DE112004001237B4 - Dielektrische keramische Zusammensetzung und deren Verwendung für einen laminierten keramischen Kondensator - Google Patents

Dielektrische keramische Zusammensetzung und deren Verwendung für einen laminierten keramischen Kondensator Download PDF

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Abstract

Dielektrische keramische Zusammensetzung, die durch die Formel der, chemischen Zusammensetzung repräsentiert wird: 100(Ba1-xCax)mTiO3 + aMnO + bCuO + cSiO2 + dRe2O3 (wobei die Koeffizienten 100, a, b, c, und d jeder einen molaren Anteil repräsentieren; und wobei Re wenigstens ein Seltenerdeelement ausgewählt aus Y, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, und Yb repräsentiert), wobei m, x, a, b, c, und d die jeweiligen Beziehungen erfüllen: 0,990 ≤ m ≤ 1,030, 0,04 ≤ x ≤ 0,20, 0,01 ≤ a ≤ 5, 0,05 ≤ b ≤ 5, 0,2 ≤ c ≤ 8, und 0,05 ≤ d ≤ 2,5.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine dielektrische keramische Zusammensetzung und deren Verwendung für einen laminierten keramischen Kondensator. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung eine dielektrische keramische Zusammensetzung und deren Verwendung für einen laminierten keramischen Kondensator, wobei die Dicke einer dielektrischen keramischen Schicht auf ca. 1 μm reduziert werden kann.
  • Bekannte dielektrische Zusammensetzungen werden beispielsweise in den Patentdokumenten 1, 2, 3 und 4 vorgeschlagen.
  • Nichtreduzierende dielektrische Porzellanzusammensetzungen werden in den Patentdokumenten 1, 2 und 3 vorgeschlagen. Im wesentlichen enthält jede dieser nichtreduzierenden dielektrischen Porzellanzusammensetzungen hauptsächlich 92,0–99,4 mol% BaTiO3 0,3–4 mol% Re2O3 (wobei Re wenigstens ein Seltenerdeelement ausgewählt aus Tb, Dy, Ho und Er repräsentiert), und 0,3–4 mol% Co2O3, und zusätzlich 0,2–4 mol% BaO, 0,2–3 mol% MnO und 0,5–5 mol% MgO.
  • Jede der nichtreduzierenden dielektrischen Porzellanzusammensetzungen kann sogar unter einem geringen Sauerstoffpartialdruck gebrannt werden, ohne dass es zu einer Konversion der Struktur zu einem Halbleiter kommt, und weist eine dielektrische Konstante von 3000 oder mehr auf, einen Isolationswiderstand von 11 oder mehr im Sinne von log IR. Darüber hinaus liegt die Temperaturcharakteristik der dielektrischen Konstante in dem Bereich von ±15% in einem weiten Temperaturbereich von –55°C bis +125°C bezüglich des Kapazitätwertes bei 25°C.
  • Darüber hinaus wird eine dielektrische keramische Zusammensetzung und ein laminierter keramischer Kondensator in dem Patentdokument 4 vorgeschlagen. Die dielektrische keramische Zusammensetzung enthält hauptsächlich Bariumtitanat und zusätzlich die folgenden Elemente: Re (Re repräsentiert wenigstens ein Seltenerdeelement, das aus Y, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm und Yb ausgewählt ist), Ca, Mg und Si. Die Formel der chemischen Zusammensetzung der dielektrischen keramischen Zusammensetzung wird repräsentiert durch 100BamTiO3 + aReO3/2 + bCaO + cMgO + dSiO2 (wobei die Koeffizienten 100, a, b, c und d molare Anteile repräsentieren), wobei die Koeffizienten 100, a, b, c und d jeweils die jeweiligen Verhältnisse erfüllen: 0,990 ≤ m ≤ 1,030, 0,5 ≤ a ≤ 6,0, 0,10 ≤ b ≤ 5,00, 0,010 ≤ c ≤ 1,000, bzw. 0,05 ≤ d ≤ 2,00.
  • Die dielektrische keramische Zusammensetzung hat eine dielektrische Konstante von 3000 oder mehr, erfüllt die B-Charakteristik der JIS und die X7R Charakteristik der EIA, und hat eine lange „beschleunigte Lebensdauer" des Isolationswiderstandes unter hoher Temperatur und hoher Spannung, was in einer hervorragenden Zuverlässigkeit resultiert, selbst wenn die Dicke der dielektrischen keramischen Zusammensetzung verringert ist.
    • Patentdokument 1: Japanische nicht geprüfte Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer JP 05-009066 A (Ansprüche und Absatz Nr. [0009])
    • Patentdokument 2: Japanische nicht geprüfte Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer JP 05-009067 A (Ansprüche und Absatz Nr. [0009])
    • Patentdokument 3: Japanische nicht geprüfte Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer JP 05-009068 A (Ansprüche und Absatz Nr. [0009])
    • Patentdokument 4: Japanische Patentanmeldung JP 2001-39765 A (Ansprüche und Absätze Nr. [0066] and [0067]).
  • Ferner ist aus der U.S. 6,310,761 B1 eine dielektrische keramische Zusammensetzung bekannt mit der Formel 100BamTiO3 + aReO3/2 + bCaO + cSiO2, die zusätzlich Mn und Cu enthält. Darüber hinaus offenbart die DE 199 37 999 A1 eine dielektrische Keramik mit der Zusammensetzung (Ba1-xCax)mTiO3 + αRe2O3 + βMgO + γMnO, die eine Si-haltige Subkomponente umfasst.
  • In den vergangenen Jahren wurde bei der Entwicklung elektronischer Technologien ein rascher Fortschritt bei der Miniaturisierung elektrischer Komponenten erzielt und Trends zur Miniaturisierung und höheren Kapazitäten laminierter keramischer Kondensatoren erhielten Bedeutung. Jedoch sind die herkömmlichen dielektrischen keramischen Zusammensetzungen unter der Voraussetzung ausgelegt, dass die Zusammensetzungen bei geringen Feldstärken genutzt werden. Dies führt dazu, dass der Gebrauch einer dünnen Schicht einer dielektrischen keramischen Zusammensetzung, das heißt der Gebrauch einer dielektrischen keramischen Zusammensetzung bei hohen Feldstärken Nachteile in Form signifikanter Verringerungen des Isolationswiderstandes, der dielektrischen Stärke und der Zuverlässigkeit mit sich bringt. Daher ist es bei einer herkömmlichen dielektrischen keramischen Zusammensetzungen erforderlich, die Nennspannung in. Abhängigkeit der Dicke zu reduzieren, wenn die Dicke der keramischen dielektrischen Schicht reduziert ist.
