KR20230008030A - 유리 물품 및 유리 물품의 제조 방법 - Google Patents

유리 물품 및 유리 물품의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20230008030A
KR20230008030A KR1020227034744A KR20227034744A KR20230008030A KR 20230008030 A KR20230008030 A KR 20230008030A KR 1020227034744 A KR1020227034744 A KR 1020227034744A KR 20227034744 A KR20227034744 A KR 20227034744A KR 20230008030 A KR20230008030 A KR 20230008030A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
center
thickness
glass article
glass
glass substrate
Prior art date
Application number
KR1020227034744A
Other languages
English (en)
Inventor
도루 모모세
오사무 사토
히로후미 야마모토
노부히코 다케시타
Original Assignee
에이지씨 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에이지씨 가부시키가이샤 filed Critical 에이지씨 가부시키가이샤
Publication of KR20230008030A publication Critical patent/KR20230008030A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27—Work carriers
    • B24B37/28—Work carriers for double side lapping of plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/12—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C19/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by mechanical means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

유리 물품의 제조 방법으로서, 원형의 유리 기판이 유지된 원형의 캐리어를, 상정반과 하정반으로 사이에 두고, 상기 캐리어를 상정반 및 하정반에 대해 회전시킴으로써, 상기 유리 기판을 연마하여, 유리 물품을 얻는 공정을 갖고, 상기 유리 기판은, 상면에서 보았을 때, 상기 캐리어의 중심 Oc 가 상기 유리 기판의 영역에 포함되고, 상기 유리 기판의 중심 Og 가 상기 캐리어의 중심 Oc 에 대해 어긋나도록, 상기 캐리어 내에 배치되는, 제조 방법.

