DE60317792T2

DE60317792T2 - Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Form und Verwendung dieser Form zur Herstellung einer Mikrostruktur

Info

Publication number: DE60317792T2
Application number: DE60317792T
Authority: DE
Inventors: Chikafumi Zama YOKOYAMA; Akira Machida YODA; Hiroshi Yamato KIKUCHI
Original assignee: 3M Innovative Properties Co
Current assignee: 3M Innovative Properties Co
Priority date: 2002-07-10
Filing date: 2003-06-10
Publication date: 2008-10-30
Anticipated expiration: 2023-06-11
Also published as: KR20050025319A; AU2003243470A1; US20080246190A1; US20050253290A1; CN100441387C; DE60317792D1; JP4326190B2; EP1519819B1; EP1519819A1; US7404919B2; JP2004047226A; CA2492126A1; CN1668436A; WO2004007166A1; KR100957654B1

Description

Gebiet der Erfindung
Diese Erfindung betrifft eine Formungstechnologie. Insbesondere betrifft diese Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Form und ein Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur unter Verwendung dieser flexiblen Form. Das Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur gemäß der Erfindung ist zum Beispiel zur Herstellung einer Rippe einer Rückenplatte einer Plasmaanzeigetafel vorteilhaft.
Stand der Technik
Anzeigevorrichtung mit einer Kathodenstrahlröhre (CRT) werden Dank des Fortschritts und der Entwicklung von Fernsehtechnologien, die bisher erreicht wurden, wirtschaftlich masseproduziert, wie in der Wissenschaft gut bekannt ist. In den letzten Jahren jedoch hat eine dünne und leichte Flachbildschirmanzeige zunehmend an Aufmerksamkeit als Anzeigevorrichtung einer nächsten Generation erweckt, die die Anzeigevorrichtungen mit CRT ersetzen wird.
Eines der typischen Beispiele für solche Flachbildschirmanzeigen ist eine Flüssigkristallanzeige (LCD) und die LCD wurde bereits als kompakte Anzeigevorrichtung für Personal-Computer vom Notebook-Typ, Zellulartelefongeräte, Personal Digital Assistants (PDA) und andere mobile elektronische Informationsgeräte verwendet. Andererseits ist eine Plasmaanzeigetafel (PDP) ein typisches Beispiel für dünne und große Flachbildschirmanzeigen. Diese Plasmaanzeigetafel wird praktisch als an der Wand hängender Fernsehempfänger im Geschäfts- und Wohnbereich verwendet.
Eine typische PDP enthält eine große Anzahl kleiner Entladungsanzeigezellen. Im Allgemeinen ist jede Entladungsanzeigezelle von einem Paar von Glassubstraten, die einander in einem beabstandeten Verhältnis gegenüber liegen, und einer Rippe einer Mikrostruktur, die eine vorbestimmte Gestalt aufweist und zwischen diesen Glassubstraten eingesetzt ist, umgeben und definiert. Elektroden sind in einem beabstandeten Verhältnis an den Innenflächen des Glassubstrates angeordnet und sind gemustert. Ein Edelgas ist in jede Entladungsanzeigezelle gefüllt, so dass eine gewünschte Eigenlichtausstrahlung durch Plasmaentladung zwischen den Elektroden ausgeführt werden kann. Daher ist die PDP im Wesentlichen nicht von einem Blickfeldwinkel abhängig.
Die zuvor beschriebene Rippe ist im Allgemeinen aus einer keramischen Mikrostruktur gebildet, wird im Voraus an der Rückseite des Glassubstrates angeordnet und bildet einen Teil der PDP-Rückenplatte. In diesem Fall hat die PDP-Rückenplatte meistens Rippen mit den Gestalten, die allgemein in die zwei folgenden Arten klassifiziert werden. Eine von ihnen wird als "gerades Muster" bezeichnet und ist zum Beispiel in WO00/39829 beschrieben. Dieses gerade Muster ist einfach und eine PDP in großem Maßstab kann relativ leicht hergestellt werden.
Wie in WO00/39829 beschrieben ist, kann eine flexible Harzform zum Formen der Rippe in dem geraden Muster verwendet werden. Die Harzform wird auf folgende Weise hergestellt. Zunächst wird ein lichtempfindliches Harz in eine Metallmutterform mit einem Muster und einer Gestalt gefüllt, die jenen der Harzform entsprechen, das heißt, in die Metallmutterform mit demselben Muster und derselben Gestalt wie jene der herzustellenden Rippe. Anschließend wird dieses lichtempfindliche Harz mit einem Kunststofffilm überzogen und gehärtet, um das lichtempfindliche Harz nach dem Härten mit dem Film zu integrieren. Dann wird der Film mit dem lichtempfindlichen Harz von der Metallmutterform getrennt.
Hier hat das lichtempfindliche Harz eine hohe Viskosität von 500 bis 5.000 cps. Dies dient zum Unterdrücken einer Schrumpfung des lichtempfindlichen Harzes beim Härten. Wenn das lichtempfindliche Harz mit einer solchen Viskosität verwendet wird, kann das lichtempfindliche Harz ohne Einschluss von Luftblasen zwischen der Metallmutterform und dem Film eingefüllt werden.
Eine andere Rippe hat eine Gestalt, die als "Gittermuster" bezeichnet wird. Das Gittermuster kann den Abfall der vertikalen Auflösung einer PDP weitaus stärker unterdrücken als das gerade Muster. Denn Ultraviolettstrahlen von der Entladungsanzeigezelle können schwerer nach außen austreten. Im Vergleich zum geraden Muster kann das Gittermuster die Lichtausstrahlungseffizienz von der Anzeigeentladungszelle bei einem höheren Pegel halten. Ein weiterer Grund ist, dass ein Phosphor, der für die Farbanzeige der PDP erforderlich ist, mit einer relativ größeren Fläche auf die Entladungsanzeigezelle aufgetragen werden kann.
