DE112007000958T5 - Signalausgabevorrichtung, Signalerfassungsvorrichtung, Prüfvorrichtung, elektronische Vorrichtung und Programm - Google Patents

Signalausgabevorrichtung, Signalerfassungsvorrichtung, Prüfvorrichtung, elektronische Vorrichtung und Programm Download PDF

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Abstract

Signalausgabevorrichtung zum Ausgeben eines Mustersignals, welche aufweist:
eine Mustererzeugungsschaltung, die Wellenformdaten des zu erzeugenden Mustersignals erzeugt;
eine Takterzeugungsschaltung, die Taktsignale gemäß einer erwarteten Musterzykluszeit des Mustersignals erzeugt;
eine Taktsteuerschaltung, die die von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten empfängt und Ausgangszeitpunkte der von der Takterzeugungsschaltung auszugebenden Taktsignale gemäß den Wellenformdaten steuert; und
eine Wellenform-Formungsschaltung, die das Mustersignal entsprechend Datenwerten der von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten gemäß den von der Takterzeugungsschaltung ausgegebenen Taktsignalen erzeugt.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Signalausgabevorrichtung, eine Signalerfassungsvorrichtung, eine Prüfvorrichtung, eine elektronische Vorrichtung und ein Programm. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Signalausgabevorrichtung zur Ausgabe eines Mustersignals, eine Signalerfassungsvorrichtung zum Erfassen des in diese eingegebenen Mustersignals, eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, eine elektronische Vorrichtung und ein Programm. Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf die folgende Japanische Patentanmeldung, deren Inhalt hier vollständig einbezogen wird, falls dies anwendbar ist.
    • 1. Japanische Patentanmeldung Nr. 2006-116204 , die am 19. April 2006 eingereicht wurde.
  • STAND DER TECHNIK
  • Eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung überträgt ein Prüfsignal über einen Übertragungspfad, der durch eine Buchse, ein Kabel, eine Funktionsplatte und dergleichen gebildet ist, zu der Halbleitervorrichtung, und empfängt ein von der Halbleitervorrichtung ausgegebenes Ausgangssignal über den Übertragungspfad (siehe z. B. Patentdokument 1).
    • [Patentdokument 1] Japanische Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 2006-220660
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • VON DER ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
  • 1 illustriert ein Prüfsignal oder Ausgangssignal, das durch einen Übertragungspfad hindurchgegangen ist. 2 illustriert die Beziehung zwischen der Phase und der Impulsbreite des Prüfsignals oder Ausgangssignals, das durch den Übertragungspfad hindurchgegangen ist.
  • Wenn das Prüf- oder Ausgangssignal durch den Übertragungspfad hindurchgegangen ist, sind die Hochfrequenzkomponenten des Signals abgeschnitten. Daher hat das Prüf- oder Ausgangssignal Flanken mit verringerten Gradienten an dem Empfangsende des Übertragungspfads, wie in 1 gezeigt ist. Wenn die Gradienten der Flanken verringert sind, kann ein Muster mit einer relativ kurzen Impulsbreite nicht einschwingen. Genauer gesagt, bei einem Muster mit einer relativ kurzen Impulsbreite beginnt die hintere Flanke, bevor die vordere Flanke einen gewünschten Pegel erreicht.
  • Ein derartiges Muster, bei dem die hintere Flanke ohne eine Einschwingzeit beginnt, kann zweiwertig sein durch Verwendung eines vorbestimmten Schwellenwerts, um ein Signal mit einem logischen Wert zu erzeugen. In dem Signal mit dem logischen Wert ist die Phase der Übergangszeit des logischen Werts früher als bei einem Signal mit einem logischen Wert, das durch Zweiwertbildung des ursprünglichen Musters erhalten wurde. Mit anderen Worten, ein Muster mit einer relativ kurzen Impulsbreite hat Jitter, das in diesem als ein Ergebnis des Durchgangs durch den Übertragungspfad erzeugt wurde, so dass die Impulsbreite kürzer wird als die ursprüngliche Breite. Dieses Jitter wird als "musterabhängiges Jitter" bezeichnet. Das musterabhängige Jitter nimmt zu, wenn die Impulsbreite abnimmt, wie in 2 gezeigt ist.
  • Wenn ein Prüfsignal unter einem musterabhängigen Jitter leidet, kann eine Prüfvorrichtung nicht das Prüfsignal zu einem bezeichneten Zeitpunkt zu einer Halbleitervorrichtung liefern und kann somit bewirken, dass die Halbleitervorrichtung eine Operation durchführt, die sich von einer erwarteten Operation unterscheidet. Wenn ein Ausgangssignal unter dem musterabhängigen Jitter leidet, kann die Prüfvorrichtung das Ausgangssignal zu einem gewünschten Zeitpunkt nicht erfassen und kann dadurch fälschlicherweise beurteilen, dass die Halbleitervorrichtung fehlerhaft ist, selbst wenn die Halbleitervorrichtung ein erwartetes Ausgangssignal ausgibt.
  • Angesichts des Vorstehenden ist es ein Vorteil einiger Aspekte der vorliegenden Erfindung, eine Signal ausgabevorrichtung, eine Signalerfassungsvorrichtung, eine Prüfvorrichtung, eine elektronische Vorrichtung und ein Programm vorzusehen, die in der Lage sind, die vorgenannten Fälle zu lösen. Dieser Vorteil wird erzielt durch Kombinieren der in den unabhängigen Ansprüchen wiedergegebenen Merkmale. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere wirksame spezifische Beispiele der vorliegenden Erfindung.
  • MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
  • Ein erstes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine Signalausgabevorrichtung zum Ausgeben eines Mustersignals vor, enthaltend eine Mustererzeugungsschaltung, die Wellenformdaten des zu erzeugenden Mustersignals erzeugt, eine Takterzeugungsschaltung, die Taktsignale gemäß einer Zykluszeit eines erwarteten Musters des Mustersignals erzeugt, eine Taktsteuerschaltung, die die von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten empfängt und die Ausgangszeitpunkte der von der Takterzeugungsschaltung auszugebenden Taktsignale Wellenformdaten steuert, und eine Wellenform-Formungsschaltung, die das Mustersignal, die das Mustersignal entsprechend Datenwerten der von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten gemäß den von der Takterzeugungsschaltung ausgegebenen Taktsignalen erzeugt.
  • Wenn ein Intervall zwischen (i) ersten Übergangsdaten, die ein Bereich der Wellenformdaten sind und einen Datenwertübergang darstellen, und (ii) zweiten Übergangsdaten kleiner als ein vorbestimmtes Intervall ist, kann die Taktsteuerschaltung einen Ausgangszeitpunkt eines Taktsignals entsprechend den zweiten Übergangsdaten so steuern, dass er später als ein Ausgangszeitpunkt hiervon ist, der durch die Musterzykluszeit definiert ist. Die Takterzeugungsschaltung kann die Taktsignale durch Verzögern von zu dieser gelieferten Zyklussignalen erzeugen, und die Taktsteuerschaltung kann Verzögerungsbeträge der jeweiligen Taktsignale steuern.
  • Die Taktsteuerschaltung kann enthalten: eine Jitterbetrags-Speicherschaltung, die vorher einen zu erzeugenden, musterabhängigen Jitterbetrag speichert, als ein Ergebnis der Übertragung des Mustersignals durch einen vorbestimmten Übertragungspfad, wenn Flanken des Mustersignals in gegenseitiger Nähe sind, eine Nähebeurteilungsschaltung, die beurteilt, ob ein Intervall zwischen jedem Übergangsdatenstück der Wellenformdaten und dem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück hiervon kleiner ist als das vorbestimmte Intervall, und eine Verzögerungsbetrags-Steuerschaltung, die einen Verzögerungsbetrag verringert, um den die Takterzeugungsschaltung ein Taktsignal verzögert, entsprechend einem Übergangsdatenstück, bei dem die Nähebeurteilungsschaltung beurteilt, dass es einen kleineren Abstand gegenüber dem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück als den vorbestimmten Abstand hat, gemäß dem musterabhängigen Jitterbetrag.
  • Die Mustererzeugungsschaltung kann als die Wellenformdaten Setzmusterdaten erzeugen, die ein Muster von ansteigenden Flanken des zu erzeugenden Mustersignals definieren, und Rücksetzmusterdaten, die ein Muster von abfallenden Flanken des zu erzeugenden Mustersignals definieren, die Takterzeugungsschaltung kann als ein Taktsignal ein Setztaktsignal entsprechend den Setzmusterdaten und ein Rücksetztaktsignal entsprechend den Rücksetzmusterdaten erzeugen, die Wellenform-Formungsschaltung kann das Mustersignal mit ansteigenden Flanken entsprechend den Setzmusterdaten zu Zeitpunkten entsprechend dem Setztaktsignal und abfallenden Flanken entsprechend den Rücksetzmusterdaten zu Zeitpunkten auf der Grundlage des Rücksetztaktsignals erzeugen, und die Taktsteuerschaltung kann jedes Übergangsdatenintervall in den Wellenformdaten auf der Grundlage der Setzmusterdaten und der Rücksetzmusterdaten erfassen. Die Taktsteuerschaltung kann die Ausgangszeitpunkte der Taktsignale gemäß einer Frequenz, mit der die Datenwerte der Wellenformdaten übergehen, steuern.
