EP0197886B1 - Verfahren zur Herstellung einer flachen Beleuchtungseinheit - Google Patents

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EP0197886B1
EP0197886B1 EP86730042A EP86730042A EP0197886B1 EP 0197886 B1 EP0197886 B1 EP 0197886B1 EP 86730042 A EP86730042 A EP 86730042A EP 86730042 A EP86730042 A EP 86730042A EP 0197886 B1 EP0197886 B1 EP 0197886B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
plate
process according
light guiding
guiding passages
substrate layer
Prior art date
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Expired
Application number
EP86730042A
Other languages
English (en)
French (fr)
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EP0197886A1 (de
Inventor
Hartmut Dipl.-Phys. Dr. Grethen
Werner Dr.-Ing. Nickel
Udo Dipl.-Phys. Dr. Rer. Nat. Scheer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of EP0197886A1 publication Critical patent/EP0197886A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0197886B1 publication Critical patent/EP0197886B1/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources

Definitions

  • the illumination of individual micro-lines can be carried out uniformly over the length of the respective micro-line by continuously coupling light coupled into the micro-line-specific light guide channels on the face side along the respective light guide channel from its channel wall onto the micro line.
  • successive light decoupling along the longitudinal axis of the light guide channels is also possible, for example by means of a sound wave packet traveling along the light guide channel.
  • the invention is based on a method for producing a flat lighting unit.
  • the known lighting unit is designed as an electroluminescent display unit, in which individually controllable pixels in the form of individually controllable electroluminescent elements are arranged in 256 rows and 512 columns in a display area. Control and driver electronics for controlling the individual pixels are also integrated in the known lighting unit.
  • the construction depth of the known lighting unit is 0.8 inches (approx. 2 cm).
  • a lighting unit is also known as part of a photocopying device.
  • the known lighting unit contains a flat electroluminescent layer, which is arranged lying in a film arrangement between two transparent, electrically conductive film electrodes. By applying an alternating voltage to the foil electrodes, the electroluminescent layer is energetically excited so that it illuminates uniformly over its surface.
  • the invention has for its object to provide a method that enables the production of lighting units with at least line-wise controllable light emission in a very flat design and with comparatively few components; Another object is to enable the production of the flat lighting units in large numbers in a cost-effective manner while maintaining the same quality, with a particularly exact arrangement and design of the light guide channels having to be ensured.
  • light-guiding channels in the form of transparent rods are formed line by line on the top of a plate; the top of the plate is covered with a casting compound covering the light guide channels and filling the spaces between the light guide channels, and the plate is removed after the casting compound has hardened to such an extent that only the light guide channels remain enclosed on three sides by the casting compound.
  • the method according to the invention makes it possible to produce a flat lighting unit with only a relatively small number of components on account of the rods forming the light-guiding channels, a very flat construction of the lighting unit resulting from the rods being thin.
  • the casting compound After curing, the casting compound forms a film which surrounds the light-guiding channels on three sides, so that only one side of the light-guiding channels is exposed for coupling out light fed into the light-guiding channels; the light guide channels are therefore well protected against external influences and are embedded in the film. Because the light guide channels are arranged on the plate beforehand, a high degree of accuracy can be achieved with regard to their later arrangement in the film.
  • transparency of the film may be desirable if, for. B. a template to be illuminated line by line through the film should be at least roughly visible or when using the lighting unit in a scanning device the film with the light guide channels is arranged closer to the original as light receiving elements.
  • transparent material is used as the casting compound, the optical refractive index of which is lower than that of the light guide channels. This ensures that, on the one hand, the film is transparent and, on the other hand, the light guided in the light guide channels experiences total reflection in the border area between the light guide channels and the film, thereby preventing the influence of scattered light between adjacent light guide channels.
  • a reduction in the effects of scattered light can also be achieved in an advantageous manner in that the light guide channels arranged on the top of the plate are mirrored with the casting compound before being coated.
  • a particularly cost-effective production of the flat lighting unit according to the inventive method is achieved in that the light guide channels are pressed individually from transparent material and attached to the top of the plate in rows; the plate is detached from the encapsulated light guide channels after covering the light guide channels with the casting compound.
  • the light guide channels can be pressed onto the surface of the respective surface for fastening on the plate facing notches are additionally pressed in, at which the light laterally coupled into the light guide channels is coupled out of these.
  • a particularly high accuracy of the formation of the light guide channels with regard to their dimensions and their arrangement in the film formed by the casting compound is achieved in that the plate is made of transparent material and that the light guide channels are designed in the form of web-shaped elevations of the plate.
  • the plate is advantageously cast from transparent plastic using a die which is provided with depressions corresponding to the web-shaped elevations to be formed in the plate. This ensures a particularly precise arrangement and configuration of the web-shaped elevations or the later light-guiding channels in the film.
  • the transparent plate can be produced, for example, by injection molding, in that the die is used as a press die and the plate is injection molded.
  • a photopolymerizable clear lacquer as a transparent plastic when casting the plate in the die and to harden it by exposure to light.
  • a process step is known per se from the publication: "Philips Technical Review", volume 40, 1982, no. 10, page 290, in particular FIG. 4.
  • the clear lacquer is pressed into the recesses of the die by means of a plexiglass pane and cured through the plexiglass pane by irradiation with ultraviolet light.
  • the plexiglass pane is detached from the cast light-guiding channels.
  • grooves are advantageously cut into a substrate layer, the depth and width of which correspond to the height and the spacing between the web-shaped elevations on the transparent plate to be formed; from the side of the substrate layer which has the grooves, a mold impression is obtained which forms the die.
  • a further solution to the problem stated above is, according to the invention, that a carrier plate with depressions arranged in rows on one side is pressed, the depth and width of which correspond to the cross-sectional dimensions of light guide channels, and that transparent material is introduced into the light guide channels to form the light guide channels.
  • This variant of the method also makes it possible to produce a very flat lighting unit with only a few components, the light guide channels being embedded in the recesses in a well-protected manner against external influences.
