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Technisches Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung betrifft allgemein eine dielektrische Keramik
und einen diese verwendenden Mehrschicht-Keramikkondensator und
betrifft insbesondere eine dielektrische Keramik, die eine hohe
Curie-Temperatur aufweist und die stabil bei einer hohen Temperatur
von etwa 175° verwendet werden kann, sowie einen die vorstehende
dielektrische Keramik verwendenden Mehrschicht-Keramikkondensator.
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Stand der Technik
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Ein
Mehrschicht-Keramikkondensator, der eine vorrangige Anwendung der
vorliegenden Erfindung ist, wird allgemein wie nachstehend beschrieben
hergestellt.
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Zunächst
werden keramische Grünfolien erzeugt, die ein dielektrisches
Keramikrohmaterial umfassen und deren Oberflächen mit einem
leitenden Material versehen sind, das zu Innenelektroden auszubilden
ist, die jeweils ein Sollmuster aufweisen. Als dielektrische Keramik
kann zum Beispiel eine dielektrische Keramik verwendet werden, die
eine BaTiO3-basierte Verbindung als Hauptbestandteil
umfasst.
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Als
Nächstes werden mehrere keramische Grünfolien,
die die vorstehend beschriebenen keramischen Grünfolien
umfassen und jeweils mit dem leitenden Material versehen sind, miteinander
laminiert und werden thermisch verbunden, so dass ein integriertes
grünes Laminat gebildet wird.
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Anschließend
wird durch Brennen dieses grünen Laminats ein gesintertes
Keramiklaminat erhalten. In diesem Keramiklaminat sind Innenelektroden,
die aus dem vorstehend beschriebenen leitenden Material bestehen,
ausgebildet.
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Als
Nächstes werden Außenelektroden auf Außenflächen
des Keramiklaminats so gebildet, dass sie mit den jeweiligen Innenelektroden
elektrisch verbunden sind. Die Außenelektroden werden zum
Beispiel durch Aufbringen einer leitenden Paste, die ein leitendes
Metallpulver und eine Glasfritte umfasst, auf die Außenflächen
des Laminats, gefolgt von Brennen gebildet. Durch den vorstehend
beschriebenen Vorgang wird ein Mehrschicht-Keramikkondensator gebildet.
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Als
dielektrische Keramik, die für einen Mehrschicht-Keramikkondensator
geeignet ist, kann zum Beispiel eine bariumtitanat-basierte Keramik
(BaTiO
3) erwähnt werden. Zum Beispiel
ist in der ungeprüften
japanischen
Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 03-040962 (nachstehend
als ”Patentschrift 1” bezeichnet) eine dielektrische
Keramik offenbart, die Bariumtitanat als Hauptbestandteil und SnO
2, Bi
2O
3,
MgO, SiO
2, La
2O
3, Sm
2O
3 sowie
Nd
2O
3 als Zusatzbestandteil
umfasst.
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Da
aber die in Patentschrift 1 offenbarte dielektrische Keramik eine
niedrige Curie-Temperatur von –20 bis 15°C aufweist,
steigt ihre Dielektrizitätskonstante schnell mit steigender
Temperatur an und es gibt das Problem, dass die vorstehende dielektrische
Keramik nicht in einem Bereich hoher Temperatur verwendet werden kann.
Da insbesondere ein Mehrschicht-Keramikkondensator in jüngster
Zeit für Kraftfahrzeuganwendungen genutzt wird, ist es
wünschenswert, dass der Mehrschicht-Keramikkondensator
stabil bei einer hohen Temperatur von etwa 175°C verwendet
werden kann. Demgemäß liegt die Curie-Temperatur
vorzugsweise mindestens bei 130°C oder mehr.
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Dementsprechend
wird in der internationalen Veröffentlichungsschrift
WO 2005/075377 (nachstehend als „Patentschrift
2” bezeichnet) eine dielektrische Keramikzusammensetzung
offenbart, die eine Perowskit-Verbindung umfasst, die durch die
Zusammensetzungsformel: (Ba, Sn)TiO
3 als
Hauptbestandteil dargestellt ist und die eine Curie-Temperatur von
130°C oder mehr aufweist.
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Da
sich bei der in Patentschrift 2 offenbarten dielektrischen Keramikzusammensetzung
Sn in der Ba-Stelle als bivalentes kationisches Element befindet,
wird die Curie-Temperatur der Keramik auf 130°C oder mehr
angehoben.
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Da
im Allgemeinen tetravalentes kationisches Sn in einem stabilen Zustand
versetzt ist, befindet sich Sn für gewöhnlich
bei einer bariumtitanat-basierten Keramik in der Ti-Stelle. Wenn
Ti von Bariumtitanat durch Sn ersetzt wird, wie von K. Okazaki, „Ceramic
Dielectric Technologies", 3. Band, Seiten 281 bis 283,
veröffentlicht von Gakken-sha (nachstehend als „Nichtpatentschrift
1” bezeichnet) offenbart wird, sinkt eine Curie-Temperatur
von 120°C, die erhalten wird, wenn Ti nicht durch Sn ersetzt
wird, auf Raumtemperatur oder weniger beträchtlich ab.
Man meint auch, dass der Grund, warum die in Patentschrift 1 offenbarte
dielektrische Keramik eine niedrige Curie-Temperatur hat, darin
liegt, dass Sn sich in der Ti-Stelle als tetravalentes kationisches
Element befindet.
- Patentschrift 1: ungeprüfte japanische Patentanmeldungsveröffentlichung
Nr. 3-040962
- Patentschrift 2: internationale Veröffentlichungsschrift WO 2005/075377
- Nichtpatentschrift 1: K. Okazaki, „Ceramic
Dielectric Technologies", 3. Band, Seiten 281–283,
veröffentlicht von Gakken-sha
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Offenlegung der Erfindung
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Durch die Erfindung zu lösende
Probleme
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Da
sich gemäß Patentschrift 2 Sn in der Ba-Stelle
als bivalentes kationisches Element befindet, wird eine hohe Curie-Temperatur
erhalten. Wenn aber die Temperatur hoch ist, beispielsweise etwa
175°C, wird es schwierig für die Eigenschaften
statische Kapazität-Temperatur, X9R zu erfüllen
(wobei die Änderung der statischen Kapazität in
dem Bereich von –55 bis 175°C bezüglich
einer statischen Kapazität bei 25°C, die als Referenz
verwendet wird, innerhalb von ±15% festgelegt ist).
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Im
Hinblick auf das vorstehend beschriebene Problem wurde die vorliegende
Erfindung entwickelt, und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung
besteht darin, eine dielektrische Keramik, die eine hohe Curie-Temperatur
aufweist, die selbst bei einer hohen Temperatur von etwa 175°C
stabile Eigenschaften aufweist und die die X9R-Eigenschaften erfüllt,
sowie einen die vorstehende dielektrische Keramik verwendenden Mehrschicht-Keramikkondensator
vorzusehen.