  • Ein zweites Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine Signalerfassungsvorrichtung zum Erfassen eines in diese eingegebenen Mustersignals vor, enthaltend eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst, eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer gegenüber dem ersten Taktsignal unterschiedlichen Phase erfasst, eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Mustersignals auf der Grundlage entweder (i) des von der ersten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Mustersignals oder (ii) des von der zweiten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Mustersignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Mustersignals auszuwählen ist, und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Ver gleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Mustersignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  • Die Signalerfassungsvorrichtung kann weiterhin enthalten: eine Takterzeugungsschaltung, die das zweite Taktsignal erzeugt, und eine Verzögerungsschaltung, die das erste Taktsignal durch Verzögern des zweiten Taktsignals erzeugt. Die Auswahlsteuerschaltung kann enthalten: eine Nähebeurteilungsschaltung, die beurteilt, ob ein Abstand zwischen jedem Übergangsdatenstück, das durch den logischen Wert dargestellt ist, und dem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück kleiner als ein vorbestimmter Abstand ist, und eine Steuerschaltung, die bewirkt, dass die Auswahlschaltung den von der zweiten Vergleichsschaltung in einem Zyklus entsprechend den Übergangsdaten auswählt, bei dem die Nähebeurteilungsschaltung beurteilt, dass er einen kleineren Abstand von dem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück als den vorbestimmten Abstand hat, und bewirkt, dass die Auswahlschaltung den von der ersten Vergleichsschaltung in einem verschiedenen Zyklus ausgegebenen logischen Wert auswählt. Die Verzögerungsschaltung kann einen Verzögerungsbetrag haben, der gemäß einem musterabhängigen Jitterbetrag bestimmt ist, der als ein Ergebnis der Übertragung des Mustersignals durch einen vorbestimmten Übertragungspfad erzeugt wurde, wenn das Mustersignal Flanken hat, die nahe beieinander sind.
  • Ein drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine Signalerfassungsvorrichtung zum Erfassen eines in diese eingegebenen Mustersignals vor, enthaltend eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst, eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer von dem ersten Taktsignal verschiedenen Phase erfasst, eine dritte Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals zu einem im Wesentlichen mittleren Zeitpunkt jedes Zyklus des Mustersignals erfasst, eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Mustersignals auf der Grundlage des von der dritten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Mustersignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Mustersignals auszuwählen ist, und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auswählt auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Mustersignals durchgeführten Beurteilung und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  • Ein viertes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor, enthaltend eine Signalerzeugungsvorrichtung, die ein Mustersignal in die geprüfte Vorrichtung eingibt, eine Signalerfassungsvorrichtung, die die ein von der geprüften Vorrichtung ausgegebenes Ausgangssignal erfasst, und eine Beurteilungsschaltung, die beurteilt, ob die geprüfte Vorrichtung annehmbar ist, auf der Grundlage des von der Signalerfassungsvorrichtung erfassten Ausgangs signals. Hier enthält die Signalerzeugungsvorrichtung eine Mustererzeugungsschaltung, die Wellenformdaten des zu erzeugenden Mustersignals erzeugt, eine Takterzeugungsschaltung, die Taktsignale gemäß einer erwarteten Musterzykluszeit des Mustersignals erzeugt, eine Taktsteuerschaltung, die die von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten empfängt und Ausgangszeitpunkte der von der Takterzeugungsschaltung auszugebenden Taktsignale gemäß den Wellenformdaten steuert, und eine Wellenform-Formungsschaltung, die das Mustersignal entsprechend Datenwerten der von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten gemäß den von der Takterzeugungsschaltung ausgegebenen Taktsignalen erzeugt.
  • Die Takterzeugungsschaltung kann die Taktsignale durch Verzögern von zu dieser gelieferten Zyklussignalen erzeugen, und die Taktsteuerschaltung kann eine Jitterbetrags-Speicherschaltung enthalten, die vorher einen von einem Übertragungspfad von der Signalerzeugungsvorrichtung zu der Signalerfassungsvorrichtung zu erzeugenden, musterabhängigen Jitterbetrag speichert, wenn Flanken des Mustersignals einander nahe sind, eine Nähebeurteilungsschaltung, die beurteilt, ob ein Abstand zwischen jedem Übergangsdatenstück der Wellenformdaten und dem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück kleiner als der vorbestimmte Abstand ist, und eine Verzögerungsbetrag-Steuerschaltung, die einen Verzögerungsbetrag verringert, um den die Takterzeugungsschaltung ein Taktsignal entsprechend einem Übergangsdatenstück, verzögert, bei dem die Nähebeurteilungsschaltung beurteilt, dass er einen kleineren Abstand gegenüber dem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück hat als den vorbestimmten Abstand, gemäß dem musterabhängigen Jitter betrag.
  • Ein fünftes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor, enthaltend eine Signalerzeugungsvorrichtung, die ein Mustersignal in die geprüfte Vorrichtung eingibt, eine Signalerfassungsvorrichtung, die ein von der geprüften Vorrichtung ausgegebenes Ausgangssignal erfasst, und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage des von der Signalerfassungsvorrichtung erfassten Ausgangssignals beurteilt, ob die geprüfte Vorrichtung annehmbar ist. Hier enthält die Signalerfassungsvorrichtung eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst, eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer gegenüber dem ersten Taktsignal verschiedenen Phase erfasst, eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Ausgangssignals auf der Grundlage entweder (i) des logischen Werts des von der ersten Vergleichsschaltung erfassten Ausgangssignals oder (ii) des von der zweiten Vergleichsschaltung erfassten Werts des Ausgangssignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Werte oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Ausgangssignals auszuwählen ist, und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Ausgangssignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausge wählten logischen Wert ausgibt.
  • Ein sechstes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor, enthaltend eine Signalerzeugungsvorrichtung, die ein Mustersignal in die geprüfte Vorrichtung eingibt, eine Signalerfassungsvorrichtung, die ein von der geprüften Vorrichtung ausgegebenes Ausgangssignal erfasst, und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage des von der Signalerfassungsvorrichtung erfassten Ausgangssignals beurteilt, ob die geprüfte Vorrichtung annehmbar ist. Hier enthält die Signalerfassungsvorrichtung eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst, eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer gegenüber dem ersten Taktsignal verschiedenen Phase erfasst, eine dritte Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals zu einem im Wesentlichen mittleren Zeitpunkt jedes Zyklus des Ausgangssignals erfasst, eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Ausgangssignals auf der Grundlage des von der dritten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Ausgangssignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Ausgangssignals auszuwählen ist, und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Ausgangs signals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  • Die Prüfvorrichtung kann weiterhin enthalten: eine Takterzeugungsschaltung, die das zweite Taktsignal erzeugt, und eine Verzögerungsschaltung, die einen gemäß einem durch einen Übertragungspfad von der geprüften Vorrichtung zu der Signalerfassungsvorrichtung zu erzeugenden, musterabhängigen Jitterbetrag bestimmten Verzögerungsbetrag hat, wenn das Ausgangssignal nahe beieinander liegende Flanken hat, wobei die Verzögerungsschaltung das erste Taktsignal durch Verzögern des zweiten Taktsignals erzeugt.
  • Ein siebentes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine elektronische Vorrichtung vor, enthaltend eine geprüfte Schaltung und eine Prüfschaltung, die die geprüfte Schaltung prüft. Hier enthält die Prüfschaltung eine Signalerzeugungsschaltung, die ein Mustersignal in die geprüfte Schaltung eingibt, eine Signalerfassungsschaltung, die ein von der geprüften Schaltung ausgegebenes Ausgangssignal erfasst, und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage des von der Signalerfassungsschaltung erfassten Ausgangssignals beurteilt, ob die geprüfte Schaltung annehmbar ist. Hier enthält die Signalerfassungsschaltung eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst, eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer verschiedenen Phase gegenüber dem ersten Taktsignal erfasst, eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Ausgangssignals auf der Grundlage entweder (i) des von der ersten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Ausgangssignals oder (ii) des von der zweiten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Ausgangssignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Ausgangssignals auszuwählen ist, und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Ausgangssignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  • Ein achtes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine elektronische Vorrichtung enthaltend eine geprüfte Schaltung und eine Prüfschaltung, die die geprüfte Schaltung prüft, vor. Die Prüfschaltung enthält eine Signalerzeugungsschaltung, die ein Mustersignal in die geprüfte Schaltung eingibt, eine Signalerfassungsschaltung, die ein von der geprüften Schaltung ausgegebenes Ausgangssignal erfasst, und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage des von der Signalerfassungsschaltung erfassten Ausgangssignals beurteilt, ob die geprüfte Schaltung annehmbar ist. Hier enthält die Signalerfassungsschaltung eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst, eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer gegenüber dem ersten Taktsignal verschiedenen Phase erfasst, eine dritte Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals zu einem im Wesentlichen mittleren Zeitpunkt jedes Zyklus des Ausgangssignals erfasst, eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Ausgangssignals auf der Grundlage des von der dritten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Ausgangssignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Ausgangssignals auszuwählen ist, und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Ausgangssignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  • Ein neuntes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht ein Programm vor, das bewirkt, dass eine Informationsverarbeitungsvorrichtung als eine Signalausgabevorrichtung, die ein Mustersignal ausgibt, arbeitet. Das Programm bewirkt, dass die Informationsverarbeitungsvorrichtung als eine Mustererzeugungsschaltung, die Wellenformdaten des zu erzeugenden Mustersignals erzeugt, eine Takterzeugungsschaltung, die Taktsignale gemäß einer erwarteten Musterzykluszeit des Mustersignals erzeugt, eine Taktsteuerschaltung, die die von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten empfängt und Ausgangszeitpunkte der von der Takterzeugungsschaltung auszugebenden Taktsignale gemäß den Wellenformdaten steuert, und eine Wellenform-Formungsschaltung, die das Mustersignal entsprechend Datenwerten der von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten gemäß den von der Takterzeugungsschaltung ausge gebenen Taktsignalen erzeugt, arbeitet.
