CN100441387C - 软模具以及使用该软模具制造微结构的方法 - Google Patents

软模具以及使用该软模具制造微结构的方法 Download PDF

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Abstract

提供一种软模具(10)，可用于制造具有格子图案和其他微结构的PDP筋，并能够高度精确地制造这些微结构，而不会产生气泡和图案变形等缺陷。软模具(10)包括由第一可固化材料制成的基层(2)，该第一可固化材料在10到80℃时具有3000到100000厘泊的粘度；和该涂层覆盖该基层(2)表面并由第二可固化材料制成的涂层(3)，该第二可固化材料在10到80℃时具有200厘泊或更低的粘度。

Description

软模具以及使用该软模具制造微结构的方法
发明领域
本发明涉及一种模制技术。更具体地说，本发明涉及一种软模具和使用这种软模具制造微结构的方法。本发明的微结构制造方法对制造等离子体显示板的背面板筋有利。
发明背景
由于目前电视技术的进步和发展，已经能经济地大量制造阴极射线管(CRT)显示器件，这是本领域中众所周知的。但是近年来，一种薄而轻的平板显示器作为下一代将替代CRT的显示器件而日益引起人们的注意。
这种平板显示器的一个典型实例是液晶显示器(LCD)，LCD已经用作笔记本电脑，蜂窝电话机，个人数字助理(PDA)和其他移动电子信息器件的紧凑型显示器件。另一方面，等离子体显示板(PDP)也是一种典型的薄而大型平板显示器。这种等离子体显示板实际上已经被用作商用或家用挂壁式电视接收器。
典型的PDP包括大量小型放电显示单元。总的来说，每个放电显示单元都被一对彼此间隔对置的玻璃基片和插入这些玻璃基片之间的具有预定形状的微结构筋包围和限定。电极以一定间隔排列玻璃基片的内表面上，并形成图案。将稀有气体充入每个放电显示单元中，这样就能通过电极之间的等离子体放电而产生要求的自发光。因此，PDP基本上不存在视野角度依赖性。
上述筋通常由陶瓷微结构形成，该筋预先排列在玻璃基片的背面上，并构成PDP背面板的一部分。这种情况下，大多数PDP背面板上具有大致分成以下两类形状的筋。一种形状被称为“直线图案”，如国际公布公报00/39829中所述。这种直线图案简单，能比较容易地制造大型PDP。
如国际公布公报00/39829中所述，可以使用一种软树脂模具模制具有直线图案的筋。这种树脂模具是通过以下方法制造的。首先，将光敏树脂填充入具有与该树脂模具对应图案和形状的金属母模中，即填充入具有与要制造的筋相同图案和形状的金属母模中。接着，用塑料薄膜覆盖该光敏树脂，使该光敏树脂在固化之后与薄膜结合为一体。然后从该金属母模上剥离该薄膜和光敏树脂。
这里的光敏树脂具有500到5000厘泊的高粘度。这样就能抑制该光敏树脂在固化时的收缩。使用具有这种粘度的光敏树脂时，可填充光敏树脂而不会在金属母模和薄膜之间夹带气泡。
另一种筋形状被称为“格子图案”。格子图案比直线图案更能抑制PDP垂直分辨率的降低。这是因为，来自放电显示单元的紫外线更难向外泄漏。与直线图案相比，格子图案能将从显示放电单元发出光的发光效率保持在更高水平上。另一个原因是，可以将一种使PDP产生彩色显示所需的荧光粉以较大面积施涂于放电显示单元上。
还可以用模具制造具有格子图案的筋。比如，日本未审查专利公报(公开)11-96903描述了一种方法，该方法使用真空压模机将筋材料推入金属母模中，冷却筋材料，然后将其从金属母模中取出。但是，由于真空压模机的尺寸是有限的，所以只能制造尺寸仅为几个厘米的PDP背面板，而不适于制造可以作为大显示器的PDP。日本未审查专利公报(Kokai)9-283017描述了具有与格子图案相反图案的圆柱形金属母模的用途。这个金属母模在基片上通过阻挡元件移动和转动，并将阻挡元件推到该基片上。以这种方式金属母模可以制造具有格子图案的筋。但是总的来说，阻挡元件比金属母模软得多。因此，在从金属母模上将筋和基片一起剥离时，筋很可能破裂。在具有筋方的基片中在垂直于金属母模转动/移动方向上筋破裂是特别明显的。