  • In jeder der dielektrischen keramischen Zusammensetzungen, die in den Patentdokumenten 1–4 vorgeschlagen sind, ist es möglich, einen laminierten keramischen Kondensator mit hervorragender Zuverlässigkeit bereit zu stellen und zwar durch Ausbilden einer dielektrischen keramischen Schicht aus der dielektrischen keramischen Zusammensetzung. Wird jedoch die Dicke der dielektrischen keramischen Schicht auf ca. 1 μm reduziert ist es nachteiligerweise schwierig, die Zuverlässigkeit des resultierenden laminierten keramischen Kondensators sicherzustellen.
  • Die vorliegende Erfindung wurde fertig gestellt, um die oben genannten Probleme zu lösen. Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine dielektrische keramische Zusammensetzung und einen laminierten keramischen Kondensator mit hoher dielektrischer Konstante von 3000 oder mehr, einem geringen dielektrischen Verlust von 5% oder weniger, wobei die Temperaturcharakteristik der dielektrischen Konstante die B-Eigenschaften erfüllt (die Änderungsrate der Kapazität bezüglich der Kapazität bei 20°C ist innerhalb des Bereiches von ±10% zwischen –25°C und +85°C), mit einem hohen spezifischen Widerstand von 1011 Ωm oder mehr und mit einer hohen Zuverlässigkeit, das heißt mit einer mittleren Ausfallzeit von 100 Stunden oder mehr in einem beschleunigten Zuverlässigkeitstest (150°C, Gleichstromfeldstärke: 10 V/μm) bereitzustellen, selbst wenn die Dicke der dielektrischen keramischen Schicht auf ca. 1 μm reduziert ist.
  • Gemäß einem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung erfüllen in einer dielektrischen keramischen Zusammensetzung, die durch die folgende Formel der chemischen Zusammensetzung repräsentiert wird: 100(Ba1-xCax)mTiO3 + aMnO + bCuO + cSiO2 + dRe2O3 (wobei die Koeffizienten 100, a, b, c und d jeweils einen molaren Anteil repräsentieren, wobei Re wenigstens ein Element repräsentiert, das aus der Gruppe Y, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm und Yb ausgewählt ist), m, x, a, b, c und d die folgenden jeweiligen Verhältnisse erfüllen: 0,990 ≤ m ≤ 1,030, 0,04 ≤ x ≤ 0,20, 0,01 ≤ a ≤ 5, 0,05 ≤ b ≤ 5, 0,2 ≤ c ≤ 8, und 0,05 ≤ d ≤ 2,5.
  • Gemäß einem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird die Verwendung der dielektrischen keramischen Zusammensetzung für einen laminierten keramischen Kondensator mit einer Vielzahl laminierter dielektrischer keramischer Schichten gelehrt; interne Elektroden, von denen jede zwischen dielektrischen keramischen Schichten angeordnet ist; und externe Elektroden, die elektrisch mit den jeweiligen internen Elektroden verbunden sind, wobei die dielektrischen keramischen Schichten aus der dielektrischen Zusammensetzung gemäß dem ersten Gesichtspunkt der Erfindung bestehen.
  • Gemäß einem dritten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist in dem laminierten keramischen Kondensator gemäß dem zweiten Gesichtspunkt jede der internen Elektroden aus wenigstens einem leitfähigem Material ausgewählt aus der Gruppe Nickel, Nickellegierung, Kupfer und Kupferlegierung ausgebildet.
  • 1 zeigt eine Querschnittsansicht eines laminierten keramischen Kondensators gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Die vorliegende Erfindung wird nachstehend mit Bezug auf 1 erläutert. Beispielsweise umfasst ein laminierter keramischer Kondensator 1, wie dies in 1 gezeigt ist, in dieser Ausführungsform eine Vielzahl dielektrischer keramischer Schichten 2 (in diesem Ausführungsbeispiel fünf Schichten); ein Laminat enthaltend eine Vielzahl erster interner Elektroden 3A und eine Vielzahl zweiter interner Elektroden 3B, wobei jede der ersten internen Elektroden 3A zwischen dielektrischen keramischen Schichten 2 angeordnet ist und wobei jede der zweiten internen Elektroden 3B zwischen dielektrischen keramischen Schichten 2 angeordnet ist; und eine erst externe Elektrode 4A die an einem Ende des Laminates angeordnet und elektrisch mit der ersten internen Elektrode 3A verbunden ist, und eine zweite externe Elektrode 4B, die an dem anderen Ende des Laminates angeordnet und elektrisch mit der zweiten internen Elektrode 3B verbunden ist.
  • Wie dies aus 1 hervorgeht, erstreckt sich die erste interne Elektrode 3A von einem Ende der dielektrischen keramischen Schicht 2 (linkes Ende in 1) in die Nähe des anderen Endes (des rechten Endes), und die zweite interne Elektrode 3B erstreckt sich von dem rechten Ende der dielektrischen keramischen Schicht 2 in die Nähe des linken Endes. Die erste und zweite interne Elektrode 3A und 3B sind jede aus einem leitfähigen Material aufgebaut. Jedes beliebige Basismetall ausgewählt aus der Gruppe Nickel, Nickellegierungen, Kupfer, Kupferlegierungen und dergleichen kann vorzugsweise als leitfähiges Material eingesetzt werden. Darüber hinaus kann eine kleine Menge eines keramischen Pulvers in das leitfähige Material eingeführt werden, um strukturelle Effekte in den internen Elektroden zu verhindern.
  • Wie dies aus 1 hervorgeht, ist die erste externe Elektrode 4A elektrisch mit der ersten internen Elektrode 3A in dem Laminat verbunden und die zweite externe Elektrode 4B ist elektrisch mit der zweiten internen Elektrode 3B in dem Laminat verbunden. Jede der ersten und zweiten externen Elektroden 4A und 4B kann aus einem beliebigen verschiedener bekannter leitfähiger Materialien, wie beispielsweise Ag, Pd, Legierungen von Ag und Pd und Kupfer aufgebaut sein. Jede der ersten und zweiten externen Elektroden 4A und 4B können in geeigneter Weise durch einen bekannten Herstellprozeß ausgebildet werden.