Description

유리 물품 및 유리 물품의 제조 방법
본 발명은, 유리 물품 및 유리 물품의 제조 방법에 관한 것이다.
예를 들어, 두께가 0.1 ㎜ 정도인 얇은 유리 물품은, 각종 분야에 있어서 폭넓게 이용되고 있다. 그러한 얇은 유리 물품은, 양면 연마 장치에 의해, 유리 기판의 양면을 연마함으로써 제조될 수 있다.
일본 공개특허공보 2014-138973호
얇은 유리 물품은, 핸들링이 비교적 어렵다는 문제가 있다. 예를 들어, 얇은 유리 물품은, 반송 중에 굽히거나, 휘거나 하는 경우가 있고, 현저한 경우, 이로 인해 균열이 발생해 버리는 경우가 있다.
본 발명은, 이러한 배경를 감안하여 이루어진 것으로, 본 발명에서는, 핸들링이 비교적 용이하여, 휨이나 굽힘을 유의적으로 억제하는 것이 가능한 유리 물품을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또, 본 발명에서는, 그러한 유리 물품의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에서는, 원형의 제 1 표면을 갖는 유리 물품으로서,
당해 유리 물품의 반경 R 은, 50 ㎜ ∼ 150 ㎜ 의 범위이고,
당해 유리 물품에 있어서, 중심 Og 에 있어서의 두께를 to 로 하고, 어느 하나의 단부를 제 1 단부로 하고, 그 제 1 단부에 있어서의 두께를 t1 로 하고, 상기 제 1 단부로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 X (단 상기 제 1 단부 및 상기 중심 Og 를 제외한다) 에 있어서의 두께를 tx' 로 하고,
광학 간섭식 두께 측정법에 의해, 당해 유리 물품의 상기 제 1 표면의 측으로부터 두께를 측정했을 때,
Figure pct00001
(여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이고, txn 은, 상기 제 1 단부로부터 상기 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Xn 에 있어서의 두께를 나타낸다)
가 성립하고,
상기 중심 Og 를 중심으로, 상기 제 1 단부와는 반대측에 있는 단부를 제 2 단부로 하고, 그 제 2 단부에 있어서의 두께를 t2 로 하고, 상기 제 2 단부로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 W (단 상기 제 2 단부 및 상기 중심 Og 를 제외한다) 에 있어서의 두께를 tx" 로 하고,
상기 광학 간섭식 두께 측정법에 의해, 당해 유리 물품의 상기 제 1 표면의 측으로부터 두께를 측정했을 때,
Figure pct00002
(여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이고, twn 은, 상기 제 2 단부로부터 상기 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Wn 에 있어서의 두께를 나타낸다)
가 성립하는, 유리 물품이 제공된다.
또, 본 발명에서는, 유리 물품의 제조 방법으로서,
원형의 유리 기판이 유지된 원형의 캐리어를, 상정반과 하정반으로 사이에 두고, 상기 캐리어를 상정반 및 하정반에 대해 회전시킴으로써, 상기 유리 기판을 연마하여, 유리 물품을 얻는 공정을 갖고,
상기 유리 기판은, 상면에서 보았을 때,
상기 캐리어의 중심 Oc 가 상기 유리 기판의 영역에 포함되고,
상기 유리 기판의 중심 Og 가 상기 캐리어의 중심 Oc 에 대해 어긋나도록, 상기 캐리어 내에 배치되는, 제조 방법이 제공된다.
본 발명에서는, 핸들링이 비교적 용이하여, 휨이나 구부러짐을 유의적으로 억제하는 것이 가능한 유리 물품을 제공할 수 있다. 또, 본 발명에서는, 그러한 유리 물품의 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품에 있어서의 하나의 특징을 설명하기 위한 개략도이다.
도 2 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품의 단면의 일례를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 3 은, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품의 다른 단면의 일례를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 4 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품의 제조 방법의 플로의 일례를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 5 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품의 제조 방법을 실시할 때에 사용될 수 있는, 양면 연마 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6 은, 캐리어 내에 유리 기판이 배치된 양태의 일례를 모식적으로 나타낸 상면도이다.
도 7 은, 유리 기판의 중심을 캐리어의 중심으로부터 어긋나게 했을 때의 효과를 설명하기 위한 개략적인 상면도이다.
도 8 은, 샘플 1 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
도 9 는, 샘플 1 에 있어서 얻어진 Y 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
도 10 은, 샘플 2 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
도 11 은, 샘플 2 에 있어서 얻어진 Y 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
도 12 는, 샘플 3 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
도 13 은, 샘플 3 에 있어서 얻어진 Y 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
도 14 는, 샘플 11 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
도 15 는, 샘플 11 에 있어서 얻어진 Y 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
도 16 은, 샘플 12 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
도 17 은, 샘플 12 에 있어서 얻어진 Y 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
도 18 은, 샘플 13 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
도 19 는, 샘플 13 에 있어서 얻어진 Y 방향의 측정 결과를 나타낸 그래프이다.
이하, 본 발명의 일 실시형태에 대해 설명한다.
전술한 바와 같이, 얇은 유리 물품은, 반송 중에 구부러지거나, 휘거나 하는 경우가 있고, 현저한 경우, 이로 인해 균열이 발생해 버린다는 문제가 있다.
이에 대하여, 본 발명의 일 실시형태에서는, 원형의 제 1 표면을 갖는 유리 물품으로서,
당해 유리 물품의 반경 R 은, 50 ㎜ ∼ 150 ㎜ 의 범위이고,
당해 유리 물품에 있어서, 중심 Og 에 있어서의 두께를 to 로 하고, 어느 하나의 단부를 제 1 단부로 하고, 그 제 1 단부에 있어서의 두께를 t1 로 하고, 상기 제 1 단부로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 X (단 상기 제 1 단부 및 상기 중심 Og 를 제외한다) 에 있어서의 두께를 tx' 로 하고,
광학 간섭식 두께 측정법에 의해, 당해 유리 물품의 상기 제 1 표면의 측으로부터 두께를 측정했을 때,
Figure pct00003
(여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이고, txn 은, 상기 제 1 단부로부터 상기 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Xn 에 있어서의 두께를 나타낸다)
가 성립하고,
상기 중심 Og 를 중심으로, 상기 제 1 단부와는 반대측에 있는 단부를 제 2 단부로 하고, 그 제 2 단부에 있어서의 두께를 t2 로 하고, 상기 제 2 단부로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 W (단 상기 제 2 단부 및 상기 중심 Og 를 제외한다) 에 있어서의 두께를 tx" 로 하고,
상기 광학 간섭식 두께 측정법에 의해, 당해 유리 물품의 상기 제 1 표면의 측으로부터 두께를 측정했을 때,
Figure pct00004
(여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이고, twn 은, 상기 제 2 단부로부터 상기 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Wn 에 있어서의 두께를 나타낸다)
가 성립하는, 유리 물품이 제공된다.
본원에 있어서,「유리 물품」이란, 유리 기판을 연마 처리함으로써 얻어지는 물품을 의미한다. 따라서, 유리 기판은, 유리 물품을 제조하기 위한 피연마 재료로서 이용된다.
