DE60213020T2 - Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats einer Plasma-Anzeigetafel - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats einer Plasma-Anzeigetafel Download PDF

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    • H01J2217/49264Vessels

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats eines Plasma Display Panels (PDP), und insbesondere ein Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats eines Plasma Display Panels, das in der Lage ist, leicht eine Trennwand mit einem hohen Längenverhältnis zu bilden und die Bildung einer Luftschicht zwischen einem Green Sheet (Grün-Schicht) und einem Substrat und die Erzeugung von Rissen zwischen Trennwänden zu verhindern.
  • 2. Beschreibung der Hintergrundtechnik
  • Aus W-S. Jang et al "A New Low-Cost Process for Fabricating a Plasma Display Back Panel" ist ein Grünband bekannt, das aus einem speziell zusammengetzten Glas- und organischen Material hergestellt ist. Es ist auf einen 0,5 mm dicken Titanmetallbogen laminiert. Leiterelektroden werden auf das laminierte Grünband siebgedruckt und dann wird eine dielektrische Schicht über die Leiterelektroden gedruckt. Um Sperrrippen zu bilden, wird der laminierte Teil in Formungseinheiten geprägt.
  • Park, Y. H. et al "Fabrication of 165 μm pitched PDP back panel based on LTCC-M Technology" offenbart gegossene Glaskeramikbänder. Titan wurde als ein Metallkern verwendet und wurde chemisch geätzt, um eine gute Bindung zwischen dem Titan und der Glasur zu liefern, die auf die aktive Seite des Substrats aufgetragen wird. Nach dem Verglasen werden die Green Sheets zusammen auf die verglasten Metallkerne laminiert, gefolgt von Siebdrucken von Leiterlinien und eines Dielektrikums und Prägen, um Sperren zu bilden.
  • Kim J. D. et al "LTCC-M Technology for PDP Back Panel" beschreibt, dass das LTCC-M-Back Panel aus einem Metallkern, einer Verglasungsschicht auf dem Metallkern und einem Green Sheet besteht, wo Leiter und schwarze Dielektrika gedruckt und Sperren gebildet werden.
  • Patent Abstracts of Japan, Band Nr. 2000, Nr. 6, 22. Sept. 2000 und JP 2000 067760 A offenbaren eine Sperrrippenzusammensetzung für eine Plasma-Display-Vorrichtung. Die Zusammensetzung enthält Glaspulver, einen organischen Binder, einen Weichmacher, ein Lösungsmittel und ein Additiv.
  • Im allgemeinen ist ein PDP eine Flachpanel-Display-Vorrichtung zum Anzeigen von Bildern, wie z.B. Buchstaben oder Graphiken, durch Emittieren einer fluoreszierenden Substanz durch 147 nm-Ultraviolettstrahlung, welche beim Entladen von He + Xe- oder Ne + Xe-Gas erzeugt wird. Solch ein PDP kann leicht als eine dünne Folie und als großer Schirm hergestellt werden, und folglich hat sich die Technologie zur Verbesserung der Bildqualität in jüngster Zeit schnell entwickelt.
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein ebenes PDP des Entladetyps in der herkömmlichen Wechselstromantriebsart zeigt. Wie in der Zeichnung dargestellt, enthält das PDP ein unteres Glassubstrat 14 mit einer Adresselektrode 2 und ein oberes Glassubstrat 16 ein paar von Elektroden 4. Eine Trennwand 8 zur Trennung einer dielektrischen Schicht und einer Entladezelle ist auf dem unteren Substrat 14 gebildet und eine fluoreszierende Substanz 6 zur Erzeugung eines sichtbaren Strahls durch Emission von Ultraviolettstrahlung, welche bei der Plasmaentladung erzeugt wird, wird auf die Oberfläche der dielektrischen Schicht 18 und die Trennwand 8 aufgetragen.
  • Die dielektrische Schicht 12 und die Passivierungsschicht 10 sind der Reihe nach auf dem oberen Glassubstrat gebildet. Die dielektrische Schicht 12 speichert eine Wandladung bei der Plasmaentladung und die Passivierungsschicht 10 schützt die paar Elektroden 4 und die dielektrische Schicht 12 gegen Gaszerstäubung bei der Plasmaentladung und erhöht die Emissionseffizienz einer sekundären Batterie. Gemischtes Gas aus He + Xe oder Ne + Xe wird in jede Entladungszelle injiziert und versiegelt.