  • Jede der dielektrischen keramischen Schichten 2 besteht aus einer dielektrischen keramischen Zusammensetzung gemäß diesem Ausführungsbeispiel. Diese dielektrische keramische Zusammensetzung ist ein Kompositoxid das durch die folgende Formel der chemischen Zusammensetzung repräsentiert ist: 100(Ba1-xCax)mTiO3 + aMnO + bCuO + cSiO2 + dRe2O3. Die Koeffizienten, das heißt 100, a, b, c und d der Komponenten der dielektrischen keramischen Zusammensetzung repräsentieren jede einen molaren Anteil. Re repräsentiert wenigstens ein Selteneredeelement ausgewählt aus der Gruppe V, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm und Yb. Darüber hinaus erfüllen m, x, a, b, c und d in der Formel der chemischen Zusammensetzung die jeweiligen Verhältnisse: 0,990 ≤ m ≤ 1,030, 0,04 ≤ x ≤ 0,20, 0,01 ≤ a ≤ 5, 0,05 ≤ b ≤ 5, 0,2 ≤ c ≤ 8, und 0,05 ≤ d ≤ 2,5.
  • (Ba1-xCax)mTiO3 ist eine Komponente, in der Ba-Ionen im Bariumtitanat teilweise durch Ca-Ionen ersetzt sind. Die Ersetzungsrate x der Ca-Ionen zu Ba-Ionen von weniger als 0,04 (Austauschrate: 4%) ist nicht bevorzugt, da die mittlere Ausfallzeit in einem Hochtemperaturbelastungstest geringer als 100 Stunden ist. Die Austauschrate x von über 0,20 (Austauschrate: 20%) ist ebenfalls nicht bevorzugt, da die dielektrische Konstante geringer als 3000 ist und die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur nachteiligerweise außerhalb des Bereiches von ±10% liegt. Das Verhältnis von Ba1-xCax zu Ti (m = Ba1-xCax/Ti) von weniger als 0,990 ist nicht bevorzugt, da der spezifische Widerstand geringer als 1011 Ωm ist. Das Verhältnis m von über 1,030 ist ebenfalls nicht bevorzugt, da die dielektrische Konstante geringer als 3000, die Rate der Änderung der dielektrischen Kon stante bezüglich der Temperatur nachteiligerweise außerhalb des Bereiches von ±10% und die mittlere Ausfallzeit reduziert ist.
  • Der molare Anteil a von MnO von weniger als 0,01 bezüglich 100 von (Ba1-xCax)mTiO3 ist nicht bevorzugt, da der spezifische Widerstand geringer als 1011 Ωm ist. Der molare Anteil a von über 5 ist ebenfalls nicht bevorzugt, da die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur nachteiligerweise außerhalb des Bereiches von ±10% liegt und der spezifische Widerstand geringer als 1011 Ωm ist.
  • Der molare Anteil b von CuO von weniger als 0,05 ist nicht bevorzugt, da die mittlere Ausfallzeit kürzer als 100 Stunden ist. Ein molarer Anteil b von über 5 ist ebenfalls nicht bevorzugt, da die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur nachteiligerweise außerhalb des Bereiches von ±10% ist.
  • Der molare Anteil c von SiO2 von weniger als 0,2 ist nicht bevorzugt, da die dielektrische Konstante geringer als 3000, der dielektrische Verlust tan δ höher als 5%, die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur nachteiligerweise außerhalb des Bereiches von ±10% und die mittlere Ausfallzeit kürzer als 100 Stunden ist. Der molare Anteil c von mehr als 8 ist ebenfalls nicht bevorzugt, da die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur nachteiligerweise 10% oder mehr ist und die mittlere Ausfallzeit kürzer als 100 Stunden ist.
  • Der molare Anteil d von Re2O3 von weniger als 0,05 ist nicht bevorzugt, da die mittlere Ausfallzeit kürzer als 100 Stunden ist. Ein molarer Anteil d von über 2,5 ist ebenfalls nicht bevorzugt, da die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur nachteiligerweise außerhalb des Bereiches von ±10% liegt. Wenn eine Vielzahl von Arten von Seltenerdeelementen Re enthalten ist, wird die Gesamtheit der molaren Anteile der Vielzahl der Arten der Seltenerdeelemente Re als d definiert.
  • Der Prozeß zur Herstellung eines Materialpulvers, das in der dielektrischen keramischen Zusammensetzung verwendet wird, ist nicht in besonderer Weise beschränkt und jeder Herstellprozeß kann verwendet werden, solange die Komponente erhalten wird, die durch (Ba1-xCax)mTiO3 erhalten wird.
  • Beispielsweise kann die Komponente, die durch (Ba1-xCax)mTiO3 repräsentiert wird, durch einen Herstellschritt produziert werden, der das Mischen von BaCO3, TiO2, und CaCO3 umfasst, und durch einen weiteren Schritt der Reaktion BaCO3, TiO2, und CaCO3 durch Wärmebehandlung.
  • Das Materialpulver der dielektrischen Zusammensetzung kann hergestellt werden durch einen Schritt der Mischung der Komponente repräsentiert durch (Ba1-xCax)mTiO3 und Oxiden von Mn, Cu, Si und Re (wobei Re wenigstens ein Seltenerdeelement ausgewählt aus Y, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm und Yb repräsentiert), wobei es sich um zusätzliche Komponenten handelt.
  • Darüber hinaus umfassen Beispiele für den Herstellprozeß der Komponente repräsentiert durch (Ba1-xCax)mTiO3 die hydrothermale Synthese, die Hydrolyse und die nasse Synthese, wie beispielsweise ein Sol-Gel-Verfahren.
  • Die Ausgangsmaterialien von Mn, Cu, Si, Re (wobei Re wenigstens ein Seltenerdeelement ausgewählt aus Y, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm und Yb repräsentiert), die zusätzliche Komponenten darstellen, sind nicht auf pulverförmige Oxide beschränkt, solange eine dielektrische Keramik gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt werden kann. Ein Carbonat oder eine Lösung eines Alkoxides, eine organometallische Komponente oder dergleichen kann eingesetzt werden. Bei der Verwendung dieser Materialien wird keine Verschlechterung der Eigenschaften erhalten.