또, 본원에 있어서,「광학 간섭식 두께 측정법」이란, 표리면으로부터의 반사광의 위상차에 의해, 측정 대상물의 두께 분포를 측정하는 방법을 의미한다. 그러한 측정 장치에는, 예를 들어, Corning-Tropel 사의 광학 간섭식 두께 측정 장치 (FlatMaster200) 등이 포함된다.
여기서, 상기 조건 (c1) 은, 유리 물품의 중심 Og 를 통과하는 하나의 단면에 있어서, 일방의 단부 (즉 제 1 단부) 로부터 중심 Og 에 걸쳐, 유리 물품의 두께가, 제 1 단부의 두께 t1 과 중심 Og 의 두께 to 사이에 있는 것을 나타낸다. 마찬가지로, 상기 조건 (c2) 는, 상기 단면에 있어서, 타방의 단부 (즉 제 2 단부) 로부터 중심 Og 에 걸쳐, 유리 물품의 두께가, 제 2 단부의 두께 t2 와 중심 Og 의 두께 to 사이에 있는 것을 나타낸다.
또, 조건 (d1) 및 조건 (d2) 는, 상기 단면에 있어서, 유리 물품의 두께가, 중심 부분으로부터 각각의 단부를 향해 단조롭게 감소하는 프로파일을 갖는 것을 나타낸다.
이하, 도 1 을 참조하여, 조건 (d1) 에 대해 보다 상세하게 설명한다.
도 1 에는, 원형의 상면을 갖는 유리 물품에 있어서의 중심 Og 를 통과하는 단면의 절반의 부분을 모식적으로 나타낸다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 이 유리 물품 (1) 은, 상면 (2) 을 갖고, 반경이 R 이다. 또, 유리 물품 (1) 은, 중심 Og 에 있어서 두께 to 를 갖고, 단부 (12) 에 있어서 두께 t1 을 갖는다. 또한, 도 1 에는, 유리 물품 (1) 에 있어서의 단부 (12) 로부터 중심 Og 까지의 상면의 프로파일이 모식적으로 나타나 있다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 단부 (12) 로부터 중심 Og 를 향하여, 반경 R 을 5 등분하고, 각각의 위치를, X1 ∼ X5 로 나타낸다. 또한, 위치 X5 는, 중심 Og 에 대응한다.
각 위치 Xn (단, n 은 1 ∼ 5 의 정수) 에 있어서의 유리 물품 (1) 의 두께를 txn 으로 한다. 또한, n = 5 일 때의 위치 X5 에 있어서의 두께 tx5 = to 이다.
단부 (12) 의 상면 (2) 에 있어서의 점 Q1 로부터, 중심 Og 의 상면 (2) 에 있어서의 위치 Qo 를 통과하는 직선 Q 를 긋는다. 각 위치 Xn 에 있어서의 수선과, 직선 Q 의 교점을 Pn 으로 한다. 예를 들어, 위치 X1 에 있어서의 수선과 직선 Q 의 교점은, P1 로 나타내고, 위치 X2 에 있어서의 수선과 직선 Q 의 교점은, P2 로 나타내며, 이하 동일하다. 단, 점 P5 = 위치 Qo 이다.
여기서, 각 위치 Xn 에 있어서의 점 Pn 의 높이는, (to ― t1) × (n/5) ＋ t1 로 나타내진다. 이러한 점 Pn 의 높이는, 전술한 (d1) 의 조건에 있어서의 우변을 나타낸다. 따라서, 조건 (d1) 은, 단부 (12) 로부터 중심 Og 를 향하여 반경 R 을 5 등분했을 때에 얻어지는 각 위치 Xn 에 있어서, 유리 물품 (1) 의 두께 txn 가, 점 Pn 의 높이와 동등하거나, 그것보다 큰 것을 의미한다.
따라서, 유리 물품 (1) 이 조건 (d1) 을 만족하는 경우, 그러한 유리 물품 (1) 의 상면 (2) 은, 중심 부분으로부터 단부 (12) 를 향하여, 두께가 단조롭게 감소하는 프로파일을 갖는다고 할 수 있다.
또한, 엄밀하게는, 조건 (d1) 을 만족하는 경우여도, 위치 Xn-1 과 위치 Xn 사이에, 두께가 단조롭게 변화하지 않는 영역이 존재하는 것이 생각된다. 그 경우, 상면 (2) 은, 두께가 단조롭게 감소하는 프로파일을 갖는다고는 할 수 없을 가능성이 있다. 그러나, 본원 발명자들에 의하면, 반경 R 이 50 ㎜ ∼ 150 ㎜ 의 범위인 유리 물품 (1) 의 경우, n = 5 로서 조건 (d1) 이 만족되면, 그러한 상면 (2) 은, 두께가 단조롭게 감소하는 프로파일을 가질 개연성이 높은 것이 경험적으로 파악되고 있다.
따라서, 유리 물품 (1) 이 조건 (d1) 을 만족하는 경우, 그러한 유리 물품 (1) 의 상면 (2) 은, 중심 위치가 가장 두껍고, 중심 위치로부터 단부 (12) (제 1 단부) 를 향해 두께가 단조롭게 감소하는 프로파일을 갖는다고 할 수 있다.
또, 도 1 에는 나타내지 않지만, 조건 (d2) 로부터, 제 2 단부로부터 중심 Og 까지의 상면의 프로파일에 대해서도 동일한 것을 말할 수 있다.
이하, 유리 물품의 중심 Og 를 통과하는 하나의 단면 (이하,「최대 단면」이라고 칭한다) 에 있어서, 조건 (b1) ∼ (d1), 그리고 조건 (b2) ∼ (d2) 를 만족하는 프로파일을, 특히「특정 볼록상 프로파일」이라고 칭한다.
또한, 상기 조건 (b1) ∼ (d1), 그리고 조건 (b2) ∼ (d2) 는, 하나의「최대 단면」에 있어서의 제 1 표면의 프로파일을 정한 것에 불과하다. 즉, 상기 조건으로부터는, 다른 최대 단면에 있어서의 제 1 표면의 프로파일에 관한 정보는 얻어지지 않는다.
그러나, 본원 발명자들에 의하면, 양면 연마 장치에 의한 연마에 의해 제조된 유리 물품에서는, 하나의 최대 단면이 전술한 조건 (b1) ∼ (d1), 그리고 조건 (b2) ∼ (d2) 를 만족하는 경우, 다른 최대 단면에 있어서도, 조건 (b1) ∼ (d1), 그리고 조건 (b2) ∼ (d2) 가 만족되는 경우가 많은 것이 경험적으로 파악되어 있다.
즉, 하나의 최대 단면에 있어서, 상기 조건 (b1) ∼ (d1), 그리고 조건 (b2) ∼ (d2) 가 만족되는 한, 그러한 유리 물품이, 임의의 최대 단면에 있어서,「특정 볼록상 프로파일」을 가질 개연성은 높다고 할 수 있다. 이하, 모든 최대 단면에 있어서,「특정 볼록상 프로파일」을 갖는 표면을, 특별히「이상 볼록상 표면」이라고도 칭한다.
이상과 같이, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품은, 제 1 표면이 특정 볼록상 프로파일을 갖는다. 이러한 유리 물품에서는, 예를 들어, 그 유리 물품을, 제 1 표면의 반대측으로부터 유리 물품의 중앙 부근에서 지지하는 것에 의해, 유리 물품에 발생할 수 있는 휨 또는 구부러짐을 유의적으로 억제할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품은, 두께가 비교적 얇은 경우에도, 비교적 간단하게 핸들링할 수 있다.
또, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품에서는, 특정 볼록상 프로파일을 갖는 제 1 표면의 효과에 의해, 유리 물품의 세정 중 또는 세정 후에, 세정액에 의한 얼룩이나 불균일이 발생하는 리스크를 용이하게 경감시킬 수 있다.
또, 유리 물품의 양 표면이 평탄한 경우, 그러한 유리 물품을 복수 장 적층하면, 유리 물품끼리가 꼭 맞게 밀착되어 버려, 서로 분리되는 것이 어려워지는 경우가 있다. 또, 적층시에, 그러한 유리 물품끼리의 밀착을 회피하기 위해, 유리 물품끼리 사이에 스페이서와 같은 개재물을 개재시킨 경우, 개재물의 성분이 유리 물품에 부착되는 리스크가 높아진다.
그러나, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품에서는, 복수 장 적층해도, 유리 물품끼리가 밀착하는 것이 경감되기 때문에, 개재물을 사용하지 않아도, 유리 물품을 한 장씩 분리하는 것을 용이하게 실시할 수 있게 된다.
또, 예를 들어, 평탄한 유리 물품을, 진공 흡착 방식 등으로 각종 장치에 척 고정시키면, 유리 물품의 양 단측이 당겨져, 중앙 부분이 오목한 상태로 변형되는 경우가 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품은, 특정 볼록상 프로파일을 갖는 제 1 표면을 갖고, 미리 중앙 부분이 두껍게 형성되어 있다. 이 때문에, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품에서는, 척 상태에 있어서의 평탄도를 유의적으로 높일 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품에서는, 예를 들어, 나노 임프린트 처리의 전사 후에, 전사된 수지를 임프린트 몰드로부터 릴리스하는 것이 용이해진다는 이점이 얻어진다.
또, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품에서는, 추가로, 중심 Og 를 중심으로, 제 1 단부로부터 90˚회전한 위치를 제 3 단부로 하고, 그 제 3 위치에 있어서의 두께를 t3 으로 하고, 제 3 단부로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 Y (단 제 3 단부 및 중심 Og 를 제외한다) 에 있어서의 두께를 ty' 로 하고,
상기 광학 간섭식 두께 측정법에 의해, 제 1 표면의 측으로부터 두께를 측정했을 때,
Figure pct00005
(여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이고, tyn 은, 상기 제 3 단부로부터 상기 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Yn 에 있어서의 두께를 나타낸다)
