DE112007002865T5 - Dielektrische Keramik und diese verwendender Mehrschicht-Keramikkondensator - Google Patents

Dielektrische Keramik und diese verwendender Mehrschicht-Keramikkondensator Download PDF

Info

Publication number
DE112007002865T5
DE112007002865T5 DE112007002865T DE112007002865T DE112007002865T5 DE 112007002865 T5 DE112007002865 T5 DE 112007002865T5 DE 112007002865 T DE112007002865 T DE 112007002865T DE 112007002865 T DE112007002865 T DE 112007002865T DE 112007002865 T5 DE112007002865 T5 DE 112007002865T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ceramic
mole
dielectric
parts
main component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE112007002865T
Other languages
English (en)
Other versions
DE112007002865B4 (de
Inventor
Shoichiro Nagaokakyo Suzuki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of DE112007002865T5 publication Critical patent/DE112007002865T5/de
Application granted granted Critical
Publication of DE112007002865B4 publication Critical patent/DE112007002865B4/de
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • H01G4/1209Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
    • H01G4/1218Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
    • H01G4/1227Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates based on alkaline earth titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G23/00Compounds of titanium
    • C01G23/003Titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G23/00Compounds of titanium
    • C01G23/003Titanates
    • C01G23/006Alkaline earth titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G25/00Compounds of zirconium
    • C01G25/006Compounds containing, besides zirconium, two or more other elements, with the exception of oxygen or hydrogen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • C04B35/49Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B3/00Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
    • H01B3/02Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances
    • H01B3/12Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances ceramics
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/50Solid solutions
    • C01P2002/52Solid solutions containing elements as dopants
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/40Electric properties
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3206Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3208Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3215Barium oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3225Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3227Lanthanum oxide or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3229Cerium oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3239Vanadium oxides, vanadates or oxide forming salts thereof, e.g. magnesium vanadate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3262Manganese oxides, manganates, rhenium oxides or oxide-forming salts thereof, e.g. MnO
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/327Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3279Nickel oxides, nickalates, or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3284Zinc oxides, zincates, cadmium oxides, cadmiates, mercury oxides, mercurates or oxide forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3293Tin oxides, stannates or oxide forming salts thereof, e.g. indium tin oxide [ITO]
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3418Silicon oxide, silicic acids, or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/60Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
    • C04B2235/602Making the green bodies or pre-forms by moulding
    • C04B2235/6025Tape casting, e.g. with a doctor blade
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6582Hydrogen containing atmosphere
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6583Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures
    • C04B2235/6584Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures at an oxygen percentage below that of air
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6588Water vapor containing atmospheres
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74Physical characteristics
    • C04B2235/79Non-stoichiometric products, e.g. perovskites (ABO3) with an A/B-ratio other than 1