  • Derartige Materialpulver werden gebrannt, um die oben beschriebene dielektrische keramische Zusammensetzung zu erhalten.
  • Bei Verwendung der oben beschriebenen dielektrischen keramischen Zusammensetzung ist es möglich, einen laminierten keramischen Kondensator mit einer hohen dielektrischen Konstante von 3000 oder mehr, einem geringen dielektrischen Verlust von 5% oder weniger herzustellen, wobei die Temperaturcharakteristik der dielektrischen Konstante die B-Eigenschaften (innerhalb ±10%) erfüllt, mit einem hohen spezifischen Widerstand von 1011 Ωm oder mehr und einer hohen Zuverlässigkeit, das heißt eine mittlere Ausfallzeit von 100 Stunden oder mehr in einem beschleunigten Zuverlässigkeitstest (Hochtemperaturbelastungstest) aufweist, selbst wenn die Dicke der dielektrischen keramischen Schicht auf ca. 1 μm reduziert ist. Daher ist es möglich, einen laminierten keramischen Kondensator herzustellen, in dem die Nennspannung nicht reduziert werden muss, selbst wenn die Dicke der dielektrischen keramischen Schicht auf ca. 1 μm reduziert ist, wobei der laminierte keramische Kondensator die weitere Miniaturisierung und höhere Kapazitäten in der Zukunft ermöglicht.
  • Darüber hinaus kann bei dem laminierten keramischen Kondensator in dieser Ausführungsform die interne Elektrode als einem Basismetall, wie beispielsweise Nikkel, einer Nickellegierung, Kupfer oder einer Kupferlegierung bestehen, da der laminierte keramische Kondensator in einer reduzierenden Atmosphäre gebrannt werden kann.
  • Die vorliegende Erfindung wird nachstehend anhand spezifischer Beispiele erläutert.
  • Beispiel 1
  • In diesem Beispiel wurde ein laminierter keramischer Kondensator mit dem Materialpulver hergestellt, nachdem das Materialpulver der dielektrischen keramischen Zusammensetzung hergestellt wurde. Zunächst wurden hochreines TiO2, BaCO3 und CaCO3, die die Ausgangsmaterialien bildeten, hergestellt. Die Ausgangsmaterialien wurden derart eingewogen, dass Ti, Ba und Ca in den Mengen enthalten waren, die durch die Proben A bis N gemäß Tabelle 1 repräsentiert sind, und wur den dann gemischt und pulverisiert, um Pulver herzustellen. Diese Pulver wurden getrocknet und dann auf 1000°C oder mehr aufgeheizt um (Ba, Ca)TiO3 Materialpulver zu synthetisieren, die Zusammensetzungen gemäß der Proben A–N in Tabelle 1 aufweisen und die jeweils eine mittlere Partikelgröße 0,20 μm aufweisen. Zusätzlich wurden ein CuO Pulver, ein MnCO3 Pulver, ein SiO2 Pulver und ein Re2O3 Pulver (wobei Re wenigstens ein Selteneredeelement, ausgewählt aus Y, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm und Yb repräsentiert), wobei es sich um andere Materialpulver handelt, hergestellt. Die in der Tabelle mit dem * markierten Pulver A-D sind solche, in denen x und m außerhalb des Bereiches der vorliegenden Erfindung sind. Tabelle 1
    (Ba1-xCax)mTiO3
    Pulver x m
    *A 0.038 1.003
    *B 0.22 1.005
    *C 0.08 0.988
    *D 0.10 1.032
    E 0.08 1.001
    F 0.042 1.001
    G 0.05 1.011
    H 0.08 1.004
    I 0.14 1.007
    J 0.17 1.02
    K 0.19 1.005
    L 0.08 0.992
    M 0.08 1.015
    N 0.08 1.027
  • Anschließend wurden die Pulver in einer Weise gewogen, dass die Zusammensetzungen gemäß der Tabellen 2 und 3 erhalten wurden und dann gemischt, um die Mischungen zu erhalten, die durch die Proben Nr. 1 bis 69 erhalten wurden. Dann wurden diese Mischungen in einem Bereich zwischen 1000°C und 1050°C calciniert, und zwar für zwei Stunden, um Calcinate zu erhalten. Ein Polyvenyl-Butyral-Bindemittel und ein organisches Lösungsmittel, wie beispielsweise Ethanol, wurden jedem Calcinat zugegeben und die resultierenden Mischungen wurden mit Kugelmühlen naß gemischt um keramische Slurries zu erhalten. Jeder der resultierenden keramischen Slurries wurden durch eine Schicht-Form mittels der „Doktorblade-Methode" geformt, um eine rechteckige keramische Grünfolie mit einer Dicke von 1,4 μm zu erhalten. Anschließend wurde eine leitfähige Paste hauptsächlich bestehend aus Nickel (Ni) auf jede der resultierenden keramischen Grünfolien durch Drucken aufgebracht, um einen leitfähigen Pastenfilm zur Ausbildung einer internen Elektrode bereitzustellen. Ein Ende des leitfähigen Pastenfilms wird an einem ersten Ende der keramischen Grünfolie angeordnet und das andere Ende des leitfähigen Pastenfilms wurde weg von einem zweiten Ende der keramischen Grünfolie angeordnet. In Tabelle 2 sind die mit dem * markierten Proben Nr. 1–12 solche Proben, in denen einer der Parameter x, m, a, b, c und d außerhalb des limitierten Bereichs der vorliegenden Erfindung lagen. Tabelle 2
    100(Ba1-xCax)mTiO3 + aMnO + bCuO + cSiO2 + dRe2O3
    Probe Seltenerdelement benutztes Pulver x m a b c d
    *No. 1 Y A 0.038 1.003 0.200 0.400 2.00 0.5
    *No. 2 Y B 0.22 1.005 0.200 0.400 2.00 0.5
    *No. 3 Y C 0.08 0.988 0.200 0.400 2.00 0.5
    *No. 4 Y D 0.10 1.032 0.200 0.400 2.00 0.5
    *No. 5 Y E 0.08 1.001 0.005 0.400 2.00 0.5
    *No. 6 Y E 0.08 1.001 5.200 0.400 2.00 0.5
    *No. 7 Y E 0.08 1.001 0.200 0.04 2.00 0.5
    *No. 8 Y E 0.08 1.001 0.200 5.300 2.00 0.5
    *No. 9 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 0.10 0.5
