JP5940940B2 - 転写装置および転写方法 - Google Patents
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Description
請求項8に記載の発明は、マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写方法において、前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第1転写工程と、前記第1転写工程で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、被成形体に転写する第2転写工程とを有し、第2転写工程は、前記被成形体を保持する被成形体保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、前記第2転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記被成形体保持体に保持されている被成形体とを、前記転写をするために前記被成形体保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記レプリカモールドと前記被成形体との部位を移動させるように構成されており、前記第2転写部の剥離ローラは、前記第2転写部の転写ローラよりも前記第1転写部から離れた側に設けられており、前記第2転写部の転写ローラで挟み込まれ前記被成形体にくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して前記第2転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記被成形体から離すように構成されている転写方法である。
3 第1転写部
5 第2転写部
7 レプリカモールド原反設置部
9 レプリカモールド巻き取り部
11 マスターモールド保持体
13 第1転写部の第1ローラ(転写ローラ)
17 第1転写部の第3ローラ(剥離ローラ)
29 被成形体保持体
31 第2転写部の第1ローラ(転写ローラ)
35 第2転写部の第3ローラ(剥離ローラ)
C3 第1転写部の第1ローラ(転写ローラ)の中心軸
C5 第1転写部の第3ローラ(剥離ローラ)の中心軸
C7 第2転写部の第1ローラ(転写ローラ)の中心軸
C9 第2転写部の第3ローラ(剥離ローラ)の中心軸
MA、MA2 マスターモールド
MA1 マスターモールドの微細な転写パターン
MB レプリカモールド
MB2 レプリカモールドの微細な転写パターン
W 被成形体
Claims (8)
- マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写装置において、
前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第1転写部と、
前記第1転写部で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、前記被成形体に転写する第2転写部と、を有し、
前記第1転写部は、前記マスターモールドを保持するマスターモールド保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、
前記第1転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記マスターモールド保持体に保持されているマスターモールドとを、前記転写をするために前記マスターモールド保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記マスターモールドと前記レプリカモールドとの部位を移動させるように構成されており、
前記第1転写部の剥離ローラは、前記第1転写部の転写ローラよりも前記第2転写部側に設けられており、前記第1転写部の転写ローラで挟み込まれ前記マスターモールドにくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して前記第1転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記マスターモールドから離すように構成されている、
ことを特徴とする転写装置。 - 請求項1に記載の転写装置において、
レプリカモールド原反設置部とレプリカモールド巻き取り部とを有し、
前記レプリカモールドは、前記レプリカモールド原反設置部と前記レプリカモールド巻き取り部との間で、前記レプリカモールド原反設置部に設置されているレプリカモールド原反から前記レプリカモールド巻き取り部までシート状になり所定の張力で張られて延びている、
ことを特徴とする転写装置。 - マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写装置において、
前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第1転写部と、
前記第1転写部で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、前記被成形体に転写する第2転写部と、を有し、
前記第2転写部は、前記被成形体を保持する被成形体保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、
前記第2転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記被成形体保持体に保持されている被成形体とを、前記転写をするために前記被成形体保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記レプリカモールドと前記被成形体との部位を移動させるように構成されており、
前記第2転写部の剥離ローラは、前記第2転写部の転写ローラよりも前記第1転写部から離れた側に設けられており、前記第2転写部の転写ローラで挟み込まれ前記被成形体にくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して前記第2転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記被成形体から離すように構成されている、
ことを特徴とする転写装置。 - 請求項3に記載の転写装置において、
レプリカモールド原反設置部とレプリカモールド巻き取り部とを有し、
前記レプリカモールドは、前記レプリカモールド原反設置部と前記レプリカモールド巻き取り部との間で、前記レプリカモールド原反設置部に設置されているレプリカモールド原反から前記レプリカモールド巻き取り部までシート状になり所定の張力で張られて延びている、
ことを特徴とする転写装置。 - 請求項3または請求項4に記載の転写装置において、