  • Die Trennwand 8 zur Verhinderung elektrischen und optischen Übersprechens unter Entladungszellen ist der wichtigste Faktor zur Bestimmung der Anzeigequalität und der Emissionseffizienz des PDP und folglich werden, da das Panel des PDP größer und viel feiner wird, viele Studien über die Trennwand durchgeführt. Herkömmlicherweise gibt es einige angewendete Verfahren zur Herstellung der Trennwand, wie z.B. Siebdruckverfahren, Sandstrahlverfahren, additives Verfahren, lichtempfindliches Pastenverfahren, Verfahren, bei welchem bei niederer Temperatur Keramik auf Metall zusammen gebrannt werden (Low Temperature Cofired Ceramic on Metal method, LTCCM-Verfahren), und ähnliches.
  • Das Siebdruckverfahren hat einen Vorteil, dass das Verfahren einfach ist und die Kosten gering sind. Das Sieb und das Glassubstrat 14 müssen jedoch zu jeder Druckzeit ausgerichtet sein und das Drucken und das Trocknen einer Glaspaste muss mehrmals wiederholt werden. Auch falls das Sieb und das Glassubstrat falsch ausgerichtet sind, da die Trennwand sich verformt, wird die Präzision der Trennwand gesenkt.
  • Das Sandstrahlverfahren hat einen Vorteil, dass die Trennwand auf einem großen Substrat gebildet werden kann. Da jedoch eine große Menge von Glaspaste durch einen Schleifer (nämlich Sandkörner) beim Sandstrahlverfahren entfernt wird, wird Material verschwendet und erhöht so die Herstellungskosten. Ferner hat das Verfahren einen Nachteil, dass das Glassubstrat 14 durch den Aufprall, der durch den Schleifer erfolgt, gebrochen oder beschädigt werden kann.
  • Das additive Verfahren ist auch geeignet, eine Trennwand auf dem großen Substrat zu bilden, aber dort tritt ein Problem auf, dass die Trennwand gebrochen (beschädigt) wird, wenn die übrige Substanz erzeugt wird oder wenn die Trennwand erzeugt wird, da das Photoresist und die Glaspaste nicht leicht getrennt werden.
  • Bei dem lichtempfindlichen Pastenverfahren kostet die verwendete lichtempfindliche Paste viel und es ist schwierig, den unteren Teil der lichtempfindlichen Paste freizulegen.
  • Im Vergleich mit den oben beschriebenen Verfahren wird, da das LTCCM-Verfahren einfach ist und die Herstellung der Trennwand mit hoher Präzision und hohem Verhältnis erfolgt, das Verfahren in letzter Zeit am häufigsten verwendet.
  • 2A bis 2G sind Ansichten, die ein unteres Substrat des herkömmlichen Plasma Display Panels zeigen, unter Verwendung des Verfahrens, bei welchem bei niederer Temperatur Keramik auf Metall zusammen gebrannt werden (LTCCM-Verfahren). Zuerst wird, wie in 2A dargestellt, das Green Sheet 30 hergestellt. Das Green Sheet wird hergestellt durch Aufbringen einer Aufschlämmung, die Glaspulver, eine organische Lösung, Weichmacher, Bindemittel, Additiv und ähnliches enthält, mit einer vorbestimmten Rate auf eine Polyesterfolie, Formen der Aufschlämmung in der Form eines Bogens durch einen Rakelvorgang, und dann Trocknen des resultierenden Materials.
  • Wie in 2B dargestellt, wird das Green Sheet 30 durch Laminieren mit dem Substrat 32 vereinigt. Das Substrat 32 besteht aus Glas, Glaskeramik, Keramik, Metall und ähnlichem. Hier wird als Metall, das als Material des Substrats 32 verwendet wird, hauptsächlich Titan verwendet. Da Titan eine höhere Festigkeit hat als das Substrat aus Glas oder Keramikmaterial und eine höhere Hitzebeständigkeitstemperatur, kann bei Titan das Substrat dünner hergestellt werden als das Substrat aus einer anderen Substanz, wie z.B. Glas oder Keramikmaterial, und eine mechanische Transformation kann minimiert werden. Da Titan eine hohe Reflektierbarkeit hat, kann auch die Emissionseffizienz und Helligkeit erhöht werden durch Zurückreflektieren eines sichtbaren Strahls, der zur Seite der Displayoberfläche gestreut wird.
