DE112021002489T5 - Glasgegenstand und verfahren zur herstellung des glasgegenstands - Google Patents

Abstract

Ein Verfahren zur Herstellung eines Glasgegenstands umfasst das Halten eines Trägers mit einer Kreisform, in dem ein Glassubstrat mit einer Kreisform gehalten ist, mit einer Platte für eine obere Oberfläche und einer Platte für eine untere Oberfläche; und das Polieren des Glassubstrats durch Drehen des Trägers in Bezug auf die Platte für eine obere Oberfläche und die Platte für eine untere Oberfläche, so dass der Glasgegenstand erhalten wird. Das Glassubstrat ist derart in dem Träger angeordnet, dass in einer Draufsicht ein Zentrum des Trägers in einen Bereich des Glassubstrats einbezogen ist und ein Zentrum des Glassubstrats von dem Zentrum des Trägers verschoben ist.

Description

• TECHNISCHES GEBIET
• Die vorliegende Erfindung betrifft einen Glasgegenstand und ein Verfahren zur Herstellung des Glasgegenstands.
• STAND DER TECHNIK
• Beispielsweise werden Glasgegenstände, die dünn sind und eine Dicke von 0,1 mm aufweisen, in verschiedenen Bereichen vielfältig verwendet. Ein solcher dünner Glasgegenstand kann durch Polieren von beiden Seiten eines Glassubstrats mit einer Doppelseiten-Poliervorrichtung hergestellt werden.
• DOKUMENTENLISTE
• PATENTDOKUMENTE
• [Dokumente des Standes der Technik]
• [Patentdokumente]
• Patentdokument 1: Japanische ungeprüfte Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer 2014-138973
• ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
• DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDES PROBLEM
• Es besteht das Problem, dass dünne Glasgegenstände relativ schwer handhabbar sind. Beispielsweise kann ein dünner Glasgegenstand während des Förderns durchhängen oder sich verziehen. In dem Fall einer merklichen Verformung kann ein Brechen oder Reißen auftreten.
• Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf das vorstehend beschriebene Problem gemacht und hat die Aufgabe, einen Glasgegenstand bereitzustellen, der relativ einfach handhabbar ist und in dem ein Verzug und ein Durchhängen signifikant verhindert werden können. Die vorliegende Erfindung hat ferner die Aufgabe, ein Verfahren zur Herstellung des Glasgegenstands bereitzustellen.
• MiTTEL ZUM LÖSEN DES PROBLEMS
• Gemäß der vorliegenden Offenbarung wird ein Glasgegenstand bereitgestellt, der eine erste Oberfläche mit einer Kreisform umfasst, wobei
  ein Radius R des Glasgegenstands innerhalb eines Bereichs von 50 mm bis 150 mm, einschließlich, liegt,
  wenn in dem Glasgegenstand to eine Dicke an einem Zentrum Og ist, ein erstes Ende ein Endabschnitt ist, t1 eine Dicke am ersten Ende ist, tx' eine Dicke an jedweder Position X (ausgenommen das erste Ende und das Zentrum Og) zwischen dem ersten Ende und dem Zentrum Og ist, und
  eine Dicke von einer Seite der ersten Oberfläche des Glasgegenstands durch ein Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs gemessen wird, Bedingungen von
• (a) $$\mathrm{0,1}\text{ mm}<\text{to}<2\text{ mm}$$
  
• (b1) $$1<\text{to/t}1\le \mathrm{1,1}$$
  
• (c1) $$\text{to}>\text{tx}\text{'}>\text{t}1$$
  
  und
• (d1) $${\text{tx}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}1\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}1$$
  
(wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist und tx_n eine Dicke an einer Position X_n von R × (n/5) von dem ersten Ende zu dem Zentrum Og darstellt) erfüllt sind und,
wenn ein zweites Ende ein Endabschnitt entgegengesetzt zu dem ersten Ende in Bezug auf das Zentrum Og ist, t2 eine Dicke am zweiten Ende ist, tx'' eine Dicke an jedweder Position W (ausgenommen das zweite Ende und das Zentrum Og) zwischen dem zweiten Ende und dem Zentrum Og ist, und
eine Dicke von einer Seite der ersten Oberfläche des Glasgegenstands durch das Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs gemessen wird, Bedingungen von
• (b2) $$1<\text{to/t}2\le \mathrm{1,1}$$
  
• (c2) $$\text{to}>\text{tx}\text{'}\text{'}>\text{t}2$$
  
  und
• (d2) $${\text{tw}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}2\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}2$$
  
(wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist und tw_n eine Dicke an einer Position W_n von R × (n/5) von dem zweiten Ende zu dem Zentrum Og darstellt) erfüllt sind.
• Gemäß der vorliegenden Offenbarung wird ein Verfahren zur Herstellung eines Glasgegenstands bereitgestellt, das
  einen Schritt des Haltens eines Trägers mit einer Kreisform, in dem ein Glassubstrat mit einer Kreisform gehalten ist, mit einer Platte für eine obere Oberfläche und einer Platte für eine untere Oberfläche, und des Polierens des Glassubstrats durch Drehen des Trägers in Bezug auf die Platte für eine obere Oberfläche und die Platte für eine untere Oberfläche, so dass der Glasgegenstand erhalten wird, umfasst, wobei
  das Glassubstrat derart in dem Träger angeordnet ist, dass in einer Draufsicht ein Zentrum Oc des Trägers in einen Bereich des Glassubstrats einbezogen ist, und ein Zentrum Og des Glassubstrats von dem Zentrum Oc des Trägers verschoben ist.
• EFFEKTE DER ERFINDUNG
• Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Glasgegenstand, der relativ einfach handhabbar ist und in dem ein Verzug und ein Durchhängen signifikant verhindert werden können, bereitgestellt werden. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann auch ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Glasgegenstands bereitgestellt werden.
• Figurenliste
• [1] 1 ist ein Diagramm, das schematisch ein Merkmal in einem Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
• [2] 2 ist ein Diagramm, das schematisch ein Beispiel eines Querschnitts des Glasgegenstands gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
• [3] 3 ist ein Diagramm, das schematisch ein Beispiel eines weiteren Querschnitts des Glasgegenstands gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
• [4] 4 ist ein Diagramm, das schematisch ein Beispiel des Ablaufs eines Verfahrens zur Herstellung eines Glasgegenstands gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
• [5] 5 ist ein Diagramm, das schematisch einen Aufbau einer Doppelseiten-Poliervorrichtung zeigt, die bei der Implementierung des Verfahrens zur Herstellung eines Glasgegenstands gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann.
• [6] 6 ist eine Draufsicht, die schematisch ein Beispiel eines Aspekts zeigt, in dem ein Glassubstrat in einem Träger angeordnet ist.
• [7] 7 ist eine Draufsicht, die schematisch einen Effekt zeigt, wenn ein Zentrum des Glassubstrats von einem Zentrum des Trägers verschoben ist.
• [8] 8 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in einer X-Richtung zeigt, das mit der Probe 1 erhalten worden ist.
• [9] 9 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in einer Y-Richtung zeigt, das mit der Probe 1 erhalten worden ist.
• [10] 10 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in der X-Richtung zeigt, das mit der Probe 2 erhalten worden ist.
• [11] 11 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in der Y-Richtung zeigt, das mit der Probe 2 erhalten worden ist.
• [12] 12 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in der X-Richtung zeigt, das mit der Probe 3 erhalten worden ist.
• [13] 13 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in der Y-Richtung zeigt, das mit der Probe 3 erhalten worden ist.
• [14] 14 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in der X-Richtung zeigt, das mit der Probe 11 erhalten worden ist.
• [15] 15 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in der Y-Richtung zeigt, das mit der Probe 11 erhalten worden ist.
• [16] 16 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in der X-Richtung zeigt, das mit der Probe 12 erhalten worden ist.
• [17] 17 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in der Y-Richtung zeigt, das mit der Probe 12 erhalten worden ist.
• [18] 18 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in der X-Richtung zeigt, das mit der Probe 13 erhalten worden ist.
• [19] 19 ist ein Graph, der ein Ergebnis einer Messung in der Y-Richtung zeigt, das mit der Probe 13 erhalten worden ist.
• MODUS ZUR AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
• Nachstehend wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
• Wie es vorstehend beschrieben ist, besteht das Problem, dass dünne Glasgegenstände während des Förderns durchhängen/herabhängen oder sich verziehen können und in dem Fall einer merklichen Verformung ein Brechen bzw. Reißen auftreten kann.
• Im Gegensatz dazu wird gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ein Glasgegenstand bereitgestellt, der eine erste Oberfläche mit einer Kreisform umfasst, wobei
  ein Radius R des Glasgegenstands innerhalb eines Bereichs von 50 mm bis 150 mm, einschließlich, liegt,
  wenn in dem Glasgegenstand to eine Dicke an einem Zentrum Og ist, ein erstes Ende ein Endabschnitt ist, t1 eine Dicke am ersten Ende ist, tx' eine Dicke an jedweder Position X (ausgenommen das erste Ende und das Zentrum Og) zwischen dem ersten Ende und dem Zentrum Og ist, und
  eine Dicke von einer Seite der ersten Oberfläche des Glasgegenstands durch ein Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs gemessen wird, Bedingungen von
• (a) $$\mathrm{0,1}\text{ mm}<\text{to}<2\text{ mm}$$
  
