JPH02208053A - 液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 １４衾更 本発明は、液体噴射記録装置に関し、より詳細には、バ
ブルジェットプリンタの記録ヘッドに関する。

丈来投帆 ノンインパクト記録法は、記録時における騒音の発生が
無視し得る程度に極めて小さいという点において、最近
関心を集めている。その中で、高速記録が可能であり、
而も所謂普通紙に特別の定着処理を必要とせずに記録の
行える所謂インクジェット記録法は極めて有力な記録法
であって、これまでにも様々な方式が提案され、改良が
加えられて商品化されたものもあれば、現在もなお実用
化への努力が続けられているものもある。

この様なインクジェット記録法は、所謂インクと称され
る記録液体の小滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）を飛翔させ、記録
部材に付着させて記録を行うものであって、この記録液
体の小滴の発生法及び発生された記録液小滴の飛翔方向
を制御する為の制御方法によって幾つかの方式に大別さ
れる。

先ず第１の方式は、例えば米国特許第３０６０４２９号
明細書に開示されているもの（Ｔｅｌｅ　ｔｙｐｅ方式
）であって、記録液体の小滴の発生を静電吸引的に行い
、発生した記録液体小滴を記録信号に応じて電界制御し
、記録部材上に記録液体小滴を選択的に付着させて記録
を行うものである。

これに就いて、更に詳述すれば、ノズルと加速電極間に
電界を掛けて、−様に帯電した記録液体の小滴をノズル
より吐出させ、該吐出した記録液体の小滴を記録信号に
応じて電気制御可能な様に構成されたｘｙ偏向電極間を
飛翔させ、電界の強度変化によって選択的に小滴を記録
部材上に付着させて記録を行うものである。

第２の方式は１例えば米国特許第３５９６２７５号明細
書、米国特許第３２９８０３０号明細書等に開示されて
いる方式（Ｓｗｅｅｔ方式）であって、連続振動発生法
によって帯電量の制御された記録液体の小滴を発生させ
、この発生された帯電量の制御された小滴を、−様の電
界が掛けられている偏向電極間を飛翔させることで、記
録部材上に記録を行うものである。

具体的には、ピエゾ振動素子の付設されている記録ヘッ
ドを構成する一部であるノズルのオリフィス（吐出口）
の前に記録信号が印加されている様に構成した帯電電極
を所定距離だけ離して配置し、前記ピエゾ振動素子に一
定周波数の電気信号を印加することでピエゾ振動素子を
機械的に振動させ、前記吐出口より記録液体の小滴を吐
出させる。この時前記帯電電極によって吐出する記録液
体小滴には電荷が静電誘導され、小滴は記録信号に応じ
た電荷量で帯電される。帯電量の制御された記録液体の
小滴は、一定の電界が一様に掛けられている偏向電極間
を飛翔する時、付加された帯ｔ＠量に応じて偏向を受け
、記録信号を担う小滴のみが記録部材上に付着し得る様
にされている。

第３の方式は、例えば米国特許第３４１６１５３号明細
書に開示されている方式（Ｈｅｒｔｚ方式）であって、
ノズルとリング状の帯電電極間に電界を掛け、連続振動
発生法によって、記録液体の小滴を発生霧化させて記録
する方式である。即ちこの方式ではノズルと帯電電極間
に掛ける電界強度を記録信号に応じて変調することによ
って小滴の霧化状態を制御し、記録画像の階調性を出し
て記録する。

第４の方式は、例えば米国特許箱３７４７１２０号明Ａ
ＩＩＩ書に開示されている方式（Ｓｔｅｍ＋ｎｅ方式）
で、この方式は前記３つの方式とは根本的に原理が異な
るものである。

即ち、前記３つの方式は、何れもノズルより吐出された
記録液体の小滴を、飛翔している途中で電気的に制御し
、記録信号を担った小滴を選択的に記録部材上に付着さ
せて記録を行うのに対して、このＳｔｅｍｍｅ方式は、
記録信号に応じて吐出口より記録液体の小滴を吐出飛翔
させて記録するものである。