    *No. 10 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 8.20 0.5
    *No. 11 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.04
    *No. 12 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 2.6
    No. 13 Y F 0.042 1.001 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 14 Y G 0.05 1.011 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 15 Y H 0.08 1.004 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 16 Y I 0.14 1.007 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 17 Y J 0.17 1.02 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 18 Y K 0.19 1.005 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 19 Y L 0.08 0.992 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 20 Y M 0.08 1.015 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 21 Y N 0.08 1.027 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 22 Y E 0.08 1.001 0.012 0.400 2.00 0.5
    No. 23 Y E 0.08 1.001 0.100 0.400 2.00 0.5
    No. 24 Y E 0.08 1.001 0.400 0.400 2.00 0.5
    No. 25 Y E 0.08 1.001 0.700 0.400 2.00 0.5
    No. 26 Y E 0.08 1.001 1.000 0.400 2.00 0.5
    No. 27 Y E 0.08 1.001 2.000 0.400 2.00 0.5
    No. 28 Y E 0.08 1.001 3.500 0.400 2.00 0.5
    No. 29 Y E 0.08 1.001 4.800 0.400 2.00 0.5
    No. 30 Y E 0.08 1.001 0.200 0.055 2.00 0.5
    No. 31 Y E 0.08 1.001 0.200 0.100 2.00 0.5
    No. 32 Y E 0.08 1.001 0.200 0.700 2.00 0.5
    No. 33 Y E 0.08 1.001 0.200 1.000 2.00 0.5
    No. 34 Y E 0.08 1.001 0.200 2.500 2.00 0.5
    No. 35 Y E 0.08 1.001 0.200 4.700 2.00 0.5
    Tabelle 3
    100(Ba1-xCax)mTiO3 + aMnO + bCuO + cSiO2 + dRe2O3
    Probe Seltenerdelement benutztes Pulver x m a b c d
    No. 36 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 0.25 0.5
    No. 37 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 0.50 0.5
    No. 38 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 1.00 0.5
    No. 39 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 4.00 0.5
    No. 40 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 6.00 0.5
    No. 41 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 7.80 0.5
    No. 42 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.055
    No. 43 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.2
    No. 44 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.7
    No. 45 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 1
    No. 46 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 2
    No. 47 Y E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 2.45
    No. 48 S m E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 49 S m E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 1.5
    No. 50 E u E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 51 E u E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 1.5
    No. 52 G d E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 53 G d E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 1.5
    No. 54 T b E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 55 T b E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 1.5
    No. 56 D y E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 57 D y E 0.08 1.00.1 0.200 0.400 2.00 1.5
    No. 58 H o E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 59 H o E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 1.5
    No. 60 E r E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 61 E r E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 1.5
    No. 62 T m E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.6
    No. 63 T m E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 1.5
    No. 64 Y b E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.5
    No. 65 Y b E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 1.5
    No. 66 Y, G d E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.25 each
    No. 67 Y, G d E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 1 each
    No. 68 D y, Y b E 0.08 1.001 0.200 0.400 2.00 0.5 each
    No. 69 D y, Y b E 0.08 1.001 0.200 0. 00 2.00 0.5 each
  • Anschließend wurde eine Vielzahl der keramischen Grünfolien von derselben Art derart aufeinander gestapelt, dass das erste Ende, in dem die leitfähigen Pastenfilme angeordnet wurden, und das zweite Ende alternierend angeordnet waren. Der resultierende Stapel wurde zwischen keramischen Grünfolien aufgenommen, von denen keines einen Film aus leitfähiger Paste aufweist und wurde dann einer Pressverbindung unterzogen, um das Laminat zu erhalten. Das resultierende Laminat wurde auf 350°C in einer N2 Atmosphäre aufgeheizt, um das Bindemittel zu zersetzen, und dann für ca. 2 Stunden in einer reduzierenden Atmosphäre gebrannt, die ein H2 Gas, ein N2 Gas und ein H2O Gas enthält und einen Sauerstoffpartialdruck von 10–9 bis 10–12 MPa bei einer Temperatur gemäß Tabellen 4 und 5 aufweist. Tabelle 4
    Probe Brenntemperatur (°C) Dielektrische Konstante (εr) Dielektrischer Verlust tan δ (%) Rate der Änderung der dielektrischen Konstante (%) spez. Widerstand Log ρ (ρ:Ωm) Mittlere Ausfallzeit (h)
    *No. 1 1150 3420 4.1 –7.1 11.5 20
    *No. 2 1150 2700 4.2 –11.1 11.5 40
    *No. 3 1150 3200 3.5 –7.5 9.3 nicht messbar
    *No. 4 1150 2400 12.5 –12.8 9.5 nicht messbar
