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Hintergrund der Erfindung
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1. Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines
unteren Substrats eines Plasma Display Panels (PDP), und insbesondere
ein Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats eines Plasma
Display Panels, das in der Lage ist, leicht eine Trennwand mit einem
hohen Längenverhältnis zu
bilden und die Bildung einer Luftschicht zwischen einem Green Sheet
(Grün-Schicht)
und einem Substrat und die Erzeugung von Rissen zwischen Trennwänden zu
verhindern.
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2. Beschreibung der Hintergrundtechnik
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Aus
W-S. Jang et al "A
New Low-Cost Process for Fabricating a Plasma Display Back Panel" ist ein Grünband bekannt,
das aus einem speziell zusammengetzten Glas- und organischen Material
hergestellt ist. Es ist auf einen 0,5 mm dicken Titanmetallbogen
laminiert. Leiterelektroden werden auf das laminierte Grünband siebgedruckt
und dann wird eine dielektrische Schicht über die Leiterelektroden gedruckt.
Um Sperrrippen zu bilden, wird der laminierte Teil in Formungseinheiten
geprägt.
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Park,
Y. H. et al "Fabrication
of 165 μm
pitched PDP back panel based on LTCC-M Technology" offenbart gegossene
Glaskeramikbänder.
Titan wurde als ein Metallkern verwendet und wurde chemisch geätzt, um
eine gute Bindung zwischen dem Titan und der Glasur zu liefern,
die auf die aktive Seite des Substrats aufgetragen wird. Nach dem
Verglasen werden die Green Sheets zusammen auf die verglasten Metallkerne
laminiert, gefolgt von Siebdrucken von Leiterlinien und eines Dielektrikums
und Prägen, um
Sperren zu bilden.
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Kim
J. D. et al "LTCC-M
Technology for PDP Back Panel" beschreibt,
dass das LTCC-M-Back
Panel aus einem Metallkern, einer Verglasungsschicht auf dem Metallkern
und einem Green Sheet besteht, wo Leiter und schwarze Dielektrika
gedruckt und Sperren gebildet werden.
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Patent
Abstracts of Japan, Band Nr. 2000, Nr. 6, 22. Sept. 2000 und JP
2000 067760 A offenbaren eine Sperrrippenzusammensetzung für eine Plasma-Display-Vorrichtung. Die
Zusammensetzung enthält
Glaspulver, einen organischen Binder, einen Weichmacher, ein Lösungsmittel
und ein Additiv.
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Im
allgemeinen ist ein PDP eine Flachpanel-Display-Vorrichtung zum
Anzeigen von Bildern, wie z.B. Buchstaben oder Graphiken, durch
Emittieren einer fluoreszierenden Substanz durch 147 nm-Ultraviolettstrahlung,
welche beim Entladen von He + Xe- oder Ne + Xe-Gas erzeugt wird.
Solch ein PDP kann leicht als eine dünne Folie und als großer Schirm
hergestellt werden, und folglich hat sich die Technologie zur Verbesserung
der Bildqualität
in jüngster
Zeit schnell entwickelt.
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1 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein ebenes PDP des Entladetyps
in der herkömmlichen
Wechselstromantriebsart zeigt. Wie in der Zeichnung dargestellt,
enthält
das PDP ein unteres Glassubstrat 14 mit einer Adresselektrode 2 und
ein oberes Glassubstrat 16 ein paar von Elektroden 4. Eine
Trennwand 8 zur Trennung einer dielektrischen Schicht und
einer Entladezelle ist auf dem unteren Substrat 14 gebildet
und eine fluoreszierende Substanz 6 zur Erzeugung eines
sichtbaren Strahls durch Emission von Ultraviolettstrahlung, welche
bei der Plasmaentladung erzeugt wird, wird auf die Oberfläche der
dielektrischen Schicht 18 und die Trennwand 8 aufgetragen.
