DE1614015C - Verfahren zur Behandlung und zum Füllen bei der Herstellung von fur hohe Arbeitstem peraturen geeigneten Halogen Geiger Muller Zahlrohren - Google Patents
Verfahren zur Behandlung und zum Füllen bei der Herstellung von fur hohe Arbeitstem peraturen geeigneten Halogen Geiger Muller ZahlrohrenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung und zum Füllen bei der Herstellung von für
hohe Arbeitstemperaturen geeigneten, Metall-Elektroden aufweisenden Halogen-Geiger-Müller-Zählrohren,
bei dem ein Gas, das das für die endgültige Füllung vorgesehene Halogen in freier Form enthält,
in das Zählrohr eingefüllt und dessen innere Oberflächen mit dem Halogen gesättigt werden, bei dem
dann das Zählrohr ausgepumpt und sodann mit dem dasselbe Halogen und mindestens ein Edelgas enthaltenden
Füllgas gefüllt und schließlich einer Wärmebehandlung unterworfen wird.
Geiger-Müller-Zählrohre werden zum Nachweis von Strahlen und zum Messen der Strahlungsintensität
verschiedener Strahlungsquellen verwendet. Diese Rohre bestehen im allgemeinen aus einem Ionisationsraum mit einer großen, hohlen, ersten Elektrode und
einer gewöhnlich dazu koaxial angeordneten zweiten Elektrode. Wenn an die Elektroden eine hohe Spannung
angelegt wird, verursacht die auf den Ionisationsraum auftreffende Strahlung elektrische Stromimpulse.
Die Zahl dieser Impulse je Zeiteinheit, die Impulsrate, ist proportional der auf das Zählrohr auffallenden
Strahlungsintensität. Die Impulsrate wird durch; äußere elektrische Schaltungen in eine der Intensität
der Strahlung entsprechende Anzeige umgewandelt. Die Beschaffenheit dieser bekannten Geiger-Müller-Zählrohre
wird nach bestimmten Arbeitsgrößen ermittelt, und bevor die durch die Erfindung erzielten Vorteile erklärt werden, sollen einige der
kritischen Arbeitsgrößen dieser Zählrohre aufgeführt werden. v- -.
Die bei weitem wichtigsten Betriebsdaten von Geiger-Müller-Zählrohren zeigen sich auf einer
Kurve, die man erhält, wenn man die Impulsrate eines gegebenen Zählrohres iri Abhängigkeit von der
an die Elektroden angelegten Spannung, bei konstanter Strahlungsintensität und konstanter Temperatur
des Zählrohres, aufträgt. Diese Kurve, die auch als Zählrohr-Kennlinie bezeichnet wird, weist gewöhnlich
einen verhältnir.mäßii: Ilachen Mittelteil auf, in
dem eine Änderung der angelegten Spannung nur wenig Einfluß auf die Zählgeschwindigkeit des Zählrohres
hat. In der Technik der Zählrohre wird dieser flache Teil der Kennlinie als »Plateau« bezeichnet.
Für die erfolgreiche Arbeitsweise des Zählrohres sind zwei Merkmale des Plateaus von größter Wichtigkeit.
Erstens muß das Plateau verhältnismäßig lang sein, d. h., die Zählgeschwindigkeit muß innerhalb eines
weiten Spannungsbereichs verhältnismäßig konstant bleiben. Wenn die Kennlinie des Zählrohres kein
langes Plateau aufweist, ändert sich die Zählgeschwindigkeit und damit die Strahlungsablesung
beim Arbeiten mit dem Zählrohr in Abhängigkeit von der Spannung ohne Rücksicht auf die tatsächlichen
Schwankungen in der Intensität der auftreffenden Strahlung. Nun läßt sich bekanntlich die an die Elektroden
angelegte Spannung nicht genau einhalten, wenn das Zählrohr z. B. im Freien verwendet wird.
Die Zählgeschwindigkeit des Zählrohres darf aber nicht von Schwankungen der angelegten Spannung
abhängen, und dies läßt sich nur dann erreichen, wenn das Plateau so lang ist, daß es die normalen
Schwankungen der angelegten Spannung einschließt.
Zweitens wurde gefunden, daß das Plateau der Geiger-Müller-Zählrohre, selbst wenn es nahezu
flach ist, im allgemeinen noch eine geringe Steigung mit steigender Zählrohr-Spannung aufweist. Da die
Betriebsspannung, wie oben erwähnt, häufig schwankt, lassen sich genaue Strahlungsmessungen
mit einem Zählrohr nur dann durchführen, wenn die Steigung des Plateaus möglichst klein ist. Zusammenfassend
läßt sich feststellen, daß bei einem guten Zählrohr das Plateau so lang sein muß, daß es alle
normalen Schwankungen der angelegten Spannung umfaßt, und daß die Steigung des Plateaus so klein
sein muß, daß Spannungsschwankungen innerhalb des Plateaubereichs nur kleine Schwankungen der
Zählgeschwindigkeit verursachen.
Es gibt noch weitere charakteristische Arbeitswerte des Geiger-Müller-Zählrohres, die ebenfalls für eine
zufriedenstellende Arbeitsweise der Röhre wesentlich sind. Zum Beispiel soll das Zählrohr eine möglichst
hohe Empfindlichkeit, d. h. eine hohe Zählgeschwindigkeit für eine gegebene Strahlungsintensität,
aufweisen. Dieses Erfordernis hängt mit einer anderen erwünschten Eigenschaft des Geiger-Müller-Zählrohres
zusammen. Die Empfindlichkeit soll sich innerhalb des Bereichs der Arbeitstemperaturen der
Röhre nicht wesentlich verschieben. Wenn die Röhre diese Eigenschaft nicht aufweist, hängt ihre Zählgeschwindigkeit
nicht nur von den Schwankungen in der Strahlungsintensität, sondern auch von Temperaturschwankungen
ab, und man erhält falsche Strahlungsanzeigen. Da die Empfindlichkeit dieser Röhren
sich im allgemeinen aber, doch mit der Temperatur verschiebt, ist die maximale Arbeitstemperatur eine
für das genaue Arbeiten mit der Röhre wesentliche Größe. Wenn die Röhre unter dieser Temperatur betrieben
wird, treten nur geringe Änderungen der Empfindlichkeit auf. Diese Eigenschaft der Zählrohre
wird nachstehend im einzelnen erörtert. Die letzte wesentliche Arbeitsgröße des Geiger-Müller-Zählrohres
ist der Plateauanfang beim Betrieb der Röhre. Es ist wünschenswert, daß die Röhre schon bei einer
möglichst geringen Spannung arbeitet.