  • Ein zehntes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht ein Programm vor, das bewirkt, dass eine Informationsverarbeitungsvorrichtung als eine Signalerfassungsvorrichtung, die ein in diese eingegebenes Mustersignal erfasst, arbeitet. Das Programm bewirkt, dass die Informationsverarbeitungsvorrichtung arbeitet als: eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst, eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer gegenüber dem ersten Taktsignal verschiedenen Phase erfasst, eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Mustersignals auf der Grundlage entweder (i) des von der ersten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Mustersignals oder (ii) des von der zweiten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Mustersignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Mustersignals auszuwählen ist, und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Mustersignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  • Hier sind nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung in der Zusammenfassung aufgeführt. Die Unterkombinationen der Merkmale können die Erfindung werden.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 illustriert die Wellenform eines Prüfsignals (oder Ausgangssignals), das durch einen Übertragungspfad hindurchgegangen ist.
  • 2 illustriert die Beziehung zwischen der Phase und der Impulsbreite für ein Prüfsignal (oder Ausgangssignal), das durch einen Übertragungspfad hindurchgegangen ist.
  • 3 illustriert die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 10, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht, zusammen mit einer geprüften Vorrichtung 100.
  • 4 illustriert die Konfiguration einer Signalerzeugungsvorrichtung 12, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht, zusammen mit der geprüften Vorrichtung 100.
  • 5 illustriert die beispielhaften Konfigurationen einer Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24 und einer Wellenform-Formungsschaltung 28, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beziehen, zusammen mit einer Mustererzeugungsschaltung 20 und einer Taktsteuerschaltung 26.
  • 6 illustriert Beispiele für Wellenformdaten, ein Setztaktsignal und ein Rücksetztaktsig nal.
  • 7 illustriert die Konfiguration einer Signalerfassungsvorrichtung 14, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht, zusammen mit der geprüften Vorrichtung 100.
  • 8 illustriert Beispiele für ein Ausgangssignal, ein erstes Taktsignal und ein zweites Taktsignal.
  • 9 illustriert die Konfiguration der Signalerfassungsvorrichtung 14, die sich auf ein modifiziertes Beispiel des Ausführungsbeispiels nach der vorliegenden Erfindung bezieht, zusammen mit der geprüften Vorrichtung 100.
  • 10 illustriert eine beispielhafte Hardwarekonfiguration eines Computers 1900, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht.
  • BESCHREIBUNG VON BEZUGSZAHLEN
  • 10 Prüfvorrichtung, 12 Signalerzeugungsvorrichtung, 14 Signalerfassungsvorrichtung, 16 Beurteilungsschaltung, 20 Mustererzeugungsschaltung, 22 Zykluserzeugungsschaltung, 24 Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung, 26 Taktsteuerschaltung, 28 Wellenform-Formungsschaltung, 30 Treiber, 32 Jitterbetrags-Speicherschaltung, 34 Nähebeurteilungsschaltung, 36 Verzögerungsbetrags-Steuerschaltung, 42 Erzeugungsschaltung für Setztaktsignale, 44 Erzeugungsschaltung für Rücksetztaktsignale, 52-1 erste Verzögerungsbe zeichnungsschaltung, 54-1 erste Addierschaltung, 56-1 erste Grobverzögerungsschaltung, 58-1 erste Feinverzögerungsschaltung, 52-2 zweite Verzögerungsbezeichnungsschaltung, 54-2 zweite Addierschaltung, 56-2 zweite Grobverzögerungsschaltung, 58-2 zweite Feinverzögerungsschaltung, 60 SR-Verriegelungsschaltung, 62 erste Vergleichsschaltung, 64, zweite Vergleichsschaltung, 66 Auswahlsteuerschaltung 68 Auswahlschaltung, 70 Signalerfassungs-Takterzeugungsschaltung, 72 Verzögerungsschaltung, 74 Nähebeurteilungsschaltung, 76 Steuerschaltung, 80 Erzeugungsschaltung für die mittlere Takterfassung, 82 dritte Vergleichsschaltung, 100 geprüfte Vorrichtung, 1900 Computer, 2000 CPU, 2010 ROM, 2020 RAM, 2030 Kommunikationsschnittstelle, 2040 Plattenlaufwerk, 2050 Diskettenlaufwerk, 2060 CD-ROM-Laufwerk, 2070 E/A-Chip, 2075 Grafiksteuervorrichtung, 2080 Anzeigevorrichtung, 2082 Hoststeuervorrichtung, 2084 E/A-Steuervorrichtung, 2090 Diskette, 2095 CD-ROM.
  • BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
  • Nachfolgend werden einige Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die Ausführungsbeispiele beschränken nicht die Erfindung gemäß den Ansprüchen und alle Kombinationen der in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für durch Aspekte der Erfindung vorgesehene Mittel.
  • 3 illustriert die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 10, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht, zusammen mit einer geprüften Vorrichtung 100. Die Prüfvorrichtung 10 prüft die geprüfte Vorrichtung 100. Die Prüfvorrichtung 10 enthält eine Signalerzeugungsvorrichtung 12, eine Signalerfassungsvorrichtung 14 und eine Beurteilungsschaltung 16. Die Signalerzeugungsvorrichtung 12 gibt ein Mustersignal in die geprüfte Vorrichtung 100 ein. Die Signalerfassungsvorrichtung 14 erfasst ein von der geprüften Vorrichtung 100 ausgegebenes Ausgangssignal. Die Beurteilungsschaltung 16 beurteilt auf der Grundlage des von der Signalerfassungsvorrichtung 14 erfassten Ausgangssignals, ob die geprüfte Vorrichtung 100 annehmbar ist.
  • 4 illustriert die sich auf die vorliegende Erfindung beziehende Konfiguration der Signalerzeugungsvorrichtung 12 zusammen mit der geprüften Vorrichtung 100. Die Signalerzeugungsvorrichtung 12 gibt ein Mustersignal als ein Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung 100 aus. Die Signalerzeugungsvorrichtung 12 enthält eine Mustererzeugungsschaltung 20, eine Zykluserzeugungsschaltung 22, eine Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24, eine Taktsteuerschaltung 26, eine Wellenform-Formungsschaltung 28 und einen Treiber 30. Die Mustererzeugungsschaltung 20 erzeugt Wellenformdaten des von der Signalerzeugungsvorrichtung 12 zu erzeugenden Mustersignals. Beispielsweise kann die Mustererzeugungsschaltung 20 Wellenformdaten erzeugen, die die Zeitpunkte der ansteigenden und abfallenden Flanken des Mustersignals in Intervallen gleich der Zykluszeit eines Prüfzyklus anzeigen.
  • Die Zykluserzeugungsschaltung 22 erzeugt ein Zyklussignal. Beispielsweise kann die Zykluserzeugungsschaltung 22 ein Zyklussignal erzeugen, das den Startzeitpunkt jedes Prüfzyklus anzeigt. Die Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24 erzeugt ein Taktsignal gemäß der erwarteten Musterzykluszeit des Mustersignals. Beispielsweise kann die Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24 ein Taktsignal durch Verzögern des von der Zykluserzeugungsschaltung 22 gelieferten Zyklussignals gemäß den von der Mustererzeugungsschaltung 20 ausgegebenen Wellenformdaten erzeugen.
  • Die Zeitsteuerschaltung 26 empfängt die von der Mustererzeugungsschaltung 20 ausgegebenen Wellenformdaten und verwendet die empfangenen Wellenformdaten, um den Ausgangszeitpunkt des von der Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24 ausgegebenen Taktsignals zu steuern. Beispielsweise kann, wenn der Abstand zwischen einem ersten Übergangsdatenstück und einem zweiten Übergangsdatenstück in den Wellenformdaten kleiner als ein vorbestimmter Abstand ist, die Taktsteuerschaltung 26 den Ausgangszeitpunkt des Taktsignals entsprechend dem zweiten Übergangsdatenstück so steuern, dass er später als sein durch die Musterzykluszeit definierter Ausgangszeitpunkt ist, wobei das erste Übergangsdatenstück ein Bereich der Wellenformdaten ist, das einen Datenwertübergang darstellt, und das zweite Übergangsdatenstück ein anderer Bereich der Wellenformdaten ist, der den unmittelbar folgenden Datenwertübergang darstellt.
  • Wenn die Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24 das Taktsignal durch Verzögern des Zyklussignals erzeugt, kann die Taktsteuerschaltung 26 den Verzögerungsbetrag beispielsweise jedes Taktsignals steuern. Wenn sie zur Steuerung des Verzögerungsbetrags ausgebildet ist, kann die Taktsteuerschaltung 26 beispielsweise eine Jitterbetrags-Speicherschaltung 32, eine Nähebeurteilungsschaltung 34 und eine Verzögerungsbetrags-Steuerschaltung 36 enthalten. Die Jitterbetrags-Speicherschaltung 32 speichert vorher einen musterabhängigen Jitterbetrag, der erzeugt wurde, wenn ein Mustersignal, dessen Flanken einander nahe sind, durch einen besonderen Übertragungspfad übertragen wurde. D. h., die Jitterbetrags-Speicherschaltung 32 speichert den Betrag einer in einem Muster mit einer relativ kurzen Impulsbreite erzeugten Phasenverschiebung, wenn das Muster durch einen Übertragungspfad übertragen wird. Die Jitterbetrags-Speicherschaltung 32 kann einen musterabhängigen Jitterbetrag speichern, der in einem Muster mit einer relativ kurzen Impulsbreite erzeugt wird, wenn das Muster durch einen Übertragungspfad übertragen wird, der sich beispielsweise von dem Ausgangsende der Wellenform-Formungsschaltung 28 zu dem Eingangsende der geprüften Vorrichtung 100 erstreckt.