    *No. 5 1150 3100 4.3 –9.4 9.4 nicht messbar
    *No. 6 1100 3280 5.8 –12.1 10.5 20
    *No. 7 1250 3310 4.4 –7.2 11.5 10
    *No. 8 1150 3380 4.1 –12.3 11.4 150
    *No. 9 1150 2400 7.8 –12.5 9.5 15
    *No. 10 1150 3250 4.1 –11.8 11.5 40
    *No. 11 1150 3250 4.2 –6.5 11.3 5
    *No. 12 1150 3600 4.8 –11.2 11.2 120
    No. 13 1150 3450 4.4 –7.5 11.4 110
    No. 14 1150 3500 4.7 –7.2 11.3 140
    No. 15 1150 3620 4.8 –6.9 11.4 170
    No. 16 1150 3400 4.1 –6.1 11.2 230
    No. 17 1150 3210 3.7 –8.5 11.3 150
    No. 18 1150 3150 3.4 –9.1 11.5 115
    No. 19 1150 3210 3.8 –7.8 11.1 110
    No. 20 1150 3150 3.7 –8.5 11.3 130
    No. 21 1150 3200 3.4 –8.9 11.5 140
    No. 22 1150 3230 4.2 –5.4 11.1 115
    No. 23 1150 3300 4.1 –6.1 11.3 120
    No. 24 1150 3310 3.7 –5.8 11.5 140
    No. 25 1150 3250 3.6 –5.7 11.3 160
    No. 26 1125 3380 3.6 –6.5 11.1 175
    No. 27 1125 3250 3.3 –7.8 11.4 200
    No. 28 1100 3280 3.1 –8.8 11.5 170
    No. 29 1100 3300 3.2 –9.4 11.4 120
    No. 30 1150 3100 3.8 –8.1 11.3 105
    No. 31 1150 3280 3.2 –7.5 11.1 130
    No. 32 1150 3300 4.1 –7.2 11.2 170
    No. 33 1150 3350 3.8 –7.5 11.5 150
    Tabelle 5
    Probe Brenntemperatur Dielektrische Konstante (εr) Dielektrischer Verlust tan δ (%) Rate der Änderung der dielektrischen Konstante (%) spez. Widerstand (ρ:Ωm) Mittlere Ausfallzeit (h)
    No. 34 1150 3310 3.5 –9.0 11.4 160
    No. 35 1150 3120 3.2 –9.6 11.3 150
    No. 36 1175 3050 4.5 –9.1 11.1 110
    No. 37 1175 3200 4.1 –8.5 11.3 130
    No. 38 1150 3300 3.5 –8.1 11.2 150
    No. 39 1150 3350 3.1 –7.5 11.4 150
    No. 40 1100 3500 3.8 –8.1 11.1 130
    No. 41 1100 3320 3.7 –8.5 11.1 115
    No. 42 1150 3380 4.1 –7.1 11.5 110
    No. 43 1150 3350 4.0 –7.5 11.4 115
    No. 44 1150 3370 3.5 –7.8 11.4 120
    No. 45 1150 3250 3.1 –8.5 11.3 150
    No. 46 1150 3100 3.8 –8.8 11.1 210
    No. 47 1150 3050 4.5 –9.5 11.1 230
    No. 48 1150 3310 4.3 –8.3 11.4 110
    No. 49 1150 3070 3.5 –9.1 11.2 170
    No. 60 1150 3290 4.2 –8.5 11.5 115
    No. 51 1150 3090 3.2 –9.2 11.3 185
    No. 52 1150 3300 4.1 –7.7 11.4 120
    No. 53 1150 3100 3.3 –9.6 11.1 190
    No. 54 1150 3450 4.2 –8.0 11.3 120
    No. 55 1175 3210 3.3 –9.4 11.2 195
    No. 56 1150 3300 4.3 –8.1 11.4 110
    No. 57 1150 3100 3.2 –9.1 11.1 220
    No. 58 1150 3330 4.1 –7.8 11.5 115
    No. 59 1150 3060 3.5 –9.2 11.1 240
    No. 60 1150 3320 4.3 –7.7 11.3 115
    No. 61 1160 3050 3.1 –9.6 11.1 190
    No. 62 1160 3310 4.4 –7.8 11.4 110
    No. 63 1150 3050 3.1 –9.2 11.1 180
    No. 64 1150 3380 4.5 –7.5 11.5 120
    No. 65 1150 3120 3.0 –9.4 11.1 185
    No. 66 1150 3450 4.2 –7.9 11.4 110
    No. 67 1150 3110 3.1 –9.1 11.1 200
    No. 68 1150 3450 4.3 –7.7 11.5 115
    No. 69 1150 3100 3.2 –9.5 11.1 195
  • Eine Silberpaste enthaltend eine B2O3-SiO2-BaO-basierte Glasmasse wurde an beiden Enden des gebrannten Laminates aufgebracht und bei 600°C in einer N2 Atmosphäre gebrannt, um externe Elektroden zu erhalten, von denen jede elektrisch mit der internen Elektrode verbunden ist. Auf diese Weise wurde ein laminierter keramischer Kondensator umfassend die dielektrisch keramische Zusammensetzung der vorliegenden Erfindung erhalten.
  • Die äußeren Abmessungen jedes der resultierenden laminierten keramischen Kondensatoren (Proben Nr. 1 bis 69) betrugen 5 mm in der Breite, 5,7 mm in der Länge und 2,4 mm in der Dicke. Die Dicke jeder der dielektrischen keramischen Schichten betrug 1,0 μm. Die Anzahl der effektiven dielektrischen keramischen Schichten betrug 5. Die Fläche jeder der gegenüberliegenden Elektroden betrug 16,3 × 10–6 m2 pro Schicht.
  • Anschließend wurden die elektrischen Eigenschaften, die Aufschluß über die Leistungsfähigkeit des laminierten keramischen Kondensators geben, der Proben 1 bis 69 gemessen.
  • Die Kapazität C und der dielektrische Verlust tan δ wurden mittels einer automatischen Brückenmessung gemäß JIS 5102 gemessen. Die dielektrische Konstante εr wurde aus der resultierenden Kapazität C berechnet. Die Tabellen 4 und 5 zeigen die Ergebnisse.
  • Um den Isolationswiderstand IR zu messen, wurde ein Isolationswiderstandstestgerät benutzt. Dies bedeutet, dass eine Spannung von 4 V DC für eine Minute angewandt wurde und der Isolationswiderstand IR bei +25°C gemessen wurde, und dann wurde der spezifische Widerstand ρ berechnet. Die Tabellen 4 und 5 zeigen die Ergebnisse in Form von log ρ.
  • Bezüglich der Rate der Änderung der Kapazität C mit der Temperatur wurde die Rate der Änderung ΔC/C20°C in dem Bereich von –25°C bis +85°C bezüglich einer Kapazität bei 20°C bestimmt. Die Tabellen 4 und 5 zeigen die Ergebnisse in Form der Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur.
  • Bezüglich eines Hochtemperaturbelastungstest wurden 10 V DC bei 150°C angelegt und eine Änderung in dem Isolationswiderstand IR mit der Zeit gemessen. In dem Hochtemperaturbelastungstest wurde ein Zustand, in dem die der Isolationswiderstand IR jeder Probe den Wert 105 Ω oder weniger erreichte als Fehler/Ausfall definiert. Nachdem eine Zeit, die zum erreichen des Ausfalls benötigt wurde, gemessen wurde, wurde eine mittlere Ausfallszeit bestimmt. Die Tabellen 4 und 5 zeigen die Ergebnisse.
