DE3508764A1

DE3508764A1 - Tintenstrahl-aufzeichnungskopf und verfahren zu dessen herstellung

Info

Publication number: DE3508764A1
Application number: DE19853508764
Authority: DE
Inventors: Masami Hiratsuka Kanagawa Yokota
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1984-03-12
Filing date: 1985-03-12
Publication date: 1985-09-12
Anticipated expiration: 2005-03-13
Also published as: DE3508764C2; GB2157622A; GB8506303D0; JPS60190363A; SG34591G; GB2157622B; HK39891A

Description

Tedtke " Bühling - Kinne..-"Grupe Pellmann - Grams - Struif3508764

Patentanwälte und Vertreter beim EPA

Dipl.-Ing. H.Tiedtke Dipl.-Chem. G. Bühling Dipl.-Ing. R. Kinne Dipl.-Ing. R Grupe Dipl.-Ing. B. Pellmann Dipl.-Ing. K. Grams Dipl.-Chem. Dr. B. Struif

Bavariaring 4, Postfach 202403 8000 München 2

Tel.: 089-539653 Telex: 5-24 845 tipat Telecopier: 0 89-537377 cable: Germaniapatent München

12 . März 1985

DE Λ674-

CANON KABUSHIKI KAlSHA

Tokio / Japan

Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf und Verfahren zu dessen Herstellung

Die Erfindung betrifft einen Tintenstrahl-Aufzeichnunyskopf und ein Verfahren zu dessen Herstellung.

Ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, der für ein Tinteristrahl-Aufzeichnungssystem verwendet werden kann, weist im allgemeinen feine Txntenausstoßoffnungen, Tintendurchyänge und Tintenausstoßenergie-Erzeugungsabschnitte, die örtlich in den Tintendurchgängen vorgesehen sind, auf.

Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines solchen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes werden zur Bildung von Tintendurchgängen durch spanende Bearbeitung oder Ätzen einer Glas- oder Metallplatte feine Rillen gebildet, und dann werden die mit Rillen versehenen Platten mit einer anderen geeigneten Platte verbunden. In dem auf diese Weise hergestellten Aufzeichnungskopf können jedoch die Tinten durchgängig im Fall der durch spanende Bearbeitung hergestellten Rillen zu rauhe Innenwandoberflächen haben, odor im Fall der durch Atzen hergestellten Rillen kann der Auf zeichnungskopf Verformungen in den Iintendurchgängen aufweisen, die auf einen Unterschied im Ätzverhältnis B ORIGINAL INSPECTED

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zurückzuführen sind, und es ist schwierig, Tintendurchgänge mit hoher Genauigkeit zu erhalten; d.h., die Tintenausstoßeigenschaften des auf diese Weise hergestellten Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes sind Schwankungen unterworfen.

Ferner neigen die Platten bei der spanenden Bearbeitung zum Zerbrechen oder zur Rißbildung, was zu einer schlechten Produktausbeute führt. Andererseits sind beim Ätzen viele Fertigungsschritte erforderlich, wodurch die Herstellungskosten gesteigert werden. Des weiteren besteht ein Problem, das den bekannten Verfahren gemeinsam ist, darin, daß es im Fall der Verbindung, einer mit Rillen versehenen Platte, d.h. einer Platte mit Tintendurchgangsrillen, mit einem Substrat, das Antriebs- bzw. S,teuerteile wie z.B. piezoelektrische Einrichtungen als elektromechanische Wandler, die imstände sind, eine zur Einwirkung auf die Tinte bzw. Aufzeichnungsflüssigkeit dienende Energie zu erzeugen, Wärmeerzeugungsei nricht ungen als elektrothermische Wandler usw. aufweist, schwierig ist, eine genaue Ausrichtung der Platte bezüglich des Substrats zu erzielen, wodurch eine Massenfertigung unmöglich gemacht wird.

Zur Lösung dieser Probleme sind - beispielsweise in der JA-OS 43876/1982 - Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahl-Aufzeichnungkopfes vorgeschlagen worden, bei denen der Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf hergestellt wird, indem auf einem Substrat, auf dem Tintenausstoßdruck-Erzeugungseinrichtungen vorgesehen sind, Tintendurchgangswände gebildet werden, die aus gehärteten Filmen aus lichtempfindlichem Harz hergestellt werden, und indem dann auf den Tinten- .durchgangswänden eine Abdeckung vorgesehen wird.