  • the carrier plate is pressed from transparent material, the refractive index of which is greater than that of the light guide channels; In this way it is achieved that the light guided in the light guide channels is totally reflected and no stray light can escape from the light guide channels.
  • a reduction in the effects of scattered light is also advantageously achieved in that the carrier plate is mirrored on its side provided with the depressions before the introduction of the transparent material for the light guide channels.
  • the carrier plate with the depressions is advantageously produced by casting the carrier plate using a die, in that grooves are cut line by line in a substrate layer to produce the die, the depth and spacing of which corresponds to the cross-sectional dimensions of the light guide channels to be formed, from a first mold pressure is obtained from the side of the substrate layer having the grooves, and a second mold pressure is obtained from this, which forms the die. This process ensures an exact formation of the depressions for the light guide channels.
  • notches are cut into the substrate layer in columns in the transverse direction before the grooves are cut into the substrate layer. These notches advantageously result in corresponding notches in the web-shaped elevations or in the depressions both in the method which provides for the pressing of a transparent plate with web-shaped elevations and in the method comprising the formation of a carrier plate with depressions arranged in rows, and thus in the depressions Light guide channels, so that light rays that are coupled into end faces of the light guide channels are reflected at the notch surfaces facing the light source so that they strike the channel wall in the light exit region of the light guide channel approximately perpendicularly and can thus exit from the latter.
  • a uniform decoupling of light along the individual light-guiding channels is advantageously achieved in that the grooves are progressively cut into the substrate layer with increasing depth in the manufacture of the die.
  • the substrate layer itself can be formed in the form of a lacquer layer on a carrier layer.
  • a metal plate for example made of copper or aluminum, can alternatively be used for this.
  • a particularly simple and therefore inexpensive manufacture of the die for the process according to the invention is achieved in that a silicone rubber impression is used as the mold impression.
  • a particularly high accuracy of the formation of the light guide channels with regard to their dimensions and their arrangement can be achieved in that a conductive layer is applied on the side of the substrate layer having the grooves in order to produce the mold impression, and that in a galvanic bath on the conductive layer is a metal layer is built up, which with sufficient thickness, freed from the substrate layer forms the mold impression (the die).
  • the conductive layer serves as the basis for the galvanic deposition of the metal layer. If the substrate layer consists of a metal plate, such as. B. of copper, the copper is etched away in the last step for producing the die and the conductive layer - for example a silver coating - serves to stop the etching process on the metal layer forming the die.
  • FIGS. 1A, 1B to 15A, 15B it should be noted that the partial representations to the right of the dash-dotted dividing lines with respect to the left partial representations are each to be viewed at right angles to the plane of the drawing.
  • a substrate layer consisting of a thin lacquer layer 2 is applied to a carrier layer 1 (FIGS. 1A, 1B), which can consist for example of a glass plate.
  • a carrier layer 1 (FIGS. 1A, 1B), which can consist for example of a glass plate.
  • notches 3 are first cut into columns, which are progressively produced from column to column with a greater notch depth. With a preferred gap between the notches 3 of approximately 0.5 mm, the notch depth is in the range from 0.004 mm to 0.5 mm.
  • the notch surfaces 4 of the notches 3 are preferably at an angle of approximately 45 ° to the plane of the lacquer layer 2.
  • grooves 5, preferably with a rectangular cross section, are cut into the lacquer layer 2 in the transverse direction to the notches 3.
  • the depth of cut for the grooves 5 is at least as large as that of the deepest cut notch.
  • the grooves 5 are preferably made with a width of approximately 0.15 mm at a line spacing of approximately 0.5 mm (calculated from the center of one groove to the center of the adjacent groove).
  • the carrier layer 1 with the lacquer layer 2 structured by the incisions forms wine master form.
  • a conductive layer 6 (shown here disproportionately thick) is applied to the lacquer layer 2, preferably in the form of a metal coating in a sputtering chamber. however, it is also possible to evaporate this metal coating.
  • This process step serves to prepare the master mold for a subsequent electroplating process, in which a metal layer 7 (FIGS. 2A, 2B) is built up on the conductive layer 6 in a galvanic bath; preferred material for the metal layer 7 is nickel.
  • the electroplating process is complete when the metal layer 7 reaches a thickness at which it fills the notches 3 and the grooves 5 in the lacquer layer 2 and otherwise forms a mechanically stable plate.
  • the metal layer 7 can be covered on its rear side facing away from the lacquer layer with an additional stabilizing layer 7a (FIGS. 3A, 38) made of cast resin, for example.
  • liquid transparent plastic can be used in an injection press 9 10 such as B.
  • plexiglass or polycarbonate transparent plates 11 ( Figure 4A, 4B), on the top 12 each row-like web-shaped elevations 13 are formed, which are provided in the transverse direction with notches 14 in columns.
  • the upper side 12 of the transparent plate 11 corresponds to the structure of the lacquer layer 2 of the master mold corresponding to FIG. 1A 1B.
  • the transparent plate 11 is mirrored on its top 12 with the web-shaped elevations 13. Subsequently, the top 12 of the transparent plate 11 is covered with a casting compound 15 covering the web-shaped elevations 13 and filling the notches 14 and the spaces between the web-shaped elevations 13 ( Figure 5a, 5B).
  • the transparent plate 11 is removed, starting from its underside facing away from the upper side 12, until only the formerly web-shaped elevations 13 in the form of light guide channels 16 remain enclosed on three sides by the casting compound 15 (FIGS. 6A, 6B). .
  • the plate 11 can be removed by a mechanical process, for example by grinding and subsequent polishing, or by a chemical etching process.
  • the lighting unit can be completed following the method step shown in FIGS. 3A, 3B in accordance with the steps shown in FIGS. 7A, B to 9A, B.
  • a photopolymerizable clear lacquer 21 is pressed into the recesses of the die 8 using a plexiglass plate 22.
  • the clear lacquer 21 is irradiated through the plexiglass plate 22 with ultraviolet light 23, so that the clear lacquer 21 hardens to a transparent plate 11. which consists of a thin base plate 24 with ridges 13 arranged in rows and provided with notches 14 (FIGS. 8A, 8B).