  • Falls das Material des Substrats 32 Metall ist, ist es wünschenswert, dass feines Glaspulver auf das Substrat 32 im Trockenprozess oder Nassprozess injiziert wird, bevor das Substrat 32 und das Green Sheet 30 vereinigt werden, so dass die Vereinigung zwischen der Metalloberfläche und dem Green Sheet 30 leicht ist. Das injizierte feine Pulver wird bei der Temperatur von ungefähr 500 bis 600°C erhitzt und geschmolzen und gebunden. Das Green Sheet 30 wird verbunden durch Laminieren auf das geschmolzene und befestigte Metallsubstrat 32, auf welchem das Glaspulver geschmolzen und gebunden wurde.
  • Dann wird die Adresselektrode 2, wie in 2C dargestellt, auf das Green Sheet 30 gedruckt und getrocknet.
  • Wie in 2D dargestellt, wird die Elektroden-Passivierungsschicht 36 durch Trocknen der dielektrischen Aufschlämmung nach dem Drucken der Aufschlämmung gebildet. Dann wird das Substrat nach der Durchführung des sekundären Laminierungsvorgangs bis unter den Erweichungspunkt von organischem Material, das als Additiv verwendet wird, zum Beispiel Polyvinylbutiral (PVB), erhitzt, um die Fluidität des Green Sheets 30 zu verbessern, das mit dem Substrat 32 kombiniert ist, um die Haftkraft zwischen dem Green Sheet 30 und der Elektrodenpassivierungsschicht 36 zu verbessern.
  • Unter der Bedingung, dass die Fluidität des Green Sheets 30 erhöht wird, wird nach der Anordnung der metallischen Schablone 38, in welcher eine Nut 38a gebildet ist, wie in 2Ed dargestellt ist, das Substrat 32 in der metallischen Schablone 38 mit Druck beaufschlagt, wobei der Druck höher ist als ungefähr 150 kgf/cm2, wie in 2F dargestellt. Durch solch eine Druckbeaufschlagung bewegen sich das Green Sheet 30 und die Elektrodenpassivierungsschicht 36 in die Nut 38a der metallischen Schablone und steigen auf, um so eine Trennwand zu bilden.
  • Dann wird, wie in 2G dargestellt, die Trennwand durch Erwärmungs-, Halte- und Abkühlungsprozesse des Green Sheets 30 und der Elektrodenpassivierungsschicht 36 nach der Trennung der metallischen Schablone 38 vom Substrat 32 plastifiziert. Im Plastifizierungsprozess wird das organische Material im Green Sheet 30 durch Hitze ausgebrannt und ein kristalliner Kern wird erzeugt und in anorganischem Material bei einer höheren Temperatur als der Brenntemperatur gezüchtet.
  • Nach dem Plastifizieren der Trennwand wird reflektierendes Material, wie z.B. TiO2 auf die Elektrodenpassivierungsschicht 36 gedruckt und vor dem Drucken der fluoreszierenden Substanz 6 plastifiziert.
  • Wie oben beschrieben, kann mit dem LTCCM-Verfahren der Prozess einfach sein und die Trennwand kann mit hoher Präzision gebildet werden. Bei dem LTCCM-Verfahren ist jedoch die Bildung der Trennwand 8 in dem hohen Längenverhältnis mit einer größeren Höhe als Breite schwierig und das Green Sheet 30, das in der Form über die Trennwand herausragt, wird beim Trennen der metallischen Schablone 38 und des Green Sheets 30 zerrissen oder es wird eine Luftschicht zwischen dem Substrat 32 und dem Green Sheet 30 beim Bilden durch Druckbeaufschlagung erzeugt. Solch ein Problem wird verursacht durch organisches Material, das in dem Green Sheet 30 enthalten ist. Falls die Menge des organischen Materials in dem Green Sheet 30 groß ist, wird die Fluidität des Green Sheets 30 verbessert, aber die Höhe der geformten Trennwand wird wieder verringert, wenn das organische Material beim Plastifizieren des Green Sheets 30 und der Elektrodenpassivierungsschicht 36 gebrannt wird, nachdem das organische Material mit höherer Fluidität in die Nut 38a der metallischen Schablone bewegt wurde beim Bilden der Trennwand. Der Teil, der in die geformte Trennwand 8 hineinragt (oberer Teil der Trennwand), wird beim Trennen der metallischen Schablone 38 und des Green Sheets 30 zerrissen.