• (b1) $$1<\text{to/t}1\le \mathrm{1,1}$$
  
• (c1) $$\text{to}>\text{tx}\text{'}>\text{t}1$$
  
  und
• (d1) $${\text{tx}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}1\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}1$$
  
(wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist und tx_n eine Dicke an einer Position X_n von R × (n/5) von dem ersten Ende zu dem Zentrum Og darstellt) erfüllt sind und, wenn ein zweites Ende ein Endabschnitt entgegengesetzt zu dem ersten Ende in Bezug auf das Zentrum Og ist, t2 eine Dicke am zweiten Ende ist, tx'' eine Dicke an jedweder Position W (ausgenommen das zweite Ende und das Zentrum Og) zwischen dem zweiten Ende und dem Zentrum Og ist, und
eine Dicke von einer Seite der ersten Oberfläche des Glasgegenstands durch das Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs gemessen wird, Bedingungen von
• (b2) $$1<\text{to/t}2\le \mathrm{1,1}$$
  
• (c2) $$\text{to}>\text{tx}\text{'}\text{'}>\text{t}2$$
  
  und
• (d2) $${\text{tw}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}2\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}2$$
  
(wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist und tw_n eine Dicke an einer Position W_n von R × (n/5) von dem zweiten Ende zu dem Zentrum Og darstellt) erfüllt sind.
• In der vorliegenden Offenbarung steht ein „Glasgegenstand“ für einen Gegenstand, der durch Polieren eines Glassubstrats erhalten wird. Demgemäß wird das Glassubstrat als poliertes Material zur Herstellung des Glasgegenstands verwendet.
• In dieser Anmeldung steht ein „Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs“ für ein Verfahren des Messens einer Dickenverteilung eines zu messenden Gegenstands gemäß einer Differenz zwischen einer Phase eines reflektierten Lichts von einer vorderen Oberfläche und einer Phase eines reflektierten Lichts von einer hinteren Oberfläche. Messgeräte, bei denen ein solches Messverfahren eingesetzt wird, umfassen beispielsweise ein Dickenmessgerät des optischen Interferometrie-Typs (FlatMaster 200 von Corning Tropel Corporation).
• Dabei gibt die vorstehend beschriebene Bedingung (c1) an, dass in einem Querschnitt, der durch das Zentrum Og des Glasgegenstands verläuft, die Dicke des Glasgegenstands zwischen der Dicke t1 an dem ersten Ende und der Dicke to an dem Zentrum Og im Bereich von einem Endabschnitt (d.h., dem ersten Ende) zu dem Zentrum Og liegt. Entsprechend gibt die Bedingung (c2) an, dass in dem Querschnitt die Dicke des Glasgegenstands zwischen der Dicke t2 an dem zweiten Ende und der Dicke to an dem Zentrum Og in dem Bereich von dem anderen Endabschnitt (d.h., dem zweiten Ende) zu dem Zentrum Og liegt.
• Die Bedingung (d1) und die Bedingung (d2) geben an, dass der Glasgegenstand ein Profil aufweist, in dem im Querschnitt die Dicke des Glasgegenstands von dem Zentrum zu jedem der Endabschnitte monoton abnimmt.
• Nachstehend wird die Bedingung (d1) unter Bezugnahme auf die 1 detaillierter beschrieben.
• Die 1 ist ein Diagramm, das in einem Glasgegenstand mit einer oberen Oberfläche mit einer Kreisform schematisch eine Hälfte des Querschnitts zeigt, der durch das Zentrum Og verläuft.
• Wie es in der 1 gezeigt ist, weist der Glasgegenstand 1 die obere Oberfläche 2 auf und weist einen Radius R auf. Der Glasgegenstand 1 weist auch die Dicke to an dem Zentrum Og und die Dicke t1 an dem Endabschnitt 12 auf. Die 1 zeigt schematisch das Profil der oberen Oberfläche von dem Endabschnitt 12 zu dem Zentrum Og des Glasgegenstands 1.
• Wie es in der 1 gezeigt, ist der Radius R von dem Endabschnitt 12 zu dem Zentrum Og in fünf gleiche Abschnitte aufgeteilt, wobei die Positionen als X₁ bis X₅ bezeichnet sind. Die Position X₅ entspricht dem Zentrum Og.
• Die Dicke des Glasgegenstands 1 an jeder Position X_n, wobei n eine ganze Zahl von 1 bis 5 ist, wird als tx_n bezeichnet. Es sollte beachtet werden, dass die Dicke tx₅ = to an der Position X₅ ist, wenn n = 5 ist.
• Von dem Punkt Q1 auf der oberen Oberfläche 2 an dem Endabschnitt 12 wird eine Gerade Q gezogen, die durch die Position Qo auf der oberen Oberfläche 2 an dem Zentrum Og verläuft. Ein Schnittpunkt einer vertikalen Linie an jeder Position X_n und der Linie Q wird als P_n bezeichnet. Beispielsweise wird der Schnittpunkt der vertikalen Linie an der Position X₁ und der Linie Q als P₁ bezeichnet und der Schnittpunkt der vertikalen Linie an der Position X₂ und der Linie Q wird als P₂ bezeichnet, usw. Der Punkt P₅ ist die Position Qo.
• Dabei wird eine Höhe des Punkts P_n an jeder Position X_n durch (to -t1) × (n/5) + t1 ausgedrückt. Die Höhe des Punkts P_n gibt in der vorstehend beschriebenen Bedingung (d1) die rechte Seite an. Demgemäß bedeutet die Bedingung (d1), dass die Dicke tx_n des Glasgegenstands 1 größer als die oder gleich der Höhe des Punkts P_n an jeder Position X_n ist, die durch Dividieren des Radius R durch 5 gleichmäßig von dem Endabschnitt 12 zu dem Zentrum Og erhalten wird.
• Demgemäß kann, wenn der Glasgegenstand 1 die Bedingung (d1) erfüllt, die obere Oberfläche 2 des Glasgegenstands 1 so betrachtet werden, dass sie ein Profil aufweist, bei dem die Dicke von dem Zentrum zu dem Endabschnitt 12 monoton abnimmt.
• Insbesondere kann selbst dann, wenn die Bedingung (d1) erfüllt ist, ein Bereich vorliegen, bei dem sich die Dicke zwischen der Position X_n-1 und der Position X_n nicht monoton ändert. In einem solchen Fall kann die obere Oberfläche 2 ein Profil aufweisen, das kaum ein monoton abnehmendes Profil ist. Gemäß den Erfindern der vorliegenden Offenbarung ist jedoch in dem Fall eines Glasgegenstands 1 mit einem Radius R innerhalb eines Bereichs von 50 mm bis 150 mm, einschließlich, empirisch feststellbar, dass eine obere Oberfläche 2 wahrscheinlich ein Profil mit einer monoton abnehmenden Dicke aufweist, mit der Maßgabe, dass die Bedingung (d1) mit n = 5 erfüllt ist.
• Demgemäß kann dann, wenn der Glasgegenstand 1 die Bedingung (d1) erfüllt, die obere Oberfläche 2 des Glasgegenstands 1 so betrachtet werden, dass sie ein Profil aufweist, in dem die Dicke am Zentrum am größten ist und die Dicke von dem Zentrum zu dem Endabschnitt 12 (erstes Ende) monoton abnimmt.