이 성립하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품에서는, 중심 Og 를 중심으로, 제 3 단부와는 반대측에 있는 단부를 제 4 단부로 하고, 그 제 4 단부에 있어서의 두께를 t4 로 하고, 제 4 단부로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 V (단 제 4 단부 및 중심 Og 를 제외한다) 에 있어서의 두께를 ty" 로 하고,
상기 광학 간섭식 두께 측정법에 의해, 제 1 표면의 측으로부터 두께를 측정했을 때,
Figure pct00006
(여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이고, tvn 은, 상기 제 4 단부로부터 상기 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Vn 에 있어서의 두께를 나타낸다)
이 성립하는 것이 바람직하다.
이러한 유리 물품에서는, 중심 Og 를 회전축으로 하여, 제 1 단부로부터 90˚회전된 위치에 있는 제 3 단부를 통과하는 최대 단면에 있어서도, 특정 볼록상 프로파일을 갖는 제 1 표면을 얻을 수 있다.
따라서, 이 경우, 유리 물품에 있어서의 제 1 표면을, 보다 한층「이상 볼록상 표면」에 가깝게 하는 것이 가능해진다.
(본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품)
이하, 도 2 를 참조하여, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품에 대해, 보다 상세하게 설명한다.
도 2 에는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품의 단면의 일 형태를 모식적으로 나타낸다. 또한, 도 2 에는, 유리 물품의 중심 Og 를 통과하는 단면, 즉「최대 단면」이 나타나 있다. 이하, 도 2 에 나타낸 최대 단면을,「제 1 최대 단면 (S1)」이라고 칭한다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품 (이하,「제 1 유리 물품」이라고 칭한다) (100) 은, 제 1 표면 (102) 및 제 2 표면 (104) 을 갖는다. 도 2 로부터는 명확하지 않지만, 제 1 표면 (102) 및 제 1 유리 물품 (100) 은, 상면에서 보았을 때, 대략 원형의 형태를 갖는다. 또, 제 1 유리 물품 (100) 은, 중심 Og 에 대해 대칭인 위치에, 제 1 단부 (120) 및 제 2 단부 (125) 를 갖는다.
여기서, 제 1 유리 물품 (100) 은, 전술한 조건 (a) ∼ (d1), 및 (b2) ∼ (d2) 를 만족한다.
즉, 제 1 유리 물품 (100) 은, 중심 Og 에 있어서 두께 to 를 갖고, 그 두께 to 는, 0.1 ㎜ 초과, 2 ㎜ 미만이다. 두께 to 는, 0.2 ㎜ ∼ 1.1 ㎜ 의 범위인 것이 바람직하다.
또, 제 1 유리 물품 (100) 은, 제 1 단부 (120) 에 있어서의 두께를 t1 로 했을 때, 1 ＜ to/t1 ≤ 1.1 을 만족한다. to/t1 은, 1.05 이하인 것이 바람직하다.
또, 제 1 유리 물품 (100) 은, 제 1 단부 (120) 로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 X (단, 제 1 단부 (120) 및 중심 Og 는 제외한다) 에 있어서의 두께를 tx' 로 했을 때, to ＞ tx' ＞ t1 을 만족한다.
또, 제 1 유리 물품 (100) 에 있어서, 제 1 단부 (120) 로부터 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Xn 에 있어서의 두께를 txn 으로 했을 때,
Figure pct00007
이다. 여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이다.
또한, 제 1 유리 물품 (100) 은, 제 2 단부 (125) 에 있어서의 두께를 t2 로 했을 때, 1 ＜ to/t2 ≤ 1.1 을 만족한다. to/t2 는, 1.05 이하인 것이 바람직하다.
또, 제 1 유리 물품 (100) 은, 제 2 단부 (125) 로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 W (단, 제 2 단부 (125) 및 중심 Og 는 제외한다) 에 있어서의 두께를 tx" 로 했을 때, to ＞ tx" ＞ t2 를 만족한다.
또, 제 1 유리 물품 (100) 에 있어서, 제 2 단부 (125) 로부터 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Wn 에 있어서의 두께를 twn 으로 했을 때,
Figure pct00008
이다. 여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이다.
이와 같이, 제 1 유리 물품 (100) 의 제 1 표면 (102) 은, 제 1 단부 (120) 및 제 2 단부 (125) 를 통과하는 제 1 최대 단면 (S1) 에 있어서「특정 볼록상 프로파일」을 갖는다.
따라서, 제 1 유리 물품 (100) 에서는, 핸들링시에 유리 물품에 발생할 수 있는 휨 또는 구부러짐을 유의적으로 억제할 수 있다. 또, 이로 인해, 제 1 유리 물품 (100) 은, 비교적 간단하게 핸들링할 수 있다.
여기서, 제 1 유리 물품 (100) 은, 추가로, 상기 조건 (e1) ∼ (g1) 및 (e2) ∼ (g2) 를 만족하고 있어도 된다.
이하, 도 3 을 참조하여, 이러한 특징에 대해 설명한다.
도 3 에는, 제 1 유리 물품 (100) 의 다른 최대 단면의 일 형태를 모식적으로 나타낸다. 도 3 에는, 도 2 에 나타낸 제 1 최대 단면 (S1) 의 위치로부터, 중심 Og 를 중심축으로 하여 90˚회전했을 때에 얻어지는 최대 단면 (이하,「제 2 최대 단면」이라고 칭한다) 이 나타나 있다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 제 2 최대 단면 (S2) 은, 중심 Og 에 대해 대칭인 위치에, 제 3 단부 (130) 및 제 4 단부 (135) 를 갖는다.
제 1 유리 물품 (100) 은, 제 3 단부 (130) 에 있어서의 두께를 t3 으로 했을 때, 1 ＜ to/t3 ≤ 1.1 을 만족한다. to/t3 은, 1.05 이하인 것이 바람직하다.
또, 제 1 유리 물품 (100) 은, 제 3 단부 (130) 로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 Y (단, 제 3 단부 (130) 및 중심 Og 는 제외한다) 에 있어서의 두께를 ty' 로 했을 때, to ＞ ty' ＞ t1 을 만족한다.
또, 제 1 유리 물품 (100) 에 있어서, 제 3 단부 (130) 로부터 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Yn 에 있어서의 두께를 tyn 으로 했을 때,
Figure pct00009
이다. 여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이다.
또한, 제 1 유리 물품 (100) 은, 제 4 단부 (135) 에 있어서의 두께를 t4 로 했을 때, 1 ＜ to/t4 ≤ 1.1 을 만족한다. to/t4 는, 1.05 이하인 것이 바람직하다.
또, 제 1 유리 물품 (100) 은, 제 4 단부 (135) 로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 W (단, 제 4 단부 (135) 및 중심 Og 는 제외한다) 에 있어서의 두께를 ty" 로 했을 때, to ＞ ty" ＞ t4 를 만족한다.
또, 제 1 유리 물품 (100) 에 있어서, 제 4 단부 (135) 로부터 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Wn 에 있어서의 두께를 tvn 으로 했을 때,
Figure pct00010
이다. 여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이다.
이와 같이, 제 1 유리 물품 (100) 의 제 1 표면 (102) 은, 제 3 단부 (130) 및 제 4 단부 (135) 를 통과하는 제 2 최대 단면 (S2) 에 있어서도,「특정 볼록상 프로파일」을 가져도 된다.
이 경우, 제 1 유리 물품 (100) 에 있어서, 제 1 표면 (102) 을, 보다 한층「이상 볼록상 표면」에 가깝게 하는 것이 가능해진다.
(본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품의 그 밖의 특징)
다음으로, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품의 그 밖의 특징에 대해 설명한다.
본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품은, 어떠한 유리로 구성되어도 된다. 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품은, 예를 들어, 소다라임 유리, 붕규산 유리, 또는 무알칼리 유리로 구성되어도 된다.
유리는, 화학 강화 또는 물리 강화되어 있어도 된다.
또, 유리 물품용의 유리는, 굴절률이 1.6 이상인 것이 바람직하고, 1.7 이상인 것이 보다 바람직하고, 1.8 이상인 것이 더욱 바람직하다.