つまり、Ｓｔｅ＋＋ｕ＋＋ｅ方式は、記録液体を吐出す
る吐出口を有する記録ヘッドに付設されているピエゾ振
動素子に、電気的な記録信号を印加し、この電気的記録
信号をピエゾ振動素子の機械的振動に変え、該機械的振
動に従って前記吐出口より記録液体の小滴を吐出飛翔さ
せて記録部材に付着させることで記録を行うものである
。

これ等、従来の４つの方式は各々に特長を有するもので
あるが、又、他方において解決され得る可き点が存在す
る。

即ち、前記第１から第３の方式は記録液体の小滴の発生
の直接的エネルギーが電気的エネルギーであり、又、小
滴の偏向制御も電界制御である。

その為、第１の方式は、構成上はシンプルであるが、小
滴の発生に高電圧を要し、又、記録ヘッドのマルチノズ
ル化が困難であるので高速記録には不向きである。

第２の方式は、記録ヘッドのマルチノズル化が可能で高
速記録に向くが、構成上複雑であり、又記録液体小滴の
電気的制御が高度で困難であること、記録部材上にサテ
ライトドツトが生じ易いこと等の問題点がある。

第３の方式は、記録液体小滴を霧化することによって階
調性に優れた画像が記録され得る特長を有するが、他方
霧化状態の制御が困難であること。

記録画像にカブリが生ずること及び記録ヘッドのマルチ
ノズル化が困難で、高速記録には不向きであること等の
諸問題点が存する。

第４の方式は、第１乃至第３の方式に比べ利点を比較的
多く有する。即ち、構成上シンプルであること、オンデ
マンド（ｏｎ−ｄｅｍａｎｄ）で記録液体をノズルの吐
出口より吐出して記録を行う為に、第１乃至第３の方式
の様に吐出飛翔する小滴の中、画像の記録に要さなかっ
た小滴を回収することが不要であること及び第１乃至第
２の方式の様に、導電性の記録液体を使用する必要性が
なく記録液体の物質上の自由度が大であること等の大き
な利点を有する。丙午ら、一方において、記録ヘッドの
加工上に問題があること、所望の共振数を有するピエゾ
振動素子の小型化が極めて困難であること等の理由から
記録ヘッドのマルチノズル化が難しく、又、ピエゾ振動
素子の機械的振動という機械的エネルギーによって記録
液体小滴の吐出飛翔を行うので高速記録には向かないこ
と、等の欠点を有する。

更には、特開昭４８−９６２２号公報（前記米国特許第
３７４７１２０号明細書に対応）には、変形例として、
前記のピエゾ振動素子等の手段による機械的振動エネル
ギーを利用する代わりに熱エネルギーを利用することが
記載されている。

即ち、上記公報には、圧力上昇を生じさせる蒸気を発生
する為に液体を直接加熱する加熱コイルをピエゾ振動素
子の代りの圧力上昇手段として使用する所謂バブルジェ
ットの液体噴射記録装置が記載されている。

しかし、上記公報には、圧力上昇手段としての加熱コイ
ルに通電して液体インクが出入りし得る口が一つしかな
い袋状のインク室（液室）内の液体インクを直接加熱し
て蒸気化することが記載されているに過ぎず、連続繰返
し液吐出を行う場合は、どの様に加熱すれば良いかは、
何等示唆されるところがない、加えて、加熱コイルが設
けられている位置は、液体インクの供給路から遥かに遠
い袋状液室の最深部に設けられているので、ヘッド構造
上複雑であるに加えて、高速での連続繰返し使用には、
不向きとなっている。

しかも、上記公報に記載の技術内容からでは。

実用上重要である発生する熱で液吐出を行った後に次の
液吐出の準備状態を速やかに形成することは出来ない。

このように従来法には、構成上、高速記録化上。

記録ヘッドのマルチノズル化上、サテライトドツトの発
生および記録画像のカブリ発生等の点において一長一短
があって、その長所を利する用途にしか適用し得ないと
いう制約が存在していた。

