DE3108206A1 - Tintenstrahlkopf und verfahren zur herstellung desselben - Google Patents

Tintenstrahlkopf und verfahren zur herstellung desselben

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Description

Tintenstrahlkopf
und Verfahren zur Herstellung desselben
Die Erfindung bezieht sich auf einen Tintenstrahlkopf sowie auf ein Verfahren zur Herstellung eines solchen. Im einzelnen bezieht sich die Erfindung auf einen Tintenstrahlkopf zur Abgabe von Tröpfchen einer Aufzeichnungstinte, der bei einem Tintenstrahl-AufZeichnungssystem verwendet wird.
Ein bei einem Tintenstrahl-Aufzeichnungssystem verwendeter Tintenstrahlkopf ist allgemein mit einer mikroskopisch klein bemessenen Tintenausstoß-Mündung (oder -Düse), einer Tintenströmungsbahn und einem an einem Teil der Tintenströmungsbahn angebrachten Tintenausstoß-Druckerzeugungsabschnitt versehen.
Als Verfahren zur Herstellung eines derartigen Tintenstrahlkopf s ist es beispielsweise bekannt, in eine Glasoder Metallplatte durch Schneiden oder Ätzen eine sehr feine Nut oder sehr feine Nuten zu bilden und dann die mit
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■j der Nut oder den Nuten versehene Platte mit einer geeigneten Deckplatte zu verbinden, um dadurch die Tintenströmungsbahn oder -bahnen zu bilden.
Ein nach diesem herkömmlichen Verfahren hergestellter Tintenstrahlköpf ist jedoch mit verschiedenerlei Mangeln behaftet, wie beispielsweise insofern, als aufgrund eines Unterschieds in der Ätzungsrate in dem Tintenströmungsweg Verformungen auftreten, die es
IQ schwierig machen, eine Tintenströmungsbahn mit einem konstanten Strömungswiderstand zu erhalten, was dazu führt, daß bei dem Tintenausstoß mit dem fertiggestellten Tintenstrahlköpf leicht Schwankungen und Unregelmäßigkeiten auftreten können; ferner besteht beim Schneiden die starke Tendenz zur Entstehung von Brüchen oder Rissen, was eine geringe Fabrikationsausbeute ergibt; beim Ätzen verursacht die gesteigerte Anzahl von Verfahrensschritten eine Steigerung der Herstellungskosten. Als gemeinsame Mängel bei den herkömmlichen Verfahren ist zusätzlich anzuführen, daß es schwierig ist, die mit den als Tintenströmungsbahnen vorgesehenen Nuten versehene Nutenplatte mit der Deckplatte, an der verschiedenerlei Antriebselemente wie piezoelektrische Elemente, Wärmeerzeugungselemente oder dgl. zur Erzeugung von auf die Tinte einwirkender Energie angebracht sind, bei deren Verbindung genau auszurichten; daher sind diese Verfahren hinsichtlich der Massenherstellung mangelhaft. Demzufolge besteht ein starkes Bestreben, von diesen Mängeln freie Tintenstrahlköpfe zu entwickeln.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Tintenstrahlköpf und ein Verfahren zu dessen Herstellung zu schaffen, bei welchen die vorangehend genannten Unzulänglichkeiten ausgeschaltet sind und der Tintenstrahlkopf im Aufbau genau ist, in der Herstellung preiswert
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ist und eine hohe Betriebszuverlässigkeit hat.
Ferner soll der erfindungsgemäße Tintenstrahlkopf auch als Mehrfachdüsen-Kopf für industrialisierte c Massenfertigung geeignet sein.
Weiterhin soll mit der Erfindung ein Mehrfachdüsen-Tintenstrahlkopf geschaffen werden, bei dem eine Mehrzahl von TintenStrömungsbahnen bzw. Tintenbahnen mit hoher IQ Genauigkeit nebeneinandergesetzt sind und diese Tintenbahnen bei guter Fertigungsausbeute fein und genau ausgebildet sind.
In einer Ausgestaltung der Erfindung hat der Tintenstrahlkopf mit mindestens einer Tintenströmungsbähn, über die Tintentröpfchen ausgestoßen werden, eine die Tintentröpfchenbahn bildende Nut, die durch eine ausgehärtete photoempfindliche Zusammensetzung bzw. Masse gebildet ist.
In einer weiteren Ausgestaltungsform ist bei dem
Tintenstrahlkopf im wesentlichen die ganze Tintenströmungsbahn durch ein und denselben Verfahrensvorgang gebildet.