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Mittel zum Lösen der Probleme
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D.
h. eine dielektrische Keramik der vorliegenden Erfindung umfasst
eine Perowskit-Verbindung, die durch die Zusammensetzungsformel
(Ba1-x-yCaxSny)m(Ti1-zZrz)O3 (wobei x, y,
z und m 0 ≤ x ≤ 0,20, 0,02 ≤ y ≤ 0,20,
0 ≤ z ≤ 0,05 bzw. 0,990 ≤ m ≤ 1,015
erfüllen) wiedergegeben wird, als Hauptbestandteil; und
RE als Zusatzbestandteil (wobei RE mindestens eines gewählt
aus der Gruppe bestehend aus Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb,
Dy, Ho, Er, Tm, Yb und Lu ist), und bei der vorstehenden dielektrischen
Keramik sind 0,5 bis 20 Molteile RE auf 100 Molteile des Hauptbestandteils
enthalten.
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Zudem
erfüllt bei der erfindungsgemäßen dielektrischen
Keramik der Anteil x von Ca in dem Hauptbestandteil vorzugsweise:
0,02 ≤ x ≤ 0,20.
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Zudem
liegt bei der erfindungsgemäßen dielektrischen
Keramik die Curie-Temperatur derselben vorzugsweise bei 130°C
oder mehr.
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Weiterhin
umfasst die erfindungsgemäße dielektrische Keramik
vorzugsweise weiter 0,02 bis 1 Molteil von mindestens einem Element
gewählt aus der Gruppe bestehend aus Mn und V als Zusatzbestandteil
auf 100 Molteile des Hauptbestandteils.
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Zudem
umfasst die erfindungsgemäße dielektrische Keramik
vorzugsweise weiterhin 0,3 bis 4 Molteile von mindestens einem Element
gewählt aus der Gruppe bestehend aus Mg, Ni und Zn als
Zusatzbestandteil auf 100 Molteile des Hauptbestandteils.
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Weiterhin
umfasst die erfindungsgemäße dielektrische Keramik
vorzugsweise weiter 0,2 bis 5 Molteile Si als Zusatzbestandteil
auf 100 Molteile des Hauptbestandteils.
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Ferner
ist die vorliegende Erfindung auch auf einen Mehrschicht-Keramikkondensator
gerichtet, der eine der vorstehend beschriebenen dielektrischen
Keramiken verwendet.
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D.
h. ein Mehrschicht-Keramikkondensator der vorliegenden Erfindung
umfasst ein Keramiklaminat, das mehrere miteinander laminierte Keramikschichten
und mehrere geschichtete Innenelektroden, die entlang Grenzflächen
zwischen den Keramikschichten ausgebildet sind, aufweist; und mehrere
mit den Innenelektroden elektrisch verbundene Außenelektroden,
die zu Oberflächen des Keramiklaminats hin freiliegen.
Bei dem vorstehenden Mehrschicht-Keramikkondensator umfassen die
Keramikschichten eine der vorstehend beschriebenen dielektrischen
Keramiken.
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Ferner
umfassen bei dem erfindungsgemäßen Mehrschicht-Keramikkondensator
die Innenelektroden vorzugsweise Ni als Hauptbestandteil.
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Vorteile
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Da
erfindungsgemäß bei der dielektrischen Keramik,
die eine bariumtitanat-basierte Verbindung als Hauptbestandteil
umfasst, die Ba-Stelle teilweise durch bivalentes kationisches Sn
ersetzt ist, wird die Curie-Temperatur auf 130°C oder mehr
angehoben. Erwähnenswert ist, dass, da die erfindungsgemäße
dielektrische Keramik weiterhin ein Seltenerdelement RE als Zusatzbestandteil
umfasst, eine Änderungskurve der Dielektrizitätskonstante
mit Temperatur bis zu einer hohen Temperatur von etwa 175°C
gleichmäßig gehaltern wird und dadurch die Eigenschaften
von statischer Kapazität-Temperatur die X9R erfüllen
können.
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Wenn
ferner bei der erfindungsgemäßen dielektrischen
Keramik die Ba-Stelle weiterhin teilweise durch Ca ersetzt wird,
selbst wenn die reduzierende Atmosphäre des Brennens auf
einen Sauerstoffpartialdruck von etwa 10–10 bis
10–12 MPa beschränkt wird,
befindet sich Sn mit ausreichender Wahrscheinlichkeit als bivalentes
kationisches Element in der Ba-Stelle. Da demgemäß der
Freiheitsgrad der Brennbedingungen erhöht wird, können
die dielektrischen Eigenschaften mühelos durch Anpassen
der Brennbedingungen geändert werden.
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Wenn
zudem die erfindungsgemäße dielektrische Keramik
als Zusatzbestandteil mindestens eines von Mn und V, mindestens
eines von Mg, Ni und Zn oder Si umfasst und wenn die erfindungsgemäße
dielektrische Keramik für einen Mehrschicht-Keramikkondensator
verwendet wird, bei dem Innenelektroden vorrangig aus Ni bestehen,
können ein ausgezeichneter Isolierwiderstand und eine ausgezeichnete
Zuverlässigkeit sichergestellt werden.
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Wie
aus dem vorstehend Beschriebenen hervorgeht kann bei Verwenden der
erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik ein Mehrschicht-Keramikkondensator
erhalten werden, der bei einer hohen Temperatur, zum Beispiel bei
Kraftfahrzeuganwendungen, geeignet verwendet wird.
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Kurzbeschreibung der Zeichnungen
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1 ist
eine Querschnittansicht, die schematisch einen Mehrschicht-Keramikkondensator
nach einer erfindungsgemäßen Ausführungsform
zeigt.
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- 1
- Mehrschicht-Keramikkondensator
- 2
- Keramiklaminat
- 3
- dielektrische
Keramikschicht
- 4,
5
- Innenelektrode
- 8,
9
- Außenelektrode
- 10,
11
- erste
Plattierschicht
- 12,
13
- zweite
Plattierschicht
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Beste Methoden zum Durchführen
der Erfindung
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Zunächst
wird ein Mehrschicht-Keramikkondensator, der eine vorrangige Anwendung
einer erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik
ist, beschrieben. 1 ist eine Querschnittansicht,
die den Aufbau eines allgemeinen Mehrschicht- Keramikkondensators
zeigt.
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Wie
in 1 gezeigt umfasst ein Mehrschicht-Keramikkondensator 1 ein
rechteckiges parallelepipedes Keramiklaminat 2. Das Keramiklaminat 2 umfasst
mehrere miteinander laminierte dielektrische Keramikschichten 3 und
mehrere Innenelektroden 4 und 5, die entlang Grenzflächen
zwischen den dielektrischen Keramikschichten 3 ausgebildet
sind. Die Innenelektroden 4 und 5 sind so ausgebildet
dass sie sich zu Außenflächen des Keramiklaminats 2 erstrecken.
Die sich zu einer Endfläche 6 des Keramiklaminats 2 erstreckenden Innenelektroden 4 und
die sich zu einer anderen Endfläche 7 erstreckenden
Innenelektroden 5 sind abwechselnd angeordnet, um durch
die dielektrischen Keramikschichten 3 eine statische Kapazität
in dem Keramiklaminat 2 zu erhalten.