Es ist bereits bekannt, Zählrohre mit hoher zulässiger
Betriebstemperatur bis 350° C und darüber herzustellen (französische Patentschrift 1438 002;
»Journal de Physique et Ie Radium«, Bd. 24, 1963, Nr. 1, S. 71 und 72; USA.-Patentschrift 3 019 363).
Es ist auch bekannt, für die endgültige Gasfüllung
eines Geiger-Müller-Zählrohres ein Halogen als Zusatz zu verwenden (Vakuum-Technik, 10. Jahrgang,
1961, H. 1, 'S. 16 bis 20, und H. 2, S. 46 bis 54).
Gemäß einem bekannten Verfahren der eingangs genannten Art zur Behandlung eines Geiger-Müller-Zählrohres
wird ein ein freies Halogen enthaltendes
ίο Gas in das Zählrohr eingefüllt, und dessen Elektroden-Oberflächen
werden der Absorption des Halogens ausgesetzt, worauf das Gas abgepumpt wird, das
Zählrohr mit dem dasselbe Halogen enthaltenden endgültigen Füllgas gefüllt und einer Wärmebehandlung
unterworfen wird. Dabei wird auch eine Glimmentladung durch Anlegen einer Spannung an die
Elektroden während der Füllbehandlung angewandt (Buch von V. Kment und A. Kuhn: »Technik des
Messens radioaktiver Strahlung«, 1960, S. 129 bis 131, 160 und 161).
Ein ähnliches Verfahren zur Herstellung eines Halogen-Geiger-Müller-Zählrohres ist in der deutschen
Auslegeschrift 1209 668 näher beschrieben (vgl. insbesondere Spalte 3, Zeile 53, bis Spalte 6,
Zeile 11).
Schließlich kann gemäß der deutschen Patentschrift 1 083 939 eine Glimmbehandlung mittels Anlegen
einer Gleichspannung vor oder nach der Einwirkung des Halogens auf die Elektroden angewandt
werden, während es aus der deutschen Patentschrift 1171 541 bekannt ist, vor dem Einbringen der Halogenfüllung
die Elektroden durch Erhitzen in einer oxydierenden Atmosphäre mit einer Oxydschicht zu
versehen.
Eine Behandlung mit einem halogenhaltigen Gas und Wärmewirkung erfolgt auch gemäß der USA.-Patentschrift
3 054 918.
Ferner ist es zur Erzielung einer von höheren Betriebstemperaturen
unbeeinträchtigten Konstanz der Zähleigenschaften auch schon bekannt, die Elektroden
des Zählrohres in einer Sauerstoffatmosphäre zu oxydieren, ehe das Einfüllen und Behandeln mit dem
halogenhaltigen Füllgas erfolgt (österreichische Patentschrift 172 604).
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Behandlung und zum Füllen eines
Geiger-Müller-Zählrohres anzugeben, mit dem ein besonders langes Plateau mit sehr kleiner Steigung
erzielt wird, wie es bei bekannten Verfahren zur Herstellung von Zählrohren für hohe Temperaturen bisher
nicht erreicht wurde.
Wenn ein Geiger-Müller-Zählrohr bekannter Art erheblich über seiner maximalen Nenntemperatur
verwendet wird, wird das Plateau kurz. Oft verschwindet das Plateau sogar vollständig. Die Steigung
des Plateaus wird außerordentlich hoch, und die Empfindlichkeit verschiebt sich bei Temperaturänderungen
stark.
Die genannte Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch
gelöst, daß zur Erzielung einer höheren maximalen Arbeitstemperatur des Zählrohres dieses zunächst mit
einem sauerstoffhaltigen Gas gefüllt und mittels einer durch Anlegen einer hohen Gleichspannung zwischen
den Elektroden erzeugten Glimmentladung mindestens die Zählrohr-Kathode zum Schutz gegen chemische
Reaktionen mit dem Halogen-Gas mit einer Oxydschicht überzogen wird, dann das sauerstolf-
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haltige Gas aus dem Zählrohr abgepumpt, das aus bestehende Manschette 30 umgibt und eng an derdem
Halogen und einem Edelgas bestehende Gas ein- selben anliegt. Um die Kammer 10 hermetisch zu vergefüllt,
im Zählrohr durch Anlegen einer Hoch- schließen, ist das Verschlußstück 26 mit den Glasfrequenz-Spannung
zwischen seinen Elektroden eine Verschmelzungen 32 und 34 versehen. Am anderen Glimmentladung bewirkt wird, dann das halogen- 5 Ende der Anode 20 befindet sich ein zweites Endhaltige
Gas abgepumpt, das Zählrohr mit dem Füll- Verschlußstück 40. Dieses Vefschlußstück weist
gas gefüllt und schließlich der Temperaturbehandlung einen Pfropfen 42 aus Glas auf, der die Manschette
unterworfen wird, die darin besteht, daß das gefüllte 44 umgibt. Die Verschmelzungen 46 und 48 schlie-Zählrohr
auf eine Temperatur J1 erhitzt, anschließend ßen den Pfropfen 42 hermetisch gegen die Kathode
abgekühlt und das Erhitzen und Abkühlen η-mal io 12 ab. Der Füllschnabel 50 dient zum Einführen des
wiederholt wird, wobei fortschreitend höhere Erhit- gewünschten Gases in die Kammer 10 rings um die
zungstemperaturen t2 bis tn angewandt werden, die Manschette 44 herum. Dann wird der Schnabel 50
Zahl η der Zyklen aus Erhitzen und Abkühlung min- erhitzt, bis das Glas erweicht, und bei 52 abgedestens
gleich 3 ist und die höchste Erhitzungstempe- schmolzen. Insoweit unterscheidet sich die Röhre A
ratur etwa gleich oder größer ist als die gewünschte 15 nicht wesentlich von den bekannten Geiger-Müllermaximale Betriebstemperatur des Zählrohres. Zählrohren.