Abstract

Dielektrische Keramik, welche umfasst: eine Perowskit-Verbindung, die durch die Formel (Ba1-x-yCaxSny)m(Ti1-zZrz)O3 wiedergegeben wird (wobei x, y, z und m 0 ≤ x ≤ 0,20, 0,02 ≤ y ≤ 0,20, 0 ≤ z ≤ 0,05 bzw. 0,990 ≤ m ≤ 1,015 erfüllen), als Hauptbestandteil; und RE als Zusatzbestandteil (wobei RE mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend aus Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb und Lu ist), wobei 0,5 bis 20 Molteile RE auf 100 Molteile des Hauptbestandteils enthalten sind.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein eine dielektrische Keramik und einen diese verwendenden Mehrschicht-Keramikkondensator und betrifft insbesondere eine dielektrische Keramik, die eine hohe Curie-Temperatur aufweist und die stabil bei einer hohen Temperatur von etwa 175° verwendet werden kann, sowie einen die vorstehende dielektrische Keramik verwendenden Mehrschicht-Keramikkondensator.
  • Stand der Technik
  • Ein Mehrschicht-Keramikkondensator, der eine vorrangige Anwendung der vorliegenden Erfindung ist, wird allgemein wie nachstehend beschrieben hergestellt.
  • Zunächst werden keramische Grünfolien erzeugt, die ein dielektrisches Keramikrohmaterial umfassen und deren Oberflächen mit einem leitenden Material versehen sind, das zu Innenelektroden auszubilden ist, die jeweils ein Sollmuster aufweisen. Als dielektrische Keramik kann zum Beispiel eine dielektrische Keramik verwendet werden, die eine BaTiO3-basierte Verbindung als Hauptbestandteil umfasst.
  • Als Nächstes werden mehrere keramische Grünfolien, die die vorstehend beschriebenen keramischen Grünfolien umfassen und jeweils mit dem leitenden Material versehen sind, miteinander laminiert und werden thermisch verbunden, so dass ein integriertes grünes Laminat gebildet wird.
  • Anschließend wird durch Brennen dieses grünen Laminats ein gesintertes Keramiklaminat erhalten. In diesem Keramiklaminat sind Innenelektroden, die aus dem vorstehend beschriebenen leitenden Material bestehen, ausgebildet.
  • Als Nächstes werden Außenelektroden auf Außenflächen des Keramiklaminats so gebildet, dass sie mit den jeweiligen Innenelektroden elektrisch verbunden sind. Die Außenelektroden werden zum Beispiel durch Aufbringen einer leitenden Paste, die ein leitendes Metallpulver und eine Glasfritte umfasst, auf die Außenflächen des Laminats, gefolgt von Brennen gebildet. Durch den vorstehend beschriebenen Vorgang wird ein Mehrschicht-Keramikkondensator gebildet.
  • Als dielektrische Keramik, die für einen Mehrschicht-Keramikkondensator geeignet ist, kann zum Beispiel eine bariumtitanat-basierte Keramik (BaTiO3) erwähnt werden. Zum Beispiel ist in der ungeprüften japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 03-040962 (nachstehend als ”Patentschrift 1” bezeichnet) eine dielektrische Keramik offenbart, die Bariumtitanat als Hauptbestandteil und SnO2, Bi2O3, MgO, SiO2, La2O3, Sm2O3 sowie Nd2O3 als Zusatzbestandteil umfasst.
  • Da aber die in Patentschrift 1 offenbarte dielektrische Keramik eine niedrige Curie-Temperatur von –20 bis 15°C aufweist, steigt ihre Dielektrizitätskonstante schnell mit steigender Temperatur an und es gibt das Problem, dass die vorstehende dielektrische Keramik nicht in einem Bereich hoher Temperatur verwendet werden kann. Da insbesondere ein Mehrschicht-Keramikkondensator in jüngster Zeit für Kraftfahrzeuganwendungen genutzt wird, ist es wünschenswert, dass der Mehrschicht-Keramikkondensator stabil bei einer hohen Temperatur von etwa 175°C verwendet werden kann. Demgemäß liegt die Curie-Temperatur vorzugsweise mindestens bei 130°C oder mehr.
  • Dementsprechend wird in der internationalen Veröffentlichungsschrift WO 2005/075377 (nachstehend als „Patentschrift 2” bezeichnet) eine dielektrische Keramikzusammensetzung offenbart, die eine Perowskit-Verbindung umfasst, die durch die Zusammensetzungsformel: (Ba, Sn)TiO3 als Hauptbestandteil dargestellt ist und die eine Curie-Temperatur von 130°C oder mehr aufweist.
  • Da sich bei der in Patentschrift 2 offenbarten dielektrischen Keramikzusammensetzung Sn in der Ba-Stelle als bivalentes kationisches Element befindet, wird die Curie-Temperatur der Keramik auf 130°C oder mehr angehoben.
  • Da im Allgemeinen tetravalentes kationisches Sn in einem stabilen Zustand versetzt ist, befindet sich Sn für gewöhnlich bei einer bariumtitanat-basierten Keramik in der Ti-Stelle. Wenn Ti von Bariumtitanat durch Sn ersetzt wird, wie von K. Okazaki, „Ceramic Dielectric Technologies", 3. Band, Seiten 281 bis 283, veröffentlicht von Gakken-sha (nachstehend als „Nichtpatentschrift 1” bezeichnet) offenbart wird, sinkt eine Curie-Temperatur von 120°C, die erhalten wird, wenn Ti nicht durch Sn ersetzt wird, auf Raumtemperatur oder weniger beträchtlich ab. Man meint auch, dass der Grund, warum die in Patentschrift 1 offenbarte dielektrische Keramik eine niedrige Curie-Temperatur hat, darin liegt, dass Sn sich in der Ti-Stelle als tetravalentes kationisches Element befindet.
    • Patentschrift 1: ungeprüfte japanische Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 3-040962
    • Patentschrift 2: internationale Veröffentlichungsschrift WO 2005/075377
    • Nichtpatentschrift 1: K. Okazaki, „Ceramic Dielectric Technologies", 3. Band, Seiten 281–283, veröffentlicht von Gakken-sha
  • Offenlegung der Erfindung
  • Durch die Erfindung zu lösende Probleme
  • Da sich gemäß Patentschrift 2 Sn in der Ba-Stelle als bivalentes kationisches Element befindet, wird eine hohe Curie-Temperatur erhalten. Wenn aber die Temperatur hoch ist, beispielsweise etwa 175°C, wird es schwierig für die Eigenschaften statische Kapazität-Temperatur, X9R zu erfüllen (wobei die Änderung der statischen Kapazität in dem Bereich von –55 bis 175°C bezüglich einer statischen Kapazität bei 25°C, die als Referenz verwendet wird, innerhalb von ±15% festgelegt ist).
  • Im Hinblick auf das vorstehend beschriebene Problem wurde die vorliegende Erfindung entwickelt, und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine dielektrische Keramik, die eine hohe Curie-Temperatur aufweist, die selbst bei einer hohen Temperatur von etwa 175°C stabile Eigenschaften aufweist und die die X9R-Eigenschaften erfüllt, sowie einen die vorstehende dielektrische Keramik verwendenden Mehrschicht-Keramikkondensator vorzusehen.
  • Mittel zum Lösen der Probleme
  • D. h. eine dielektrische Keramik der vorliegenden Erfindung umfasst eine Perowskit-Verbindung, die durch die Zusammensetzungsformel (Ba1-x-yCaxSny)m(Ti1-zZrz)O3 (wobei x, y, z und m 0 ≤ x ≤ 0,20, 0,02 ≤ y ≤ 0,20, 0 ≤ z ≤ 0,05 bzw. 0,990 ≤ m ≤ 1,015 erfüllen) wiedergegeben wird, als Hauptbestandteil; und RE als Zusatzbestandteil (wobei RE mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend aus Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb und Lu ist), und bei der vorstehenden dielektrischen Keramik sind 0,5 bis 20 Molteile RE auf 100 Molteile des Hauptbestandteils enthalten.
  • Zudem erfüllt bei der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik der Anteil x von Ca in dem Hauptbestandteil vorzugsweise: 0,02 ≤ x ≤ 0,20.
  • Zudem liegt bei der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik die Curie-Temperatur derselben vorzugsweise bei 130°C oder mehr.
  • Weiterhin umfasst die erfindungsgemäße dielektrische Keramik vorzugsweise weiter 0,02 bis 1 Molteil von mindestens einem Element gewählt aus der Gruppe bestehend aus Mn und V als Zusatzbestandteil auf 100 Molteile des Hauptbestandteils.
  • Zudem umfasst die erfindungsgemäße dielektrische Keramik vorzugsweise weiterhin 0,3 bis 4 Molteile von mindestens einem Element gewählt aus der Gruppe bestehend aus Mg, Ni und Zn als Zusatzbestandteil auf 100 Molteile des Hauptbestandteils.
  • Weiterhin umfasst die erfindungsgemäße dielektrische Keramik vorzugsweise weiter 0,2 bis 5 Molteile Si als Zusatzbestandteil auf 100 Molteile des Hauptbestandteils.
  • Ferner ist die vorliegende Erfindung auch auf einen Mehrschicht-Keramikkondensator gerichtet, der eine der vorstehend beschriebenen dielektrischen Keramiken verwendet.
  • D. h. ein Mehrschicht-Keramikkondensator der vorliegenden Erfindung umfasst ein Keramiklaminat, das mehrere miteinander laminierte Keramikschichten und mehrere geschichtete Innenelektroden, die entlang Grenzflächen zwischen den Keramikschichten ausgebildet sind, aufweist; und mehrere mit den Innenelektroden elektrisch verbundene Außenelektroden, die zu Oberflächen des Keramiklaminats hin freiliegen. Bei dem vorstehenden Mehrschicht-Keramikkondensator umfassen die Keramikschichten eine der vorstehend beschriebenen dielektrischen Keramiken.
  • Ferner umfassen bei dem erfindungsgemäßen Mehrschicht-Keramikkondensator die Innenelektroden vorzugsweise Ni als Hauptbestandteil.
  • Vorteile
  • Da erfindungsgemäß bei der dielektrischen Keramik, die eine bariumtitanat-basierte Verbindung als Hauptbestandteil umfasst, die Ba-Stelle teilweise durch bivalentes kationisches Sn ersetzt ist, wird die Curie-Temperatur auf 130°C oder mehr angehoben. Erwähnenswert ist, dass, da die erfindungsgemäße dielektrische Keramik weiterhin ein Seltenerdelement RE als Zusatzbestandteil umfasst, eine Änderungskurve der Dielektrizitätskonstante mit Temperatur bis zu einer hohen Temperatur von etwa 175°C gleichmäßig gehaltern wird und dadurch die Eigenschaften von statischer Kapazität-Temperatur die X9R erfüllen können.