Eine weitere Form des erfindungsgemäßen Tintenstrahlkopf s mit mindestens einer Tintenströmungsbahn, über die Tintentröpfchen ausgestoßen werden, hat ein Substrat und eine dem Substrat überlagerte Schicht, die mit mindestens einer Nut als Tintenströmungsbahn versehen ist, welche durch Formung einer Schicht aus einer photoempfindlichen Masse auf dem Substrat, entsprechend einem vorbestimmten Muster vorgenommener Aushärtung der Schicht zur Bildung von ausgehärteten Bereichen und Entfernung der nichtausgehärteten Masse aus der Schicht hergestellt ist.
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Die Aufgabe wird erfindungsgemäß ferner durch ein Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfs mit mindestens einer Tintenströmungsbahn für die Abgabe von Tintentröpfchen gelöst, das darin besteht, auf einem c Substrat eine Schicht aus einer photoempfindlichen Masse
zu bilden, gemäß einem vorbestimmten Muster in der Schicht ausgehärtete Bereiche zu erzeugen und aus der Schicht die nichtausgehärtete Masse zu entfernen, um damit jeweils an der Oberfläche des Substrats eine die Tintenströmungs-IQ bahn bildende Nut bzw. mehrere derartige Nuten zu bilden.
Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.
Fig. 1 bis 7 veranschaulichen Verfahrensschritte zur Herstellung des Tintenstrahlkopfs gemäß einem Ausführungsbeispiel, wobei die Fig. 2B eine Schnittansicht entlang einer
Linie X-X1 in Fig. 2A ist und die Fig. 4B eine Schnittansicht entlang einer Linie Y-Y1 in Fig. 4A ist.
Die Fig. 1 bis 7 sind schematische perspektivische oder Schnitt-Darstellungen für die Erläuterung des Aufbaus des Tintenstrahlkopfs gemäß einem Ausführungsbeispiel und der Verfahrensschritte zur Herstellung desselben.
Nach Fig. 1 sind auf einer geeigneten Grundplatte bzw. einem geeigneten Substrat 1 aus Glas, Keramik, Kunststoff, Metall oder dgl. in einer gewünschten Anzahl Tintenausstoß-Druckerzeugungselemente 2 wie Wärmeer-Zeugungselemente, piezoelektrische Elemente oder dgl.
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] angebracht (wobei in der Fig. 1 zwei dieser Elemente dargestellt sind). Wenn als Tintenausstoß-Druckerzeugungselement 2 ein Wärmeerzeugungselement verwendet wird, wird der Tintenausstoß-Druck dadurch erzeugt, daß dieses Element die Tinte in seiner Umgebung erwärmt.
Wenn ein piezoelektrisches Element verwendet wird, wird der Tintenausstoß-Druck durch mechanisches Schwingen dieses Elements erzeugt. Obgleich dies in der Zeichnung nicht gezeigt ist, sind diese Elemente 2 mit Elektroden
]Q für die Signaleingabe verbunden. Derartige den Elementen 2 zugeordnete (nicht gezeigte) Elektroden werden üblicherweise im wesentlichen gleichzeitig mit dem Anbringen der Elemente 2 an dem Substrat 1 angebracht oder nach der fertigen Zusammenstellung des Kopfs an das Element 2 angeschlossen.
Darauffolgend wird gemäß Fig. 2A die Oberfläche 1A des Substrats 1, an der die Druckerzeugungselemente
2 angebracht worden sind, gereinigt und getrocknet,
wonach mit einer Geschwindigkeit von 12 bis 15,5 cm/min (0,4 bis 0,5 f/min) und unter einem Druck von 1 bis
3 kg/cm2 auf die Substrat-Fläche 1A mit den Elementen 2 ein Trockenfilm-Photoresist bzw. -Photolack 3 aufgeschichtet wird, der eine Filmdicke von ungefähr 25 bis 100 μπι hat und auf eine Temperatur von 80 bis 105 0C erwärmt ist. Auf diese Weise wird der Trockenfilm-Photolack 3 unter Anpressen fest an die Substratfläche 1A angeklebt, so daß er nach seinem Fixieren selbst dann nicht von der Fläche abblättert, wenn in einem gewissen Ausmaß ein Außendruck auf ihn ausgeübt wird.