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Die
dielektrische Schicht 12 und die Passivierungsschicht 10 sind
der Reihe nach auf dem oberen Glassubstrat gebildet. Die dielektrische
Schicht 12 speichert eine Wandladung bei der Plasmaentladung
und die Passivierungsschicht 10 schützt die paar Elektroden 4 und
die dielektrische Schicht 12 gegen Gaszerstäubung bei
der Plasmaentladung und erhöht
die Emissionseffizienz einer sekundären Batterie. Gemischtes Gas
aus He + Xe oder Ne + Xe wird in jede Entladungszelle injiziert
und versiegelt.
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Die
Trennwand 8 zur Verhinderung elektrischen und optischen Übersprechens
unter Entladungszellen ist der wichtigste Faktor zur Bestimmung der
Anzeigequalität
und der Emissionseffizienz des PDP und folglich werden, da das Panel
des PDP größer und
viel feiner wird, viele Studien über
die Trennwand durchgeführt.
Herkömmlicherweise
gibt es einige angewendete Verfahren zur Herstellung der Trennwand,
wie z.B. Siebdruckverfahren, Sandstrahlverfahren, additives Verfahren,
lichtempfindliches Pastenverfahren, Verfahren, bei welchem bei niederer
Temperatur Keramik auf Metall zusammen gebrannt werden (Low Temperature
Cofired Ceramic on Metal method, LTCCM-Verfahren), und ähnliches.
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Das
Siebdruckverfahren hat einen Vorteil, dass das Verfahren einfach
ist und die Kosten gering sind. Das Sieb und das Glassubstrat 14 müssen jedoch
zu jeder Druckzeit ausgerichtet sein und das Drucken und das Trocknen
einer Glaspaste muss mehrmals wiederholt werden. Auch falls das
Sieb und das Glassubstrat falsch ausgerichtet sind, da die Trennwand
sich verformt, wird die Präzision
der Trennwand gesenkt.
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Das
Sandstrahlverfahren hat einen Vorteil, dass die Trennwand auf einem
großen
Substrat gebildet werden kann. Da jedoch eine große Menge
von Glaspaste durch einen Schleifer (nämlich Sandkörner) beim Sandstrahlverfahren
entfernt wird, wird Material verschwendet und erhöht so die
Herstellungskosten. Ferner hat das Verfahren einen Nachteil, dass
das Glassubstrat 14 durch den Aufprall, der durch den Schleifer
erfolgt, gebrochen oder beschädigt
werden kann.
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Das
additive Verfahren ist auch geeignet, eine Trennwand auf dem großen Substrat
zu bilden, aber dort tritt ein Problem auf, dass die Trennwand gebrochen
(beschädigt)
wird, wenn die übrige
Substanz erzeugt wird oder wenn die Trennwand erzeugt wird, da das
Photoresist und die Glaspaste nicht leicht getrennt werden.
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Bei
dem lichtempfindlichen Pastenverfahren kostet die verwendete lichtempfindliche
Paste viel und es ist schwierig, den unteren Teil der lichtempfindlichen
Paste freizulegen.
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Im
Vergleich mit den oben beschriebenen Verfahren wird, da das LTCCM-Verfahren
einfach ist und die Herstellung der Trennwand mit hoher Präzision und
hohem Verhältnis
erfolgt, das Verfahren in letzter Zeit am häufigsten verwendet.
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2A bis 2G sind
Ansichten, die ein unteres Substrat des herkömmlichen Plasma Display Panels
zeigen, unter Verwendung des Verfahrens, bei welchem bei niederer
Temperatur Keramik auf Metall zusammen gebrannt werden (LTCCM-Verfahren).
Zuerst wird, wie in 2A dargestellt, das Green Sheet 30 hergestellt.
Das Green Sheet wird hergestellt durch Aufbringen einer Aufschlämmung, die
Glaspulver, eine organische Lösung,
Weichmacher, Bindemittel, Additiv und ähnliches enthält, mit einer
vorbestimmten Rate auf eine Polyesterfolie, Formen der Aufschlämmung in
der Form eines Bogens durch einen Rakelvorgang, und dann Trocknen des
resultierenden Materials.