Bevorzugte Ausgestaltungen des erfindungsgemä- In F i g. 2 sind die Zählrohr-Kennlinien eines nicht
ßen Verfahrens sind in den Unterarisprüchen ange- erfindungsgemäß behandelten Zählrohres in Form
geben. der Kurven m und η dargestellt. Dabei ist. die an die
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf 20 Anschlüsse 18 und 23 angelegte Spannung auf der
die Zeichnung Bezug genommen. Abszisse und die Zählgeschwindigkeit in Impulsen je
Fig. 1 zeigt im Querschnitt ein Geiger-Müller- Minute auf der Ordinate aufgetragen. Bei der Auf-Zählrohrder
verwendeten Art, auf die die Erfindung nähme der Kurven m und η werden Strahlungsintenanwendbar
ist; sität und Temperatur konstant gehalten. Die Kurven
F i g. 2 zeigt Zählrohr-Kennlinien eines bekannten 25 werden aufgenommen, indem die angelegte Spannung
Zählrohres und eines erfindungsgemäß behandelten allmählich vergrößert und die Zählgeschwindigkeit
Zählrohres; bestimmt wird, während die Temperatur des Zähl-
F i g. 3 zeigt weitere Kennlinien eines bekannten rohres konstant gehalten wird.
Zählrohres und eines erfindungsgemäß behandelten Kurve η ist die Arbeitskennlinie eines bekannten
Zählrohres; ' 30 Zählrohres bei Raumtemperatur. Die Anfangsspan-
F i g. 4 zeigt ein Fließdiagramm der Verfahrens- nung der Kurve η liegt bei etwa 750 V, und das Piastufen
gemäß der Erfindung; teau, d. h. der flache Teil-der Kurve n, reicht bis etwa
F i g. 5 zeigt einen vergrößerten Querschnitt eines 1050 V. Aus der Kurve π ist ersichtlich, daß die
Teils der Zählrohr-Kathode, an dem ein Merkmal Spannung längs des flachen Teiles der Raumtemperader
Erfindung erläutert wird. 35 turkurve etwas schwanken kann, ohne daß dies er-
Das in F i g. 1 dargestellte Geiger-Müller-Zähl- hebliche Änderungen in der Zählgeschwindigkeit zur
rohr A hat die übliche Form und weist eine mit dem Folge hat. Dies bedeutet eine verhältnismäßig kon-
zu ionisierenden Gas gefüllte Kammer 10 auf. In der stante Zählgeschwindigkeit, unabhängig von den nor-
Kammer 10 können verschiedenartige Gase verwen- malen Schwankungen der angelegten Spannung. Die'
det werden; in der Praxis besteht das Gasgemisch je- 4° Steigung der Kurve läßt zwar gewisse Änderungen
doch zu etwa 0,1 % aus Argon, einem einatomigen mit der Änderung der Spannung erkennen; diese hal-
Edelgas, zu 1,5% aus Brom, einem zweiatomigen ten sich jedoch beim normalen Geiger-Müller-Zähler
Gas, und zum Rest aus Neon, einem anderen ein- in zulässigen Grenzen. Kurve η zeigt, daß die be-
atomigen Gas. Gewöhnlich wird in Geiger-Müller- kannten Geiger-Müller-Zählrohre bei niedrigen Tem-
Zählrohren gasförmiges Brom als Löschgas verwen- 45 peraturen, etwa Raumtemperatur, im allgemeinen zu-
det, so daß das Geiger-Müller-Zählrohr A ein selbst- friedenstellend sind,
löschendes Zählrohr ist. In vielen Fällen muß das Zählrohr jedoch bei ver-
Die besondere Ausbildung des Zählrohres A bildet hältnismäßig hohen Temperaturen arbeiten. Die
kein Merkmal der Erfindung. In der dargestellten Kurve m erläutert die Arbeitskennwerte eines be-Ausführungsform
weist das Zählrohr eine äußere 50 kannten Geiger-Müller-Zählrohres bei Arbeitstempezylinderförmige
Kathode 12 aus rostfreiem Stahl mit raturen in der Nähe von 300° C. Aus der Kurve tn
einer inneren, zylinderförmigen Oberfläche 14 auf. ergibt sich die Unzulänglichkeit dieses bisher bekann-Die
dünne Platinschicht 16 ist auf die Oberfläche 14 ten Zählrohres bei höheren Temperaturen. Das Piain
einer Dicke von etwa 15 μΐη aufgalvanisiert. Die teau fehlt vollständig. Schon geringe Schwankungen
Platinschicht braucht in diesen Zählrohren nicht ent- 55 in der angelegten Spannung führen zu beträchtlichen
halten zu sein. Die Kathode 12 ist mit dem elektri- Änderungen in der Zählgeschwindigkeit. Im dargeschen
Anschluß 18 versehen, der mit dem negativen stellten Fall ändert sich die Zählgeschwindigkeit von
Pol der Stromquelle verbunden oder geerdet wird. etwa 1100 Impulsen je Minute bei 800 V bis zu etwa
Konzentrisch zur Kathode 12 ist die drahtartige An- 1300 Impulsen je Minute bei 850 V. Da die Strahode
20 angeordnet, die das nach außen ragende An- 60 lung beim Aufnehmen der Kurve m konstant bleibt,
schlußende 22 zum Anschluß an die Leitung 23 auf- folgt hieraus, daß schon kleine Schwankungen in der
weist, die zum positiven Pol der Stromquelle führt. angelegten Spannung zu ungenauen Ablesungen der
Das Anschlußende 22 ist mit der Gewindekupplung Strahlung führen, die tatsächlich auf das bekannte
24 zum Einsetzen der Röhre A in ein nicht darge- Zählrohr auffällt. Deshalb arbeiten diese bekannten
stelltcs Strahlungszähl- und rmcßgerät versehen. Das 65 Zählrohre bei Temperaturen in der Gegend von
Anschlußende 22 ist ferner mit einem Verschluß-· 300° C nicht mehr mit der erforderlichen Genauigstück
26 ausgestattet, das einen Pfropfen 28 aus Glas keit. Ein anderes Merkmal der bekannten Zählrohre
aufweist, der die mit der Anode 20 aus einem Stück ergibt sich, wenn man die Kurven m und η zusammen
betrachtet. Bei etwa 825 V ändert sich die Zählgeschwindigkeit von etwa 1050 Impulsen je Minute
bis auf etwa 1200 Impulse je Minute. Daher beträgt die Empfindlichkeitsverschiebung /^S1 bei 825 V
150 Impulse je Minute. Dies bedeutet, daß Schwankungen in der Strahlungsablesung bei diesen bekannten
Zählrohren durch Temperaturänderungen statt durch Änderungen in der tatsächlich zu messenden
Strahlung verursacht werden können. ·
Das Verschwinden des Plateaus bei den bekannten Zählrohren bei höheren Temperaturen beruht wahrscheinlich
auf verschiedenen Faktoren. Es wird jedoch angenommen, daß .das Plateau bei höheren
Temperaturen deshalb verschwindet, weil bei diesen Temperaturen das Löschgas, im vorliegenden Falle
ein Halogen, z. B. Brom, in der Zählrohrkammer mit der Oberfläche 14 reagiert. Ferner wird angenommen,
daß bei höheren Temperaturen eine erhöhte sekundäre Elektronenemission von der negativen Oberfläche
14 stattfindet, wenn positive Ionen auf diese erhitzte Oberfläche auftreffen. Eine weitere mögliche
Ursache für das Versagen bisher bekannter Zählrohre bei hohen Temperaturen ist die, daß die Oberfläche
14 oder, genauer gesagt, die Platinschicht 16 Gase mit einem hohen Elektronenanlagerungskoeffizienten,
wie z. B. Sauerstoff, abgibt. Diese Gase verbinden sich dann mit gewissen Gasen in der Ionisationskammer,
wodurch die Arbeitskennwerte der Kammer bei der Einwirkung einer Strahlungsquelle
verändert werden.
Die mangelnde Eignung bisher bekannter Geiger-Müller-Zählrohre zu ordnungsgemäßer Funktion bei
höheren Temperaturen wird durch die Erfindung vollständig überwunden, die sich auf ein Verfahren
zum Behandeln der Oberfläche 14 bezieht, um zu •verhindern, daß diese Oberfläche die Gase in der
Ionisationskammer bei höheren Temperaturen von etwa 350° C nachteilig beeinflußt.
Das Verfahren nach der Erfindung ist durch das Fließdiagramm der F i g. 4 dargestellt. Es umfaßt
sechs einzelne Verfahrensstufen, die nachstehend mit I bis VI bezeichnet werden. Diese einzelnen Verfahrensstufen
werden nachstehend näher erläutert.
I. Sauerstoffbehandlung unter Gleichspannungs-Glimmentladung
Gemäß der Erfindung wird die Kammer 10 zunächst bei einem Druck von etwa 3 mm Hg mit reinem
Sauerstoff gefüllt, worauf man zwischen den Anschlüssen 18 und 23 eine hohe Gleichspannung anlegt,
wobei der negative Pol der Stromquelle mit dem Anschluß 18 verbunden wird. Die Stromquelle hat
vorzugsweise eine Ausgangsspannung von 500 bis 1000 V, die ausreicht, um das Gas in der Röhre zu
ionisieren. Hierdurch werden positive .Sauerstoffionen in Freiheit gesetzt, die zur negativen Oberfläche 14
wandern und sich dort mit dem Platin unter Bildung eines Oxyds verbinden. Wenn die Kathode 12 aus
rostfreiem Stahl nicht mit der Platinschicht 16 versehen ist, verbindet sich der Sauerstoff mit dem rostfreien
Stahl unter Bildung von Eisen(II)-oxyd. Die Gleichspannung wird so lange angelegt, bis sich der
in Fig. 5 schematisch dargestellte dünne Film 60 aus Oxyd gebildet hat. Dieser Film enthält sowohl Oxyde
als auch freien Sauerstoff, welcher letztere schematisch durch die Kreise 62 dargestellt ist. Diese Gleichstrom-Glimmentladungsbehandlung
wird etwa 3 Minuten fortgesetzt, bis der Film 60 eine Dicke von einigen μπι hat. Der eingeschlossene öder absorbierte
freie Sauerstoff 62 hat eine nachteilige Wirkung, weil er später aus dem Film 60 in die Kammer
10 auswandern kann. Wenn aber in der Zählkammer freier Sauerstoff vorhanden ist, treten Änderungen in
der Röhrencharakteristik und in der Form der Gasentladungsimpulse auf, weil Sauerstoff einen sehr
hohen Elektronenanlagerungskoeffizienten aufweist. Die nächste Verfahrensstufe dient "in erster Linie
ίο dem Entfernen des unerwünschten freien Sauerstoffs 62 aus dem Film 60.
II. Auspumpen bei hohen Temperaturen
Wie bereits erwähnt, ist der durch die Kreise 62 dargestellte freie Sauerstoff in dem Film 60 unerwünscht,
da er in die Kammer 10 gelangen kann. Dementsprechend besteht die nächste Stufe des erfindungsgemäßen
Verfahrens im Auspumpen des Sauerstoffs aus der Kammer 10. Das Zählrohr Λ wird auf
eine Temperatur im Bereich von 300 bis 450° C erhitzt und die Kammer 10 an eine Hochvakuumpumpe
angeschlossen. Die Kammer wird dann fortlaufend ausgepumpt, wobei das Gas aus der sonst geschlossenen
Kammer durch die Vakuumpumpe entfernt wird.
Die hohe Temperatur des Films 60 verursacht die Wanderung des freien Sauerstoffs 62 zur Oberfläche,
von wo der Sauerstoff durch das Auspumpen entfernt wird. Hierdurch wird der freie, ungebundene Sauerstoff
aus der frei liegenden Oberfläche des Films 60 praktisch entfernt. In der Praxis wird die Röhre A in
einem Ofen auf etwa 400° C erhitzt und das Auspumpen etwa 2 Stunden fortgesetzt. Wie bereits erwähnt,
kann die Röhre oder der Film 60.auf Temperaturen im Bereich von 300 bis 450° C erhitzt werden.
Bei den niedrigeren Temperaturen dieses Bereichs sind längere Auspumpzeiten erforderlich.
Wenn die Temperatur z.B. etwa 350° C beträgt, wird das Auspumpen 3 bis 4 Stunden fortgesetzt. Wenn
die Temperatur der Röhre oder des Films etwa 450° C beträgt, genügt zum Entfernen des freien
Sauerstoffs aus dem Film 60 eine Auspumpzeit von 1 Stunde. Zwischen diesen beiden Temperaturgrenzen
variiert die Auspumpzeit im allgemeinen umgekehrt mit der Temperatur. Auf Grund dieser Anweisung ist
der Fachmann ohne weiteres'in der Lage, die erforderliche
Auspumpzeit für diesen Hochtemperaturbehandlungsvorgang selbst auszuwählen. Schon diese
Verfahrensstufe allein verbessert die Arbeitsweise der Röhre bei hohen Temperaturen wesentlich; erfindungsgemäß
sind jedoch noch weitere Verfahrensstufen vorgesehen.
TII. Füllen mit Löschgas und Hochfrequenz-Glimmbehandlung
Wenn der Film 60 bei einer hohen Temperatur behandelt worden ist, um den ungebundenen Sauerstoff
daraus zu entfernen, wird die Kammer 10 mit einem Gas gefüllt, das ein Halogen, z. B. Brom, enthält.