  • Anderseits ist, da die Fluidität des Green Sheets 30 gering ist, falls die Menge des enthaltenen organischen Materials im Green Sheet 30 klein ist, die Bewegung des Green Sheets 30 in die Nut der metallischen Schablone 38a schwierig und folglich kann die Trennwand nicht gebildet werden.
  • Auch wird bei dem herkömmlichen Verfahren zur Herstellung der Trennwand unter Verwendung des LTCCM-Verfahrens, die Luftschicht 40 zwischen dem Green Sheet 30 und dem Substrat 32 durch einen Unterschied in der Reibungskraft beim Formen der Wand erzeugt, wie in 3 dargestellt. Solch eine Luftschicht 40 verringert die Festigkeit der Trennwand 8 und bewirkt ein Gasleck. Der Unterschied in der Schnittstellen-Reibungskraft zwischen dem Green Sheet 30 und dem Substrat 32 bewirkt die Erzeugung von Rissen 42 zwischen den Trennwänden, wie in 4 dargestellt, da die benachbarten Trennwände 8 sich in eine unterschiedliche Richtung bewegen.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Deshalb liefert die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats eines Plasma Display Panels (PDP), das in der Lage ist, leicht eine Trennwand mit einem hohen Längenverhältnis zu bilden, und die Erzeugung einer Luftschicht zwischen einem Green Sheet und einem Substrat beim Bilden einer Trennwand und Risse auf dem Green Sheet zwischen benachbarten Trennwänden zu verhindern.
  • Um diese und andere Vorteile zu erzielen und gemäß dem Zweck der vorliegenden Erfindung, wie hier ausgeführt und ausführlich beschrieben, ist ein Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats eines Plasma Display Panels gemäß Anspruch 1 vorgesehen.
  • Das erste Green Sheet kann fest mit einem Metallsubstrat kombiniert werden, da relativ wenig organisches Material enthalten ist, und das zweite Green Sheet kann leicht durch einen kleinen Druck beim Bilden der Trennwand bewegt werden, da eine große Menge organischen Materials in dem zweiten Green Sheet enthalten ist.
  • Ungefähr 5 bis 15% organischen Materials und 85 bis 95% Glaspulver werden auf dem ersten Green Sheet gemischt und 15 bis 30% organischen Materials und 70 bis 85% Glaspulver werden auf dem zweiten Green Sheet gemischt. Das organische Material enthält Butylbenzylphthalat und Polyvinylbutiral (PVB) und kann Ethanol, Methylethylketon und Fischöl enthalten.
  • Die vorstehenden und andere Merkmale, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen offensichtlicher.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die beiliegenden Zeichnungen, welche enthalten sind, um ein weiteres Verständnis der Erfindung zu liefern, und welche in dieser Beschreibung eingeschlossen sind und einen Teil von ihr bilden, stellen Ausführungsformen der Erfindung dar und dienen zusammen mit der Beschreibung dazu, die Prinzipien der Erfindung zu erklären.
  • In den Zeichnungen ist/sind:
  • 1 eine perspektivische Ansicht, welche ein ebenes Plasma Display Panel des Entladungstyps in der herkömmlichen Wechselstrom-Antriebsart zeigt;
  • 2A bis 2G Ansichten, die ein unteres Substrat des herkömmlichen Plasma Display Panels unter Verwendung des Verfahrens, bei welchem bei niederer Temperatur Keramik auf Metall zusammen gebrannt werden (LTCCM-Verfahren) zeigen;
  • 3 eine Ansicht, die die Form einer Luftschicht unter der Trennwand bei der Herstellung eines unteren Substrats des herkömmlichen Plasma Display Panels unter Verwendung des LTCCM-Verfahrens dargestellt;
  • 4 eine Ansicht, die die Form eines Risses zeigt, der zwischen Trennwänden bei der Herstellung des unteren Substrats des herkömmlichen Plasma Display Panels unter Verwendung des LTCCM-Verfahrens erzeugt wurde;
  • 5A bis 5G Ansichten, die ein Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats eines Plasma Display Panels gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen;
  • 6 eine Querschnittsansicht, die einen Schritt des Unterdrückens der Erzeugung einer Luftschicht beim Verfahren zur Herstellung des unteren Substrats des Plasma Display Panels gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt; und
  • 7 eine Querschnittsansicht, die einen Schritt des Unterdrückens der Erzeugung der Luftschicht bei dem Verfahren zur Herstellung des unteren Substrats des Plasma Display Panels gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • Es wird nun im Detail Bezug genommen auf die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, von welcher Beispiele in den beiliegenden Zeichnungen dargestellt sind.