  • the die 8 is then released from the transparent plate 11 and the surface 25 of the transparent plate 11 thus produced is mirrored.
  • the plate 11 is coated on its mirrored surface 25 with a casting compound 15.
  • the plexiglass plate 22 adhering to the transparent plate 11 is peeled off, so that apart from the very thin base plate 24, essentially only the web-shaped elevations of the transparent plate in the form of the light guide channels 16 remain enclosed on three sides by the casting compound 15 ( Figure 9A, 9B).
  • the casting compound 15 thus covers a film in which the light guide channels 16 with their notches 14 arranged in columns are embedded in rows.
  • FIG. 16 illustrates this by means of a section of the lighting unit produced by the method according to the invention and consisting of the film 15 with the light-guiding channels 16, shown in a perspective view.
  • Two parallel light beams 17 and 18 illustrate how light is coupled in laterally into the end faces of a light-guiding channel 16 due to the notches 14 of different depths in the light guide channel 16, a uniform coupling of the light from the light exit areas 19 and 20 in the channel wall of the light guide channel 16 is achieved over the longitudinal extent of the light guide channel 16.
  • FIG. 16 To produce a lighting unit according to FIG. 16 in accordance with a further variant of the method according to the invention, in which the light-guiding channels consist of transparent material which is introduced or pressed into recesses in a carrier plate, reference is made below to FIGS. 10a, 10B to 15A, 15B.
  • FIG. 10A, 10B shows, just like in the method variant described above, a master mold with grooves 5 and notches 3 is first produced. While a thin lacquer layer was formed as a substrate layer in the previously described method variant, the grooves 5 and notches 3 are cut into a metal plate 25, preferably made of copper, as shown in FIGS. 10a, 10B. In general, however, the alternative use of a lacquer layer or a metal layer as a substrate layer for cutting the grooves 5 and notches 3 is possible in both method variants.
  • a metal layer 27 is built up on this in a galvanic bath; preferred material for the metal layer 27 is nickel (FIG. 11 A, 11 B).
  • the metal plate 25 made of copper is etched away up to the conductive layer 26; the conductive layer 26 (silver) itself is resistant to the etching agent used, so that the etching process ends as soon as the entire metal plate 25 has been etched away.
  • the remaining metal layer 27 and the conductive layer 26 together form a first mold impression 28 (FIGS. 12A, 12B).
  • this second mold impression 29 corresponds to the metal plate 25 with the grooves 5 and notches 3 shown in FIGS. 10A, 10B.
  • the second mold impression 29 is used as shown in FIGS. 14A, 14B in an injection press 9 as a die 8.
  • carrier plates 30 (FIGS. 12a, 12B) made of plastic 10 can be pressed in the injection press 9, the surface structure of which corresponds to that of the film 15 shown in FIG.
  • the light guide channels 16 made of transparent material are then pressed into the depressions of the carrier plates 30 (FIGS. 15A, 15B).
  • the formation of the light guide channels 16 in the carrier plate 30 takes place in a corresponding manner, as described for the first method variant with reference to FIGS. 7A, 7B, preferably with the aid of photopolymerizable clear lacquer, which is pressed by means of a plexiglass plate.
  • the clear lacquer is then irradiated through the plexiglass plate with ultraviolet light, so that the clear lacquer is cured and remains in the depressions of the carrier plate after removal of the plexiglass plate in the form of the light guide rods.
  • the lighting unit for example as a two-dimensional lighting element, for example for optical scanning devices or as a high-resolution display.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Planar Illumination Modules (AREA)
  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Description

  • In der älteren, später am 9.4.1986 veröffentlichten europäischen Patentanmeldung EP-A1-0 177 436, die nur im Umfang der beanspruchten ersten Priorität vom 19.9.1984 aus der deutschen Patentanmeldung P 34 34 806.9 zum Stand der Technik (gemäß Artikel 54(3) EPÜ) wird eine Beleuchtungseinheit beschrieben, bei der zeilenweise Lichtleitkanäle angeordnet sind, in deren Stirnflächen Licht einkoppelbar ist und entlang derer das Licht aus Lichtaustrittsbereichen in der Kanalwandung auskoppelbar ist. Die Beleuchtungseinheit bildet dort einen Bestandteil einer Abtasteinrichtung zur Beleuchtung und optischen Abtastung einer flächenhaften Vorlage. Bei dieser Abtasteinrichtung dient die Beleuchtungseinheit zur mikrozeilenweisen Beleuchtung der Vorlage, wobei das von der Vorlage reflektierte Licht spaltenweise mit Hilfe von Lichtempfangselementen erfaßt wird. Die Beleuchtung einzelner Mikrozeilen kann gleichmäßig über die Länge der jeweiligen Mikrozeile erfolgen, indem in mikrozeilenindividuelle Lichtleitkanäle stirnseitig eingekoppeltes Licht kontinuierlich entlang des jeweiligen Lichtleitkanals aus dessen Kanalwandung auf die Mikrozeile ausgekoppelt wird. Es ist aber auch eine entlang der Längsachse der Lichtleitkanäle fortschreitende sukzessive Lichtauskopplung beispielsweise durch ein an dem Lichtleitkanal entlang wanderndes Schallwellenpaket möglich.
  • Die Erfindung geht von einem Verfahren zur Herstellung einer flachen Beleuchtungseinheit aus.
  • Eine derartige Beleuchtungseinheit ist in der Zeitschrift "Elektronik", Heft 24, 1984 auf Seite 114 beschrieben. Die bekannte Beleuchtungseinheit ist als Elektrolumineszenz-Anzeigeeinheit ausgebildet, bei der in einer Anzeigefläche individuell ansteuerbare Bildpunkte in Form einzeln steuerbarer Elektrolumineszenzelemente in 256 Zeilen und 512 Spalten angeordnet sind. In der bekannten Beleuchtungseinheit ist weiterhin eine Ansteuer- und Treiberelektronik zur Ansteuerung der einzelnen Bildpunkte integriert. Die Bautiefe der bekannten Beleuchtungseinheit beträgt 0,8 Zoll (ca. 2 cm).