如果可将上述软模具应用于筋模制，则可以避免筋破裂。但是根据现有模制技术，很难制造这种模具。如图10(A)中所示，具有500到5000厘泊高粘度的光敏树脂2被填充于模具5和塑料薄膜1之间时，很难填充光敏树脂2而不夹带气泡12。在含有气泡12的情况下对光敏树脂2进行光固化时，气泡12在固化之后会被残留在光敏树脂2内部及其外表面上，如图10(B)中所示。使用这种模具制造筋时，气泡12会导致筋缺陷。因此，优选尽量不在模具中夹带气泡。
如果使用真空压模机等真空设备的话，就能将具有上述高粘度的光敏树脂填充入金属母模中，而不夹带气泡。但是如日本未审查专利公报(Kokai)11-96903中所述，真空设备的尺寸通常是有限的。因此，这种方法只能制造一边仅为几个厘米的模具，而不适合于制造作为大显示器的PDP。
甚至在不使用真空设备时，也能将具有不超过500厘泊的低粘度光敏树脂填充入金属母模中，而不夹带气泡。另一方面，由于无法忽略的固化收缩，所以很难将模具制造成要求的形状。在如图11(A)中所示，将具有低粘度的光敏树脂3填充于金属母模5和塑料薄膜1之间时，很容易填充树脂3而不夹带气泡。但是，在对该光敏树脂3进行光固化时，会因为树脂的大固化收缩，而在固化后的光敏树脂2和金属母模5之间形成空隙13，从而使图案变形。在使用一般具有与筋相应的高高宽比突起的金属母模制造PDP用筋模具等模具时，图案变形是特别明显的。因此，预计使用低粘度光敏树脂制造的模具不能较容易地在大面积PDP背面板上形成高质量的格子图案筋。
发明概述
为了解决上述技术问题，本发明的一个目的是提供一种可用于制造高质量的格子图案或其他微结构的PDP筋的软模具，能高度精确地制造要求的产品，而不会产生气泡，图案变形等情况。
本发明的另一个目的是提供一种使用这种软模具制造陶瓷微结构等微结构的方法。
通过以下具体说明，能更容易地理解本发明的这些和其他目的。
本发明一方面提供了一种在其表面上具有预定形状和预定尺寸凹槽图案的软模具，该模具包括由第一可固化材料制成的基层，该第一可固化材料在10到80℃时具有3,000到100,000厘泊的粘度；和由第二可固化材料制成并覆盖该基层的表面的涂层，该和二可固化材料在10到80℃时具有不超过200厘泊的粘度。
本发明另一方面提供了一种制造在基片表面上具有预定形状和预定尺寸突起图案的微结构的方法，该方法包括以下步骤：制造在其表面上具有与所述突起图案对应形状和尺寸的凹槽图案的软模具，该模具包括由第一可固化材料制成的基层，该第一可固化材料在10到80℃时具有3,000到100,000厘泊的粘度；和包括由第二可固化材料制成覆盖该基层表面的涂层，该和二可固化材料在10到80℃时具有不超过200厘泊的粘度；将可固化模制材料置于基片和模具涂层之间，并将该模制材料填充入模具的凹槽图案中；固化该模制材料并形成微结构，微结构具有基片和与该基片整体结合的突起图案；并从模具上剥离该微结构。
附图简要说明
图1是本发明一个实例的软模具透视图。
图2是沿着图1的线II-II的截面图。
图3是顺序表示本发明软模具制造方法(前半部分步骤)的截面图。
图4是顺序表示本发明软模具制造方法(后半部分步骤)的截面图。
图5是本发明软模具制造过程中第一和第二可固化材料分布的截面图。
图6是本发明软模具制造过程中第一和第二可固化材料分布的截面图。
图7是顺序表示本发明PDP背面板制造方法(前半部分步骤)的截面图。
图8是顺序表示本发明PDP背面板制造方法(后半部分步骤)的截面图。
图9是实例中制造的PDP背面板外观的透视图。
图10是软模具常用制造方法的一个问题的截面图。
图11是软模具常用制造方法的另一个问题的截面图。
详细说明
本发明涉及软模具和使用这种软模具制造微结构的方法。参考附图对本发明的优选实例进行说明。但是本领域技术人员能够理解，本发明并非特别限于以下实例。附图中使用相同的标记表示相同或相应的部分。