Auch zur Herstellung der Rippe mit dem Gittermuster kann eine Form verwendet werden. Zum Beispiel beschreibt JP11-96903 ein Verfahren, das ein Rippenmaterial in eine Metallmutterform unter Verwendung einer Vakuumpressformmaschine schiebt, das Rippenmaterial abkühlt und dieses dann aus der Metallmutterform entnimmt. Da aber die Große der Vakuumpressformmaschine begrenzt ist, kann nur eine Rückenplatte für eine PDP mit einer Größe von wenigen cm hergestellt werden, und sie ist nicht zur Herstellung einer PDP geeignet, die als Großanzeige dienen soll. JP9-283017 offenbart die Verwendung einer zylindrischen Metallmutterform mit einem Muster, das jenem eines Gitters entgegen gesetzt ist. Diese Metallmutterform bewegt und dreht sich auf einem Substrat durch ein Sperrelement und schiebt das Sperrelement zu dem Substrat. Auf diese Weise kann die Metallmutterform die Rippe mit dem Gittermuster herstellen. Im Allgemeinen jedoch ist das Sperrelement bei weitem weicher als die Metallmutterform. Wenn daher die Rippe mit dem Substrat von der Metallmutterform getrennt wird, bricht die Rippe leicht. Ein Bruch der Rippe ist insbesondere in einem Substrat beachtenswert, bei dem die Rippen in eine Richtung vertikal zu der Drehungs-/Bewegungsrichtung der Metallmutterform verlaufen.
Wenn die zuvor beschriebene, flexible Form beim Formen der Rippe angewendet werden kann, kann ein Bruch der Rippe vermieden werden. Gemäß der bestehenden Formungstechnologie ist es jedoch schwierig, eine solche Form herzustellen. Wenn, wie als Beispiel in 10(A) dargestellt ist, ein lichtempfindliches Harz 2 mit einer hohen Viskosität von 500 bis 5.000 cps zwischen die Form 5 und den Kunststofffilm 1 gefüllt wird, ist es schwierig, das lichtempfindliche Harz 2 ohne Einschluss von Blasen 12 einzufüllen. Wenn das lichtempfindliche Harz 2 durch Licht gehärtet wird, während es die Blasen 12 enthält, bleiben die Blasen 12 nach dem Härten, wie in 10(B) dargestellt ist, als solche im Inneren und an der äußeren Oberfläche des lichtempfindlichen Harzes 2 bestehen. Solche Blasen 12 führen zu Rippendefekten, wenn die Rippen unter Verwendung der Form hergestellt werden. Daher ist bevorzugt, soweit wie möglich keine Blasen in der Form einzuschließen.
Ein lichtempfindliches Harz mit einer hohen Viskosität, wie zuvor beschrieben, kann in die Metallmutterform ohne Einschluss von Blasen eingefüllt werden, wenn ein Vakuumgerät, wie eine Vakuumpressformmaschine, verwendet wird. Wie in JP11-96903 beschrieben, ist die Größe eines Vakuumgeräts jedoch im Allgemeinen begrenzt. Daher kann eine Form mit einer Seite von nur einigen wenigen cm hergestellt werden, und dies bedeutet, dass sie zur Herstellung einer PDP als Großanzeige nicht geeignet ist.
Ein lichtempfindliches Harz mit einer geringen Viskosität von nicht mehr als 500 cps kann in eine Metallmutterform ohne Einschluss von Blasen eingefüllt werden, selbst wenn kein Vakuumgerät verwendet wird. Andererseits kann es wegen der Härtungsschrumpfung, die nicht vernachlässigt werden kann, schwierig sein, eine Form in einer gewünschten Gestalt herzustellen. Wenn das lichtempfindliche Harz 3 mit einer geringen Viskosität zwischen die Metallmutterform 5 und den Kunststofffilm 1 eingefüllt wird, wie als Beispiel in 11(A) dargestellt ist, ist es leicht, das Harz 3 ohne Einschluss von Blasen einzufüllen. Wenn dieses lichtempfindliche Harz 3 jedoch mit Licht gehärtet wird, entwickeln sich Hohlräume 13 zwischen dem lichtempfindlichen Harz 2 nach dem Härten und der Metallmutterform 5 aufgrund eines großen Härtungsschrumpfungsverhältnisses des Harzes, wodurch eine Verformung des Musters begünstigt wird. Diese Muterverformung ist insbesondere dann bemerkenswert, wenn eine Metallmutterform mit einem im Allgemeinen hohen Aspektverhältnis von Vorsprüngen, die den Rippen entsprechen, zur Herstellung einer Form, wie einer Rippenform für eine PDP, verwendet wird. Daher wird nicht erwartet, dass die Form, die unter Verwendung eines lichtempfindlichen Harzes mit einer geringen Viskosität hergestellt wird, relativ leicht qualitativ hochwertige Rippen des Gittermusters über einen weiten Bereich auf der PDP-Rückenplatte bildet.
US5462702 offenbart ein Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Form durch Auftragen einer ersten Schicht eines härtbaren Materials, auf die eine Schicht aus Verstärkungsmaterial und eine zweite Schicht aus elastischem Material aufgebracht wird.
US6251208 B1 offenbart ein Verfahren zur Herstellung einer Verbundschicht, die eine Oberfläche aus Silikongummi und eine Grundschicht aus einem Stahlblech umfasst, zur Herstellung einer Plasmaanzeigetafel.
Zusammenfassung der Erfindung
Zur Lösung der Probleme der zuvor beschriebenen Technologien ist es eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Form bereitzustellen, das zur Herstellung einer qualitativ hochwertigen PDP-Rippe in einem Gittermuster oder anderer Mikrostrukturen geeignet ist, und äußerst präzise das gewünschte Produkt herstellen kann, ohne Auftreten von Blasen, Musterverformung und so weiter.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur, wie einer keramischen Mikrostruktur, unter Verwendung einer solchen flexiblen Form bereitzustellen.
Diese und andere Aufgaben der Erfindung gehen aus der folgenden ausführlichen Beschreibung deutlicher hervor.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Form mit einem Rillenmuster in einer vorbestimmten Gestalt und einer vorbestimmten Größe auf ihrer Oberfläche bereitgestellt, wie in Anspruch 1 definiert.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur mit einem vorstehenden Muster in einer vorbestimmten Gestalt und einer vorbestimmten Größe auf einer Oberfläche eines Substrates bereitgestellt, wie in Anspruch 7 definiert.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist eine perspektivische Ansicht, die eine flexible Form zeigt, die durch das Verfahren gemäß einer Ausführungsform der Erfindung hergestellt wurde.
2 ist eine Schnittansicht entlang einer Linie II-II von 1.
3 ist eine Schnittansicht, die der Reihe nach ein Herstellungsverfahren (die Schritte der ersten Hälfte) für eine flexible Form gemäß der Erfindung zeigt.
4 ist eine Schnittansicht, die der Reihe nach ein Herstellungsverfahren (die Schritte der zweiten Hälfte) für eine flexible Form gemäß der Erfindung zeigt.
5 ist eine Schnittansicht, die eine Verteilung erster und zweiter härtbarer Materialien während eines Herstellungsverfahrens einer flexiblen Form gemäß der Erfindung zeigt.
