient zum Durchlaß der Elektronenstrahlen, mit denen ein Elektronenbild an einem im Gehäuse 3 vorhandenen Leuchtschirm 6 oder auf einer photographischen Platte 7 gebildet wird.

Der Leuchtschirm oder die photographische Platte können beliebig vor der öffnung 5 angeordnet werden.

Meistens wird eine photographische Aufnahme gemacht anläßlich des am Leuchtschirm erschienenen Bildes. Durch Beschädigung und Verformung oder einige andere Ursachen von Objektverformung ist ein schneller Übergang vom sichtbaren Bild zur photographischen Aufnahme oft notwendig, was zur gleichzeitigen Verschiebung des Leuchtstoffträgers und der Filmplatte geführt hat. Im dargestellten Mikroskopfuß befindet sich dazu im Gehäuse ein drehbarer Träger 8, auf dem eine mit Leuchtstoff bedeckte Platte 9 durch Federn 10 unterstützt wird. Da belichtete photographische Filmplatten aus dem Gehäuse entfernt werden können müssen, wird die Platte 9 zugleich dazu verwendet, die öffnung 5 luftdicht abzuschließen.

Dazu ist am Rand der Platte ein Dichtungsring 11 in einer Rille angeordnet.

Der Abschluß der öffnung 5 erfolgt dadurch, daß der drehbare Träger 8 nach oben bewegt wird, wozu dessen Spindel 12 mit Führung durch Kugeln 13 hin und her bewegbar ist. Um die Spindel herum befindet sich eine Büchse 14, die durch in Rillen 15 der Spindel angeordnete Kugeln 16 unterstützt wird, deren Laufflächen in der Büchse 14 Verschiebung der letzteren gegenüber der Spindel verhindern, während die Büchse unbehindert um die Spindel herum drehbar ist. Ein auf der Außenseite des Gehäuses bedienbarer Knopf 17 ermöglicht es, eine Spindel 18 zu drehen, deren Ende mit einer Scheibe 19 mit einem exzentrisch darauf angebrachten Stift 20 versehen ist, der in eine Aussparung der Büchse greift. Durch Drehung der Spindel 18 bewegt sich die Büchse und dadurch der drehbare Träger 8 hin und her.

F i g. 2 zeigt den Träger 8 in seiner unteren Lage, während in F i g. 3 der Träger 8 nach oben gebracht ist, und die Leuchtstoffplatte 9 schließt dann die öffnung 5 ab. In diesem Fall kann Luft in das Gehäuse 3 hineingelassen werden.

Bei normalem Gebrauch des Mikroskops ist das Gehäuse evakuiert und die öffnung 5 kann freigemacht werden. Dazu bringt man den Träger 8 in seine untere Lage, wonach dieser frei drehbar ist. Durch Einschaltung eines motorischen Antriebs, von dem nur das mit dem Träger zusammenwirkende Treibrad 21 in F i g. 1 dargestellt ist, wird der Träger um 180° gedreht. Diametral gegenüber der Stelle des Leuchtstoffschirms ist der Träger mit einer rechteckigen öffnung 22 versehen. An zwei Rändern 23 und 24 derselben sind Platten 25 und 26 mit Vorsprüngen 27 und 28 angeordnet, die über einen kurzen Abstand jenseits der Ränder 23 und 24 in die öffnung 22 hineinragen. In die öffnung wird ein in einem Rahmen gespannter Film oder eine Filmplatte 7 gebracht, der bzw. die in der dabei eingenommenen Lage gegen die Vorsprünge 27 und 28 drückt.

Das Einbringen des Films 7 in die Trägeröffnung 22 geschieht während sich der Träger 8 bewegt. Dadurch, daß dieser gedreht wird, verschiebt sich die Trägeröffnung 22 zunächst an einer öffnung 29 im Boden 30 des Gehäuses 3 vorbei, auf dessen Unterseite ein Raum 31 zur Lagerung einer Anzahl Filmblätter oder Platten 7 angeordnet ist. Das Filmmaterial wird durch eine Feder 32 aufwärts gedrückt und sobald sich die öffnung 22 im Träger 8 über der öffnung 29 im Boden 30 des Gehäuses 3 befindet, springt ein Halter samt Film 7 in die Trägeröffnung 22 und kann daraus beim Weiterbewegen des Trägers 8 nicht entfernt werden. Der Antriebsmechanismus für den Träger 8 ist mit Mitteln, beispielsweise elektrischen Kontakten versehen, die den elektrischen Strom zur Motorerregung unterbrechen, wenn sich der Träger so weit gedreht hat, daß die öffnung 22 mit dem darin befindlichen Film 7 gegenüber der öff-

nung 5 in der Grundplatte 2 angelangt ist. Im dargestellten Beispiel hat sich der Träger dann um eine halbe Umdrehung gedreht. Nachdem die Bildaufnahme gemacht worden ist, führt der Träger 8 die nächste halbe Umdrehung durch. Dabei wird sich die öffnung 22 im Träger kurz über einer anderen öffnung 33 im Boden 30 des Gehäuses 3 befinden, auf dessen Unterseite ein Raum 34 zum Aufnehmen des der Strahlung ausgesetzten Filmmaterials 7 angeordnet ist. Dadurch, daß in diesem Augenblick jede Unterstützung fehlt, fällt der Filmhalter oder die Platte durch sein bzw. ihr Eigengewicht in diesen Raum 34. Die Umdrehung des Trägers 8 wird danach vollendet und das Getriebe aufs neue außer Betrieb gesetzt, wonach ein Leuchtstoffbild betrachtet oder eine nächste Filmplatte, durch das abermalige Drehen des Trägers 8, an die zur Herstellung einer Aufnahme bestimmte Stelle gebracht werden kann. Man kann die beiden Räume 31 und 34, der eine zum Füllen mit neuem Filmmaterial und der andere zum Leeren, leicht entfernen, nachdem die öffnung 5 in der Grundplatte durch die Leuchtstoffplatte 9 abgeschlossen und Luft in das Gehäuse 3 eingelassen worden ist. Die Räume sind über auf der Außenseite am Boden 30 des Gehäuses 3 angeordneten Profilleisten 35 verschiebbar und durch Ziehen beide in derselben Richtung entfernbar. Dazu ist jeder Raum mit einem Griff 36 versehen.

Selbstverständlich müssen die Räume mit einem lichtdichten Abschluß versehen sein, wozu ein Schiebedeckel dienen kann, -der in übrigens bekannter Weise beim Einschieben eines Raumes in die Arbeitslage entfernt wird, und der sich schließt, wenn der Raum in entgegengesetzter Richtung verschoben wird.

Eine Sondervorkehrung, die das Mikroskop ohne weiteres zum Anschluß eines Fernsehkreises geeignet macht, ist mittels einer dritten im Boden (30) des Gehäuses 3 angeordneten öffnung 37 getroffen worden, deren Mitte mit der Achse des Mikroskops zusammenfällt An einer nach unten gerichteten Schnauze 38 ist ein Befestigungsrand 39 angebracht, gegen den eine Abdeckplatte 41 durch Knebel 40 luftdicht angedrückt wird. Die Abdeckplatte 41 ist ersetzbar durch einen Halter 42, der einen Übertragungsleuchtschirm 43, eine optische Linse 44 und eine Fernsehaufnahmeröhre 45 vom Vidikontyp enthält, und dessen Rand 46 durch die Knebel 40 gegen den Befestigungsrand 39 der Schnauze 38 geklemmt wird. Durch eine Umkehrbewegung der Drehrichtung des Antriebs des Trägers 8 kann dieser eine halbe Umdrehung in entgegengesetztem Sinne durchführen, wobei sich also die öffnung 22 im Träger an der öffnung 33 im Boden 30 des Gehäuses 3 entlang bewegt, die mit dem Raum 34 zum Aufnehmen der belichteten Filmplatten in Verbindung steht. Dies ergibt, daß der Träger 8 nach der halben Umdrehung die Lage einnimmt, bei der die öffnung 22 gegenüber der öffnung 5 in der Grundplatte 2 liegt, und die Strahlung aus dem Mikroskop dann unbehindert den Übertragungsschirm 43 der Fernsehaufnahmevorrichtung erreichen kann. Die an sich einfache Umschaltung der Drehung des Antriebsmechanismus kann mit bekannten Mitteln erfolgen.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (7)

Patentansprüche:

1. Elektronenstrahlgerät mit einer öffnung in seinem Fuß, die durch einen in Strahlrichtung verschiebbaren und in seiner senkrecht zur Strahlrichtung verlaufenden Ebene drehbaren und mit einem Leuchtschirm versehenen Träger abschließbar ist, bei dem neben dieser öffnung ein durch diese mit dem Innern des Geräts in Verbindung zu bringendes Magazin für photographisches Plattenmaterial angeordnet ist und bei dem Mittel vorhanden sind, um durch Drehung des Trägers eine photographische Platte vom Magazin her bis unter die öffnung im Fuß des Geräts zu bringen, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachse des Trägers (8) außerhalb der öffnung (5) im Fuß (1) des Geräts liegt, daß der Träger (8) in einem über den Magazinraum (31) drehbaren Teil mit einer an einer anderen Stelle als der Leuchtschirm (6) angeordneten durchgehenden fensterförmigen öffnung (22) zum Aufnehmen einer photographischen Platte (11) aus diesem Magazinraum (31) versehen ist, wozu das photographische Material (11) im Magazinraum (31) durch Federdruck (32) in Richtung des Trägers (8) gedruckt werden kann, daß ebenfalls neben der öffnung (5) im Fuß (1) ein zweiter gleichartiger Magazinraum (34) zum Aufnehmen des vom Träger (8) transportierten Materials (11) angebracht ist und daß sich der zweite Magazinraum (34) im gleichen Abstand von der Drehachse des Trägers (8) befindet, wie das erstgenannte Magazin (31). ' ·

2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagen beider Magazinräume (31, 34) einer des anderen Spiegelbild gegenüber der durch die Drehachse des Trägers (8) und die Strahlrichtung gehenden Ebene sind und daß der Leuchtschirm (6) und die fensterförmige öffnung (22) diametral gegenüber der Drehachse des Trägers (8) liegen.

3. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Magazine (31, 34) je in einer Schublade angeordnet sind, die im Betriebszustand vakuumdicht an der Außenseite einer den Raum mit dem Träger (8) auf der von dem Fuß (1) abgewandten Seite abdichtenden Schließplatte (30), die über jedem Magazin (31, 34) mit einer zum Durchführen des photographischen Materials (11) geeigneten öffnung (29,33) versehen ist, anliegt.

4. Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß für die Schubladen sich parallel zu der durch die Drehachse des Trägers (8) und die Strahlrichtung gebildeten Ebene erstreckenden Gleitbahnen (35) angeordnet sind.

5. Gerät nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verschiebung des Trägers (8) in der Strahlrichtung mit einer die Drehachse des Trägers umfassenden Unterstützungsbüchse (14) ein um eine senkrecht zu dieser Drehachse stehende Achse drehbarer Exzenter (19, 20) zusammenwirkt und der Leuchtschirm (6) auf einer vom übrigen Teil des Trägers (8) federnd unterstützten Scheibe (9) angeordnet ist.

6. Gerät nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine den Raum mit dem Träger (8) auf der vom Fuß (1) abgewandten Seite abdichtende Schließplatte (30) mit einer öffnung (37) versehen ist, deren Zentrum in der Strahlrichtung der Elektronen im Gerät hinter dem Zentrum der öffnung (5) im Fuß (1) liegt und die vakuumdicht abschließbar ist.

7. Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß an die öffnung (37) in der Schließplatte (30) ein Halter (42) mit einem Leuchtschirm (43) und einer mit diesem optisch gekoppelten Fernsehaufnahmeröhre (45) angeschlossen ist.