또, 유리 물품용의 유리는, 표면 조도 (Ra) 가 1 ㎚ 이하인 것이 바람직하고, 0.5 ㎚ 이하인 것이 보다 바람직하다.
본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품은, 상면에서 보았을 때, 원형상이고, 반경 R 은 50 ㎜ ∼ 150 ㎜ 의 범위이다. 반경 R 은, 75 ㎜ ∼ 150 ㎜ 의 범위인 것이 바람직하다.
또한, 도 2 및 도 3 에 나타낸 예에서는, 제 1 유리 물품 (100) 의 제 2 표면 (104) 은, 대략 평탄하다.
그러나, 이것은 단순한 일례로서, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품에 있어서, 제 2 표면 (104) 의 형태는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 제 2 표면 (104) 은, 제 1 표면 (102) 과 마찬가지로, 적어도 하나의 최대 단면이「특정 볼록상 프로파일」을 가져도 된다. 특히, 제 2 표면 (104) 은,「이상 볼록상 표면」이어도 된다.
(본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품의 제조 방법)
다음으로, 도 4 ∼ 도 7 을 참조하여, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품의 제조 방법의 일례에 대해 설명한다.
도 4 에는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품의 제조 방법 (이하,「제 1 제조 방법」이라고 칭한다) 의 플로를 개략적으로 나타낸다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 제 1 제조 방법은,
(1) 하나의 원형의 캐리어에, 하나의 원형의 유리 기판을 설치하는 공정으로서, 상기 유리 기판은, 상면에서 보았을 때, 상기 캐리어의 중심 Oc 가 상기 유리 기판의 영역에 포함되고, 상기 유리 기판의 중심 Og 가 상기 캐리어의 중심 Oc 에 대해 어긋나도록, 상기 캐리어 내에 배치되는, 공정 (공정 S110) 과,
(2) 상기 캐리어를, 상정반 및 하정반으로 누르는 공정 (공정 S120) 과,
(3) 상기 캐리어를 상정반 및 하정반에 대해 회전시킴으로써, 상기 유리 기판을 연마하는 공정 (공정 S130) 을 갖는다.
도 5 에는, 제 1 제조 방법을 실시할 때에 사용될 수 있는 양면 연마 장치의 구성을 개략적으로 나타낸다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 양면 연마 장치 (201) 는, 선 기어 (210) 와, 인터널 기어 (220) 와, 상정반 (230) 과, 하정반 (250) 을 갖는다. 선 기어 (210) 및 인터널 기어 (220) 는, 각각의 회전축이 양면 연마 장치 (201) 의 중심과 일치하도록 형성된다. 또, 선 기어 (210) 는, 상면에서 보았을 때, 양면 연마 장치 (201) 의 중심에 배치되고, 인터널 기어 (220) 는, 양면 연마 장치 (201) 의 외주측에 배치된다.
상정반 (230) 및 하정반 (250) 은, 서로 대향하도록 배치되어, 서로 반대 방향, 혹은 같은 방향으로 회전할 수 있다. 상정반 (230) 은, 하면, 즉 하정반 (250) 과 대향하는 측에, 연마 패드 (도시되어 있지 않음) 를 갖는다. 마찬가지로, 하정반 (250) 은, 상면, 즉 상정반 (230) 과 대향하는 측에, 연마 패드 (도시되어 있지 않음) 를 갖는다.
하정반 (250) 위에는, 피연마 대상이 되는 유리 기판 (290) 을 지지하는 캐리어 (280) 가 배치된다. 또한, 도 1 의 예에서는, 하정반 (250) 위에는, 복수의 캐리어 (280) 가 배치되어 있다. 단, 이것은 단순한 일례에 지나지 않고, 하정반 (250) 위에 배치되는 캐리어 (280) 의 수는, 특별히 한정되지 않는다.
캐리어 (280) 는, 그 외주 부분에, 선 기어 (210) 및 인터널 기어 (220) 와 걸어맞추도록 형성된 기어 (282) 를 갖는다.
이하, 도 6 및 도 7 도 참조하여, 제 1 제조 방법에 있어서의 각 공정에 대해 설명한다.
(공정 S110)
먼저, 원형의 캐리어 (280) 및 원형의 유리 기판 (290) 이 준비된다. 또, 유리 기판 (290) 이 캐리어 (280) 내에 유지된다.
유리 기판 (290) 은, 상면 및 하면을 갖는다.
캐리어 (280) 의 직경 (내경) Lc 는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 110 ㎜ ∼ 600 ㎜ 의 범위여도 된다. 단, 직경 Lc 는, 직경 Lg 의 1.1 배 ∼ 2 배의 범위인 것이 바람직하다.
유리 기판 (290) 의 두께는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 0.1 ㎜ ∼ 2 ㎜ 의 범위여도 된다.
각 캐리어 (280) 에는, 하나의 유리 기판 (290) 이 지지된다.
도 6 은, 캐리어 (280) 내에 유리 기판 (290) 이 배치된 양태의 일례를 모식적으로 나타낸 상면도이다.
도 6 에 나타내는 바와 같이, 유리 기판 (290) 은, 상면에서 보았을 때, 상기 캐리어 (280) 의 중심 Oc 가 유리 기판 (290) 의 영역에 포함되도록 하여, 캐리어 (280) 내에 배치된다. 또, 유리 기판 (290) 은, 상면에서 보았을 때, 유리 기판 (290) 의 중심 Og 가 캐리어 (280) 의 중심 Oc 에 대해 어긋나도록 하여, 캐리어 (280) 내에 배치된다.
상면에서 보았을 때, 유리 기판 (290) 의 중심 Og 와 캐리어 (280) 의 중심 Oc 사이의 거리 d 는, 예를 들어, 0.05 × Lg ∼ 0.5 × Lg 의 범위이다. 거리 d 는, 0.1 × Lg 이상이고, 0.25 × Lg 이하인 것이 바람직하다.
(공정 S120)
다음으로, 각 캐리어 (280) 가, 하정반 (250) 위에 배치된다. 또, 상정반 (230) 이 각 캐리어 (280) 상에 배치되고, 각 캐리어 (280) 는, 상정반 (230) 과 하정반 (250) 사이에 끼워진다.
이로 인해, 각 유리 기판 (290) 의 상면 및 하면이, 각각, 상정반 (230) 및 하정반 (250) 에 접촉된다. 또, 각 유리 기판 (290) 의 상면 및 하면에, 가압이 인가된다.
(공정 S130)
다음으로, 선 기어 (210) 및 인터널 기어 (220) 를, 소정의 회전 비율로 회전시킴으로써, 캐리어 (280) 를 자전시킴과 동시에, 캐리어 (280) 를 인터널 기어 (220) 를 따라 공전시킨다 (유성 구동). 또한, 상정반 (230) 과 하정반 (250) 을 회전시킨다.
이로 인해, 상정반 (230) 및 하정반 (250) 에 의해, 각 유리 기판 (290) 의 상면 및 하면이 동시에 연마된다.
또한, 각각 유리 기판 (290) 의 연마 중에는, 필요에 따라, 상정반 (230) 및/또는 하정반 (250) 의 측으로부터, 유리 기판 (290) 에 연마액이 공급되어도 된다.
이러한 양면 연마 장치 (201) 를 사용함으로써, 유리 기판 (290) 의 상면 및 하면을 동시에 연마할 수 있다.
여기서, 유리 기판 (290) 은, 캐리어 (280) 의 중심 Oc 로부터 중심 Og 가 거리 d 만큼「편심」된 상태에서 배치된다. 이 경우, 유리 기판 (290) 은, 중심 Og 정도, 연마량이 상대적으로 적어진다.
이하, 도 7 을 참조하여, 이 이유에 대해 설명한다.
전술한 바와 같이, 양면 연마 장치 (201) 에서는, 캐리어 (280) 를 자전시키면서, 캐리어 (280) 를 인터널 기어 (220) 를 따라 공전시킨다. 따라서, 연마 처리 중, 캐리어 (280) 에 유지된 유리 기판 (290) 은, 자전하면서, 인터널 기어 (220) 의 주위를 공전하도록 이동한다.
도 7 은, 도 5 에 나타낸 양면 연마 장치 (201) 의 가동 중인 유리 기판 (290) 의 상이한 위치 상태 (290A ∼ 290C) 를 모식적으로 나타낸 상면도이다.
또한, 명확화를 위해, 도 7 에는, 상정반 (230) 은, 나타나 있지 않다. 또, 도 7 에는, 선 기어 (210) 및 인터널 기어 (220) 는, 유리 기판 (290) 과의 위치 관계가 명확해지도록, 개략적으로 나타나 있다.
즉, 선 기어 (210) 는, 유리 기판 (290) 의 선 기어 (210) 에 대한 최근접 위치가 명확해지도록, 개략적으로 나타난 외주 단부 (212) 를 갖도록 나타나 있다. 마찬가지로, 인터널 기어 (220) 는, 유리 기판 (290) 의 인터널 기어 (220) 에 대한 최근접 위치가 명확해지도록, 개략적으로 나타난 내주 단부 (222) 를 갖도록 나타나 있다.
바꾸어 말하면, 선 기어 (210) 의 외주 단부 (212) 는, 유리 기판 (290) 이 하정반 (250) 에 대해 가장 내측에 위치하는 경우의 가상적인 한계선을 나타내고 있고, 인터널 기어 (220) 의 내주 단부 (222) 는, 유리 기판 (290) 이 하정반 (250) 에 대해 가장 외측에 위치하는 경우의 유리 기판 (290) 의 가상적인 한계선을 나타내고 있다.
도 7 에 나타내는 바와 같이, 연마 처리 중에 자전 및 공전하는 유리 기판 (290) 은, 하정반 (250) 에 대해, 이하의 3 개의 위치 양태를 취할 수 있다 :