  • Aus der US-PS 3 238 859 ist weiterhin eine Beleuchtungeinheit als Bestandteil einer Fotokopiereinrichtung bekannt. Die bekannte Beleuchtungseinheit enthält eine flache Elektrolumineszenzschicht, die in einer Folienanordnung zwischen zwei durchsichtigen, elektrisch leitenden Folienelektroden liegend angeordnet ist. Durch Beaufschlagung der Folienelektroden mit einer Wechselspannung wird die Elektrolumineszenzschicht energetisch angeregt, so daß sie gleichmäßig über ihre Fläche aufleuchtet.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, das die Herstellung von Beleuchtungeinheiten mit zumindest zeilenweise steuerbarer Lichtausstrahlung in sehr flacher Ausführung und mit vergleichsweise wenigen Bauteilen ermöglicht; eine weitere Aufgabe besteht darin, die Herstellung der flachen Beleuchtungseinheiten auf kostengünstige Weise in hohen Stückzahlen bei jeweils gleichbleibender Qualität zu ermöglichen, wobei eine besonders exakte Anordnung und Ausbildung der Lichtleitkanäle zu gewährleisten ist.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe werden bei einem Verfahren zur Herstellung einer flachen Beleuchtungseinheit, erfindungsgemäß Lichtleitkanäle in Form von transparenten Stäben zeilenweise auf der Oberseite einer Platte ausgebildet; die Oberseite der Platte wird mit einer die Lichtleitkanäle überdeckenden und die Zwischenräume zwischen den Lichtleitkanälen ausfüllenden Gießmasse überzogen und die Platte wird nach dem Aushärten der Gießmasse soweit abgetragen, daß nur noch die Lichtleitkanäle jeweils dreiseitig von der Gießmasse umschlossen verbleiben.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht die Herstellung einer flachen Beleuchtungseinheit mit nur relativ wenigen Bauteilen aufgrund der die Lichtleitkanäle bildenden Stäbe, wobei sich ein sehr flacher Aufbau der Beleuchtungseinheit dadurch ergibt, daß die Stäbe dünn ausgebildet sind. Die Gießmasse bildet nach dem Aushärten eine Folie, die die Lichtleitkanäle jeweils dreiseitig umschließt, so daß lediglich eine Seite der Lichtleitkanäle zur Auskopplung von in die Lichtleitkanäle eingespeistem Licht freiliegt; die Lichtleitkanäle sind daher gegenüber äußeren Einflüssen gut geschützt in der Folie eingebettet. Dadurch, daß die Lichtleitkanäle zuvor auf der Platte angeordnet werden, läßt sich bezüglich ihrer späteren Anordnung in der Folie eine hohe Genauigkeit erzielen.
  • Bei verschiedenen Anwendungsfällen für die Beleuchtungseinheit kann eine Transparenz der Folie erwünscht sein, wenn z. B. eine durch die Beleuchtungseinheit zeilenweise zu beleuchtende Vorlage durch die Folie hindurch zumindest grob sichtbar sein soll oder wenn bei einer Verwendung der Beleuchtungseinheit in einer Abtasteinrichtung die Folie mit den Lichtleitkanälen vorlagennäher als Lichtempfangselemente angeordnet ist. In diesen Fällen ist es als vorteilhaft anzusehen, wenn als Gießmasse transparentes Material verwendet wird, dessen optischer Brechungsindex geringer als der der Lichtleitkanäle ist. Dadurch wird erreicht, daß einerseits die Folie transparent ist und andererseits das in den Lichtleitkanälen geführte Licht in dem Grenzbereich zwischen den Lichtleitkanälen und der Folie eine Totalreflexion erfährt, wodurch Streulichteinflüsse zwischen jeweils benachbarten Lichtleitkanälen verhindert werden. Eine Verminderung von Streulichteinflüssen läßt sich in vorteilhafter Weise auch dadurch erreichen, daß die auf der Oberseite der Platte angeordneten Lichtleitkanäle vor dem Überziehen mit der Gießmasse verspiegelt werden.
  • Eine besonders kostengünstige Herstellung der flachen Beleuchtungseinheit nach dem erfindungsgemäßen Verfahren wird dadurch erreicht, daß die Lichtleitkanäle einzeln aus transparentem Material gepreßt werden und auf der Oberseite der Platte in zeilenweiser Anordnung befestigt werden; die Platte wird nach dem Überziehen der Lichtleitkanäle mit der Gießmasse von den vergossenen Lichtleitkanälen abgelöst. Zur Schaffung von mikropunktindividuellen Lichtaustrittsbereichen können bei der Pressung der Lichtleitkanäle auf ihren von der jeweiligen Fläche zur Befestigung auf der Platte abgewandten Flächen zusätzlich Kerben eingepreßt werden, an denen das seitlich in die Lichtleitkanäle eingekoppelte Licht aus diesen ausgekoppelt wird.
  • Eine besonders hohe Genauigkeit der Ausbildung der Lichtleitkanäle in Bezug auf ihre Abmessungen und ihre Anordnung in der von der Gießmasse gebildeten Folie wird dadurch erreicht, daß die Platte aus transparentem Material gefertigt wird und daß die Lichtleitkanäle in Form von stegförmigen Erhebungen der Platte ausgebildet werden.
  • Die Platte wird in vorteilhafter Weise aus transparemten Kunststoff unter Verwendung einer Matrize gegossen, die mit den auszubildenden stegförmigen Erhebungen in der Platte entsprechenden Vertiefungen versehen ist. Hierdurch wird nämlich eine besonders genaue Anordnung und Ausbildung der stegförmigen Erhebungen bzw. der späteren Lichtleitkanäle in der Folie gewährleistet.
  • Die transparente Platte läßt sich beispielsweise im Spritzgußverfahren herstellen, indem die Matrize als Preßmatrize verwendet wird und die Platte spritzgegossen wird.
