DE112020004197T5

DE112020004197T5 - Widerstandseinheit, Herstellungsverfahren dafür und Vorrichtung mit Widerstandseinheit

Info

Publication number: DE112020004197T5
Application number: DE112020004197.2T
Authority: DE
Inventors: Shingo Fujihara; Yuji Jumonji
Original assignee: Semitec Corp
Current assignee: Semitec Corp
Priority date: 2019-09-04
Filing date: 2020-08-21
Publication date: 2022-05-12
Also published as: JPWO2021044876A1; CN114365240A; WO2021044876A1; KR20220054306A; US20220301750A1; JP6987305B2

Abstract

Bereitgestellt sind: eine Widerstandseinheit, die Isolierung gewährleistet, Beschädigungen unterdrückt und somit sehr zuverlässig ist; ein Verfahren zur Herstellung derselben; und eine Vorrichtung, die mit der Widerstandseinheit bereitgestellt ist. Eine Widerstandseinheit (1) ist mit einem Widerstand (2) und wenigstens einem Paar von Elektrodenschichten (3a), (3b) ausgestattet, die auf dem Widerstand (2) gebildet sind. In wenigstens einer der Elektrodenschichten (3a), (3b) ist in einem Bereich aus Bereichen, in denen die Elektrodenschichten (3a), (3b) gebildet sind, ein Entnahmeabschnitt (11) zum Trimmen gebildet, der die Umfangskanten solcher Schichten ausschließt. Der Widerstand (2) ist z.B. ein wärmeempfindlicher Widerstand.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Widerstandseinheit, wie z.B. eine wärmeempfindliche Widerstandseinheit, ein Herstellungsverfahren für eine Widerstandseinheit und eine mit einer Widerstandseinheit bereitgestellte Vorrichtung.
Verwandte Technik
Ein Widerstandswert, der z.B. von einem Thermistor als eine wärmeempfindliche Widerstandseinheit angezeigt wird, hängt von einzelnen Materialien des Thermistors ab, oder von einem Mischungsverhältnis, Herstellungsbedingungen, Größe und dergleichen der Materialien. Daher neigt der von dem Thermistor angezeigte Widerstandswert dazu, zu schwanken.
Um Schwankungen des von dem Thermistor angezeigten Widerstandswerts zu korrigieren und zu reduzieren, wird daher ein Verfahren angewandt, bei dem eine Elektrodenoberfläche des Thermistors oder ein Abschnitt eines Thermistorkörpers durch Laserbestrahlung oder Sandstrahlen abgeschnitten und getrimmt wird.
Stand der Technik Dokumente
Patentdokumente

Patentdokument 1: Japanisches Patent, Veröffentlichungsnr. S56-54321
Patentdokument 2: Japanisches Patent, Veröffentlichungsnr. S57-206003
Patentdokument 3: Japanisches Patent, Veröffentlichungsnr. H2-58803
Patentdokument 4: Japanisches Patent, Veröffentlichungsnr. H6-77007
Patentdokument 5: Japanisches Patent, Veröffentlichungsnr. 2004-22672

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Durch die Erfindung zu lösende Probleme
Bei einem in Patentdokument 1 gezeigten Thermistor ist jedoch eine Umfangskante einer Elektrode getrimmt, wie in 14 und 15 gezeigt. 14 zeigt eine Draufsicht eines Thermistorkörpers, und 15 zeigt einen Querschnitt entlang Linie X-X in 14. Ein Thermistorkörper 10 ist aus einem Thermistormaterial hergestellt, und auf beiden Seiten des Thermistorkörpers 10 sind Elektroden 10a und 10b gebildet. Eine Umfangskante der Elektrode 10a wird durch Trimmen entnommen (10c).
Aufgrund des Trimmens wird ein von dem Thermistor angezeigter Widerstandswert erhöht, um Schwankung zu korrigieren. Während Trimmens besteht jedoch das Risiko, dass eine Metallkomponente der Elektrode 10a streut und an einer Seitenfläche 10d haftet, freilegend den Thermistorkörper 10, dass ein Kurzschluss oder eine Migration zwischen den Elektroden 10a und 10b auftreten kann und dass sich Isolationseigenschaften verschlechtern können.
