JPH09180264A - スキュー検査装置の較正治具及び較正方法 - Google Patents

スキュー検査装置の較正治具及び較正方法

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JPH09180264A
JPH09180264A JP35151095A JP35151095A JPH09180264A JP H09180264 A JPH09180264 A JP H09180264A JP 35151095 A JP35151095 A JP 35151095A JP 35151095 A JP35151095 A JP 35151095A JP H09180264 A JPH09180264 A JP H09180264A
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JP
Japan
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jig
disk
band
calibration
skew
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JP35151095A
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English (en)
Inventor
Yoshihiro Nagao
吉弘 長尾
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 角度の信頼性が低く、内部残存応力による経
時変化や、環境温度による反り量変化が生じるので、安
定した調整ができなかった。 【解決手段】 光ディスクの反りを測定するスキュー検
査装置を調整するための較正治具1であって、この治具
1がディスク状に形成され、その反射面1aに、ディス
ク規格における反り許容限度角度または許容限度をわず
かに外れる角度から平面までの複数の角度の反射多面帯
域3を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、CD等の光ディス
クの反りを測定するスキュー検査装置を調整するための
較正治具及びこれを使用する較正方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】CD等の光ディスクは、高密度記録媒体
の一つとして知られており、その記録トラック上に光ビ
ームを走査することによって情報を記録したり、又は記
録されている情報を読み出したりするものである。この
光ディスクの記録および/または再生装置においては、
平坦かつ高速に回転操作を行っているので、光ディスク
には反りがないことが要求される。
【0003】CD規格におけるディスクの反りの許容範
囲は、1.6度以内と定められている。したがって、デ
ィスクの反りを測定するスキュー検査装置は、この許容
範囲内における反りを測定し得るものでなければならな
い。測定を行うに際して、スキュー検査装置を較正する
必要があるが、そのための0度平面はミラー等によって
比較的容易に得られ易い。しかし、1.6度程度の微小
角度を得るのは極めて難しい。
【0004】従来、かかる微小角度の較正方法には、平
面ミラーに角度を付けて較正する方法と、複数の光ディ
スクに基づいて較正する方法とがあった。すなわち、平
面ミラーに角度を付けて較正する方法は、反りのない平
坦なミラーを検査装置に載置し、所望の角度が得られる
ようにマイクロメータ等でミラーの縁部を押し上げて調
整していた。一方、複数の光ディスクに基づいて較正す
る方法は、製造中に得られた様々な測定値を示す光ディ
スクを保管しておき、それらをサンプルディスクとし
て、標準検査装置での測定値との整合性をもたせること
で検査装置を調整していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のスキ
ュー検査装置の較正方法においては、次のような課題が
あった。すなわち、平面ミラーに角度を付けて較正する
方法にあっては、手作業によりマイクロメータ等を操作
して調整を行っている。したがって、誤差が発生し易い
ので、角度の信頼性が低く、安定した調整を行うことが
できなかった。
【0006】一方、複数の光ディスクに基づいて較正す
る方法にあっては、サンプルディスクはプラスチック製
であるが、プラスチック製ディスクは、その内部残存応
力による経時変化や、環境温度による反り量変化によっ
て角度誤差が生じ、安定した調整を行うことができなか
った。また、必要測定点のディスクを得るために、数十
枚のサンプルディスクの中から選別する必要があり、調
整作業が煩雑であった。
【0007】この発明は、上記課題を解決するために、
角度の信頼性が高く、内部残存応力による経時変化や、
環境温度による反り量変化が生じることなく、極めて容
易に安定した調整を行うことができるスキュー検査装置
の較正治具及び較正方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、光ディスクの反りを測定するスキュー検査装置を
調整するための治具であって、該治具がディスク状に形
成され、その反射面に、ディスク規格における反り許容
限度角度または許容限度をわずかに外れる角度から平面