  • Von besonderem Vorteil ist es, beim Gießen der Platte in der Matrize als transparenten Kunststoff einen photopolymerisierbaren Klarlack zu verwenden und diesen durch Lichteinwirkung zu härten. Ein derartiger Verfahrenschritt ist für sich aus der Druckschrift: "Philips Technical Review", Band 40, 1982, Nr. 10, Seite 290, insbesondere Figur 4 bekannt. Der Klarlack wird mittels einer Plexiglasscheibe in die Vertiefungen der Matrize gepreßt und durch Bestrahlung mit ultraviolettem Licht durch die Plexiglasscheibe hindurch ausgehärtet. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird nach Aushärten des Klarlacks und Vergießen der Lichtleitkanäle die Plexiglasscheibe von den vergossenen Lichtleitkanälen abgelöst.
  • Zur Herstellung der Matrize werden vorteilhafterweise in einer Substratschicht zeilenweise Nuten eingeschnitten, deren jeweilige Tiefe und Breite der Höhe und den Zwischenabständen der stegförmigen Erhebungen auf der zu formenden transparenten Platte entsprechen; von der die Nuten aufweisenden Seite der Substratschicht wird ein Formabdruck gewonnen, der die Matrize bildet.
  • Eine weitere Lösung der oben angegebenen Aufgabe besteht erfindungsgemäß darin, daß eine Trägerplatte mit auf einer Seite zeilenweise angeordneten Vertiefungen gepreßt wird, deren jeweilige Tiefe und Breite den Querschnittsabmessungen von Lichtleitkanälen entsprechen, und daß zur Ausbildung der Lichtleitkanäle transparentes Material in die Lichtleitkanäle eingebracht wird. Auch diese Verfahrensvariante ermöglicht die Herstellung einer sehr flachen Beleuchtungseinheit mit nur wenigen Bauelementen, wobei die Lichtleitkanäle in den Vertiefungen gegenüber äußeren Einflüssen gut geschützt eingebettet sind.
  • Ist eine Transparenz der Trägerplatte erwünscht, so wird die Trägerplatte aus transparentem Material gepreßt, dessen Brechungsindex größer als der der Lichtleitkanäle ist; auf diese Weise wird erreicht, daß das in den Lichtleitkanälen geführte Licht totalreflektiert wird und kein Streulicht aus den Lichtleitkanälen austreten kann. Eine Verminderung der Streulichteinflüsse wird in vorteilhafter Weise auch dadurch erreicht, daß die Trägerplatte auf ihrer mit den Vertiefungen versehenen Seite vor dem Einbringen des transparenten Materials für die Lichtleitkanäle verspiegelt wird.
  • Die Herstellung der Trägerplatte mit den Vertiefungen erfolgt vorteilhafterweise dadurch, daß die Trägerplatte unter Verwendung einer Matrize gegossen wird, daß zur Herstellung der Matrize in einer Substratschicht zeilenweise Nuten eingeschnitten werden, deren jeweilige Tiefe und Abstand zueinander den Querschnittsabmessungen der zu bildenden Lichtleitkanäle entspricht, daß von der die Nuten aufweisenden Seite der Substratschicht ein erster Formdruck und von diesem ein zweiter Formdruck gewonnen wird, der die Matrize bildet. Dieses Verfahren gewährleistet eine exakte Ausbildung der Vertiefungen für die Lichtleitkanäle.
  • Zur Schaffung von mikropunktindividuellen Lichtaustrittsbereichen entlang der Lichtleitkanäle ist vorgesehen, daß vor dem Einschneiden der Nuten in die Substratschicht in Querrichtung hierzu spaltenweise Kerben in die Substratschicht eingeschnitten werden. Diese Kerben ergeben in vorteilhafter Weise sowohl bei dem Verfahren, das die Pressung einer transparenten Platte mit stegförmigen Erhebungen vorsieht, als auch bei dem die Bildung einer Trägerplatte mit zeilenweise angeordneten Vertiefungen beinhaltenden Verfahren entsprechende Kerben in den stegförmigen Erhebungen bzw. den Vertiefungen und damit in den Lichtleitkanälen, so daß Lichtstrahlen, die in Stirnflächen der Lichtleitkanäle eingekoppelt werden, an den der Lichtquelle zugewandten Kerbflächen so reflektiert werden, daß sie annähernd senkrecht auf die Kanalwandung im Lichtaustrittsbereich des Lichtleitkanales auftreffen und somit aus diesem austreten können. Eine gleichmäßige Lichtauskopplung entlang der einzelnen Lichtleitkanäle wird in vorteilhafter Weise dadurch erreicht, daß bei der Herstellung der Matrize die Kerben spaltenweise fortschreitend mit zunehmend größerer Tiefe in die Substratschicht eingeschnitten werden.
  • Die Substratschicht selbst kann gemäß einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahren in Form einer Lackschicht auf einer Trägerschicht ausgebildet werden.
  • Im Hinblick auf eine hohe Schnittgenauigkeit beim Einschneiden der Nuten und Kerben in die Substratschicht kann für diese alternative auch eine Metallplatte - beispielsweise aus Kupfer oder Aluminium - verwendet werden.
  • Eine besonders einfache und damit kostengünstige Herstellung der Matrize für das erfindungsgemäße Verfahren wird dadurch erreicht, daß als Formabdruck ein Silikonkautschukabdruck verwendet wird.
  • In Abwandlung hierzu läßt sich eine besonders hohe Genauigkeit der Ausbildung der Lichtleitkanäle in Bezug auf ihre Abmessungen und ihre Anordnung dadurch erreichen, daß zur Herstellung des Formabdruckes auf der die Nuten aufweisenden Seite der Substratschicht eine leitfähige Schicht aufgebracht wird und daß in einem galvanischen Bad auf der leitfähigen Schicht eine Metallschicht aufgebaut wird, die bei ausreichender Dicke, befreit von der Substratschicht den Formabdruck (die Matrize) bildet. Im Falle einer Lackschicht als Substratschicht dient die leitfähige Schicht als Grundlage für die galvanische Abscheidung der Metallschicht. Besteht die Substratschicht aus einer Metallplatte, wie z. B. aus Kupfer, so wird das Kupfer beim letzten Schritt zur Herstellung der Matrize weggeätzt und die leitfähige Schicht - beispielsweise ein Silberbelag - dient dazu, den Ätzprozeß an der die Matrize bildenden Metallschicht zu stoppen.