Als nächstes wird auf den an der Substratfläche 1A angebrachten Trockenfilm-Photolack 3 eine Photomaske
4 mit einem den Tintenströmungsbahnen bzw. Tintenbahnen in dem Tintenstrahlkopf entsprechenden vorbestimmten Muster 4P aufgelegt, wonach über diese Photomaske 4 aus
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•j einer geeigneten Lichtquelle 5 eine Belichtung erfolgt. Das Muster 4P entspricht einem Bereich zur Bildung einer Tintenzufuhrkammer, der Tintenstromungsbahnen und Tintenausstoß-Mündungen, die danach zu bilden sind. Das Muster r 4P ist lichtundurchlässig. Daher wird der Photolack 3 an dem mit dem Muster 4P abgedeckten Bereich nicht belichtet, so daß er unausgehärtet bleibt. In diesem Fall ist es notwendig, daß nach einem bekannten Verfahren die Druckerzeugungselemente 2 mit dem Muster 4P ausgerichtet IQ werden. Das heißt, es ist zumindest dafür Sorge zu tragen, daß die Elemente 2 in dem Bereich der engen Tintenstromungsbahnen bzw. Tintenbahnen angeordnet sind.
Auf die Belichtung des Photolacks 3 hin, bei der der Photolack außerhalb des Bereichs des Musters 4P durch das Licht sensibilisiert wurde, erfolgt eine Polymerisations-Reaktion zur Aushärtung, durch die der Photolack gegenüber einem Lösungsmittel unlöslich wird, während der unbelichtete Photolack nicht ausgehärtet wird und in dem Lösungsmittel lösbar bleibt. Nach dem Belichtungsvorgang wird der Trockenfilm-Photolack 3 in ein flüchtiges bzw. verdampfbares organisches Lösungsmittel wie beispielsweise Trichloräthan getaucht, um den nichtreagierenden (bzw. unausgehärteten) Photolack zu lösen und zu entfernen, wodurch in dem ausgehärteten Photolack-Film 3H entsprechend dem Muster 4P eine Ausnehmung gebildet wird, wie sie in Fig. 4A gezeigt ist. Dieser ausgehärtete Photolack-Film 3H wird im Hinblick auf eine Steigerung seiner Lösungsmittel-Widerstandsfähigkeit danach einer weiteren Aushärtungs-Behandlung unterzogen. Diese weitere Aushärtungs-Behandlung kann dadurch erfolgen, daß der Photolack-Film 3H einer thermischen Polymerisierung bei einer Temperatur von 130 bis 160 0C über einer Zeitdauer von 10 bis 60 Minuten unterzogen wird, einer Ultraviolett-Bestrahlung unterzogen wird oder einer
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•j Kombination aus diesen beiden Behandlungsarten unterzogen wird. Von dem in dem ausgehärteten Photolack-Film 3H gebildeten vertieften Bereich entspricht der mit 6-1 bezeichnete Bereich der Tintenzufuhrkammer des r fertigen Tintenstrahlkopfs, während die mit 6-2 bezeichneten Bereiche den engen Tintenströmungsbahnen bzw. Tintenbahnen entsprechen. Danach wird zur Abdeckung des Substrats, an dem die Tintenzufuhrkammer 6-1, die engen Tintenbahnen 6-2 usw. nach dem vorstehend beschrie-
IQ benen Herauslöseverfahren ausgebildet wurden, auf die Oberfläche des ausgehärteten Photolack-Films 3H eine ebene Platte 7 aufgelegt. Diese ebene Platte 7 bildet eine obere Abdeckung für den mit Nuten versehenen Photolack-Film. Die ebene Platte 7 kann durch einfaches Andrücken an dem ausgehärteten Photolack-Film 3H in der Weise angebracht werden, daß sie frei ansetzbar und abnehmbar ist, oder sie kann mittels eines Klebemittels fest an den Film angeklebt werden. Das Ankleben kann folgendermaßen erfolgen: (1) Auf die aus Glas, Keramik, Metall, Kunststoff oder dgl. bestehende Platte wird mittels einer Schleudervorrichtung ein Epoxy-Klebemittel in einer Stärke von 3 bis 4 um aufgeschichtet, wonach das Klebemittel zusammen mit der Platte einer Vor-Erwärmung unterzogen wird, um das Klebemittel in den sog. "B-Zustand" zu versetzen. Die auf diese Weise wärmebehandelte Platte mit dem Klebstoff wird dann auf den ausgehärteten Photolack-Film 3H aufgesetzt, damit sich das Klebemittel verfestigen kann. Alternativ wird (2) eine ebene Platte aus thermoplastischem Harz wie Acryl-Harz, ABS-Harz, Polyäthylen oder dgl. in Schmelzverbindung direkt auf den ausgehärteten Photolack-Film 3H aufgebracht. Dabei werden gemäß der Darstellung in der Zeichnung in der Platte 7 Durchgangsöffnungen 8 zum Anschluß von (nicht gezeigten) Tintenzufuhrröhren ausgebildet.