Der Tintenstrahl Aufzeichnungskopf, der unter Verwendung der gehärteten Filme aus lichtempfindlichem Harz als Tinten durchgangswänden hergestellt worden ist, ist dadurch ausgezeichnet, daß er die jeweiligen Probleme der bekannten Tintenstrahl AufZeichnungskopfρ wie z.U. die mangelhafte Genau

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igkeit bzw. Präzision der fertiggestellten Tintendurchgänge, die komplizierten Fertigungsschritte und die schlechte Produktausbeute löst; er weist jedoch noch ein anderes Problem auf: wenn z.B. ein bei Raumtemperatur härtender Klebstoff oder ein wärmehärtbarer Klebstoff verwendet wird, um die Abdeckung auf den Tintendurchgangswänden vorzusehen, kann der Klebstoff während der Härtung in die Tintendurchgänge fließen und diese verstopfen, was zu einer beträchtlichen Verminderung der Produktausbeute führt.

Zur Überwindung dieses Problems ist in der JA-OS 220754/ 1983 ein Tintenstrahl Aufzeichnungskopf vorgeschlagen worden, der hergestellt wird, indem eine Abdeckung aus Filmen aus lichtempfindlichem Harz, die auf beide Oberflächen eines Trägers, der aus einem für Ultraviolettstrahlen durchlässigen Material hergestellt ist, laminiert sind, mit einem Tintendurchgänge aufweisenden Substrat verbunden und der Film durch Ultraviolettbestrahlung gehärtet wird. Die Tintendurchgangswände haben im allgemeinen eine in geringem Maße ungleichmäßige Höhe, und der Film aus lichtempfindlichem Harz, der die Abdeckung bildet, muß auch mit den niedrigeren Teilen der Wände verbunden werden, während auf den Film ein Druck ausgeübt wird. Die Bedingungen der Druckausübung hängen jedoch von der Druckverteilung während der Druckausübung, von der Härte des Films aus lichtempfindlichem Harz, von der Gestalt der Tintendurchgangswände usw. ab, und das lichtempfindliche Harz kann in die Tintendurchgänge fließen, oder die Abdeckung kann mit den Tintendurchgangswänden unverbunden bleiben. Folglich besteht bei der Herstellung eines Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes, bei dem die Abdeckung gleichmäßig und vollständig mit den Tintendurchgangswänden verbunden ist, ohne daß die Tintendurchgänge beeinträchtigt werden, eine Problem.

Es ist Aufgabe der Krfindung, einen genauen bzw. präzisen Tint en.st rahl Aufzeichnungskopf mit hoher Zuverlässigkeit

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und ein Verfahren zu dessen Herstellung, bei dem die vorstehend erwähnten Probleme überwunden werden, zur Verfügung zu stellen.

Ferner sollen durch die Erfindung ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf mit präzisen Tintendurchgängen und einer struktur, die getreu einer gewünschten Bauart feinbearbei t.et ist, und ein Verfahren zu dessen Herstellung bereitgestellt werden.

Des weiteren sollen durch die Erfindung ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf mit ,einer hohen Genauigkeit des Auftreffens von Tintentröpfchen auf die gewünschten Zielstellen und hoher Ansprechfrequenz.und ein Verfahren zu dessen Herstellung zur Verfügung gestellt werden.

Durch die Erfindung sollen auch ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, dessen Bauteile in geringerem Maße dazu neigen, sich abzulösen bzw. abzuschälen und das in geringerem Maße zur Verformung und Verschiebung usw. neigt und eine gute Haltbarkeit hat, und ein Verfahren zu dessen Herstellung bereitgestellt werden.

Die Aufgabe der Erfindung wird durch einen Tintenstrahl Aufzeichnungskopf mit den im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs l angegebenen Merkmalen gelöst.

Eine besondere Ausgestaltung der Erfindung bestellt in einem Verfahren zur Herstellung eines Ti rii enstrahl Auf zeichnungskopfes mit den im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 8 angegebenen Maßnahmen.