6 ist eine Schnittansicht, die eine Verteilung der ersten und zweiten härtbaren Materialien während eines Herstellungsverfahrens der flexiblen Form gemäß der Erfindung zeigt.
7 ist eine Schnittansicht, die der Reihe nach ein Herstellungsverfahren (die Schritte der ersten Hälfte) für eine PDP-Rückenplatte gemäß der Erfindung zeigt.
8 ist eine Schnittansicht, die der Reihe nach ein Herstellungsverfahren (die Schritte der zweiten Hälfte) für die PDP-Rückenplatte gemäß der Erfindung zeigt.
9 ist eine perspektivische Ansicht, die das Aussehen der PDP-Rückenplatte zeigt, die in der Ausführungsform hergestellt wurde.
10 ist eine Schnittansicht, die ein Problem eines herkömmlichen Herstellungsverfahrens einer flexiblen Form zeigt.
11 ist eine Schnittansicht, die ein anderes Problem eines herkömmlichen Herstellungsverfahrens einer flexiblen Form zeigt.
Detaillierte Beschreibung
Diese Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Form und ein Herstellungsverfahren einer Mikrostruktur unter Verwendung der flexiblen Form. Bevorzugte Ausführungsformen dieser Erfindungen werden unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen erklärt. Wie für den Fachmann offensichtlich ist, ist die Erfindung jedoch nicht insbesondere auf die folgenden Ausführungsformen beschränkt. Übrigens werden dieselben Bezugszeichen in den Zeichnungen zur Identifizierung derselben oder entsprechender Abschnitte verwendet.
1 ist eine perspektivische Teilansicht, die eine flexible Form zeigt, die gemäß dem Verfahren einer Ausführungsform der Erfindung hergestellt wurde, und 2 ist eine Schnittansicht entlang einer Linie II-II von 1.
Wie in diesen Zeichnungen dargestellt ist, hat eine flexible Form 10 ein Rillenmuster mit einer vorbestimmten Gestalt und einer vorbestimmten Größe auf ihrer Oberfläche. Das Rillenmuster ist ein Gittermuster, das durch mehrere Rillenabschnitt 4 definiert ist, die im Wesentlichen parallel zueinander angeordnet sind, während sie einander unter Beibehaltung vorbestimmter Abstände kreuzen. Da sich bei der flexiblen Form 10 Rillenabschnitte des Gittermusters an der Oberfläche öffnen, kann sie zum Beispiel vorteilhaft zur Bildung einer PDP-Rippe mit einem vorstehenden Gittermuster verwendet werden, kann aber auch zweckdienlich zur Herstellung anderer Mikrostrukturen angewendet werden. Die flexible Form 10 kann eine zusätzliche Schicht enthalten, falls notwendig, oder es kann eine beliebige Behandlung an jeder Schicht ausgeführt werden, die die Form bildet. Die flexible Form 10 enthält jedoch im Wesentlichen eine Basisschicht 2 und eine Beschichtungsschicht 3, wie in 2 dargestellt ist.
Die Basisschicht 2 der flexiblen Form 10 ist im Wesentlichen gleichförmig aus einem ersten härtbaren Material mit einer relativ hohen Viskosität von 3.000 bis 100.000 cps gebildet, wenn diese bei einer Temperatur von 10 bis 80°C gemessen wird, bleibt aber im Wesentlichen frei von Blasen. Im Allgemeinen erfährt ein solches erstes härtbares Material keine wesentliche Schrumpfung, wenn es gehärtet wird. Daher tritt bei der Form mit den Rillen, die aus einem solchen ersten härtbaren Material gebildet sind, nicht leicht eine Verformung auf, sondern sie verfügt über eine ausgezeichnete Dimensionsstabilität.
Das erste härtbare Material ist ein wärmehärtbares Material oder ein lichthärtbares Material. Insbesondere, wenn das erste härtbare Material ein lichthärtbares Material ist, kann die flexible Form innerhalb einer relativ kurzen Zeitperiode hergestellt werden, ohne einen länglichen Heizofen zu benötigen. Ein lichthärtbares Material, das für das erste härtbare Material nützlich ist, enthält vorwiegend ein Oligomer (härtbares Oligomer) aufgrund der leichten Verfügbarkeit. Insbesondere, wenn das Oligomer ein Acryloligomer ist, wie ein Urethanacrylatoligomer und/oder ein Epoxidacrylatoligomer, ist die Basisschicht optisch transparent. Wenn daher diese Basisschicht mit einer transparenten Beschichtungsschicht kombiniert wird, wie später beschrieben ist, kann die flexible Form ein lichthärtbares Formungsmaterial verwenden. Das Formungsmaterial kann durch die flexible Form bestrahlt werden.
Die Beschichtungsschicht 3 ist auf der Oberfläche der Basisschicht 2 in guter Haftung mit der Basisschicht 2 angeordnet. In diesem Fall sind Blasen zwischen der Basisschicht 2 und der Beschichtungsschicht 3 auf der erstgenannten ausgeschlossen. Die Beschichtungsschicht 3 ist im Wesentlichen gleichförmig aus einem zweiten härtbaren Material mit einer relativ geringen Viskosität von nicht mehr als 200 cps gebildet, wenn diese bei 10 bis 80°C gemessen wird, und ist im Wesentlichen frei von Luftblasen. Dieses zweite härtbare Material hat vorzugsweise eine geringe Klebrigkeit. Da die Beschichtungsschicht 3 eine geringe Klebrigkeit aufweist, wird die Klebrigkeit auf der Oberfläche der flexiblen Form gering. Daher können die Handhabungseigenschaften verbessert werden und das Anhaften der formenden Form an dem Substrat und dem Produktionsapparat kann verhindert werden.
Das zweite härtbare Material kann entweder ein wärmehärtbares Material oder ein lichthärtbares Material, auf dieselbe Weise wie das erste härtbare Material, sein. Im Gegensatz zu dem ersten härtbaren Material jedoch enthält das lichthärtbare Material, das für das zweite härtbare Material zweckdienlich ist, ein Monomer (härtbares Monomer). Insbesondere, wenn das Monomer ein Acrylmonomer, wie ein Acrylamid, ein Acrylonitril, eine Acrylsäure, ein Acrylsäureester und so weiter ist, wird die Beschichtungsschicht optisch transparent. Daher kann die flexible Form das lichthärtbare Formungsmaterial in Kombination mit der transparenten Basisschicht wie zuvor beschrieben verwenden.