  • Die Nähebeurteilungsschaltung 34 beurteilt, ob der Abstand zwischen jedem Übertragungsdatenstück in den Wellenformdaten und seinem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück kleiner als ein vorbestimmter Abstand ist. Die Verzögerungsbetrags-Steuerschaltung 36 verringert den Verzögerungsbetrag, um den die Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24 das Taktsignal verzögert, entsprechend dem Übergangsdatenstück, das durch die Nähebeurteilungsschaltung 34 so beurteilt wird, dass es einen kleineren Abstand von dem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück als den vorbestimmten Abstand hat, gemäß dem musterabhängigen Jitterbetrag. Entsprechend der vorbeschriebenen Konfiguration kann, wenn die Signalerzeugungsvorrichtung 12 ein Muster ausgibt, das ein musterabhängiges Jitter aufgrund eines kleinen Abstands zwischen einem ersten Übergangsdatenstück und einem zweiten Übergangsdatenstück zu erzeugen hat, die Taktsteuerschaltung 26 den Ausgangszeitpunkt des Taktsignals entsprechend dem zweiten Übergangsdatenstück so steuern, dass er später als sein ursprünglicher, durch die Musterzykluszeit definierter Ausgangszeitpunkt ist.
  • Die Wellenform-Formungsschaltung 28 erzeugt ein Mustersignal entsprechend dem Datenwert der von der Mustererzeugungsschaltung 20 ausgegebenen Wellenformdaten gemäß dem von der Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24 ausgegebenen Taktsignal. Beispielsweise kann die Wellenform-Formungsschaltung 28 ein Mustersignal erzeugen, das gemäß dem Taktsignal ansteigt oder abfällt. Der Treiber 30 liefert das von der Wellenform-Formungsschaltung 28 ausgegebene Mustersignal zu der geprüften Vorrichtung 100. Beispielsweise liefert der Treiber 30 das Mustersignal über den Übertragungspfad zu der geprüften Vorrichtung 100.
  • Gemäß der vorbeschriebenen Konfiguration kann, wenn ein Muster mit einer relativ kurzen Impulsbreite über den Übertragungspfad übertragen wird, die Signalerzeugungsvorrichtung 12 ein Mustersignal ausgeben, das vorher in Bezug auf das musterabhängige Jitter, das in dem Muster zu erzeugen ist, kompensiert ist. Als eine Folge ermöglicht, selbst wenn der Übertragungspfad ein musterabhängiges Jitter in dem Mustersignal erzeugt, die Signalerzeugungsvorrichtung 12 der geprüften Vorrichtung 100, das Mustersignal zu einem bezeichneten Zeitpunkt zu empfangen.
  • 5 illustriert die Konfigurationen der Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24 und der Wellenform-Formungsschaltung 28, die sich auf ein Beispiel der vorliegenden Erfindung beziehen, zusammen mit der Mustererzeugungsschaltung 20 und der Taktsteuerschaltung 26. Die Signalerzeugungsvorrichtung 12 kann Wellenformdaten erzeugen, die die Zeitpunkte der ansteigenden und abfallenden Flanken anzeigen, und ein Mustersignal auf der Grundlage der durch die Wellenform daten angezeigten Zeitpunkte erzeugen. Gemäß dem vorliegenden Beispiel erzeugt die Mustererzeugungsschaltung 20 als die Wellenformdaten Setzmusterdaten, die das Muster der ansteigenden Flanken des von der Signalerzeugungsvorrichtung 12 zu erzeugenden Mustersignals definieren, und Rücksetzmusterdaten, die das Muster der abfallenden Flanken des von der Signalerzeugungsvorrichtung 12 zu erzeugenden Mustersignals definieren.
  • Gemäß dem vorliegenden Beispiel erzeugt die Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24 als das Taktsignal ein Setztaktsignal entsprechend den Setzmusterdaten und ein Rücksetztaktsignal entsprechend den Rücksetzmusterdaten. Beispielsweise kann die Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24 eine Erzeugungsschaltung 42 für Setztakte und eine Erzeugungsschaltung 44 für Rücksetztakte enthalten. Die Erzeugungsschaltung 42 für Setztakte erzeugt das Setztaktsignal durch Verzögern des Zyklussignals gemäß den Setzmusterdaten, und die Erzeugungsschaltung 44 für Rücksetztakt erzeugt das Rücksetztaktsignal durch Verzögern des Zyklussignals gemäß den Rücksetzmusterdaten.
  • Beispielsweise kann die Erzeugungsschaltung 42 für Setztakte eine erste Verzögerungsbezeichnungsschaltung 52-1, eine erste Addierschaltung 54-1, eine erste Grobverzögerungsschaltung 56-1 und eine erste Feinverzögerungsschaltung 58-1 enthalten. Die erste Verzögerungsbezeichnungsschaltung 52-1 erzeugt einen Setzverzögerungsbetrag in jedem Prüfzyklus auf der Grundlage der Setzmusterdaten. Hier zeigt der Setzverzögerungsbetrag das Zeitintervall von dem Startzeitpunkt des Prüfzyklus bis zu dem Zeitpunkt der ansteigenden Flanke des Mustersignals an. Die erste Addierschaltung 54-1 addiert den Setzverzögerungsbetrag und den setzseitigen, musterabhängigen Jitterbetrag, der von der Taktsteuerschaltung 26 ausgegeben wird, und gibt das Ergebnis der Addition als einen kompensierten Verzögerungsbetrag aus. Die erste Grobverzögerungsschaltung 56-1 verzögert das Zyklussignal, das von der Zykluserzeugungsschaltung 22 erzeugt wird und die Prüfmuster-Zykluszeit darstellt, um eine Zeit, die das größte ganzzahlige Mehrfache der Bezugstakt-Zykluszeit innerhalb des kompensierten Verzögerungsbetrags ist. Die erste Feinverzögerungsschaltung 58-1 verzögert weiterhin das Zyklussignal, das von der ersten Grobverzögerungsschaltung 56-1 verzögert wurde, um eine Zeit, die kürzer als die Bezugstakt-Zykluszeit ist, die gleich dem verbleibenden kompensierten Verzögerungsbetrag ist, und gibt das sich ergebende Signal als das Setzzeitpunktsignal aus.
  • Beispielsweise kann die Rücksetztakt-Erzeugungsschaltung 44 eine zweite Verzögerungsbezeichnungsschaltung 52-2, eine zweite Addierschaltung 54-2, eine zweite Grobverzögerungsschaltung 56-2 und eine zweite Feinverzögerungsschaltung 58-2 enthalten. Die zweite Verzögerungsbezeichnungsschaltung 52-2 erzeugt einen Rücksetzverzögerungsbetrag in jedem Prüfzyklus auf der Grundlage der Rücksetzmusterdaten. Hier zeigt der Rücksetzverzögerungsbetrag das Zeitintervall von dem Startzeitpunkt des Prüfzyklus zu dem Zeitpunkt der abfallenden Flanke des Mustersignals an. Die zweite Addierschaltung 54-2 addiert den Rücksetzverzögerungsbetrag und den von der Taktsteuerschaltung 26 ausgegebenen rücksetzseitigen, musterabhängigen Jitterbetrag und gibt das Ergebnis der Addition als einen kompensierten Verzögerungsbetrag aus. Die zweite Grobverzögerungsschaltung 56-2 verzögert das Zyklussignal, das von der Zykluserzeugungsschaltung 22 erzeugt wird und die Prüfmuster-Zykluszeit darstellt, um eine Zeit, die das größte ganzzahlige Mehrfache der Bezugstakt-Zykluszeit innerhalb des kompensierten Verzögerungsbetrags ist. Die zweite Feinverzögerungsschaltung 58-2 verzögert weiterhin das Zyklussignal, das durch die zweite Grobverzögerungsschaltung 56-2 verzögert wurde, um eine Zeit, die kürzer als die Bezugstakt-Zykluszeit und gleich dem verbleibenden kompensierten Verzögerungsbetrag ist, und gibt das sich ergebende Signal als das Rücksetztaktsignal aus.
  • Die Taktsteuerschaltung 26 erfasst jedes Übergangsdatenintervall in den Wellenformdaten mit Bezug auf die Setzmusterdaten und die Rücksetzmusterdaten. Die Taktsteuerschaltung 26 gibt den Setzseitigen, musterabhängigen Jitterbetrag aus, wenn es der Ausgangszeitpunkt des Setztaktsignals ist, der so gesteuert wird, dass er später als der ursprüngliche Zeitpunkt auftritt, und gibt den rücksetzseitigen, musterabhängigen Jitterbetrag aus, wenn es der Ausgangszeitpunkt des Rücksetztaktsignals ist, der so gesteuert wird, dass er später als der ursprüngliche Zeitpunkt auftritt.
  • Die Wellenform-Formungsschaltung 28 erzeugt ein Mustersignal, das eine ansteigende Flanke entsprechend den Setzmusterdaten zu einem Zeitpunkt entsprechend dem Setztaktsignal hat und eine abfallende Flanke entsprechend den Rücksetzmusterdaten zu einem Zeitpunkt entsprechend dem Rücksetztaktsignal hat. Beispielsweise kann die Wellenform-Formungsschaltung 28 eine SR-Verriegelungsschaltung 60 enthalten. Die SR-Verriegelungsschaltung 60 bewirkt, dass das Mustersignal zu dem Zeitpunkt ansteigt, der durch das Setztaktsignal angezeigt wird, und zu dem Zeitpunkt abfällt, der durch das Rücksetztaktsignal angezeigt wird.
  • 6 illustriert Beispiele der in die in 5 gezeigte Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24 eingegebenen Wellenformdaten, des Setztaktsignals und des Rücksetztaktsignals. Die Taktsteuerschaltung 26 gibt den rücksetzseitigen, musterabhängigen Jitterbetrag aus, wenn das Zeitintervall von dem Setzzeitpunkt zu dem Rücksetzzeitpunkt kleiner als ein vorbestimmtes Intervall in einem Muster ist, das zuerst ansteigt und dann abfällt, wie durch A in 6 gezeigt ist. Wenn sie den rücksetzseitigen, musterabhängigen Jitterbetrag von der Taktsteuerschaltung 26 empfängt, verzögert die Setztakt-Erzeugungsschaltung 42 den Ausgangszeitpunkt des Rücksetztaktsignals für ein Muster, das zuerst ansteigt und dann abfällt, um den rücksetzseitigen, musterabhängigen Jitterbetrag.