Bei einem in Patentdokument 2 gezeigten Thermistor wird ein Thermistorkörper durch Trimmen entnommen, und es tritt ein Problem auf, bei dem Beschädigung des Thermistorkörpers zunimmt.
Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf die obigen Probleme gemacht, und ein Ziel davon ist es, eine Widerstandseinheit, die Isolierung gewährleistet, Beschädigung unterdrückt und sehr zuverlässig ist, ein Herstellungsverfahren dafür und eine Vorrichtung, die mit einer Widerstandseinheit bereitgestellt ist, bereitzustellen.
Mittel zur Lösung der Probleme
Eine Widerstandseinheit gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist wie folgt gekennzeichnet. Die Widerstandseinheit schließt einen Widerstand und wenigstens ein Paar Elektrodenschichten ein, das auf dem Widerstand gebildet ist. In wenigstens einer der Elektrodenschichten ist in einem Bereich in einem Bildungsbereich der Elektrodenschicht ein Entnahmeteil zum Trimmen gebildet, wobei der Bereich eine Umfangskante ausschließt.
Gemäß einer solchen Erfindung kann eine Widerstandseinheit bereitgestellt werden, die Isolierung gewährleistet und sehr zuverlässig ist. Es ist in Ordnung, wenn die Widerstandseinheit unabhängig von ihren Eigenschaften Widerstand aufweist, und Beispiele dafür schließen einen ein, der lediglich elektrischen Widerstand aufweist, und ein Thermistor oder ein Varistor, der einen negativen oder positiven Temperaturkoeffizienten als eine wärmeempfindliche Widerstandseinheit aufweist.
Eine Vorrichtung, die mit einer Widerstandseinheit gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bereitgestellt ist, ist dadurch gekennzeichnet, dass sie die vorgenannte Widerstandseinheit einschließt.
Die Widerstandseinheit kann passend bereitgestellt und in verschiedenen Vorrichtungen eingesetzt werden, die eine hochpräzise Steuerung erfordern, wie z.B. in einem Haushaltsgerät, wie z.B. einer Klimaanlage, einem Kühlschrank oder einem Wassererhitzer, oder in einer fahrzeugeigenen Vorrichtung eines Automobils oder dergleichen. Die Vorrichtung, in der die Widerstandseinheit insbesondere verwendet wird, ist nicht beschränkt.
Ein Herstellungsverfahren für eine Widerstandseinheit gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein Herstellungsverfahren für eine Widerstandseinheit einschließend einen Widerstand, in dem ein Paar von Elektrodenschichten gebildet ist. Das Herstellungsverfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass es den folgenden Prozess einschließt. In einem Bildungsbereich der Elektrodenschicht wird eine Umfangskante belassen, in einem Bereich ausschließend die Umfangskante wird ein Entnahmeteil zum Trimmen gebildet, und ein Widerstandswert wird eingestellt.
Obwohl passend ein Laserstrahl aus einer Laserbearbeitungsmaschine verwendet wird, um das Entnahmeteil zum Trimmen zu bilden, kann z.B. auch Sandstrahlen oder eine Klinge verwendet werden, und die Mittel zum Bilden des Entnahmeteils sind nicht besonders begrenzt.
Wirkungen der Erfindung
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann eine Widerstandseinheit, die Isolierung gewährleistet, Beschädigung unterdrückt und sehr zuverlässig ist, ein Herstellungsverfahren dafür und eine mit einer Widerstandseinheit bereitgestellten Vorrichtung bereitgestellt werden.
Figurenliste

1 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Widerstandseinheit gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
2 ist eine Draufsicht, die die Widerstandseinheit zeigt.
3 ist eine Querschnittsansicht entlang Linie X-X in 2.
4 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem ein Leitungsdraht mit der Widerstandseinheit verbunden ist.
5 ist eine Vorderansicht, die einen Zustand zeigt, in dem ein Leitungsdraht mit der Widerstandseinheit verbunden ist.
6 ist eine Seitenansicht, die einen Zustand zeigt, in dem ein Leitungsdraht mit der Widerstandseinheit verbunden ist.
7 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem die Widerstandseinheit abgedichtet ist.