Unter erneuter Bezugnahme auf 2 ist in der flexiblen Form 10, die durch das Verfahren gemäß der Erfindung hergestellt wurde, der Abstand (d) vom Boden jedes Rillenabschnitts 4 zu der Rückseite der Basisschicht 2 vorzugsweise mindestens 1/10 der Tiefe (L) des Rillenabschnitts 4. Wenn eine solche dimensionale Struktur verwendet wird, hängt die Bildung des Rillenabschnitts nur von der Basisschicht ab, so dass eine Verformung der Form 10 und der Rillenabschnitte 4 nur schwer eintritt. Wenn der Abstand (d) kleiner als 1/10 der Tiefe (L) des Rillenabschnitts 4 ist, wird der Rillenabschnitt 4 im Gegensatz dazu wahrscheinlich im Wesentlichen nur durch die Beschichtungsschicht 3 gebildet, wie später unter Bezugnahme auf 6 erklärt wird. In diesem Fall wird eine Härtungsschrumpfung groß und wahrscheinlich tritt eine Verformung auf.
Vorzugsweise enthält die Basisschicht 2 des Weiteren eine Trägerschicht auf ihrer Rückseite. Die Trägerschicht kann aus verschiedenen Materialien gebildet sein, die die Form stützen können, ohne sie zu verformen. Ein Trägerfilm ist eines ihrer Beispiele, aber in keiner Weise einschränkend. Der Trägerfilm kann vorteilhaft zur Bildung der Basisschicht verwendet werden, wie später beschrieben wird.
Der Trägerfilm kann in verschiedenen Dicken verwendet werden. Angesichts der mechanischen Festigkeit und der Handhabungseigenschaften jedoch reicht die Filmdicke im Allgemeinen von 50 bis 500 μm und vorzugsweise von 100 bis 400 μm. Vorzugsweise ist der Trägerfilm optisch transparent. Wenn der Trägerfilm optisch transparent ist, können die Lichtstrahlen, die zur Härtung ausgestrahlt werden, durch diesen Film gehen. Daher ist es möglich, die Basisschicht und die Beschichtungsschicht zu bilden, indem die ersten beziehungsweise zweiten lichthärtbaren Härtungsmaterialien verwendet werden. Insbesondere, wenn der Trägerfilm gleichförmig aus einem transparenten Material gebildet ist, kann eine gleichförmige Basisschicht und eine gleichförmige Beschichtungsschicht effektiver gebildet werden. Typische Beispiele für den transparenten Trägerfilm sind Polyethylenterephthalat (PET), Polyethylennaphthalat (PEN) und Polycarbonat vom Aspekt der leichten Verfügbarkeit. Ein bevorzugter PET-Trägerfilm enthält Feuchtigkeit bis annähernd zum Maximum, das er in der Umgebung, in der die flexible Form verwendet wird, absorbieren kann, und hat eine vorbestimmte Größe. Daher kann dieser Trägerfilm die Gestalt des Rillenabschnitts während der Verwendung der flexiblen Form beibehalten und kann eine Änderung der Gestalt und Form der Formteile begrenzen.
Die flexible Form kann vorteilhaft in der Reihenfolge hergestellt werden, die in 3 und 4 dargestellt ist, wenn lichthärtbare erste und zweite härtbare Materialien verwendet werden.
Zunächst werden eine Metallmutterform 5 mit einer Gestalt und Größe, die einer flexiblen Form als Gegenstand der Herstellung entsprechen, ein transparenter Trägerfilm 1 und eine Laminierwalze 23 vorbereitet, wie in 3(A) dargestellt ist. Da die flexible Form zur Herstellung der PDP-Rückenplatte verwendet wird, hat hier insbesondere die Metallmutterform 5 Trennwände mit demselben Muster und derselben Gestalt wie jene der Rippen der PDP-Rückenplatte auf ihrer Oberfläche. Daher ist der Raum (die Ausnehmung) 15, der (die) durch benachbarte Trennwände 14 gebildet ist, der Abschnitt, der eine Entladungsanzeigezelle der PDP wird. Die Laminierwalze 23 ist ein Mittel zum Pressen des Trägerfilms 1 auf die Metallmutterform 5 und es kann, falls notwendig, ein bekanntes und übliches Laminatmittel anstelle der Laminierwalze 23 verwendet werden.
Anschließend wird ein bekanntes und herkömmliches Auftragsmittel (nicht dargestellt), wie eine Messerrakel oder eine Streichrakel, zum Auftragen des lichthärtbaren ersten härtbaren Materials 2 auf eine der Oberflächen des Trägerfilms 1 zu einer vorbestimmten Dicke verwendet, wie in 3(B) dargestellt ist. Das lichthärtbare zweite härtbare Material 3 wird auf die die Trennwand tragende Oberfläche der Metallmutterform 5 zu einer vorbestimmten Dicke durch dieselbe Methode aufgetragen und in die Ausnehmung 15 gefüllt, die in dem Spalt zwischen den Trennwänden 14 definiert ist. In dieser Erfindung wird das zweite härtbare Material 3 aufgrund seiner geringen Viskosität leicht fluidisiert. Selbst wenn daher die Metallmutterform 5 die Trennwände 14 mit einem hohen Aspektverhältnis hat, kann das zweite härtbare 3 gleichförmig ohne Einschluss von Blasen eingefüllt werden.
Anschließend wird die Laminierwalze 23 auf der Metallmutterform 5 in eine Richtung verschoben, die durch Pfeil A in 3(C) dargestellt ist, während das erste härtbare Material 2 und das zweite härtbare Material 3 weiterhin aneinander haften. Durch diese Laminatbehandelung kann das zweite härtbare Material 3 im Wesentlichen aus der Ausnehmung 15 entfernt werden.
Während dieser Laminatbehandlung ist bevorzugt, beide härtbaren Materialien in Haftung zu bringen, während der Abstand von der Oberseite (dem freien Ende) der Trennwände 14 zu dem Trägerfilm 1 ausreichend größer gehalten wird als die Höhe der Trennwände (zum Beispiel mindestens 1/10 der Höhe der Trennwände). Denn es ist möglich, den Großteil des zweiten härtbaren Materials 3 aus dem Raum der Trennwände 14 zu halten und es durch das erste härtbare Material 2 zu ersetzen, wie in 5 dargestellt ist. Infolgedessen kann die Basisschicht 2 zur Bildung des Rillenmusters der Form neben der Beschichtungsschicht 3 verwendet werden.
Wenn im Gegensatz dazu der Abstand von der Oberseite (dem freien Ende) der Trennwände 14 zu dem Trägerfilm 1 ausreichend kleiner als die Höhe der Trennwände ist (zum Beispiel geringer als 1/10 der Höhe der Trennwände), wie in 6 dargestellt ist, kann das zweite härtbare Material 3 kaum aus dem Raum der Trennwände 14 gehalten und nicht durch das erste härtbare Material 2 ersetzt werden. Daher besteht das Rillenmuster der Form fast vollständig aus der Beschichtungsschicht 3.