  • Zur Erläuterung des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den
    • Figuren 1 A, 1B bis 6A, 6B auf schematische Weise einzelne Verfahrensschritte zur Herstellung der flachen Beleuchtungseinheit dargestellt, wobei zunächst die Lichtleitkanäle ausgebildet und anschließend in einer Folie vergossen werden; die
    • Figuren 7A, 7B bis 9A, 9B zeigen im Hinblick hierauf alternative Teilschritte zur Ausbildung der Lichtleitkanäle mit Hilfe von photopolymerisierbarem Klarlack. Die
    • Figuren 10A, 10B bis 15A, 15B zeigen einzelne Schritte einer weiteren Verfahrensvariante zur Herstellung der Beleuchtungseinheit, wobei die Lichtleitkanäle in Vertiefungen einer Trägerplatte eingebracht werden.
    • Figur 16 zeigt schließlich einen Ausschnitt aus der fertig hergestellten Beleuchtungseinheit.
  • Zu den in den Figuren 1A, 1B bis 15A, 15B dargestellen Schnittzeichnungen ist anzumerken, daß die Teildarstellungen rechts der strichpunktierten Trennlinien bezogen auf die linken Teildarstellungen jeweils im rechten Winkel in die Zeichenebene hinein verlaufend anzusehen sind.
  • Entsprechend einer ersten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens wird auf einer Trägerschicht 1 (Figur 1A, 1B), die beispielsweise aus einer Glasplatte bestehen kann, eine Substratschicht bestehend aus einer dünnen Lackschicht 2 aufgebracht. In diese Lackschicht 2 werden zunächst spaltenweise Kerben 3 eingeschnitten, die von Spalte zu Spalte fortschreitend mit größerer Kerbtiefe hergestellt werden. Bei einem bevorzugten Spaltenabstand der Kerben 3 von etwa 0,5 mm liegt die Kerbtiefe im Bereich von 0,004 mm bis 0,5 mm. Die Kerbflächen 4 der Kerben 3 sind vorzugsweise unter einem Winkel von etwa 45° gegenüber der Ebene der Lackschicht 2 geneight. In einem zweiten Verfahrensschritt werden in Querrichtung zu den Kerben 3 zeilenweise Nuten 5 mit vorzugsweise rechteckförmigen Querschnitt in die Lackshicht 2 eingeschnitten. Die Schnittiefe für die Nuten 5 ist dabei mindestens so groß wie die der am tiefsten eingeschnittenen Kerbe. Im Hinblick auf die für die Kerben 3 angegebenen Maße werden die Nuten 5 vorzugsweise mit einer Breite von etwa 0,15 mm in einem Zeilenabstand von etwa 0,5 mm (jeweils von der Mitte einer Nut zu der Mitte der benachbarten Nut gerechnet) ausgeführt. Die Trägerschicht 1 mit der durch die Einschnitte strukturierten Lackshicht 2 bildet wine Masterform.
  • In einem nächsten Verfahrensschritt wird auf der Lackschicht 2 eine (hier unverhältnismäßig dick dargestellte) leitfähige Schicht 6 vorzugsweise in Form eine Metallüberzuges in einer Sputterkammer aufgebracht. es ist jedoch auch möglich, diesen Metallüberzug aufzudampfen. Dieser Verfahrensschritt dient zur Vorbereitung der Masterform für einen nachfolgenden Galvanisierungsproseß, in dem in einem galvanischen Bad auf der leitfähigen Schicht 6 eine Metallschicht 7 (Figur 2A, 2B) aufgebaut wird; bevorzugtes Material für die Metallschicht 7 ist Nickel. Der Galvanisierungsprozeß ist beendet, wenn die Metallschicht 7 eine Dicke erreicht, bei der sie die Kerben 3 und die Nuten 5 in der Lackschicht 2 ausfüllt und ansonsten eine mechanisch ausrechend stabile Platte bildet.
  • Zur Verstärkung der Metallschicht 7 kann diese auf ihrer der Lackschicht abgewandten Rückseite mit einer zusätzlichen Stabilisierungsschicht 7a (Figur 3A, 38) beispielsweise aus Gießharz abgedeckt werden. Die Metallschicht 7 mit der extrem dünnen leitfähigen Schicht 6 und mit der rückseitigen Stabilsierungsschicht 7a ergibt, nachdem sie von der Lackschicht 2 abgezogen worden ist, eine Matrize 8. Mit Hilfe der als Preßmatrize verwendbaren Matrize 8 lassen sich in einer Spritzpresse 9 aus flüssigem transparentem Kunststoff 10 wie z. B. Plexiglas oder Polycarbonat transparente Platten 11 (Figur 4A, 4B) pressen, auf deren Oberseite 12 jeweils zeilenweise stegförmige Erhebungen 13 ausgebildet sind, die in Querrichtung spaltenweise mit Kerben 14 versehen sind. Bezüglich der Anordnung und der Abmessungen der stegförmigen Erhebungen 13 mit den Kerben 14 entspricht die Oberseite 12 der transparenten Platte 11 der Struktur der Lackshicht 2 der Masterform entsprechen Figur 1 A 1 B.
  • In einem folgenden Verfahrensschritt wird die transparente Platte 11 auf ihrer Oberseite 12 mit den stegförmigen Erhebungen 13 verspiegelt. Nachfolgend wird die Oberseite 12 der transparenten Platte 11 mit einer die stegförmigen Erhebungen 13 überdeckenden und die Kerben 14 sowie die Zwischenräume zwischen den stegförmigen Erhebungen 13 ausfüllenden Gießmasse 15 überzogen (Figure 5a, 5B).
  • Ist die Gießmasse 15 ausgehärtet, so wird die transparente Plate 11 ausgehend von ihrer der Oberseite 12 abgewandten Unterseite soweit abgetragen, bis nur noch die ehemals stegförmigen Erhebungen 13 in Form von Lichtleitkanälen 16 jeweils dreiseitig von der Gießmasse 15 umschlossen verbleiben (Figur 6A, 6B). Das Abtragen der Platte 11 kann durch ein mechanisches Verfahren beispielswiese durch Abschleifen und nachträgliches Polieren oder durch ein chemisches Ätzerfahren erfolgen.