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Als
Hauptbestandteil eines leitenden Materials der Innenelektroden 4 und 5 können
Nickel, Kupfer oder Silber verwendet werden; zum Senken von Kosten
wird aber vorzugsweise Nickel verwendet.
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Um
die vorstehend beschriebene statische Kapazität zu gewinnen,
sind auf den Außenflächen, d. h. auf den Endflächen 6 und 7,
des Keramiklaminats 2 Außenelektroden 8 und 9 zum
elektrischen Anschluss an die jeweiligen Innenelektroden 4 und 5 ausgebildet.
Als leitendes Material, das in den Außenelektroden 8 und 9 enthalten
ist, kann das gleiche leitende Material wie für die Innenelektroden 4 und 5 verwendet
werden, und ferner können zum Beispiel auch Silber, Palladium
oder eine Silber-Palladium-Legierung verwendet werden. Die Außenelektroden 8 und 9 werden
durch Aufbringen einer leitenden Paste, die durch Zugeben einer
Glasfritte zu einem Pulver des vorstehenden Metalls oder der vorstehenden
Legierung erhalten wird, gefolgt von Brennen, gebildet.
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Ferner
werden bei Bedarf erste Plattierschichten 10 und 11,
die aus Nickel, Kupfer oder dergleichen bestehen, auf den Außenelektroden 8 und 9 gebildet,
und zweite Plattierschichten 12 und 13, die aus
Lot, Zinn oder dergleichen bestehen, werden auf den ersten Plattierschichten 10 bzw. 11 gebildet.
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Als
Nächstes wird eine erfindungsgemäße dielektrische
Keramik näher beschrieben.
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Bei
der Zusammensetzung der erfindungsgemäßen dielektrischen
Keramik ist der Hauptbestandteil eine Perowskit-Verbindung, die
durch die Zusammensetzungsformel (Ba1-x-yCaxSny)m(Ti1-zZrz)O3 wiedergegeben
wird, und die vorstehenden x, y, z und m erfüllen 0 ≤ x ≤ 0,20,
0,02 ≤ y ≤ 0,20, 0 ≤ z ≤ 0,05
bzw. 0,990 ≤ m ≤ 1,015.
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Bei
dieser dielektrischen Keramik befindet sich Sn als bivalentes kationisches
Element vorrangig in der Ba-Stelle und kaum in der Ti-Stelle. Auch
wenn die Curie-Temperatur von Bariumtitanat in etwa bei 120°C
liegt, steigt die Curie-Temperatur, wenn die Menge eines Sn-Substituenten
in der Ba-Stelle erhöht wird, und wenn eine Substituentenmenge
y bei 0,02 oder mehr liegt, steigt die Curie-Temperatur auf 130°C
oder mehr. Zudem befindet sich auch Ca als bivalentes kationisches
Element in der Ba-Stelle. Da aber die Position von Ca keinen wesentlichen
Einfluss auf die Änderung der Curie-Temperatur hat, kann
eine kleine Menge Ca in Korngrenzen vorhanden sein oder Ca kann
sich in der Ti-Stelle befinden, solange die Aufgabe der vorliegenden
Erfindung nicht beeinträchtigt wird.
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Weiterhin
kann Ti teilweise mit Zr ersetzt werden. Wenn aber eine Substituentenmenge
z über 0,05 beträgt, sinkt die Curie-Temperatur
beträchtlich und somit steht dies der Aufgabe der vorliegenden
Erfindung entgegen. Eine kleinere Substituentenmenge z ist bevorzugter
und eine Menge z von 0,01 oder weniger ist noch weiter bevorzugt.
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Wenn
das Molverhältnis m der Ba-Stelle zur Ti-Stelle in dem
Bereich von 0,990 bis 1,015 liegt, können stabile Sintereigenschaften
und Isoliereigenschaften der dielektrischen Keramik beibehalten
werden.
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Ferner
ist beachtenswert, dass die erfindungsgemäße dielektrische
Keramik ein Seltenerdelement RE als Zusatzbestandteil umfasst. Wenn
0,5 Molteile oder mehr RE auf 100 Molteile des Hauptbestandteils
enthalten sind, wird eine Änderungskurve der Dielektrizitätskonstante
mit Temperatur gleichmäßig gehalten, und dadurch
können die Eigenschaften statischer Kapazität-Temperatur
die X9R-Eigenschaften erfüllen. Auch wenn der Grund hierfür
noch nicht eindeutig verstanden wird, wird angenommen, dass, da
das Gittervolumen bei Feststofflösen von Sn in der Ba-Stelle
geändert wird und da ferner das Seltenerdelement RE zugegeben wird,
an dem Gitter eine Spannung in einer Richtung zum Verbessern der
ferroelektrischen Eigenschaft, d. h. der tetragonalen Eigenschaften,
angelegt wird. Wenn dagegen Sn nicht vorhanden ist oder wenn sich
Sn in der Ti-Stelle befindet, kann die vorstehend beschriebene Wirkung
nicht erhalten werden. Um die Dielektrizitätskonstante
hoch zu halten, liegt der obere Grenzwertanteil an RE ferner vorzugsweise
bei 20 Molteilen.
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Ferner
hat das Ca der vorliegenden Erfindung eine Wirkung des Förderns
von Feststofflösung von Sn in der Ba-Stelle. Wenn der Sauerstoffpartialdruck
beim Brennen bei etwa 10–10 MPa
oder weniger liegt, wird Sn wahrscheinlich in der Ba-Stelle feststoffgelöst.
Wenn der Sauerstoffpartialdruck beim Brennen relativ hoch angesetzt
werden kann, kann der Freiheitsgrad bei der Materialauslegung und
der Elementauslegung vergrößert werden. Diese
Wirkungen können realisiert werden, wenn die Substituentenmenge
m bei 0,02 oder mehr liegt. Um eine gleichmäßige
Feststofflösung von Ca sicherzustellen, liegt der obere
Grenzwert von x vorzugsweise bei 0,20.
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Ferner
weist die erfindungsgemäße dielektrische Keramik
eine Curie-Temperatur von 123°C oder mehr auf. Wenn eine
Curie-Temperatur von 130°C oder mehr bestätigt
wird, versteht sich bei der erfindungsgemäßen
dielektrischen Keramik, dass sich Sn in der Ba-Stelle befindet.
Wenn sich Sn in der Ti-Stelle befindet, sinkt, wie auch in der vorstehenden
Nichtpatentschrift 1 offenbart, die Curie-Temperatur von 120°C
beträchtlich ab.
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Bei
der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik kann
ferner eine hohe Curie-Temperatur vorteilhaft erhalten werden, da
die Ba-Stelle teilweise durch Sn ersetzt wird; es ist aber nicht
bevorzugt, dass viele Bestandteile, die die Curie-Temperatur senken,
enthalten sind. Wenn ein die Curie-Temperatur senkende Bestandteil
zugegeben wird, wird zum Ausgleich dafür zum Beispiel die
Menge eines Sn-Substituenten in der Ba-Stelle vorzugsweise erhöht.