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Wie
in 2B dargestellt, wird das Green Sheet 30 durch
Laminieren mit dem Substrat 32 vereinigt. Das Substrat 32 besteht
aus Glas, Glaskeramik, Keramik, Metall und ähnlichem. Hier wird als Metall,
das als Material des Substrats 32 verwendet wird, hauptsächlich Titan
verwendet. Da Titan eine höhere
Festigkeit hat als das Substrat aus Glas oder Keramikmaterial und
eine höhere
Hitzebeständigkeitstemperatur,
kann bei Titan das Substrat dünner
hergestellt werden als das Substrat aus einer anderen Substanz,
wie z.B. Glas oder Keramikmaterial, und eine mechanische Transformation
kann minimiert werden. Da Titan eine hohe Reflektierbarkeit hat, kann
auch die Emissionseffizienz und Helligkeit erhöht werden durch Zurückreflektieren
eines sichtbaren Strahls, der zur Seite der Displayoberfläche gestreut
wird.
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Falls
das Material des Substrats 32 Metall ist, ist es wünschenswert,
dass feines Glaspulver auf das Substrat 32 im Trockenprozess
oder Nassprozess injiziert wird, bevor das Substrat 32 und
das Green Sheet 30 vereinigt werden, so dass die Vereinigung zwischen
der Metalloberfläche
und dem Green Sheet 30 leicht ist. Das injizierte feine
Pulver wird bei der Temperatur von ungefähr 500 bis 600°C erhitzt
und geschmolzen und gebunden. Das Green Sheet 30 wird verbunden
durch Laminieren auf das geschmolzene und befestigte Metallsubstrat 32,
auf welchem das Glaspulver geschmolzen und gebunden wurde.
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Dann
wird die Adresselektrode 2, wie in 2C dargestellt,
auf das Green Sheet 30 gedruckt und getrocknet.
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Wie
in 2D dargestellt, wird die Elektroden-Passivierungsschicht 36 durch
Trocknen der dielektrischen Aufschlämmung nach dem Drucken der Aufschlämmung gebildet.
Dann wird das Substrat nach der Durchführung des sekundären Laminierungsvorgangs
bis unter den Erweichungspunkt von organischem Material, das als
Additiv verwendet wird, zum Beispiel Polyvinylbutiral (PVB), erhitzt,
um die Fluidität
des Green Sheets 30 zu verbessern, das mit dem Substrat 32 kombiniert
ist, um die Haftkraft zwischen dem Green Sheet 30 und der
Elektrodenpassivierungsschicht 36 zu verbessern.
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Unter
der Bedingung, dass die Fluidität
des Green Sheets 30 erhöht
wird, wird nach der Anordnung der metallischen Schablone 38,
in welcher eine Nut 38a gebildet ist, wie in 2Ed dargestellt ist, das Substrat 32 in
der metallischen Schablone 38 mit Druck beaufschlagt, wobei
der Druck höher
ist als ungefähr
150 kgf/cm2, wie in 2F dargestellt.
Durch solch eine Druckbeaufschlagung bewegen sich das Green Sheet 30 und
die Elektrodenpassivierungsschicht 36 in die Nut 38a der
metallischen Schablone und steigen auf, um so eine Trennwand zu
bilden.
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Dann
wird, wie in 2G dargestellt, die Trennwand
durch Erwärmungs-,
Halte- und Abkühlungsprozesse
des Green Sheets 30 und der Elektrodenpassivierungsschicht 36 nach
der Trennung der metallischen Schablone 38 vom Substrat 32 plastifiziert.
Im Plastifizierungsprozess wird das organische Material im Green
Sheet 30 durch Hitze ausgebrannt und ein kristalliner Kern
wird erzeugt und in anorganischem Material bei einer höheren Temperatur
als der Brenntemperatur gezüchtet.