までの複数の角度の反射多面帯域を有していることを特
徴とする、スキュー検査装置の較正治具により、達成さ
れる。
【0009】また、金属製円板またはガラス製円板によ
り形成され、その反射面に、ディスク規格における反り
許容限度角度または許容限度をわずかに外れる角度から
平面までの複数の角度の反射多面帯域を有する較正治具
をスキュー検査装置にセットし、この検査装置の測定値
を反射多面帯域の各角度に対応させて精度良く調整する
ようにしたスキュー検査装置の較正方法により、達成さ
れる。
【0010】本発明によれば、較正治具がディスク状に
形成され、その反射面に、ディスク規格における反り許
容限度角度または許容限度をわずかに外れる角度から平
面までの複数の角度の反射多面帯域を有している。した
がって、この較正治具をスキュー検査装置にセットし、
この検査装置の測定値を反射多面帯域の各角度に対応さ
せて精度良く調整することにより、スキュー検査装置の
測定精度を絶対値に近づけることができ、検査装置間の
ばらつきをなくすことができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下に述べ
る実施の形態は、本発明の好適な例であるから、技術的
に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲
は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載
がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【0012】図1は、本発明の実施の形態に係るスキュ
ー検査装置の較正治具における第1の実施の形態を示す
概略図であり、この較正治具は光ディスクの反りを測定
するスキュー検査装置を調整するために使用される治具
である。図において、この較正治具1は、ディスク状を
呈する金属製円板により形成されている。具体的には、
較正治具1は外径が120mmφ,中央部厚さが10m
mのアルミニウム製円板によって形成されており、その
中心部には15mmφのセット用孔2が穿設されてい
る。このアルミニウム製円板は、気泡がなく、充分にア
ニーリングされたものを選別する。
【0013】この較正治具1の反射面1aには、切削加
工等の金属加工が施され、ディスク規格における反り許
容限度角度または許容限度をわずかに越える角度から平
面までの複数の角度の反射多面帯域3が形成されてい
る。この反射多面帯域3は、図2(a)(b)(c)
(d)(e)に示すように、較正治具1の中心部から周
縁部へ向けて、0度,0.4度,0.8度,1.2度,
1.6度及び1.8のリング状の帯域を有するように、
金属加工されている。
【0014】すなわち、較正治具1の反射面1aには、
上記セット用孔2の周囲の水平面を0度とし、CD規格
の許容限度角度である1.6度を4分割した0.4度ず
つの角度差をもつ複数の帯域、さらに規格外の1.8度
の帯域の多面が形成されている。具体的には、較正治具
1の中心から36mmφまでが0度、36mmφから5
5mmφまでが0.4度、55mmφから70mmφま
でが0.8度、70mmφから85mmφまでが1.2
度、85mmφから100mmφまでが1.4度、10
0mmφを越えると1.6度、さらに、φ115より外
周が1.8度に形成されている。
【0015】また図3は、本発明の実施の形態に係るス
キュー検査装置の較正治具における第2の実施の形態を
示す概略図である。図において、第2の実施の形態の較
正治具11は、ガラス製円板により形成されている。こ
のガラス製円板の片面は研磨され、全体として凸レンズ
状に形成されている。具体的には、このガラス製円板
は、外径が120mmφ,中央部厚さが5.0mmであ
り、その中心部には15mmφのセット用孔12が穿設
されている。また、較正治具11は、その周縁部でCD
規格の許容限度角度である1.6度をわずかに外れる
1.8度の角度が得られるような曲率を選択し(R40
00〜5000mm)、さらに、その中央部には水平面
(0度)が設けられている。
【0016】すなわち、第2の実施の形態の較正治具1
1は、ガラス製円板に研磨加工を施すことにより、上述
した反射多面帯域3が曲率変化するように形成されてい
る。そして、この較正治具11の凸面11a側には、金
属被膜等からなる反射膜が塗布される。
【0017】次に、本発明の実施の形態に係るスキュー
検査装置の較正方法を説明する。この較正方法は、上記
較正治具1又は11をスキュー検査装置(図示せず)に
セットし、反射多面帯域3の各帯域又は各曲率を測定点
として、スキュー検査装置の精度調整を行うものであ
る。
【0018】このスキュー検査装置には、PSD(ポジ
ション センシティブ デバイス:浜松ホトニクス社
製)が備えられている。このPSDは、図4に示すよう
に、X及びY方向のどの位置へ入射したかを示す受光装
置である。すなわち、本発明の実施の形態に係る較正方
法は、較正治具1,11をスキュー検査装置にセット
し、まず較正治具1,11の0度帯域を照射し、その反
射光がPSDの中心に入射するようにPSDの取付け位
置を調整する。次に、較正治具1,11の1.6度の帯
域を照射し、その反射光がPSDの外周に近い部分に入
射するように取付け位置を調整する。
【0019】このとき、PSDの中心部に入射したとき