8 ist eine Querschnittsansicht, die einen Zustand zeigt, nachdem ein Leitungsdraht mit der Widerstandseinheit verbunden wurde.
9 sind Fotografien, die einen Zustand einer Rundung durch Löten zeigen, nachdem ein Leitungsdraht mit der Widerstandseinheit verbunden wurde, wobei 9(a) die vorliegende Ausführungsform und 9(b) ein Vergleichsbeispiel zeigt.
10 ist ein Graph, der eine Beziehung zwischen Trimmungsentnahmebereich und Widerstandswertänderung zeigt.
11 ist eine Draufsicht, die eine Modifikation eines Entnahmeteils zum Trimmen zeigt.
12 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Widerstandseinheit eines anderen Typs als den der Widerstandseinheit (Beispiel 1) zeigt.
13 ist eine Draufsicht und eine Seitenansicht, die eine Widerstandseinheit eines anderen Typs als den der Widerstandseinheit (Beispiel 2) zeigt.
14 ist eine Draufsicht, die eine Widerstandseinheit eines herkömmlichen Beispiels zeigt.
15 ist eine Querschnittsansicht entlang Linie X-X in 14.

BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Nachfolgend wird eine Widerstandseinheit gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf 1 bis 3 beschrieben, die die Widerstandseinheit schematisch zeigen. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die die Widerstandseinheit zeigt, 2 ist eine Draufsicht, die die Widerstandseinheit zeigt, und 3 ist eine Querschnittsansicht entlang Linie X-X in 2. In jeder Zeichnung ist der Maßstab der einzelnen Elemente entsprechend geändert, um die Größe von jedem Element erkennbar zu machen.
Wie in 1 gezeigt, ist eine Widerstandseinheit 1 ein Thermistor mit wärmeempfindlicher Leistung und schließt einen wärmeempfindlichen Sinterkörper 2 als einen wärmeempfindlichen Widerstand und ein Paar von Elektrodenschichten 3a und 3b, die auf beiden Seiten des wärmeempfindlichen Sinterkörpers 2 gebildet sind, ein. In wenigstens einer der Elektrodenschichten 3a und 3b ist ein Entnahmeteil 11 zum Trimmen gebildet.
Der wärmeempfindliche Sinterkörper 2 ist in einer im Wesentlichen rechteckigen Parallelepipedform gebildet, besteht aus zwei oder mehr Elementen, die aus Übergangsmetallelementen wie z.B. Mangan (Mn), Nickel (Ni), Kobalt (Co), Eisen (Fe), Yttrium (Y), Chrom (Cr), Kupfer (Cu) und Zink (Zn) ausgewählt sind, und besteht aus einem Oxid-Thermistormaterial, das als eine Hauptkomponente ein zusammengesetztes Metalloxid mit einer Kristallstruktur enthält. Eine Teilkomponente kann enthalten sein, um Eigenschaften oder ähnliches zu verbessern. Die Zusammensetzung und der Inhalt der Hauptkomponente und der Teilkomponente können entsprechend den gewünschten Eigenschaften passend bestimmt werden.
Der wärmeempfindliche Sinterkörper 2 kann aus Silizium (Si) -basierten Keramiken wie z.B. Siliziumkarbid (SiC) und Siliziumnitrid (Si₃N₄) zusammengesetzt sein. Ferner ist die Form des wärmeempfindlichen Sinterkörpers 2 nicht auf die im Wesentlichen rechteckige Parallelepipedform beschränkt und kann passend aus einer Scheibenform, einer polygonalen Form oder ähnlichem ausgewählt werden.
Das Paar von Elektrodenschichten 3a und 3b wird gebildet, indem es im Wesentlichen auf die gesamte Oberfläche einer Seite des wärmeempfindlichen Sinterkörpers 2 und der anderen Seite, die der einen Seite zugewandten ist, laminiert wird. Die Elektrodenschichten 3a und 3b enthalten ein Edelmetall oder ein Edelmetalloxid, wie z.B. Silber (Ag), Gold (Au), Platin (Pt), Palladium (Pd), Osmium (Os), Iridiumoxid (IrO₂), Rhodiumoxid (Rh₂O₃) und Rutheniumoxid (RuO₂). Die Elektrodenschichten 3a und 3b weisen eine Dicke von etwa 1 µm auf.