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Nach
dem Plastifizieren der Trennwand wird reflektierendes Material,
wie z.B. TiO2 auf die Elektrodenpassivierungsschicht 36 gedruckt
und vor dem Drucken der fluoreszierenden Substanz 6 plastifiziert.
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Wie
oben beschrieben, kann mit dem LTCCM-Verfahren der Prozess einfach
sein und die Trennwand kann mit hoher Präzision gebildet werden. Bei
dem LTCCM-Verfahren ist jedoch die Bildung der Trennwand 8 in
dem hohen Längenverhältnis mit
einer größeren Höhe als Breite
schwierig und das Green Sheet 30, das in der Form über die
Trennwand herausragt, wird beim Trennen der metallischen Schablone 38 und
des Green Sheets 30 zerrissen oder es wird eine Luftschicht
zwischen dem Substrat 32 und dem Green Sheet 30 beim
Bilden durch Druckbeaufschlagung erzeugt. Solch ein Problem wird
verursacht durch organisches Material, das in dem Green Sheet 30 enthalten
ist. Falls die Menge des organischen Materials in dem Green Sheet 30 groß ist, wird
die Fluidität
des Green Sheets 30 verbessert, aber die Höhe der geformten
Trennwand wird wieder verringert, wenn das organische Material beim
Plastifizieren des Green Sheets 30 und der Elektrodenpassivierungsschicht 36 gebrannt wird,
nachdem das organische Material mit höherer Fluidität in die
Nut 38a der metallischen Schablone bewegt wurde beim Bilden
der Trennwand. Der Teil, der in die geformte Trennwand 8 hineinragt
(oberer Teil der Trennwand), wird beim Trennen der metallischen
Schablone 38 und des Green Sheets 30 zerrissen.
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Anderseits
ist, da die Fluidität
des Green Sheets 30 gering ist, falls die Menge des enthaltenen organischen
Materials im Green Sheet 30 klein ist, die Bewegung des
Green Sheets 30 in die Nut der metallischen Schablone 38a schwierig
und folglich kann die Trennwand nicht gebildet werden.
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Auch
wird bei dem herkömmlichen
Verfahren zur Herstellung der Trennwand unter Verwendung des LTCCM-Verfahrens,
die Luftschicht 40 zwischen dem Green Sheet 30 und
dem Substrat 32 durch einen Unterschied in der Reibungskraft
beim Formen der Wand erzeugt, wie in 3 dargestellt.
Solch eine Luftschicht 40 verringert die Festigkeit der Trennwand 8 und
bewirkt ein Gasleck. Der Unterschied in der Schnittstellen-Reibungskraft
zwischen dem Green Sheet 30 und dem Substrat 32 bewirkt die
Erzeugung von Rissen 42 zwischen den Trennwänden, wie
in 4 dargestellt, da die benachbarten Trennwände 8 sich
in eine unterschiedliche Richtung bewegen.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Deshalb
liefert die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung
eines unteren Substrats eines Plasma Display Panels (PDP), das in
der Lage ist, leicht eine Trennwand mit einem hohen Längenverhältnis zu
bilden, und die Erzeugung einer Luftschicht zwischen einem Green
Sheet und einem Substrat beim Bilden einer Trennwand und Risse auf dem
Green Sheet zwischen benachbarten Trennwänden zu verhindern.
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Um
diese und andere Vorteile zu erzielen und gemäß dem Zweck der vorliegenden
Erfindung, wie hier ausgeführt
und ausführlich
beschrieben, ist ein Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats
eines Plasma Display Panels gemäß Anspruch
1 vorgesehen.
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Das
erste Green Sheet kann fest mit einem Metallsubstrat kombiniert
werden, da relativ wenig organisches Material enthalten ist, und
das zweite Green Sheet kann leicht durch einen kleinen Druck beim
Bilden der Trennwand bewegt werden, da eine große Menge organischen Materials
in dem zweiten Green Sheet enthalten ist.