にX,Yともに0度を示し、外周に近い部分に入射した
ときに1.6度を示すように、PSDに接続された増幅
機を調整する。さらに、1.2度,0.8度,0.4度
の3帯域についても、それぞれ1.2度,0.8度,
0.4度を示すように調整するものである。
【0020】かくして第1及び第2の実施の形態の較正
治具1,11によれば、加工精度の良い工作機およびワ
ークの温度上昇に充分に配慮した加工法によって測定調
整用ディスクが作成される。したがって、作成された測
定調整用ディスクには、常温で使用する限り、内部応力
や環境温度による歪みが生じることはなく、正確な反射
多面帯域3を利用して、スキュー検査装置の安定した調
整が可能となる。そして、この較正治具1,11が1枚
あれば、0〜1.6度の規格許容範囲の角度が得られる
ので、反り測定装置の較正を容易に行うことができる。
【0021】すなわち、上記較正治具1,11が、金属
加工及びアニーリングを施した金属製円板、或いは、研
磨加工を施したガラス製円板により形成されている場合
は、プラスチック製ディスクと異なり、内部残存応力に
よる経時変化や、環境温度による反り量変化が生じるこ
とがない。
【0022】また、本発明の実施の形態に係る較正方法
によれば、このような較正治具1,11をスキュー検査
装置にセットし、その測定値を反射多面帯域の各帯域に
対応させて精度良く調整することにより、スキュー検査
装置の測定精度を極めて容易に絶対値に近づけることが
でき、検査装置間のばらつきをなくすことができるもの
である。
【0023】
【発明の効果】以上述べたように、本発明に係るスキュ
ー検査装置の較正治具及び較正方法によれば、角度の信
頼性が高く、内部残存応力による経時変化や、環境温度
による反り量変化が生じることなく、極めて容易に安定
した調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るスキュー検査装置の較正治具にお
ける第1実施形態を示す概略図である。
【図2】図1の各部の詳細を示し、(a)はA部の詳細
図、(b)はB部の詳細図、(c)はC部の詳細図、
(d)はD部の詳細図である。
【図3】本発明に係るスキュー検査装置の較正治具にお
ける第2実施形態を示す概略図である。
【図4】PSDによる調整順序を説明するための概略図
である。
【符号の説明】
1 較正治具 1a 較正治具の反射面 2 セット用孔 3 反射多面帯域 11 較正治具 11a 較正治具の凸面 12 セット用孔

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ディスクの反りを測定するスキュー検
    査装置を調整するための治具であって、該治具がディス
    ク状に形成され、その反射面に、ディスク規格における
    反り許容限度角度または許容限度をわずかに外れる角度
    から平面までの複数の角度の反射多面帯域を有している
    ことを特徴とする、スキュー検査装置の較正治具。
  2. 【請求項2】 前記反射多面帯域が、治具の中心部から
    周縁部へ向けて、複数に分けて設けられされていること
    を特徴とする請求項1に記載のスキュー検査装置の較正
    治具。
  3. 【請求項3】 前記ディスク状治具が、金属加工及びア
    ニーリングを施したアルミニウム製円板により形成され
    ていることを特徴とする請求項1に記載のスキュー検査
    装置の較正治具。
  4. 【請求項4】 前記ディスク状治具が、金属加工及びア
    ニーリングを施したアルミニウム製円板により形成され
    ていることを特徴とする請求項2に記載のスキュー検査
    装置の較正治具。
  5. 【請求項5】 前記ディスク状治具が、研磨加工を施し
    たガラス製円板により形成され、前記反射多面帯域が曲
    率変化することを特徴とする請求項1に記載のスキュー
    検査装置の較正治具。
  6. 【請求項6】 前記ディスク状治具が、研磨加工を施し
    たガラス製円板により形成され、前記反射多面帯域が曲
    率変化することを特徴とする請求項2に記載のスキュー
    検査装置の較正治具。
  7. 【請求項7】 金属製円板またはガラス製円板により形
    成され、その反射面に、ディスク規格における反り許容
    限度角度または許容限度をわずかに外れる角度から平面
    までの複数の角度の反射多面帯域を有する較正治具をス
    キュー検査装置にセットし、この検査装置の測定値を反
    射多面帯域の各角度に対応させて精度良く調整するよう
    にしたことを特徴とするスキュー検査装置の較正方法。
JP35151095A 1995-12-25 1995-12-25 スキュー検査装置の較正治具及び較正方法 Pending JPH09180264A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021215115A1 (ja) * 2020-04-23 2021-10-28 Agc株式会社 ガラス物品およびガラス物品の製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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