  • 5A bis 5G sind Ansichten, die ein Verfahren zur Herstellung eines unteren Substrats eines Plasma Display Panels gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen. Zuerst wird, wie in 5A dargestellt, ein erstes Green Sheet (Grün-Schicht) 60A und ein zweites Green Sheet 60B hergestellt. Das zweite Green Sheet 60B wird hergestellt, um eine Trennwand zu bilden und das erste Green Sheet 60A wird hergestellt, um das Kombinieren mit dem Substrat aus Metall zu erleichtern und den Unterschied in der Reibungskraft zwischen einem Substrat und dem zweiten Green Sheet 60B beim Formen der Trennwand zu verringern. Das erste Green Sheet 60A wird auch geformt, um die Trennwand zu stützen, so dass die Trennwand nicht beim Formen der Trennwand zerbrochen wird.
  • Wie oben beschrieben, enthalten die Sheets, da das erste Green Sheet 60A und das zweite Green Sheet 60B unterschiedliche Funktionen aufweisen, organisches Material in unterschiedlichen Anteilen. Das erste Green Sheet 60A enthält ungefähr 5 bis 15% organisches Material und 85 bis 95% Glaspulver, welches Butylbenzylphthalat und Polyvinylbutiral (PVB) einschließt. Im zweiten Green Sheet ist eine größere Menge organischen Materials enthalten als im ersten Green Sheet, zum Beispiel ist ungefähr 15 bis 30% organischen Materials und 70 bis 85% Glaspulver enthalten. Ebenso können das erste Green Sheet 60A und das zweite Green Sheet 60B Ethanol, Methylethylketon (MEK), Fischöl und ähnliches enthalten. Auch muss die Menge des im ersten Green Sheet 60A und im zweiten Green Sheet 60B enthaltenen Glaspulvers identisch eingestellt werden und nur die Menge des organischen Materials kann unterschiedlich eingestellt werden.
  • Das erste Green Sheet 60A und das zweite Green Sheet 60B wird herstellt durch Bilden einer ersten Aufschlämmung und einer zweiten Aufschlämmung, die das oben beschriebene organische Material enthalten, Formen zu einem Sheet (Schicht) durch den Rakelprozess unter der Bedingung, dass die erste Aufschlämmung und die zweite Aufschlämmung auf einer Polyesterfolie angeordnet werden, und Trocknen des resultierenden Materials.
  • Dann wird, wie in 5B dargestellt, feines Glaspulver zum Substrat 62 aus Metall, wie z.B. Titan, injiziert, und das Pulver wird geschmolzen und an der Oberfläche des Substrats 62 durch Erhitzen auf eine Temperatur von ungefähr 500 bis 600°C gebunden. Das Ziel, dass das Glaspulver geschmolzen wird und auf dem Substrat 62 gebunden wird, ist, die Haftkraft mit dem ersten Green Sheet zu verbessern, das mit dem Substrat 62 verbunden ist. Wie oben beschrieben werden das erste Green Sheet 60A und das zweite Green Sheet 60B gleichzeitig auf das Substrat laminiert, auf welchem das feine Glaspulver geschmolzen und gebunden ist.
  • Dann wird, wie in 5C dargestellt, eine Adresselektrode 64 auf das zweite Green Sheet 60B gedruckt und getrocknet.