图1是表示本发明一个实例的软模具部分透视图，附图2是沿着图1中直线II-II的截面图。
如这些图所示，软模具10在其表面上具有预定形状和预定尺寸的凹槽图案。凹槽图案是由多个基本彼此平行同时彼此交叉并保持预定间隙的凹槽部分4所限定的。由于软模具10具有在该表面上敞开的格子图案的凹槽部分，该模具能很好用于形成具有格子突起图案的PDP筋，当然该模具也适用于制造其他微结构。软模具10可以包括附加层(在需要时)，或对构成该模具的每层进行任意处理。但是，软模具10基本上包括基层2和涂层3，如图2中所示。
软模具10的基层2基本上均匀地由第一可固化材料制成，该材料在10到80℃的温度下测量时具有3,000到100,000厘泊的较高粘度，但是基层中基本不含气泡。总的来说，这种第一可固化材料在固化时不会发生明显收缩。因此，具有由这种第一可固化材料所制成凹槽的模具不容易发生变形，而是具有极佳的尺寸稳定性。
第一可固化材料是可热固化材料或是可光固化材料。特别是当第一可固化材料是可光固化材料时，可以在较短时间内制得软模具，而不需要使用细长的加热炉。适用于作为第一可固化材料的可光固化材料主要包括一种低聚物(可固化低聚物)，因为这种材料是容易获得的。特别是当该低聚物是氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物和/或环氧丙烯酸酯低聚物等丙烯酸类低聚物时，该基层是光学透明的。因此，当该基层与下文将要说明的透明涂层结合时，该软模具可以使用可光固化模制材料。可以透过软模具对模制材料进行辐照。
涂层3位于基层2的表面上，与该基层2紧密粘合。在这种情况下，基层2和基层2上的涂层3之间的气泡被排出。涂布层3基本上均匀地由第二可固化材料制成的，该材料在10到80℃测量时具有不超过200厘泊的较低粘度，而且基本上不含气泡。优选该第二可固化材料具有低粘性。因为该涂层3具有低粘性，所以软模具表面上的粘性也变低。因此，可以提高操作性能，并能避免成型模具对基片和生产设备的粘合。
第二可固化材料与第一可固化材料一样，可以是可热固化材料或可光固化材料。但是与第一可固化材料不同的是，可用于第二可固化材料的可光固化材料包括一种单体(可固化单体)。特别是当该单体是丙烯酰胺，丙烯腈，丙烯酸，丙烯酸酯等丙烯酸类单体时，该涂层会变得光学透明。因此，软模具可以组合使用该可光固化模制材料与上述透明基层。
再回到图2，在本发明的软模具10中，优选从每个凹槽部分4底部到基层2背面的距离(d)至少是凹槽部分4深度(L)的1/10。在使用这种尺寸的结构时，凹槽部分的形成仅取决于基层，所以模具10和凹槽部分4的变形就很难发生。相反，在距离(d)小于凹槽部分4深度(L)的1/10时，可能基本上仅由涂层3形成凹槽部分4，这将在下文参考附图6说明。在这种情况下，固化收缩变大，可能发生变形。
优选基层2在其背面还包括支承层。该支承层可以由各种材料形成，能支承模具不使其发生变形。其中的一个实例是支承膜，当然这并不是限制性的。可很好使用支承膜形成基层，这将在下面说明。
可以使用各种厚度的支承膜。但是从机械强度和操作性能方面考虑，支承膜厚度通常是50到500微米，优选是100到400微米。优选支承膜是光学透明的。当支承膜是光学透明时，用于固化的辐照光线能透过该支承膜。因此可以分别使用可光固化的第一和第二可固化材料形成基层和涂层。特别是当支承膜由透明材料均匀形成时，可以更有效地形成均匀的基层和均匀的涂层。从易获得角度考虑，透明支承膜的典型实例是聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)，聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)和聚碳酸酯。优选PET支承膜的含湿量几乎是其在使用软模具并具有预定尺寸情况下所能吸收的最大量。因此，该支承膜能在使用软模具时保持凹槽部分的形状，并限制模制品尺寸和形状的变化。