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Nach Abschluß der Verbindung der flachen Deckplatte mit dem mit den Nuten versehenen Substrat wird der vordere Endteil des Kopfs (die Seite, an der die Tintenausstoß-Düsenmündungen geformt werden) längs einer Linie C-C in Fig. 5 abgeschnitten. Dieses Abschneiden längs des Rands erfolgt dazu, in der engen Txntenströmungsbahn 6-2 den Abstand zwischen dem Tintenausstoß-Druckerzeugungselement 2 und einer Tintenausstoß-Mündung 9 auf einen optimalen Wert zu bringen. Der abzuschneidende Bereich wird beliebig entsprechend dem Entwurf des Tintenstrahlkopfs bestimmt. Für den Abschneidevorgang kann ein üblicherweise in der Halbleiter-Industrie verwendetes Schneideverfahren angewandt werden.
Die Fig. 6 ist ein Längsschnitt längs einer Linie Z-Z1 in Fig. 5. Die Schnittfläche wird durch Polieren geglättet, wonach gemäß der Darstellung in Fig. 7 die Durchgangsöffnungen 8 an Tintenzufuhrröhren 10 angeschlossen werden,wodurch der Tintenstrahlkopf fertiggestellt ist.
Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel wird als photoempfindliche Masse zur Bildung von Nuten ein Trockenfilm-Photolack bzw. -Photoresist verwendet. Bei dem Tintenstrahlkopf bzw. dem Verfahren besteht jedoch keine Einschränkung allein auf ein derartiges festes Material; vielmehr kann auch eine flüssige photoempfindliche Masse verwendet werden. Ein Schichtfilm aus der photoempfindlichen Masse in flüssiger Form kann an dem Substrat nach einem Preßverfahren gebildet werden, wie es zur Herstellung eines Reliefbilds verwendet wird, nämlich nach einem Verfahren, bei dem um das Substrat herum eine Wand mit der Höhe einer gewünschten
° ■ Filmdicke für die photoempfindliche Masse angebracht wird und überschüssige Masse durch Pressen bzw. Abquetschen entfernt wird. In diesem Fall liegt die Viskosität
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] der flüssigen photoempfindlichen Masse vorzugsweise im Bereich von 0,1 bis 0,3 Pa.s (100 bis 300 cP) . Es ist ferner notwendig, die Höhe der das Substrat umgebenden Wand in Anbetracht der durch die Verdampfung β des Lösungsmittels hervorgerufenen Verringerung der Lösungsmittelmenge zu bestimmen. Bei einer festen photoempfindlichen Masse kann gemäß den vorangehenden Ausführungen der Film aus der photoempfindlichen Masse durch Wärme und Druck an das Substrat angeklebt werden. Für die Herstellung des Tintenstrahlkopfs ist die Anwendung einer festen photoempfindlichen Masse in Form eines Films vorteilhaft, da die Handhabung einfach und bequem ist und eine genaue Steuerung der Filmdicke möglich ist. Beispiele für derartige feste photoempfindliche Massen sind: von DuPont de Nemour & Co. unter der Handelsbezeichnung Permanent Photopolymer Coating "RISTON" hergestellte und vertriebene photoempfindliche Harzfilme, photoempfindliche Acrylharz-Massen wie Solder Mask 730S, Solder Mask 740S, Solder Mask 730FR, Solder Mask 740 FR, Solder Mask SM1 oder dgl., die alle im Handel erhältlich sind. Darüber hinaus können eine Vielzahl verschiedenartiger Arten von photoempfindlichen Massen verwendet werden, wie sie auf dem Gebiet der gewöhnlichen Photo-Lithographie angewandt werden, wie photoempfindliche Harze, Photolacke bzw. Photoresiste und dgl.. Konkrete Beispiele hierfür sind: Diazoharz, p-Diazochinon, photopolymerisierbare Photopolymere, bei denen beispielsweise ein Vinylmonomer und ein Polymerisationsinitiator eingesetzt worden; Photopolymere vom Dimerisationstyp, bei denen Polyvinylcinnamate und dgl. und ein Sensibilisator eingesetzt werden; ein Gemisch aus o-Naphthochinondiazid und Phenolharz vom Novolaktyp; ein Gemisch aus Polyvinylalkohol und Diazoharz; Polyäthertyp-Photopolymere, die durch Copolymerisieren von 4-Glycidyläthylenoxid mit Benzophenon, Glycidylchalcon oder dgl. erzielt
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] werden; Copolymere aus N,N-Dimethy!methacrylamid und beispielsweise Acrylamid-Benzophenon; photoempfindliche Harze vom Typ der ungesättigten Polyester wie APR (von Asahi Kasei Kogyo K.K-, Japan), TEBISUTA (von Teijin K.K., Japan), Sonne (von Kansai Paint K.K., Japan) oder dgl.; photoempfindliche Harze vom Typ der ungesättigten Urethan-Oligomere; photoempfindliche Massen aus einem Photopolymerisationsinitiator, einem Polymer und einem bifunktionellen Acrylmonomer; IQ Photolacke vom Dichromattyp; wasserlösliche Photolacke bzw. Photoresiste, die kein Chrom enthalten; Polyvinylcinnamat-Photolacke; Photolacke vom Cyclokautschuk-Azid-Typ usw.