  • Wie dies aus den Meßergebnissen der Tabellen 4 und 5 hervorgeht, wurde gefunden, dass jeder der laminierten keramischen Kondensatoren (Proben Nr. 13–69), von denen jeder die dielektrische Zusammensetzung mit einer Zusammensetzung innerhalb des Bereiches der vorliegenden Erfindung aufweist, einen hoch zuverlässigen laminierten keramischen Kondensator darstellt, der eine mittlere Ausfallzeit von 100 Stunden oder mehr in einem Hochtemperaturbelastungstest aufweist, der eine hohe dielektrische Konstante εr von 3000 oder mehr, einen geringen dielektrischen Verlust tan δ von 5% oder weniger aufweist, wobei die Rate der Änderung der dielektrischen Änderung der dielektrischen Konstante die B-Eigenschaften (innerhalb ±10%) erfüllt, und der einen hohen spezifischen Widerstand ρ von 1011 Ωm (log ρ von 11) oder mehr aufweist, trotz der Tatsache, dass die Dicke der dielektrischen keramischen Schicht auf ca. 1 μm reduziert war.
  • Darüber hinaus, wie dies aus den Proben 66–69 hervorgeht, war es möglich, einen laminierten keramischen Kondensator mit ausreichenden elektrischen Eigenschaften in der selben Weise wie für die Proben 13–65 zu erhalten, wenn die Menge d, die die Gesamtheit der molaren Verhältnisse der Oxide von zwei Seltenerdeelemente darstellt, innerhalb des Bereiches von 0,05 ≤ d ≤ 2,5 relativ zu 100 von (Ba, Ca)TiO3, war, selbst wenn die Dicke der dielektrischen keramischen Schicht auf ca. 1 μm reduziert war.
  • Im Gegensatz dazu, wie dies aus den Meßergebnissen der Proben 1–12 gemäß Tabelle 4 hervorgeht, wurde gefunden, dass wenn irgendeine der Gehalte der Oxide außerhalb des begrenzten Bereiches der vorliegenden Erfindung lag, der resultierende keramische Kondensator eine verschlechterte Leistungsfähigkeit hatte, selbst wenn die Gehalte der anderen Oxide innerhalb der limitierten Bereiche der vorliegenden Erfindung lagen, wie dies unten beschrieben wird.
  • In dem Fall der Probe Nr. 1, in der Pulver A verwendet wurde, in dem Ba-Ionen in (Ba1-xCax)mTiO3 teilweise durch Ca-Ionen ersetzt waren und die Ersatzrate x der Ca-Ionen geringer war als 0,04, war die mittlere Ausfallzeit bei dem Hochtemperaturbelastungstest 20 Stunden, was sehr kurz war. Im Fall von Probe Nr. 2, in der Pulver B verwendet wurde, in dem die Austauschrate x 0,20 überschritt, war die dielektrische Konstante εr nachteiligerweise 2700, was unter 3000 ist, die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur war nachteiligerweise – 11,1%, und die mittlere Ausfallzeit war 40 Stunden, was kurz war.
  • Im Fall von Probe Nr. 3, in der Pulver C verwendet wurde, in dem das Verhältnis m, das heißt Ba1-xCax/Ti, geringer als 0,990 war, war der Logarithmus des Widerstandes 9,3, das heißt der spezifische Widerstand war geringer als 1011 Ωm und die mittlere Ausfallzeit konnte nicht erfaßt werden, was schrecklich war. Im Fall von Probe Nr. 4, bei der Pulver D verwendet wurde, in der das Verhältnis m den Wert 1,03 überschritt, war die dielektrische Konstante εr 2400, was geringer war als 3000, der dielektrische Verlust tan δ war 12,5%, was geringer war als 5%, die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur war –12.8%, was schlechter war als ±10% und die mittlere Ausfallzeit konnte nicht gemessen werden, was schrecklich war.
  • Im Fall von Probe Nr. 5, in der der molare Anteil a von MnO geringer war als 0,01 bezüglich 100 von (Ba1-xCax)mTiO3, war der spezifische Widerstand geringer als 1011 Ωm, und die mittlere Ausfallzeit konnte nicht gemessen werden, was schrecklich war. In Fall von Probe Nr. 6, in der das molare Verhältnis a 5 überschritt, war die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur –12,1%, was schlechter war als ±10%, der spezifische Widerstand war geringer als 1011 Ωm, und die mittlere Ausfallzeit war 20 Stunden, was sehr kurz war.
  • Im Fall von Probe Nr. 7, in der der molare Anteil b von CuO geringer war als 0,05 war die mittlere Ausfallzeit 10 Stunden, was sehr kurz war. Im Fall von Probe Nr. 8, in der der molare Anteil b 5 überschritt, war die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperaturen –12,3%, was schlechter war als ±10%.
  • Im Fall von Probe Nr. 9, in der der molare Anteil c von SiO2 geringer war als 0,2 war die dielektrische Konstante 2400, was gering war, der dielektrische Widerstand tan δ war größer als 7,8%, die Rate der Änderungen der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur war –12,5%, was schlecht war, und die mittlere Ausfallzeit war 15 Stunden, was sehr kurz war. Im Fall von Probe Nr. 10, in der der molare Anteil c 8 überschritt, war die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur –11,8%, was schlecht war, die mittlere Ausfallzeit war 40 Stunden, was kurz war.
  • Im Fall von Probe Nr. 11, in der der molare Anteil d von Re2O3 geringer war als 0,05, war die mittlere Ausfallzeit 5 Stunden, was sehr kurz war. Im Fall von Probe Nr. 12, in der der molare Anteil d 2,5 überschritt, war die Rate der Änderung der dielektrischen Konstante bezüglich der Temperatur –11,2%, was schlecht war.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Beispiele limitiert. Es versteht sich, dass verschiedene Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Geist der Erfindung abzuweichen. Beispielsweise wird wenigstens ein Seltenerdeelement, ausgewählt aus der Vielzahl der Arten von Seltenerdeelementen genutzt. Wenn eine Vielzahl von Arten von Seltenerdeelementen genutzt wird, sollte die Gesamtmenge d der molaren Anteile der Oxide der Vielzahl der Arten der Seltenerdeelemente die Beziehung: 0,05 ≤ d ≤ 2,5 erfüllen.