  • Wenn ferner bei der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik die Ba-Stelle weiterhin teilweise durch Ca ersetzt wird, selbst wenn die reduzierende Atmosphäre des Brennens auf einen Sauerstoffpartialdruck von etwa 10–10 bis 10–12 MPa beschränkt wird, befindet sich Sn mit ausreichender Wahrscheinlichkeit als bivalentes kationisches Element in der Ba-Stelle. Da demgemäß der Freiheitsgrad der Brennbedingungen erhöht wird, können die dielektrischen Eigenschaften mühelos durch Anpassen der Brennbedingungen geändert werden.
  • Wenn zudem die erfindungsgemäße dielektrische Keramik als Zusatzbestandteil mindestens eines von Mn und V, mindestens eines von Mg, Ni und Zn oder Si umfasst und wenn die erfindungsgemäße dielektrische Keramik für einen Mehrschicht-Keramikkondensator verwendet wird, bei dem Innenelektroden vorrangig aus Ni bestehen, können ein ausgezeichneter Isolierwiderstand und eine ausgezeichnete Zuverlässigkeit sichergestellt werden.
  • Wie aus dem vorstehend Beschriebenen hervorgeht kann bei Verwenden der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik ein Mehrschicht-Keramikkondensator erhalten werden, der bei einer hohen Temperatur, zum Beispiel bei Kraftfahrzeuganwendungen, geeignet verwendet wird.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine Querschnittansicht, die schematisch einen Mehrschicht-Keramikkondensator nach einer erfindungsgemäßen Ausführungsform zeigt.
  • 1
    Mehrschicht-Keramikkondensator
    2
    Keramiklaminat
    3
    dielektrische Keramikschicht
    4, 5
    Innenelektrode
    8, 9
    Außenelektrode
    10, 11
    erste Plattierschicht
    12, 13
    zweite Plattierschicht
  • Beste Methoden zum Durchführen der Erfindung
  • Zunächst wird ein Mehrschicht-Keramikkondensator, der eine vorrangige Anwendung einer erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik ist, beschrieben. 1 ist eine Querschnittansicht, die den Aufbau eines allgemeinen Mehrschicht- Keramikkondensators zeigt.
  • Wie in 1 gezeigt umfasst ein Mehrschicht-Keramikkondensator 1 ein rechteckiges parallelepipedes Keramiklaminat 2. Das Keramiklaminat 2 umfasst mehrere miteinander laminierte dielektrische Keramikschichten 3 und mehrere Innenelektroden 4 und 5, die entlang Grenzflächen zwischen den dielektrischen Keramikschichten 3 ausgebildet sind. Die Innenelektroden 4 und 5 sind so ausgebildet dass sie sich zu Außenflächen des Keramiklaminats 2 erstrecken. Die sich zu einer Endfläche 6 des Keramiklaminats 2 erstreckenden Innenelektroden 4 und die sich zu einer anderen Endfläche 7 erstreckenden Innenelektroden 5 sind abwechselnd angeordnet, um durch die dielektrischen Keramikschichten 3 eine statische Kapazität in dem Keramiklaminat 2 zu erhalten.
  • Als Hauptbestandteil eines leitenden Materials der Innenelektroden 4 und 5 können Nickel, Kupfer oder Silber verwendet werden; zum Senken von Kosten wird aber vorzugsweise Nickel verwendet.
  • Um die vorstehend beschriebene statische Kapazität zu gewinnen, sind auf den Außenflächen, d. h. auf den Endflächen 6 und 7, des Keramiklaminats 2 Außenelektroden 8 und 9 zum elektrischen Anschluss an die jeweiligen Innenelektroden 4 und 5 ausgebildet. Als leitendes Material, das in den Außenelektroden 8 und 9 enthalten ist, kann das gleiche leitende Material wie für die Innenelektroden 4 und 5 verwendet werden, und ferner können zum Beispiel auch Silber, Palladium oder eine Silber-Palladium-Legierung verwendet werden. Die Außenelektroden 8 und 9 werden durch Aufbringen einer leitenden Paste, die durch Zugeben einer Glasfritte zu einem Pulver des vorstehenden Metalls oder der vorstehenden Legierung erhalten wird, gefolgt von Brennen, gebildet.
  • Ferner werden bei Bedarf erste Plattierschichten 10 und 11, die aus Nickel, Kupfer oder dergleichen bestehen, auf den Außenelektroden 8 und 9 gebildet, und zweite Plattierschichten 12 und 13, die aus Lot, Zinn oder dergleichen bestehen, werden auf den ersten Plattierschichten 10 bzw. 11 gebildet.
  • Als Nächstes wird eine erfindungsgemäße dielektrische Keramik näher beschrieben.
  • Bei der Zusammensetzung der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik ist der Hauptbestandteil eine Perowskit-Verbindung, die durch die Zusammensetzungsformel (Ba1-x-yCaxSny)m(Ti1-zZrz)O3 wiedergegeben wird, und die vorstehenden x, y, z und m erfüllen 0 ≤ x ≤ 0,20, 0,02 ≤ y ≤ 0,20, 0 ≤ z ≤ 0,05 bzw. 0,990 ≤ m ≤ 1,015.
  • Bei dieser dielektrischen Keramik befindet sich Sn als bivalentes kationisches Element vorrangig in der Ba-Stelle und kaum in der Ti-Stelle. Auch wenn die Curie-Temperatur von Bariumtitanat in etwa bei 120°C liegt, steigt die Curie-Temperatur, wenn die Menge eines Sn-Substituenten in der Ba-Stelle erhöht wird, und wenn eine Substituentenmenge y bei 0,02 oder mehr liegt, steigt die Curie-Temperatur auf 130°C oder mehr. Zudem befindet sich auch Ca als bivalentes kationisches Element in der Ba-Stelle. Da aber die Position von Ca keinen wesentlichen Einfluss auf die Änderung der Curie-Temperatur hat, kann eine kleine Menge Ca in Korngrenzen vorhanden sein oder Ca kann sich in der Ti-Stelle befinden, solange die Aufgabe der vorliegenden Erfindung nicht beeinträchtigt wird.
  • Weiterhin kann Ti teilweise mit Zr ersetzt werden. Wenn aber eine Substituentenmenge z über 0,05 beträgt, sinkt die Curie-Temperatur beträchtlich und somit steht dies der Aufgabe der vorliegenden Erfindung entgegen. Eine kleinere Substituentenmenge z ist bevorzugter und eine Menge z von 0,01 oder weniger ist noch weiter bevorzugt.
  • Wenn das Molverhältnis m der Ba-Stelle zur Ti-Stelle in dem Bereich von 0,990 bis 1,015 liegt, können stabile Sintereigenschaften und Isoliereigenschaften der dielektrischen Keramik beibehalten werden.
  • Ferner ist beachtenswert, dass die erfindungsgemäße dielektrische Keramik ein Seltenerdelement RE als Zusatzbestandteil umfasst. Wenn 0,5 Molteile oder mehr RE auf 100 Molteile des Hauptbestandteils enthalten sind, wird eine Änderungskurve der Dielektrizitätskonstante mit Temperatur gleichmäßig gehalten, und dadurch können die Eigenschaften statischer Kapazität-Temperatur die X9R-Eigenschaften erfüllen. Auch wenn der Grund hierfür noch nicht eindeutig verstanden wird, wird angenommen, dass, da das Gittervolumen bei Feststofflösen von Sn in der Ba-Stelle geändert wird und da ferner das Seltenerdelement RE zugegeben wird, an dem Gitter eine Spannung in einer Richtung zum Verbessern der ferroelektrischen Eigenschaft, d. h. der tetragonalen Eigenschaften, angelegt wird. Wenn dagegen Sn nicht vorhanden ist oder wenn sich Sn in der Ti-Stelle befindet, kann die vorstehend beschriebene Wirkung nicht erhalten werden. Um die Dielektrizitätskonstante hoch zu halten, liegt der obere Grenzwertanteil an RE ferner vorzugsweise bei 20 Molteilen.
  • Ferner hat das Ca der vorliegenden Erfindung eine Wirkung des Förderns von Feststofflösung von Sn in der Ba-Stelle. Wenn der Sauerstoffpartialdruck beim Brennen bei etwa 10–10 MPa oder weniger liegt, wird Sn wahrscheinlich in der Ba-Stelle feststoffgelöst. Wenn der Sauerstoffpartialdruck beim Brennen relativ hoch angesetzt werden kann, kann der Freiheitsgrad bei der Materialauslegung und der Elementauslegung vergrößert werden. Diese Wirkungen können realisiert werden, wenn die Substituentenmenge m bei 0,02 oder mehr liegt. Um eine gleichmäßige Feststofflösung von Ca sicherzustellen, liegt der obere Grenzwert von x vorzugsweise bei 0,20.
  • Ferner weist die erfindungsgemäße dielektrische Keramik eine Curie-Temperatur von 123°C oder mehr auf. Wenn eine Curie-Temperatur von 130°C oder mehr bestätigt wird, versteht sich bei der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik, dass sich Sn in der Ba-Stelle befindet. Wenn sich Sn in der Ti-Stelle befindet, sinkt, wie auch in der vorstehenden Nichtpatentschrift 1 offenbart, die Curie-Temperatur von 120°C beträchtlich ab.
  • Bei der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik kann ferner eine hohe Curie-Temperatur vorteilhaft erhalten werden, da die Ba-Stelle teilweise durch Sn ersetzt wird; es ist aber nicht bevorzugt, dass viele Bestandteile, die die Curie-Temperatur senken, enthalten sind. Wenn ein die Curie-Temperatur senkende Bestandteil zugegeben wird, wird zum Ausgleich dafür zum Beispiel die Menge eines Sn-Substituenten in der Ba-Stelle vorzugsweise erhöht.
  • Als ein die Curie-Temperatur von Bariumtitanat sowie Sn anhebendes Element können dagegen Pb und Bi erwähnt werden. Da aber Pb und Bi einen sehr schlechten Reduktionswiderstand haben, ist es sehr schwierig, sie als Keramikbestandteil eines Mehrschicht-Keramikkondensators zu verwenden.
  • Wie vorstehend beschrieben wird bei der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik bei Bestätigen einer Curie-Temperatur von 130°C oder mehr praktisch nachgewiesen, dass Sn als bivalentes kationisches Element in der Ba-Stelle vorhanden ist.