  • Alternativ zu der vorstend beschriebenen Verfahrensvariante, läßt sich die Beleuchtungseinheit im Anschluß an den in der Figur 3A, 3B gezeigten Verfahrensschritt entsprechend den in den Figuren 7A, B bis 9A, B bezeigten Schritten fertigstellen. Dazu wird ein photopolymerisierbarer Klarlack 21 mit Hilfe einer Plexiglasplatte 22 in die Vertiefungen der Matrize 8 gepreßt. Anschließend wird der Klarlack 21 durch die Plexiglasplatte 22 hindurch mit ultraviolettem Licht 23 bestrahlt, so daß der Klarlack 21 zu einer transparenten Platte 11 aushärtet, die aus einer dünnen Bodenplatte 24 mit zeilenweise angeordneten und mit Kerben 14 versehenen stegförmigen Erhebungen 13 besteht (Figur 8A, 8B). Anschließend wird die Matrize 8 von der transparenten Platte 11 gelöst und die so gefertigte Oberfläche 25 der transparenten Platte 11 verspiegelt. In einen folgenden Verfahrensschritt wird die Platte 11 auf ihrer verspiegelten Oberfläche 25 mit einer Gießmasse 15 überzogen. Nach dem Aushärten der Gießmasse 15 wir die an der transparenten Platte 11 anhaftende Plexiglasplatte 22 abgezogen, so daß bis auf die sehr dünne Bodenplatte 24 im wesentlichen nur die stegförmigen Erhebungen der transparenten Platte in Form der Lichtleitkanäle 16 jeweils dreiseitig von der Gießmasse 15 umschlossen verbleiben (Figur 9A, 9B).
  • Die Gießmasse 15 bldet somit eine Folie, in der zeilenweise die Lichtleitkanäle 16 mit ihren spaltenweise angeordneten Kerben 14 eingebettet sind. Figur 16 verdeutlicht dies durch einen in perspektivischer Ansicht dargestellten Ausschnitt der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Beleuchtungseinheit bestehend aus der Folie 15 mit den Lichtleitkanälen 16. Anhand von zwei parallelen Lichstrahlen 17 und 18 wird verdeutlicht, wie bei seitlicher Einkopplung von Licht in die Stirnfächen eines Lichtleitkanals 16 aufgrund der unterschiedlich tiefen Kerben 14 in dem Lichtleitkanal 16 eine über die Längsausdehnung des Lichtleitkanales 16 gleichmäßige Auskopplung des Lichtes aus Lichtaustrittsbereichen 19 und 20 in der Kanalwandung des Lichtleitkanales 16 erreicht wird.
  • Zur Herstellung einer Beleuchtungseinheit nach Figur 16 entsprechend einer weiteren Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens, bei dem die Lichtleitkanäle aus transparentem, in Vertiefungen einer Trägerplatte eingebrachten bzw. eingepreßtem Material bestehen, wird im folgendem auf die Figuren 10a, 10B bis 15A, 15B Bezug genommen.
  • Wie Figur 10A, 10B zeigt, wird ebenso wie bei der vorstehend beschriebenen Verfahrensvariante zunächst eine Masterform mit Nuten 5 und Kerben 3 hergestellt. Während bei der zuvor beschriebenen Verfahrensvariante hierzu eine dünne Lackschicht als Substratshicht ausgebildet wurde, werden entsprechend der Darstellung in Figure 10a, 10B die Nuten 5 und Kerben 3 in einer vorzugsweise aus Kupfer bestehenden Metallplatte 25 eingeschnitten. Allgemein ist jedoch bei beiden Verfahrensvarianten die alternative Verwendung einer Lackschicht oder einer Metallschicht als Substratschicht zum Einschneiden der Nuten 5 und Kerben 3 möglich.
  • In einem weiteren Verfahrensschritt wird auf der mit den Nuten 5 und Kerben 3 versehenen Seite der Metallplatte 25 eine düne leitfähige Schicht 26 vorzugsweise aus Silber aufgebracht. Auf dieser wird in einem galvanischen Bad eine Metallschicht 27 aufgebaut; bevorzugtes Material für die Metallschicht 27 ist Nickel (Figur 11 A, 11 B).
  • In einem nachfolgenden Ätzprozeß wird die aus Kupfer bestehende Metallplatte 25 bis zu der leitfähigen Schicht 26 hin weggeätzt; die leitfähige Schicht 26 (Silber) selbst ist gegenüber dem verwendeten Atzmitel resistent, so daß der Ätzprozeß endet, sobald die gesamte Metallplatte 25 weggeätzt ist. Die verbleibende Metallschicht 27 und die leitfähige Schicht 26 bilden zusammen einen ersten Formabdruck 28 (Figur 12A, 12B).
  • Nach einer Elektropolitur wird von diesem auf diese Weise ein zweiter Formabdruck 29 hergestellt, wie er in Figur 13A, 13B zu sehen ist. Dieser zweite Formabdruck 29 entspricht hinsichtlich seiner Oberflächenstruktur der in Figur 10A, 10B gezeigten Metallplatte 25 mit den Nuten 5 und Kerben 3.
  • Der zweite Formabdruck 29 wird gemäß der Darstellung in Figur 14A, 14B ein einer Spritzpresse 9 als Matrize 8 verwendet. Mit Hilfe dieser Matrize 8 lassen sich in der Spritzpresse 9 Trägerplatten 30 (Figur 12a, 12B) aus Kunststoff 10 pressen, deren Oberflächenstruktur der der in Figur 16 gezeigten Folie 15 entspricht. In die Vertiefungen der Trägerplatten 30 werden daraufhin die Lichtleitkanäle 16 aus transparentem Material eingepreßt (Figur 15A, 15B).