• Ferner kann, obwohl dies in der 1 nicht gezeigt ist, das gleiche Merkmal für die Bedingung (d2) für das Profil der oberen Oberfläche von dem zweiten Ende zu dem Zentrum Og gelten.
• Nachstehend wird ein Profil, das die Bedingungen (b1) bis (d1) und die Bedingungen (b2) bis (d2) in dem Querschnitt erfüllt, der durch das Zentrum Og des Glasgegenstands verläuft (nachstehend als „maximaler Querschnitt“ bezeichnet), spezifisch als „spezifisches konvexes Profil“ bezeichnet.
• Die Bedingungen (b1) bis (d1) und die Bedingungen (b2) bis (d2), die vorstehend beschrieben worden sind, legen lediglich ein Profil der ersten Oberfläche in einem „maximalen Querschnitt“ fest. D.h., die vorstehend beschriebenen Bedingungen stellen keine Informationen bezüglich eines Profils der ersten Oberfläche in dem anderen maximalen Querschnitt bereit.
• Gemäß den Erfindern der vorliegenden Offenbarung wird jedoch empirisch festgestellt, dass bei dem Glasgegenstand, der durch Polieren unter Verwendung einer Doppelseiten-Poliervorrichtung hergestellt wird, wenn ein maximaler Querschnitt die vorstehend beschriebenen Bedingungen (b1) bis (d1) und die Bedingungen (b2) bis (d2) erfüllt, häufig auch in den anderen maximalen Querschnitten die Bedingungen (b1) bis (d1) und die Bedingungen (b2) bis (d2) erfüllt sind.
• D.h., solange die Bedingungen (b1) bis (d1) und (b2) bis (d2) in einem maximalen Querschnitt erfüllt sind, kann der Glasgegenstand so betrachtet werden, dass er wahrscheinlich ein „spezifisches konvexes Profil“ in jedwedem maximalen Querschnitt aufweist. Nachstehend wird eine Oberfläche mit einem „spezifischen konvexen Profil“ in allen maximalen Querschnitten auch als eine „ideale konvexe Oberfläche“ bezeichnet.
• Folglich weist in dem Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die erste Oberfläche ein spezifisches konvexes Profil auf. Beispielsweise kann in dem Glasgegenstand durch Stützen des Glasgegenstands um das Zentrum des Glasgegenstands von der der ersten Oberfläche entgegengesetzten Seite das Auftreten eine Verzugs oder eines Durchhängens in dem Glasgegenstand signifikant verhindert werden.
• Demgemäß kann der Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung selbst dann relativ einfach gehandhabt werden, wenn der Glasgegenstand eine relativ geringe Dicke aufweist.
• Ferner kann in dem Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung durch den Effekt der ersten Oberfläche mit dem spezifischen konvexen Profil das Risiko des Auftretens eines Flecks oder einer Unebenheit, der oder die durch eine Reinigungsflüssigkeit während oder nach dem Reinigungsvorgang für den Glasgegenstand verursacht wird, einfach vermindert werden.
• Ferner können dann, wenn beide Oberflächen des Glasgegenstands flach sind, wenn eine Mehrzahl von Lagen der Glasgegenstände laminiert wird, die Glasgegenstände stark aneinander haften und können gegebenenfalls nur schwer voneinander getrennt werden. Darüber hinaus nimmt dann, wenn ein Einschluss, wie z.B. ein Abstandshalter, während der Laminierung zwischen den Glasgegenständen angeordnet wird, um eine solche Haftung zwischen den Glasgegenständen zu vermeiden, das Risiko zu, dass eine Komponente des Einschlusses an dem Glasgegenstand haftet.
• In dem Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird jedoch selbst dann, wenn eine Mehrzahl von Lagen der Glasgegenstände laminiert wird, die Haftfestigkeit der Glasgegenstände aneinander vermindert, so dass es einfach ist, einen Glasgegenstand nach dem anderen ohne die Verwendung eines Einschlusses zu trennen.
• Alternativ können beispielsweise dann, wenn ein flacher Glasgegenstand durch ein Vakuumadsorptionsverfahren oder dergleichen an verschiedenen Vorrichtungen bzw. Geräten eingespannt wird, beide Endabschnitte des Glasgegenstands gezogen werden und der zentrale Abschnitt kann konkav verformt werden. Der Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist eine erste Oberfläche mit einem spezifischen konvexen Profil auf und weist im Vorhinein einen dicken zentralen Abschnitt auf. Folglich kann in dem Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Ebenheit in dem Einspannzustand signifikant verbessert werden.
• Darüber hinaus weisen die Glasgegenstände gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beispielsweise einen Vorteil dahingehend auf, dass das Ablösen eines übertragenen Harzes von einem Prägeformwerkzeug nach dem Übertragen eines Nanoprägevorgangs verbessert wird.
• In dem Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind, wenn ein drittes Ende eine Position ist, die um 90° von dem ersten Ende um das Zentrum Og als Zentrum gedreht ist, t3 eine Dicke an der dritten Position ist, ty' eine Dicke an jedweder Position Y (ausgenommen das dritte Ende und das Zentrum Og) zwischen dem dritten Ende und dem Zentrum Og ist, und
  eine Dicke von einer Seite der ersten Oberfläche durch das Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs gemessen wird,
  vorzugsweise Bedingungen von
• (e1) $$1<\text{to/t}3\le \mathrm{1,1}$$
  
• (f1) $$\text{to}>\text{ty}\text{'}>\text{t}3$$
  
  und
• (g1) $${\text{ty}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}3\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}3$$
  
(wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist und ty_n eine Dicke an einer Position Y_n von R × (n/5) von dem dritten Ende zu dem Zentrum Og darstellt) erfüllt.
• Ferner sind in dem Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wenn ein viertes Ende ein Endabschnitt entgegengesetzt zu dem dritten Ende in Bezug auf das Zentrum Og ist, t4 eine Dicke an dem vierten Ende ist, ty'' eine Dicke an jedweder Position V (ausgenommen das vierte Ende und das Zentrum Og) zwischen dem vierten Ende und dem Zentrum Og ist, und
  eine Dicke von einer Seite der ersten Oberfläche durch ein Vor-Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs gemessen wird,
  vorzugsweise Bedingungen von
• (e2) $$1<\text{to/t}4\le \mathrm{1,1}$$
  