(i) 최외 위치 ; 즉, 유리 기판 (290) 의 외주단이 인터널 기어 (220) 의 내주 단부 (222) 와 접하는 제 1 위치 (그 위치에 있는 유리 기판 (290) 을「유리 기판 (290A)」로 나타낸다),
(ii) 최내 위치 ; 즉, 유리 기판 (290) 의 외주단이 선 기어 (210) 의 외주 단부 (212) 와 접하는 제 2 위치 (그 위치에 있는 유리 기판 (290) 을「유리 기판 (290B)」으로 나타낸다), 및
(iii) 중간 위치 ; 즉, 상기 (i) 과 (ii) 사이의 제 3 위치 (그 위치에 있는 유리 기판 (290) 을「유리 기판 (290C)」으로 나타낸다)
이다.
그 결과, 유리 기판 (290) 의 중심 Og 는, 도 7 에 있어서, 사선으로 나타낸 영역 (298) 에만 배치되게 된다. 또한, 영역 (298) 의 중심을 통과하는 파선은, 캐리어 (280) 의 중심 Oc 가 취하는 궤적을 나타낸다.
여기서, 일반적으로, 유리 기판 (290) 의 중앙 영역에는, 외주 영역에 비해 연마제가 공급되기 어렵기 때문에, 중앙 영역의 연마량은, 외주 영역에 비해 적어진다. 따라서, 유리 기판 (290) 은, 중심 Og 를 포함하는 중앙 영역만큼, 연마량이 상대적으로 적어진다.
이로 인해, 제 1 제조 방법에서는, 상면 및 하면 중 적어도 일방이「특정 볼록상 프로파일」을 갖는 유리 물품을, 비교적 용이하게 제조할 수 있다.
여기서, 캐리어 (280) 의 회전 (자전) 방향은, 하정반 (250) 의 회전 방향과는 역방향이어도 된다. 이 경우, 하정반 (250) 에 대한 유리 기판 (290) 의 상대 회전 속도를 크게 할 수 있다. 따라서, 상면 또는 하면이「특정 볼록상 프로파일」을 갖는 유리 물품을, 보다 효율적으로 제조할 수 있다.
제 1 제조 방법에 의해 제조되는 유리 물품은, 최대 두께가, 예를 들어, 0.1 ㎜ ∼ 2 ㎜ 의 범위이다. 또, 제 1 제조 방법에 의해 제조되는 유리 물품은, 직경 Lg 가 100 ㎜ ∼ 300 ㎜ 의 범위여도 된다.
(용도)
본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품은, 예를 들어, 광학 부재에 사용된다. 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 물품은, 예를 들어, 헤드 마운트 디스플레이용 도광판으로서 사용되어도 된다.
실시예
이하, 본 발명의 실시예에 대해 설명한다.
(예 1)
양면 연마 장치를 사용하여, 직경 150 ㎜ 의 원형의 유리 기판의 양면을 연마하여, 유리 물품을 제조하였다.
캐리어에는, 직경 Lc 가 228.6 ㎜ 인 원형 캐리어를 사용하였다. 유리 기판은, 그 유리 기판의 중심 Og 와 캐리어의 중심 Oc 사이의 거리 d 가 25 ㎜ 가 되도록 하여, 캐리어 내에 설치하였다. 따라서, d/Lg ≒ 0.17 이다. 또, 상면에서 보았을 때, 캐리어의 중심 Oc 는, 유리 기판의 영역 내에 배치되었다.
상정반 및 하정반에 의한 가압 압력은, 40 g/㎠ 로 하고, 연마 시간은, 40 분으로 하였다. 또, 상정반의 회전 속도는, 8 rpm 으로 하고, 하정반의 회전 속도는, 24 rpm 으로 하였다. 또한, 캐리어의 회전 속도는, 8 rpm 으로 하였다. 상정반 및 캐리어는, 하정반의 회전 방향에 대해 반대의 방향으로 회전시켰다.
얻어진 유리 물품 (이하,「샘플 1」이라고 칭한다) 의 하나의 단부 (제 1 단부) 의 두께는, 약 325 ㎛ 였다.
(예 2)
예 1 과 동일한 방법에 의해, 유리 물품을 제조하였다. 단, 이 예 2 에서는, 거리 d 를 20 ㎜ 로 하였다. 따라서, d/Lg ≒ 0.13 이다. 그 밖의 조건은, 예 1 의 경우와 동일하게 하였다. 얻어진 유리 물품을,「샘플 2」라고 칭한다.
(예 3)
예 1 과 동일한 방법에 의해, 유리 물품을 제조하였다. 단, 이 예 3 에서는, 거리 d 를 10 ㎜ 로 하였다. 따라서, d/Lg ≒ 0.067 이다. 그 밖의 조건은, 예 1 의 경우와 동일하게 하였다. 얻어진 유리 물품을,「샘플 3」이라고 칭한다.
(예 11)
양면 연마 장치를 사용하여, 직경 150 ㎜ 의 원형의 유리 기판의 양면을 연마하여, 유리 물품을 제조하였다.
캐리어에는, 직경 Lc 가 406.4 ㎜ 인 원형 캐리어를 사용하였다. 유리 기판은, 그 유리 기판의 중심 Og 와 캐리어의 중심 Oc 사이의 거리 d 가 110 ㎜ 가 되도록 하여, 캐리어 내에 설치하였다. 따라서, 상면에서 보았을 때, 캐리어의 중심 Oc 는, 유리 기판의 영역으로부터 벗어난 위치에 배치되었다.
상정반 및 하정반에 의한 가압 압력은, 40 g/㎠ 로 하고, 연마 시간은, 60 분으로 하였다. 또, 상정반의 회전 속도는, 6 rpm 으로 하고, 하정반의 회전 속도는, 18 rpm 으로 하였다. 또한, 캐리어의 회전 속도는, 6 rpm 으로 하였다. 상정반 및 캐리어는, 하정반의 회전 방향에 대해 반대의 방향으로 회전시켰다.
얻어진 유리 물품의 하나의 단부 (제 1 단부) 의 두께는, 약 325 ㎛ 였다.
얻어진 유리 물품을,「샘플 11」이라고 칭한다.
(예 12)
예 11 과 동일한 방법에 의해, 유리 물품을 제조하였다. 단, 이 예 12 에서는, 연마 시간을 90 분으로 하였다. 그 밖의 조건은, 예 11 의 경우와 동일하게 하였다. 얻어진 유리 물품을,「샘플 12」라고 칭한다.
(예 13)
예 11 과 동일한 방법에 의해, 유리 물품을 제조하였다. 단, 이 예 13 에서는, 연마 시간을 150 분으로 하였다. 그 밖의 조건은, 예 11 의 경우와 동일하게 하였다. 얻어진 유리 물품을,「샘플 13」이라고 칭한다.
(평가)
광학 간섭식 두께 측정법에 의해, 각 샘플의 두께 프로파일을 측정하였다. 측정에는, Corning-Tropel 사의 측정 장치 (FlatMaster200) 를 사용하였다.
각 샘플에 있어서, 제 1 단부로부터, 샘플의 중심 Og 를 통과하여, 반대측의 단부까지의 영역에 걸쳐, 두께 프로파일의 측정 (「X 방향의 측정」이라고 한다) 을 실시하였다. 또한, 제 1 단부는, 임의로 선정한 하나의 단부이다.
또, 중심 Og 를 회전축으로 하여, 제 1 단부로부터 90˚회전한 위치에 있는 제 3 단부로부터, 샘플의 중심 Og 를 통과하여, 반대측의 단부까지의 영역에 걸쳐, 두께 프로파일의 측정 (「Y 방향의 측정」이라고 한다) 을 실시하였다.
도 8 및 도 9 에는, 각각, 샘플 1 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과 및 Y 방향의 측정 결과를 나타낸다. 도 10 및 도 11 에는, 각각, 샘플 2 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과 및 Y 방향의 측정 결과를 나타낸다. 도 12 및 도 13 에는, 각각, 샘플 3 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과 및 Y 방향의 측정 결과를 나타낸다. 도 14 및 도 15 에는, 각각, 샘플 11 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과 및 Y 방향의 측정 결과를 나타낸다. 도 16 및 도 17 에는, 각각, 샘플 12 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과 및 Y 방향의 측정 결과를 나타낸다. 또한, 도 18 및 도 19 에는, 각각, 샘플 13 에 있어서 얻어진 X 방향의 측정 결과 및 Y 방향의 측정 결과를 나타낸다.
이들 도면에 있어서, 가로축은, 샘플의 위치 (단위 ; ㎜) 를 나타내고 있고, 원점 0 은, 샘플의 중심 Og 이다. 세로축은, 샘플의 최소 판 두께를 기준으로 한 각 위치에 있어서의 높이의 변위 (단위 ; ㎛) 를 나타내고 있다.
이러한 결과로부터, 샘플 11 및 샘플 13 에서는, 샘플의 중심축이, 두께가 최대가 되는 위치로부터 어긋나 있는 것을 알 수 있다. 또, 샘플 12 에서는, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 중심으로부터 제 3 단부를 향하여, 두께가 단조 감소하는 프로파일이 얻어지지 않는 것을 알 수 있었다.
이에 반해, 샘플 1 ∼ 샘플 3 에서는, 샘플의 중심축이, 두께가 최대가 되는 위치와 거의 일치하고 있어, X 방향 및 Y 방향의 어느 측정에 있어서도, 중심 Og 로부터 단부에 걸쳐, 두께가 단조 감소하는 프로파일이 얻어지는 것을 알 수 있었다.
이와 같이, 샘플 1 ∼ 샘플 3 에서는, X 방향에 있어서의「최대 단면」및 Y 방향에 있어서의「최대 단면」중 어느 것에 있어서도, 표면에「특정 볼록상 프로파일」이 얻어지고 있는 것이 확인되었다.
본원은, 2020년 4월 23일에 출원한 일본 특허출원 제2020-076645호에 기초하는 우선권을 주장하는 것으로, 동 일본국 출원의 전체 내용을 본원에 참조에 의해 원용한다.
1 : 유리 물품
2 : 상면
12 : 단부
100 : 제 1 유리 물품
102 : 제 1 표면
104 : 제 2 표면
120 : 제 1 단부
125 : 제 2 단부
130 : 제 3 단부
135 : 제 4 단부
201 : 양면 연마 장치
210 : 선 기어
212 : (선 기어의) 외주 단부
220 : 인터널 기어
222 : (인터널 기어의) 내주 단부
230 : 상정반
250 : 하정반
280 : 캐리어
282 : 기어
290 : 유리 기판
298 : 영역
S1 : 제 1 최대 단면
S2 : 제 2 최대 단면