可以用各种方法制造本发明的软模具。在使用可光固化的第一和第二可固化材料时，采用图3和4所示的顺序可很好地制造软模具。
首先，如图3(A)中所示准备具有与作为制造物品的软模具对应形状和尺寸的金属母模5，透明支承膜1和层压辊23。由于使用软模具制造PDP背面板，特别是金属母模5在其表面上具有与PDP背面板筋相同图案和形状的间壁。因此，由相邻间壁14所限定的间隔(凹陷)15是要成为PDP的放电显示单元的部分。层压辊23是将支承膜1压至金属母模5上的工具，需要时可以采用其他已知并常用的层压手段代替层压辊23。
接着，如图3(B)中所示，采用刮涂机或棒涂器等已知并常用的涂布手段(未示出)将可被光固化的第一可固化材料2涂布在支承膜1的一个表面上至预定厚度。采用相同方法将可光固化的第二可固化材料3涂布在金属母模5的间壁固定表面上至预定厚度，并将其填充入由间壁14之间的间隙所限定的凹陷15中。在本发明中，由于第二可固化材料3粘度较低，其容易流动。因此，即使该金属母模5的间壁14具有高高宽比，也能均匀填充第二可固化材料3而不夹带气泡。
接着，使层压辊23以图3(C)中箭头A所示方向在金属母模5上滑动，同时第一可固化材料2和第二可固化材料3彼此保持粘合。这种层压处理的结果是，能从凹陷15中基本取出第二可固化材料3。
优选在该层压处理过程中，在从间壁14顶部(自由端)到支承膜1的距离保持充分大于间壁高度(比如，至少是间壁高度的1/10)的情况下使两种固化材料粘合。由于如图5中所示，能从间壁14的间隔中有效除去大部分第二可固化材料3并用第一可固化材料2替代。所以，可以使用基层2形成除涂层3之外的模具凹槽图案。
相反，如附图6中所示，当从间壁14顶部(自由端)到支承膜1的距离充分小于间壁高度(比如小于间壁高度的1/10)时，就很难从间壁14的间隔中除去第二固化材料3，也不能用第一可固化材料2进行替代。因此，模具的凹槽图案几乎全都由涂层3构成。
层压处理完成之后，用光(hv)透过支承膜1对第一和第二可固化材料2和3进行辐照，同时如图4(D)中所示将支承膜1层压在金属母模5上。如果支承膜1不含气泡等光散射单元，而是由透明材料均匀形成时，则辐照光线几乎不发生衰减，能够均匀地到达第一和第二可固化材料2和3。结果是，第一可固化材料被有效固化成均匀的基层2，与支承膜1结合。第二可固化材料也被同样固化成均匀的涂层3，与基层2结合。
上述一系列制造步骤之后，得到包括相互整体结合的支承膜1，基层2和涂层3的软模具。然后，从金属母模5上剥离软模具10，同时保持其整体性，如图4(E)中所示。
采用已知和常规的层压方法与涂布方法，能够以比较简单地方式制造各种尺寸的软模具。因此，不同于使用真空压机等真空设备的常用制造方法，本发明能够不用层压容易地制造大的软模具。
而且，本发明的软模具可用于制造各种微结构。如日本未审查专利公报(Kokai)2001-191345中所公开，本发明的模具特别可用于模制具有格子图案的PDP筋(微结构)。使用这种软模具时，只需用层压辊替代真空设备和/或复杂工艺，就能容易地制造具有格子筋的大屏幕PDP，其中紫外线不容易从放电显示单元中泄漏出去。
然后，参考图7和8说明采用图1到3中所示制造设备在玻璃平板上制造具有筋的PDP基片的方法。
首先，如图7(A)中所示，预先准备具有预定间隙的平行电极32的玻璃平板31，然后将其放置在支承台21上。如果使用能移动的平台(未示出)，则支承玻璃平板31的支承台21位于该平台的预定位置处。
然后，将本发明的其表面具有凹槽图案的软模具10固定在玻璃平板31的预定位置处。
以一定的相对位置使玻璃平板31和模具10定位。详细地说，通过目视观察定位，或者如图7(B)所示，使用CCD摄像机等传感器29，使模具10的凹槽部分与玻璃平板31的电极平行。这时，通过在需要时调节温度和湿度，能使模具10的凹槽部分和玻璃平板31上相邻电极之间的间隔变得一致。通常，模具10和玻璃平板31会随着温度和湿度的变化而发生膨胀和收缩，因此，在完成玻璃平板31和模具10之间的定位时，要控制温度和湿度保持恒定。这种控制方法在制造大面积PDP基片时特别有效。