  • Ferner kann das Vorhandensein von Sn in der Ba-Stelle als bivalentes kationisches Element auch durch XANES (kurz vom engl. X-ray Absorption Near Edge Structure, Röntgen-Nahkanten-Absorptions-Spektroskopie) bestätigt werden, das eine Art von Röntgenabsorptionsspektroskopieverfahren ist. D. h. eine der Erregungsenergie eines K-Hüllen-Elektrons von Sn entsprechende Röntgen-Absorptionskante wird spezifiziert, und dieser Energiewert, der diese Röntgenabsorptionskante anzeigt, wird mit Bezugswerten von Sn-Ionen, beispielsweise Sn2+ und Sn4+, verglichen, so dass die Valenzzahl von Sn in einer dielektrischen Keramik erhalten werden kann.
  • Um ferner die Messgenauigkeit und -empfindlichkeit dieser XANES-Messung zu verbessern, sind eine hohe Intensität von auffallenden Röntgenstrahlen und eine hohe Wellenlängenkontinuität erforderlich. Daher wird vorzugsweise Strahlungslicht als Lichtquelle von auffallenden Röntgenstrahlen verwendet.
  • Weiterhin kann die erfindungsgemäße dielektrische Keramik verschiedene Zusatzbestandteile neben dem Seltenerdelement RE umfassen. In jüngster Zeit wird bei einem Mehrschicht-Keramikkondensator, der vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden verwendet, eine Dickenabnahme einer Keramikschicht aktiv verfolgt, um die Größe zu verringern. Somit umfasst bei einem dünnen Mehrschicht-Keramikkondensator, der durch Brennen in einer reduzierenden Atmosphäre erhalten wird, eine dielektrische Keramik zum Erhalten ausreichenden Isolierwiderstands und ausreichender Zuverlässigkeit vorzugsweise verschiedene Zusatzbestandteile.
  • Wenn zum Beispiel die erfindungsgemäße dielektrische Keramik mindestens eines von Mn und V als Zusatzbestandteil umfasst, kann bei einem dünnen Mehrschicht- Keramikkondensator, der vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden verwendet, ein hinreichender Isolierwiderstand erhalten werden. Um eine bevorzugte Zuverlässigkeit des dünnen Mehrschicht-Keramikkondensators sicherzustellen, liegt der Anteil des vorstehenden Zusatzbestandteils vorzugsweise in dem Bereich von 0,02 bis 1 Molteil auf 100 Molteile des Hauptbestandteils.
  • Wenn als weiteres Beispiel die erfindungsgemäße dielektrische Keramik mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend aus Mg, N und Zn als Zusatzbestandteil umfasst, kann bei einem dünnen Mehrschicht-Keramikkondensator, der vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden verwendet, ein hinreichender Isolierwiderstand erhalten werden. Um die bevorzugte Zuverlässigkeit des dünnen Mehrschicht-Keramikkondensators sicherzustellen, liegt der Anteil des vorstehenden Zusatzbestandteils vorzugsweise in dem Bereich von 0,3 bis 4 Molteilen auf 100 Molteile des Hauptbestandteils.
  • Wenn ferner die erfindungsgemäße dielektrische Keramik Si, beispielsweise SiO2, als Zusatzbestandteil bei einem in einer reduzierenden Atmosphäre durchgeführten Brennen umfasst, kann Sintern bei einer niedrigeren Temperatur mühelos durchgeführt werden. Der Anteil des vorstehenden Zusatzbestandteils liegt in etwa in dem Bereich von 0,2 bis 5 Molteilen auf 100 Molteile des Hauptbestandteils.
  • Als Nächstes wird ein Verfahren zum Herstellen der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik beschrieben.
  • Zuerst wird ein Verfahren zum Herstellen eines keramischen Ausgangsmaterials für die dielektrische Keramik beschrieben. Ein (Ba, Ca, Sn)(Ti, Zr)O3-Pulver als Hauptbestandteil wird durch ein Festphasenverfahren erhalten, bei dem Ausgangsmaterialien, beispielsweise ein Oxidpulver und eine Carbonatverbindung, vermischt werden, und das so erhaltene Gemisch wird durch Wärmebehandlungssynthese verarbeitet.
  • Da aber bei der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik Sn sich letztendlich in der Ba-Stelle als bivalentes kationisches Element befindet, muss tetravalentes Sn, das im Allgemeinen stabil ist, zu bivalentem Sn reduziert werden. Bei der Wärmebehandlungssynthese, bei der (Ba, Ca, Sn)(Ti, Zr)O3-Pulver synthetisiert wird, wird zum Beispiel eine reduzierende Atmosphäre vorzugsweise als Atmosphäre verwendet. Insbesondere wird der Sauerstoffpartialdruck vorzugsweise auf 10–10 MPa oder weniger eingestellt.
  • Um Sn in dem Hauptbestandteil zuverlässig festzulösen, wird ferner das Ausgangsmaterial von Sn vorzugsweise mit den Ausgangsmaterialien von Ba und Ti vermischt. Wenn die erfindungsgemäße dielektrische Keramik Ca umfasst, wird das Ausgangsmaterial von Ca wie in dem vorstehend beschriebenen Fall ebenfalls vorzugsweise mit den Ausgangsmaterialien von Ba und Ti vermischt.
  • Wenn RE2O3, das als Ausgangsmaterial des Seltenerdelements verwendet wird, und das so erhaltene (Ba, Ca, Sn)(Ti, Zr)O3-Pulver nach Bedarf zusammen mit Zusatzbestandteilen wie MnO, MgO und SiO2 vermischt werden, kann das keramische Ausgangsmaterial erhalten werden. Bei diesen Zusatzbestandteilen sind die Form seines Ausgangsmaterials und die Art seiner Verbindung nicht besonders eingeschränkt.
  • Durch die Verwendung des wie vorstehend beschrieben erhaltenen keramischen Ausgangsmaterials wird ein grünes Laminat durch ein Verfahren erhalten, das einem herkömmlichen Verfahren zum Herstellen eines Mehrschicht-Keramikkondensators ähnelt. Wenn das grüne Laminat gebrannt wird, muss als Atmosphäre beim Brennen eine reduzierende Atmosphäre verwendet werden. Wenn der Sauerstoffpartialdruck in dieser reduzierenden Atmosphäre auf 10–12 MPa oder weniger eingestellt wird, kann Sn zuverlässig als bivalentes kationisches Element in der Ba-Stelle angeordnet werden; wenn aber der Anteil x an Ca bei 0,02 oder mehr liegt, kann der Sauerstoffpartialdruck in dem Bereich von etwa 10–10 bis 10–12 MPa eingestellt werden.
  • Ferner muss das Molverhältnis m der gesamten Ba-Stelle zur gesamten Ti-Stelle nicht immer einen Sollbereich erfüllen, wenn diese Ausgangsmaterialien miteinander vermengt werden. Bei der Vermengungsphase des Vermengens der Ausgangsmaterialien des Hauptbestandteilpulvers kann zum Beispiel das Vermengen so ausgeführt werden, dass das Molverhältnis m etwas kleiner ist, und nach dem Synthetisieren des (Ba, Ca, Sn)(Ti, Zr)O3 kann das Ausgangsmaterial des Ba-Bestandteils, das fehlt, zugegeben werden. In diesem Fall wird der als fehlender Bestandteil zugegebene Ba-Bestandteil in dem Hauptbestandteil durch Brennen vorrangig festgelöst, und dadurch kann ein erwünschter m-Wert erhalten werden.
  • Nachdem das Keramiklaminat durch Brennen erhalten ist, wird anschließend durch ein Verfahren, das einem herkömmlichen ähnelt, ein Mehrschicht-Keramikkondensator hergestellt.
  • Ferner können dielektrische Eigenschaften, wie die Dielektrizitätskonstante, des Mehrschicht-Keramikkondensators durch ein Verfahren beurteilt werden, das einem herkömmlichen ähnelt. Bezüglich der Curie-Temperatur wird die Änderung der Dielektrizitätskonstante des Mehrschicht-Keramikkondensators mit Temperatur gemessen, und eine Temperatur, bei der die Dielektrizitätskonstante maximiert wird, wird vorzugsweise als die Curie-Temperatur betrachtet. Wenn der maximale Punkt der Änderung der Dielektrizitätskonstante mit Temperatur nicht klar ist, kann durch Messen der Änderung des c/a-Achsenverhältnisses des Kristallgitters mit Temperatur mit Hilfe von Röntgendiffraktion die Grenztemperatur zwischen dem tetragonalen Kristall und dem kubischen Kristall als die Curie-Temperatur betrachtet werden. Alternativ wird eine exotherme Spitze, die durch den Phasenübergang zwischen dem tetragonalen Kristall und dem kubischen Kristall erzeugt wird, durch eine Differentialscanningkalorimetrie detektiert, und eine Temperatur, bei der diese exotherme Spitze erzeugt wird, kann als die Curie-Temperatur betrachtet werden.
  • Beispiele
  • Nachstehend werden Beispiele der erfindungsgemäßen dielektrischen Keramik und des diese verwendenden Mehrschicht-Keramikkondensators unter Bezug auf experimentelle Beispiele 1 bis 3 beschrieben.
  • [Experimentelles Beispiel 1]
  • In diesem experimentellen Beispiel wurde die Wirkung von RE auf den Hauptbestandteil (Ba, Ca, Sn)(Ti, Zr)O3 unter Verwenden eines Mehrschicht- Keramikkondensators untersucht, der vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden umfasste.
  • Zunächst wurden als Ausgangsmaterialien BaCo3, TiO2, CaCO3 und SnO2 erzeugt. Diese Ausgangsmaterialien wurden zu einer Zusammensetzung vermengt, die durch die Zusammensetzungsformel (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)1,01TiO3 wiedergegeben wird. Dieses vermengte Pulver wurde unter Verwenden einer Kugelmühle gemischt und pulverisiert und wurde dann getrocknet, so dass ein Mischpulver erhalten wurde.
  • Dieses Mischpulver wurde durch Wärmebehandlungssynthese bei 1.000°C in einer N2-H2-Mischgasatmosphäre bei einem Sauerstoffpartialdruck von 10–10 MPa 2 Stunden lang behandelt, so dass ein Pulver, das (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)1,01TiO3 als Hauptbestandteil enthielt, erhalten wurde.