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Als
ein die Curie-Temperatur von Bariumtitanat sowie Sn anhebendes Element können
dagegen Pb und Bi erwähnt werden. Da aber Pb und Bi einen
sehr schlechten Reduktionswiderstand haben, ist es sehr schwierig,
sie als Keramikbestandteil eines Mehrschicht-Keramikkondensators
zu verwenden.
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Wie
vorstehend beschrieben wird bei der erfindungsgemäßen
dielektrischen Keramik bei Bestätigen einer Curie-Temperatur
von 130°C oder mehr praktisch nachgewiesen, dass Sn als
bivalentes kationisches Element in der Ba-Stelle vorhanden ist.
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Ferner
kann das Vorhandensein von Sn in der Ba-Stelle als bivalentes kationisches
Element auch durch XANES (kurz vom engl. X-ray Absorption Near Edge
Structure, Röntgen-Nahkanten-Absorptions-Spektroskopie)
bestätigt werden, das eine Art von Röntgenabsorptionsspektroskopieverfahren
ist. D. h. eine der Erregungsenergie eines K-Hüllen-Elektrons
von Sn entsprechende Röntgen-Absorptionskante wird spezifiziert, und
dieser Energiewert, der diese Röntgenabsorptionskante anzeigt,
wird mit Bezugswerten von Sn-Ionen, beispielsweise Sn2+ und
Sn4+, verglichen, so dass die Valenzzahl
von Sn in einer dielektrischen Keramik erhalten werden kann.
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Um
ferner die Messgenauigkeit und -empfindlichkeit dieser XANES-Messung
zu verbessern, sind eine hohe Intensität von auffallenden
Röntgenstrahlen und eine hohe Wellenlängenkontinuität
erforderlich. Daher wird vorzugsweise Strahlungslicht als Lichtquelle
von auffallenden Röntgenstrahlen verwendet.
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Weiterhin
kann die erfindungsgemäße dielektrische Keramik
verschiedene Zusatzbestandteile neben dem Seltenerdelement RE umfassen.
In jüngster Zeit wird bei einem Mehrschicht-Keramikkondensator,
der vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden verwendet, eine
Dickenabnahme einer Keramikschicht aktiv verfolgt, um die Größe
zu verringern. Somit umfasst bei einem dünnen Mehrschicht-Keramikkondensator,
der durch Brennen in einer reduzierenden Atmosphäre erhalten
wird, eine dielektrische Keramik zum Erhalten ausreichenden Isolierwiderstands
und ausreichender Zuverlässigkeit vorzugsweise verschiedene
Zusatzbestandteile.
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Wenn
zum Beispiel die erfindungsgemäße dielektrische
Keramik mindestens eines von Mn und V als Zusatzbestandteil umfasst,
kann bei einem dünnen Mehrschicht- Keramikkondensator, der
vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden verwendet, ein hinreichender
Isolierwiderstand erhalten werden. Um eine bevorzugte Zuverlässigkeit
des dünnen Mehrschicht-Keramikkondensators sicherzustellen,
liegt der Anteil des vorstehenden Zusatzbestandteils vorzugsweise
in dem Bereich von 0,02 bis 1 Molteil auf 100 Molteile des Hauptbestandteils.
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Wenn
als weiteres Beispiel die erfindungsgemäße dielektrische
Keramik mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend
aus Mg, N und Zn als Zusatzbestandteil umfasst, kann bei einem dünnen
Mehrschicht-Keramikkondensator, der vorrangig aus Ni bestehende
Innenelektroden verwendet, ein hinreichender Isolierwiderstand erhalten
werden. Um die bevorzugte Zuverlässigkeit des dünnen
Mehrschicht-Keramikkondensators sicherzustellen, liegt der Anteil
des vorstehenden Zusatzbestandteils vorzugsweise in dem Bereich von
0,3 bis 4 Molteilen auf 100 Molteile des Hauptbestandteils.
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Wenn
ferner die erfindungsgemäße dielektrische Keramik
Si, beispielsweise SiO2, als Zusatzbestandteil
bei einem in einer reduzierenden Atmosphäre durchgeführten
Brennen umfasst, kann Sintern bei einer niedrigeren Temperatur mühelos
durchgeführt werden. Der Anteil des vorstehenden Zusatzbestandteils
liegt in etwa in dem Bereich von 0,2 bis 5 Molteilen auf 100 Molteile
des Hauptbestandteils.
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Als
Nächstes wird ein Verfahren zum Herstellen der erfindungsgemäßen
dielektrischen Keramik beschrieben.
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Zuerst
wird ein Verfahren zum Herstellen eines keramischen Ausgangsmaterials
für die dielektrische Keramik beschrieben. Ein (Ba, Ca,
Sn)(Ti, Zr)O3-Pulver als Hauptbestandteil
wird durch ein Festphasenverfahren erhalten, bei dem Ausgangsmaterialien,
beispielsweise ein Oxidpulver und eine Carbonatverbindung, vermischt
werden, und das so erhaltene Gemisch wird durch Wärmebehandlungssynthese
verarbeitet.
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Da
aber bei der erfindungsgemäßen dielektrischen
Keramik Sn sich letztendlich in der Ba-Stelle als bivalentes kationisches
Element befindet, muss tetravalentes Sn, das im Allgemeinen stabil
ist, zu bivalentem Sn reduziert werden. Bei der Wärmebehandlungssynthese,
bei der (Ba, Ca, Sn)(Ti, Zr)O3-Pulver synthetisiert wird,
wird zum Beispiel eine reduzierende Atmosphäre vorzugsweise
als Atmosphäre verwendet. Insbesondere wird der Sauerstoffpartialdruck
vorzugsweise auf 10–10 MPa oder
weniger eingestellt.
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Um
Sn in dem Hauptbestandteil zuverlässig festzulösen,
wird ferner das Ausgangsmaterial von Sn vorzugsweise mit den Ausgangsmaterialien
von Ba und Ti vermischt. Wenn die erfindungsgemäße
dielektrische Keramik Ca umfasst, wird das Ausgangsmaterial von
Ca wie in dem vorstehend beschriebenen Fall ebenfalls vorzugsweise
mit den Ausgangsmaterialien von Ba und Ti vermischt.
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Wenn
RE2O3, das als Ausgangsmaterial
des Seltenerdelements verwendet wird, und das so erhaltene (Ba,
Ca, Sn)(Ti, Zr)O3-Pulver nach Bedarf zusammen
mit Zusatzbestandteilen wie MnO, MgO und SiO2 vermischt
werden, kann das keramische Ausgangsmaterial erhalten werden. Bei
diesen Zusatzbestandteilen sind die Form seines Ausgangsmaterials
und die Art seiner Verbindung nicht besonders eingeschränkt.
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Durch
die Verwendung des wie vorstehend beschrieben erhaltenen keramischen
Ausgangsmaterials wird ein grünes Laminat durch ein Verfahren
erhalten, das einem herkömmlichen Verfahren zum Herstellen
eines Mehrschicht-Keramikkondensators ähnelt. Wenn das
grüne Laminat gebrannt wird, muss als Atmosphäre beim
Brennen eine reduzierende Atmosphäre verwendet werden.