Die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung werden nach stehend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert.
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Fig. l bis 8 sind schernat ische Ansichten, in denen die

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Schritte eines Verfahrens zur Herstellung des erfindungsgemäßen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes erläutert werden.

In dem Schritt von Fig.l wird auf einem Substrat 1 aus Glas, Keramik, Kunststoff oder Metall eine gewünschte Anzahl von Tintenausstoßenergie-Erzeugungseinrichtungen 2 wie z.B. Wärmeerzeugungseinrichtungen, piezoelektrischen Einrichtungen usw., die imstande sind, eine Energie zum Ausstoßen einer Tinte aus Tintenausstoßöffnungen zu erzeugen, ausgebildet und - falls dies notwendig ist - mit einem Film 3 aus SiO , Ta₀O , Glas usw. bedeckt, um Tintenbeständigkeit und elektrische Isolierung zu erhalten. Die Tintenausstoßenergie-Erzeugungseinrichtungen 2 s,ind mit einer Signaleingabeelektrode verbunden, die in der Zeichnung nicht gezeigt ist.

In dem folgenden Schritt (Fig. 2> wird die Oberfläche der auf dem Substrat l in dem Schritt von Fig. l erhaltenen Filmschicht 3 gereinigt und getrocknet, und dann wird auf die Filmschicht 3 ein Trockenfilm-Photoresist 4 mit einer Filmdicke von etwa 25 Mm bis etwa lOO pm, der auf etwa 80⁰C bis etwa 1O5°C erhitzt ist, mit einer Geschwindigkeit von 15 bis 122 cm/min unter einem Druck von 9,8 bis 29,4 N/cm laminiert, wobei der TrockenfiIm-Photoresist 4 unter Schmelzen mit der Filmschicht 3 verbunden wird. In der in Fig. 2 gezeigten Weise wird dann eine Photomaske 5 mit einem gewünschten Muster auf den TrockenfiIm-Photoresist 4, der sich auf der Substratoberfläche befindet, aufgelegt, worauf von der Oberseite der Photomaske 5 her eine Belichtung durchgeführt wird. In diesem Fall muß die Ausrichtung der Lagen der Tintenausstoßenergie-Erzeugungseinrichtungen 2 bezüglich der Lage des Musters im voraus durch ein bekanntes Verfahren erfolgen.

Fig. 3 zeigt schematisch einen Schritt der Entfernung unbelichteter Teile des belichteten Trockenfilm-Photoresists 4 mittels Auflösung durch eine Entwickl uriys lösung, die ein

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gewünsch tos organisches Lösungsmittel wie z.B. Ti^-i chi ore than enthält. Um die Tintenbeständigkeit der· belichteter» Feile 4P des TrockenfiIm-Photoresists, die auf dem Substrat 1 zu rückbleiben, zu verbessern, wird dann eine Wärmehärtung (z.B. durch '3Ominüt iges bis 6stündiges Erhitzen auf ]5ü°c: bis 250°C> oder eine Ultraviolettbestrahlung (z.B. durch Ultraviolettstrahlen mit einer Intensität von 50 bis 200 mW/cm" oder mehr) durchgeführt, damit die Polymerisations Härtungsreaktion bis zur Beendigung fortschreitet. Auch eine gleichzeitige Durchführung der Wärmehärtung und der Härtung durch Ultraviolettbestrahlung ist wirksam.

Fig. 4 zeigt schematiseh einen Fall, in dem ein dünner lichtempfindlicher Harzfilrn 7, beispielsweise ein durch Ultraviol et tst rahl ung härtbarer Harzfilrn, auf die Oberfläche eines flachen Plattenteils 6, das aus einem für elektromagnetische Wellen, z.B. für Ultraviolettstrahlen, durchlässigen Material hergestellt ist, derart laminiert wird, daß das Volumen des Harzfilms nicht mehr als 1/10 des Gesamtvolumens der Tintendurchgänge 8 beträgt, um eine Abdeckung für die Tiritendurchgänge 8 zu bilden. Die lichtempfindliche Masse für den lichtempfindlichen Harzfilm kann durch irgendwelche Verfahren, z.B. im allgemeinen durch Schleuder bzw. Zentri fugenbeschi chtung, Walzenbeschichtung, Tauchbeschi ch · tung, Aufsprühen unter Anwendung eines Schirms bzw. einer Maske oder Bedrucken, laminiert werden, wenn vorausgesetzt ist, daß eine gleichmäßige Filmdicke erhalten werden kann.