前記第1転写部は、前記マスターモールドを保持するマスターモールド保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、
前記第1転写部の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記マスターモールド保持体に保持されているマスターモールドとを、前記転写をするために前記マスターモールド保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記マスターモールドと前記レプリカモールドとの部位を移動させるように構成されており、
前記第1転写部の剥離ローラは、前記第1転写部の転写ローラよりも前記第2転写部側に設けられており、前記第1転写部の転写ローラで挟み込まれ前記マスターモールドにくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して前記第1転写部の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記マスターモールドから離すように構成されている、
ことを特徴とする転写装置。 - 請求項3または請求項4に記載の転写装置において、
前記第1転写部は、円柱状のマスターモールドを備えて構成されており、
前記レプリカモールドは、前記マスターモールドに巻き掛けられることで前記転写がなされるように構成されている、
ことを特徴とする転写装置。 - マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写方法において、
前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第1転写工程と、
前記第1転写工程で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、被成形体に転写する第2転写工程と、を有し、
前記第1転写工程は、前記マスターモールドを保持するマスターモールド保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、
前記第1転写工程の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記マスターモールド保持体に保持されているマスターモールドとを、前記転写をするために前記マスターモールド保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記マスターモールドと前記レプリカモールドとの部位を移動させるように構成されており、
前記第1転写工程の剥離ローラは、前記第1転写工程の転写ローラよりも前記第2転写工程側に設けられており、前記第1転写工程の転写ローラで挟み込まれ前記マスターモールドにくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記マスターモールド保持体に対して前記第1転写工程の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記マスターモールドから離すように構成されている、
ことを特徴とする転写方法。 - マスターモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写方法において、
前記マスターモールドの微細な転写パターンを、光を透過する材料で構成されているレプリカモールドに転写する第1転写工程と、
前記第1転写工程で形成されたレプリカモールドの微細な転写パターンを、被成形体に転写する第2転写工程と、を有し、
前記第2転写工程は、前記被成形体を保持する被成形体保持体と、転写ローラと、剥離ローラとを備えて構成されており、
前記第2転写工程の転写ローラは、巻き掛けられた前記レプリカモールドと前記被成形体保持体に保持されている被成形体とを、前記転写をするために前記被成形体保持体と協働して挟み込み、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して相対的に移動することで、前記挟み込んでいる前記レプリカモールドと前記被成形体との部位を移動させるように構成されており、
前記第2転写工程の剥離ローラは、前記第2転写工程の転写ローラよりも前記第1転写工程から離れた側に設けられており、前記第2転写工程の転写ローラで挟み込まれ前記被成形体にくっついている前記レプリカモールドが巻き掛けられ、中心軸を回転中心にして回転し前記被成形体保持体に対して前記第2転写工程の転写ローラとともに相対的に移動することで、前記レプリカモールドを巻き取って前記被成形体から離すように構成されている、
ことを特徴とする転写方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012191781A JP5940940B2 (ja) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 転写装置および転写方法 |
TW102130432A TWI554411B (zh) | 2012-08-31 | 2013-08-26 | 轉印裝置、被成形體及轉印方法 |
KR1020130102369A KR101517684B1 (ko) | 2012-08-31 | 2013-08-28 | 전사 장치, 피성형체 및 전사 방법 |
DE102013217329.6A DE102013217329B4 (de) | 2012-08-31 | 2013-08-30 | Übertragungsvorrichtung und Übertragungsverfahren |
US14/015,777 US9914261B2 (en) | 2012-08-31 | 2013-08-30 | Transfer device, molded material and transfer method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012191781A JP5940940B2 (ja) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 転写装置および転写方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014046579A JP2014046579A (ja) | 2014-03-17 |
JP5940940B2 true JP5940940B2 (ja) | 2016-06-29 |
Family