  • Als Nächstes wurden dem Pulver, das (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)1,01TiO3 als Hauptbestandteil enthielt, Dy2O3, MnCO3, MgCO3 und SiO2 beigemengt, um a Molteile Dy, 0,5 Molteile Mn, 1,0 Molteile Mg und 2,0 Molteile Si auf 100 Molteile (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)1,01TiO3 zu erhalten, und wurden in einem Lösungsmittel gemischt. Bei diesem Schritt wurde der Anteil a an Dy so geändert, dass er die Werte der in Tabelle 1 gezeigten Proben Nr. 1 bis 8 hatte. Nach dem Mischen wurde dieses Pulver trockenpulverisiert, so dass ein keramisches Ausgangsmaterial erhalten wurde.
  • Ein polyvinylbutyral-basiertes Bindemittel wurde diesem keramischen Ausgangsmaterial mit Ethanol, das als Lösungsmittel fungierte, zugegeben, gefolgt vom Ausführen des Mischens und Pulverisierens, so dass ein Schlicker erhalten wurde. Dieser Schlicker wurde durch ein Schabermesserverfahren bearbeitet, um Folien zu bilden, so dass keramische Grünfolien mit einer Dicke von 7 μm erhalten wurden.
  • Eine Ni als Hauptbestandteil enthaltende leitende Paste wurde auf Oberflächen der vorstehenden keramischen Grünfolien siebgedruckt, um leitende Pastenschichten zu bilden, die Innenelektroden bilden. Die vorstehenden keramischen Grünfolien, auf denen die leitenden Pastenschichten gebildet wurden, wurden miteinander so laminiert, dass Seitenflächen der keramischen Grünlinge, an denen verlängerte Teile der leitenden Pastenschichten freigelegt waren, abwechselnd angeordnet waren, so dass ein grünes Keramiklaminat erhalten wurden.
  • Nach dem Erwärmen bei einer Temperatur von 350°C in einer Stickstoffatmosphäre zum Herausbrennen des Bindemittels wurde dieses grüne Keramiklaminat in einer H2-N2-H2O-Gasatmosphäre bei einem Sauerstoffpartialdruck von 10–11,5 MPa 2 Stunden lang bei einer in Tabelle 1 gezeigten Brenntemperatur gebrannt, so dass ein gebranntes Keramiklaminat erhalten wurde.
  • Eine B-Li-Si-Ba-O-basierte Glasfritte und Cu als Hauptbestandteil enthaltende leitende Paste wurde auf zwei Endflächen dieses Keramiklaminats aufgebracht und wurde dann bei 600°C in einer Stickstoffatmosphäre gebrannt, so dass mit den Innenelektroden elektrisch verbundene Außenelektroden gebildet wurden. Weiterhin wurden zum Verbessern der Lötbarkeit eine Ni-Plattierschicht und eine Sn-Plattierschicht auf jeder Außenelektrode gebildet.
  • Das Außenmaß des wie vorstehend beschrieben erhaltenen Mehrschicht-Keramikkondensators 1 hatte eine Länge von 2,0 mm, eine Breite von 1,0 mm und eine Dicke von 0,5 mm; die Dicke der zwischen den Innenelektroden vorgesehenen Keramikschicht betrug 5 μm; die Dicke einer die Innenelektrode bildenden Metallschicht betrug 0,5 μm; die Anzahl an Keramikschichten, die für statische Kapazität dienten, betrug fünf; und die Gegenelektrodenfläche pro Keramikschicht betrug 1,3 × 10–6 m2. Wie vorstehend beschrieben wurden Beurteilungsproben Nr. 1 bis 8 erhalten.
  • Als Nächstes wurde der Isolierwiderstand jeder der Proben Nr. 1 bis 8 durch Anlegen einer Gleichspannung von 30 kV/mm bei 25°C eine Minute lang gemessen; und der spezifische Widerstand ρ wurde aus dem Isolierwiderstand erhalten. In Tabelle 1 ist ein log(ρ/Ω·cm)-Wert gezeigt.
  • Ferner wurde die Dielektrizitätskonstante bei 25°C unter einem wechselnden elektrischen Feld von 0,2 kVrms bei 1 KHz beurteilt, und der Wert wird in Tabelle 1 gezeigt. Ferner wurde die statische Kapazität in dem Bereich von –55 bis 175°C gemessen, und die Änderungsrate der statischen Kapazität bei 175°C bezüglich der bei 25°C, die als Referenz verwendet wurde, wird als ”Änderungsrate der statischen Kapazität (%)” in Tabelle 1 gezeigt. Weiterhin wird in Tabelle 1 auch ein Beurteilungsergebnis, ob die X9R-Eigenschaften (bei denen die Änderung der statischen Kapazität in dem Bereich von –55 bis 175°C innerhalb von ±15% bezüglich einer statischen Kapazität bei 25°C, die als Referenz verwendet wurde, festgelegt war) erfüllt wurden oder nicht, gezeigt.
  • Ferner wurde nach dem Messen der Änderung der statischen Kapazität mit Temperatur in dem Bereich von –55 bis 200°C eine Temperatur, bei der die statische Kapazität maximiert wurde, als die Curie-Temperatur betrachtet, und die Curie-Temperatur wird in Tabelle 1 gezeigt.
  • Weiterhin wurde eine Hochtemperaturbelastungslebensdauer bei einer Temperatur von 175° und einem angelegten elektrischen Feld von 20 kV/mm gemessen, und ein Ergebnis der mittleren Zeit bis zum Ausfall (MTTF, Einheit: Std.) wird in Tabelle 1 gezeigt. Bei dieser Messung wurde der Ausfall festgestellt, wenn der Widerstand auf 106 Ω oder weniger absank. [Tabelle 1]
    Probe Nr. a Brenntemperatur (°C) Log(ρ/Ω·cm) εr MTTF (h) Curie-Temperatur C) Änderungsrate der statistischen Kapazität (%) X9R-Beurteilung
    *1 0 1.050 10,5 2.000 5 140 –28 x
    *2 0,2 1.050 12,2 2.000 40 140 –22 x
    3 0,5 1.050 12,3 1.800 40 140 –15 O
    4 2,0 1.050 12,1 1.500 50 145 –12 O
    5 10,0 1.050 12,1 1.200 60 145 –12 O
    6 15,0 1.050 11,8 1.100 70 145 –12 O
    7 20,0 1.050 12,1 1.000 80 145 –12 O
    *8 25,0 1.050 11,8 800 30 145 –12 O
  • Da die Probe Nr. 1 kein Seltenerdelement enthielt und die Probe Nr. 2 einen kleinen Anteil eines Seltenerdelements aufwies, erfüllten die Eigenschaften von statischer Kapazität-Temperatur nicht die X9R-Eigenschaften.
  • Gemäß den Proben Nr. 3 bis 7 erfüllte die statische Kapazität aufgrund der Dy-Funktion die X9R-Eigenschaften und εr betrug 1.000 oder mehr.
  • Da die Probe Nr. 8 einen übermäßigen Anteil an Dy aufwies, lag der εr-Wert unter 1.000.
  • [Experimentelles Beispiel 2]
  • In diesem experimentellen Beispiel wurden die Einflüsse des Anteils von Sn und des Festlösungszustand desselben auf die Hauptwirkung der vorliegenden Erfindung unter Verwenden eines Mehrschicht-Keramikkondensators, der vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden umfasste, oder eines Einplattenkondensators untersucht.
  • Zunächst wurden als Ausgangsmaterialien BaCo3, TiO2, CaCO3 und SnO2 verwendet, wurden vermengt, so dass die x- und y-Werte der Zusammensetzungsformel: (Ba1-x-yCaxSny)1,01TiO3 mit den x- und y-Werten jeder der Proben Nr. 11 bis 24, die in Tabelle 2 gezeigt sind, übereinstimmten. Dieses vermengte Pulver wurde mit Hilfe einer Kugelmühle gemischt und pulverisiert und wurde dann getrocknet, so dass ein Mischpulver erhalten wurde.
  • Dieses Mischpulver wurde durch Wärmebehandlungssynthese bei 1.000°C in Luft oder in einer N2-H2-Mischgasatmosphäre bei einem in Tabelle 2 gezeigten Sauerstoffpartialdruck 2 Stunden lang behandelt, so dass ein Pulver, das (Ba1-x-yCaxSny)1,01TiO3 als Hauptbestandteil enthielt, erhalten wurde.
  • Als Nächstes wurden dem Pulver, das (Ba1-x-yCaxSny)1,01TiO3 als Hauptbestandteil enthielt, Dy2O3, MnCO3, MgCO3 und SiO2 beigemengt, um 3 Molteile Dy, 0,5 Molteile Mn, 1,0 Molteile Mg und 2,0 Molteile Si auf 100 Molteile (Ba1-x-yCaxSny)1,01TiO3 zu erhalten, und wurden dann in einem Lösungsmittel gemischt. Nach dem Mischen wurde dieses Pulver trockenpulverisiert, so dass ein keramisches Ausgangsmaterial erhalten wurde.
  • Dieses keramische Ausgangsmaterial wurde durch die gleichen Schritte, wie sie in dem experimentellen Beispiel 1 beschrieben sind, verarbeitet, und es wurde ein grünes Laminat mit dem gleichen Aufbau wie dem des experimentellen Beispiels 1 erhalten.
  • Nur Probe Nr. 12 wurde nicht zu einem grünen Laminat ausgebildet und wurde zu einem Einplatten-Formkörper ausgebildet. D. h. ein Pulver, das durch die Schritte des Nassmischens des keramischen Ausgangsmaterialpulvers mit einem acrylbasierten organischen Bindemittel, des Trocknens des Gemisches und des Pelletierens des getrockneten Gemisches erhalten wurde, wurde bei einem Druck von 196 MPa pressgeformt, so dass ein Scheibenformkörper mit einem Durchmesser von 12 mm und einer Dicke von 1 mm erhalten wurde.
  • Nach dem Erwärmen bei einer Temperatur von 350°C in einer Stickstoffatmosphäre zum Herausbrennen des Bindemittels wurden das grüne Keramiklaminat und der scheibenförmige Sinterkörper in Luft oder einer reduzierenden Atmosphäre eines H2-N2-H2O-Gases bei einem in Tabelle 2 gezeigten Sauerstoffpartialdruck 2 Stunden gehalten, so dass gesinterte Keramiklaminate und ein gesinterter scheibenförmiger Körper erhalten wurden.
  • Das so erhaltene Keramiklaminat wurde durch die gleichen Schritte wie denen in dem experimentellen Beispiel 1 verarbeitet, so dass eine Probe eines Mehrschicht-Keramikkondensators mit dem gleichen Aufbau wie dem des experimentellen Beispiels 1 erhalten wurde.
  • An den beiden Hauptflächen des Scheibensinterkörpers von Probe Nr. 12 wurden Ag-Abscheidungsschichten gebildet und als Außenelektroden verwenden. Das Außenmaß des Einplatten-Keramikkondensators hatte einen Durchmesser von 10 mm und eine Dicke von 0,8 mm.
  • Bei den so erhaltenen Proben Nr. 11 bis 24 wurden der log(ρ/Ω·cm) des spezifischen Widerstands ρ, der εr, die Änderungsrate der statischen Kapazität, das Beurteilungsergebnis der X9R-Eigenschaften, der MTTF in einem Hochtemperaturbelastungstest und die Curie-Temperatur durch die gleichen Verfahren wie in dem experimentellen Beispiel 1 beurteilt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 2 gezeigt.