• (f2) $$\text{to}>\text{ty}\text{'}\text{'}>\text{t}4$$
  
  und
• (g2) $${\text{tv}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}4\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}4$$
  
(wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist und tv_n eine Dicke an einer Position V_n von R × (n/5) von dem vierten Ende zu dem Zentrum Og darstellt) erfüllt.
• In einem solchen Glasgegenstand kann eine erste Oberfläche mit einem spezifischen konvexen Profil selbst in dem maximalen Querschnitt erhalten werden, der durch das dritte Ende verläuft, das sich an der Position, die um 90° von dem ersten Ende um das Zentrum Og als Drehachse gedreht ist, befindet.
• Folglich kann in diesem Fall die erste Oberfläche in dem Glasgegenstand der „idealen konvexen Oberfläche“ stärker angenähert werden.
• (Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung)
• Nachstehend wird der Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die 2 detaillierter beschrieben.
• Die 2 zeigt schematisch eine Form eines Querschnitts des Glasgegenstands gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die 2 zeigt einen Querschnitt, der durch ein Zentrum Og des Glasgegenstands verläuft, d.h., den „maximalen Querschnitt“. Nachstehend wird der maximale Querschnitt, der in der 2 gezeigt ist, als „der erste maximale Querschnitt S1“ bezeichnet.
• Wie es in der 2 gezeigt ist, weist ein Glasgegenstand 100 (nachstehend als „erster Glasgegenstand“ bezeichnet) gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine erste Oberfläche 102 und eine zweite Oberfläche 104 auf. Obwohl dies nicht aus der 2 ersichtlich ist, weisen die erste Oberfläche 102 und der erste Glasgegenstand 100 in einer Draufsicht im Allgemeinen eine Kreisform auf. Der erste Glasgegenstand 100 weist auch ein erstes Ende 120 und ein zweites Ende 125 an symmetrischen Positionen in Bezug auf das Zentrum Og auf.
• Der erste Glasgegenstand 100 erfüllt dabei die vorstehend genannten Bedingungen (a) bis (d1) und (b2) bis (d2).
• D.h., der erste Glasgegenstand 100 weist eine Dicke to an dem Zentrum Og auf, wobei to größer als 0,1 mm und kleiner als 2 mm ist. Die Dicke to liegt vorzugsweise im Bereich von 0,2 mm bis 1,1 mm, einschließlich.
• Der erste Glasgegenstand 100 erfüllt auch 1 < to/t1 ≤ 1,1, wobei die Dicke am ersten Ende 120 t1 ist. Es ist bevorzugt, dass to/t1 kleiner als oder gleich 1,05 ist.
• Der erste Glasgegenstand 100 erfüllt auch to > tx' > t1, wobei eine Dicke an jedweder Position X (ausgenommen das erste Ende 120 und das Zentrum Og) zwischen dem ersten Ende 120 und dem Zentrum Og tx' ist.
• Wenn eine Dicke an einer Position X_n von R × (n/5) von dem ersten Ende 120 zu dem Zentrum Og in dem ersten Glasgegenstand 100 tx_n ist, dann ist $${\text{tx}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}1\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}1$$

  

  erfüllt, wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist.
• Ferner erfüllt der erste Glasgegenstand 100 1 < to/t2 ≤ 1,1, wobei eine Dicke am zweiten Ende 125 t2 ist. Es ist bevorzugt, dass to/t2 kleiner als oder gleich 1,05 ist.
• Ferner erfüllt der erste Glasgegenstand 100 to > tx'' > t2, wenn eine Dicke an jedweder Position W (ausgenommen das zweite Ende 125 und das Zentrum Og) zwischen dem zweiten Ende 125 und dem Zentrum Og tx'' ist.
• Wenn eine Dicke an einer Position W_n von R x (n/5) von dem zweiten Ende 125 zu dem Zentrum Og in dem ersten Glasgegenstand 100 tw_n ist, dann ist $${\text{tw}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}2\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}2$$

  

  erfüllt, wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist.
• Auf diese Weise weist die erste Oberfläche 102 des ersten Glasgegenstands 100 ein „spezifisches konvexes Profil“ in dem ersten maximalen Querschnitt S1 auf, der durch das erste Ende 120 und das zweite Ende 125 verläuft.
• Demgemäß kann in dem ersten Glasgegenstand 100 ein Verzug oder ein Durchhängen, das bei dem Glasgegenstand während der Handhabung auftreten kann, signifikant vermindert werden. Folglich kann der erste Glasgegenstand 100 relativ einfach gehandhabt werden.
• Dabei kann der erste Glasgegenstand 100 ferner die Bedingungen (e1) bis (g1) und (e2) bis (g2) erfüllen.
• Nachstehend werden diese Merkmale unter Bezugnahme auf die 3 beschrieben.
• Die 3 zeigt schematisch eine weitere Form eines maximalen Querschnitts des ersten Glasgegenstands 100. Die 3 zeigt einen maximalen Querschnitt, der durch Drehen um 90° von der Position des ersten maximalen Querschnitts S1, der in der 2 gezeigt ist, um das Zentrum Og als Mittelachse erhalten wird (nachstehend als „zweiter maximaler Querschnitt“ bezeichnet).
• Wie es in der 3 gezeigt ist, weist der zweite maximale Querschnitt S2 ein drittes Ende 130 und ein viertes Ende 135 an symmetrischen Positionen in Bezug auf das Zentrum Og auf.
• Der erste Glasgegenstand 100 erfüllt 1 < to/t3 ≤ 1,1 wobei eine Dicke am dritten Ende 130 13 ist. Es ist bevorzugt, dass to/t3 kleiner als oder gleich 1,05 ist.
• Der erste Glasgegenstand 100 erfüllt auch to > ty' > t1, wobei eine Dicke an jedweder Position Y zwischen dem dritten Ende 130 und dem Zentrum Og (ausgenommen das dritte Ende 130 und das Zentrum Og) ty' ist.
• Wenn eine Dicke an einer Position Y_n von R x (n/5) von dem dritten Ende 130 zu dem Zentrum Og in dem ersten Glasgegenstand 100 ty_n ist, dann ist $${\text{ty}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}3\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}3$$

  

  erfüllt, wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist.
• Ferner erfüllt der erste Glasgegenstand 100 1 < to/t4 ≤ 1,1, wobei eine Dicke an dem vierten Ende 135 t4 ist. Es ist bevorzugt, dass to/t4 kleiner als oder gleich 1,05 ist.
• Der erste Glasgegenstand 100 erfüllt auch to > ty'' > t4, wenn eine Dicke an jedweder Position W zwischen dem vierten Ende 135 und dem Zentrum Og (ausgenommen das vierte Ende 135 und das Zentrum Og) ty'' ist.
• Wenn eine Dicke an einer Position W_n von R × (n/5) von dem vierten Ende 135 zu dem Zentrum Og in dem ersten Glasgegenstand 100 tv_n ist, dann ist $${\text{tv}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}4\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}4$$