  • Die Taktsteuerschaltung 26 gibt den setzseitigen, musterabhängigen Jitterbetrag aus, wenn das Zeitintervall von dem Rücksetzzeitpunkt kleiner als ein vorbestimmtes Intervall in einem Muster, das zuerst abfällt und dann ansteigt, ist, wie durch B in 6 gezeigt ist. Wenn sie den setzseitigen, musterabhängigen Jitterbetrag empfängt, verzögert die Setztakt-Erzeugungsschaltung 42 den Ausgangszeitpunkt des Setztaktsignals für ein Muster, das zuerst ansteigt und dann abfällt, um den setzseitigen, musterabhängigen Jitterbetrag.
  • Gemäß der vorbeschriebenen Konfiguration kann, selbst wenn sie ein Mustersignal auf der Grundlage des Setztaktsignals und des Rücksetztaktsignals erzeugt, die Signalerzeugungsvorrichtung 12 ein Mustersignal ausgeben, das vorher in Bezug auf musterabhängiges Jitter, das in einem Muster mit einer relativ kurzen Impulsbreite zu erzeugen ist, kompensiert ist. Als eine Folge ermöglicht es die Signalerzeugungsvorrichtung 12 der geprüften Vorrichtung 100, das Mustersignal zu einem bezeichneten Zeitpunkt zu empfangen, selbst wenn der Übertragungspfad musterabhängiges Jitter in dem Mustersignal erzeugt.
  • Beispielsweise kann die Taktsteuerschaltung 26 den Ausgangszeitpunkt des Rücksetztaktsignals um einen unterschiedlichen Betrag als den Ausgangszeitpunkt des Setztaktsignals ändern. Auf diese Weise ermöglicht, selbst wenn die Signalanstiegs- und -abfallcharakteristiken des Treibers 30 einander unterschiedlich sind, die Signalerzeugungsvorrichtung 12 der geprüften Vorrichtung 100, sowohl die ansteigenden als auch die abfallenden Flanken zu den bezeichneten Zeitpunkten zu empfangen.
  • Die Taktsteuerschaltung 26 kann den Ausgangszeitpunkt des Taktsignals mit der Frequenz steuern, mit der der Datenwert in den Wellenformdaten übergeht. Wenn beispielsweise die Frequenz, mit der der Datenwert übergeht, höher als eine vorbestimmte Frequenz ist, kann die Taktsteuerschaltung 26 den Ausgangszeitpunkt des Taktsignals so steuern, dass er früher als der durch die Musterzykluszeit definierte Ausgangszeitpunkt auftritt. Mit einer derartigen Konfiguration kann, selbst wenn Jitter durch die Differenz im Energieverbrauch erzeugt wird, die der Differenz in der Frequenz zugeschrieben wird, beispielsweise der Spannungsabfall in der Quellenspannung und die Temperaturzunahme der Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24, der Wellenform-Formungsschaltung 28 und des Treibers 30, die Signalerzeugungsvorrichtung 12 ein Mustersignal ausgeben, das vorher in Bezug auf derartiges Jitter kompensiert ist.
  • 7 illustriert die Konfiguration der Signalerfassungsvorrichtung 14, die sich auf das vorliegende Ausführungsbeispiel bezieht, zusammen mit der geprüften Vorrichtung 100. Die Signalerfassungsvorrichtung 14 empfängt als ein Mustersignal das von der geprüften Vorrichtung 100 als Antwort auf das von der Signalerzeugungsvorrichtung 12 gelieferte Mustersignal ausgegebene Ausgangssignal. Die Signalerfassungsvorrichtung 14 erfasst den logischen Wert des empfangenen Mustersignals.
  • Die Signalerfassungsvorrichtung 14 enthält eine erste Vergleichsschaltung 62, eine zweite Vergleichsschaltung 64, eine Auswahlsteuerschaltung 66, eine Auswahlschaltung 68, eine Signalerfassungstakt-Erzeugungsschaltung 70 und eine Verzögerungsschaltung 72. Die erste Vergleichsschaltung 62 erfasst den logischen des Mustersignals auf der Grundlage eines ersten Taktsignals mit einer vorbestimmten Zykluszeit. Bei einem Beispiel vergleicht die erste Vergleichsschaltung 62 das Mustersignal mit einem Schwellenwert zu dem durch das erste Taktsignal angezeigten Zeitpunkt, um den logischen Wert jedes Zyklus des Mustersignals zu erfassen. Die zweite Vergleichsschaltung 64 erfasst den logischen Wert des Mustersignals auf der Grundlage eines zweiten Taktsignals, das eine gegenüber dem ersten Taktsignal verschiedene Phase hat. Bei einem Beispiel vergleicht die zweite Vergleichsschaltung 64 das Mustersignal mit einem Schwellenwert zu dem durch das zweite Taktsignal angezeigten Zeitpunkt, um den logischen Wert jedes Zyklus des Mustersignals zu erfassen.
  • Die Auswahlsteuerschaltung 66 erfasst das Wellenformmuster des Mustersignals auf der Grundlage des logischen Werts des Mustersignals, der entweder von der ersten oder der zweiten Vergleichsschaltung 62 und 64 erfasst wird, und beurteilt, ob der von der ersten Vergleichsschaltung 62 erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung 64 erfasste logische Wert als der Datenwert jedes Zyklus des Mustersignals auszuwählen ist, auf der Grundlage des erfassten Wellenformmusters.
  • Beispielsweise kann die Auswahlsteuerschaltung 66 eine Nähebeurteilungsschaltung 74 und eine Steuerschaltung 76 enthalten. Die Nähebeurteilungsschaltung 74 beurteilt, ob der Abstand zwischen jedem Übergangsdatenstück des logischen Werts des Mustersignals, der von der ersten oder der zweiten Vergleichsschaltung 62 und 64 erfasst wird, und seinem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück kleiner als ein vorbestimmter Abstand ist. Die Steuerschaltung 76 kann bewirken, dass die Auswahlschaltung 68 den von der zweiten Vergleichsschaltung 64 ausgegebenen logischen Wert für einen Zyklus entsprechend dem Übergangsdatenstück auswählt, für das durch die Nähebeurteilungsschaltung 74 beurteilt wird, dass es einen kleineren Abstand als den vorbestimmten Abstand von seinem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück hat, und bewirken, dass die Auswahlschaltung 68 den von der ersten Vergleichsschaltung 62 ausgegebenen logischen Wert in einem verschiedenen Zyklus auswählt. Die Auswahlschaltung 68 wählt entweder den von der ersten Vergleichsschaltung 62 ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung 64 ausgegebenen logischen Wert für jeden Zyklus des Mustersignals auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung 66 durchgeführten Beurteilung aus und gibt den ausgewählten logischen Wert aus.
  • Die Signalerfassungstakt-Erzeugungsschaltung 70 er zeugt das zweite Taktsignal, das eine vorbestimmte Zykluszeit hat, und zeigt den Vergleichstakt für die zweite Vergleichsschaltung 64 an. Bei einem Beispiel erzeugt die Signalerfassungstakt-Erzeugungsschaltung 70 ein zweites Taktsignal, das im Wesentlichen dieselbe Zykluszeit wie das Mustersignal hat. Die Verzögerungsschaltung 72 verzögert das zweite Taktsignal, um das erste Taktsignal zu erzeugen, das eine vorbestimmte Zykluszeit hat, und zeigt den Vergleichstakt für die zweite Vergleichsschaltung 64 an. Beispielsweise kann die Verzögerungsschaltung 72 einen Verzögerungsbetrag haben, der bestimmt ist gemäß dem musterabhängigen Jitterbetrag, der in einem Mustersignal erzeugt wird, dessen Flanken in gegenseitiger Nähe sind, wenn das Mustersignal durch einen besonderen Übertragungspfad übertragen wird. Auf diese Weise erzeugt die Signalerfassungstakt-Erzeugungsschaltung 70 ein zweites Taktsignal, das dieselbe Zykluszeit wie das erste Taktsignal hat und eine um den musterabhängigen Jitterbetrag frühere Phase als das erste Taktsignal hat. Als eine Folge kann die zweite Vergleichsschaltung 64 das empfangene Mustersignal mit dem Schwellenwert zu einem Zeitpunkt vergleichen, der um den musterabhängigen Jitterbetrag früher als der Vergleichszeitpunkt der ersten Vergleichsschaltung 62 ist.
  • 8 illustriert Beispiele für das von der geprüften Vorrichtung 100 ausgegebene Mustersignal (Ausgangssignal), das erste Taktsignal und das zweite Taktsignal. Bei einem Beispiel erfasst die Auswahlsteuerschaltung 66 ein Wellenformmuster, das mit einem Übergang von dem logischen Wert L zu dem logischen Wert H startet und mit nachfolgenden Übergang von dem logischen Wert H zu dem logischen Wert L endet (beispielsweise die Wellenform C in 8), und ein Wellenformmuster, das mit einem Übergang von dem logischen Wert H zu dem logischen Wert L st artet und mit einem nachfolgenden Übergang von dem logischen Wert L zu dem logischen Wert H endet (beispielsweise die Wellenform D in 8). Wenn das Wellenformmuster eine kleinere Breite als eine vorbestimmte Breite hat, bewirkt die Auswahlsteuerschaltung 66, dass die Auswahlschaltung 68 den von der zweiten Vergleichsschaltung 64 ausgegebenen logischen Wert für einen Zyklus enthaltend das Wellenformmuster auswählt. Wenn das Wellenformmuster eine Breite gleich der oder größer als die vorbestimmte Breite hat, bewirkt die Auswahlsteuerschaltung 66, dass die Auswahlschaltung 68 den von der ersten Vergleichsschaltung 62 ausgegebenen logischen Wert für einen Zyklus enthaltend das Wellenformmuster auswählt.