Das Entnahmeteil 11 zum Trimmen ist auf einer Oberflächenseite (Elektrodenschicht 3a) der Elektrodenschichten 3a und 3b gebildet. Das Entnahmeteil 11 zum Trimmen wird durch Laserstrahlbestrahlung mit einer Laserbearbeitungsmaschine gebildet. Insbesondere ist ein Bildungsbereich der Elektrodenschichten 3a und 3b im Wesentlichen die gesamte Oberfläche beider Seiten des wärmeempfindlichen Sinterkörpers 2. Das Entnahmeteil 11 zum Trimmen wird auf einer Oberflächenseite (Elektrodenschicht 3a) und in einem Bereich in dem Bildungsbereich gebildet, in dem eine Umfangskante verbleibt und die Umfangskante aus dem Bereich ausgeschlossen ist.
In der vorliegenden Ausführungsform ist das Entnahmeteil 11 zum Trimmen in einer linearen Form in einer vertikalen Richtung in der Zeichnung in einem im Wesentlichen zentralen Teil des Bildungsbereichs der Elektrodenschicht 3a gebildet. Dementsprechend erreicht das Entnahmeteil 11 zum Trimmen wenigstens kein Ende an einer äußersten Umfangskante in dem Bildungsbereich der Elektrodenschicht 3a und wird ohne Entnahme des Endes gebildet.
Genauer gesagt überschreitet eine Tiefenabmessung des Entnahmeteils 11 zum Trimmen die Elektrodenschicht 3a und erreicht den wärmeempfindlichen Sinterkörper 2, der ein Widerstand ist, und es wird ein Zustand erreicht, in dem ein Abschnitt einer oberen Oberfläche des wärmeempfindlichen Sinterkörpers 2 entnommen wird. Eine Dickenabmessung der Widerstandseinheit 1 beträgt etwa 240 µm bis 360 µm und ist auf 300 µm ausgelegt. Das Entnahmeteil 11 weist eine Breitenabmessung von etwa 20 µm bis 80 µm und eine Tiefenabmessung von etwa 5 µm bis 180 µm auf. Die Tiefenabmessung ist vorzugsweise innerhalb von 50 % der Dickenabmessung festgelegt.
Gemäß einer solchen Konfiguration ist ein Widerstandswert der Widerstandseinheit 1 hauptsächlich umgekehrt proportional zur Fläche der Elektrodenschichten 3a und 3b. Somit wird eine Abmessung oder eine Breitenabmessung des Entnahmeteils 11 zum Trimmen passend eingestellt, die Fläche des Entnahmeteils 11 zum Trimmen wird eingestellt, und das Entnahmeteil 11 zum Trimmen kann gebildet werden. Dementsprechend ist es möglich, den Widerstandswert der Widerstandseinheit 1 einzustellen und Schwankung in jeder Widerstandseinheit 1 zu korrigieren.
Da in dem Bildungsbereich der Elektrodenschichten 3a und 3b das Entnahmeteil 11 zum Trimmen in dem Bereich ausschließend die Umfangskante gebildet wird, während die Umfangskante belassen wird, wenn das Entnahmeteil 11 zum Trimmen wie oben beschrieben auf herkömmliche Weise gebildet wird, kann vermieden werden, dass eine Metallkomponente der Elektrodenschichten 3a und 3b streut und an einer Seitenfläche haftet, freilegend den wärmeempfindlichen Sinterkörper 2. Dementsprechend kann Isolation sichergestellt und Zuverlässigkeit verbessert werden.
Das Entnahmeteil zum Trimmen wird vorzugsweise durch eine Entnahme von der Elektrodenschicht zu dem wärmeempfindlichen Sinterkörper gebildet. Es ist jedoch in Ordnung, nur die Elektrodenschicht zu entnehmen, ohne den wärmeempfindlichen Sinterkörper zu entnehmen. Das Entnahmeteil zum Trimmen kann auf beiden Seiten der Elektrodenschicht gebildet sein. Die Form (Gestalt) des Entnahmeteils kann eine lineare Form, eine gebogene Form, eine punktförmige Form oder eine kreisförmige Form sein und ist nicht auf eine bestimmte Form beschränkt. In dem Entnahmeteil kann die Anzahl der linearen Form vielfach sein, die Anzahl der Punkte kann ausgewählt werden, oder die Größe der kreisförmigen Form kann geändert werden, und die Fläche des Entnahmeteils kann eingestellt werden.