  

  erfüllt, wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist.
• Auf diese Weise kann die erste Oberfläche 102 des ersten Glasgegenstands 100 auch ein „spezifisches konvexes Profil“ in dem zweiten maximalen Querschnitt S2 aufweisen, der durch das dritte Ende 130 und das vierte Ende 135 verläuft.
• in diesem Fall kann die erste Oberfläche 102 der „idealen konvexen Oberfläche“ in dem ersten Glasgegenstand 100 stärker angenähert werden.
• (Weitere Merkmale des Glasgegenstands gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung)
• Als nächstes werden weitere Merkmale des Glasgegenstands gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
• Der Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann aus jedwedem Glas hergestellt sein. Die Glasgegenstände gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung können beispielsweise aus Natronkalkglas, Borosilikatglas oder alkalifreiem Glas hergestellt sein.
• Das Glas kann chemisch gehärtet oder physikalisch gehärtet sein.
• Das Glas für den Glasgegenstand weist vorzugsweise einen Brechungsindex von 1,6 oder mehr, mehr bevorzugt 1,7 oder mehr und noch mehr bevorzugt 1,8 oder mehr auf.
• Darüber hinaus weist das Glas für den Glasgegenstand vorzugsweise eine Oberflächenrauheit (Ra) von 1 nm oder weniger und mehr bevorzugt 0,5 nm oder weniger auf.
• Der Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist in einer Draufsicht eine Kreisform mit einem Radius R innerhalb eines Bereichs von 50 mm bis 150 mm, einschließlich, auf. Der Radius R liegt vorzugsweise innerhalb eines Bereichs von 75 mm bis 150 mm, einschließlich.
• In dem Beispiel, das in den 2 und 3 gezeigt ist, ist die zweite Oberfläche 104 des ersten Glasgegenstands 100 im Wesentlichen flach bzw. eben.
• Dies ist jedoch lediglich ein Beispiel und in dem Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist die Form der zweiten Oberfläche 104 nicht speziell beschränkt. Beispielsweise kann die zweite Oberfläche 104 in der gleichen Weise wie die erste Oberfläche 102 ein „spezifisches konvexes Profil“ in mindestens einem der maximalen Querschnitte aufweisen. Insbesondere kann die zweite Oberfläche 104 eine „ideale konvexe Oberfläche“ sein.
• (Verfahren zur Herstellung des Glasgegenstands gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung)
• Als nächstes wird ein Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung des Glasgegenstands gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die 4 bis 7 beschrieben.
• Die 4 zeigt schematisch einen Ablauf des Verfahrens zur Herstellung des Glasgegenstands (nachstehend als „erstes Herstellungsverfahren“ bezeichnet) gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
• Wie es in der 4 gezeigt ist, umfasst das erste Herstellungsverfahren:
• (1) Einen Schritt des Anordnens eines Glassubstrats mit einer Kreisform in einem Träger mit einer Kreisform, wobei das Glassubstrat derart in dem Träger angeordnet ist, dass ein Zentrum Oc des Trägers in einen Bereich des Glassubstrats einbezogen ist und ein Zentrum Og des Glassubstrats von dem Zentrum Oc des Trägers verschoben ist (Schritt S110);
• (2) einen Schritt des Haltens des Trägers mit einer Platte für eine obere Oberfläche und einer Platte für eine untere Oberfläche (Schritt S120); und
• (3) einen Schritt des Polierens des Glassubstrats durch Drehen des Trägers in Bezug auf die Platte für eine obere Oberfläche und die Platte für eine untere Oberfläche (Schritt S130).
• Die 5 zeigt schematisch den Aufbau einer Doppelseiten-Poliervorrichtung, die beim Implementieren des ersten Herstellungsverfahrens verwendet werden kann.
• Wie es in der 5 gezeigt ist, umfasst eine Doppelseiten-Poliervorrichtung 201 ein Sonnenrad 210, ein Hohlrad 220, eine Platte für eine obere Oberfläche 230 und eine Platte für eine untere Oberfläche 250. Das Sonnenrad 210 und das Hohlrad 220 sind derart ausgebildet, dass ihre jeweiligen Drehachsen mit dem Zentrum der Doppelseiten-Poliervorrichtung 201 zusammenfallen. Das Sonnenrad 210 ist in einer Draufsicht an dem Zentrum der Doppelseiten-Poliervorrichtung 201 angeordnet und das Hohlrad 220 ist in der Außenumfangsseite der Doppelseiten-Poliervorrichtung 201 angeordnet.
• Die Platte für eine obere Oberfläche 230 und die Platte für eine untere Oberfläche 250 sind so angeordnet, dass sie einander gegenüberliegen, und sie können sich gegenläufig drehen oder in der gleichen Richtung drehen. Die Platte für eine obere Oberfläche 230 weist ein Polierkissen (nicht gezeigt) auf der unteren Oberfläche auf, d.h., auf der Seite, die auf die Platte für eine untere Oberfläche 250 gerichtet ist. Entsprechend weist die Platte für eine untere Oberfläche 250 ein Polierkissen (nicht gezeigt) auf der oberen Oberfläche auf, d.h., auf der Seite, die auf die Platte für eine obere Oberfläche 230 gerichtet ist.
• Ein Träger 280, der das zu polierende Glassubstrat 290 stützt, ist oberhalb der Platte für eine untere Oberfläche 250 angeordnet. In dem Beispiel von 1 ist eine Mehrzahl von Trägern 280 auf der Platte für eine untere Oberfläche 250 angeordnet. Dies ist jedoch lediglich ein Beispiel und die Anzahl der Träger 280, die auf der Platte für eine untere Oberfläche 250 angeordnet sind, ist nicht speziell beschränkt.
• Der Träger 280 weist ein Zahnrad 282 auf, das in dem Umfang des Trägers 280 zum Kämmen mit dem Sonnenrad 210 und dem Hohlrad 220 ausgebildet ist.
• Nachstehend wird jeder Vorgang in dem ersten Herstellungsverfahren unter Bezugnahme auf die 6 und 7 beschrieben.
• (Schritt S110)
• Zuerst werden der Träger mit einer Kreisform 280 und das Glassubstrat mit einer Kreisform 290 hergestellt. Das Glassubstrat 290 wird innerhalb des Trägers 280 gehalten.
• Das Glassubstrat 290 weist eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche auf.
• Der Durchmesser (Innendurchmesser) Lc des Trägers 280 ist nicht speziell beschränkt und kann z.B. im Bereich von 110 mm bis 600 mm, einschließlich, liegen. Der Durchmesser Lc liegt jedoch vorzugsweise im Bereich des 1,1- bis 2-fachen des Durchmessers Lg.
• Die Dicke des Glassubstrats 290 ist nicht speziell beschränkt und kann z.B. im Bereich von 0,1 mm bis 2 mm, einschließlich, liegen.
• Auf jedem Träger 280 ist ein Glassubstrat 290 gestützt.
• Die 6 ist eine Draufsicht, die schematisch ein Beispiel eines Modus zeigt, in dem das Glassubstrat 290 in dem Träger 280 angeordnet ist.
• Wie es in der 6 gezeigt ist, ist das Glassubstrat 290 derart innerhalb des Trägers 280 angeordnet, dass das Zentrum Oc des Trägers 280 in einer Draufsicht in den Bereich des Glassubstrats 290 einbezogen ist. Das Glassubstrat 290 ist auch derart innerhalb des Trägers 280 angeordnet, dass das Zentrum Og des Glassubstrats 290 in einer Draufsicht von dem Zentrum Oc des Trägers 280 verschoben ist.
• Der Abstand d zwischen dem Zentrum Og des Glassubstrats 290 und dem Zentrum Oc des Trägers 280 liegt in einer Draufsicht beispielsweise im Bereich von 0,05 × Lg bis 0,5 × Lg. Der Abstand d ist vorzugsweise größer als oder gleich 0,1 × Lg und kleiner als oder gleich 0,25 × Lg.