Claims (8)

  1. 원형의 제 1 표면을 갖는 유리 물품으로서,
    당해 유리 물품의 반경 R 은, 50 ㎜ ∼ 150 ㎜ 의 범위이고,
    당해 유리 물품에 있어서, 중심 Og 에 있어서의 두께를 to 로 하고, 어느 하나의 단부를 제 1 단부로 하고, 그 제 1 단부에 있어서의 두께를 t1 로 하고, 상기 제 1 단부로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 X (단 상기 제 1 단부 및 상기 중심 Og 를 제외한다) 에 있어서의 두께를 tx' 로 하고,
    광학 간섭식 두께 측정법에 의해, 당해 유리 물품의 상기 제 1 표면의 측으로부터 두께를 측정했을 때,
    Figure pct00011

    (여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이고, txn 은, 상기 제 1 단부로부터 상기 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Xn 에 있어서의 두께를 나타낸다)
    가 성립하고,
    상기 중심 Og 를 중심으로, 상기 제 1 단부와는 반대측에 있는 단부를 제 2 단부로 하고, 그 제 2 단부에 있어서의 두께를 t2 로 하고, 상기 제 2 단부로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 W (단 상기 제 2 단부 및 상기 중심 Og 를 제외한다) 에 있어서의 두께를 tx" 로 하고,
    상기 광학 간섭식 두께 측정법에 의해, 당해 유리 물품의 상기 제 1 표면의 측으로부터 두께를 측정했을 때,
    Figure pct00012

    (여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이고, twn 은, 상기 제 2 단부로부터 상기 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Wn 에 있어서의 두께를 나타낸다)
    가 성립하는, 유리 물품.
  2. 제 1 항에 있어서,
    추가로, 상기 중심 Og 를 중심으로, 상기 제 1 단부로부터 90˚회전한 위치를 제 3 단부로 하고, 그 제 3 단부에 있어서의 두께를 t3 으로 하고, 상기 제 3 단부로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 Y (단 상기 제 3 단부 및 상기 중심 Og 를 제외한다) 에 있어서의 두께를 ty' 로 하고,
    상기 광학 간섭식 두께 측정법에 의해, 당해 유리 물품의 상기 제 1 표면의 측으로부터 두께를 측정했을 때,
    Figure pct00013

    (여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이고, tyn 은, 상기 제 3 단부로부터 상기 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Yn 에 있어서의 두께를 나타낸다)
    가 성립하고,
    상기 중심 Og 를 중심으로, 상기 제 3 단부와는 반대측에 있는 단부를 제 4 단부로 하고, 그 제 4 단부에 있어서의 두께를 t4 로 하고, 상기 제 4 단부로부터 중심 Og 까지 사이의 임의의 위치 V (단 상기 제 4 단부 및 상기 중심 Og 를 제외한다) 에 있어서의 두께를 ty" 로 하고,
    상기 광학 간섭식 두께 측정법에 의해, 당해 유리 물품의 상기 제 1 표면의 측으로부터 두께를 측정했을 때,
    Figure pct00014