  • Die Ausbildung der Lichtleitkanäle 16 in der Trägerplatte 30 erfolgt in entsprechender Weise, wie für die erste Verfahrensvariante unter Bezugnahme auf Figur 7A, 7B beschrieben vorzugsweise mit Hilfe von photopolymerisierbarem Klarlack, der mittels einer Plexiglasplatte gepreßt wird. Anschließend wird der Klarlack durch die Plexiglasplatte hindurch mit ultraviolettem Licht bestrahlt, so daß der Klarlack ausgehärtet und nach Entfernen der Plexiglasplatte in Form der Lichtleitstäbe in den Vertiefungen der Trägerplatte verbleibt.
  • Im Rahem der Erfindung ist est auch möglich, die Formabdrucke von der Substratschicht 2 bzw. 25 statt mittels eines galvanischen Prozesses mit Hilfe von Silikonkautschuk zu gewinnen.
  • Je nach Ansteuerung der Lichtleitkanäle bestehen für die Beleuchtungseinheit zahlreiche Verwendungsmöglichkeiten beispielsweise als flächenhaftes Beleuchungselement beispielsweise für optische Abtastgeräte oder als hochauflösendes Display.

Claims (19)

1. Verfahren zur Herstellung einer flachen Beleuchtungseinheit (Fig. 16), dadurch gekennzeichnet, daß Lichtleitkanäle (16) in Form von transparenten Stäben zeilenweise auf der Oberseite (12; 25) einer Platte (11; 11, 22)) ausgebildet werden, daß die Platte (11; 22) mit einer die Lichtleitkanäle (16) überdeckenden und die Zwischenräume zwischen den Lichtleitkanälen (16) ausfüllenden Gießmasse (15) überzogen wird und daß die Platte (11; 22) nach dem Aushärten der Gießmasse (15) so weit abgetragen wird, daß nur noch die Lichtleitkanäle (16) jeweils dreiseitig von der Gießmasse (15) umschlossen verbleiben (Fig. 4A, 4B, 6A, 6B).
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Gießmasse (15) transparentes Material verwendet wird, dessen optischer Brechungsindex geringer als der der Lichtleitkanäle (1-6) ist.
3. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die auf der Oberseite (12) der Platte (11) angeordneten Lichtleitkanäle (16) vor dem Überziehen mit der Gießmasse (15) verspiegelt werden.
4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, ddurch gekennzeichnet, daß die Lichtleitkanäle einzeln aus transparentem Material gepreßt und auf der Oberseite der Platte in zeilenweiser Anordnung befestigt werden und daß die Platte nach dem Überziehen der Lichtleitkanäle mit der Gießmasse von den vergossenen Lichtleitkanälen abgelöst wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (11) aus transparentem Material gefertigt wird und daß die Lichtleitkanäle (16) in Form von stegförmigen Erhebungen (13) der Platte (11) ausgebildet werden.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (11) aus transparentem Kunststoff unter Verwendung einer Matrize (8) gegossen wird, die mit den auszubildenden stegförmigen Erhebungen (13) in der Platte (11) entsprechenden Vertiefungen versehen ist.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Matrize (8) als Preßmatrize verwendet wird und die Platte (11) spritzgegossen wird.
8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß als transparenter Kunststoff ein photopolymerisierbarer Klarlack (21) verwendet wird, der durch Lichteinwirkung (23) gehärtet wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der Matrize (8) in einer Substratschicht (2) zeilenweise Nuten (5) eingeschnitten werden, deren jeweilige Tiefe und Breite der Höhe und den Zwischenabständen der stegförmigen Erhebungen (13) auf der zu formenden transparenten Platte (11) entsprechen und daß von der die Nuten (5) aufweisenden Seite der Substratschicht (2) ein Formabdruck gewonnen wird, der die Matrize (8) bildet.
10. Verfahren zur Herstellung einer flachen Beleuchtungseinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß eine Trägerplatte (30) mit auf einer Seite zeilenweise angeordneten Vertiefungen gepreßt wird, deren jeweilige Tiefe und Breite den Querschnittsabmessungen von Lichtleitkanälen (16) entsprechen, und daß zur Ausbildung der Lichtleitkanäle (16) transparentes Material in die Vertiefungen eingebracht wird (Fig. 14A, 14B, 15A, 15B).
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet ,daß die Trägerplatte (30) aus transparentem Material gepreßt wird, dessen optischer Brechungsindex größer als der der Lichtleitkanäle (16) ist.
12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (30) auf ihrer mit den Vertiefungen versehenen Seite vor dem Einpressen des transparenten Materials für die Lichtleitkanäle (16) verspiegelt wird.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (30) unter Verwendung einer Matrize (8) gegossen wird, daß zur Herstellung der Matrize (8) in einer Substratschicht (25) zeilenweise Nuten (5) eingeschnitten werden, deren jeweilige Tiefe und Abstand zueinander den Querschnittsabmessungen der zu bildenden Lichtleitkanäle (16) entspricht, daß von der die Nuten (5) aufweisenden Seite der Substratschicht (25) ein erster Formabdruck (28) und von diesem ein zweiter Formabdruck (29) gewonnen wird, der die Matrize (8) bildet.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 und 13, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Einschneiden der Nuten (5) in die Substratschicht (2 bzw. 25) in Querrichtung hierzu spaltenweise Kerben (3) in die Substratschicht (2 bzw. 25) eingeschnitten werden.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Kerben (3) spaltenweise fortschreitend mit zunehmend größerer Tiefe in die Substratschicht (2 bzw. 25) eingeschnitten werden.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 und 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Substratschicht in Form einer Lackschicht (2) auf einer Trägerschicht (1) ausgebildet wird.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 und 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß als Substratschicht eine Metallplatte (25) verwendet wird.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 und 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß als Formabdruck ein Silikonkautschukabdruck verwendet wird.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 und 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung des Formabdruckes (8) auf der die Nuten (5) aufweisenden Seite der Substratschicht (2) eine leitfähige Schicht (6) aufgebracht wird und daß in einem galvanischen Bad auf der leitfähigen Schicht (6) eine Metallschicht (7) aufgebaut wird, die bei ausreichender Dicke befreit von der Substratschicht (2) den Formabdruck (8) und somit die Matrize bildet.
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