• (Schritt S120)
• Als nächstes wird jeder Träger 280 auf der Platte für eine untere Oberfläche 250 angeordnet. Die Platte für eine obere Oberfläche 230 wird auf jedem Träger 280 angeordnet und jeder Träger 280 wird zwischen der Platte für eine obere Oberfläche 230 und der Platte für eine untere Oberfläche 250 gehalten.
• Folglich werden die obere Oberfläche und die untere Oberfläche jedes Glassubstrats 290 mit der Platte für eine obere Oberfläche 230 bzw. der Platte für eine untere Oberfläche 250 in Kontakt gebracht. Auf die obere Oberfläche und die untere Oberfläche jedes Glassubstrats 290 wird Druck ausgeübt.
• (Schritt S130)
• Dann werden das Sonnenrad 210 und das Hohlrad 220 in einem vorgegebenen Drehverhältnis zum Drehen des Trägers 280 gedreht, während gleichzeitig der Träger 280 entlang des Hohlrads 220 gedreht wird (Planetenantrieb). Zusätzlich werden die Platte für eine obere Oberfläche 230 und die Platte für eine untere Oberfläche 250 gedreht.
• Folglich werden die obere Oberfläche und die untere Oberfläche jedes Glassubstrats 290 durch die Platte für eine obere Oberfläche 230 und die Platte für eine untere Oberfläche 250 gleichzeitig poliert.
• Während des Polierens jedes Glassubstrats 290 kann dem Glassubstrat 290 je nach Erfordernis von der Seite der Platte für eine obere Oberfläche 230, der Seite der Platte für eine untere Oberfläche 250 oder beiden eine Polierflüssigkeit zugeführt werden.
• Durch die Verwendung der vorstehend beschriebenen Doppelseiten-Poliervorrichtung 201 können die obere und die untere Oberfläche des Glassubstrats 290 gleichzeitig poliert werden.
• Dabei ist das Glassubstrat 290 in einem Zustand angeordnet, bei dem das Zentrum Og um den Abstand d von dem Zentrum Oc des Trägers 280 „exzentrisch“ ist. In diesem Fall ist das Polierausmaß umso geringer, je größer die Nähe zum Zentrum Og des Glassubstrats 290 ist.
• Nachstehend wird der Grund dafür unter Bezugnahme auf die 7 erläutert.
• Wie es vorstehend erwähnt worden ist, wird in der Doppelseiten-Poliervorrichtung 201 der Träger 280 entlang des Hohlrad 220 umlaufen gelassen, während der Träger 280 gedreht wird. Demgemäß bewegt sich während des Poliervorgangs das Glassubstrat 290, das in dem Träger 280 gehalten ist, derart, dass es um das Hohlrad 220 umläuft, während es gedreht wird.
• Die 7 ist eine Draufsicht, die schematisch einen Zustand von verschiedenen Positionen (290A bis 290C) des Glassubstrats 290 im Betrieb der Doppelseiten-Poliervorrichtung 201 zeigt, die in der 5 gezeigt ist.
• Zur Verdeutlichung ist die Platte für eine obere Oberfläche 230 in der 7 nicht gezeigt. Ferner sind in der 7 das Sonnenrad 210 und das Hohlrad 220 schematisch gezeigt, um die Positionsbeziehung zwischen den Zahnrädern und dem Glassubstrat 290 zu verdeutlichen.
• D.h., das Sonnenrad 210 ist so gezeigt, dass es einen Außenumfangsendabschnitt 212 aufweist, der schematisch gezeigt ist, um die nächstliegende Position des Glassubstrats 290 zu dem Sonnenrad 210 zu verdeutlichen. Entsprechend ist das Hohlrad 220 so gezeigt, dass es einen Innenumfangsendabschnitt 222 aufweist, der schematisch gezeigt ist, um die nächstliegende Position des Glassubstrats 290 zu dem Hohlrad 220 zu verdeutlichen.
• Mit anderen Worten, der Außenumfangsendabschnitt 212 des Sonnenrads 210 stellt eine gedachte Grenzlinie dar, bei der das Glassubstrat 290 bezogen auf die Platte für eine untere Oberfläche 250 am stärksten einwärts angeordnet ist, und der Innenumfangsendabschnitt 222 des Hohlrads 220 stellt eine gedachte Grenzlinie für das Glassubstrat 290 dar, bei der das Glassubstrat 290 bezogen auf die Platte für eine untere Oberfläche 250 am stärksten auswärts angeordnet ist.
• Wie es in der 7 gezeigt ist, kann das Glassubstrat 290, das sich während des Poliervorgangs dreht und umläuft, die folgenden drei Positionsmodi in Bezug auf die Platte für eine untere Oberfläche 250 einnehmen:
• (i) Eine äußerste Position; d.h., eine erste Position, bei welcher der Außenumfangsendabschnitt des Glassubstrats 290 mit dem Innenumfangsendabschnitt 222 des Hohlrad 220 in Kontakt gebracht ist (das Glassubstrat 290 an dieser Position wird als „Glassubstrat 290A“ bezeichnet);
• (ii) eine innerste Position; d.h., eine zweite Position, bei welcher der Außenumfangsendabschnitt des Glassubstrats 290 mit dem Außenumfangsendabschnitt 212 des Sonnenrads 210 in Kontakt gebracht ist (das Glassubstrat 290 an dieser Position wird als „Glassubstrat 290B“ bezeichnet); und
• (iii) eine Zwischenposition; d.h., eine dritte Position zwischen (i) und (ii) (das Glassubstrat 290 an dieser Position wird als „Glassubstrat 290C“ bezeichnet).
• Als Ergebnis ist das Zentrum Og des Glassubstrats 290 lediglich in einem schraffierten Bereich 298 in der 7 angeordnet. Die gestrichelte Linie, die durch das Zentrum des Bereichs 298 verläuft, stellt die Trajektorie dar, die durch das Zentrum Oc des Trägers 280 eingenommen wird.
• Dabei ist, da es weniger wahrscheinlich ist, dass ein Poliermittel dem Zentralbereich des Glassubstrats 290 zugeführt wird als dem Außenumfangsbereich, das Ausmaß des Polierens in dem Zentralbereich des Glassubstrats 290 im Allgemeinen geringer als in dem Außenumfangsbereich. Demgemäß ist das Ausmaß des Polierens umso relativ geringer, je größer die Nähe zu dem Zentralbereich, einschließlich das Zentrum Og des Glassubstrats 290, ist.
• Folglich kann in dem ersten Herstellungsverfahren der Glasgegenstand, in dem mindestens eine der oberen Oberfläche und der unteren Oberfläche ein „spezifisches konvexes Profil“ aufweist, relativ einfach hergestellt werden.
• Dabei kann die Drehrichtung (Rotation) des Trägers 280 entgegengesetzt zu der Drehrichtung der Platte für eine untere Oberfläche 250 sein. In diesem Fall kann die relative Drehzahl des Glassubstrats 290 bezogen auf die Platte für eine untere Oberfläche 250 erhöht werden. Demgemäß kann der Glasgegenstand, bei dem die obere Oberfläche oder die untere Oberfläche ein „spezifisches konvexes Profil“ aufweist, effizienter hergestellt werden.
• Der Glasgegenstand, der durch das erste Herstellungsverfahren hergestellt worden ist, weist eine maximale Dicke beispielsweise innerhalb eines Bereichs von 0,1 mm bis 2 mm, einschließlich, auf. Der Glasgegenstand, der durch das erste Herstellungsverfahren hergestellt wird, kann auch einen Durchmesser Lg innerhalb eines Bereichs von 100 mm bis 300 mm, einschließlich, aufweisen.
• (Nutzung)
• Die Glasgegenstände gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden beispielsweise in optischen Komponenten verwendet. Der Glasgegenstand gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann beispielsweise als Lichtführungsplatte für eine auf Kopfhöhe montierte Anzeige verwendet werden.
• BEISPIEL
• Nachstehend werden Beispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben.
• (Beispiel 1)