Nach Beendigung der Laminatbehandlung werden das erste und zweite härtbare Material 2 und 3 mit Licht (hv) durch den Trägerfilm 1 bestrahlt, während der Trägerfilm 1 auf die Metallmutterform 5 laminiert ist, wie in 4(D) dargestellt ist. Wenn der Trägerfilm 1 keine lichstreuenden Elemente, wie die Blasen, enthält, sondern gleichförmig aus dem transparenten Material gebildet ist, werden die ausgestrahlten Lichtstrahlen kaum abgeschächt und können gleichförmig das erste und zweite härtbare Material 2 und 3 erreichen. Dadurch wird das erste härtbare Material effizient gehärtet, um die gleichförmige Basisschicht 2 zu erhalten, die an den Trägerfilm 1 gebunden ist. Das zweite Härtungsmaterial wird ebenso auf gleiche Weise gehärtet, um die gleichförmige Beschichtungsschicht 3 zu erhalten, die an die Basisschicht 2 gebunden ist.
Nach einer Serie der zuvor beschriebenen Herstellungsschritte wird eine flexible Form erhalten, die den Trägerfilm 1, die Basisschicht 2 und die Beschichtungsschicht 3 enthält, die integral aneinander gebunden sind. Danach wird die flexible Form 10 aus der Metallmutterform 5 gelöst, während ihre Integrität beibehalten wird, wie in 4(E) dargestellt ist.
Diese flexible Form kann relativ leicht, unabhängig von ihrer Größe, mit bekannten und herkömmlichen Laminatmitteln und Auftragsmitteln hergestellt werden. Anders als bei der herkömmlichen Herstellungsmethode, die ein Vakuumgerät, wie eine Vakuumpressmaschine, verwendet, kann diese Erfindung daher leicht eine große flexible Form ohne Einschränkung herstellen.
Ferner ist die flexible Form, die durch die Methode gemäß der Erfindung hergestellt wird, zur Herstellung verschiedener Mikrostrukturen geeignet. Wie zum Beispiel in JP2001-191345 offenbart ist, ist die Form gemäß der Erfindung insbesondere und extrem zur Formung einer Rippe (Mikrostruktur) der PDP mit einem Gittermuster geeignet. Wenn diese flexible Form verwendet wird, wird es möglich, leicht eine Großbildschirm-PDP mit gitterförmigen Rippen herzustellen, in der Ultraviolettstrahlen nicht leicht aus den Entladungsanzeigezellen austreten, indem einfach eine Laminierwalze anstelle eines Vakuumgeräts und/oder eines komplizierten Prozesses verwendet wird.
Anschließend wird ein Verfahren zur Herstellung eines PDP-Substrates mit Rippen auf einer flachen Glasscheibe unter Verwendung der Herstellungsgeräte, die in 1 bis 3 dargestellt sind, unter Bezugnahme auf 7 und 8 erklärt.
Zunächst wird eine flache Glasscheibe 31, wie in 7(A) dargestellt ist, im Voraus vorbereitet, die parallele Elektroden 32 mit vorbestimmten Spalten aufweist, und dann auf einem Trägertisch 21 angeordnet. Wenn eine Bühne, nicht dargestellt, verwendet wird, die eine Verschiebung ermöglicht, wird der Trägertisch 21, der die flache Glasscheibe 31 trägt, in eine vorbestimmte Position der Bühne gestellt.
Anschließend wird die flexible Form 10 mit dem Rillenmuster auf ihrer Oberfläche in eine vorbestimmte Position der flachen Glasscheibe 31 gestellt.
Die flache Glasscheibe 31 und die Form 10 werden relativ zueinander positioniert. Genauer erfolgt diese Positionierung mit dem Auge, oder, wie in 7(B) dargestellt ist, unter Verwendung eines Sensors 29, wie einer CCD-Kamera, in derartiger Weise, dass der Rillenabschnitt der Form 10 und die Elektroden der flachen Glasscheibe 31 parallel sind. Zu diesem Zeitpunkt können der Rillenabschnitt der Form 10 und der Raum zwischen den benachbarten Elektroden auf der flachen Glasscheibe 31 konform gemacht werden, indem, falls notwendig, die Temperatur und Feuchtigkeit eingestellt werden. Allgemein gesagt, die Form 10 und die flache Glasscheibe 31 erfahren in Übereinstimmung mit der Änderung der Temperatur und Feuchtigkeit eine Ausdehnung und Kontraktion, und es wird eine Steuerung vorgenommen, so dass die Temperatur und Feuchtigkeit konstant gehalten werden, wenn eine Positionierung zwischen der flachen Glasscheibe 31 und der Form 10 beendet ist. Ein solches Steuerverfahren ist für die Herstellung eines großflächigen PDP-Substrates besonders effektiv.
Anschließend wird die Laminierwalze 23 auf einen der Endabschnitte der Form 10 aufgesetzt, wie in 7(C) dargestellt ist. Einer der Endabschnitte der Form 10 ist vorzugsweise zu diesem Zeitpunkt auf der flachen Glasscheibe 31 fixiert. Auf diese Weise kann eine Abweichung in der Positionierung zwischen der flachen Glasscheibe 31 und der Form 10, die zuvor positioniert wurden, verhindert werden.
Anschließend, wie in 7(D) dargestellt ist, wird der andere freie Endabschnitt der Form 10 mit einer Halterung 28 hoch gehoben und über die Laminierwalze 23 bewegt, um die flache Glasscheibe 31 frei zu legen. Zu diesem Zeitpunkt wird darauf geachtet, dass keine Spannung auf die Form 10 ausgeübt wird, so dass ein Falz in der Form 10 verhindert wird, und die Positionierung zwischen der Form 10 und der flachen Glasscheibe 31 beibehalten wird. Es können auch andere Mittel verwendet werden, solange die Positionierung beibehalten werden kann. Ein vorbestimmtes Maß eines Rippenvorläufers 33, der zur Bildung der Rippe notwendig ist, wird auf die flache Glasscheibe 31 aufgebracht. Das Beispiel, das in den Zeichnungen dargestellt ist, verwendet ein Pastenmagazin 27 mit einer Düse als Rippenvorläuferzufuhr.