Als nächstes wird unter Bezugnahme auf 4 bis 9 ein Zustand beschrieben, in dem ein Leitungsdraht mit der obigen Widerstandseinheit 1 verbunden ist. 4 bis 6 zeigen einen Zustand, bevor der Leitungsdraht mit der Widerstandseinheit verbunden wird. 4 ist eine perspektivische Ansicht, 5 ist eine Vorderansicht und 6 ist eine Seitenansicht. 7 zeigt einen Zustand, in dem die Widerstandseinheit abgedichtet ist, nachdem der Leitungsdraht mit der Widerstandseinheit verbunden wurde, und 8 ist eine Querschnittsansicht, die einen Zustand zeigt, in dem der Leitungsdraht mit der Widerstandseinheit verbunden wurde.
Wie in 4 bis 6 gezeigt, ist ein Leitungsdraht 4 paarweise bereitgestellt, und eine Spitze davon ist so gebogen, dass sie die Elektrodenschichten 3a und 3b berührt, um ein Verbindungsteil 41 zu bilden. Der Leitungsdraht 4 weist z.B. eine quadratische Form im Querschnitt auf, und als ein Material davon wird passend eine verzinnte Legierung 42 verwendet. Als das Material des Leitungsdrahtes 4 kann Kupfer (Cu), Eisen (Fe), Chrom (Cr), Nickel (Ni), Aluminium (Al), Zink (Zn), Titan (Ti) oder eine Legierung, die wenigstens eines der vorgenannten enthält, verwendet werden. Der Verbindungsteil 41 des Leitungsdrahtes 4 wird auf diese Weise durch Löten mit den Elektrodenschichten 3a und 3b verbunden und mit diesen elektrisch angeschlossen.
Wie in 7 gezeigt, ist die Widerstandseinheit 1, mit der der Leitungsdraht 4 verbunden ist, durch ein Dichtungsmaterial 5 abgedichtet. Das Dichtungsmaterial 5 bedeckt und schützt eine Verbindungsstelle des wärmeempfindlichen Sinterkörpers 2 und des Leitungsdrahtes 4, und ein isolierendes Harz, wie z.B. ein Epoxidharz mit einer hohen Wärmebeständigkeitstemperatur, wird dafür verwendet. Dementsprechend ist die Verbindungsstelle des wärmeempfindlichen Sinterkörpers 2 und des Leitungsdrahtes 4 selbst bei Verwendung in einer Hochtemperaturumgebung wirksam geschützt.
Wie in 8 gezeigt, ist der Leitungsdraht 4 mit den Elektrodenschichten 3a und 3b der Widerstandseinheit 1 durch das Lötteil 6 durch Löten verbunden und elektrisch angeschlossen. In 8 ist das Dichtungsmaterial 5 nicht abgebildet.
Der Leitungsdraht 4 ist so angeordnet und verlötet, um das Entnahmeteil 11 zum Trimmen zu überspannen. Deshalb kann die Verbindung des Leitungsdrahtes 4 sichergestellt werden.
Wenn das Entnahmeteil 11 zum Trimmen geformt wird, kann eine leitfähige Substanz M, wie z.B. eine Metallkomponente der Elektrodenschicht 3a, streuen und an einer Unterseite des Entnahmeteils 11 haften. In diesem Fall, wenn das Entnahmeteil 11 nur die Elektrodenschicht 3a einschließt, da die Dickenabmessung der Elektrodenschicht 3a so klein wie etwa 1 µm ist, wenn das Lötteil 6 seine Form aufgrund von Wärmeausdehnung ändert, gibt es eine Möglichkeit, dass ein Lötmaterial in das Entnahmeteil 11 eindringt und sich der Widerstandswert ändert. Da jedoch bei der vorliegenden Ausführungsform das Entnahmeteil 11 zum Trimmen durch eine Entnahme von der Elektrodenschicht 3a zu dem wärmeempfindlichen Sinterkörper 2 gebildet wird, kann das Lötmaterial, selbst wenn das Lötteil 6 seine Form aufgrund von Wärmeausdehnung ändert, daran gehindert werden, die leitfähige Substanz M wie z.B. eine Metalloxidkomponente und eine Metallkomponente, die an dem Boden des Entnahmeteils 11 haftet, zu kontaktieren. Dementsprechend kann ein Problem, dass sich der Widerstandswert ändern kann, vermieden werden.