• Eine Doppelseiten-Poliervorrichtung wurde zum Polieren von beiden Seiten eines Glassubstrats mit einer Kreisform mit einem Durchmesser von 150 mm zur Herstellung eines Glasgegenstands verwendet.
• Ein Träger mit einer Kreisform mit einem Durchmesser Lc von 228,6 mm wurde als Träger verwendet. Das Glassubstrat wurde in dem Träger mit einem Abstand d zwischen dem Zentrum Og des Glassubstrats und dem Zentrum Oc des Trägers von 25 mm angeordnet. Daher gilt d/Lg ≈ 0,17. Ferner wurde das Zentrum Oc des Trägers in einer Draufsicht innerhalb des Bereichs des Glassubstrats angeordnet.
• Der Pressdruck durch die Platte für eine obere Oberfläche und die Platte für eine untere Oberfläche betrug 40 g/cm² und die Polierzeit betrug 40 Minuten. Die Drehzahl der Platte für eine obere Oberfläche wurde auf 8 U/min eingestellt und die Drehzahl für die Platte für eine untere Oberfläche wurde auf 24 U/min eingestellt. Darüber hinaus betrug die Drehzahl des Trägers 8 U/min. Die Platte für eine obere Oberfläche und der Träger wurden in der Richtung entgegengesetzt zu der Drehrichtung der Platte für eine untere Oberfläche gedreht.
• Die Dicke eines Endabschnitts (erstes Ende) des resultierenden Glasgegenstands (nachstehend als „Probe 1“ bezeichnet) betrug etwa 325 µm.
• (Beispiel 2)
• Ein Glasgegenstand wurde in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 hergestellt. Im Beispiel 2 wurde der Abstand d auf 20 mm eingestellt. Daher betrug d/Lg ≈ 0,13. Die weiteren Bedingungen waren mit denjenigen in dem Fall von Beispiel 1 identisch. Der resultierende Glasgegenstand wird als „Probe 2“ bezeichnet.
• (Beispiel 3)
• Ein Glasgegenstand wurde in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 hergestellt. Im Beispiel 3 wurde jedoch der Abstand d auf 10 mm eingestellt. Daher betrug d/Lg ≈ 0,067. Die weiteren Bedingungen waren mit denjenigen in dem Fall von Beispiel 1 identisch. Der resultierende Glasgegenstand wird als „Probe 3“ bezeichnet.
• (Beispiel 11)
• Eine Doppelseiten-Poliervorrichtung wurde zum Polieren von beiden Seiten eines Glassubstrats mit einer Kreisform mit einem Durchmesser von 150 mm zur Herstellung eines Glasgegenstands verwendet.
• Ein Träger mit einer Kreisform mit einem Durchmesser Lc von 406,4 mm wurde als Träger verwendet. Das Glassubstrat wurde in dem Träger mit einem Abstand d zwischen dem Zentrum Og des Glassubstrats und dem Zentrum Oc des Trägers von 110 mm angeordnet. Demgemäß war das Zentrum Oc des Trägers in einer Draufsicht an einer Position außerhalb des Bereichs des Glassubstrats angeordnet.
• Der Pressdruck durch die Platte für eine obere Oberfläche und die Platte für eine untere Oberfläche betrug 40 g/cm² und die Polierzeit betrug 60 Minuten. Die Drehzahl der Platte für eine obere Oberfläche wurde auf 6 U/min eingestellt und die Drehzahl für die Platte für eine untere Oberfläche wurde auf 18 U/min eingestellt. Darüber hinaus betrug die Drehzahl des Trägers 6 U/min. Die Platte für eine obere Oberfläche und der Träger wurden in der Richtung entgegengesetzt zu der Drehrichtung der Platte für eine untere Oberfläche gedreht.
• Die Dicke eines Endabschnitts (des ersten Endes) des resultierenden Glasgegenstands betrug etwa 325 µm.
• Der resultierende Glasgegenstand wird als „Probe 11“ bezeichnet.
• (Beispiel 12)
• Ein Glasgegenstand wurde mit dem gleichen Verfahren wie im Beispiel 11 hergestellt. Im Beispiel 12 betrug jedoch die Polierzeit 90 Minuten. Die weiteren Bedingungen waren jedoch mit denjenigen in dem Fall von Beispiel 11 identisch. Der resultierende Glasgegenstand wird als „Probe 12“ bezeichnet.
• (Beispiel 13)
• Ein Glasgegenstand wurde mit dem gleichen Verfahren wie im Beispiel 11 hergestellt. Im Beispiel 13 wurde jedoch die Polierzeit auf 150 Minuten eingestellt. Die weiteren Bedingungen waren jedoch mit denjenigen in dem Fall von Beispiel 11 identisch. Der resultierende Glasgegenstand wird als „Probe 13“ bezeichnet.
• (Bewertung)
• Ein Dickenprofil jeder Probe wurde durch ein Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs gemessen. Für die Messung wurde ein Messgerät (FlatMaster 200 von Corning Tropel Corporation) verwendet.
• Für jede Probe wurde die Dickenprofilmessung über dem Bereich von dem ersten Ende durch das Zentrum Og der Probe zu dem entgegengesetzten Endabschnitt durchgeführt (als „Messung in der X-Richtung“ bezeichnet). Das erste Ende ist ein Endabschnitt, der frei ausgewählt wurde.
• Ferner wurde die Dickenprofilmessung über dem Bereich von dem dritten Ende, das um 90° von dem ersten Ende um das Zentrum Og als Drehachse gedreht ist, durch das Zentrum Og der Probe zu dem entgegengesetzten Endabschnitt durchgeführt (als „Messung in der Y-Richtung“ bezeichnet).
• Die 8 und 9 zeigen Ergebnisse der Messung in der X-Richtung bzw. der Messung in der Y-Richtung, die für die Probe 1 erhalten worden sind. Die 10 und 11 zeigen Ergebnisse der Messung in der X-Richtung bzw. der Messung in der Y-Richtung, die für die Probe 2 erhalten worden sind. Die 12 und 13 zeigen Ergebnisse der Messung in der X-Richtung bzw. der Messung in der Y-Richtung, die für die Probe 3 erhalten worden sind. Die 14 und 15 zeigen Ergebnisse der Messung in der X-Richtung bzw. der Messung in der Y-Richtung, die für die Probe 11 erhalten worden sind. Die 16 und 17 zeigen Ergebnisse der Messung in der X-Richtung bzw. der Messung in der Y-Richtung, die für die Probe 12 erhalten worden sind. Darüber hinaus zeigen die 18 und 19 Ergebnisse der Messung in der X-Richtung bzw. der Messung in der Y-Richtung, die für die Probe 13 erhalten worden sind.
• In jeder dieser Figuren stellt die horizontale Achse eine Position (Einheit: mm) der Probe dar und der Ursprung 0 ist das Zentrum Og der Probe. Die vertikale Achse stellt eine Verschiebung der Höhe (Einheit: µm) an jeder Position bezogen auf die minimale Plattendicke der Probe dar.
• Aufgrund dieser Ergebnisse wurde bei der Probe 11 und der Probe 13 gefunden, dass die Mittelachse der Probe von der Position der maximalen Dicke verschoben war. Ferner wurde bei der Probe 12 gefunden, dass das monoton abnehmende Profil von dem Zentrum zu dem dritten Ende nicht erhalten wurde, wie es in der 17 gezeigt ist.
• Im Gegensatz dazu wurde bei Probe 1 bis Probe 3 gefunden, dass die Mittelachse der Probe mit der Position der maximalen Dicke nahezu zusammenfiel und es wurde gefunden, dass ein monoton abnehmendes Profil über dem Bereich von dem Zentrum Og zu dem Endabschnitt in jedweder der Messung in der X-Richtung und der Messung in der Y-Richtung erhalten wurde.
• Folglich wurde bestätigt, dass in Probe 1 bis Probe 3 das „spezifische konvexe Profil“ auf der Oberfläche in jedwedem des „maximalen Querschnitts“ in der X-Richtung und des „maximalen Querschnitts“ in der Y-Richtung erhalten wurde.
• Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der japanischen Patentanmeldung Nr. 2020-076645 , die am 23. April 2020 eingereicht worden ist und deren gesamter Inhalt unter Bezugnahme hierin einbezogen ist.
• Bezugszeichenliste