Wenn das Auflösungsvermögen der bei der Herstellung des Tintenstrahlkopfs verwendeten photoempfindlichen Zusammensetzungen bzw. Massen so gering ist, daß die erwünschte enge Tintenströmungsbahn (insbesondere an den Düsen) und der erwünschte Durchmesser der Tintenausstoß-Mündungen nicht erzielbar sind, können allein diese Teilbereiche einem Schneiden bzw. Fräsen mittels eines Schneidegeräts wie eines solchen für das Schneiden von Siliciumplättchen oder dgl. unterzogen werden.
Die Vorteile des Verfahrens bzw. des Tintenstrahlkopf s, welche vorstehend in Einzelheiten beschrieben sind, können folgendermaßen aufgezählt werden:
(1) Da die Hauptverfahrensschritte bei der Herstellung des Tintenstrahlkopfs auf einem photographischen Verfahren beruhen, können unter Verwendung von erwünschten Mustern die sehr genauen und kritischen Bereiche des Kopfs außerordentlich einfach geformt werden. Ferner kann gleichzeitig eine Vielzahl von Köpfen mit identischem Aufbau gefertigt werden.
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(2) Die verhältnismäßig wenigen Herstellungsschritte führen zu einer hohen Produktivität.
(3) Da die Ausrichtung zwischen den den Kopf
bildenden Haupt-Aufbauteilen leicht und genau vorgenommen werden kann, können Tintenstrahlköpfe mit hoher Maßgenauigkeit bei guter Ausbeute erzielt werden.
(4) Es können nach einem einfachen Verfahren Mehrreihen-Tintenstrahlköpfe mit hoher Dichte hergestellt werden.
(5) Da die Tiefe der die Tintenströmungsbahn bildenden Nut außerordentlich einfach eingestellt werden kann, kann eine Tintenbahn mit gewünschten Ausmaßen in Abhängigkeit von der Schichtdicke der photoempfindlichen (Harz-)Masse geformt werden.
(6) Die Tintenstrahlköpfe können kontinuierlich und in industrialisierter Massenproduktion hergestellt werden.
(7) Es besteht keine Notwendigkeit zur Anwendung von Ätzmitteln (starken Säuren wie Fluorwasserstoffsäure oder dgl.), so daß das Verfahren sicher und hygienisch bzw. nicht gesundheitsschädlich ist.
(8) Da im wesentlichen kein Klebemittel notwendig ist, entsteht weder ein Verstopfen der Nuten (Tintenbahnen) aufgrund des EinfHeßens des Klebemittels noch eine Verschlechterung der Betriebsfunktion des Tintenausstoß-Druckerzeugungselements durch das Haften des Klebemittels.
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(9) Da eine glatte Innenwandungsfläche der Tintenbahnen geformt werden kann, strömt die Tinte reibungslos durch! so daß der aus dem Kopf auszustoßende Tintenstrom nicht behindert wird.
(10) Es kann im wesentlichen die ganze Tintenströmungsbahn des Tintenstrahlkopfs ohne irgendeinen anderen Arbeitsvorgang durch ein und denselben Arbeitsvorgang geformt werden, d. h., es ist ein im wesentlichen aus der Photo-Härtung und dem Entfernen nichtgehärteter Teilbereiche bestehender Arbeitsvorgang ohne irgendeinen weiteren Arbeitsvorgang ausreichend.