  • Eine derartige Signalerfassungsvorrichtung 14 kann zwei verschiedene Phasen verwenden, um den logischen Wert des empfangenen Mustersignals zu erfassen, einen der erfassten logischen Werte gemäß dem Wellenformmuster auswählen und den ausgewählten logischen Wert ausgeben. Bei einem Beispiel erfasst die Signalerfassungsvorrichtung 14 den logischen Wert eins Wellenformmusters, das eine kleinere Breite als eine vorbestimmte Breite hat, zu einem Zeitpunkt, der um einen musterabhängigen Jitterbetrag früher als der Zeitpunkt der Erfassung des logischen Werts eines verschiedenen Wellenformmusters auftritt. Auf diese Weise kann die Signalerfassungsvorrichtung 14 den logischen Wert eines Mustersignals, das ein relativ kurze Zykluszeit hat, zu einem Zeitpunkt erfassen, der durch Kompensieren des in dem Mustersignal mit einer relativen kurzen Zykluszeit erzeugten musterabhängigen Jitters erhalten wurde. Als eine Folge kann die Signalerfassungsvorrichtung 14 den logischen Wert des von der geprüften Vorrichtung 100 zu dem durch die geprüfte Vorrichtung 100 bezeichneten Zeitpunkt erfassen.
  • 9 illustriert die Konfiguration der Signalerfassungsvorrichtung 14, die sich auf ein modifiziertes Beispiel des vorliegenden Ausführungsbeispiels bezieht, zusammen mit der geprüften Vorrichtung 100. Die Signalerfassungsvorrichtung 14, die sich auf das modifizierte Beispiel des vorliegenden Ausführungsbeispiels bezieht, hat im Wesentlichen dieselben Bestandteile und Funktionen wie die in 7 gezeigte Signalerfassungsvorrichtung 14 und wird daher mit Ausnahme der Unterschiede nicht erläutert.
  • Die Signalerfassungsvorrichtung 14 enthält zusätzlich eine Erzeugungsschaltung 80 für die Erfassung eines mittleren Zeitpunkts und eine dritte Vergleichsschaltung 82. Die Erzeugungsschaltung 80 für die Erfassung eines mittleren Zeitpunkts erzeugt einen im Wesentlichen mittleren Zeitpunkt jedes Zyklus des Mustersignals. Die dritte Vergleichsschaltung 82 erfasst den logischen Wert des Mustersignals zu dem im Wesentlichen mittleren Zeitpunkt jedes Zyklus des Mustersignals, der von der Erzeugungsschaltung 80 für den erfassten mittleren Zeitpunkt erzeugt wird. Die Auswahlsteuerschaltung 66 erfasst das Wellenformmuster des Mustersignals auf der Grundlage des von der dritten Vergleichsschaltung 82 erfassten logischen Werts und verwendet das erfasste Wellenformmuster, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung 62 erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung 64 erfasste logische Wert als der Datenwert jedes Zyklus des Mustersignals auszuwählen ist.
  • Gemäß dem vorbeschriebenen modifizierten Beispiel bestimmt die Signalerfassungsvorrichtung 14 die Breite des Wellenformmusters auf der Grundlage des zu dem im Wesentlichen mittleren Zeitpunkt jedes Zyklus des Mustersignals erfassten logischen Werts. Daher kann die Signalerfassungsvorrichtung 14 genau die Breite des Wellenformmusters bestimmen, selbst wenn das erste oder zweite Taktsignal einen Zeitpunkt in der Nähe des Übergangspunkts des Mustersignals anzeigt. Als eine Folge kann, da die Signalerfassungsvorrichtung 14 gemäß dem vorliegenden modifizierten Beispiel ein durch musterabhängiges Jitter beeinträchtigtes Wellenformmuster genau identifizieren kann, die Signalerfassungsvorrichtung 14 genau beurteilen, ob es erforderlich ist, das musterabhängige Jitter zu kompensieren.
  • Die Prüfvorrichtung 10 kann eine Prüfschaltung sein, die in derselben elektronischen Vorrichtung wie eine zu prüfende Schaltung vorgesehen ist. Die Prüfschaltung wird als eine BIST-Schaltung oder dergleichen in der elektronischen Vorrichtung realisiert und prüft die geprüfte Schaltung, um beispielsweise die elektronische Vorrichtung zu diagnostizieren. Auf diese Weise kann die Prüfschaltung prüfen, ob die geprüfte Schaltung in der Lage ist, normale Operationen durchzuführen, deren Durchführung durch die elektronische Vorrichtung ursprünglich erwartet wurde.
  • Alternativ kann die Prüfvorrichtung 10 eine Prüfschaltung sein, die in derselben Schaltungsplatte oder Vorrichtung wie die geprüfte Schaltung vorgesehen ist. Eine derartige Prüfschaltung kann auch prüfen, ob die geprüfte Schaltung in der Lage ist, normale Operationen durchzuführen, deren Durchführung ursprünglich erwartet wurde, wie vorstehend festge stellt ist.
  • 10 illustriert eine beispielsweise Hardwarekonfiguration eines Computers 1900, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht. Der sich auf das vorliegende Ausführungsbeispiel beziehende Computer 1900 ist gebildet durch eine CPU-Umgebungsschaltung, eine Eingabe/Ausgabe(E/A)-Schaltung und eine Vermächtnis-E/A-Schaltung. Die CPU-Umgebungsschaltung enthält eine CPU 2000, einen RAM 2020, eine Grafiksteuervorrichtung 2075 und eine Anzeigevorrichtung 2080, die mittels einer Hoststeuervorrichtung 2082 miteinander verbunden sind. Die E/A-Schaltung enthält eine Kommunikationsschnittstelle 2030, ein Plattenlaufwerk 2040 und ein CD-ROM-Laufwerk 2060, die mittels einer E/A-Steuervorrichtung 2084 mit der Hoststeuervorrichtung 2082 verbunden sind. Die Vermächtnis-E/A-Schaltung enthält einen ROM 2010, ein Diskettenlaufwerk 2050 und ein E/A-Chip 2070, die mit der E/A-Steuervorrichtung 2084 verbunden sind.
  • Die Hoststeuervorrichtung 2082 verbindet den RAM 2020 mit der CPU 2000 und der Grafiksteuervorrichtung 2075, die mit einer hohen Übertragungsrate zu dem RAM 2020 zugreifen. Die CPU 2000 arbeitet gemäß in den ROM 2010 und dem RAM 2020 gespeicherten Programmen, um die Bestandteile zu steuern. Die Grafiksteuervorrichtung 2075 erhält Bilddaten, die von der CPU 2000 oder dergleichen erzeugt sind, auf einem innerhalb des RAM 2020 vorgesehenen Rahmenpuffer, und bewirkt, dass die Anzeigevorrichtung 2080 die erhaltenen Bilddaten anzeigt. Alternativ kann die Grafiksteuervorrichtung 2075 einen Rahmenpuffer zum Speichern der von der CPU 2000 oder dergleichen erzeugten Bilddaten enthalten.
  • Die E/A-Steuervorrichtung 2084 verbindet das Plattenlaufwerk 2040, die Kommunikationsschnittstelle 2030 und das CD-ROM-Laufwerk 2060, die mit einer relativ hohen Rate arbeitende E/A-Vorrichtungen sind, mit der Hoststeuervorrichtung 2082. Die Kommunikationsschnittstelle 2030 kommuniziert über das Netzwerk mit verschiedenen Vorrichtungen. Das Plattenlaufwerk 2040 speichert Programme und Daten, die von der CPU 2000 in dem Computer 1900 zu verwenden sind. Das CD-ROM-Laufwerk 2060 liest Programme oder Daten aus einem CD-ROM 2095 und liefert das gelesene Programm oder die Daten über den RAM 2020 zu dem Plattenlaufwerk 2040.
  • Die E/A-Steuervorrichtung 2084 ist auch mit dem ROM 2010, dem Diskettenlaufwerk 2050 und dem E/A-Chip 2070, die mit einer relativ niedrigen Geschwindigkeit arbeitende E/A-Vorrichtungen sind, verbunden. Der ROM 2010 speichert ein von dem Computer 1900 am Anfangdurchgeführtes Startprogramm, von der Hardware des Computers 1900 abhängige Programme und dergleichen. Das Diskettenlaufwerk 2050 liest Programme oder Daten von einer Diskette 2090 und liefert die gelesenen Programme oder Daten über den RAM 2020 zu dem Plattenlaufwerk 2040. Das E/A-Chip 2070 ist mit dem Diskettenlaufwerk 2050 verbunden und wird verwendet, um verschiedene E/A-Vorrichtungen über ein paralleles Port, ein serielles Port, ein Tastaturport, ein Mausport oder dergleichen mit dem Computer 1900 zu verbinden.
  • Die über den RAM 2020 zu dem Plattenlaufwerk 2040 zu liefernden Programme werden von einem Benutzer in dem Zustand, in welchem sie in einem Aufzeichnungsmedium wie einer Diskette 2090, dem CD-ROM 2095 und einer IC-Karte gespeichert sind, zur Verfügung gestellt. Die Programme werden aus dem Aufzeichnungsmedium gelesen, und die gelesenen Programme werden über den RAM 2020 in dem Plattenlaufwerk 2040 in dem Computer 1900 installiert, um von der CPU 2000 ausgeführt zu werden.