  • Gemäß des 1. bis 3. Gesichtspunkts der vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine dielektrische keramische Zusammensetzung und deren Verwendung für einen laminierten keramischen Kondensator zu schaffen, mit einer hohen dielektrischen Konstante von 3000 oder mehr, mit einem geringen dielektrischer Verlust von 5% oder weniger, wobei die Temperaturcharakteristik der dielektrischen Konstante die B-Eigenschaften erfüllt, mit einem hohen spezifischen Widerstand von 1011 Ωm oder mehr, und mit einer hohen Zuverlässigkeit, das heißt dass eine mittlere Ausfallzeit von 100 Stunden oder mehr in einem beschleunigten Zuverlässigkeitstest (150°C, DC Feldstärke: 10 V/μm) erhalten wird, selbst wenn die Dicke der dielektrischen Keramikschichten auf ca. 1 μm reduziert ist.
  • Die vorliegende Erfindung kann in geeigneter Weise verwendet wurden, um eine dielektrische keramische Zusammensetzung und deren Verwendung für einen laminierten keramischen Kondensator zu schaffen.

Claims (2)

  1. Dielektrische keramische Zusammensetzung, die durch die Formel der, chemischen Zusammensetzung repräsentiert wird: 100(Ba1-xCax)mTiO3 + aMnO + bCuO + cSiO2 + dRe2O3 (wobei die Koeffizienten 100, a, b, c, und d jeder einen molaren Anteil repräsentieren; und wobei Re wenigstens ein Seltenerdeelement ausgewählt aus Y, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, und Yb repräsentiert), wobei m, x, a, b, c, und d die jeweiligen Beziehungen erfüllen: 0,990 ≤ m ≤ 1,030, 0,04 ≤ x ≤ 0,20, 0,01 ≤ a ≤ 5, 0,05 ≤ b ≤ 5, 0,2 ≤ c ≤ 8, und 0,05 ≤ d ≤ 2,5.
  2. Verwendung einer dielektrischen keramischen Zusammensetzung nach Anspruch 1 für einen laminierten keramischen Kondensator umfassend: eine Vielzahl von laminierten dielektrischen keramischen Schichten; interne Elektroden, von denen jede zwischen den dielektrischen keramischen Schichten angeordnet ist; und externe Elektroden, die elektrisch mit den jeweiligen inter
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4497162B2 (ja) * 2004-07-05 2010-07-07 株式会社村田製作所 誘電体セラミック及び積層セラミックコンデンサ
CN101193836B (zh) * 2005-06-10 2010-09-29 株式会社村田制作所 电介质陶瓷及层叠陶瓷电容器
JP5307554B2 (ja) * 2006-12-21 2013-10-02 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ
GB0700265D0 (en) * 2007-01-08 2007-02-14 Powerwave Uk Ltd Microwave dielectric ceramic
US7859823B2 (en) * 2007-06-08 2010-12-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multi-layered ceramic electronic component
JP5343974B2 (ja) 2008-09-24 2013-11-13 株式会社村田製作所 誘電体セラミック組成物および積層セラミックコンデンサ
US10347433B2 (en) * 2009-04-13 2019-07-09 Blue Horizon Innovations, Llc. Advanced dielectric energy storage device and method of fabrication
US8198547B2 (en) 2009-07-23 2012-06-12 Lexmark International, Inc. Z-directed pass-through components for printed circuit boards
JP5772138B2 (ja) * 2011-03-28 2015-09-02 Tdk株式会社 電子部品
US8943684B2 (en) 2011-08-31 2015-02-03 Lexmark International, Inc. Continuous extrusion process for manufacturing a Z-directed component for a printed circuit board
US9078374B2 (en) 2011-08-31 2015-07-07 Lexmark International, Inc. Screening process for manufacturing a Z-directed component for a printed circuit board
US20130341078A1 (en) 2012-06-20 2013-12-26 Keith Bryan Hardin Z-directed printed circuit board components having a removable end portion and methods therefor
CN103390499B (zh) * 2013-08-01 2015-11-18 广东风华高新科技股份有限公司 多层陶瓷电容器及其制备方法
JP6409632B2 (ja) * 2015-03-13 2018-10-24 Tdk株式会社 誘電体磁器組成物およびセラミック電子部品
KR20190121202A (ko) * 2018-10-10 2019-10-25 삼성전기주식회사 적층 세라믹 전자부품
CN111517780B (zh) * 2019-02-01 2023-07-25 三星电机株式会社 介电陶瓷组合物和包括其的多层陶瓷电容器

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH059067A (ja) * 1991-06-27 1993-01-19 Murata Mfg Co Ltd 非還元性誘電体磁器組成物
JPH059066A (ja) * 1991-06-27 1993-01-19 Murata Mfg Co Ltd 非還元性誘電体磁器組成物
JPH059068A (ja) * 1991-06-27 1993-01-19 Murata Mfg Co Ltd 非還元性誘電体磁器組成物
DE19937999A1 (de) * 1998-08-11 2000-02-24 Murata Manufacturing Co Dielektrische Keramikzusammensetzung und dieselbe verwendender laminierter Keramikkondensator
JP2001039765A (ja) * 1999-07-26 2001-02-13 Murata Mfg Co Ltd 誘電体セラミック組成物、および積層セラミックコンデンサ
US6310761B1 (en) * 1999-09-03 2001-10-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dielectric ceramic composition and monolithic ceramic capacitor

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05194027A (ja) * 1992-01-17 1993-08-03 Asahi Chem Ind Co Ltd 誘電体セラミック組成物
JP3326513B2 (ja) * 1994-10-19 2002-09-24 ティーディーケイ株式会社 積層型セラミックチップコンデンサ
JP3709914B2 (ja) 1998-08-11 2005-10-26 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH059067A (ja) * 1991-06-27 1993-01-19 Murata Mfg Co Ltd 非還元性誘電体磁器組成物
JPH059066A (ja) * 1991-06-27 1993-01-19 Murata Mfg Co Ltd 非還元性誘電体磁器組成物
JPH059068A (ja) * 1991-06-27 1993-01-19 Murata Mfg Co Ltd 非還元性誘電体磁器組成物
DE19937999A1 (de) * 1998-08-11 2000-02-24 Murata Manufacturing Co Dielektrische Keramikzusammensetzung und dieselbe verwendender laminierter Keramikkondensator
JP2001039765A (ja) * 1999-07-26 2001-02-13 Murata Mfg Co Ltd 誘電体セラミック組成物、および積層セラミックコンデンサ
US6310761B1 (en) * 1999-09-03 2001-10-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Dielectric ceramic composition and monolithic ceramic capacitor

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Publication number Publication date
JP3882054B2 (ja) 2007-02-14
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