随后，如图7(C)中所示，将层压辊23调到模具10的一端上。这时优选将模具10的一端固定在玻璃平板31上。通过这种方式，可以防止预先定位的玻璃平板31和模具10之间的定位发生偏离。
然后，如图7(D)中所示，用层压辊23上方的夹持器28抬起模具10的另一个自由端并进行移动，暴露出玻璃平板31。这时要特别小心，不要使模具10产生任何张力，从而防止模具10出现折皱，保持模具10和玻璃平板31之间的定位。还可以使用其他方法，只要能保持定位即可。将用于形成筋所需的预定量筋前体33传送到玻璃平板31上。该图中所示的实例使用具有个喷嘴的浆料斗27作为筋前体供料器。
这里所用术语“筋前体”是指能形成作为最终物体的筋模制品的任意模制材料，并不特别限定于某些材料，只要能形成筋模制品即可。筋前体可以是一种热固化型材料或光固化型材料。以下参考图8(F)进行说明，光固化筋前体特别能有效地与上述透明软模具组合使用。软模具几乎没有气泡和变形等缺陷，能够抑制光的不均匀散射。其结果是，模制材料能均匀固化，形成具有稳定高质量的筋。
适合于筋前体的组合物实例基本包括(1)形成筋形状的陶瓷组分，比如氧化铝，(2)填充陶瓷组分之间空隙并使筋变得致密的玻璃组分，比如铅玻璃或磷酸盐玻璃和(3)用于聚集，固定和粘合陶瓷组分与玻璃组分的粘合剂组分，以及该粘合剂组分的固化剂或聚合引发剂。优选该粘合剂组分的固化并不依赖于加热，而是使用光辐照。这种情况下，不需要考虑到玻璃平板的热变形。在需要时向该组合物中加入由铬(Cr)，锰(Mn)，铁(Fe)，钴(Co)，镍(Ni)，铜(Cu)，锌(Zn)，铟(In)或锡(Sn)，钌(Ru)，铑(Rh)，钯(Pd)，银(Ag)，铱(Ir)，铂(Pt)，金(Au)或铈(Ce)的氧化物，盐或配合物组成的氧化催化剂，从而降低该粘合剂组分的脱除温度。
在实施如附图所示的制造方法时，筋前体33并非均匀地被传送到整个玻璃平板31上。换言之，筋前体33可以仅被传送到玻璃平板31中接近层压辊23的部分上，如图7(D)中所示。这是因为，在下一个步骤中，当层压辊23在模具10上移动时，筋前体33能被均匀铺开。但是，这种情况下优选筋前体33的粘度是约100,000厘泊或更低，更优选是约20000厘泊或更低。当筋前体的粘度高于约100,000厘泊时，层压辊不足以铺开筋前体，因此空气会被夹杂在模具的凹槽部分中，导致筋缺陷。事实上，当筋前体的粘度是约100,000厘泊或更低时，层压辊只要从玻璃平板的一端向另一端移动一次，就能使筋前体在玻璃平板和模具之间均匀铺开，筋前体会均匀填充入所有凹槽部分中，而不会夹带气泡。但是，传送筋前体的方法并不限于上述方法。比如，可以将筋前体涂布在玻璃平板的整个表面上，虽然该方法并未表示在图中。这时，涂布所用的筋前体具有上述相同的粘度。特别是在形成格子图案的筋时，粘度是20000厘泊或更低，优选是约5000厘泊或更低。
然后，驱动回转马达(未示出)使层压辊23在模具10上以预定速度移动，如图8(E)中的箭头所示。层压辊23以这种方式在模具10上移动时，由于层压辊23的自重，所以压力是从一端向另一端连续施加到模具10上的。因此，筋前体33在玻璃平板31和模具10之间铺开，模制材料被填充入模具10的凹槽部分中。换言之，凹槽部分中的筋前体33连续取代空气，并填充凹槽。在适当控制筋前体粘度，或层压辊的直径，重量或移动速度时，能将此时前体厚度调节为几微米到几十微米的范围内。
按照本发明的制造方法，即使在模具的凹槽部分作为空气通道并收集空气时，在接受到上述压力时，也能有效排出空气或将空气排至模具周围。结果是，本发明的制造方法即使是在大气压力下填充筋前体时，也能防止残留气泡。换言之，填充筋前体时不需要使用真空。当然，在真空下能更容易消除气泡。