Ferner wird eine Rundung durch Löten auch unter Bezugnahme auf 9 beschrieben. 9 sind Fotografien, die gesehen in Richtung des Pfeils A in 6 gezeigt werden. Wie in 9(a) in der vorliegenden Ausführungsform gezeigt, erreicht die Rundung durch Löten, d.h. die Form des Lötteils 6, das sich in Richtung der Unterseite ausbreitet, eine gute Form, die im Wesentlichen auf der linken und rechten Seite gleich ist. Im Gegensatz wird in dem in 9(b) gezeigten Vergleichsbeispiel, da eine Umfangskante einer Elektrode durch Trimmen entnommen wird, wie in 14 und 15 gezeigt, eine Seite der Rundung zu einer vertieften Form Rs geformt, an der Lot nicht haftet. Dementsprechend besteht in dem Vergleichsbeispiel ein Risiko, dass ein Problem wie z.B. ein Leitungsversagen oder Abfallen einer Widerstandseinheit 10 auftreten kann.
In der vorliegenden Ausführungsform kann eine Rundung mit einer guten Form gebildet werden, die derjenigen entspricht, bei der das Entnahmeteil 11 zum Trimmen nicht gebildet wird, und das Problem wie z.B. Leitungsversagen oder Abfallen der Widerstandseinheit 1 vermieden werden kann.
Als nächstes wird eine Beziehung zwischen der Fläche des Entnahmeteils 11 zum Trimmen und Ändern (Einstellung) des Widerstandswerts unter Bezugnahme auf 10 beschrieben. Insbesondere wird die Fläche des Entnahmeteils 11 zum Trimmen durch die Anzahl der Entnahmeteile 11 in einer linearen Form dargestellt, und Ändern (Einstellung) des Widerstandswerts stellt ein Verhältnis der Zunahme des Widerstandswerts als eine Widerstandswertverschiebung ΔR dar. Dementsprechend zeigt die horizontale Achse die Anzahl der Trimmungen [Anzahl] und die vertikale Achse die Widerstandswertverschiebung ΔR [%] an.
Als Probe einer Widerstandseinheit werden fünf Proben, nämlich Nr. 1 bis Nr. 5, hergestellt, und das Verhältnis der Erhöhung des Widerstandswerts wird gemessen. Die Proben Nr. 1 bis Nr. 5 sind in Draufsicht gezeigt, in der jeweils ein bis fünf Entnahmeteile 11 in einer linearen Form gebildet sind.
Wie in der Zeichnung gezeigt, ist es bekannt, dass der Widerstandswert proportional zur Anzahl der Entnahmeteile 11 zunimmt. D.h., wenn er Bereich des Entnahmeteils 11 zunimmt, erhöht sich der Widerstandswert. Dementsprechend kann durch Einstellen des Bereichs des Entnahmeteils 11 der Widerstandswert eingestellt und die Schwankung des Widerstandswertes der Widerstandseinheit 1 korrigiert werden.
11 zeigt eine Modifikation des Entnahmeteils 11 zum Trimmen. 11 ist eine Draufsicht, die eine Widerstandseinheit zeigt, die ein Muster zeigt, in dem das Entnahmeteil 11 zum Trimmen in einer punktartigen Form gebildet ist. Das Entnahmeteil 11 in einer punktartigen Form ist in einer Vielzahl Reihen, insbesondere in drei Reihen, gebildet. Selbst bei einem solchen Muster können die gleichen Effekte wie die der obigen Ausführungsform erzielt werden.
Als nächstes wird ein Herstellungsverfahren für eine Widerstandseinheit der vorliegenden Ausführungsform, insbesondere ein Verfahren zur Einstellung des Widerstandswerts durch Trimmen, beschrieben.