Hier bezeichnet der Begriff "Rippenvorläufer" ein willkürliches Formungsmaterial, das zur Bildung des Rippenformteils als Endobjekt geeignet ist, und schränkt die Materialien nicht besonders ein, solange sie das Rippenformteil bilden können. Der Rippenvorläufer kann von einer wärmehärtenden Art oder von einer lichthärtenden Art sein. Wie in der Folge unter Bezugnahme auf 8(F) erklärt wird, kann insbesondere der lichthärtende Rippenvorläufer extrem effektiv in Kombination mit der zuvor beschriebenen transparenten flexiblen Form verwendet werden. Die flexible Form hat kaum Defekte, wie Blasen und Verformung, und kann eine ungleichförmige Streuung von Licht unterdrücken. Folglich wird das Formungsmaterial gleichförmig gehärtet und stellt eine Rippe mit konstanter und ausgezeichneter Qualität bereit.
Ein Beispiel für Zusammensetzungen, die für den Rippenvorläufer geeignet sind, enthält (1) eine keramische Komponente, die der Rippe Gestalt verleiht, wie Aluminiumoxid, (2) eine Glaskomponente, die Spalten zwischen den keramischen Komponenten füllt und der Rippe Kompaktheit verleiht, wie Bleiglas oder Phosphatglas, und (3) eine Bindemittelkomponente zum Lagern, Halten und Binden der keramischen Komponente und der Glaskomponente, und ein Härtungsmittel oder einen Polymerisationsinitiator für die Bindemittelkomponente. Vorzugsweise ist die Härtung der Bindemittelkomponente nicht von einer Erwärmung abhängig, sondern verwendet die Bestrahlung mit Licht. In einem solchen Fall muss die Verformung durch Wärme der flachen Glasscheibe nicht berücksichtigt werden. Ein Oxidationskatalysator, der aus Oxiden, Salzen oder Komplexen aus Chrom (Cr), Mangan (Mn), Eisen (Fe), Kobalt (Co), Nickel (Ni), Kupfer (Cu), Zink (Zn), Indium (In) oder Zinn (Sn), Ruthenium (Ru), Rhodium (Rh), Palladium (Pd), Silber (Ag), Iridium (Ir), Platin (Pt), Gold (Au) oder Cerium (Ce) besteht, wird, falls notwendig, dieser Zusammensetzung hinzugefügt, so dass eine Entfernungstemperatur der Bindemittelkomponente gesenkt wird.
In der Ausführung der Herstellungsmethode, die in den Zeichnungen dargestellt ist, wird der Rippenvorläufer 33 nicht gleichförmig auf den gesamten Teil der flachen Glasscheibe 31 aufgebracht. Mit anderen Worten, der Rippenvorläufer 33 kann nur auf die flache Glasscheibe 31 in der Nähe der Laminierwalze 23 aufgebracht werden, wie in 7(D) dargestellt ist. Der Grund ist, dass der Rippenvorläufer 33 gleichförmig verteilt werden kann, wenn sich die Laminierwalze 23 auf der Form 10 im folgenden Schritt bewegt. Der Rippenvorläufer 33 hat jedoch in diesem Fall vorzugsweise eine Viskosität von etwa 100.000 cps oder weniger, insbesondere etwa 20.000 cps oder weniger. Wenn die Viskosität des Rippenvorläufers höher als etwa 100.000 cps ist, verteilt die Laminierwalze den Rippenvorläufer nicht ausreichend, so dass Luft in den Rillenabschnitten der Form eingeschlossen wird und zu Rippendefekten führt. Wenn die Viskosität des Rippenvorläufers etwa 100.000 cps oder geringer ist, verteilt sich der Rippenvorläufer tatsächlich zwischen der flachen Glasscheibe und der Form, wenn die Laminierwalze nur einmal von einem der Endabschnitte der flachen Glasscheibe zu dem anderen Ende bewegt wird, und der Rippenvorläufer kann alle Rillenabschnitte ohne Einschluss von Blasen füllen. Die Aufbringungsmethode des Rippenvorläufers ist jedoch nicht auf die zuvor beschriebene Methode beschränkt. Zum Beispiel kann der Rippenvorläufer auf die gesamte Oberfläche der flachen Glasscheibe aufgetragen werden, obwohl diese Methode in den Zeichnungen nicht dargestellt ist. Dabei hat der Rippenvorläufer für die Beschichtung dieselbe Viskosität wie die zuvor beschriebene Viskosität.
Insbesondere, wenn die Rippe des Gittermusters gebildet wird, ist die Viskosität 20.000 cps oder geringer, vorzugsweise etwa 5.000 cps oder geringer.
Anschließend wird ein drehender Motor (nicht dargestellt) angetrieben, um die Laminierwalze 23 auf der Form 10 mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit zu bewegen, wie durch einen Pfeil in 8(E) dargestellt ist. Während sich die Laminierwalze 23 auf der Form 10 in dieser Weise bewegt, wird der Druck der Reihe nach auf die Form 10 von einem ihrer Enden zu dem anderen aufgrund des Eigengewichts de Laminierwalze 23 ausgeübt. Folglich verteilt sich der Rippenvorläufer 33 zwischen der flachen Glasscheibe 31 und der Form 10, und das Formungsmaterial wird in die Rillenabschnitte der Form 10 gefüllt. Mit anderen Worten, der Rippenvorläufer 33 der Rillenabschnitte ersetzt der Reihe nach Luft und wird eingefüllt. Die Dicke des Vorläufers kann dabei auf einen Bereich von mehreren Mikrometern bis Dutzende von Mikrometern eingestellt werden, wenn die Viskosität des Rippenvorläufers oder der Durchmesser, das Gewicht oder die Bewegungsgeschwindigkeit der Laminierwalze passend reguliert werden.
Selbst wenn die Rillenabschnitte der Form als Luftkanäle dienen und Luft sammeln, können sie gemäß der Herstellungsmethode der Erfindung effizient Luft nach außen oder zu der Peripherie der Form abgeben, wenn sie den zuvor beschriebenen Druck aufnehmen. Dadurch kann die Herstellungsmethode der Erfindung verbleibende Blasen verhindern, selbst wenn der Rippenvorläufer bei atmosphärischem Druck eingefüllt wird. Mit anderen Worten, es muss kein Vakuum zum Einfüllen des Rippenvorläufers angewendet werden. Es muss nicht darauf hingewiesen werden, dass die Blasen in Vakuum leichter entfernt werden können.