然后，固化筋前体。如果铺在玻璃平板31上的筋前体33是光固化型的，则如图8(F)所示将筋前体(未示出)与玻璃平板31和模具10一起置于光辐照设备26中，紫外一(UV)等光线透过玻璃平板31和/或模具10辐照筋前体使其固化。通过这种方式，能获得筋前体的模制品，即筋本身。
最后，从光辐照设备中取出与玻璃平板31结合的制得的筋，玻璃平板31和模具10，然后剥离并除去模具10。由于本发明的模具可操作性高，所以能很容易剥离并除去模具，而不会使与玻璃平板结合的筋发生破裂。
虽然已经参考一个优选实施例对本发明进行了说明，但是本发明并不限于此。
软模具并不特别限于上述形式，只要能实现本发明的目的，操作和效果即可。比如，软模具可以具有所谓“直线凹槽图案”，由基本彼此平行并相互间隔但不交叉的多个凹槽部分排列而成。可以用这种软模具形成直线图案的PDP的筋。
本发明的软模具并不仅用于形成PDP筋，也能很好用于形成各种具有相似形状或图案的微结构。
实施例
用若干实施例更具体地说明本发明。但是，本发明并不限于以下实施例，这是本领域技术人员能够理解的。
实施例1
为了制造PDP背面板，本实施例制备了一个具有如图9中所示格子图案间壁14的矩形金属母模5。以下作进一步说明。将具有等腰梯形截面的纵向间壁(纵向筋)在纵向方向上以预定间距排列，并将具有等腰梯形截面的横向间壁(横向筋)在垂直于纵向筋的方向上以预定间距排列，构成金属母模5，筋的尺寸如下表1中所示。由间壁14在纵向和横向方向上所限定的间隔(凹陷)15是PDP的放电显示单元。
表1
  间距   高度   顶部宽度   底部宽度   斜角
  纵向筋   300微米   208微米   55微米   115微米   82°
  横向筋   500微米   208微米   37微米   160微米   75°
将80重量％的脂肪族氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物(Henkel Co.的产品，商品名是“Photomer 6010”)，20重量％的1，6-己二醇二丙烯酸酯(Shin-NakamuraKagaku K.K.的产品)和1重量％的2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙-1-酮(CibaSpecialties Co.的产品，商品名是“Darocure 1173”)混合，制成第一可固化材料。测得第一可固化材料的粘度在22℃时是8500厘泊。使用Brookfield粘度计(B型粘度计)测量第一可固化材料的粘度。测试方式使用#5心轴，转速是20转/分。
另外，将40重量％的上述Photomer 6010，60重量％的1，6-己二醇二丙烯酸酯和1重量％的Darocure 1173混合，制成第二可固化材料。以相同方式测得的第二可固化材料的粘度在22℃时是110厘泊。
然后，将以上述方法制得的第一可固化材料涂布在厚度为188微米的PET支承膜上至200微米的厚度。另一方面，将第二可固化材料涂布另外制得的金属模具表面上，以填充金属模具的凹陷。
使用层压辊将支承膜上的第一可固化材料与金属母模上的第二可固化材料层压在一起，使金属母模间壁顶部上表面到支承膜的距离是25微米。
用荧光灯发出的300到400纳米波长光线透过支承膜辐照第一和第二可固化材料30秒，该荧光灯是Mitsubishi Denki-Oslam K.K.的产品。第一和第二可固化材料分别固化，形成基层和覆盖基层的涂层。然后，从金属母模上将支承膜与基层和涂层一起剥离，制得软模具。
用光学显微镜检查制得的软模具，确认模具上不存在气泡和图案变形。
实施例2
按照与实施例1相同的方法制造并检查软模具，区别在于将支承膜上的第一可固化材料和金属母模上的第二可固化材料层压在一起，使从金属母模间壁顶部上表面到支承膜的距离是55微米。
在本实施例的软模具中，也能确认不存在气泡和图案变形。
实施例3