  • Die Programme, die in dem Computer 1900 installiert sind und bewirken, dass der Computer 1900 als die Prüfvorrichtung 10 arbeitet, enthalten ein Signalerzeugungsmodul, ein Signalerfassungsmodul und ein Beurteilungsmodul. Die Programme oder Module erfordern, dass die CPU 2000 und dergleichen bewirkt, dass der Computer 1900 als die Signalerzeugungsvorrichtung 12, die Signalerfassungsvorrichtung 14 und die Beurteilungsschaltung 16 arbeitet.
  • Die Programme, die in dem Computer 1900 installiert sind und bewirken, dass der Computer 1900 als die Signalerzeugungsvorrichtung 12 arbeitet, enthalten ein Mustererzeugungsmodul, ein Zykluserzeugungsmodul, ein Signalerzeugungstakt-Erzeugungsmodul, ein Taktsteuermodul, ein Wellenform-Formungsmodul und ein Treibermodul. Die Programme oder Module erfordern, dass die CPU 2000 und dergleichen bewirkt, dass der Computer 1900 als die Mustererzeugungsschaltung 20, die Zykluserzeugungsschaltung 22, die Signalerzeugungstakt-Erzeugungsschaltung 24, die Taktsteuerschaltung 26, die Wellenform-Formungsschaltung 28 und der Treiber 30 arbeitet.
  • Die Programme, die in dem Computer 1900 installiert sind und bewirken, dass der Computer 1900 als die Signalerfassungsvorrichtung 14 arbeitet, enthalten ein erstes Vergleichsmodul, ein zweites Vergleichsmodul, ein Auswahlsteuermodul, ein Auswahlmodul, ein Signalerfassungstakt-Erzeugungsmodul und ein Verzögerungsmodul. Die Programme oder Module erfordern, dass die CPU 2000 und dergleichen bewirkt, dass der Computer 1900 als die erste Vergleichsschaltung 62, die zweite Vergleichsschaltung 64, die Auswahlsteuerschaltung 66, die Auswahlschaltung 68, die Signalerfassungstakt-Erzeugungsschaltung 70 und die Verzögerungsschaltung arbeitet.
  • Die vorstehend genannten Programme oder Module können in einem externen Aufzeichnungsmedium gespeichert sein. Ein derartiges Aufzeichnungsmedium ist beispielsweise ein optisches Aufzeichnungsmedium wie eine DVD oder CD, ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium wie eine MO, ein Bandmedium, ein Halbleiterspeicher wie eine IC-Karte und dergleichen, zusätzlich zu der Diskette 2090 und dem CD-ROM 2095. Alternativ kann das Aufzeichnungsmedium eine Speichervorrichtung wie eine Platte oder ein RAM sein, die in einem Serversystem vorgesehen ist, das mit einem dedizierten Kommunikationsnetzwerk oder dem Internet verbunden ist, und die Programme können dem Computer 1900 über das Netzwerk zugeführt sein.
  • Während die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben wurden, ist der technische Bereich der Erfindung nicht auf die vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Es ist für den Fachmann augenscheinlich, dass verschiedene Änderungen und Verbesserungen zu den vorbeschriebenen Ausführungsbeispielen hinzugefügt werden können. Es ist auch anhand des Bereichs der Ansprüche ersichtlich, dass die Ausführungsbeispiele, denen derartige Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügt sind, in dem technischen Bereich der Erfindung enthalten sein können.
  • Zusammenfassung:
  • Es ist eine Signalausgabevorrichtung zum Ausgeben eines Mustersignals vorgesehen. Die Signalausgabevorrichtung enthält eine Mustererzeugungsschaltung (20), die Wellenformdaten des zu erzeugenden Mustersignals erzeugt, eine Takterzeugungsschaltung (24), die Taktsignale gemäß einer erwarteten Musterzykluszeit des Mustersignals erzeugt, eine Taktsteuerschaltung (26), die die von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten empfängt und Ausgangszeitpunkt der von der Takterzeugungsschaltung auszugebenden Taktsignale gemäß den Wellenformdaten steuert, und eine Wellenform-Formungsschaltung (28), die das Mustersignal entsprechend Datenwerten der von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten gemäß den von der Takterzeugungsschaltung ausgegebenen Taktsignalen erzeugt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
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    • - JP 2006-220660 [0002]

Claims (20)

  1. Signalausgabevorrichtung zum Ausgeben eines Mustersignals, welche aufweist: eine Mustererzeugungsschaltung, die Wellenformdaten des zu erzeugenden Mustersignals erzeugt; eine Takterzeugungsschaltung, die Taktsignale gemäß einer erwarteten Musterzykluszeit des Mustersignals erzeugt; eine Taktsteuerschaltung, die die von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten empfängt und Ausgangszeitpunkte der von der Takterzeugungsschaltung auszugebenden Taktsignale gemäß den Wellenformdaten steuert; und eine Wellenform-Formungsschaltung, die das Mustersignal entsprechend Datenwerten der von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten gemäß den von der Takterzeugungsschaltung ausgegebenen Taktsignalen erzeugt.
  2. Signalausgabevorrichtung nach Anspruch 1, bei der, wenn ein Abstand zwischen (i) einem ersten Übergangsdatenstück, das ein Bereich der Wellenformdaten ist und einen Datenwertübergang darstellt, und (ii) einem zweiten Übergangsdatenstück kleiner als ein vorbestimmter Abstand ist, die Taktsteuerschaltung einen Ausgangszeitpunkt eines Taktsignals entsprechend dem zweiten Übergangsdatenstück so steuert, dass er später als ein Ausgangszeitpunkt hiervon ist, der durch die Musterzykluszeit definiert ist.
  3. Signalausgabevorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Takterzeugungsschaltung die Taktsignale durch Verzögern von zu dieser gelieferten Zyklussignalen erzeugt, und die Taktsteuerschaltung Verzögerungsbeträge der jeweiligen Taktsignale steuert.
  4. Signalausgabevorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Taktsteuerschaltung enthält: eine Jitterbetrags-Speicherschaltung, die einen musterabhängigen Jitterbetrag speichert, der zu erzeugen ist als ein Ergebnis der Übertragung des Mustersignals durch einen vorbestimmten Übertragungspfad, wenn Flanken des Mustersignals in gegenseitiger Nähe sind; eine Nähebeurteilungsschaltung, die beurteilt, ob ein Abstand zwischen jedem Übergangsdatenstück der Wellenformdaten und einem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück hiervon kleiner als der vorbestimmte Abstand ist; und eine Verzögerungsbetrags-Steuerschaltung, die einen Verzögerungsbetrag verringert, um den die Takterzeugungsschaltung ein Taktsignal verzögert entsprechend einem Übergangsdatenstück, das durch die Nähebeurteilungsschaltung so beurteilt wird, dass es einen kleineren Abstand von einem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück hiervon als den vorbestimmten Abstand hat, gemäß dem musterabhängigen Jitterbetrag.
  5. Signalausgabevorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Mustererzeugungsschaltung als die Wellenformdaten Setzmusterdaten, die ein Muster von ansteigenden Flanken des zu erzeugenden Mustersignals definieren, und Rücksetzmusterdaten, die ein Muster von fallenden Flanken des zu erzeugenden Mustersignals definieren, erzeugt, die Takterzeugungsschaltung als das Taktsignal ein Setztaktsignal entsprechend den Setzmusterdaten und ein Rücksetztaktsignal entsprechend den Rücksetzmusterdaten erzeugt, die Wellenform-Formungsschaltung das Mustersignal mit ansteigenden Flanken entsprechend den Setzmusterdaten zu Zeitpunkten entsprechend dem Setztaktsignal und abfallenden Flanken entsprechend den Rücksetzmusterdaten zu Zeitpunkten auf der Grundlage des Rücksetztaktsignals erzeugt, und die Taktsteuerschaltung jedes Übergangsdatenintervall in den Wellenformdaten auf der Grundlage der Setzmusterdaten und der Rückmusterdaten erfasst.
  6. Signalausgabevorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Taktsteuerschaltung die Ausgangszeitpunkte der Taktsignale gemäß einer Frequenz, mit der die Datenwerte der Wellenform übergehen, steuert.
  7. Signalerfassungsvorrichtung zum Erfassen eines in diese eingegebenen Mustersignals, welche aufweist: eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst; eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen des Mustersignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer von dem ersten Taktsignal verschiednen Phase erfasst; eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Mustersignals auf der Grundlage von entweder (i) des von der ersten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Mustersignals oder (ii) des von der zweiten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Mustersignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert des Zyklus des Mustersignals auszuwählen ist; und eine Auswahlschaltung, die den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Mustersignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  8. Signalerfassungsvorrichtung nach Anspruch 7, welche weiterhin aufweist: eine Takterzeugungsschaltung, die das zweite Taktsignal erzeugt; und eine Verzögerungsschaltung, die das erste Taktsignal durch Verzögern des zweiten Taktsignals erzeugt.
  9. Signalerfassungsvorrichtung nach Anspruch 8, bei der die Auswahlsteuerschaltung enthält: eine Nähebeurteilungsschaltung, die beurteilt, ob ein Abstand zwischen jedem Übergangsdatenstück, das durch den logischen Wert dargestellt wird, und einem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück hiervon kleiner als ein vorbestimmter Abstand ist; und eine Steuerschaltung, die bewirkt, dass die Aus wahlschaltung den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert in einem Zyklus entsprechend dem Übergangsdatenstück, das von der Nähebeurteilungsschaltung so beurteilt wird, dass es einen kleineren Abstand als den vorbestimmten Abstand von einem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück hiervon hat, auswählt, und bewirkt, dass die Auswahlschaltung den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert in einem verschiedenen Zyklus auswählt.