Wenn der Sauerstoffpartialdruck in dieser reduzierenden Atmosphäre
auf 10–12 MPa oder weniger eingestellt
wird, kann Sn zuverlässig als bivalentes kationisches Element
in der Ba-Stelle angeordnet werden; wenn aber der Anteil x an Ca
bei 0,02 oder mehr liegt, kann der Sauerstoffpartialdruck in dem
Bereich von etwa 10–10 bis 10–12 MPa eingestellt werden.
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Ferner
muss das Molverhältnis m der gesamten Ba-Stelle zur gesamten
Ti-Stelle nicht immer einen Sollbereich erfüllen, wenn
diese Ausgangsmaterialien miteinander vermengt werden. Bei der Vermengungsphase
des Vermengens der Ausgangsmaterialien des Hauptbestandteilpulvers
kann zum Beispiel das Vermengen so ausgeführt werden, dass
das Molverhältnis m etwas kleiner ist, und nach dem Synthetisieren
des (Ba, Ca, Sn)(Ti, Zr)O3 kann das Ausgangsmaterial
des Ba-Bestandteils, das fehlt, zugegeben werden. In diesem Fall
wird der als fehlender Bestandteil zugegebene Ba-Bestandteil in
dem Hauptbestandteil durch Brennen vorrangig festgelöst,
und dadurch kann ein erwünschter m-Wert erhalten werden.
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Nachdem
das Keramiklaminat durch Brennen erhalten ist, wird anschließend
durch ein Verfahren, das einem herkömmlichen ähnelt,
ein Mehrschicht-Keramikkondensator hergestellt.
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Ferner
können dielektrische Eigenschaften, wie die Dielektrizitätskonstante,
des Mehrschicht-Keramikkondensators durch ein Verfahren beurteilt
werden, das einem herkömmlichen ähnelt. Bezüglich
der Curie-Temperatur wird die Änderung der Dielektrizitätskonstante
des Mehrschicht-Keramikkondensators mit Temperatur gemessen, und
eine Temperatur, bei der die Dielektrizitätskonstante maximiert
wird, wird vorzugsweise als die Curie-Temperatur betrachtet. Wenn
der maximale Punkt der Änderung der Dielektrizitätskonstante
mit Temperatur nicht klar ist, kann durch Messen der Änderung
des c/a-Achsenverhältnisses des Kristallgitters mit Temperatur
mit Hilfe von Röntgendiffraktion die Grenztemperatur zwischen
dem tetragonalen Kristall und dem kubischen Kristall als die Curie-Temperatur
betrachtet werden. Alternativ wird eine exotherme Spitze, die durch den
Phasenübergang zwischen dem tetragonalen Kristall und dem
kubischen Kristall erzeugt wird, durch eine Differentialscanningkalorimetrie
detektiert, und eine Temperatur, bei der diese exotherme Spitze
erzeugt wird, kann als die Curie-Temperatur betrachtet werden.
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Beispiele
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Nachstehend
werden Beispiele der erfindungsgemäßen dielektrischen
Keramik und des diese verwendenden Mehrschicht-Keramikkondensators
unter Bezug auf experimentelle Beispiele 1 bis 3 beschrieben.
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[Experimentelles Beispiel 1]
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In
diesem experimentellen Beispiel wurde die Wirkung von RE auf den
Hauptbestandteil (Ba, Ca, Sn)(Ti, Zr)O3 unter
Verwenden eines Mehrschicht- Keramikkondensators untersucht, der
vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden umfasste.
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Zunächst
wurden als Ausgangsmaterialien BaCo3, TiO2, CaCO3 und SnO2 erzeugt. Diese Ausgangsmaterialien wurden
zu einer Zusammensetzung vermengt, die durch die Zusammensetzungsformel (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)1,01TiO3 wiedergegeben wird. Dieses vermengte Pulver
wurde unter Verwenden einer Kugelmühle gemischt und pulverisiert
und wurde dann getrocknet, so dass ein Mischpulver erhalten wurde.
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Dieses
Mischpulver wurde durch Wärmebehandlungssynthese bei 1.000°C
in einer N2-H2-Mischgasatmosphäre
bei einem Sauerstoffpartialdruck von 10–10 MPa
2 Stunden lang behandelt, so dass ein Pulver, das (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)1,01TiO3 als Hauptbestandteil
enthielt, erhalten wurde.
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Als
Nächstes wurden dem Pulver, das (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)1,01TiO3 als Hauptbestandteil
enthielt, Dy2O3, MnCO3, MgCO3 und SiO2 beigemengt, um a Molteile Dy, 0,5 Molteile
Mn, 1,0 Molteile Mg und 2,0 Molteile Si auf 100 Molteile (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)1,01TiO3 zu erhalten, und wurden in einem Lösungsmittel
gemischt. Bei diesem Schritt wurde der Anteil a an Dy so geändert,
dass er die Werte der in Tabelle 1 gezeigten Proben Nr. 1 bis 8
hatte. Nach dem Mischen wurde dieses Pulver trockenpulverisiert,
so dass ein keramisches Ausgangsmaterial erhalten wurde.
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Ein
polyvinylbutyral-basiertes Bindemittel wurde diesem keramischen
Ausgangsmaterial mit Ethanol, das als Lösungsmittel fungierte,
zugegeben, gefolgt vom Ausführen des Mischens und Pulverisierens,
so dass ein Schlicker erhalten wurde. Dieser Schlicker wurde durch
ein Schabermesserverfahren bearbeitet, um Folien zu bilden, so dass
keramische Grünfolien mit einer Dicke von 7 μm
erhalten wurden.
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Eine
Ni als Hauptbestandteil enthaltende leitende Paste wurde auf Oberflächen
der vorstehenden keramischen Grünfolien siebgedruckt, um
leitende Pastenschichten zu bilden, die Innenelektroden bilden.
Die vorstehenden keramischen Grünfolien, auf denen die
leitenden Pastenschichten gebildet wurden, wurden miteinander so
laminiert, dass Seitenflächen der keramischen Grünlinge,
an denen verlängerte Teile der leitenden Pastenschichten
freigelegt waren, abwechselnd angeordnet waren, so dass ein grünes
Keramiklaminat erhalten wurden.
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Nach
dem Erwärmen bei einer Temperatur von 350°C in
einer Stickstoffatmosphäre zum Herausbrennen des Bindemittels
wurde dieses grüne Keramiklaminat in einer H2-N2-H2O-Gasatmosphäre
bei einem Sauerstoffpartialdruck von 10–11,5 MPa
2 Stunden lang bei einer in Tabelle 1 gezeigten Brenntemperatur
gebrannt, so dass ein gebranntes Keramiklaminat erhalten wurde.