特開昭６０−１８３１５８号公報は、平板状部材に感光
性樹脂膜を積層し、表層部のみを未硬化の状態に保ちつ
つ硬化させ基板に仮接合し、次いて硬化させるものであ
るが、これによると表層部のみ未硬化のまま感光性樹脂
膜を硬化させるので工程数が増え、コストアップとなる
という欠点がある。また、上記公報は、インク通路の覆
いを構成する感光性樹脂膜を積層した平板状部材の製造
法を提示したもので、感光性樹脂膜の表層部のみを未硬
化にすることで薄く均一な接着層を形成し、感光性樹脂
のタレ込みを防ぐという優れた効果があるが１表ＪｔＪ
部を未硬化のまま内部のみ光重合反応させる工程は露光
雰囲気中のとくに酸素減感を利用するもので、実際にヘ
ッドを量産する上でこれを制御することは極めて困難で
ある。

また、接着層として使用可能な感光性樹脂として多くの
商品名あるいは組成物が挙げられているが、流路を形成
するドライフォトレジストの組成によっては、前記感光
性樹脂を使用して前記工程をふまえても必ずしも密着性
の良い接合が得られるとは限らない。

また、特公昭６１−２３８３２号公報は、接合すべき基
材の少なくともいずれか一方の接合面に硬化反応の中間
状態にされた樹脂層を設け、２つを組み合わせた状態で
本硬化させるものであるが。

しかし、感光性樹脂層を半硬化した後、本硬化させるの
で工程数が増え、また半硬化すなわち硬化の中間状態を
つくりだすために、光照射量や硬化剤等の設定条件を決
めるのに手間がかかり、中間状態（半硬化状態）が定量
化されていないので量産には不向きであるという欠点が
ある。

目　　　　　的 本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
流路を形成する感光性樹脂と上板基板との接合において
、容易に高い密着性の得られる接合を開示し、信頼性の
高いヘッドを歩留りよく量産できる液体噴射記録装置を
提供することを目的としてなされたものである。

構　　　成 本発明は、上記目的を達成するために、導入される記録
液体を収容するとともに、熱によって該記録液体に気泡
を発生させ、該気泡の体積増加にともなう作用力を発生
させる熱エネルギー作用部を付設した流路と、該流路に
連絡して前記記録液体を前記作用力によって液滴として
吐出させるためのオリフィスと、前記流路に連絡して前
記流路に前記記録液体を導入するための液室と、該液室
に記録液体を導入する導入手段とよりなる液体噴射記録
ヘッドにおいて、前記流路及び液室を構成する感光性樹
脂と上板基板とが、前記感光性樹脂と同質成分を含む感
光性樹脂を介して接合されていること、更に、導入され
る記録液体を収容するとともに、熱によって該記録液体
に気泡を発生させ、該気泡の体積増加にともなう作用力
を発生させる熱エネルギー作用部を付設した流路と、該
流路に連絡して前記記録液体を前記作用力によって液滴
として吐出させるためのオリフィスと、前記流路に連絡
して前記流路に前記記録液体を導入するための液室と、
該液室に記録液体を導入する導入手段とよりなる液体噴
射記録ヘッドにおいて、前記流路及び液室を構成する感
光性樹脂と上板基板とが、前記感光性樹脂と同質成分を
含む液状フォトレジストを介して接合されていることを
特徴としたものである。以下、本発明の実施例に基づい
て説明する。

最初に、第３図に基づいてバブルジェットによるインク
噴射の原理について説明すると、（ａ）は定常状態であ
り、オリフィス面でインク３０の表面張力と外圧とが平
衡状態にある。

（ｂ）はヒータ２９が加熱されて、ヒータ２９の表面温
度が急上昇し隣接インク層に沸騰現像が起きるまで加熱
され、微小気泡３１が点在している状態にある。

（ｃ）はヒータ２９の全面で急激に加熱された隣接イン
ク層が瞬時に気化し、沸穆膜を作り、この気泡３１が生
長した状態である。この時、ノズル内の圧力は、気泡の
生長した分だけ上昇し、オリフィス面での外圧とのバラ
ンスがくずれ、オリフィスよりインク柱が生長し始める
。