按照与实施例1相同的方法制造并检查软模具，区别在于在22℃时具有200厘泊粘度的第二可固化材料是通过混合50重量％的Photomer 6010，50重量％的1，6-己二醇二丙烯酸酯和1重量％的Darocure 1173而制得的。
在本实施例的软模具中，也能确认不存在气泡和图案变形。
实施例4
按照与实施例1相同的方法制造并检查软模具，区别在于在22℃时具有18厘泊粘度的第二固化材料是通过混合100重量％的1，6-己二醇二丙烯酸酯和1重量％的Darocure 1173而制得的。
在本实施例的软模具中，也能确认不存在气泡和图案变形。
对比例1
按照与实施例1相同的方法制造并检查软模具，区别在于没有使用第二可固化材料，在将第一可固化材料涂布在支承膜上200微米厚度之后，将第一可固化材料与金属母模层压在一起，使从金属母模间壁顶部上表面到支承膜的距离是25微米，以此作为对比。
确认在本对比例的软模具中存在大量气泡。但是，能确认不存在图案变形。
对比例2
按照与实施例1相同的方法制造并检查软模具，区别在于第一固化材料以线形方式被置于涂布在金属母模上的第二可固化材料的一个末端部分上，在将层压辊安放在第一可固化材料的外缘部分之后，使层压辊向施涂有第二可固化材料的金属母模的另一末端部分移动，使从金属母模间壁顶部上表面到支承膜的距离是25微米，以此作为对比。
确认本对比例的软模具中不存在气泡，但是确认存在局部图案的变形。
如上所述，本发明提供了一种可用于制造具有高质量格子图案或其他微结构的PDP筋的软模具，并能够高度精确地制造微结构，而不会产生气泡和图案变形的缺陷。
本发明还提供了一种能有效地以较容易的方式制造具有高质量格子图案或各种其他微结构PDP筋的软模具。
本发明进一步提供了一种制造具有高质量格子图案或陶瓷微结构等其他微结构的PDP筋的方法。

Claims (9)

1.一种制造在基片表面上具有预定形状和预定尺寸的突起图案的微结构的方法，该方法包括以下步骤：
制造其表面上具有与所述突起图案对应形状与尺寸的凹槽图案的软模具，该模具包括由第一可固化材料所制成的基层，该第一可固化材料在10到80℃时具有3000到100000厘泊的粘度；和由第二可固化材料所制成并覆盖所述基层表面的涂层，该第二可固化材料在10到80℃时的粘度不超过200厘泊；
将可固化模制材料置于所述基片和所述模具涂层之间，并将所述模制材料填充入所述模具的凹槽图案中；
固化所述模制材料，并形成具有所述基片和与所述基片整体结合的突起图案的微结构；和
从所述模具上剥离所述微结构。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基层和所述涂层是透明的。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一可固化材料和所述第二可固化材料是可光固化材料。
4.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述模制材料是可光固化材料。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基层背面设置支承层。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述支承层是透明的。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述凹槽图案具有格子状图案，由基本彼此平行同时以预定间隙彼此交叉排列的多个凹槽部分组成。
8.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于所述微结构是用于等离子体显示板的背面板。
9.如权利要求8所述的制造方法，其还包括单独排列基本彼此平行同时保持其间预定间隙的一组寻址电极的步骤。
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