1

Glasgegenstand

2

Obere Oberfläche

12

Endabschnitt

100

Erster Glasgegenstand

102

Erste Oberfläche

104

Zweite Oberfläche

120

Erstes Ende

125

Zweites Ende

130

Drittes Ende

135

Viertes Ende

201

Doppelseiten-Poliervorrichtung

210

Sonnenrad

212

Außenumfangsendabschnitt (des Sonnenrads)

220

Hohlrad

222

Innenumfangsendabschnitt (des Hohlrads)

230

Platte für eine obere Oberfläche

250

Platte für eine untere Oberfläche

280

Träger

282

Zahnrad

21

Glassubstrat

298

Bereich

S1

Erster maximaler Querschnitt

S2

Zweiter maximaler Querschnitt

• ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
• Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
• Zitierte Patentliteratur
• JP 2014138973 [0003]
• JP 2020076645 [0134]

Claims (8)

1. Glasgegenstand, der eine erste Oberfläche mit einer Kreisform umfasst, wobei ein Radius R des Glasgegenstands innerhalb eines Bereichs von 50 mm bis 150 mm, einschließlich, liegt, wenn in dem Glasgegenstand to eine Dicke an einem Zentrum Og ist, ein erstes Ende ein Endabschnitt ist, t1 eine Dicke am ersten Ende ist, tx’ eine Dicke an jedweder Position X, ausgenommen das erste Ende und das Zentrum Og, zwischen dem ersten Ende und dem Zentrum Og ist, und eine Dicke von einer Seite der ersten Oberfläche des Glasgegenstands durch ein Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs gemessen wird, Bedingungen von (a) $$\mathrm{0,1}\text{ mm}<\text{to}<2\text{ mm}$$

   

   (b1) $$1<\text{to/t}1\le \mathrm{1,1}$$

   

   (c1) $$\text{to}>\text{tx}\text{'}>\text{t}1$$

   

   und (d1) $${\text{tx}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}1\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}1$$

   

   erfüllt sind, wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist und tx_n eine Dicke an einer Position X_n von R × (n/5) von dem ersten Ende zu dem Zentrum Og darstellt, und wobei, wenn ein zweites Ende ein Endabschnitt entgegengesetzt zu dem ersten Ende in Bezug auf das Zentrum Og ist, t2 eine Dicke am zweiten Ende ist, tx'' eine Dicke an jedweder Position W, ausgenommen das zweite Ende und das Zentrum Og, zwischen dem zweiten Ende und dem Zentrum Og ist, und eine Dicke von einer Seite der ersten Oberfläche des Glasgegenstands durch das Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs gemessen wird, Bedingungen von (b2) $$1<\text{to/t}2\le \mathrm{1,1}$$

   

   (c2) $$\text{to}>\text{tx}\text{'}\text{'}>\text{t}2$$

   

   und (d2) $${\text{tw}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}2\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}2$$

   

   erfüllt sind, wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist und tw_n eine Dicke an einer Position W_n von R × (n/5) von dem zweiten Ende zu dem Zentrum Og darstellt.
2. Glasgegenstand nach Anspruch 1, wobei wenn ein drittes Ende eine Position ist, die um 90° von dem ersten Ende um das Zentrum Og als Zentrum gedreht ist, t3 eine Dicke am dritten Ende ist, ty' eine Dicke an jedweder Position Y, ausgenommen das dritte Ende und das Zentrum Og, zwischen dem dritten Ende und dem Zentrum Og ist, und eine Dicke von einer Seite der ersten Oberfläche des Glasgegenstands durch das Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs gemessen wird, Bedingungen von (e1) $$1<\text{to/t}3\le \mathrm{1,1}$$

   

   (f1) $$\text{to}>\text{ty}\text{'}>\text{t}3$$

   

   und (g1) $${\text{ty}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}3\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}3$$

   

   erfüllt sind, wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist und ty_n eine Dicke an einer Position Y_n von R × (n/5) von dem dritten Ende zu dem Zentrum Og darstellt, und wobei wenn ein viertes Ende ein Endabschnitt entgegengesetzt zu dem dritten Ende in Bezug auf das Zentrum Og ist, t4 eine Dicke an dem vierten Ende ist, ty'' eine Dicke an jedweder Position V, ausgenommen das vierte Ende und das Zentrum Og, zwischen dem vierten Ende und dem Zentrum Og ist, und eine Dicke von einer Seite der ersten Oberfläche des Glasgegenstands durch das Dickenmessverfahren des optischen Interferometrie-Typs gemessen wird, Bedingungen von (e2) $$1<\text{to/t}4\le \mathrm{1,1}$$

   

   (f2) $$\text{to}>\text{ty}\text{'}\text{'}>\text{t}4$$

   

   und (g2) $${\text{tv}}_{\text{n}}\ge \left(\text{to}-\text{t}4\right)\times \left(\text{n/}5\right)+\text{t}4$$

   

   erfüllt sind, wobei n jedwede ganze Zahl von 1 bis 5 ist und tv_n eine Dicke an einer Position V_n von R × (n/5) von dem vierten Ende zu dem Zentrum Og darstellt.
3. Verfahren zur Herstellung eines Glasgegenstands, umfassend: Halten eines Trägers mit einer Kreisform, in dem ein Glassubstrat mit einer Kreisform gehalten ist, mit einer Platte für eine obere Oberfläche und einer Platte für eine untere Oberfläche, und Polieren des Glassubstrats durch Drehen des Trägers in Bezug auf die Platte für eine obere Oberfläche und die Platte für eine untere Oberfläche, so dass der Glasgegenstand erhalten wird, wobei das Glassubstrat derart in dem Träger angeordnet ist, dass in einer Draufsicht ein Zentrum Oc des Trägers in einen Bereich des Glassubstrats einbezogen ist, und ein Zentrum Og des Glassubstrats von dem Zentrum Oc des Trägers verschoben ist.
4. Verfahren zur Herstellung eines Glasgegenstands nach Anspruch 3, wobei wenn Lg ein Durchmesser des Glassubstrats ist, ein Abstand d zwischen dem Zentrum Oc und dem Zentrum Og in einer Draufsicht eine Bedingung von 0,05 × Lg ≤ d ≤ 0,5 × Lg erfüllt.
5. Verfahren zur Herstellung eines Glasgegenstands nach Anspruch 4, wobei der Abstand d größer als oder gleich 0,1 × Lg ist.
6. Verfahren zur Herstellung eines Glasgegenstands nach Anspruch 4 oder 5, wobei der Abstand d kleiner als oder gleich 0,25 × Lg ist.
7. Verfahren zur Herstellung eines Glasgegenstands nach einem der Ansprüche 3 bis 6, wobei der Glasgegenstand eine maximale Dicke innerhalb eines Bereichs von 0,1 mm bis 2 mm, einschließlich, aufweist.
8. Verfahren zur Herstellung eines Glasgegenstands nach einem der Ansprüche 3 bis 7, wobei der Glasgegenstand einen Radius innerhalb eines Bereichs von 50 mm bis 150 mm, einschließlich, aufweist.

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