（ｄ）は気泡が最大に生長した状態であり、オリフィス
面より気泡の体積に相当する分のインク３ｏが押し出さ
れる。この時、ヒータ２９には電流が流れていない状態
にあり、ヒータ２９の表面温度は降下しつつある。気泡
３１の体積の最大値は電気パルス印加のタイミングから
ややおくれる。

（ｅ）は気泡３１がインクなどにより冷却されて収縮を
開始し始めた状態を示す。インク柱の先端部では押し出
された速度を保ちつつ前進し、後端部では気泡の収縮に
伴ってノズル内圧の減少によりオリフィス面からノズル
内へインクが逆流してインク柱にくびれが生じている。

（ｆ）はさらに気泡３１が収縮し、ヒータ面にインクが
接しヒータ面がさらに急激に冷却される状態にある。オ
リフィス面では、外圧がノズル内圧より高い状態になる
ためメニスカスが大きくノズル内に入り込んで来ている
。インク柱の先端部は液滴になり記録紙の方向へ５〜１
０　ｍ　／　ｓｅｅの速度で飛翔している。

（ｇ）はオリフィスにインクが毛細管現象により再び供
給（リフィル）されて（ａ）の状態にもどる過程で、気
泡は完全に消滅している。３２は飛翔インク滴である。

第４図は、バブルジェット液体噴射記録ヘッドの部分図
で、（ａ）はオリフィス側から見た正面部分図、（ｂ）
は（ａ）の−点鎖線Ｘ−Ｘの切断部分図である。記録ヘ
ッド４１は、その表面に電気熱変換体４２が設けられて
いる基板４３上に、所定の線密度で所定の巾と深さの溝
が所定数設けられている溝付板４４を該基板４３を覆う
ように接合することによって、液体を飛翔させるための
オリフィス４５を含む液吐出部４６が形成された構造を
有している。

液吐出部４６は、オリフィス４５と電気熱変換体４２よ
り発生される熱エネルギーが液体に作用して気泡を発生
させ、その体積の膨張と収縮による急激な状態変化を引
き起こすところである熱作用部４７とを有する。

熱作用部４７は、電気熱変換体４２の熱発生部４８の上
部に位置し、熱発生部４８の液体と接触する面としての
熱作用面４９を、その底面としている。熱発生部４８は
、基体４３上に設けられた下部層５０、該下部層５０上
に設けられた発熱抵抗層５１．該発熱抵抗層５１上に設
けられた上部層５２とで構成される。

発熱抵抗層５１には、熱を発生させるために核層５１に
通電するための電極５３．５４がその表面に設けられて
おり、これらの電極間の発熱抵抗層によって熱発生部４
８が形成されている。

電極５３は、各液吐出部の熱発生部に共通の電極であり
、電極５４は、各液吐出部の熱発生部を選択して発熱さ
せるための選択電極であって、液吐出部の液流路に沿っ
て設けられている。

上部層５２は１発熱抵抗層５１を使用する液体から化学
的、物理的に保護するために発熱抵抗層５１と液吐出部
４６にある液体とを隔絶すると共に、液体を通じて電極
５３．５４間が短絡するのを防止する発熱抵抗Ｍ５１の
保護的機能を有している。

上部Ｍ５２は、上記の様な機能を有するものであるが、
発熱抵抗ｊｆＩ５１が耐液性であり、且つ液体を通じて
電極５３．５４間が電気的に短絡する必要が全くない場
合には、必ずしも設ける必要はなく、発熱抵抗層５１の
表面に直ちに液体が接触する構造の電気熱変換体として
設計しても良い。

下部７＃　５０は１次に熱流量制御機能を有する即ち、
液滴吐出゛の際には１発熱抵抗層５１で発生する熱が基
板４３側の方に伝導するよりも、熱作用部４７側の方に
伝導する割合が出来る限り多くなり、液滴吐出後、つま
り発熱抵抗層５１への通電がＯＦＦされた後には、熱作
用部４７及び熱発生部４８にある熱が速やかに基板４３
側に放出されて、熱作用部４７にある液体及び発生した
気泡が急冷される為に設けられる。