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Eine
B-Li-Si-Ba-O-basierte Glasfritte und Cu als Hauptbestandteil enthaltende
leitende Paste wurde auf zwei Endflächen dieses Keramiklaminats
aufgebracht und wurde dann bei 600°C in einer Stickstoffatmosphäre
gebrannt, so dass mit den Innenelektroden elektrisch verbundene
Außenelektroden gebildet wurden. Weiterhin wurden zum Verbessern
der Lötbarkeit eine Ni-Plattierschicht und eine Sn-Plattierschicht
auf jeder Außenelektrode gebildet.
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Das
Außenmaß des wie vorstehend beschrieben erhaltenen
Mehrschicht-Keramikkondensators 1 hatte eine Länge
von 2,0 mm, eine Breite von 1,0 mm und eine Dicke von 0,5 mm; die
Dicke der zwischen den Innenelektroden vorgesehenen Keramikschicht
betrug 5 μm; die Dicke einer die Innenelektrode bildenden
Metallschicht betrug 0,5 μm; die Anzahl an Keramikschichten,
die für statische Kapazität dienten, betrug fünf;
und die Gegenelektrodenfläche pro Keramikschicht betrug
1,3 × 10–6 m2.
Wie vorstehend beschrieben wurden Beurteilungsproben Nr. 1 bis 8
erhalten.
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Als
Nächstes wurde der Isolierwiderstand jeder der Proben Nr.
1 bis 8 durch Anlegen einer Gleichspannung von 30 kV/mm bei 25°C
eine Minute lang gemessen; und der spezifische Widerstand ρ wurde
aus dem Isolierwiderstand erhalten. In Tabelle 1 ist ein log(ρ/Ω·cm)-Wert
gezeigt.
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Ferner
wurde die Dielektrizitätskonstante bei 25°C unter
einem wechselnden elektrischen Feld von 0,2 kVrms bei 1 KHz beurteilt,
und der Wert wird in Tabelle 1 gezeigt. Ferner wurde die statische
Kapazität in dem Bereich von –55 bis 175°C
gemessen, und die Änderungsrate der statischen Kapazität
bei 175°C bezüglich der bei 25°C, die
als Referenz verwendet wurde, wird als Ӏnderungsrate
der statischen Kapazität (%)” in Tabelle 1 gezeigt.
Weiterhin wird in Tabelle 1 auch ein Beurteilungsergebnis, ob die
X9R-Eigenschaften (bei denen die Änderung der statischen
Kapazität in dem Bereich von –55 bis 175°C
innerhalb von ±15% bezüglich einer statischen
Kapazität bei 25°C, die als Referenz verwendet
wurde, festgelegt war) erfüllt wurden oder nicht, gezeigt.
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Ferner
wurde nach dem Messen der Änderung der statischen Kapazität
mit Temperatur in dem Bereich von –55 bis 200°C
eine Temperatur, bei der die statische Kapazität maximiert
wurde, als die Curie-Temperatur betrachtet, und die Curie-Temperatur
wird in Tabelle 1 gezeigt.
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Weiterhin
wurde eine Hochtemperaturbelastungslebensdauer bei einer Temperatur
von 175° und einem angelegten elektrischen Feld von 20
kV/mm gemessen, und ein Ergebnis der mittleren Zeit bis zum Ausfall
(MTTF, Einheit: Std.) wird in Tabelle 1 gezeigt. Bei dieser Messung
wurde der Ausfall festgestellt, wenn der Widerstand auf 10
6 Ω oder weniger absank. [Tabelle 1]
Probe Nr. | a | Brenntemperatur
(°C) | Log(ρ/Ω·cm) | εr | MTTF
(h) | Curie-Temperatur C) | Änderungsrate
der statistischen Kapazität (%) | X9R-Beurteilung |
*1 | 0 | 1.050 | 10,5 | 2.000 | 5 | 140 | –28 | x |
*2 | 0,2 | 1.050 | 12,2 | 2.000 | 40 | 140 | –22 | x |
3 | 0,5 | 1.050 | 12,3 | 1.800 | 40 | 140 | –15 | O |
4 | 2,0 | 1.050 | 12,1 | 1.500 | 50 | 145 | –12 | O |
5 | 10,0 | 1.050 | 12,1 | 1.200 | 60 | 145 | –12 | O |
6 | 15,0 | 1.050 | 11,8 | 1.100 | 70 | 145 | –12 | O |
7 | 20,0 | 1.050 | 12,1 | 1.000 | 80 | 145 | –12 | O |
*8 | 25,0 | 1.050 | 11,8 | 800 | 30 | 145 | –12 | O |
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Da
die Probe Nr. 1 kein Seltenerdelement enthielt und die Probe Nr.
2 einen kleinen Anteil eines Seltenerdelements aufwies, erfüllten
die Eigenschaften von statischer Kapazität-Temperatur nicht
die X9R-Eigenschaften.
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Gemäß den
Proben Nr. 3 bis 7 erfüllte die statische Kapazität
aufgrund der Dy-Funktion die X9R-Eigenschaften und εr betrug
1.000 oder mehr.
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Da
die Probe Nr. 8 einen übermäßigen Anteil
an Dy aufwies, lag der εr-Wert unter 1.000.
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[Experimentelles Beispiel 2]
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In
diesem experimentellen Beispiel wurden die Einflüsse des
Anteils von Sn und des Festlösungszustand desselben auf
die Hauptwirkung der vorliegenden Erfindung unter Verwenden eines
Mehrschicht-Keramikkondensators, der vorrangig aus Ni bestehende
Innenelektroden umfasste, oder eines Einplattenkondensators untersucht.
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Zunächst
wurden als Ausgangsmaterialien BaCo3, TiO2, CaCO3 und SnO2 verwendet, wurden vermengt, so dass die
x- und y-Werte der Zusammensetzungsformel: (Ba1-x-yCaxSny)1,01TiO3 mit den x- und y-Werten jeder der Proben
Nr. 11 bis 24, die in Tabelle 2 gezeigt sind, übereinstimmten.
Dieses vermengte Pulver wurde mit Hilfe einer Kugelmühle
gemischt und pulverisiert und wurde dann getrocknet, so dass ein
Mischpulver erhalten wurde.
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Dieses
Mischpulver wurde durch Wärmebehandlungssynthese bei 1.000°C
in Luft oder in einer N2-H2-Mischgasatmosphäre
bei einem in Tabelle 2 gezeigten Sauerstoffpartialdruck 2 Stunden
lang behandelt, so dass ein Pulver, das (Ba1-x-yCaxSny)1,01TiO3 als Hauptbestandteil enthielt, erhalten
wurde.
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Als
Nächstes wurden dem Pulver, das (Ba1-x-yCaxSny)1,01TiO3 als Hauptbestandteil enthielt, Dy2O3, MnCO3, MgCO3 und SiO2 beigemengt, um 3 Molteile Dy, 0,5 Molteile
Mn, 1,0 Molteile Mg und 2,0 Molteile Si auf 100 Molteile (Ba1-x-yCaxSny)1,01TiO3 zu erhalten, und wurden dann in einem Lösungsmittel
gemischt. Nach dem Mischen wurde dieses Pulver trockenpulverisiert,
so dass ein keramisches Ausgangsmaterial erhalten wurde.
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Dieses
keramische Ausgangsmaterial wurde durch die gleichen Schritte, wie
sie in dem experimentellen Beispiel 1 beschrieben sind, verarbeitet,
und es wurde ein grünes Laminat mit dem gleichen Aufbau
wie dem des experimentellen Beispiels 1 erhalten.
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Nur
Probe Nr. 12 wurde nicht zu einem grünen Laminat ausgebildet
und wurde zu einem Einplatten-Formkörper ausgebildet. D.
h. ein Pulver, das durch die Schritte des Nassmischens des keramischen
Ausgangsmaterialpulvers mit einem acrylbasierten organischen Bindemittel,
des Trocknens des Gemisches und des Pelletierens des getrockneten
Gemisches erhalten wurde, wurde bei einem Druck von 196 MPa pressgeformt,
so dass ein Scheibenformkörper mit einem Durchmesser von
12 mm und einer Dicke von 1 mm erhalten wurde.
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Nach
dem Erwärmen bei einer Temperatur von 350°C in
einer Stickstoffatmosphäre zum Herausbrennen des Bindemittels
wurden das grüne Keramiklaminat und der scheibenförmige
Sinterkörper in Luft oder einer reduzierenden Atmosphäre
eines H2-N2-H2O-Gases bei einem in Tabelle 2 gezeigten
Sauerstoffpartialdruck 2 Stunden gehalten, so dass gesinterte Keramiklaminate
und ein gesinterter scheibenförmiger Körper erhalten
wurden.
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Das
so erhaltene Keramiklaminat wurde durch die gleichen Schritte wie
denen in dem experimentellen Beispiel 1 verarbeitet, so dass eine
Probe eines Mehrschicht-Keramikkondensators mit dem gleichen Aufbau wie
dem des experimentellen Beispiels 1 erhalten wurde.
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An
den beiden Hauptflächen des Scheibensinterkörpers
von Probe Nr. 12 wurden Ag-Abscheidungsschichten gebildet und als
Außenelektroden verwenden. Das Außenmaß des
Einplatten-Keramikkondensators hatte einen Durchmesser von 10 mm
und eine Dicke von 0,8 mm.
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Bei
den so erhaltenen Proben Nr. 11 bis 24 wurden der log(ρ/Ω·cm)
des spezifischen Widerstands ρ, der εr, die Änderungsrate
der statischen Kapazität, das Beurteilungsergebnis der
X9R-Eigenschaften, der MTTF in einem Hochtemperaturbelastungstest
und die Curie-Temperatur durch die gleichen Verfahren wie in dem
experimentellen Beispiel 1 beurteilt. Die Ergebnisse werden in Tabelle
2 gezeigt.
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Da
Probe Nr. 11 kein Sn enthielt, obwohl 3 Molteile des Seltenerdelements
Dy auf 100 Molteile des Hauptbestandteils enthalten waren, wurden
die X9R-Eigenschaften nicht erfüllt.
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Auch
wenn Probe Nr. 12 so erzeugt wurde, dass der Sn-Anteil y bei 0,02
lag und 3 Molteile des Seltenerdelements Dy auf 100 Molteile des
Hauptbestandteils enthalten waren, wurden die X9R-Eigenschaften nicht
erfüllt. Da die Curie-Temperatur unter 130°C lag,
zeigte dies an, dass sich Sn vorrangig in der Ti-Stelle befand.
Man meint, dass der Grund dafür darin liegt, dass der Sauerstoffpartialdruck
bei der Wärmebehandlungssynthese des Hauptbestandteilpulvers
und der beim Brennen hoch waren.
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Auch
wenn Probe Nr. 13 so erzeugt wurde, dass der Sn-Anteil y bei 0,02
lag und 3 Molteile des Seltenerdelements Dy auf 100 Molteile des
Hauptbestandteils enthalten waren, wurden die X9R-Eigenschaften nicht
erfüllt. Da die Curie-Temperatur unter 130°C lag,
zeigte dies an, dass sich Sn vorrangig in der Ti-Stelle befand.
Man meint, dass der Grund dafür darin liegt, dass der Sauerstoffpartialdruck
bei der Wärmebehandlungssynthese des Hauptbestandteilpulvers
hoch war.
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Die
Proben Nr. 14 bis 17 erfüllten die X9R-Eigenschaften und εr
lag bei 1.000 oder mehr. Da die Curie-Temperatur bei 130°C
oder mehr lag, wurde angenommen, dass sich Sn vorrangig in der Ba-Stelle
befand. Als aber der Anteil y von Sn bei über 0,20 lag,
wie bei Probe Nr. 18, sank εr auf unter 1.000.
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Bei
den Proben Nr. 19 bis 23 wurde die Menge an Ca geändert;
wie bei den Proben Nr. 14 bis 17 wurden aber die X9R-Eigenschaften
erfüllt und ε lag bei 1.000 oder mehr. Als aber
der Anteil an Ca bei über 0,20 lag, wie bei Probe Nr. 24,
sank εr auf unter 1.000. Da ferner Probe Nr. 19 kein Ca
enthielt, musste der Sauerstoffpartialdruck beim Brennen niedriger
festgelegt werden als bei den anderen Proben; es verursachte aber keine
praktischen Probleme.
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[Experimentelles Beispiel 3]
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Bei
diesem Beispiel wurden die Einflüsse der Anteile von Zusatzbestandteilen
und deren Arten auf verschiedene Eigenschaften unter Verwendung
von Mehrschicht-Keramikkondensatoren untersucht, die unter den gleichen
Herstellungsbedingungen gebildet wurden und die vorrangig aus Ni
bestehende Innenelektroden umfassten.
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Zuerst
wurden als Ausgangsmaterialien BaCo3, TiO2, CaCO3 und SnO2 erzeugt. Die Ausgangsmaterialien BaCo3, TiO2, CaCO3 und SnO2, wurden
vermengt, so dass der m-Wert von (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)mTiO3 mit einem m-Wert
jeder der in Tabelle 3 gezeigten Proben Nr. 31 bis 71 übereinstimmte.
Dieses vermengte Pulver wurde mit Hilfe einer Kugelmühle
gemischt und pulverisiert und wurde dann getrocknet, so dass ein
Mischpulver erhalten wurde.
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Dieses
Mischpulver wurde durch Wärmebehandlungssynthese bei 1.000°C
in einer N2-H2-Mischgas enthaltenden
Atmosphäre bei einem Sauerstoffpartialdruck von 10–10 MPa 2 Stunden lang behandelt,
so dass ein Pulver, das (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)mTiO3 als Hauptbestandteil
enthielt, erhalten wurde.
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Als
Nächstes wurden dem Pulver, das (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)mTiO3 als Hauptbestandteil
enthielt, Y2O3, La2O3, CO2,
Pr6O11, Nd2O3, Sm2O3, Eu2O3,
Gd2O3, Tb2O3, Dy2O3, Ho2O3,
Er2O3, Tm2O3, Yb2O3, Lu2O3,
MnCO3, V2O3, MgCO3, NiO, ZnO
und SiO2 beigemengt, so dass auf 100 Molteile
des Hauptbestandteils ein Anteil a eines Seltenerdelements RE, ein
Anteil b mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend
aus Mn und V, ein Anteil c mindestens eines gewählt aus
der Gruppe bestehend aus Mg, Ni und Zn, und ein Anteil d von Si auf
Molteilbasis mit in Tabelle 3 gezeigten Werten jeder der Proben
Nr. 31 bis 71 übereinstimmten, und wurden dann in einem
Lösungsmittel gemischt. Nach dem Mischen wurde dieses Pulver
trockenpulverisiert, so dass ein keramisches Ausgangsmaterial erhalten
wurde.
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Dieses
keramische Ausgangsmaterial wurde durch die gleichen Schritte wie
in dem experimentellen Beispiel 1 beschrieben behandelt und es wurde
ein grünes Laminat mit dem gleichen Aufbau wie dem des
experimentellen Beispiels 1 erhalten.
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Nach
dem Erwärmen bei einer Temperatur von 350°C in
einer Stickstoffatmosphäre zum Herausbrennen des Bindemittels
wurde dieses grüne Keramiklaminat in einer reduzierenden
Atmosphäre eines H2-N2-H2O-Gases bei einem Sauerstoffpartialdruck von
10–11,5 MPa 2 Stunden lang und
bei einer in Tabelle 3 gezeigten Brenntemperatur gebrannt, so dass
ein gebranntes Keramiklaminat erhalten wurde.
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Auf
diesem Keramiklaminat wurden Außenelektroden unter den
gleichen Fertigungsbedingungen wie denen des experimentellen Beispiels
1 gebildet, so dass Mehrschicht-Keramikkondensatoren der Proben
Nr. 31 bis 71 erhalten wurden.
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Bei
den so erhaltenen Proben Nr. 31 bis 71 wurden der log(ρ/Ω·cm)
des spezifischen Widerstands ρ, der εr, die Änderungsrate
der statischen Kapazität, das Beurteilungsergebnis der
X9R-Eigenschaften, der MTTF in einem Hochtemperaturbelastungstest
und die Curie-Temperatur durch die gleichen Verfahren wie in dem
experimentellen Beispiel 1 beurteilt. Die Ergebnisse werden in Tabelle
3 gezeigt.
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Gemäß den
Proben Nr. 31 und 35, bei denen der m-Wert des Hauptbestandteils
außerhalb des erfindungsgemäßen Bereichs
lag, konnte bei dem dünnen Mehrschicht-Keramikkondensator,
der vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden verwendete, kein
ausreichender Isolierwiderstand und keine ausreichende Zuverlässigkeit
erhalten werden.
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Gemäß den
Proben Nr. 32 bis 34, 37 bis 41, 43, 45 bis 47, 49, 50, 52 bis 54
und 56 bis 71 konnten bei dem dünnen Mehrschicht-Keramikkondensator,
der vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden verwendete, ein
ausreichender Isolierwiderstand und eine ausreichende Zuverlässigkeit
erhalten werden, und die X9R-Eigenschaften und εr wurden
nicht negativ beeinflusst.
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Gemäß den
Proben Nr. 36 und 42 lag ferner der Anteil mindestens eines gewählt
aus der Gruppe bestehend aus Mn und V außerhalb des bevorzugten
erfindungsgemäßen Bereichs; gemäß der
Proben Nr. 44 und 48 lag der Anteil mindestens eines gewählt
aus der Gruppe bestehend aus Mg, Ni und Zn außerhalb des bevorzugten
erfindungsgemäßen Bereichs; und gemäß Proben
Nr. 51 und 55 lag der Anteil an Si außerhalb des bevorzugten
erfindungsgemäßen Bereichs. Bei dem dünnen
Mehrschicht-Keramikkondensator, der vorrangig aus Ni bestehende
Innenelektroden verwendete, konnte gemäß jeder
der vorstehend beschriebenen Proben kein ausreichender Isolierwiderstand
und keine ausreichende Zuverlässigkeit erhalten werden.
Bei einem Einplatten-Kondensator oder einem Mehrschicht-Keramikkondensator,
der kein Brennen in einer reduzierenden Atmosphäre erfordert,
waren aber der vorstehende Isolierwiderstand und die vorstehende
Zuverlässigkeit für die praktische Nutzung ausreichend.
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Ferner
waren in den Tabellen 1 bis 3 der experimentellen Beispiele 1 bis
3 die mit einem * versehenen Proben Proben außerhalb des
erfindungsgemäßen Bereichs.
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Es
versteht sich, dass alle Punkte der Ausführungsformen und
die Beispiele beispielhaft offenbart sind und dass die vorliegende
Erfindung nicht darauf beschränkt ist. Der Schutzumfang
der vorliegenden Erfindung ist nicht auf die vorstehenden Ausführungsformen
und Beispiele beschränkt, sondern ist lediglich durch die
Ansprüche beschränkt, und Bedeutungen, die zu
den Ansprüchen gleichwertig sind, sowie alle Änderungen
und Abwandlungen innerhalb des Schutzumfangs der vorliegenden Erfindung
sollten in der vorliegenden Erfindung eingeschlossen sein.
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Da
die erfindungsgemäße dielektrische Keramik eine
hohe Curie-Temperatur aufweist und stabil bei einer hohen Temperatur
von etwa 175°C verwendet werden kann, kann die vorstehende
dielektrische Keramik für einen Mehrschicht-Keramikkondensator
verwendet werden, der bevorzugt in einer Hochtemperaturatmosphäre
in einer Kraftfahrzeuganwendung und dergleichen verwendet wird.
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Zusammenfassung
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Es
wird eine dielektrische Keramik zur Hand gegeben, die vorzugsweise
für einen Mehrschicht-Keramikkondensator verwendet wird,
der selbst bei einer hohen Temperatur von etwa 175°C stabil
verwendbar ist. Die dielektrische Keramik umfasst eine Perowskit-Verbindung,
die durch die Zusammensetzungsformel Ba1-x-yCaxSny)m(Ti1-zZrz)O3 wiedergegeben
wird (wobei x, y, z und m 0 ≤ x ≤ 0,20, 0,02 ≤ y ≤ 0,20,
0 ≤ z ≤ 0,05 bzw. 0,990 ≤ m ≤ 1,015
erfüllen), als Hauptbestandteil; und RE als Zusatzbestandteil
(wobei RE mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend
aus Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb und Lu ist),
wobei 0,5 bis 20 Molteile RE auf 100 Molteile des Hauptbestandteils
enthalten sind.
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
-
Diese Liste
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erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information
des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen
Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt
keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
-
Zitierte Patentliteratur
-
- - JP 03-040962 [0007]
- - WO 2005/075377 [0009, 0011]
- - JP 3-040962 [0011]
-
Zitierte Nicht-Patentliteratur
-
- - K. Okazaki, „Ceramic
Dielectric Technologies”, 3. Band, Seiten 281 bis 283 [0011]
- - K. Okazaki, „Ceramic Dielectric Technologies”,
3. Band, Seiten 281–283 [0011]