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Ungefähr 5 bis
15% organischen Materials und 85 bis 95% Glaspulver werden auf dem
ersten Green Sheet gemischt und 15 bis 30% organischen Materials
und 70 bis 85% Glaspulver werden auf dem zweiten Green Sheet gemischt.
Das organische Material enthält
Butylbenzylphthalat und Polyvinylbutiral (PVB) und kann Ethanol,
Methylethylketon und Fischöl
enthalten.
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Die
vorstehenden und andere Merkmale, Aspekte und Vorteile der vorliegenden
Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung in Verbindung
mit den beiliegenden Zeichnungen offensichtlicher.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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Die
beiliegenden Zeichnungen, welche enthalten sind, um ein weiteres
Verständnis
der Erfindung zu liefern, und welche in dieser Beschreibung eingeschlossen
sind und einen Teil von ihr bilden, stellen Ausführungsformen der Erfindung
dar und dienen zusammen mit der Beschreibung dazu, die Prinzipien
der Erfindung zu erklären.
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In
den Zeichnungen ist/sind:
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1 eine
perspektivische Ansicht, welche ein ebenes Plasma Display Panel
des Entladungstyps in der herkömmlichen
Wechselstrom-Antriebsart zeigt;
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2A bis 2G Ansichten,
die ein unteres Substrat des herkömmlichen Plasma Display Panels
unter Verwendung des Verfahrens, bei welchem bei niederer Temperatur
Keramik auf Metall zusammen gebrannt werden (LTCCM-Verfahren) zeigen;
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3 eine
Ansicht, die die Form einer Luftschicht unter der Trennwand bei
der Herstellung eines unteren Substrats des herkömmlichen Plasma Display Panels
unter Verwendung des LTCCM-Verfahrens dargestellt;
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4 eine
Ansicht, die die Form eines Risses zeigt, der zwischen Trennwänden bei
der Herstellung des unteren Substrats des herkömmlichen Plasma Display Panels
unter Verwendung des LTCCM-Verfahrens erzeugt wurde;
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5A bis 5G Ansichten,
die ein Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats eines Plasma
Display Panels gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigen;
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6 eine
Querschnittsansicht, die einen Schritt des Unterdrückens der
Erzeugung einer Luftschicht beim Verfahren zur Herstellung des unteren Substrats
des Plasma Display Panels gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt; und
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7 eine
Querschnittsansicht, die einen Schritt des Unterdrückens der
Erzeugung der Luftschicht bei dem Verfahren zur Herstellung des
unteren Substrats des Plasma Display Panels gemäß der vorliegenden Erfindung
zeigt.
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Detaillierte
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
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Es
wird nun im Detail Bezug genommen auf die bevorzugten Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung, von welcher Beispiele in den beiliegenden
Zeichnungen dargestellt sind.
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5A bis 5G sind
Ansichten, die ein Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats
eines Plasma Display Panels gemäß der vorliegenden Erfindung
zeigen. Zuerst wird, wie in 5A dargestellt,
ein erstes Green Sheet (Grün-Schicht) 60A und ein
zweites Green Sheet 60B hergestellt. Das zweite Green Sheet 60B wird
hergestellt, um eine Trennwand zu bilden und das erste Green Sheet 60A wird hergestellt,
um das Kombinieren mit dem Substrat aus Metall zu erleichtern und
den Unterschied in der Reibungskraft zwischen einem Substrat und
dem zweiten Green Sheet 60B beim Formen der Trennwand zu
verringern. Das erste Green Sheet 60A wird auch geformt,
um die Trennwand zu stützen,
so dass die Trennwand nicht beim Formen der Trennwand zerbrochen
wird.