  • Wie in 5D dargestellt, wird die dielektrische Aufschlämmung auf das ganze Substrat, das die Adresselektrode 64 aufweist, gedruckt und getrocknet, und bildet so eine Elektrodenpassivierungsschicht 66. Die Haftkraft des zweiten Green Sheets 60B und der Elektrodenpassivierungsschicht 66 wird verbessert durch Ausführen eines zweiten Laminierungsvorgangs, und das Substrat 62 wird auf eine Temperatur unter dem Erweichungspunkt des organischen Materials erhitzt, um die Fluidität des ersten Green Sheets 60A und des zweiten Green Sheets 60B, das an das Substrat 62 gebunden ist, zu erhöhen.
  • Wie oben beschrieben, ist die metallische Schablone 68, die eine Nut 68a zum Bilden der Trennwand aufweist, auf dem Substrat 62 angeordnet, an welchem das erste Green Sheet 60A und das zweite Green Sheet 60B befestigt sind, wie in 5E dargestellt, und dann wird die metallische Schablone 68 mit einem vorbestimmten Druck auf dem Substrat 62 beaufschlagt, wie in 5F dargestellt. Zu dieser Zeit hat das zweite Green Sheet 60B eine höhere Fluidität aufgrund der größeren Menge organischen Materials als das Green Sheet, das beim herkömmlichen LTCCM-Verfahren verwendet wird, und folglich kann durch Anlegen eines kleineren Drucks als beim herkömmlichen LTCCM-Verfahren eine bevorzugte Form erhalten werden.
  • Wenn das Substrat 62 durch die metallische Schablone mit Druck beaufschlagt wird, wird die Trennwand 8 gebildet durch Bewegen des zweiten Green Sheets 60B und der Elektrodenpassivierungsschicht 66 in die Nut 68a in der metallischen Schablone. Zu dieser Zeit bewegt sich das erste Green Sheet in die Nut 68a mit einer geringeren aber fast der gleichen Fluidität wie die des zweiten Green Sheets 60B aufgrund der kleineren Menge organischen Materials als das zweite Green Sheet 60B.
  • Dann wird die Trennwand 8, wie in 5G dargestellt, plastifiziert durch einen Erhitzungs-, Halte- und Abkühlprozess nach dem Trennen der metallischen Schablone 68 vom zweiten Green Sheet 60B und der Elektrodenpassivierungsschicht 66. Das im ersten Green Sheet 60A und im zweiten Green Sheet 60B enthaltene organische Material wird ausgebrannt und ein kristalliner Kern wird erzeugt und im anorganischen Material bei einer höheren Temperatur als der Ausbrenntemperatur im Plastifizierungsprozess gezüchtet. Das reflektierende Material, wie z.B. TiO2, wird auf die Elektrodenpassivierungsschicht 66 gedruckt und plastifiziert und die fluoreszierende Substanz 6 wird gedruckt.
  • Gemäß dem Herstellungsverfahren des unteren Substrats des PDP gemäß der vorliegenden Erfindung wird der Unterschied der Reibungskraft zwischen dem ersten Green Sheet 60A und dem zweiten Green Sheet 60B beim Bilden der Trennwand kleiner, und der Unterschied der Reibungskraft zwischen dem ersten Green Sheet 60A und dem Substrat 62 beim Bilden der Trennwand wird ebenfalls kleiner. Das zweite Green Sheet 60B kann sich auch leicht durch einen kleinen Druck in die Nut in der metallischen Schablone 68B bewegen, aufgrund der Menge des organischen Materials, das in dem zweiten Green Sheet 60B beim Bilden der Trennwand enthalten ist. Deshalb ist das Formen der Trennwand 8 mit dem höheren Längenverhältnis möglich und die Erzeugung einer Luftschicht zwischen dem ersten Green Sheet 60A und dem zweiten Green Sheet 60B oder zwischen dem Substrat 62 und dem ersten Green Sheet 60A wird verhindert. Ferner wird auch, wie in 7 dargestellt, die Erzeugung des Risses an dem ersten Green Sheet 60A und dem zweiten Green Sheet 60B zwischen benachbarten Trennwänden verhindert.