  10. Signalerfassungsvorrichtung nach Anspruch 9, bei der die Verzögerungsschaltung einen Verzögerungsbetrag hat, der bestimmt ist gemäß einem musterabhängigen Jitterbetrag, der als ein Ergebnis der Übertragung des Mustersignals durch einen vorbestimmten Übertragungspfad zu erzeugen ist, wenn das Mustersignal nahe beieinander liegende Flanken hat.
  11. Signalerfassungsvorrichtung nach Anspruch zum Erfassen eines in diese eingegebenen Mustersignals, welche aufweist: eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst; eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer von dem ersten Taktsignal verschiedenen Phase erfasst; eine dritte Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals zu einem im Wesentlichen mittleren Zeitpunkt jedes Zyklus des Mustersignals erfasst; eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Mustersignals auf der Grundlage des von der dritten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Mustersignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Mustersignals auszuwählen ist; und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Mustersignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  12. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: eine Signalerzeugungsvorrichtung, die ein Mustersignal in die geprüfte Vorrichtung eingibt; eine Signalerfassungsvorrichtung, die ein von der geprüften Vorrichtung ausgegebenes Ausgangssignal erfasst; und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage des von der Signalerfassungsvorrichtung erfassten Ausgangssignals beurteilt, ob die geprüfte Vorrichtung annehmbar ist, wobei die Signalerzeugungsvorrichtung aufweist: eine Mustererzeugungsschaltung, die Wellenformdaten des zu erzeugenden Mustersignals erzeugt; eine Takterzeugungsschaltung, die Taktsignale gemäß einer erwarteten Musterzykluszeit des Mustersignals erzeugt; eine Taktsteuerschaltung, die die von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten empfängt und Ausgangszeitpunkte der von der Takterzeugungsschaltung auszugebenden Taktsignale gemäß den Wellenformdaten steuert; und eine Wellenform-Formungsschaltung, die das Mustersignal entsprechend Datenwerten der von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten gemäß den von der Takterzeugungsschaltung ausgegebenen Taktsignalen erzeugt.
  13. Prüfvorrichtung nach Anspruch 12, bei der die Takterzeugungsschaltung, die Taktsignale durch Verzögern von zu dieser gelieferten Zyklussignalen erzeugt, die Taktsteuerschaltung enthält: eine Jitterbetrags-Speicherschaltung, die vorher einen musterabhängigen Jitterbetrag speichert, der durch einen Übertragungspfad von der Signalerzeugungsvorrichtung zu der Signalerfassungsvorrichtung zu erzeugen ist, wenn Flanken des Mustersignals in gegenseitiger Nähe sind; eine Nähebeurteilungsschaltung, die beurteilt, ob ein Abstand zwischen jedem Übergangsdatenstück der Wellenformdaten und einem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück hiervon kleiner als der vorbestimmte Abstand ist; und eine Verzögerungsbetrags-Steuerschaltung, die einen Verzögerungsbetrag, um den die Takterzeugungsschaltung ein Taktsignal entsprechend einem Übergangsdatenstück verzögert, das durch die Nähebeurteilungsschaltung so beurteilt wird, dass es einen Abstand zu einem unmittelbar vorhergehenden Übergangsdatenstück hiervon hat, der kleiner als der vorbestimmte Abstand ist, gemäß dem musterabhängigen Jitterbetrag verringert.
  14. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: eine Signalerzeugungsvorrichtung, die ein Mustersignal in die geprüfte Vorrichtung eingibt; eine Signalerfassungsvorrichtung, die ein von der geprüften Vorrichtung ausgegebenes Ausgangssignal erfasst; und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage des von der Signalerfassungsvorrichtung erfassten Ausgangssignals beurteilt, ob die geprüfte Vorrichtung annehmbar ist, wobei die Signalerfassungsvorrichtung aufweist: eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst; eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem zweiten Taktsignal, das eine von dem ersten Taktsignal verschiedene Phase hat, erfasst; eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Ausgangssignals auf der Grundlage von entweder (i) dem von der ersten Vergleichsschaltung erfassten logischen Wert des Ausgangssignals oder (ii) dem von der zweiten Vergleichsschaltung erfassten logischen Wert des Ausgangssignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Ausgangssignals auszuwählen ist; und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Ausgangssignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  15. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: eine Signalerzeugungsvorrichtung, die ein Mustersignal in die geprüfte Vorrichtung eingibt; eine Signalerfassungsvorrichtung, die ein von der geprüften Vorrichtung ausgegebenes Ausgangssignal erfasst; und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage des von der Signalerfassungsvorrichtung erfassten Ausgangssignals beurteilt, ob die geprüfte Vorrichtung annehmbar ist, wobei die Signalerfassungsvorrichtung aufweist: eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst; eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer von dem ersten Taktsignal verschiedenen Phase erfasst; eine dritte Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals zu einem im Wesentlichen mittleren Zeitpunkt jedes Zyklus des Ausgangssignals erfasst; eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Ausgangssignals auf der Grundlage des von der dritten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Ausgangssignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Ausgangssignals auszuwählen ist; und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Ausgangssignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  16. Prüfvorrichtung nach einem der Ansprüche 14 oder 15, welche weiterhin aufweist: eine Takterzeugungsschaltung, die das zweite Taktsignal erzeugt; und eine Verzögerungsschaltung, die einen Verzögerungsbetrag hat, der gemäß einem musterabhängigen Jitterbetrag bestimmt ist, der durch einen Übertragungspfad von der geprüften Vorrichtung zu der Signalerfassungsvorrichtung zu erzeugen ist, wenn das Ausgangssignal Flanken in gegenseitiger Nähe hat, wobei die Verzögerungsschaltung das erste Taktsignal durch Verzögern des zweiten Taktsignals erzeugt.
  17. Elektronische Vorrichtung, welche aufweist: eine geprüfte Schaltung; und eine Prüfschaltung, die die geprüfte Schaltung prüft, welche Prüfschaltung aufweist: eine Signalerzeugungsschaltung, die ein Mustersignal in die geprüfte Schaltung eingibt; eine Signalerfassungsschaltung, die ein von der geprüften Schaltung ausgegebenes Ausgangssignal erfasst; und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundla ge des von der Signalerfassungsschaltung erfassten Ausgangssignals beurteilt, ob die geprüfte Schaltung annehmbar ist, wobei die Signalerfassungsschaltung aufweist: eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst; eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer von dem ersten Taktsignal verschiedenen Phase erfasst; eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Ausgangssignals auf der Grundlage entweder (i) des von der ersten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Ausgangssignals oder (ii) des von der zweiten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Ausgangssignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Ausgangssignals auszuwählen ist; und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Ausgangssignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  18. Elektronische Vorrichtung, welche aufweist: eine geprüfte Schaltung; und eine Prüfschaltung, die die geprüfte Schaltung prüft, welche Prüfschaltung aufweist: eine Signalerzeugungsschaltung, die ein Mustersignal in die geprüfte Schaltung eingibt; eine Signalerfassungsschaltung, die ein von der geprüften Schaltung ausgegebenes Ausgangssignal erfasst; und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage des von der Signalerfassungsschaltung erfassten Ausgangssignals beurteilt, ob die geprüfte Schaltung annehmbar ist, wobei die Signalerfassungsschaltung aufweist: eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst; eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer von dem ersten Taktsignal verschiedenen Phase erfasst; eine dritte Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Ausgangssignals zu einem im Wesentlichen mittleren Zeitpunkt jedes Zyklus des Ausgangssignals erfasst; eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Ausgangssignals auf der Grundlage des von der dritten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Ausgangssignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Ausgangssignals auszuwählen ist; und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logi schen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Ausgangssignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
  19. Programm, das bewirkt, dass eine Informationsverarbeitungsvorrichtung als eine Signalausgabevorrichtung, die ein Mustersignal ausgibt, arbeitet, welches Programm bewirkt, dass die Informationsverarbeitungsvorrichtung arbeitet als: eine Mustererzeugungsschaltung, die Wellenformdaten des zu erzeugenden Mustersignals erzeugt; eine Takterzeugungsschaltung, die Taktsignale gemäß einer erwarteten Musterzykluszeit des Mustersignals erzeugt; eine Taktsteuerschaltung, die die von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten empfängt und Ausgangszeitpunkte der von der Takterzeugungsschaltung auszugebenden Taktsignale gemäß den Wellenformdaten steuert; und eine Wellenform-Formungsschaltung, die das Mustersignal entsprechend Datenwerten der von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Wellenformdaten gemäß den von der Takterzeugungsschaltung ausgegebenen Taktsignalen erzeugt.
  20. Programm, das bewirkt, dass eine Informationsverarbeitung als eine Signalerfassungsvorrichtung arbeitet, die ein in diese eingegebenes Mustersignal erfasst, welches Programm bewirkt, dass die Informationsverarbeitungsvorrichtung arbeitet als: eine erste Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals gemäß einem ersten Taktsignal mit einer vorbestimmten Zykluszeit erfasst; eine zweite Vergleichsschaltung, die einen logischen Wert des Mustersignals gemäß einem zweiten Taktsignal mit einer gegenüber dem ersten Taktsignal verschiedenen Phase erfasst; eine Auswahlsteuerschaltung, die ein Wellenformmuster des Mustersignals auf der Grundlage entweder (i) des von der ersten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Mustersignals oder (ii) des von der zweiten Vergleichsschaltung erfassten logischen Werts des Mustersignals erfasst und das Wellenformmuster verwendet, um zu beurteilen, ob der von der ersten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert oder der von der zweiten Vergleichsschaltung erfasste logische Wert als ein Datenwert jedes Zyklus des Mustersignals auszuwählen ist; und eine Auswahlschaltung, die entweder den von der ersten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert oder den von der zweiten Vergleichsschaltung ausgegebenen logischen Wert auf der Grundlage der von der Auswahlsteuerschaltung für jeden Zyklus des Mustersignals durchgeführten Beurteilung auswählt und den ausgewählten logischen Wert ausgibt.
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