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Wie
oben beschrieben, enthalten die Sheets, da das erste Green Sheet 60A und
das zweite Green Sheet 60B unterschiedliche Funktionen
aufweisen, organisches Material in unterschiedlichen Anteilen. Das
erste Green Sheet 60A enthält ungefähr 5 bis 15% organisches Material
und 85 bis 95% Glaspulver, welches Butylbenzylphthalat und Polyvinylbutiral (PVB)
einschließt.
Im zweiten Green Sheet ist eine größere Menge organischen Materials
enthalten als im ersten Green Sheet, zum Beispiel ist ungefähr 15 bis
30% organischen Materials und 70 bis 85% Glaspulver enthalten. Ebenso
können
das erste Green Sheet 60A und das zweite Green Sheet 60B Ethanol, Methylethylketon
(MEK), Fischöl
und ähnliches
enthalten. Auch muss die Menge des im ersten Green Sheet 60A und
im zweiten Green Sheet 60B enthaltenen Glaspulvers identisch
eingestellt werden und nur die Menge des organischen Materials kann
unterschiedlich eingestellt werden.
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Das
erste Green Sheet 60A und das zweite Green Sheet 60B wird
herstellt durch Bilden einer ersten Aufschlämmung und einer zweiten Aufschlämmung, die
das oben beschriebene organische Material enthalten, Formen zu einem
Sheet (Schicht) durch den Rakelprozess unter der Bedingung, dass die
erste Aufschlämmung
und die zweite Aufschlämmung
auf einer Polyesterfolie angeordnet werden, und Trocknen des resultierenden
Materials.
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Dann
wird, wie in 5B dargestellt, feines Glaspulver
zum Substrat 62 aus Metall, wie z.B. Titan, injiziert,
und das Pulver wird geschmolzen und an der Oberfläche des
Substrats 62 durch Erhitzen auf eine Temperatur von ungefähr 500 bis
600°C gebunden.
Das Ziel, dass das Glaspulver geschmolzen wird und auf dem Substrat 62 gebunden
wird, ist, die Haftkraft mit dem ersten Green Sheet zu verbessern, das
mit dem Substrat 62 verbunden ist. Wie oben beschrieben
werden das erste Green Sheet 60A und das zweite Green Sheet 60B gleichzeitig
auf das Substrat laminiert, auf welchem das feine Glaspulver geschmolzen
und gebunden ist.
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Dann
wird, wie in 5C dargestellt, eine Adresselektrode 64 auf
das zweite Green Sheet 60B gedruckt und getrocknet.
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Wie
in 5D dargestellt, wird die dielektrische Aufschlämmung auf
das ganze Substrat, das die Adresselektrode 64 aufweist,
gedruckt und getrocknet, und bildet so eine Elektrodenpassivierungsschicht 66.
Die Haftkraft des zweiten Green Sheets 60B und der Elektrodenpassivierungsschicht 66 wird verbessert
durch Ausführen
eines zweiten Laminierungsvorgangs, und das Substrat 62 wird
auf eine Temperatur unter dem Erweichungspunkt des organischen Materials
erhitzt, um die Fluidität
des ersten Green Sheets 60A und des zweiten Green Sheets 60B,
das an das Substrat 62 gebunden ist, zu erhöhen.
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Wie
oben beschrieben, ist die metallische Schablone 68, die
eine Nut 68a zum Bilden der Trennwand aufweist, auf dem
Substrat 62 angeordnet, an welchem das erste Green Sheet 60A und
das zweite Green Sheet 60B befestigt sind, wie in 5E dargestellt,
und dann wird die metallische Schablone 68 mit einem vorbestimmten Druck
auf dem Substrat 62 beaufschlagt, wie in 5F dargestellt.
Zu dieser Zeit hat das zweite Green Sheet 60B eine höhere Fluidität aufgrund
der größeren Menge
organischen Materials als das Green Sheet, das beim herkömmlichen
LTCCM-Verfahren
verwendet wird, und folglich kann durch Anlegen eines kleineren
Drucks als beim herkömmlichen
LTCCM-Verfahren eine bevorzugte Form erhalten werden.