ID=50098714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012191781A Active JP5940940B2 (ja) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 転写装置および転写方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9914261B2 (ja) |
JP (1) | JP5940940B2 (ja) |
KR (1) | KR101517684B1 (ja) |
DE (1) | DE102013217329B4 (ja) |
TW (1) | TWI554411B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160096368A (ko) * | 2015-02-05 | 2016-08-16 | 삼성전자주식회사 | 반사 방지 구조물 제조 장치 및 이를 이용한 반사 방지 구조물 제조 방법 |
JP7221642B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2023-02-14 | 芝浦機械株式会社 | 転写装置 |
JP6397553B1 (ja) * | 2017-10-25 | 2018-09-26 | 東芝機械株式会社 | 転写装置 |
KR101990122B1 (ko) * | 2018-11-21 | 2019-06-19 | 주식회사 기가레인 | 임프린트 리소그래피용 리플리카 몰드 제작 장치 및 그 제작 방법 |
JP6694101B1 (ja) * | 2019-08-09 | 2020-05-13 | Aiメカテック株式会社 | 微細構造転写装置及び微細構造転写方法 |
WO2021182532A1 (ja) * | 2020-03-11 | 2021-09-16 | Scivax株式会社 | インプリント装置 |
CN113885295B (zh) * | 2020-07-01 | 2024-03-08 | 吉佳蓝科技股份有限公司 | 纳米压印用复制模制作装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4326190B2 (ja) | 2002-07-10 | 2009-09-02 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 可とう性成形型及びその製造方法 |
JP2005193473A (ja) | 2004-01-06 | 2005-07-21 | Three M Innovative Properties Co | 転写用成形型及びその製造方法ならびに微細構造体の製造方法 |
ATE549294T1 (de) * | 2005-12-09 | 2012-03-15 | Obducat Ab | Vorrichtung und verfahren zum transfer von mustern mit zwischenstempel |
JP2009233855A (ja) | 2006-07-21 | 2009-10-15 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 転写用型およびその製造方法ならびに転写用型を用いた転写物の製造方法 |
US7964243B2 (en) * | 2007-04-30 | 2011-06-21 | S.D. Warren Company | Materials having a textured surface and methods for producing same |
JP2009214323A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Asahi Glass Co Ltd | 微細パターンを有する物品の製造装置および製造方法 |
JP2010000719A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | フィルム状レプリカモールド、その製造方法および微細凹凸構造を有するフィルム製品の製造方法 |
JP2010080680A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Bridgestone Corp | 凹凸パターンの形成方法及び凹凸パターンの製造装置 |
JP5593092B2 (ja) | 2010-02-26 | 2014-09-17 | 東芝機械株式会社 | 転写システムおよび転写方法 |
JP2011178052A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Bridgestone Corp | 光硬化性転写シート、及びこれを用いた凹凸パターンの形成方法 |
JP5593190B2 (ja) | 2010-10-08 | 2014-09-17 | 東芝機械株式会社 | モールド剥離装置 |
-
2012
- 2012-08-31 JP JP2012191781A patent/JP5940940B2/ja active Active
-
2013
- 2013-08-26 TW TW102130432A patent/TWI554411B/zh active
- 2013-08-28 KR KR1020130102369A patent/KR101517684B1/ko active IP Right Grant
- 2013-08-30 DE DE102013217329.6A patent/DE102013217329B4/de active Active
- 2013-08-30 US US14/015,777 patent/US9914261B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140072768A1 (en) | 2014-03-13 |
DE102013217329A1 (de) | 2014-03-06 |
JP2014046579A (ja) | 2014-03-17 |
DE102013217329B4 (de) | 2023-07-13 |
TWI554411B (zh) | 2016-10-21 |
TW201429748A (zh) | 2014-08-01 |
KR101517684B1 (ko) | 2015-05-04 |
US9914261B2 (en) | 2018-03-13 |
KR20140029267A (ko) | 2014-03-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150604 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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