    (여기서, n 은, 1 ∼ 5 의 임의의 정수이고, tvn 은, 상기 제 4 단부로부터 상기 중심 Og 를 향하여, R × (n/5) 의 위치 Vn 에 있어서의 두께를 나타낸다)
    가 성립하는, 유리 물품.
  3. 유리 물품의 제조 방법으로서,
    원형의 유리 기판이 유지된 원형의 캐리어를, 상정반과 하정반으로 사이에 두고, 상기 캐리어를 상정반 및 하정반에 대해 회전시킴으로써, 상기 유리 기판을 연마하여, 유리 물품을 얻는 공정을 갖고,
    상기 유리 기판은, 상면에서 보았을 때,
    상기 캐리어의 중심 Oc 가 상기 유리 기판의 영역에 포함되고,
    상기 유리 기판의 중심 Og 가 상기 캐리어의 중심 Oc 에 대해 어긋나도록, 상기 캐리어 내에 배치되는, 제조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 유리 기판의 직경을 Lg 로 했을 때,
    상기 유리 기판의 상면에서 보았을 때, 상기 중심 Oc 와 중심 Og 사이의 거리 d 는, 0.05 × Lg ≤ d ≤ 0.5 × Lg 를 만족하는, 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 거리 d 는, 0.1 × Lg 이상인, 제조 방법.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 거리 d 는, 0.25 × Lg 이하인, 제조 방법.
  7. 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유리 물품은, 최대 두께가 0.1 ㎜ ∼ 2 ㎜ 의 범위인, 제조 방법.
  8. 제 3 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유리 물품은, 반경이 50 ㎜ ∼ 150 ㎜ 의 범위인, 제조 방법.
KR1020227034744A 2020-04-23 2021-03-01 유리 물품 및 유리 물품의 제조 방법 KR20230008030A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2020-076645 2020-04-23
JP2020076645 2020-04-23
PCT/JP2021/007736 WO2021215115A1 (ja) 2020-04-23 2021-03-01 ガラス物品およびガラス物品の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230008030A true KR20230008030A (ko) 2023-01-13

Family

ID=78270596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020227034744A KR20230008030A (ko) 2020-04-23 2021-03-01 유리 물품 및 유리 물품의 제조 방법

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11969857B2 (ko)
JP (1) JPWO2021215115A1 (ko)
KR (1) KR20230008030A (ko)
CN (1) CN115427367A (ko)
DE (1) DE112021002489T5 (ko)
TW (1) TW202140400A (ko)
WO (1) WO2021215115A1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014138973A (ja) 2013-01-21 2014-07-31 Asahi Glass Co Ltd ガラス基板の研磨方法及び製造方法、並びに研磨装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62232280A (ja) * 1986-03-28 1987-10-12 張　克農 画像拡大投写システム
JPS62278501A (ja) * 1986-05-28 1987-12-03 Hitachi Ltd 屈折率分布型レンズの製造方法とその製造装置
JPH09180264A (ja) * 1995-12-25 1997-07-11 Sony Corp スキュー検査装置の較正治具及び較正方法
DE102010063179B4 (de) * 2010-12-15 2012-10-04 Siltronic Ag Verfahren zur gleichzeitigen Material abtragenden Bearbeitung beider Seiten mindestens dreier Halbleiterscheiben
KR102232039B1 (ko) * 2012-07-23 2021-03-26 제이에이치 로드스 컴퍼니, 인크 비평면 유리 연마 패드 및 상기 연마 패드 제작 방법
JP2016036857A (ja) * 2014-08-05 2016-03-22 株式会社Sumco ワークの研磨方法およびワークの研磨装置
JP6823376B2 (ja) * 2016-03-25 2021-02-03 Hoya株式会社 基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、および転写用マスクの製造方法
JP6819853B2 (ja) * 2016-07-19 2021-01-27 日本電気硝子株式会社 円盤状の板ガラス及びその製造方法
JP6695318B2 (ja) * 2017-12-27 2020-05-20 Hoya株式会社 円盤状ガラス基板の製造方法、薄板ガラス基板の製造方法、導光板の製造方法及び円盤状ガラス基板
CN110303423B (zh) * 2018-03-20 2021-10-26 胜高股份有限公司 工件的研磨方法及研磨装置
CN110962039A (zh) 2018-09-29 2020-04-07 康宁股份有限公司 载体晶片和形成载体晶片的方法
JP7199054B2 (ja) 2018-11-07 2023-01-05 国立大学法人東海国立大学機構 サンプル中の元素の質量分析方法、該質量分析方法に用いる分析用デバイス、および、サンプル捕捉用キット

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014138973A (ja) 2013-01-21 2014-07-31 Asahi Glass Co Ltd ガラス基板の研磨方法及び製造方法、並びに研磨装置

Also Published As

Publication number Publication date
US11969857B2 (en) 2024-04-30
CN115427367A (zh) 2022-12-02
DE112021002489T5 (de) 2023-03-16
JPWO2021215115A1 (ko) 2021-10-28
TW202140400A (zh) 2021-11-01
WO2021215115A1 (ja) 2021-10-28
US20230051824A1 (en) 2023-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8414360B2 (en) Double side polishing apparatus and carrier therefor
KR20150016617A (ko) 커버 유리 제품
KR102442212B1 (ko) 연마 장치
JP6577636B2 (ja) 研磨又は研削処理用キャリアの製造方法、研磨又は研削処理用キャリア、及び基板の製造方法
US20240082979A1 (en) Method for manufacturing substrate and method for manufacturing substrate for magnetic disk
TWI735719B (zh) 玻璃板及玻璃板的製造方法
US9202505B2 (en) Method for manufacturing glass substrate for magnetic recording medium
JP6280355B2 (ja) 磁気ディスク用基板の製造方法及び研磨処理用キャリア
KR20230008030A (ko) 유리 물품 및 유리 물품의 제조 방법
US20190271344A1 (en) Methods and apparatus for securing an article
JP2015069674A (ja) 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び研磨処理用キャリア
CN111246971B (zh) 圆盘状玻璃基板的制造方法、薄板玻璃基板的制造方法、导光板的制造方法和圆盘状玻璃基板
JP2015009315A (ja) 研削／研磨用キャリア及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法
TWI436418B (zh) 遮罩基底用基板之製造方法及兩面研磨裝置
US20190381626A1 (en) Methods and apparatus for finishing edges of glass sheets
US20190300296A1 (en) Methods and apparatus for securing an article
JP7397844B2 (ja) 円盤状ガラス基板の製造方法、薄板ガラス基板の製造方法、導光板の製造方法及び円盤状ガラス基板
US20230110750A1 (en) Carrier and method for manufacturing substrate
KR20210059733A (ko) 플렉시블 몰드의 제조 방법, 플렉시블 몰드용의 기재, 및 광학 부품의 제조 방법
CN100561304C (zh) 液晶封装用玻璃基板及液晶显示装置
CN114918743B (zh) 圆盘状玻璃基板及其制造方法、薄板玻璃基板的制造方法和导光板的制造方法
JP2012071408A (ja) 研削前板状ガラス素材及び情報記録媒体用ガラス基板の製造方法
KR102400898B1 (ko) 반도체용 기판 및 그의 제조 방법