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Wenn
das Substrat 62 durch die metallische Schablone mit Druck
beaufschlagt wird, wird die Trennwand 8 gebildet durch
Bewegen des zweiten Green Sheets 60B und der Elektrodenpassivierungsschicht 66 in
die Nut 68a in der metallischen Schablone. Zu dieser Zeit
bewegt sich das erste Green Sheet in die Nut 68a mit einer
geringeren aber fast der gleichen Fluidität wie die des zweiten Green Sheets 60B aufgrund
der kleineren Menge organischen Materials als das zweite Green Sheet 60B.
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Dann
wird die Trennwand 8, wie in 5G dargestellt,
plastifiziert durch einen Erhitzungs-, Halte- und Abkühlprozess
nach dem Trennen der metallischen Schablone 68 vom zweiten
Green Sheet 60B und der Elektrodenpassivierungsschicht 66.
Das im ersten Green Sheet 60A und im zweiten Green Sheet 60B enthaltene
organische Material wird ausgebrannt und ein kristalliner Kern wird
erzeugt und im anorganischen Material bei einer höheren Temperatur
als der Ausbrenntemperatur im Plastifizierungsprozess gezüchtet. Das
reflektierende Material, wie z.B. TiO2,
wird auf die Elektrodenpassivierungsschicht 66 gedruckt
und plastifiziert und die fluoreszierende Substanz 6 wird
gedruckt.
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Gemäß dem Herstellungsverfahren
des unteren Substrats des PDP gemäß der vorliegenden Erfindung
wird der Unterschied der Reibungskraft zwischen dem ersten Green
Sheet 60A und dem zweiten Green Sheet 60B beim
Bilden der Trennwand kleiner, und der Unterschied der Reibungskraft
zwischen dem ersten Green Sheet 60A und dem Substrat 62 beim
Bilden der Trennwand wird ebenfalls kleiner. Das zweite Green Sheet 60B kann
sich auch leicht durch einen kleinen Druck in die Nut in der metallischen
Schablone 68B bewegen, aufgrund der Menge des organischen
Materials, das in dem zweiten Green Sheet 60B beim Bilden
der Trennwand enthalten ist. Deshalb ist das Formen der Trennwand 8 mit
dem höheren
Längenverhältnis möglich und
die Erzeugung einer Luftschicht zwischen dem ersten Green Sheet 60A und
dem zweiten Green Sheet 60B oder zwischen dem Substrat 62 und
dem ersten Green Sheet 60A wird verhindert. Ferner wird
auch, wie in 7 dargestellt, die Erzeugung
des Risses an dem ersten Green Sheet 60A und dem zweiten Green
Sheet 60B zwischen benachbarten Trennwänden verhindert.
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Wie
oben beschrieben, wird bei dem Verfahren zur Herstellung des unteren
Substrats des PDP gemäß der vorliegenden
Erfindung die Trennwand, die aus dem zweiten Green Sheet besteht,
gebildet durch Verbinden des ersten Green Sheets, das eine kleine
Menge organischen Materials enthält,
auf dem Substrat und Laminieren des zweiten Green Sheets, das eine
große
Menge organischen Materials enthält, auf
das zweite Green Sheet. Deshalb kann, auch falls ein relativ geringer
Druck an die metallische Schablone angelegt wird, die Trennwand
mit dem hohen Längenverhältnis durch
das zweite Green Sheet mit höherer
Fluidität
gebildet werden. Da auch der Unterschied der Reibungskraft zwischen
dem ersten Green Sheet und dem zweiten Green Sheet und zwischen
dem ersten Green Sheet und dem Substrat klein ist, kann die Erzeugung
einer Luftschicht zwischen dem ersten Green Sheet und dem zweiten Green
Sheet oder zwischen dem Substrat und dem ersten Green Sheet verhindert
werden, und die Erzeugung des Risses auf den Green Sheets zwischen den
benachbarten Trennwänden
kann verhindert werden.