  • Figure 00200001
  • Da Probe Nr. 11 kein Sn enthielt, obwohl 3 Molteile des Seltenerdelements Dy auf 100 Molteile des Hauptbestandteils enthalten waren, wurden die X9R-Eigenschaften nicht erfüllt.
  • Auch wenn Probe Nr. 12 so erzeugt wurde, dass der Sn-Anteil y bei 0,02 lag und 3 Molteile des Seltenerdelements Dy auf 100 Molteile des Hauptbestandteils enthalten waren, wurden die X9R-Eigenschaften nicht erfüllt. Da die Curie-Temperatur unter 130°C lag, zeigte dies an, dass sich Sn vorrangig in der Ti-Stelle befand. Man meint, dass der Grund dafür darin liegt, dass der Sauerstoffpartialdruck bei der Wärmebehandlungssynthese des Hauptbestandteilpulvers und der beim Brennen hoch waren.
  • Auch wenn Probe Nr. 13 so erzeugt wurde, dass der Sn-Anteil y bei 0,02 lag und 3 Molteile des Seltenerdelements Dy auf 100 Molteile des Hauptbestandteils enthalten waren, wurden die X9R-Eigenschaften nicht erfüllt. Da die Curie-Temperatur unter 130°C lag, zeigte dies an, dass sich Sn vorrangig in der Ti-Stelle befand. Man meint, dass der Grund dafür darin liegt, dass der Sauerstoffpartialdruck bei der Wärmebehandlungssynthese des Hauptbestandteilpulvers hoch war.
  • Die Proben Nr. 14 bis 17 erfüllten die X9R-Eigenschaften und εr lag bei 1.000 oder mehr. Da die Curie-Temperatur bei 130°C oder mehr lag, wurde angenommen, dass sich Sn vorrangig in der Ba-Stelle befand. Als aber der Anteil y von Sn bei über 0,20 lag, wie bei Probe Nr. 18, sank εr auf unter 1.000.
  • Bei den Proben Nr. 19 bis 23 wurde die Menge an Ca geändert; wie bei den Proben Nr. 14 bis 17 wurden aber die X9R-Eigenschaften erfüllt und ε lag bei 1.000 oder mehr. Als aber der Anteil an Ca bei über 0,20 lag, wie bei Probe Nr. 24, sank εr auf unter 1.000. Da ferner Probe Nr. 19 kein Ca enthielt, musste der Sauerstoffpartialdruck beim Brennen niedriger festgelegt werden als bei den anderen Proben; es verursachte aber keine praktischen Probleme.
  • [Experimentelles Beispiel 3]
  • Bei diesem Beispiel wurden die Einflüsse der Anteile von Zusatzbestandteilen und deren Arten auf verschiedene Eigenschaften unter Verwendung von Mehrschicht-Keramikkondensatoren untersucht, die unter den gleichen Herstellungsbedingungen gebildet wurden und die vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden umfassten.
  • Zuerst wurden als Ausgangsmaterialien BaCo3, TiO2, CaCO3 und SnO2 erzeugt. Die Ausgangsmaterialien BaCo3, TiO2, CaCO3 und SnO2, wurden vermengt, so dass der m-Wert von (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)mTiO3 mit einem m-Wert jeder der in Tabelle 3 gezeigten Proben Nr. 31 bis 71 übereinstimmte. Dieses vermengte Pulver wurde mit Hilfe einer Kugelmühle gemischt und pulverisiert und wurde dann getrocknet, so dass ein Mischpulver erhalten wurde.
  • Dieses Mischpulver wurde durch Wärmebehandlungssynthese bei 1.000°C in einer N2-H2-Mischgas enthaltenden Atmosphäre bei einem Sauerstoffpartialdruck von 10–10 MPa 2 Stunden lang behandelt, so dass ein Pulver, das (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)mTiO3 als Hauptbestandteil enthielt, erhalten wurde.
  • Als Nächstes wurden dem Pulver, das (Ba0,85Ca0,10Sn0,05)mTiO3 als Hauptbestandteil enthielt, Y2O3, La2O3, CO2, Pr6O11, Nd2O3, Sm2O3, Eu2O3, Gd2O3, Tb2O3, Dy2O3, Ho2O3, Er2O3, Tm2O3, Yb2O3, Lu2O3, MnCO3, V2O3, MgCO3, NiO, ZnO und SiO2 beigemengt, so dass auf 100 Molteile des Hauptbestandteils ein Anteil a eines Seltenerdelements RE, ein Anteil b mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend aus Mn und V, ein Anteil c mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend aus Mg, Ni und Zn, und ein Anteil d von Si auf Molteilbasis mit in Tabelle 3 gezeigten Werten jeder der Proben Nr. 31 bis 71 übereinstimmten, und wurden dann in einem Lösungsmittel gemischt. Nach dem Mischen wurde dieses Pulver trockenpulverisiert, so dass ein keramisches Ausgangsmaterial erhalten wurde.
  • Dieses keramische Ausgangsmaterial wurde durch die gleichen Schritte wie in dem experimentellen Beispiel 1 beschrieben behandelt und es wurde ein grünes Laminat mit dem gleichen Aufbau wie dem des experimentellen Beispiels 1 erhalten.
  • Nach dem Erwärmen bei einer Temperatur von 350°C in einer Stickstoffatmosphäre zum Herausbrennen des Bindemittels wurde dieses grüne Keramiklaminat in einer reduzierenden Atmosphäre eines H2-N2-H2O-Gases bei einem Sauerstoffpartialdruck von 10–11,5 MPa 2 Stunden lang und bei einer in Tabelle 3 gezeigten Brenntemperatur gebrannt, so dass ein gebranntes Keramiklaminat erhalten wurde.
  • Auf diesem Keramiklaminat wurden Außenelektroden unter den gleichen Fertigungsbedingungen wie denen des experimentellen Beispiels 1 gebildet, so dass Mehrschicht-Keramikkondensatoren der Proben Nr. 31 bis 71 erhalten wurden.
  • Bei den so erhaltenen Proben Nr. 31 bis 71 wurden der log(ρ/Ω·cm) des spezifischen Widerstands ρ, der εr, die Änderungsrate der statischen Kapazität, das Beurteilungsergebnis der X9R-Eigenschaften, der MTTF in einem Hochtemperaturbelastungstest und die Curie-Temperatur durch die gleichen Verfahren wie in dem experimentellen Beispiel 1 beurteilt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 3 gezeigt.
  • Figure 00240001
  • Gemäß den Proben Nr. 31 und 35, bei denen der m-Wert des Hauptbestandteils außerhalb des erfindungsgemäßen Bereichs lag, konnte bei dem dünnen Mehrschicht-Keramikkondensator, der vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden verwendete, kein ausreichender Isolierwiderstand und keine ausreichende Zuverlässigkeit erhalten werden.
  • Gemäß den Proben Nr. 32 bis 34, 37 bis 41, 43, 45 bis 47, 49, 50, 52 bis 54 und 56 bis 71 konnten bei dem dünnen Mehrschicht-Keramikkondensator, der vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden verwendete, ein ausreichender Isolierwiderstand und eine ausreichende Zuverlässigkeit erhalten werden, und die X9R-Eigenschaften und εr wurden nicht negativ beeinflusst.
  • Gemäß den Proben Nr. 36 und 42 lag ferner der Anteil mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend aus Mn und V außerhalb des bevorzugten erfindungsgemäßen Bereichs; gemäß der Proben Nr. 44 und 48 lag der Anteil mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend aus Mg, Ni und Zn außerhalb des bevorzugten erfindungsgemäßen Bereichs; und gemäß Proben Nr. 51 und 55 lag der Anteil an Si außerhalb des bevorzugten erfindungsgemäßen Bereichs. Bei dem dünnen Mehrschicht-Keramikkondensator, der vorrangig aus Ni bestehende Innenelektroden verwendete, konnte gemäß jeder der vorstehend beschriebenen Proben kein ausreichender Isolierwiderstand und keine ausreichende Zuverlässigkeit erhalten werden. Bei einem Einplatten-Kondensator oder einem Mehrschicht-Keramikkondensator, der kein Brennen in einer reduzierenden Atmosphäre erfordert, waren aber der vorstehende Isolierwiderstand und die vorstehende Zuverlässigkeit für die praktische Nutzung ausreichend.
  • Ferner waren in den Tabellen 1 bis 3 der experimentellen Beispiele 1 bis 3 die mit einem * versehenen Proben Proben außerhalb des erfindungsgemäßen Bereichs.
  • Es versteht sich, dass alle Punkte der Ausführungsformen und die Beispiele beispielhaft offenbart sind und dass die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt ist. Der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung ist nicht auf die vorstehenden Ausführungsformen und Beispiele beschränkt, sondern ist lediglich durch die Ansprüche beschränkt, und Bedeutungen, die zu den Ansprüchen gleichwertig sind, sowie alle Änderungen und Abwandlungen innerhalb des Schutzumfangs der vorliegenden Erfindung sollten in der vorliegenden Erfindung eingeschlossen sein.
  • Da die erfindungsgemäße dielektrische Keramik eine hohe Curie-Temperatur aufweist und stabil bei einer hohen Temperatur von etwa 175°C verwendet werden kann, kann die vorstehende dielektrische Keramik für einen Mehrschicht-Keramikkondensator verwendet werden, der bevorzugt in einer Hochtemperaturatmosphäre in einer Kraftfahrzeuganwendung und dergleichen verwendet wird.
  • Zusammenfassung
  • Es wird eine dielektrische Keramik zur Hand gegeben, die vorzugsweise für einen Mehrschicht-Keramikkondensator verwendet wird, der selbst bei einer hohen Temperatur von etwa 175°C stabil verwendbar ist. Die dielektrische Keramik umfasst eine Perowskit-Verbindung, die durch die Zusammensetzungsformel Ba1-x-yCaxSny)m(Ti1-zZrz)O3 wiedergegeben wird (wobei x, y, z und m 0 ≤ x ≤ 0,20, 0,02 ≤ y ≤ 0,20, 0 ≤ z ≤ 0,05 bzw. 0,990 ≤ m ≤ 1,015 erfüllen), als Hauptbestandteil; und RE als Zusatzbestandteil (wobei RE mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend aus Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb und Lu ist), wobei 0,5 bis 20 Molteile RE auf 100 Molteile des Hauptbestandteils enthalten sind.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 03-040962 [0007]
    • - WO 2005/075377 [0009, 0011]
    • - JP 3-040962 [0011]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - K. Okazaki, „Ceramic Dielectric Technologies”, 3. Band, Seiten 281 bis 283 [0011]
    • - K. Okazaki, „Ceramic Dielectric Technologies”, 3. Band, Seiten 281–283 [0011]