Fig. 5 zeigt schematiseh einen Fall, in dem Für den Tinten durchgang 8 durch Verbinden unter Druckausübung eine Abdek kung bereitgestellt wird, wobei die Abdeckung durch das Vei fahren von Fig. 4 gebildet, wurde und aus dem flachen Plat tenteil 6 und dem durch Ultraviolettstrahlung härtbaren Harzfilm 7 besteht. Da das Volumen des durch Ultraviolett strahlung härtbaren Hnrzfilms 7. eines Films aus einer lichtempfindlichen Masse, der die Abdeckung bildet, nicht

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mehr als 1/30 des Gesamtvolumens der Ti ntendurchgänge beträgt, beträgt das Volumen des durch Ultraviolettstrahlung härtbaren Harzes, das in die Tintendurchgänge fließen kann, selbst in dem Fall, daß darauf ein weitgehender Druck ausge übt wird, höchstens 1/10 des Gesamtvolumens der Tintendurchgänge, was zur Folge hat, daß die Ausstoßeigenschaften des Tintenstrahl--Aufzeichnungskopfes wie z.B. die Ansprechfrequenz und die Genauigkeit des Auftreffens auf die gewünschten Zielstellen nicht wesentlich beeinflußt werden. Ferner

1.0 kann auf die Abdeckung ein weitgehender Druck ausgeübt werden, was dazu führt, daß jeder unverbundene Kontakt zwischen der Abdeckung und den Trockenfilm-Photoresists 4P vermieden wird, so daß ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf mit hoher Zuverlässigkeit erhalten werden kann.

Dann wird der Trockenfilm 7, der auf dem flachen Plattenteil 6, das aus einem für Ultraviolettstrahlen durchlässigen Material hergestellt ist, laminiert ist, mit Ultraviolettstrahler-, die beispielsweise eine Intensität von 50 bis 200 mW oder· mehr haben, in einer sauerstoff freien Atmosphäre belichtet, um den TrockenfiIm 7 vollständig zu härten. Auch eine weitere Wärmehärtung des Trockenfilms 7, z.B. 30 min bis b h bei 130°C bis 250°c, ist wirksam.

Fig. fj ist eine schematische perspektivische Ansicht, die das Aussehen des Aufzeichnungskopfes nach dem Schritt von Fig. 5 darstellt, und zeigt eine Tintenvorratskammer 8-1, schmale Tintendurchgänge 8 2 und Löcher 9 für die Verbindung von in der Zeichnung nicht gezeigten Tintenzuführungsrohren mit der Tintenvorratskammer 8 1.

Nach der Beendigung des Verbindens des mit Rillen versehe nen Substrats mit der Tintendurchgangsabdeckung wird die er haltene Baueinheit entlang der Linie C-C in Fig. 6 abgeschnitten, um den günstigsten Abstand zwischen den Tintenausst oßdruck F.rzeuguncjseinr iehtungen 2 und den Tintenaus-

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Stoßöffnungen 8-3 in den schmalen Tintendurchgängen 8 2 zu erhalten. Der abzuschneidende Bereich kann nach Wunsch gewählt werden. Das Abschneiden wird unter Anwendung einer Plättchenschneidevorrichtung, wie sie üblicherweise in der Halbleiterindustrie angewandt wird, durchgeführt.

Fig. 7 ist eine Senkrechtschnittansicht entlang der Linie Z-Z' in Fig. 6.

Dann wird die abgeschnittene Oberfläche durch Polieren geglättet, und die Tintenzuführungsrohre 10 werden an den Löchern 9 befestigt, um einen Tintenstrahl Aufzeichnungskopf, wie er in Fig. 8 gezeigt ist, fertigzustellen.

Bei den vorstehend erläuterten Ausführunysformen ist für die Tintendurchgangsabdeckung ein lichtempfindliches Harz (Photoresist) des Trockenfilmtyps, d.h. ein festes lichtempfindliches Harz, verwendet worden, jedoch ist das lichtempfindliche Harz, das im Rahmen der Erfindung verwendbar ist, nicht darauf beschränkt, und es können auch flüssige

i lichtempfindliche Harzmassen verwendet werden. Ferner ist

das lichtempfindliche Harz nicht auf durch Ultraviolett

ι strahlung härtbare Harze beschränkt, vielmehr kann jede j

Harzmasse verwendet werden, solange sie gegenüber elekt.ro- ;

magnetischen Wellen wie z.B. Infrarotstrahlen, sichtbarem j

Licht, Röntgenstrahlen. Elektronenstrahlen oder Laserstrah Ien empfindlich ist.

Beispiele für den Trockenfi 1 rti Photoresist, der im Rahmen der Erfindung verwendet werden kann, sind Photoresists, die im Handel als Dauer-Phot.opolymerüberzüge unter den Waren zeichen Riston, Soldermask 730S, 7A0S, 730FR, 740FR und 740 SMl (hergestellt, von DuPont, USA); Phot.ec SR lOOO, SR-20O0, SR 3000 usw. (hergestellt von Hitachi Ka.se i Kogyo K.K.. Japan) erhältlich sind. Ferner können im Rahmen tier Erfindung als lichtempfindliches Harz viele 1ichlempfindli

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ehe Harzmassen, die auf dem Gebiet der üblichen Photolithographie eingesetzt werden, verwendet werden. Erwähnt werden können beispielsweise Photopolymere des Photopolymerisationstyps aus Diazoharz und p-Diazochinon oder solche, die ferner beispielsweise Vinylmoriomer und einen Polymerisationsinitiator enthalten, Photopolymere des Dimertyps, die Polyvinylcinnamat usw. und einen Sensibilisator enthalten, eine Mischung aus ο Naphthochinodiazid und Phenolharz des Novolaktyps, eine Mischung aus Polyvinylalkohol und Diazoharz, ein Photopolymer des Polyethertyps aus 4-Glycidy!ethylenoxid und Benzophenon oder Glyeidylchalkon in copolymerisierter Form, ein Copolymer von Di N,N-dimethylmethacrylamid und beispielsweise Acrylamidobenzophenon, lichtempfindliche Harze auf Basis von ungesättigtem Polyester iz.B. APR (hergestellt von Asahi Kasei Kogyo K.K., Japan), Tevista (hergestellt von Teijin K.K., Japan), Sonne (hergestellt von Kansai Paint K.K., Japan) usw.), lichtempfindliche Harze auf Basis von ungesättigtem Urethanoligomer, eine lichtempfindliche Harzrnasse, die bi funktionel 1 es Urethanmonomer und einen Photopolymerisationsinitiator enthält. Photoresist auf Dichromatbasis, chromfreier, wasserlöslicher Photoresist, Photoresist auf Polyvinylcinnamatbasis und Photoresist auf Basis von oxidiertem Kautschuk/Azid.

Wenn als Material für die Bildung der Tintendurchgangswände ein lichtempfindlicher Trockenfilmresist verwendet wird, wie es bei der vorstehenden Ausführungsform beschrieben wurde, kann es vorteilhafter sein, wenn als 1ichtempfindli ehe Masse zum Laminieren auf das flache Plattenteil zwecks

so Herstellung der Tintendurchgangsabdeckung eine Lösung des Trockenfi1mresists in einem Lösungsmittel verwendet wird, um die Benetzbarkeit der Tintendurchgangswände und der Tintendurchgangsabdeckung gleichmäßig zu machen.

Das Verfahren zum Laminieren des lichtempfindlichen Harzfilrns auf das flache Plattenteil ist nicht auf das vor-

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stehend erwähnte Verbinden unter Druckausübung beschrankt, vielmehr kann jedes Verfahren unter der Voraussetzung, daß der lichtempfindliche Harzfilm dadurch gleichmäßig laminiert werden kann, angewandt werden. Beispiele für Verfahren, die angewandt werden können, sind die Schleuder- bzw. Zentrifu genbeschichtung, die Tauchbeschichtung, das Aufsprühen, das Aufdrucken und die Walzenbeschichtung. Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform wird eine Sauerstoff Desensi bilisierung angewandt, um nur auf der Oberfläche des lichtempfindlichen Harzfilms eine weiche bzw. geschmeidige Schicht stehenzulassen; es kann jedoch vorteilhafter sein, wenn nur auf der Oberfläche dadurch eine weiche bzw. ge schmeidige Schicht stehengelassen wird, daß von der Rücksei te des lichtempfindlichen Harzfilms her durch das flache Plattenteil, das aus einem für Ultraviölettst rah I en durch lässigen Material hergestellt ist, hindurch eine Belichtung durchgeführt wird, während die Bei i cht ungsi riterisi t ät reguliert wird. Das Material für das flache Plattenteil, das als Träger für die Tintendurchgangsabdeckung dient, unterliegt keiner besonderen Einschränkung, sofern es für elektromagnetische Wellen mit einer· Wellenlänge, die wirksam ist, um eine Photopolymerisation des zur Bildung der Tintendurchgangsabdeckung dienenden lichtempfindlichen Harzes hervorzurufen, durchlässig ist und sofern es kaum zu einer Verformung infolge der Schrumpfspannung einiger lichtemp findlicher Harze neigt, im Hinblick auf die Bequemlichkeit und Wirtschaftlichkeit der Fertigung werden Glas, Epoxyharz, Acrylharz und Vinyl harz bevorzugt.

Die vorstehend beschriebene Erfindung weist die folgenden Wirkungen auf:

1) Wenn ein Substrat mit Tintendurchgängen mit einer Tinten durchgangsabdeckung verbunden wird, werden die Tintendurchgänge selbst, dann niemals verstopfI , wenn auf die Abdeckung ein weitgehender Druck ausgeübt wird, weil als Abdeckung ein flaches Pl at tent ei 1 verwendet wird, das mit einem licht

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empfindlichen Harzfilm laminiert ist, und das Volumen des lichtempfindlichen Harzfilms gering ist und nicht mehr als 1/10 des Gesamtvolumens der Tintendurchgänge beträgt.

2) Da für das Verbinden der Abdeckung ein 1ichtempfindli-

ches Harz verwendet wird, kann die Härtung für eine kürzere Zeit durchgeführt werden, ohne daß erwärmt wird und ohne daß das lichtempfindliche Harz fließt, und auf diese Weise kann verhindert werden, daß sich das lichtempfindliche Harz auf den Tintenausstoßenergie-Erzeugungseinrichtungen ablagert. Ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf mit stabilem Ausstoßverhalten kann leicht erhalten werden.

3) Da die lichtempfindliche Masse beim Verbinden der Abdekkung in Form einer dünnen Schicht laminiert ist, ist die Schrumpfspannung geringer, wenn die lichtempfindliche Masse der Photo- bzw. Lichthärtung unterzogen wird, und innerhalb des Aufzeichnungskopfes bleibt keine Spannung zurück, was dazu führt, daß weder ein Abschälen bzw. Ablösen der Bauteile noch eine Verformung oder Verschiebung hervorgerufen wird. Der auf diese Weise hergestellte Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf zeigt eine sehr gute Haltbarkeit.

4) Da das flache Plattenteil und der lichtempfindliche Harzfilm als Bestandteile der Tintendurchgangsabdeckung lichtdurchlässig sind, kann der Bewegungszustand der Tintentröpfchen, die sich durch den Aufzeichnungskopf bewegen, mit den

Augen beobachtet werden, und der Aufzeichnungskopf kann leicht instand gehalten und kontrolliert werden.

Claims

Iedtke - BoHUN« *;Khne i QwiPE ΚΑΗΚΑ %.

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KtLLMANN - 13IRAMS - OTRUIF Dipl.-Chem. G. Bühling

Dipl.-lng. R. Kinne Dipl.-lng. R Grupe Dipl.-lng. B. Pellmann 3508764 Dipl.-lng. K. Grams

Dipl.-Chem. Dr. B. Struif

Bavariaring 4, Postfach 202403 8000 München 2

Tel.: 089-539653 Telex: 5-24845 tipat Telecopier: 0 89-537377 cable: Germaniapatent München 12.März 1985

DE 4674 Patentansprüche

1. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, gekennzeichnet durch ein Substrat, einen Tintendurchgang, der als Bestandteile auf dem Substrat ausgebildete Tintendurchgangswände und ein flaches Plattenteil, das aus einem für gewünschte elektromagnetische Wellen durchlässigen Material hergestellt und mittels eines gehärteten Films aus lichtempfindlichem Harz auf den Tintendurchgarigswänden vorgesehen ist, auf- *

weist, eine Tintenausstoßoffnung, die mit dem Tintendurchgang in Verbindung steht, und eine Tintenausstoßenergie-Erzeugungseinrichtung, die imstande ist, eine Energie zum Ausstoßen einer Tinte aus der Tintenausstoßoffnung zu erzeugen, wobei das Volumen des gehärteten Films aus licht empfindlichem Harz nicht mehr als 1/10 des Volumens des Tintendurchgangs beträgt.

2. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch l, dadurch gekennzeichnet, daß der gehärtete Film aus lichtempfindlichem Harz ein gehärteter Film aus einem durch Ultraviolettstrahlung härtbaren Harz ist.

3. Tintenstrahl Aufzeichnungskopf nach Anspruch l, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei den gewünschten elektromagnetischen Wellen um mindestens eine Art elektromagnetischer Wellen, die aus Ultraviolett strahl en, Infrarotstrahlen, sichtbarem Licht, Röntgenstrahlen und Elektronenstrahlen ausgewäh1t i st, hande11.

Dresdner Bank (München) Klo .!939844 Deutsche Bsnk (München) KIo ?B6 1060 Postscheckamt (München) Klo 670-43-804 ,

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A. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch l, dadurch gekennzeichnet, daß das flache Plattenteil aus einem Material hergestellt ist, das aus Glas, Epoxyharz, Acrylharz und Vinyl harz ausgewählt ist.
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5. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Tintenausstoßenergie-Erzeugungseinrichtung ein elektrothermischer Wandler ist.

6. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß diß Tintenausstoßenergie-Erzeugungseinrichtung ein elektromechanischer Wandler ist.

7. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch l, dadurch gekennzeichnet, daß er zwei oder mehr Tintendurchgänge enthält.

8. Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes mit einem Substrat, auf dem Substrat ausgebildeten Tintendurchgangswänden und einem flachen Plattenteil, das auf den Tintendurchgangswänden vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß das flache Plattenteil aus einem für gewünschte elektromagnetische Wellen durchlässigen Material hergestellt und mittels eines Films aus lichtempfindlichem Harz auf den Tintendurchgangswänden vorgesehen wird, wobei der Film aus lichtempfindlichem Harz, dessen Volumen nicht mehr als 1/10 des Volumens des Tintendurchgangs beträgt, auf den Tintendurchgangswänden vorgesehen wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß als lichtempfindliches Harz ein durch Ultraviolettstrahlung härtbares Harz verwendet wird.

10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch uekerinzei chnot, daß es sich bei den gewünschten elektromagnetischen Wellen um mindestens eine Art elektromagnetischer Wellen, die aus Ul-

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traviolettstrahlen, Infrarotstrahlen, sichtbarem Licht, Röntgenstrahlen und Elektronenstrahl en ausgewählt ist, handelt.

11. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das flache Plattenteil aus einem Material hergestellt wird, das aus Glas, Epoxyharz, Acrylharz und Vinyl harz ausgewählt ist.

12. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß als 1ichtempfindliches ,Harz ein Harz des Trockenfilmtyps verwendet wird.

13. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß als lichtempfindliches Harz eine flüssige lichtempfindliche Harzmasse verwendet wird.

14. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das lichtempfindliche Harz durch eine Polymerisations-Härtungsreaktion unter Anwendung von Licht und/oder Wärme zu einem gehärteten Film gehärtet wird.

15. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Tintendurchgangswände aus gehärteten Filmen aus lichtempfindlichem Harz hergestellt werden.

16. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf mit zwei oder mehr Tintendurchgängen hergestellt wird.

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