Anschließend wird der Rippenvorläufer gehärtet. Wenn der Rippenvorläufer 33, der auf der flachen Glasscheibe 31 verteilt ist, von der lichthärtenden Art ist, wird der Rippenvorläufer (nicht dargestellt) mit der flachen Glasscheibe 31 und der Form 10 in einen Lichtbestrahlungsapparat 26 eingebracht, wie insbesondere in 8(F) dargestellt ist, und die Lichtstrahlen, wie Ultraviolettstrahlen (UV), werden durch die flache Glasscheibe 31 und/oder die Form 10 auf den Rippenvorläufer gestrahlt, um den Rippenvorläufer zu härten. Auf diese Weise kann das Formteil des Rippenvorläufers, das heißt, die Rippe selbst, erhalten werden.
Schließlich werden die erhaltene Rippe, die an die flache Glasscheibe 31 gebunden ist, die flache Glasscheibe 31 und die Form 10 aus dem Lichtbestrahlungsapparat entnommen, und die Form 10 wird dann abgezogen und entfernt. Da die Form gemäß der Erfindung hohe Handhabungseigenschaften hat, kann die Form leicht abgezogen und entfernt werden, ohne die Rippe zu brechen, die an die flache Glasscheibe gebunden ist.
Obwohl die Erfindung somit unter Bezugnahme auf eine bevorzugte Ausführungsform erklärt wurde, ist die Erfindung nicht insbesondere darauf beschränkt.
Die flexible Form ist nicht insbesondere auf die zuvor beschriebene Form beschränkt, solange sie die Aufgabe und die Durchführung und den Effekt der Erfindung erfüllen kann. Zum Beispiel kann die flexible Form ein so genanntes "gerades Rillenmuster" aufweisen, das durch Anordnen mehrerer Rillenabschnitte im Wesentlichen parallel zueinander mit Spalten dazwischen, ohne einander zu kreuzen, gebildet wird. Eine solche flexible Form kann zur Bildung einer Rippe einer PDP in einem geraden Muster verwendet werden.
Die flexible Form gemäß der Erfindung wird nicht nur zur Bildung der PDP-Rippe verwendet, sondern kann vorteilhaft für die Bildung einer Reihe von Mikrostrukturen mit ähnlichen Gestalten oder Mustern verwendet werden.
Beispiele
Die Erfindung wird genauer anhand von einigen Beispielen erklärt. Die Erfindung ist jedoch nicht auf die folgenden Beispiele beschränkt, wie für den Fachmann offensichtlich ist.
Beispiel 1
Zur Herstellung einer PDP-Rückenplatte wird in diesem Beispiel eine rechteckige Metallmutterform 5 mit Trennwänden 14 in einem Gittermuster vorbereitet, wie als typisches Beispiel in 9 dargestellt ist. Die Erklärung erfolgt in näheren Einzelheiten. Diese Metallmutterform 5 wird durch Anordnen länglicher Trennwände (länglicher Rippen) mit gleichschenkeligem, trapezförmigem Querschnitt in einem vorbestimmten Abstand in eine Längsrichtung und quer verlaufenden Trennwänden (Querrippen) mit gleichschenkeligem, trapezförmigem Querschnitt in einem vorbestimmten Abstand in eine Richtung senkrecht zu den Längsrippen gebildet, wie in der folgenden Tabelle 1 angeführt ist.
Die Räume (Ausnehmungen) 15, die durch die Trennwände 14 in die Längs- und Querrichtungen definiert sind, sind Entladungsanzeigezellen der PDP. Tabelle 1

Abstand Höhe Obere Breite Untere Breite Verjüngungswinkel

Längsrippe 300 μm 208 μm 55 μm 115 μm 82°

Querrippe 500 μm 208 μm 37 μm 160 μm 75°
Eine erstes härtbares Material wird durch Mischen von 80 Gew.-% aliphatischem Urethanacrylatoligomer (ein Produkt von Henkel Co., Warenbezeichnung "Photomer 6010"), 20 Gew.-% 1,6 Hexandioldiacrylat (ein Produkt von Shin-Nakamura Kagaku K. K.) und 1 Gew.-% 2-Hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-on (ein Produkt von Ciba Specialities Co., Warenbezeichnung "Darocure 1173") hergestellt. Wenn die Viskosität des ersten härtbaren Materials gemessen wird, beträgt sie 8.500 cps bei 22°C. Ein Brookfield Viskosimeter (Viskosimeter vom B-Typ) wird zur Messung der Viskosität des ersten härtbaren Materials verwendet. Der Messmodus verwendet eine Spindel #5 bei einer Drehzahl von 20 U/min.
Ferner werden 40 Gew.-% Photomer 6010, wie zuvor beschrieben, 60 Gew.-% 1,6 Hexandioldiacrylat und 1 Gew.-% Darocure 1173 gemischt, um ein zweites härtbares Material herzustellen. Wenn die Viskosität dieses zweiten härtbaren Materials auf dieselbe Weise wie zuvor gemessen wird, beträgt sie 110 cps bei 22°C.
Danach wird das erste härtbare Material, das auf die zuvor beschriebene Weise hergestellt wurde, zu einer Dicke von 200 μm auf einen PET Trägerfilm mit einer Dicke von 188 μm aufgetragen. Andererseits wird das zweite härtbare Material auf eine Oberfläche einer Metallform, die separat vorbereitet wurde, derart aufgetragen, dass es die Ausnehmungen der Metallform füllt.
Das erste härtbare Material auf dem Trägerfilm wird mit dem zweiten härtbaren Material auf der Metallmutterform unter Verwendung einer Laminierwalze derart laminiert, dass der Abstand von der oberen Oberfläche der Oberseite der Trennwände der Metallmutterform zu dem Trägerfilm 25 μm beträgt.
Lichtstrahlen mit einer Wellenlänge von 300 bis 400 nm werden in diesem Zustand 30 Sekunden auf das erste und zweite härtbare Material durch den Trägerfilm von einer fluoreszierenden Lampe, ein Produkt von Mitsubishi Denki-Oslam K. K., gestrahlt. Das erste und zweite Material werden jeweils gehärtet, wodurch eine Basisschicht und eine Beschichtungsschicht, die diese bedeckt, erhalten werden. Anschließend wird der Trägerfilm mit der Basisschicht und der Beschichtungsschicht von der Metallmutterform abgezogen, um eine flexible Form zu erhalten.
Wenn die erhaltene flexible Form durch ein optisches Mikroskop überprüft wird, wird ein Vorhandensein von Blasen und eine Verformung des Musters auf der Form nicht bestätigt.
Beispiel 2
Es wird eine flexible Form auf dieselbe Weise wie in Beispiel 1 hergestellt und überprüft, mit der Ausnahme, dass das erste härtbare Material auf dem Trägerfilm mit dem zweiten härtbaren Material auf der Metallmutterform derart laminiert wird, dass der Abstand von der oberen Oberfläche der Oberseite der Trennwände der Metallmutterform zu dem Trägerfilm 55 μm beträgt.