  • Wie oben beschrieben, wird bei dem Verfahren zur Herstellung des unteren Substrats des PDP gemäß der vorliegenden Erfindung die Trennwand, die aus dem zweiten Green Sheet besteht, gebildet durch Verbinden des ersten Green Sheets, das eine kleine Menge organischen Materials enthält, auf dem Substrat und Laminieren des zweiten Green Sheets, das eine große Menge organischen Materials enthält, auf das zweite Green Sheet. Deshalb kann, auch falls ein relativ geringer Druck an die metallische Schablone angelegt wird, die Trennwand mit dem hohen Längenverhältnis durch das zweite Green Sheet mit höherer Fluidität gebildet werden. Da auch der Unterschied der Reibungskraft zwischen dem ersten Green Sheet und dem zweiten Green Sheet und zwischen dem ersten Green Sheet und dem Substrat klein ist, kann die Erzeugung einer Luftschicht zwischen dem ersten Green Sheet und dem zweiten Green Sheet oder zwischen dem Substrat und dem ersten Green Sheet verhindert werden, und die Erzeugung des Risses auf den Green Sheets zwischen den benachbarten Trennwänden kann verhindert werden.

Claims (9)

  1. Verfahren zur Herstellung eines unteren Metallsubstrats (62) eines Plasma Display Panels, die Schritte aufweisend: Herstellen eines zweiten Green Sheets (Grün-Schicht) (60B), das eine größere Menge organischen Materials aufweist als ein erstes Green Sheet (60A); Anbringen des zweiten Green Sheets (60B) an dem ersten Green Sheet (60A); Anbringen des ersten und zweiten Green Sheets (60A, 60B) an dem Metallsubstrat (62) durch Laminieren der Sheets; Bilden einer Elektrode (64) an dem zweiten Green Sheet (60B); Bilden einer Elektrodenpassivierungsschicht (66) an dem zweiten Green Sheet (60B), um die Elektrode (64) und das zweite Green Sheet (60B) zu bedecken, insofern als dieses zweite Green Sheet nicht durch die Elektrode (64) bedeckt ist; und Bilden einer Trennwand (8) zur Verhinderung von Übersprechen zwischen Entladungszellen durch Druckbeaufschlagung des ersten und zweiten Green Sheets (60A, 60B), die an dem Metallsubstrat (62) angebracht sind, mit einer metallischen Schablone (68) mit einer Nut (68a).
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das erste Green Sheet (60A) mit dem Substrat (62) verbunden ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei ungefähr 5 bis 15% organischen Materials und 85 bis 95% Glaspulver auf dem ersten Green Sheet (60A) gemischt werden.
  4. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ungefähr 15 bis 30% organisches Material und 70 bis 85% Glaspulver auf dem zweiten Green Sheet (60B) gemischt werden.
  5. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das organische Material, das auf dem ersten und zweiten Green Sheet (60A, 60B) enthalten ist, Butylbenzylphthalat und Polyvinylbutyral aufweist.
  6. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das organische Material, das auf dem ersten und zweiten Green Sheet (60A, 60B) enthalten ist, ein Material ausgewählt aus einer Gruppe bestehend aus Ethanol, Methylethylketon und Fischöl aufweist.
  7. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Schritt des Anbringens des ersten und zweiten Green Sheets (60A, 60B) an dem Metallsubstrat (62) die Schritte aufweist: Injizieren von Glaspulver auf das Metallsubstrat (62); Schmelzen des Glaspulvers an der Oberfläche des Metallsubstrats (62) durch Erhitzen des Substrats (62); und Laminieren des ersten und zweiten Green Sheets (60A, 60B) an das Metallsubstrat (62), wo das Glaspulver geschmolzen und gebunden ist.
  8. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Schritt des Bildens der Elektrodenpassivierungsschicht (66) an dem zweiten Green Sheet (60B) zum Bedecken der Elektrode (64) die Schritte aufweist: Drucken einer dielektrischen Aufschlämmung auf dem gesamten zweiten Green Sheet (60B), wo die Elektrode (64) gebildet ist; und Trocknen der gedruckten dielektrischen Aufschlämmung.
  9. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Schritt des Bildens der Trennwand (8) die Schritte einschließt: Anordnen der metallischen Schablone (68) mit der Nut (68a) an dem Substrat (62), an welchem das erste und zweite Green Sheet (60A, 60B) angebracht sind; Formen der Trennwand (8), die aus dem zweiten Green Sheet (60B) besteht, durch Druckbeaufschlagung des zweiten Green Sheets (60B) mit der metallischen Schablone (68); und Plastifizieren der Trennwand (8).
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