発熱抵抗体５１を構成する材料として、有用なものには
、たとえば、タンタル−５ｉｎ、の混合物。

窒化タンタル、ニクロム、銀−パラジウム合金。

シリコン半導体、あるいはハフニウム、ランタン、ジル
コニウム、チタン、タンタル、タングステン。

モリブデン、ニオブ、クロム、バナジウム等の金属の硼
化物があげられる。

これらの発熱抵抗体５１を構成する材料の中、殊に金属
硼化物が優れたものとしてあげることができ、その中で
も最も特性の優れているのが、硼化ハフニウムであり、
次いで、硼化ジルコニウム、硼化ランタン、硼化タンタ
ル、硼化バナジウム、硼化ニオブの順となっている。

発熱抵抗体５１は、上記の材料を用いて、電子ビーム蒸
着やスパッタリング等の手法を用いて形成することがで
きる０発熱抵抗体５１の膜厚は、単位時間当りの発熱量
が所望通りとなるように。

その面積、材質及び熱作用部分の形状及び大きさ、更に
は実際面での消費電力等に従って決定されるものである
が５通常の場合、０．００１〜５μｍ、好適には０．０
１〜１２ｍとされる。

電極５３．５４を構成する材料としては、通常使用され
ている電極材料の多くのものが有効に使用され、具体的
には、たとえばＡｆｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｕ等があ
げられ、これらを使用して蒸着等の手法で所定位置に、
所定の大きさ、形状、厚さで設けられる。

保護層５２に要求される特性は１発熱抵抗体５１で発生
された熱を記録液体に効果的に伝達することを妨げずに
、記録液体より発熱抵抗体５１を保護するということで
ある。保護層５２を構成する材料として有用なものには
、たとえば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化マグネシ
ウム、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニ
ウム等があげられ、これらは、電子ビーム蒸着やスパッ
タリング等の手法を用いて形成することができる。保護
層５２の膜厚は、通常は０．０１〜１０μｍ、好適には
０．１〜５μｍ、最適には０．１〜３μｍとされるのが
望ましい。

第２図は、流路の壁の形成及び上板基板と発熱体基板の
接着法を説明する図である。Ｓｉ基板７２上にスパッタ
リング、フォトリソ技術及びエツチング技術等を利用し
て発熱抵抗体６４及び保護層６５が形成されている発熱
体基板（（ａ）、但し電極部は図示せず）に感光性樹脂
７５をラミネートする０次に、所望の流路壁が得られる
ようにパターニングされたマスクを重ねて、この上がら
上記発熱体基板に露光する（ｂ）、感光性樹脂は露光さ
れた部分のみ光重合反応を起こし硬化されるので震光後
に現像を行なうと、硬化されてない部分のみが溶解除去
されて流路の壁を形成することができる（Ｃ）、次に、
ガラス等の上板基板７０を感光性ドライフィルム等の接
着層６２を介して紫外線硬化あるいは熱圧着して接着す
る（ｄ）。

本発明は、バブルジェット記録装置において、信頼性と
りわけ耐熱的衝撃性に関するものである。

流路内において、第３図で説明したようにバブルの発生
・消滅が繰り返し起こると、熱的ｍ撃が発熱部はもちろ
ん流路を形成する側壁及び上壁にも加わる。とくに流路
を形成する感光性樹脂と上板基板との密着性が悪いと空
気が混入し、熱的衝撃の繰り返しによって隙間ができた
りする。あるいは長期間放置しておいて場合に形状的に
劣化が起こりノズル間の吐出性能のバラツキやヘッド寿
命に大きな悪影響を与える。

本発明は、上記問題を解決するために、接着層７２と流
路の壁を形成する感光性樹脂及び上板基板７０との密着
性を高めようとするものである。

従来、接着層は取り扱いが便利という理由で感光性ドラ
イフィルムが用いられているが、これは単にフィルム状
のシートを基板にラミネータで加圧加熱するだけなので
、基板との密着性はそれ程良くない。