In der flexiblen Form dieses Beispiels kann ein Vorhandensein von Blasen und eine Verformung des Musters ebenso nicht bestätigt werden.
Beispiel 3
Es wird eine flexible Form auf dieselbe Weise wie in Beispiel 1 hergestellt und überprüft, mit der Ausnahme, dass das zweite härtbare Material mit einer Viskosität von 200 cps bei 22°C durch Mischen von 50 Gew.-% Photomer 6010, 50 Gew.-% 1,6-Hexandioldiacrylat und 1 Gew.-% Darocure 1173 hergestellt wird.
In der flexiblen Form dieses Beispiels kann ein Vorhandensein von Blasen und eine Verformung des Musters ebenso nicht bestätigt werden.
Beispiel 4
Es wird eine flexible Form auf dieselbe Weise wie in Beispiel 1 hergestellt und überprüft, mit der Ausnahme, dass das zweite härtbare Material mit einer Viskosität von 18 cps bei 22°C durch Mischen von 100 Gew.-% 1,6-Hexandioldiacrylat und 1 Gew.-% Darocure 1173 hergestellt wird.
In der flexiblen Form dieses Beispiels kann ein Vorhandensein von Blasen und eine Verformung des Musters ebenso nicht bestätigt werden.
Vergleichsbeispiel 1
Es wird eine flexible Form auf dieselbe Weise wie in Beispiel 1 hergestellt und überprüft, mit der Ausnahme, dass das zweite härtbare Material nicht verwendet wird, das erste härtbare Material mit der Metallmutterform laminiert wird, nachdem es auf eine Dicke von 200 μm auf den Trägerfilm aufgetragen wurde, und der Abstand von der oberen Oberfläche der Oberseite der Trennwände der Metallmutterform zu dem Trägerfilm 25 μm zum Vergleich beträgt.
In der flexiblen Form dieses Vergleichsbeispiels wird das Vorhandensein einer großen Anzahl von Blasen bestätigt. Eine Verformung des Musters kann jedoch nicht bestätigt werden.
Vergleichsbeispiel 2
Es wird eine flexible Form auf dieselbe Weise wie in Beispiel 1 hergestellt und überprüft, mit der Ausnahme, dass das erste härtbare Material linear auf einem der Endabschnitte des zweiten härtbaren Materials abgeschieden wird, das auf die Metallmutterform aufgetragen ist, eine Laminierwalze zu dem anderen Endabschnitt der Metallmutterform bewegt wird, auf dem das zweite härtbare Material aufgetragen ist, nachdem die Laminierwalze an dem äußeren Kantenabschnitt des ersten härtbaren Materials angeordnet wurde, und der Abstand von der oberen Oberfläche der Oberseite der Trennwände der Metallmutterform zu dem Trägerfilm 25 μm zum Vergleich beträgt.
Das Vorhandensein von Blasen in der flexiblen Form dieses Vergleichsbeispiels wird nicht bestätigt, aber eine Verformung des Musters wird örtlich bestätigt.
Wie zuvor erklärt, kann diese Erfindung eine flexible Form bereitstellen, die zur Herstellung einer PDP-Rippe mit einem qualitativ hochwertigen Gittermuster oder anderer Mikrostrukturen zweckdienlich ist, und kann die Mikrostrukturen äußerst präzise herstellen, ohne Defekte, wie das Auftreten von Blasen und einer Musterverformung, zu verursachen.
Die Erfindung kann auch ein Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Form bereitstellen, das zur relativ leichten Herstellung einer PDP-Rippe mit einem qualitativ hochwertigen Gittermuster oder einer Vielzahl anderer Mikrostrukturen effektiv ist.
Die Erfindung kann des Weiteren ein Herstellungsverfahren einer PDP-Rippe mit einem qualitativ hochwertigen Gittermuster oder anderer Mikrostrukturen, wie einer keramischen Mikrostruktur, bereitstellen.

Claims

Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Form (10) mit einem Rillenmuster mit einer vorbestimmten Gestalt und einer vorbestimmten Größe auf einer Oberfläche derselben, umfassend: das Herstellen einer Basisschicht (2) aus einem ersten härtbaren Material mit einer Viskosität von 3.000 bis 100.000 cps bei 10 bis 80°C; das Herstellen einer Beschichtungsschicht (3) aus einem zweiten härtbaren Material mit einer Viskosität von nicht mehr als 200 cps bei 10 bis 80°C, um eine Oberfläche der Basisschicht zu beschichten; und das Härten des ersten härtbaren Materials und des zweiten härtbaren Materials.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Basisschicht (2) und die Beschichtungsschicht (3) transparent sind.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das erste härtbare Material und das zweite härtbare Material lichthärtbare Materialien sind.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, das ferner das Bereitstellen einer Trägerschicht (1) auf der Rückseite der Basisschicht (2) umfasst.
Verfahren nach Anspruch 4, wobei die Trägerschicht (1) transparent ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei das Rillenmuster ein gitterförmiges Muster hat, das aus mehreren Rillenabschnitten gebildet ist, die so angeordnet sind, dass sie im Wesentlichen parallel zueinander liegen, während sie einander in vorbestimmten Abständen kreuzen.
Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur mit einem vorstehenden Muster mit einer vorbestimmten Gestalt und einer vorbestimmten Größe auf einer Oberfläche eines Substrates, umfassend die Schritte: das Herstellen einer flexiblen Form nach dem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die flexible Form (10) ein Rillenmuster mit einer Gestalt und einer Größe auf einer Oberfläche aufweist, das jenem des vorstehenden Musters entspricht; das Anordnen eines härtbaren Formungsmaterials (33) zwischen dem Substrat und der Beschichtungsschicht (3) der Form, und das Einfüllen des Formungsmaterials in das Rillenmuster der Form; das Härten des Formungsmaterials und das Bilden einer Mikrostruktur, die das Substrat und das vorstehende Muster, das integral an das Substrat gebunden ist, enthält; und das Trennen der Mikrostruktur von der Form.
Herstellungsverfahren nach Anspruch 7, wobei das Formungsmaterial ein lichthärtbares Material ist.
Herstellungsverfahren nach Anspruch 7, wobei die Mikrostruktur eine Rückenplatte für eine Plasmaanzeigetafel ist.
Herstellungsverfahren nach Anspruch 9, das ferner einen Schritt zum unabhängigen Anordnen eines Satzes von Adressenelektroden im Wesentlichen parallel zueinander unter Beibehaltung eines vorbestimmten Abstandes zwischen ihnen umfasst.