In dem wärmeempfindlichen Sinterkörper 2 als Widerstand, in dem das Paar von Elektrodenschichten 3a und 3b gebildet wird, wird das Entnahmeteil 11 zum Trimmen gebildet und der Widerstandswert wird eingestellt.
Wenn das Entnahmeteil 11 zum Trimmen gebildet wird, wird die Bildung durch Laserstrahlbestrahlung unter Verwendung einer Laserbearbeitungsmaschine durchgeführt. Dementsprechend ist der folgende Prozess eingeschlossen. In dem Bildungsbereich der Elektrodenschichten 3a und 3b wird die Umfangskante belassen, der Bereich ausschließend die Umfangskante wird mit einem Laserstrahl bestrahlt und das Entnahmeteil 11 zum Trimmen wird gebildet, und der Widerstandswert wird eingestellt.
Die Laserbearbeitungsmaschine ist mit einem XY-Achsen-Servomotor ausgestattet. Der XY-Achsen-Servomotor wird von einer Steuervorrichtung so gesteuert, dass sich ein Laserbestrahlungskopf in einer Richtung der XY-Achse durch Antreiben des XY-Achsen-Servomotors bewegt. Dementsprechend ist es möglich, den Freiheitsgrad bei der Auswahl der Form (Gestalt) des zu Trimmenden Teils 11 zu erhöhen.
Obwohl passend ein Laserstrahl zum Bilden des Entnahmeteils 11 zum Trimmen verwendet wird, kann z.B. auch Sandstrahlen oder eine Klinge verwendet werden, und das Mittel zur Bildung ist nicht besonders begrenzt.
Nachfolgend wird eine Widerstandseinheit eines anderen Typs als den der obigen Ausführungsform unter Bezugnahme auf 12 und 13 beschrieben. 12 zeigt eine perspektivische Ansicht der Widerstandseinheit, und 13 zeigt eine Draufsicht und eine Seitenansicht der Widerstandseinheit. Gleiche oder gleichwertige Abschnitte wie die der obigen Ausführungsform sind mit den gleichen Bezugsziffern versehen, und wiederholte Beschreibungen werden weggelassen.
(Beispiel 1)
In 12 sind die Elektrodenschichten 3a und 3b so gebildet, dass sie sich von einer Seite bis zu vier Seiten in einer Längsrichtung in der Zeichnung erstrecken, um beide Seiten des wärmeempfindlichen Sinterkörpers 2 zu bedecken. In der Elektrodenschicht 3a ist auf einer Seite eine Vielzahl Entnahmeteile 11 zum Trimmen in einer kreisförmigen Form gebildet. D.h., in dem Bildungsbereich der Elektrodenschicht 3a, einschließend die eine Seite und die vier Seiten, die sich in der Längsrichtung von der einen Seite erstrecken, wird das Entnahmeteil zum Trimmen in dem Bereich ausschließend die Umfangskante gebildet. Die vier Seiten des wärmeempfindlichen Sinterkörpers 2 in der Längsrichtung können isolierend mit einer Glasbeschichtung oder ähnlichem beschichtet sein. In diesem Fall befindet sich ein freiliegender Abschnitt des wärmeempfindlichen Sinterkörpers 2 in einem Zustand, in dem er isolierend mit der Glasbeschichtung oder dergleichen beschichtet ist.
(Beispiel 2)
13 zeigt, dass die Widerstandseinheit 1, mit der Leitungsdraht 4 verbunden ist, durch einen Harzfilm 5a, der ein isolierendes Harz ist, als Dichtungsmaterial abgedichtet ist. Der Harzfilm 5a bedeckt und schützt die Widerstandseinheit 1 und einen Abschnitt des Leitungsdrahtes 4. Als der Harzfilm 5a wird z.B. ein Polyethylenterephthalat (PET) -Film verwendet.
Gemäß jedem der oben beschriebenen Beispiele können die gleichen Effekte wie die der obigen Ausführungsform erzielt werden.
Es ist in Ordnung, wenn die Widerstandseinheit unabhängig von ihren Eigenschaften Widerstand hat, und Beispiele dafür schließen einen, der lediglich elektrischen Widerstand hat, und einen Thermistor oder einen Varistor, der einen negativen oder positiven Temperaturkoeffizienten als wärmeempfindliche Widerstandseinheit aufweist, ein.
Die obige Widerstandseinheit kann passend bereitgestellt und in verschiedenen Vorrichtungen eingesetzt werden, die eine hochpräzise Steuerung erfordern, wie z.B. in einem Haushaltsgerät wie z.B. einer Klimaanlage, einem Kühlschrank oder einem Wassererhitzer oder in einer fahrzeugeigenen Vorrichtung eines Automobils oder dergleichen. Die Vorrichtung, in der die Widerstandseinheit insbesondere verwendet wird, ist nicht beschränkt.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Konfiguration in der obigen Ausführungsform beschränkt und kann auf verschiedene Weisen modifiziert werden, ohne von dem Kern der Erfindung abzuweichen. Die obige Ausführungsform ist als ein Beispiel vorgestellt und ist nicht beabsichtigt, den Umfang der Erfindung zu begrenzen. Diese neuen Ausführungsformen können in anderen verschiedenen Formen implementiert werden und können weggelassen, ersetzt oder auf verschiedene Weisen verändert werden. Diese Ausführungsformen und Modifikationen davon sind in dem Umfang und Kern der Erfindung eingeschlossen und sind auch in dem Umfang der in den Ansprüchen beschriebenen Erfindung und deren gleichwertigem Umfang eingeschlossen.
Bezugszeichenliste

1: Widerstandseinheit
2: Widerstand (wärmeempfindlicher Sinterkörper)
3a, 3b: Elektrodenschicht
4: Leitungsdraht
5: Dichtungsmaterial
6: Lötteil
11: Entnahmeteil zum Trimmen

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP S5654321 [0003]
JP S57206003 [0003]
JP H258803 [0003]
JP H677007 [0003]
JP 200422672 [0003]

Claims

Widerstandseinheit, umfassend: einen Widerstand; und wenigstens ein Paar von Elektrodenschichten, das auf dem Widerstand gebildet ist, wobei in wenigstens einer der Elektrodenschichten ein Entnahmeteil zum Trimmen in einem Bereich in einem Bildungsbereich der Elektrodenschicht gebildet ist, wobei der Bereich eine Umfangskante ausschließt.
Widerstandseinheit gemäß Anspruch 1, wobei der Widerstand ein wärmeempfindlicher Widerstand ist.
Widerstandseinheit gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei eine Tiefenabmessung des Entnahmeteils zum Trimmen durch eine Entnahme von der Elektrodenschicht zu dem Widerstand gebildet wird.
Widerstandseinheit gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Entnahmeteil zum Trimmen eine lineare Form oder eine gekrümmte Form aufweist.
Widerstandseinheit gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Entnahmeteil zum Trimmen eine punktförmige Form aufweist.
Widerstandseinheit gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei ein Leitungsdraht mit dem Paar von Elektrodenschichten durch Löten verbunden ist.
Widerstandseinheit gemäß Anspruch 6, wobei der Leitungsdraht so angeschlossen ist, dass er das Entnahmeteil zum Trimmen überspannt.
Widerstandseinheit gemäß Anspruch 6 oder 7, wobei eine Verbindungsstelle des Widerstands und des Leitungsdrahts mit einem Dichtungsmaterial bedeckt ist, das ein isolierendes Harz umfasst.
Vorrichtung, bereitgestellt mit einer Widerstandseinheit, umfassend die Widerstandseinheit gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8.
Herstellungsverfahren für eine Widerstandseinheit, wobei die Widerstandseinheit einen Widerstand umfasst, in dem ein Paar von Elektrodenschichten gebildet ist, wobei das Herstellungsverfahren umfasst: Belassen einer Umfangskante in einem Bildungsbereich der Elektrodenschicht, Bilden eines Entnahmeteils zum Trimmen in einem Bereich ausschließend die Umfangskante, und Einstellen eines Widerstandswerts.
Herstellungsverfahren für eine Widerstandseinheit gemäß Anspruch 10, wobei eine Laserbearbeitungsmaschine verwendet wird, die mit einem XY-Achsen-Servomotor ausgestattet ist.