一方、液状のフォトレジストを基板に塗布する場合は、
スピンナー法、スプレー法、ロールコータ−法、浸漬法
があるが、いずれも成膜したときの密着性はドライフィ
ルムのものと比較した場合、数段良く、基板表面のキズ
や凹凸を容易にカバーできる。均一な膜を形成するため
には、スピンナーによってスピンコードする方法が好ま
しい。

第１図は、本発明による液体噴射記録装置の記録ヘッド
の一実施例を説明するための構成図で、図中、１０１は
Ｓｉ基板、１０２は下部層、１０３は発熱抵抗層、１０
４は電極、１０５は第１の保護層、１０６は第２の保護
層、１０７は樹脂層、１０８は熱作用面である。

Ｓｉ基板１０１上に下部層１０２としてＳ　ｉｏ２を５
μｍの厚さでスパッタリングした後、フォトリソ技術、
エツチング技術、スパッタリング技術等を利用し、発熱
抵抗層１０３として、Ｔａ・５ｉｎ２を４００人、さら
に電極１０４としてＡＱを５０００人の厚さで所望の熱
エネルギー作用面１０８が得られるよう順次積層した。

次に、第１の保護Ｊｌ１１０５とシテ、ＳｉＯ，を５０
００人の厚さでスパッタリングし、さらに、第２の保護
層１０６としてＳｉ、Ｎ、を５０００人の厚さでスパッ
タリングし、ＡＱが積層されているところのみにレジン
（樹脂）層１０７をパターニングしヒーターボードを形
成した。

ここで、液状フォトレジストを用いて、上板基板と発熱
体基板の接合法を述べる。

■ガラスの上板基板上の油分及び水分除去のための表面
処理を行なう。

■スピンナーにて回転数と時間によって所望のレジスト
膜厚に設定して上板基板上にコートする。

■レジスト塗布された上板基板と、流路の壁が形成され
た発熱体基板とを熱圧着する。尚、この時、紫外線照射
による硬化反応も利用した方が一層効果的である。

実施例１について説明する。

以上■〜■の工程にのっとって接着層厚が２０μｍの液
状フォトレジストを用いて接合したものと、同じ膜厚の
感光性ドライフィルムを用いて接合したものとを比較す
る。

サンプル１ ガラスの上板基板上に以下に示す条件でフォトレジスト
を塗布し、上記ヒーターボードと熱圧着によって接合す
る。

レジストＢＭＲ５１０００（東京応化製）粘度１０００
ｃｐｓ塗布　　　スピンナー（ミカサ製）　８００ｒｐ
ｍ　２５ｓｅｃ膜厚　　２０μ園 サンプル２ ガラスの上板基板上に膜厚２０μｍの感光性ドライフィ
ルムをラミネートし、上記ヒーターボードと熱圧着によ
って接合する。

次に、接合されたサンプル１．サンプル２をそれぞれの
スライサーで切断し、吐出口を形成する。

本発明者らは上記サンプル１．サンプル２のそれぞれの
ヘッドを用いて耐久試験を行なったところ、安定した液
滴吐出すなわち記録滴速度が５〜１０鳳／ｓでサテライ
トの無い状態でかつ吐出方向のバラツキの無い状態での
吐出が行なわれたのはサンプル２では１０７回程程度対
し、サンプル１では１０＠回であった。

尚、今回は感光性ドライフィルムと液状フォトレジスト
を比較するために膜厚を２０μｍとしたが、スピンナー
の回転数と時間によって膜厚は任意に設定することがで
きる。実用上は吐出口の太きさや流路壁の厚さ等の条件
にもよるが、０．１μｍ〜１００μｍの膜厚が好ましい
。

さらに、流路の壁が感光性ドライフィルムで形成されて
いる場合には、それと同質成分を含む感光性樹脂を接着
層として用いれば上板基板との密着性だけでなく、流路
壁との密着性もより高まり効果的である。