Es werden ein Tintenstrahlkopf und ein Verfahren zur Herstellung des Kopfes angegeben, bei dem in einer auf eine Fläche eines Substrats aufgebrachten Schicht aus einer photoempfindlichen Masse eine Nut oder Nuten geformt werden, um damit jeweils eine Tintenströmungsbahn zu bilden.
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Claims (18)

  1. - RiIuι ΐΜΛ-ν ICiuKie " Patentanwälte und
    Du H LING :-; CVIWWE . -..·-; Vertreter beim EPA
    RIIPP "* tr PI I Μ Δ NN _
    ^«unwrE ι cLbfflnnn Dipl.-Chem. C
    - /η -ι η ο Ο Π R Dipl.-lng. R. Kinne
    ύ IUQaUO Dipl.-lng. R Grupe
    Dipl.-lng. B. Pellmann
    Bavariaring 4, Postfach 202403 8000 München 2
    Tel.: 089-5396 53 Telex: 5-24 845 tipat cable: Germaniapatent München 4. März 1981
    DE 1069
    Patentansprüche
    l 1.ITintenstrahlkopf mit mindestens einer TintenstrolTHKfgsbahn, über die Tin ten tröpfchen abgegeben werden, gekennzeichnet durch eine die Tintenströmungsbahn bildende Nut (6-2), die in einer ausgehärteten photoempfindlichen Masse (3) gebildet ist.
  2. 2. Tintenstrahlkopf mit mindestens einer Tintenströmungsbahn, über die Tintentröpfchen abgegeben werden, gekennzeichnet durch ein Substrat (1) und eine dem Substrat überlagerte Schicht (3H), in der durch Aufbringen einer Schicht (3) aus einer photoempfindlichen Masse auf das Substrat, Aushärten der Schicht zur Bildung ausgehärteter Bereiche nach einem vorbestimmten Muster und Entfernen der nichtausgehärteten Masse aus der Schicht mindestens eine Nut (6-2) als Tintenströmungsbahn gebildet ist.
  3. 3. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse (3) ein photoempfindliches Harz ist.
  4. 4. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse (3) ein Trockenfilm-Photolack ist.
    130062/0686
    Deutsche Bank (München) Klo 51/61070 Dresdner Bank (München) KIo. 3939 B44 Posischeck (München) KIo. 670-43-804
    DE 1069
  5. 5. Tintenstrahlkopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse (3) die Form eines Films mit einer Dicke von 25 bis 100 μη hat.
  6. 6. Tintenstrahlkopf mit mindestens einer Tintenströmungsbahn, über die Tintentröpfchen abgegeben werden, dadurch gekennzeichnet, daß im wesentlichen die ganze Tintenströmungsbahn (6-2) in ein und demselben Arbeitsvorgang geformt ist.
  7. 7. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Tintenströmungsbahn (6-2) in einem ausgehärteten photoempfindlichen Harzfilm (3) gebildet ist.
  8. 8. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der photoempfindliche Harzfilm (3) eine Dicke von 25 bis 100 μΐη hat.
  9. 9. Tintenstrahlkopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in der Tintenströmungsbahn (6-2) ein Tintenausstoß-Druckerzeugungselement (2) angeordnet ist.
  10. 10. Tintenstrahlkopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Tintenströmungsbahn (6-2) mit einer Tintenausstoßmündung (9)
    in Verbindung steht.
    30
  11. 11. Tintenstrahlkopf nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Tintenströmungsbahnen (6-2) vorgesehen sind.
    13006Ä/068B
    - J DE 106 9
  12. 12. Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfs mit mindestens einer TintenStrömungsbahn, über die Tintentröpfchen abgegeben werden, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem Substrat eine Schicht aus einer c photoempfindlichen Masse gebildet wird, in der Schicht gemäß einem bestimmten Muster ausgehärtete Bereiche erzeugt werden und aus der Schicht die nichtausgehärtete Masse entfernt wird, um damit an der Oberfläche des Substrats zur Bildung jeder Tintenströmungsbahn eine Nut ^q zu erzeugen.
  13. 13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse ein photoempfindliches Harz ist.
  14. 14. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse ein Trockenfilm- Photolack ist.
  15. 15. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse die Form eines Films mit einer Dicke von 25 bis 100 μπι hat.
  16. 16. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß in der Tintenströmungsbahn ein Tintenausstoß-Druckerzeugungselement angeordnet wird.
  17. 17. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Tintenströmungsbahn mit einer Tintenausstoßmundung in Verbindung gebracht wird.
  18. 18. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere TintenStrömungsbahnen erzeugt werden.
    1300S2/068B
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