Claims (8)

  1. Dielektrische Keramik, welche umfasst: eine Perowskit-Verbindung, die durch die Formel (Ba1-x-yCaxSny)m(Ti1-zZrz)O3 wiedergegeben wird (wobei x, y, z und m 0 ≤ x ≤ 0,20, 0,02 ≤ y ≤ 0,20, 0 ≤ z ≤ 0,05 bzw. 0,990 ≤ m ≤ 1,015 erfüllen), als Hauptbestandteil; und RE als Zusatzbestandteil (wobei RE mindestens eines gewählt aus der Gruppe bestehend aus Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb und Lu ist), wobei 0,5 bis 20 Molteile RE auf 100 Molteile des Hauptbestandteils enthalten sind.
  2. Dielektrische Keramik nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem Hauptbestandteil 0,02 ≤ x ≤ 0,20 gilt.
  3. Dielektrische Keramik nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Curie-Temperatur bei 130°C oder mehr liegt.
  4. Dielektrische Keramik nach einem der Ansprüche 1 bis 3, welche weiterhin 0,02 bis 1 Molteil mindestens eines Elements gewählt aus der Gruppe von Mn und V als Zusatzbestandteil auf 100 Molteile des Hauptbestandteils umfasst.
  5. Dielektrische Keramik nach einem der Ansprüche 1 bis 4, welche weiterhin 0,3 bis 4 Molteile mindestens eines Elements gewählt aus der Gruppe bestehend aus Mg, Ni und Zn als Zusatzbestandteil auf 100 Molteile des Hauptbestandteils umfasst.
  6. Dielektrische Keramik nach einem der Ansprüche 1 bis 5, welche weiterhin 0,2 bis 5 Molteile Si als Zusatzbestandteil auf 100 Molteile des Hauptbestandteils umfasst.
  7. Mehrschicht-Keramikkondensator, welcher umfasst: ein Keramiklaminat, das mehrere miteinander laminierte Keramikschichten und mehrere geschichtete Innenelektroden, die entlang Grenzflächen zwischen den Keramikschichten ausgebildet sind, umfasst; und mehrere mit den Innenelektroden elektrisch verbundene Außenelektroden, die zu Flächen des Keramiklaminats freigelegt sind, wobei die Keramikschichten die dielektrische Keramik nach einem der Ansprüche 1 bis 6 umfassen.
  8. Mehrschicht-Keramikkondensator nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenelektroden Ni als Hauptbestandteil umfassen.
DE112007002865.3T 2006-12-05 2007-11-13 Dielektrische Keramik und diese verwendender Mehrschicht-Keramikkondensator Expired - Fee Related DE112007002865B4 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006-328545 2006-12-05
JP2006328545 2006-12-05
PCT/JP2007/071955 WO2008068999A1 (ja) 2006-12-05 2007-11-13 誘電体セラミックおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE112007002865T5 true DE112007002865T5 (de) 2010-02-04
DE112007002865B4 DE112007002865B4 (de) 2018-03-01