次に実施例２について説明する。

ガラス上板基板上にポリイミド系の液状の感光性樹脂と
して、フォトニース（商品名二東し）を膜厚５μｍにス
ピンコードし接着層を形成する。

サンプル３ 第１図に示したヒーターボード上に接着層と同じ感光性
樹脂であるフォトニース（商品名二東し）を膜厚２５μ
ｍにスピンコードし、第２図に示したプロセスを経て所
望の流路の壁を形成する０次に上記ガラス上板基板と接
着層を介して熱圧着してスライサーで切断し吐出口を形
成した。

サンプル４ 一方、第１図に示したヒーターボード上に膜厚２５μｍ
のアクリル系感光性ドライフィルムであるリストン（商
品名：デュポン）をラミネートし、同様にして流路の壁
を形成する０次にサンプル３と同じ条件で上記ガラス上
板基板と接着層を介して熱圧着し、スライサーで切断し
てサンプル３と同じ吐出口を形成した。

以上のように形成したサンプル３とサンプル４のヘッド
を実施例１と同じように耐久試験を行なったところ、サ
ンプル３の方がサンプル４に比べて数倍の吐出回数が得
られた。

従って接着層として塗布される感光性樹脂が接着界面で
ある流路の壁、すなわち感光性樹脂と同質成分を含む方
がより密着性の高い接合が得られることが確認された。

さらに、接着層として用いる感光性樹脂を液状フォトレ
ジストにした方が、上板基板と接着層との界面において
より高い密着性が得られ効果的である。

層−−−呆 以上の説明から明らかなように、本発明によると、上板
基板と発熱体基板上の流路及び液室の壁を形成する感光
性樹脂との接合において、接合に介する接着層が流路及
び液室の壁を形成する感光性樹脂と同質成分を含む感光
性樹脂であるので、密着性の高い接合が容易に実現でき
信頼性の高いヘッドを歩留りよく量産できる。また、上
記接着層である感光性樹脂が液状フォトレジストである
ため、上板基板との接着界面において感光性ドライフィ
ルムを用いた場合より高い密着性が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による液体噴射記録装置の記録ヘッド
の一実施例を説明するための構成図、第２図は、流路の
壁の形成及び上板基板と発熱体基板との接着法を説明す
るための図、第３図は、記録ヘッドのバブルジェットイ
ンク吐出と気泡発生・消滅の原理図、第４図は、記録ヘ
ッドの部分図で、（ａ）はへラドオリフィス側より見た
正面部分図、（ｂ）は（ａ）のｘ−Ｘ線切断部分図であ
る。 １０１・・・Ｓｉ基板、１０２・・・下部層、１０３・
・発熱抵抗層、１０４・・・電極、１０５・・・第１の
保護層。 １０６・・・第２の保護層、１０７・・・樹脂Ｗｊ、１
０８・・熱作用面。 特許出願人　　株式会社　リコー

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、導入される記録液体を収容するとともに、熱によっ
   て該記録液体に気泡を発生させ、該気泡の体積増加にと
   もなう作用力を発生させる熱エネルギー作用部を付設し
   た流路と、該流路に連絡して前記記録液体を前記作用力
   によって液滴として吐出させるためのオリフィスと、前
   記流路に連絡して前記流路に前記記録液体を導入するた
   めの液室と、該液室に記録液体を導入する導入手段とよ
   りなる液体噴射記録ヘッドにおいて、前記流路及び液室
   を構成する感光性樹脂と上板基板とが、前記感光性樹脂
   と同質成分を含む感光性樹脂を介して接合されているこ
   とを特徴とする液体噴射記録装置。 ２、導入される記録液体を収容するとともに、熱によっ
   て該記録液体に気泡を発生させ、該気泡の体積増加にと
   もなう作用力を発生させる熱エネルギー作用部を付設し
   た流路と、該流路に連絡して前記記録液体を前記作用力
   によって液滴として吐出させるためのオリフィスと、前
   記流路に連絡して前記流路に前記記録液体を導入するた
   めの液室と、該液室に記録液体を導入する導入手段とよ
   りなる液体噴射記録ヘッドにおいて、前記流路及び液室
   を構成する感光性樹脂と上板基板とが、前記感光性樹脂
   と同質成分を含む液状フォトレジストを介して接合され
   ていることを特徴とする液体噴射記録装置。