Dieses Halogen ist das gleiche wie das später im Zählrohr/1 zu verwendende Löschgas. In der Praxis
besteht dieses Gas zu 90% aus Neon und zu 10% aus Brom. Dann wird eine Hochfrequenzstromquelle
an die Anschlüsse 18 und 23 angelegt. Diese Stromquelle hat in der Praxis eine Frequenz im Bereich
von 30 bis 40 Megahertz und verursacht eine Glimmentladung des Halogens und des Neons in der Kammer
10. Eine Hochfrequenzstromquelle wird für diese Glimmentladungsbchandlung der Röhre in der
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Löschgasatmosphäre deshalb angewandt, weil sie andere Halogene, wie Chlor, verwendet werden; je-'
eine beständigere fertige Oberfläche erzeugt. Außer- doch soll bei der Hochfrequenz-Glimmentladungsdem
würde eine Glimmentladungsbehandlung der mit behandlung das gleiche Halogen verwendet werden
einem ein Halogen als Löschgas enthaltenden Gas- wie das in dem Füllgas der Röhre* enthaltene HaIogemisch
gefüllten Kammer unter Gleichstrom wahr- 5 gen. Brom ergibt eine längere Lebensdauer der
scheinlich zu örtlichen Glimmentladungen führen. Röhre und eignet sich besser für das Arbeiten bei
Dies würde eine gleichmäßige Behandlung des Films hohen Temperaturen als ein aktiveres Halogen, wie
60 verhindern, ßs wurde gefunden, daß die Hoch- Chlor. Wenn die Kammer 10 gefüllt ist, wird das
frequenz-Glimnientladungsbehandung eine praktisch Ende des Schnabels 50 bei 52 abgeschmolzen. Hiergleichmäßige
Glimmentladung über die ganze Aus- io durch wird das Füllgas in die Kammer 10 eingedehnung
der Kammer 10 zur Folge hat. schlossen. Es können auch verschiedene andere Füll-In
der Praxis wird die Hochfrequenz-Glimmentla- gase verwendet werden; jedoch hat sich das Gasdungsbehandlung
etwa IV2 Minuten fortgesetzt. Diese gemisch aus Neon, Argon und Brom als durchaus
Zeitdauer kann allerdings etwas variieren. Wenn die zufriedenstellend erwiesen. ·
Hochfrequenz-Glimmentladungszeit zu kurz ist, wird 15 ,,T ., , , , ^ ,-t .V 1 1* 1
der Film 60 nicht mit einer genügenden Menge Halo- VL Abwechselndes Erhitzen und Erkaltenlassen
gen gesättigt, um ihn zu stabilisieren. Wenn die Wenn die Röhre mit dem Füllgas gefüllt und zuge-Glimmentladungszeit andererseits zu lang ist, wird schmolzen ist, wird eine für die Erfindung wesentzuviel Halogen von dem Film 60 absorbiert. Dieses "liehe Verfahrensstufe durchgeführt. Das Zählrohr A überschüssige Halogen würde bei der nachfolgenden 20 wird allmählich in einem Ofen auf eine Tempera-Anwendung des Zählrohres A von dem Film abge- tür tt erhitzt, die wesentlich unter der für es gegeben werden und in die Kammer 10 gelangen. Da- wünschten maximalen Arbeitstemperatur i0 liegt, durch würde die Löschgasmenge in der Kammer 10 Dann läßt man den Ofen erkalten. Hierbei kühlt sich erhöht werden, was wiederum zu Änderungen in den das Zählrohr allmählich auf Raumtemperatur- ab. So-Arbeitskennwerten der Röhre A führen würde. Die 25 dann wird der Ofen wieder allmählich erhitzt, so daß Glimmentladungszeit in der Löschgasatmosphäre das Zählrohr A eine Temperatur t2 annimmt, die muß daher so gewählt werden, daß der Film 60 ge- immer noch wesentlich unter der gewünschten maxisättigt wird, gleichzeitig aber kein großer Überschuß malen Arbeitstemperatur i0, aber über der ersten an Halogen in dem Film abgelagert wird. Eine Be- Temperatur ti liegt. Dann läßt man das Zählrohr handlungszeit von IV2 Minuten hat sich als zur Er- 30 wieder in dem Ofen erkalten. Auf diese Weise wird zielung dieses Ergebnisses zufriedenstellend erwiesen. es abwechselnd auf immer höhere Temperaturen er-TT, . .... _ hitzt und wieder erkalten gelassen. Bei jedem einzel-IV. Auspumpen bei mittlerer Temperatur nen Erhitzungsvorgang wird das Zählrohr auf eine
Hochfrequenz-Glimmentladungszeit zu kurz ist, wird 15 ,,T ., , , , ^ ,-t .V 1 1* 1
der Film 60 nicht mit einer genügenden Menge Halo- VL Abwechselndes Erhitzen und Erkaltenlassen
gen gesättigt, um ihn zu stabilisieren. Wenn die Wenn die Röhre mit dem Füllgas gefüllt und zuge-Glimmentladungszeit andererseits zu lang ist, wird schmolzen ist, wird eine für die Erfindung wesentzuviel Halogen von dem Film 60 absorbiert. Dieses "liehe Verfahrensstufe durchgeführt. Das Zählrohr A überschüssige Halogen würde bei der nachfolgenden 20 wird allmählich in einem Ofen auf eine Tempera-Anwendung des Zählrohres A von dem Film abge- tür tt erhitzt, die wesentlich unter der für es gegeben werden und in die Kammer 10 gelangen. Da- wünschten maximalen Arbeitstemperatur i0 liegt, durch würde die Löschgasmenge in der Kammer 10 Dann läßt man den Ofen erkalten. Hierbei kühlt sich erhöht werden, was wiederum zu Änderungen in den das Zählrohr allmählich auf Raumtemperatur- ab. So-Arbeitskennwerten der Röhre A führen würde. Die 25 dann wird der Ofen wieder allmählich erhitzt, so daß Glimmentladungszeit in der Löschgasatmosphäre das Zählrohr A eine Temperatur t2 annimmt, die muß daher so gewählt werden, daß der Film 60 ge- immer noch wesentlich unter der gewünschten maxisättigt wird, gleichzeitig aber kein großer Überschuß malen Arbeitstemperatur i0, aber über der ersten an Halogen in dem Film abgelagert wird. Eine Be- Temperatur ti liegt. Dann läßt man das Zählrohr handlungszeit von IV2 Minuten hat sich als zur Er- 30 wieder in dem Ofen erkalten. Auf diese Weise wird zielung dieses Ergebnisses zufriedenstellend erwiesen. es abwechselnd auf immer höhere Temperaturen er-TT, . .... _ hitzt und wieder erkalten gelassen. Bei jedem einzel-IV. Auspumpen bei mittlerer Temperatur nen Erhitzungsvorgang wird das Zählrohr auf eine
Nach der Hochfrequenz-Glimmentladungsbehand- höhere Temperatur als bei dem vorhergehenden Erlung
wird das Gas wieder aus der Kammer 10 ausge- 35 hitzungsvorgang erhitzt, bis die maximale Arbeitspumpt.
Es wurde gefunden, daß, unabhängig davon, temperatur t0 erreicht oder überschritten ist. Es wurde
welche Maßnahmen zur Steuerung der Hochfrequenz- gefunden, daß dieses abwechselnde Erhitzen und Er-Glimmentladungsbehandlung
getroffen wurden, immer kartenlassen des gasgefüllten Zählrohres in der Praxis
noch eine gewisse begrenzte Menge an verhältnis- mindestens dreimal durchgeführt werden muß, bevor
mäßig beweglichem freiem Halogen in dem Film 60 40 bei diesen Erhitzungsvorgängen eine Temperatur ereingeschlossen
bleibt. Mit anderen Worten: Der reicht wird, die sich der maximalen Arbeitstempera-Sättigungspunkt
des Films 60 ist überschritten. Um tür r0 annähert. Diese Verfahrensstufe wird durch das
dieses Halogen zu entfernen, bevor die Röhre in Be- folgende Beispiel näher erläutert:
nutzung genommen wird, wird die Kammer 10 aus- Das Zählrohr A wird allmählich auf eine Tempegepumpt, wobei die Oberfläche des Films 60 und die 45 ratur I1 von etwa 175° C erhitzt und dann in dem ganze Röhre A auf eine Temperatur im Bereich von Ofen erkalten gelassen. Dann wird es allmählich auf 50 bis 150° C erhitzt wird. Dieses Auspumpen der eine Temperatur /, von 220° C erhitzt und wieder in Kammer 10 wird vorzugsweise etwa V2 Stunde fort- dem Ofen erkalten gelassen. Dann wird es auf eine gesetzt. Beim Auspumpen wandert das freie Halogen, Temperatur J3 erhitzt, die in der Temperaturspanne d. h. das Brom, aus dem Film 60 (Fig. 5), ähnlich 50 von 220 bis 350° C (der gewünschten maximalen wie zuvor bei der Hochtemperaturbehandlung der Arbeitstemperatur t0 des Zählrohres A) etwa um ein freie Sauerstoff, in die Kammer 10. In der Praxis Drittel über der Temperatur von 220° C liegt. Hierwird bei diesem Auspumpvorgang die Oberfläche 60 auf wird es wieder erkalten gelassen. Anschließend auf etwa 100° C gehalten. Man kann das Auspumpen wird es auf eine Temperatur /4 erhitzt, die etwa um auch über längere Zeiträume ausdehnen; der über- 55 zwei Drittel der Temperatur von 220 bis 350° C über wiegende Teil des unerwünschten beweglichen Broms der Temperatur von 220° C liegt. Nachdem das Zählist jedoch nach etwa V* Stunde aus der Oberfläche rohr sich wieder abgekühlt hat, wird es schließlich und dem Film 60 entfernt. auf die Temperatur ts von etwa 350° C oder /0 er-,T ^..,t , r, . . , ~,. . hitzt. Hierauf läßt man es wieder erkalten. Nunmehr V. Füllen und Zuschmelzen des Zahlrohres 6o kann das zählrohr in einem Temperaturbereich ar-
nutzung genommen wird, wird die Kammer 10 aus- Das Zählrohr A wird allmählich auf eine Tempegepumpt, wobei die Oberfläche des Films 60 und die 45 ratur I1 von etwa 175° C erhitzt und dann in dem ganze Röhre A auf eine Temperatur im Bereich von Ofen erkalten gelassen. Dann wird es allmählich auf 50 bis 150° C erhitzt wird. Dieses Auspumpen der eine Temperatur /, von 220° C erhitzt und wieder in Kammer 10 wird vorzugsweise etwa V2 Stunde fort- dem Ofen erkalten gelassen. Dann wird es auf eine gesetzt. Beim Auspumpen wandert das freie Halogen, Temperatur J3 erhitzt, die in der Temperaturspanne d. h. das Brom, aus dem Film 60 (Fig. 5), ähnlich 50 von 220 bis 350° C (der gewünschten maximalen wie zuvor bei der Hochtemperaturbehandlung der Arbeitstemperatur t0 des Zählrohres A) etwa um ein freie Sauerstoff, in die Kammer 10. In der Praxis Drittel über der Temperatur von 220° C liegt. Hierwird bei diesem Auspumpvorgang die Oberfläche 60 auf wird es wieder erkalten gelassen. Anschließend auf etwa 100° C gehalten. Man kann das Auspumpen wird es auf eine Temperatur /4 erhitzt, die etwa um auch über längere Zeiträume ausdehnen; der über- 55 zwei Drittel der Temperatur von 220 bis 350° C über wiegende Teil des unerwünschten beweglichen Broms der Temperatur von 220° C liegt. Nachdem das Zählist jedoch nach etwa V* Stunde aus der Oberfläche rohr sich wieder abgekühlt hat, wird es schließlich und dem Film 60 entfernt. auf die Temperatur ts von etwa 350° C oder /0 er-,T ^..,t , r, . . , ~,. . hitzt. Hierauf läßt man es wieder erkalten. Nunmehr V. Füllen und Zuschmelzen des Zahlrohres 6o kann das zählrohr in einem Temperaturbereich ar-
verbesserten Geiger-Müller-Zählrohres besteht darin, 350° C annähert.
daß die Kammer 10 mit dem endgültigen Füllgas ge- Zusammenfassend läßt sich von dem Wärmefüllt wird. Zu diesem Zweck können zwar Gase von behandlungsvorgang sagen, daß das Zählrohr allverschiedenen Zusammensetzungen verwendet wer- 65 mählich auf eine Temperatur J1 erhitzt und dann allden; zweckmäßigerweise besteht dieses Gasgemisch mählich erkalten gelassen wird. Dieses Erhitzen und
jedoch zu etwa 0,1% aus Argon, zu 1,5% aus Brom Erkaltenlassen wird η-mal wiederholt, wobei die Er-
und zum Rest aus Neon. An Stelle von Brom können hitzungstemperaturen /, bis tn fortschreitend höher
werden. In der Praxis wurde gefunden, daß die Anzahl η der Erhitzungsvorgänge mindestens 3 betragen
soll und vorzugsweise 4 oder 5 beträgt und tn ungefähr
gleich ta ist. Hierdurch erhält man einen bromoxydreichen
Film 60, der in seiner Grundzusammensetzung entweder aus Platin, wenn die Kathode 12
mit diesem Metall beschichtet ist, oder aus rostfreiem Stahl besteht, wenn keine Platinschicht vorhanden
ist. Durch jeden der aufeinanderfolgender, Erhitzungsvorgänge der Röhre A wird die Dicke des
bromoxydreichen Films 60 anscheinend allmählich erhöht und diese Schicht stabilisiert, so daß sekundäre
Emissionen und die Wanderung von Sauerstoff, der einen hohen Elektronenanlagerungskoeffizienten
aufweist, verhindert werden.
Offenbar vermindert der bromoxydreiche Film 60 auch zu einem erheblichen Ausmaß die Geschwindigkeit
der Reaktion des Halogens mit dem Film während des Betriebes des Zählrohres A. Alle diese Vorgänge
und möglicherweise noch andere erhöhen die maximale Arbeitstemperatur des Zählrohres.
Wie bereits erwähnt, soll das Zählrohr A mindestens dreimal abwechselnd erhitzt und erkalten gelassen
werden, bevor seine gewünschte maximale Arbeitstemperatur erreicht wird. Dabei wurde durch
Versuche ermittelt, daß auch jeder einzelne Erhitzungs- und Abkühlungsvorgang die Hochtemperaturcharakteristik
des Zählrohres schon etwas verbessert. Die Ergebnisse dieser Versuche sind schematisch im
Diagramm der F i g. 3 dargestellt. Die Kurve χ bezieht sich auf ein Zählrohr bekannter Art, das bei
270° C betrieben wird. Die mit α bezeichnete Steigung
der Kurve ist recht groß, und ein erkennbares Plateau ist nicht vorhanden. Deshalb lassen sich die
bisher bekannten Zählrohre nicht zufriedenstellend bei 270° C verwenden. Die Kurve y bezieht sich auf
ein nach dem erfindungsgemäßen Verfahren behandeltes Zählrohr Λ mit der einzigen Ausnahme, daß
es nur einmal allmählich auf 200° C erhitzt und dann allmählich erkalten gelassen worden ist. Mit anderen
Worten: Das Zählrohr, mit der die Kurve y aufgenommen wurde, hat nur eine einzige Wärmebehandlung
erfahren. Diese Kurve hat die Steigung b. Obwohl die Steigung der Kurve y etwas geringer ist als
diejenige der Kurve x, zeigt auch die Kurve y kein erkennbares
Plateau, und das entsprechende Zählrohr eignet sich daher ebenfalls nicht gut zum Betrieb bei
270° C, noch weniger zum Betrieb bei 350° C.
Die Kurve ζ bezieht sich auf ein nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren behandeltes Zählrohr A, wobei dieses in der letzten Verfahrensstufe zweimal
erhitzt und erkalten gelassen wurde. Mit anderen Worten: Das Zählrohr wurde erst auf eine Temperatur
ij unter der maximalen Arbeitstemperatur, d. h.
auf 200° C, erhitzt und dann allmählich erkalten gelassen. Dann wurde es auf 250° C erhitzt und wieder
allmählich erkalten gelassen. Die Kurve ζ bezieht sich auf die Prüfung dieses Zählrohres bei 350° C, nachdem
es die obengenannte Wärmebehandlung erfahren hat. Die Steigung c der Kurve ζ ist zwar geringer als
diejenige der Kurven χ und y, aber immer noch nicht
klein genug, um ein wirksames und genaues Arbeiten des Zählrohres A bei 350° C zu gewährleisten.
Die Kurve ο bezieht sich auf ein Zählrohr A, das
drei aufeinanderfolgenden Wärmebehandlungen bei 200, 250 und dann bei 300° C unterworfen worden
ist. Diese Kurve hat einen verhältnismäßig flachen Teil, der ein deutliches Plateau bildet. Daher eignet
sich das der Kurve ο entsprechende Zählrohr zur Verwendung bei einer Temperatur von 350° C. Aus
diesem Grunde soll das abwechselnde Erhitzen und Erkaltenlassen mindestens dreimal durchgeführt werden,
wobei die Erhitzungstemperaturen von Mal zu Mal gesteigert werden sollen. Die erste Temperatur
Z1 soll im Bereich von 150 bis 200° C liegen, und
die Temperaturen t„ der weiteren Erhitzungsvorgänge sollen im wesentlichen proportional zu der gewünschten
maximalen Arbeitstemperatur /0 ansteigen. Die Kurven ρ bzw. q beziehen sich auf Zählrohre, bei
denen diese Wärmebehandlung 4- bzw. 5mal durchgeführt worden ist. Diese Kurven zeigen bei einer Arbeitstemperatur
von 350° C ein langes, verhältnismäßig flaches Plateau der Länge P". Aus den Versuchen,
bei denen die Kurven der F i g. 3 erhalten wurden, ergibt sich, daß das abwechselnde Erhitzen
und Erkaltenlassen nach der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung 4- bis 5mal durchgeführt
werden soll. Im weitesten Sinne genügen jedoch bereits drei Erhitzungsvorgänge, um ein verhältnismäßig
flaches Plateau bei hohen Temperaturen zu erzeugen, wie es bisher bekannte Geiger-Müller-Zählrohre
nicht aufwiesen. Wenn das Zählrohr nur einmal erhitzt und erkalten gelassen wird, wird, wie
Kurve y zeigt, auch bereits eine gewisse Verbesserung der Arbeitsweise der Röhre bei hohen Temperaturen
erzielt.
Beispiel
30
30
Ein Zählrohr A wird zunächst 2 Stunden bei 300° C ausgepumpt, um die an der inneren Oberfläche
der Kammer adsorbierten Gase zu entfernen. Dann wird die Kammer 10 unter einem Druck von
3 mm Hg mit Sauerstoff gefüllt und mit den Anschlüssen 18 und 23 an eine Gleichspannungsquelle
von 700 V angeschlossen. Hierbei kommt es zu Glimmentladungen, die 3,0 Minuten fortgesetzt werden.
Dann wird das Zählrohr A in einem Ofen auf 400° C erhitzt. Bei dieser Temperatur wird die Kammer
2 Stunden lang ausgepumpt.' Dann wird das Zählrohr A mit einem Gasgemisch aus 10 °/o Brom
und 9O°/o Neon gefüllt. Hierauf werden die Anschlüsse
18 und 23 an eine Hochfrequenz-Spannungsquelle einer Frequenz von 30 bis 40 Megahertz angeschlossen.
Hierdurch bildet sich eine Glimmentladung, \die IV2 Minuten fortgesetzt wird.
Nach der Hochfrequenz-Glimmentladungsbehandlung wird das Zählrohr wieder erhitzt, und zwar diesmal
auf 100° C, wobei die Kammer 10 wieder ausgepumpt wird. Diese Behandlung dauert Ht Stunde.
Nach dem Auspumpen wird das Zählrohr mit einem Gasgemisch gefüllt, das zu 0,1% aus Argon, zu
1,5% aus Brom und zum Rest aus Neon besteht. Das so gefüllte Zählrohr wird dann bei 52 abgeschmolzen.
Hierauf wird es im Ofen auf 175° C erhitzt, dann im Ofen erkalten gelassen, anschließend auf 220° C erhitzt und wieder im Ofen erkalten gelassen. Dieses
abwechselnde Erhitzen und Erkaltenlassen wird unter Anwendung immer höherer Temperaturen insgesamt fünfmal durchgeführt. Beim fünften Erhitzungsvorgang wird das Zählrohr A auf etwa 350° C
erhitzt.
kennwertlinien des nach dem obigen Beispiel behandelten Zählrohres im Vergleich zu den Arbeitskenn
linien
m
und η eines bekannten Geiger-Müller-Zählrohres. Bei Raumtemperatur zeigt das nach obigem
Beispiel behandelte Zählrohr ein Plateau mit einer Länge P von etwa 400 V. Die Steigung dieser Raumtemperaturkurve
ist wesentlich geringer als die Steigung der Raumtemperaturkurve η für das bekannte
Zählrohr. Bei 350° C zeigt das erfindungsgemäß behandelte Zählrohr ein Plateau, dessen Länge P' sich
über 275 V erstreckt. Dieses Plateau weist wiederum eine verhältnismäßig geringe Steigung auf. Wenn die
Kurve s mit der Kurve m für die bekannte Röhre verglichen wird, wird der durch die Erfindung erzielte
technische Fortschritt erkennbar. Ein weiterer wesentlicher Vorteil der erfindungsgemäß behandelten
Zählrohre liegt darin, daß sich die Plateaus in senkrechter Richtung nur um einen geringen Betrag Δ S2
verschieben, wenn die Temperatur von Raumtemperatur auf 350° C steigt. Dies bedeutet, daß die Empfindlichkeit
von Temperaturänderungen kaum beeinflußt wird und daß das Zählrohr über einen weiten
Bereich von Arbeitstemperaturen und Spannungen ίο hinweg genaue Messungen liefert.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (13)
1. Verfahren zur Behandlung und zum Füllen bei der Herstellung von für hohe Arbeitstemperatüren
geeigneten, Metall-Elektroden aufweisenden Halogen-Geiger-MüHer-Zählrohren, bei dem ein
Gas, das das für die endgültige Füllung vorgesehene Halogen in freier Form enthält, in das
Zählrohr eingefüllt und dessen innere Oberflächen mit dem Halogen gesättigt werden, bei dem dann
das Zählrohr ausgepumpt und sodann mit dem dasselbe Halogen und mindestens ein Edelgas
enthaltenden Füllgas gefüllt und schließlich einer Wärmebehandlung unterworfen wird, dadurch
gekennzeichnet, daß zur Erzielung einer höheren maximalen Arbeitstemperatur des Zählrohres
dieses zunächst mit einem sauerstofEhaltigen Gas gefüllt und mittels einer durch Anlegen
einer hohen Gleichspannung zwischen den Elektroden erzeugten Glimmentladung mindestens die
Zählrohr-Kathode zum Schutz gegen chemische Reaktionen mit dem Halogen-Gas mit einer
Oxydschicht überzogen wird, dann das sauerstoffhaltige Gas unter erhöhter Temperatur aus dem
Zählrohr abgepumpt, das aus dem Halogen und einem Edelgas bestehende Gas eingefüllt, im Zählrohr
durch Anlegen einer Hochfrequenz-Spannung zwischen seinen Elektroden eine Glimmentladung
bewirkt wird, dann das halogenhaltige Gas abgepumpt, das Zählrohr mit dem Füllgas
gefüllt und schließlich der Temperaturbehandlung unterworfen wird, die darin besteht, daß das gefüllte
Zählrohr auf eine Temperatur tx erhitzt,
anschließend abgekühlt und das Erhitzen und Abkühlen /!-mal wiederholt wird, wobei fortschreitend
höhere Erhitzungstemperaturen /., bis /„ angewandt werden, die Zahl η der Zyklen aus
Erhitzen und Abkühlung mindestens gleich 3 ist und die höchste Erhitzungstemperatur etwa gleich
oder größer ist als die gewünschte maximale Betriebstemperatur des Zählrohres.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem abwechselnden Erhitzen
und Erkaltenlassen eine Anfangstemperatür I1 von weniger als 200° C angewandt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem abwechselnden Erhitzen
und Erkaltenlassen eine Endtemperatur t„ von weniger als 400° C angewandt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Anlegen
der Hochfrequenz-Spannung über eine Zeitdauer von etwa 1 Va Minuten erfolgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Auspumpen
der halogenhaltigen zweiten Gasfüllung bei 50 bis 150° C durchgeführt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch ge- s
kennzeichnet, daß das Auspumpen über eine Zeit- 6a dauer von etwa '/2 Stunde durchgeführt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei dem abwechselnden Erhitzen
und Crkaltenlassen eine Anfangstemperatur /, von etwa 175° C angewandt wird. G5
R. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß bei dein abwechselnden
Erhitzen und Erkaltcnlasscn eine zweite Temperatur t., von etwa 220° C angewandt
wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die während der Einwirkung
der Sauerstoffüllung angelegte Gleichspannung zwischen 500 und 1000 V beträgt.
10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Auspumpen des Sauerstoffs
über einen Zeitraum von 1 bis 4 Stunden bei Temperaturen von 3Ö0 bis 450° C durchgeführt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß das Auspumpen des Sauerstoffs über einen Zeitraum von etwa 2 Stunden bei etwa
400° C durchgeführt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz der angelegten
Hochfrequenz-Spannung 30 bis 40 Megahertz beträgt.
13. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das abwechselnde Erhitzen und
Erkaltenlassen vier- bis fünfmal durchgeführt wird.
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