Family

ID=39491904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112007002865.3T Expired - Fee Related DE112007002865B4 (de) 2006-12-05 2007-11-13 Dielektrische Keramik und diese verwendender Mehrschicht-Keramikkondensator

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7751178B2 (de)
JP (1) JP5151990B2 (de)
CN (1) CN101553444B (de)
DE (1) DE112007002865B4 (de)
TW (1) TW200838829A (de)
WO (1) WO2008068999A1 (de)

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5131595B2 (ja) * 2006-07-07 2013-01-30 株式会社村田製作所 誘電体セラミック、及びセラミック電子部品、並びに積層セラミックコンデンサ
JP4798231B2 (ja) * 2009-01-30 2011-10-19 株式会社村田製作所 誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ
KR101191300B1 (ko) * 2009-03-26 2012-10-16 케메트 일렉트로닉스 코포레이션 저 esl 및 저 esr을 갖는 리드 적층 세라믹 캐패시터
DE102009049404B4 (de) * 2009-10-14 2022-08-18 Tdk Electronics Ag Keramikmaterial, Verfahren zur Herstellung des Keramikmaterials und Widerstandsbauelement umfassend das Keramikmaterial
KR101113441B1 (ko) * 2009-12-31 2012-02-29 삼성전기주식회사 유전체 자기 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터
JP5234035B2 (ja) 2010-03-24 2013-07-10 株式会社村田製作所 誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ
JP5251913B2 (ja) 2010-03-29 2013-07-31 株式会社村田製作所 誘電体セラミック組成物および積層セラミックコンデンサ
JP5655866B2 (ja) * 2011-01-12 2015-01-21 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法
CN103370755B (zh) * 2011-02-14 2016-05-11 株式会社村田制作所 层叠陶瓷电容器及层叠陶瓷电容器的制造方法
TWI592961B (zh) 2012-03-22 2017-07-21 禾伸堂企業股份有限公司 積層陶瓷電容器
US9365458B2 (en) 2012-03-22 2016-06-14 Holy Stone Enterprise Co., Ltd. Dielectric ceramic material
US10155697B2 (en) 2012-03-22 2018-12-18 Holy Stone Enterprise Co., Ltd. Composite dielectric ceramic material having anti-reduction and high temperature stability characteristics and method for preparing same
WO2014024592A1 (ja) 2012-08-07 2014-02-13 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの製造方法
WO2014024538A1 (ja) * 2012-08-07 2014-02-13 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの製造方法
TWI545814B (zh) * 2012-11-02 2016-08-11 佳能股份有限公司 壓電式材料、壓電式元件及電子設備
EP2897796B1 (de) * 2012-11-02 2018-08-22 Canon Kabushiki Kaisha Piezoelektrisches material, piezoelektrisches element und elektronische vorrichtung
KR20140112883A (ko) * 2013-03-14 2014-09-24 삼성전기주식회사 바륨칼슘틴티타네이트 분말, 유전체 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터
JP6381294B2 (ja) * 2013-07-12 2018-08-29 キヤノン株式会社 圧電材料、圧電素子、および電子機器
EP2824091B1 (de) * 2013-07-12 2020-02-19 Canon Kabushiki Kaisha Piezoelektrisches Material, piezoelektrisches Element und elektronische Vorrichtung
JP6362087B2 (ja) * 2013-07-12 2018-07-25 キヤノン株式会社 圧電材料、圧電素子、および電子機器
EP2824094B8 (de) 2013-07-12 2018-12-19 Canon Kabushiki Kaisha Piezoelektrisches Material, piezoelektrisches Element und elektronische Vorrichtung
JP6632522B2 (ja) * 2013-09-25 2020-01-22 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 静電容量温度感知のための組成物、装置、及び方法
JP2015135957A (ja) * 2013-12-18 2015-07-27 キヤノン株式会社 圧電素子、積層圧電素子、液体吐出装置、超音波モータ
JP2015134707A (ja) 2013-12-18 2015-07-27 キヤノン株式会社 圧電材料、圧電素子および電子機器
JP2015135958A (ja) 2013-12-18 2015-07-27 キヤノン株式会社 圧電材料、圧電素子、および電子機器
US9287701B2 (en) * 2014-07-22 2016-03-15 Richard H. Sherratt and Susan B. Sherratt Revocable Trust Fund DC energy transfer apparatus, applications, components, and methods
KR102089701B1 (ko) * 2015-10-21 2020-03-16 삼성전기주식회사 유전체 자기 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터
JP6631854B2 (ja) * 2015-12-04 2020-01-15 株式会社村田製作所 誘電体磁器組成物、積層セラミックコンデンサ、及び積層セラミックコンデンサの製造方法
TWI642074B (zh) * 2016-06-06 2018-11-21 村田製作所股份有限公司 Multilayer ceramic capacitor
KR101922876B1 (ko) 2016-11-09 2018-11-28 삼성전기 주식회사 유전체 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터
US11819702B2 (en) * 2020-03-04 2023-11-21 North Carolina State University Perovskite materials and methods of making and use thereof
KR102653210B1 (ko) * 2020-12-16 2024-04-01 삼성전기주식회사 적층형 커패시터
US11791098B2 (en) 2020-12-16 2023-10-17 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Dielectric and multilayer capacitor including the same
JP2022143403A (ja) * 2021-03-17 2022-10-03 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ
KR20230102525A (ko) * 2021-12-30 2023-07-07 삼성전기주식회사 적층형 전자 부품

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0340962A (ja) 1989-05-02 1991-02-21 Japan Metals & Chem Co Ltd 誘電体磁器組成物
WO2005075377A1 (ja) 2004-02-10 2005-08-18 Murata Manufacturing Co., Ltd 誘電体磁器組成物及びそれを用いた電子部品

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3509710B2 (ja) * 1999-09-03 2004-03-22 株式会社村田製作所 誘電体セラミック組成物、および積層セラミックコンデンサ
JP2002029835A (ja) * 2000-07-13 2002-01-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 誘電体磁器組成物とこれを用いた積層セラミックコンデンサとその製造方法
JP4519342B2 (ja) * 2001-03-16 2010-08-04 京セラ株式会社 誘電体磁器および積層型電子部品
JP4446324B2 (ja) * 2001-09-27 2010-04-07 株式会社村田製作所 誘電体磁器組成物及びそれを用いたコンデンサ
CN1125792C (zh) * 2001-10-10 2003-10-29 浙江大学 微波介质陶瓷及其制备方法
CN100494118C (zh) * 2004-12-07 2009-06-03 天津大学 一种温度超稳定型电子陶瓷材料及其制造方法
JP2006298680A (ja) * 2005-04-18 2006-11-02 Taiyo Yuden Co Ltd 誘電体セラミック及び積層セラミックコンデンサ
JP5131595B2 (ja) * 2006-07-07 2013-01-30 株式会社村田製作所 誘電体セラミック、及びセラミック電子部品、並びに積層セラミックコンデンサ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0340962A (ja) 1989-05-02 1991-02-21 Japan Metals & Chem Co Ltd 誘電体磁器組成物
WO2005075377A1 (ja) 2004-02-10 2005-08-18 Murata Manufacturing Co., Ltd 誘電体磁器組成物及びそれを用いた電子部品

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
K. Okazaki, "Ceramic Dielectric Technologies", 3. Band, Seiten 281 bis 283

Also Published As

Publication number Publication date
CN101553444B (zh) 2012-08-22
TW200838829A (en) 2008-10-01
DE112007002865B4 (de) 2018-03-01
WO2008068999A1 (ja) 2008-06-12
TWI356048B (de) 2012-01-11
JPWO2008068999A1 (ja) 2010-03-18
US20090207551A1 (en) 2009-08-20
CN101553444A (zh) 2009-10-07
US7751178B2 (en) 2010-07-06
JP5151990B2 (ja) 2013-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112007002865B4 (de) Dielektrische Keramik und diese verwendender Mehrschicht-Keramikkondensator
DE112006001440B4 (de) Dielektrische Keramik und Vielschicht-Keramikkondensator
DE112007001335T9 (de) Dielektrische Keramik, Keramikelektronikelement und Vielschicht-Keramikkondensator
DE69913284T2 (de) Dielektrische keramische Zusammensetzung und monolithischer keramischer Kondensator
DE69728721T2 (de) Dielektrische keramische Zusammensetzung und dieselbe benutzender monolithischer keramischer Kondensator
DE69835044T2 (de) Dielektrische Keramik und monolitischer keramischer Kondensator diese enthaltend
DE2701411C3 (de) Dielektrische Keramikverbindung
DE19906582B4 (de) Dielektrische keramische Zusammensetzung, laminierter Keramikkondensator und Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators
DE112012000798T5 (de) Mehrschichtiger Keramikkondensator und Verfahren zum Herstellen eines mehrschichtigen Keramikkondensators
DE102012109362B4 (de) Dielektrische Zusammensetzung und diese enthaltendes keramisches Elektronikbauteil
DE10024236A1 (de) Keramikkondensator und Verfahren zu seiner Herstellung
DE102010050554B4 (de) Dielektrische Keramikzusammensetzung und elektronische Komponente
DE10043882B4 (de) Dielektrische Keramikzusammensetzung und monolithisches Keramikbauteil
DE112012001237T5 (de) Dielektrische Keramik und laminierter Keramikkondensator
DE102008033664A1 (de) Varistor
DE69834373T2 (de) Dielektrische keramische Zusammensetzung und dieselbe Verwendenter monolithischer keramischer Kondensator
DE112014005611T5 (de) Mehrschichtiger Keramikkondensator und Verfahren zum Herstellen eines mehrschichtigen Keramikkondensators
DE112004001237B4 (de) Dielektrische keramische Zusammensetzung und deren Verwendung für einen laminierten keramischen Kondensator
DE112012000451B4 (de) Keramischer Mehrschichtenkondensator und Verfahren zur Herstellung eines keramischen Mehrschichtenkondensators
DE102011101986B4 (de) Dielektrische Keramikzusammensetzung und keramische elektronische Komponente
DE60116449T2 (de) Magnesium-Zink-Titanat Pulver mit einem Flussmittel aus Lithiumsilikat und Bariumboraten und ein daraus hergestellter mehrschichtiger COG-Kondensator
DE60128172T2 (de) Dielektrische keramische Zusammensetzung, elektronisches Gerät, und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE112010003826T5 (de) Dielektrische keramik und laminierter keramikkondensator
DE60126242T2 (de) Dielektrische zusammensetzung, herstellungsverfahren von einem keramikbauteil, und elektronisches bauteil
DE3237571A1 (de) Keramisches dielektrikum auf basis von wismut enthaltendem bati0(pfeil abwaerts)3(pfeil abwaerts)

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20140723

R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee