DE10315179B4

DE10315179B4 - Halbleitermessvorrichtung zum Messen einer physikalischen Grösse

Info

Publication number: DE10315179B4
Application number: DE10315179A
Authority: DE
Inventors: Mutsuo Nishikawa; Katsumichi Ueyanagi
Original assignee: Fuji Electric Systems Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 2002-04-09
Filing date: 2003-04-03
Publication date: 2010-07-08
Anticipated expiration: 2023-04-04
Also published as: JP3963115B2; KR20030081075A; KR100929722B1; DE10315179A1; JP2003302301A

Abstract

Halbleitermeßvorrichtung zum Messen einer physikalischen Größe, umfassend:
ein Sensorelement (115), das ein elektrisches Signal erzeugt, welches eine gemessene physikalische Größe repräsentiert,
einen Ausgangsanschluß (224) zum Ausgeben des von dem Sensorelement (115) erzeugten elektrischen Signals,
einen Dateneingangsanschluß (223) zum Eingeben serieller digitaler Daten als Kalibrierungsdaten und Steuerdaten zur Kalibrierung der Ausgangscharakteristika des Sensorelements (115),
einen Masseanschluß (221) zur Lieferung eines Massepotentials,
einen Betriebsspannungsanschluß (222) zur Lieferung einer Betriebsspannung,
eine Hilfsspeicherschaltung (112) zum vorübergehenden Speichern von über den Dateneingangsanschluß eingegebenen Kalibrierungsdaten,
eine wiederbeschreibbare Festwert-Hauptspeicherschaltung (113) zum Speichern von in der Hilfsspeicherschaltung (112) gespeicherten Kalibrierungsdaten mittels eines elektrischen Wiederbeschreibvorgangs,
einen ersten Schreibanschluß (225) zum Eingeben eines externen Taktsignals oder zur Lieferung einer ersten Schreibspannung, die höher ist als die Betriebsspannung, um Daten in die Hauptspeicherschaltung (113) einzuschreiben,
einen zweiten Schreibanschluß (226) zur Lieferung einer zweiten Schreibspannung, die höher ist als die Betriebsspannung, sich aber...

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft Halbleitermeßvorrichtungen zum Messen einer physikalischen Größe wie beispielsweise Drucksensoren, Beschleunigungssensoren und ähnliches, die in verschiedenen Arten von Vorrichtungen zur Verwendung in Automobilen, im medizinischen Bereich, im industriellen Bereich etc. verwendet werden, und insbesondere Halbleitermeßvorrichtungen zum Messen einer physikalischen Größe, die eine Konfiguration aufweisen, welche eine Empfindlichkeitseinstellung, eine Einstellung von Temperaturcharakteristika, eine Offset-Einstellung etc. mittels einer elektrischen Einstellung bzw. elektrischen Trimmens unter Verwendung eines EPROMs ausführen.
Als Verfahren der Einstellung der Ausgangscharakteristika von Sensoren für physikalische Größen wurden in jüngster Zeit elektrische Einstellverfahren verwendet, die eine Einstellung nach Abschluß des Zusammenbaus ermöglichen, da herkömmliche Laser-Einstellverfahren den Nachteil aufweisen, daß sie keine erneute Einstellung ermöglichen, selbst wenn eine Variation in den Ausgangscharakteristika beim Zusammenbauprozeß nach der Einstellung auftritt. Die elektrische Einstellung weist jedoch das Problem erhöhter Herstellungskosten auf, die durch eine Zunahme der Anzahl an Drahtverbindungspunkten aufgrund des Bedarfs an zahlreichen Steueranschlüssen zum Eingeben/Ausgeben von Einstelldaten, Schreiben von Daten in das EPROM etc. verursacht werden. Um dieses Problem zu lösen, wurden Vorschläge gemacht, um eine elektrische Einstellung mit einer kleinen Anzahl an Anschlüssen auszuführen, indem eine Mehrzahl von Anschlußbetriebsschwellenspannungen unter Verwendung von Widerstandsspannungsteilung und Bipolartransistoren geschaffen wird, (vergleiche beispielsweise JP 6-29555 A ).
Bei dem vorgenannten Vorschlag unter Verwendung von Bipolartransistoren wird jedoch aufgrund des Mischens von CMOS-EPROMs mit Bipolartransistoren der BiCMOS-Prozeß erforderlich, der den Nachteil aufweist, daß er zu höheren Kosten führt. Um dieses Problem zu lösen, wurde die Verwendung von MOS-Transistoren anstatt der Bipolartransistoren erwogen. In einem derartigen Fall ist jedoch die obere Grenze der Schwellenspannung, die bei MOS-Transistoren eingestellt werden können, niedriger als bei Bipolartransistoren, so daß der Abstand zwischen der Mehrzahl von Schwellenspannungen kleiner wird und der Nachteil besteht, daß es wahrscheinlich ist, daß Fehlfunktionen auftreten. Um derartige Probleme zu vermeiden, ist es erforderlich, die obere Grenze der Schwellenspannungen auf ein Niveau zu erhöhen, das gleich demjenigen von Bipolartransistoren ist, aber um dies zu tun, ist es erforderlich, MOS-Transistoren mit einer höheren Spannungstoleranz zu versehen und neue Schutzschaltungen hinzuzufügen, was wiederum zu einer Erhöhung der Kosten führt.
DE69306051 beschreibt eine Halbleitermeßvorrichtung, welche nicht ausschließlich durch CMOS-Technik hergestellt wird. DE4435754 beschreibt einen Mehrfach-Drucksensor. US6176136 und US4765188 beschreiben jeweils einen Drucksensor.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Halbleitermeßvorrichtung zum Messen einer physikalischen Größe zu schaffen, bei der eine elektrische Einstellung bzw. elektrisches Trimmen ausgeführt werden kann, die durch den CMOS-Prozeß herstellbar ist, kostengünstig ist und außerdem eine kleine Anzahl an Anschlüssen aufweist.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird mit einer Halbleitermeßvorrichtung zum Messen einer physikalischen Größe gemäß Anspruch 1 bzw. 2 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
Zur Lösung der Aufgabe umfaßt die erfindungsgemäße Halbleitermeßvorrichtung zum Messen einer physikalischen Größe ein Sensorelement, eine Hilfsspeicherschaltung wie beispielsweise ein Schieberegister, die bzw. das vorläufige Kalibrierdaten speichert, eine Hauptspeicherschaltung wie beispielsweise ein EPROM, die bzw. das die endgültigen Kalibrierdaten speichert, und eine Einstellschaltung, welche die Ausgangscharakteristika des Sensorelements auf der Basis der in der Hilfsspeicherschaltung oder der Hauptspeicherschaltung gespeicherten Kalibrierdaten einstellt. Diese Elemente und Schaltungen sind auf dem gleichen Halbleiterchip gebildet, und sie sind nur aus aktiven Elementen und passiven Elementen aufgebaut, die mit einem CMOS-Prozeß hergestellt werden können. Außerdem weist die erfindungsgemäße Halbleitermeßvorrichtung einen Ausgangsanschluß, einen Dateneingangsanschluß, einen Masseanschluß, einen Betriebsspannungsanschluß, einen Ausgangsanschluß, und einen doppelt genutzten Schreibanschluß auf. Eine Signalunterscheidungseinrichtung erkennt, ob an dem Schreibanschluß ein Taktsignal oder eine Schreibspannung anliegt und liefert das Taktsignal an die Hilfsspeicherschaltung und die Schreibspannung an die Hauptspeicherschaltung.
Erfindungsgemäß ist die Konfiguration so getroffen, daß durch Messung des Sensorausgangssignals unter allmählicher Änderung der in der Hilfsspeicherschaltung gespeicherten vorläufigen Kalibrierdaten die zum gewünschten Sensorausgangssignal führenden Kalibrierdaten ermittelt und diese dann in der Hauptspeicherschaltung gespeichert werden. Im normalen Betriebszustand wird das Sensorausgangssignal mittels der Einstellschaltung unter Verwendung der in der Hauptspeicherschaltung gespeicherten Kalibrierdaten eingestellt. Diese einzelnen Schaltungsteile bestehen nur aus aktiven Elementen und aus passiven Elementen in CMOS-Technik und sind zusammen mit fünf oder sechs Anschlüssen auf dem gleichen Halbleiterchip gebildet.
Weitere Vorteile, Merkmale und Besonderheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung vorteilhafter Ausführungsformen der Erfindung. Es zeigen:
1 ist ein Blockdiagramm einer Meßvorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
2 ist ein Blockdiagramm einer Halbleiterdruckmeßvorrichtung gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung, die auf einem Halbleiterchip ausgebildet ist,
3 ist ein Zeitdiagramm zur Erläuterung des Prinzips zur Unterscheidung des externen Taktsignals und der Schreibspannung, die an das EPROM angelegt werden, von einander,
4 ist eine schematische Darstellung eines Beispiels eines Schieberegisteraufbaus bei der Druckmeßvorrichtung von 2,
5 zeigt eine Tabelle mit den Betriebsmoden der Druckmeßvorrichtung von 2,
6 ist ein Zeitdiagramm, das die Betriebszeitsteuerung der Druckmeßvorrichtung von 2 darstellt,
7 ist ein Zeitdiagramm, das eine andere Betriebszeitsteuerung der Druckmeßvorrichtung von 2 darstellt,
8 ist ein Zeitdiagramm, das noch eine andere Betriebszeitsteuerung der Druckmeßvorrichtung von 2 darstellt,
9 ist ein Zeitdiagramm, das eine weitere Betriebszeitsteuerung der Druckmeßvorrichtung von 2 darstellt,
10 ist ein Blockdiagramm eines zweiten Ausführungsbeispiels der Meßvorrichtung gemäß der Erfindung, und
11 ist ein Blockdiagramm einer Halbleiterdruckmeßvorrichtung gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung, die auf einem Halbleiterchip ausgebildet ist.
Erstes Ausführungsbeispiel
1 ist ein Blockdiagramm, welches eine Halbleiter-Druckmeßvorrichtung für eine physikalische Größe gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt. Die Druckmeßvorrichtung 100 dieses ersten Ausführungsbeispiels enthält eine Betriebsauswahlschaltung 111, eine Hilfsspeicherschaltung 112, eine Hauptspeicherschaltung 113, eine Einstellschaltung 114, ein Sensorelement 115, etwa eine Wheatstone'sche Brückenschaltung, eine Verstärkerschaltung 116, eine Signalunterscheidungseinrichtung 117 und sechs Anschlüsse 221 bis 226.
Über den ersten Anschluß 221 wird die Meßvorrichtung 100 mit Massepotential versorgt. Der zweite Anschluß 222 ist ein Betriebsspannungsanschluß, über den der Meßvorrichtung 100 die Betriebsspannung geliefert wird. Serielle digitale Daten (nachfolgend einfach als serielle Daten bezeichnet) werden über den dritten Anschluß (Dateneingangsanschluß) 223 in die Meßvorrichtung 100 eingegeben sowie von ihr ausgegeben. Der vierte Anschluß 224 ist ein Ausgangsanschluß, über den das Meßsignal von der Meßvorrichtung 100 nach außen abgegeben wird. Der fünfte Anschluß 225 ist ein erster Schreibanschluß, über den an die Meßvorrichtung 100 eine Spannung angelegt wird, die höher als die am zweiten Anschluß 222 anliegende Betriebsspannung ist. Ein externes Taktsignal wird über den fünften Anschluß 225 zugeführt. Der sechste Anschluß 226 ist ein zweiter Schreibanschluß, über den der Meßvorrichtung 100 eine Spannung zugeführt wird, die höher als die am zweiten Anschluß 222 liegende Betriebsspannung ist und sich von der am fünften Anschluß 225 anliegenden Spannung unterscheidet.
Die Hilfsspeicherschaltung 112 setzt nach Maßgabe der auf dem vorgenannten externen Taktsignal basierenden Betriebszeitsteuerung die von außen gelieferten seriellen Daten in parallele digitale Daten (parallele Daten) um, die intern verwendet werden. Außerdem setzt die Hilfsspeicherschaltung 112 die intern verwendeten parallelen Daten in serielle Daten für die Ausgabe nach außen um. Des weiteren liefert die Hilfsspeicherschaltung 112 Steuerdaten an die Betriebsauswahlschaltung 111. Nach Maßgabe der an den fünften Anschluß 225 und den sechsten Anschluß 226 angelegten Spannungen speichert die Hauptspeicherschaltung 113 Kalibrierungsdaten (Trimmdaten) einschließlich der von der Hilfsspeicherschaltung 112 gelieferten parallelen Daten.
Auf der Basis der von der Hilfsspeicherschaltung 112 gelieferten Steuerdaten liefert die Betriebsauswahlschaltung 111 ein Steuersignal zur Steuerung der Dateneingabe und Datenausgabe der Hilfsspeicherschaltung 112 und der Hauptspeicherschaltung 113. Das Sensorelement 115 erzeugt ein Ausgangssignal, das ein Maß für die zu messende physikalische Größe ist. Die Verstärkerschaltung 116 verstärkt das Ausgangssignal vom Sensorelement 115 und liefert das verstärkte Signal über den vierten Anschluß 224 nach außen. Auf der Basis der von der Hilfsspeicherschaltung 112 oder der Hauptspeicherschaltung 113 gelieferten Kalibrierungsdaten stellt die Einstellschaltung 114 die Empfindlichkeit des Sensorelements 115 unter Berücksichtigung der Temperatureigenschaften des Sensorelements 115 ein. Die Einstellschaltung 114 führt außerdem eine Offset-Justierung der Verstärkerschaltung 116 unter Berücksichtigung der Temperatureigenschaften der Verstärkerschaltung 116 aus.
Die Signalunterscheidungseinrichtung 117 ermittelt, ob die an den fünften Anschluß 225 angelegte Spannung ein von außen zugeführtes externes Taktsignal oder eine Schreibspannung zum Einschreiben von Kalibrierungsdaten in die Hauptspeicherschaltung 113 ist. Wenn es sich um ein externes Taktsignal handelt, liefert die Signalunterscheidungseinrichtung 117 das externe Taktsignal an die Hilfsspeicherschaltung 112. Wenn es sich dagegen bei der an dem fünften Anschluß 225 anliegenden Spannung um die Schreibspannung handelt, liefert die Signalunterscheidungseinrichtung 117 die Schreibspannung an die Hauptspeicherschaltung 113.
2 ist ein Blockdiagramm, das eine Halbleiter-Druckmeßvorrichtung gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt, welche auf einem Halbleiterchip ausgebildet ist. Die Druckmeßvorrichtung 103 des ersten Ausführungsbeispiels enthält einen digitalen Schaltungsabschnitt mit einer Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331, einem Schieberegister 332, einer Steuerlogik 333, einem EPROM 334, einer Signalwählschaltung 335, einem D/A-Umsetzer 336 und einer Signalunterscheidungsschaltung 442. Die Druckmeßvorrichtung 103 enthält außerdem einen analogen Schaltungsabschnitt mit einer Empfindlichkeitseinstellschaltung 337, einer Temperaturkennlinienein stellschaltung (nachfolgenden als TC-Einstellschaltung bezeichnet) 338, einer Offset-Einstellschaltung 339, einer Meßfühlerschaltung 440 und einer Signalverstärkerschaltung 441.
Die Schaltung 331, das Schieberegister 332, die Steuerlogik 333, das EPROM 334, die Schaltung 335, der D/A-Umsetzer 336, sowie die Schaltungen 442, 337, 338, 339, 440 und 441 sind auf demselben Halbleiterchip ausgebildet und bestehen lediglich aus aktiven und passiven Elementen, die mittels des CMOS-Herstellungsverfahrens hergestellt wurden. Die Halbleiter-Druckmeßvorrichtung 103 ist mit einem GND-Anschluß 551 (Masseanschluß), einem Vcc-Anschluß 552 (Betriebsspannungsanschluß), einem DS-Anschluß 553, einem Vout-Anschluß 554, einem CG/CLK-Anschluß 555 und einem EV-Anschluß 556 für die Zufuhr elektrischer Leistung sowie die Übertragung von Signalen zu und von der Druckmeßvorrichtung versehen.
Der GND-Anschluß 551 liefert das Massepotential an die Druckmeßvorrichtung 103. Der Vcc-Anschluß 552 liefert die Betriebsspannung von beispielsweise 5 V. Über den DS-Anschluß 553 werden serielle Daten zwischen der Druckmeßvorrichtung 103 und nicht gezeigten externen Schaltungen ausgetauscht. Der Vout-Anschluß 554 liefert das Meßsignal der Druckmeßvorrichtung 103 nach außen.
Wenn Daten in das EPROM 334 geschrieben werden sollen, wird eine Spannung von beispielsweise 26 V, die höher ist als die Betriebsspannung am Vcc-Anschluß 552 als erste Schreibspannung an den CG/CLK-Anschluß 555 angelegt. Außerdem wird ein externes Taktsignal zur Taktung des Schieberegisters 332 an den CG/CLK-Anschluß 555 angelegt. Wenn Daten in das EPROM 334 geschrieben werden sollen, wird ferner eine Spannung von beispielsweise 13 V, die höher ist als die Betriebsspannung am Vcc-Anschluß 552 und anders ist als die dem CG/CLK-Anschluß 555 zugeführte Spannung als zweite Schreibspannung an den EV-Anschluß 556 angelegt.
Die Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331 schaltet zwischen zwei verschiedenen Betriebsarten um. Bei der einen Betriebsart werden Kalibrierungsdaten als serielle Daten, die von außen über den DS-Anschluß 553 zugeführt werden, in das Schieberegister 332 eingegeben. In der anderen Betriebsart werden serielle Daten vom Schieberegister 332 über den DS-Anschluß 553 nach außen gegeben. Synchron mit dem externen Taktsignal wandelt das Schieberegister 332 die von außen gelieferten seriellen Daten in parallele Daten um. Das Schieberegister 332 wandelt auch die Kalibrierungsdaten in Form paralleler Daten, die im EPROM 334 gespeichert sind, in serielle Daten um. Das Schieberegister 332 führt die Funktionen der Hilfsspeicherschaltung 112 aus.
Das EPROM 334 speichert die Kalibrierungsdaten in Form von parallelen Daten, die vom Schieberegister 332 geliefert werden. Wenn die Kalibrierungsdaten in das EPROM 334 geschrieben werden sollen, werden die erste und die zweite Schreibspannung an das EPROM 334 angelegt. Das EPROM 334 führt die Funktionen der Hauptspeicherschaltung 113 aus. Die Signalwählschaltung 335 wählt die parallelen Kalibrierungsdaten vom Schieberegister 332 oder die parallelen Kalibrierungsdaten vom EPROM 334 und liefert die ausgewählten Kalibrierungsdaten an den D/A-Umsetzer 336. Letzterer setzt die ausgewählten parallelen Kalibrierungsdaten in analoge Daten um.
Auf der Basis der von dem Schieberegister 332 gelieferten Steuerdaten erzeugt die Steuerlogikschaltung 333 Steuersignale zur Steuerung der Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331, des Schieberegisters 332, des EPROMs 334 und der Signalwählschaltung 335, und gibt diese erzeugten Steuersignale aus. Nachfolgend wird das von der Steuerlogik 333 an das Schieberegister 332 gelieferte Steuersignal als Schieberegister-Steuersignal 665 order kurz als SR-Steuersignal 665 bezeichnet. Die Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331, die Steuerlogikschaltung 333 und die Signalwählschaltung 335 erfüllen zusammen die Funktionen der Betriebsauswahlschaltung 111.
Die Signalunterscheidungsschaltung 442 ermittelt, ob die Spannung am CG/CLK-Anschluß 555 eine das externe Taktsignal darstellende Spannung ist oder die erste Schreibspannung zum Schreiben von Kalibrierungsdaten in das EPROM 334 ist. Die Signalunterscheidungsschaltung 442 liefert das externe Taktsignal an das Schieberegister 332 und die erste Schreibspannung an das EPROM 334. Die Signalunterscheidungsschaltung 442 erfüllt die Funktion der Signalunterscheidungseinrichtung 117.
Allgemein gesagt, wird das Taktsignal von zwei Spannungspegeln zwischen der Betriebsspannung und dem Massepotential gebildet. Üblicherweise ist die zum Schreiben von Daten in das EPROM 334 erforderliche Spannung höher als die Betriebsspannung. Das EPROM 334 reagiert nicht auf den Datenschreibvorgang, wenn die angelegte Spannung niedriger als die Betriebsspannung ist. Daher wird die Betriebsspannung als Referenzspannung zur Unterscheidung zwischen der Taktspannung und der Schreibspannung verwendet. Wie beispielsweise in 3 dargestellt, stellt eine Spannung am CG/CLK Anschluß 555, die unterhalb der Betriebsspannung liegt, das externe Taktsignal dar, während eine Spannung am CG/CLK-Anschluß 555, die höher als die Betriebsspannung ist, die erste Schreibspannung darstellt.
Die Meßfühlerschaltung 440 umfaßt einen Halbleiter-Spannungs- oder -Dehnungs-Meßfühler, der als Reaktion auf angelegten Druck ein Ausgangssignal abgibt. Die Signalverstärkerschaltung 441 verstärkt das in der Meßfühlerschaltung 440 erzeugte Signal und gibt das verstärkte Signal über den Vout-Anschluß 554 nach außen ab. Die Empfindlichkeitseinstellschaltung 337 ändert und justiert den der Meßfühlerschaltung 440 gelieferten Strom nach Maßgabe der Ausgabe des D/A-Umsetzers 336. In ähnlicher Weise justiert die Offset-Einstellschaltung 339 die Referenzspannung zur Einstellung des Offsets der Signalverstärkerschaltung 441 nach Maßgabe der Ausgabe des D/A-Umsetzers 336. Die TC-Einstellschaltung 338 führt eine Addition und Subtraktion an den Ausgabe der Empfindlichkeitseinstellschaltung 337 und der Offset-Einstellschaltung 339 nach Maßgabe der Ausgabe vom D/A-Umsetzer 336 aus.
Der D/A-Umsetzer 336, die Empfindlichkeitseinstellschaltung 337, die TC-Einstellschaltung 338, und die Offset-Einstellschaltung 339 arbeiten zusammen als die Einstellschaltung 114. Die Meßfühlerschaltung 440 entspricht dem Sensorelement 115. Die Signalverstärkerschaltung 441 entspricht der Verstärkerschaltung 116. Die Anschlüsse 551 bis 556 entsprechen den Anschlüssen 221 bis 226.
4 zeigt schematisch ein Beispiel eines Schieberegisteraufbaus bei der Druckmeßvorrichtung von 2. Die Bitzahl des Schieberegisters 332 beträgt beispielsweise 52 Bits. Hiervon speichern 3 Bits Steuerdaten 661 für die Steuerlogik 333. Die anschließenden 48 Bits stellen Kalibrierungsdaten 662 für das EPROM 334, Kalibrierungsdaten 663 für die Signalwählschaltung 335 oder Daten 664 für das EPROM 334 dar. Das verbleibende eine Bit dient als Puffer.
Unter Bezugnahme auf 5 sollen nun verschiedene Steuersignale und der Zusammenhang zwischen angelegten Spannungen und Betriebsarten der Druckmeßvorrichtung 103 erläutert werden. Wenn dem CG/CLK-Anschluß 555 ein externes Taktsignal eingegeben wird, der EV-Anschluß 556 in einem verbindungslosen, das heißt einem so genannten NC-Zustand ist, die beiden Bits A und B der Steuerdaten 661 L (das heißt auf niedrigem Pegel) sind, das Freigabebit C der Steuerdaten 661 L ist und serielle Daten am DS-Anschluß 553 eingegeben werden, dann wird das SR-Steuersignal 665 auf L gesetzt, die Signalwählschaltung 335 wählt das EPROM 334 und die Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331 schaltet auf Eingabe. Als Ergebnis werden serielle Daten von außen in das Schieberegister 332 eingegeben (Betriebsart Nr. 1).
Wenn dem CG/CLK-Anschluß 555 ein externes Taktsignal eingegeben wird, der EV-Anschluß 556 im NC-Zustand ist, die beiden Bits A und B der Steuerdaten 661 L sind und das Freigabebit C der Steuerdaten 661 H (auf hohem Pegel) ist, dann wird das SR-Steuersignal 665 auf L gesetzt, die Signalwählschaltung 335 wählt das EPROM 334 und die Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331 schaltet auf Ausgabe. Als Ergebnis werden serielle Daten vom Schieberegister 332 nach außen gegeben (Betriebsart Nr. 2).
Wenn das Freigabebit C der Steuerdaten 661 H ist, die Eingabe am DS-Anschluß 553 L ist, die Eingabe am CG/CLK-Anschluß 555 L ist, das erste Bit A der Steuerdaten 661 H ist, das zweite Bit B der Steuerdaten 661 L ist und der EV-Anschluß 556 im NC-Zustand ist, dann wird das SR-Steuersignal 665 auf L gesetzt, die Signalwählschaltung 335 wählt das Schieberegister 332 und die Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331 schaltet auf Ausgabe. Als Ergebnis erfolgt eine Kalibrierung unter Verwendung der im Schieberegister 332 gespeicherten Daten (Betriebsart Nr. 3).
Wenn das Freigabebit C der Steuerdaten 661 L ist, die Eingabe am DS-Anschluß 553 L ist, die Eingabe am CG/CLK-Anschluß 555 L ist und der EV-Anschluß 556 im NC-Zustand ist, dann wird das SR-Steuersignal 665 auf L gesetzt, die Signalwählschaltung 335 wählt das EPROM 334 und die Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331 schaltet auf Eingabe. Als Ergebnis erfolgt eine Kalibrierung unter Verwendung der im EPROM 334 gespeicherten Daten (Betriebsart Nr. 4).
Wenn das Freigabebit C der Steuerdaten 661 H ist, die Eingabe am DS-Anschluß 553 L ist, die Eingabe am CG/CLK-Anschluß 555 L ist, die beiden Bits A und B der Steuerdaten 661 H sind und sich der EV-Anschluß 556 im NC-Zustand befindet, dann wird das SR-Steuersignal 665 auf L gesetzt und die Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331 schaltet auf Ausgabe. Als Ergebnis werden die im Schieberegister 332 gespeicherten Daten an das EPROM 334 übertragen (Betriebsart Nr. 5).
Wenn das Freigabebit C der Steuerdaten 661 H ist, die Eingabe am DS-Anschluß 553 L ist, die beiden Bits A und B der Steuerdaten 661 H sind und eine jeweilige Schreibspannung am CG/CLK-Anschluß 555 sowie am EV-Anschluß 556 anliegt, dann wird das SR-Steuersignal 665 af L gesetzt und die Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331 schaltet auf Ausgabe. Als Ergebnis werden im Schieberegister 332 gespeicherte Daten in das EPROM 334 geschrieben (Betriebsart Nr. 6).
Wenn das Freigabebit C der Steuerdaten 661 H ist, die Eingabe am DS-Anschluß 553 L ist, die Eingabe am CG/CLK-Anschluß 555 L ist, das erste Bit A der Steuerdaten 661 L ist, das zweite Bit B der Steuerdaten 661 H ist und sich der EV-Anschluß 556 im NC-Zustand befindet, dann wird das SR-Steuersignal 665 auf H gesetzt, die Signalwählschaltung 335 wählt das EPROM 334 und die Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331 schaltet auf Ausgabe. Als Ergebnis werden die im EPROM 334 gespeicherten Daten an das Schieberegister 332 übertragen (Betriebsart Nr. 7).
Es soll nun die Kalibrierprozedur für die Druckmeßvorrichtung 103 beschrieben werden. Wenn die Betriebsspannung von beispielsweise 5 V an den Vcc-Anschluß 552 angelegt wird, werden alle Anschlüsse der Druckmeßvorrichtung 103 automatisch so gesetzt, daß im stabilen Zustand die Betriebsart Nr. 4 eingestellt ist. Im anfänglichen Zustand, bevor der Kalibriervorgang erfolgt ist, ist das EPROM 334 in einem ”gesamt null” Zustand, das heißt in dem EPROM ist nichts gespeichert. In diesem Moment sind die Signalverstärkerschaltung 441 und der Vout-Anschluß 554 in einem ”gesättigten” Zustand, das heißt sie befinden sich an oder nahe dem Betriebsspannungspotential oder dem Messepotential.
Wie im Zeitdiagramm von 6 gezeigt, werden von außen stammende Kalibrierungsdaten im Schieberegister 332 dadurch gespeichert, daß sie über den DS-Anschluß 553 eingegeben werden und das Freigabebit C der Steuerdaten 661 auf L gesetzt wird, während an den CG/CLK-Anschluß 555 ein externes Taktsignal angelegt wird (Betriebsart Nr. 1). Dann erfolgt die Kalibrierung unter Verwendung der im Schieberegister 332 gespeicherten Daten dadurch, daß der CG/CLK-Anschluß 555 und der DS-Anschluß 553 auf L gesetzt werden und das Freigabebit C der Steuerdaten 661 auf H gesetzt wird (Betriebsart Nr. 3).
In diesem Moment wird die Sensorausgabe am Vout-Anschluß 554 gemessen. Dieser provisorische Kalibriervorgang wird wiederholt, bis die gewünschte Sensorausgabe erhalten wird. Anders ausgedrückt, diejenigen Kalibrierungsdaten, die zu der gewünschten Sensorausgabe führen, werden dadurch ermittelt, daß die Sensorausgabe gemessen wird, während von außen nach und nach immer wieder andere provisorische Kalibrierungsdaten eingegeben werden.
Nachdem Kalibrierungsdaten ermittelt wurden, werden diese von außen eingegebenen ermittelten Kalibrierungsdaten dadurch im Schieberegister 332 gespeichert, daß sie über den DS-Anschluß 553 eingegeben werden und das Freigabebit C der Steuerdaten 661 auf L gesetzt wird, während an den CG/CLK-Anschluß 555 das externe Taktsignal angelegt wird, wie in 7 gezeigt (Betriebsart Nr. 4). Diese ermittelten Kalibrierungsdaten werden dann vom Schieberegister 332 dadurch auf das EPROM 334 übertragen, daß das Freigabebit C der Steuerdaten 661 auf H gesetzt wird, der DS-Anschluß 553 auf L gesetzt wird und auch der CG/CLK-Anschluß 555 auf L gesetzt wird (Betriebsart Nr. 5). Die vom Schieberegister 332 übertragenen ermittelten Kalibrierungsdaten werden dann dadurch in das EPROM 334 eingeschrieben, das an den CG/CLK-Anschluß 555 und den EV-Anschluß 556 jeweils eine Schreibspannung angelegt wird.
Nachdem die Daten geschrieben wurden, ist der Kalibriervorgang beendet. Anschließend wird der Drucksensor 103 in seinem Ausgangszustand (Betriebsart Nr. 4) verwendet. Auf diese Weise werden die gewünschten Sensoreigenschaften, die auf der Basis der im EPROM 334 gespeicherten Kalibrierungsdaten justiert werden, erhalten.
Vor der provisorischen Kalibrierung können von außen eingegebene provisorische Kalibrierungsdaten dadurch im Schieberegister 332 gespeichert werden, daß diese Daten über den DS-Anschluß 553 eingegeben werden und das Freigabebit C der Steuerdaten 661 auf L gesetzt wird, während an den CG/CLK-Anschluß 555 das externe Taktsignal angelegt wird, wie im Zeitdiagramm von 8 gezeigt (Betriebsart Nr. 1). Danach können diese provisorischen Kalibrierungsdaten, die im Schieberegister 332 gespeichert sind, über den DS-Anschluß 553 durch Einstellen des Freigabebits C der Steuerdaten 661 auf H ausgegeben werden (Betriebsart Nr. 2).
Diese Vorgänge geben die provisorischen Kalibrierungsdaten, die über den DS-Anschluß 553 eingegeben wurden unverändert über denselben DS-Anschluß 553 wieder aus, nachdem sie die Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331 und das Schieberegister 332 durchlaufen haben. Dies ermöglicht eine Qualitätsprüfung der Arbeitsweise des Schieberegisters 332 und der Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung 331. Anders ausgedrückt, man kann diese Qualitätsprüfung ausführen, indem man den in 8 gezeigten Ablauf durchführt. Unter den in 8 gezeigten Bits sind die mit ”ignorieren” bezeichneten Bits für die Kalibrierung unbedeutend und können deshalb ignoriert werden. Das gleiche gilt für die nachfolgend beschriebene 9.
Wie im Zeitdiagramm von 9 dargestellt, können die im EPROM 334 gespeicherten Kalibrierungsdaten dadurch an das Schieberegister 332 übertragen werden, daß das Freigabebit C der Steuerdaten 661 auf H gesetzt wird und der DS-Anschluß 553 sowie der CG/CLK-Anschluß 555 jeweils auf L gesetzt werden (Betriebsart Nr. 7). Nach dieser Übertragung können die im Schieberegister 332 gespeicherten Kalibrierungsdaten über den DS-Anschluß 553 ausgegeben werden, indem das Freigabebit C der Steuerdaten 661 auf H eingestellt wird, während am CG/CLK-Anschluß 555 das externe Taktsignal eingegeben wird (Betriebsart Nr. 2). Durch in dieser Weise erfolgende Ausgabe der im EPROM 334 gespeicherten Kalibrierungsdaten über den DS-Anschluß 553 kann die Funktionsfähigkeit des EPROM 334 geprüft werden, beispielsweise um die Datenhaltefähigkeit 334 zu untersuchen und möglichen Fehlern bei den Sensoreigenschaften nach der Kalibrierung auf die Spur zu kommen. Dies ist für eine Qualitätssicherstellung und Qualitätskontrolle der Druckmeßvorrichtung 103 sehr wirkungsvoll.
Wie voranstehend beschrieben wird, bei der Halbleiter-Meßvorrichtung für eine physikalische Größe gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung die Sensorausgabe gemessen, während nacheinander verschiedene provisorische Kalibrierungsdaten im Schieberegister 332 gespeichert werden, um diejenigen Kalibrierungsdaten zu ermitteln, die zur gewünschten Sensorausgabe führen. Diese ermittelten Kalibrierungsdaten werden dann im EPROM 334 gespeichert und stellen bei normaler Verwendung der Meßvorrichtung die Sensorausgabe über die Empfindlichkeitseinstellschaltung 337, die Temperatureigenschaftseinstellschaltung 338 und die Offset-Einstellschaltung 339 ein. Die Meßvorrichtung dieses ersten Ausführungsbeispiels besteht lediglich aus aktiven Elementen und passiven Elementen, die mittels des CMOS-Herstellungsverfahrens zusammen mit sechs Anschlüssen 551 bis 556 auf einem einzigen Halbleiterchip hergestellt werden. Daher ermöglicht es die Meßvorrichtung dieses Ausführungsbeispiels eine elektrische Kalibrierung mit niedrigen Kosten und einer geringen Anzahl von Anschlüssen durchzuführen.
Zweites Ausführungsbeispiel
10 zeigt ein Blockdiagramm einer Halbleiter-Meßvorrichtung für eine physikalische Größe gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung. Wie in 10 gezeigt erzeugt dieses Ausführungsbeispiel eine Spannung, die höher als die am zweiten Anschluß 222 anliegende Betriebsspannung ist und sich von der am fünften Anschluß 225 anliegenden Spannung unterscheidet. Die Erzeugung dieser Spannung erfolgt dadurch, daß die am fünften Anschluß 225 anliegende Spannung mittels einer Transformatorschaltung 118 transformiert wird. Die erzeugte Spannung und die am fünften Anschluß 225 anliegende Spannung werden der Hauptspeicherschaltung 113 zugeführt.
Die Meßvorrichtung 1101 des zweiten Ausführungsbeispiels benötigt aus diesen Gründen nicht den sechsten Anschluß 226 der Meßvorrichtung 100 des zweiten Ausführungsbeispiels. Da sich mit Ausnahme dieses Unterschieds die in den 1 und 10 dargestellten Ausführungsbeispiel gleichen, sind gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen und werden nicht noch einmal beschrieben.
11 ist ein Blockdiagramm einer Halbleiter-Druckmeßvorrichtung gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung, die auf einem Halbleiterchip ausgebildet ist. Wie in 11 gezeigt, transformiert diese Druckmeßvorrichtung 1103 gemäß der zweiten Ausführungsform eine erste Schreibspannung von beispielsweise 26 V, die am CG/CLK-Anschluß 555 anliegt, mit einer Transformatorschaltung 143 zur Erzeugung einer zweiten Schreibspannung von beispielsweise 13 V. Die erste Schreibspannung wird der Transformatorschaltung 143 über die Signalunterscheidungsschaltung 442 geliefert. Der EV-Anschluß 556 der Druckmeßvorrichtung 103 des ersten Ausführungsbeispiels fehlt bei der Druckmeßvorrichtung 1103 des zweiten Ausführungsbeispiels.
Die erste Schreibspannung kann beispielsweise auf 26 V gesetzt werden, und die zweite Schreibspannung kann durch Herunterstufen der ersten Schreibspannung bis auf beispielsweise 13 V mittels der Transformatorschaltung 143 erhalten werden. Der umgekehrte Fall, das heißt, daß die niedrigere Spannung zugeführt und die höhere Spannung intern erzeugt wird, ist ebenfalls möglich. Da die Ausgestaltung in 11 im übrigen mit derjenigen in 2 übereinstimmt, werden bei beiden Figuren gleiche Bezugszahlen zur Bezeichnung gleicher Elemente verwendet und diese der Einfachheit halber nicht noch einmal erläutert. Da die Funktionsweisen und die Kalibrierung der Druckmeßvorrichtung 1103 des zweiten Ausführungsbeispiels die gleichen sind wie die beim ersten Ausführungsbeispiel mit der Ausnahme, daß im ersteren Fall die zweite Schreibspannung auf der Basis der eingegebenen ersten Schreibspannung in der Druckmeßvorrichtung 1103 erzeugt wird, brauchen diese Funktionen und der Kalibriervorgang nicht noch einmal beschrieben zu werden.
Es bedarf keiner Betonung, daß die Druckmeßvorrichtung des zweiten Ausführungsbeispiels die gleichen Wirkungen entfaltet wie diejenige des ersten Ausführungsbeispiels.

Claims

Halbleitermeßvorrichtung zum Messen einer physikalischen Größe, umfassend: ein Sensorelement (115), das ein elektrisches Signal erzeugt, welches eine gemessene physikalische Größe repräsentiert, einen Ausgangsanschluß (224) zum Ausgeben des von dem Sensorelement (115) erzeugten elektrischen Signals, einen Dateneingangsanschluß (223) zum Eingeben serieller digitaler Daten als Kalibrierungsdaten und Steuerdaten zur Kalibrierung der Ausgangscharakteristika des Sensorelements (115), einen Masseanschluß (221) zur Lieferung eines Massepotentials, einen Betriebsspannungsanschluß (222) zur Lieferung einer Betriebsspannung, eine Hilfsspeicherschaltung (112) zum vorübergehenden Speichern von über den Dateneingangsanschluß eingegebenen Kalibrierungsdaten, eine wiederbeschreibbare Festwert-Hauptspeicherschaltung (113) zum Speichern von in der Hilfsspeicherschaltung (112) gespeicherten Kalibrierungsdaten mittels eines elektrischen Wiederbeschreibvorgangs, einen ersten Schreibanschluß (225) zum Eingeben eines externen Taktsignals oder zur Lieferung einer ersten Schreibspannung, die höher ist als die Betriebsspannung, um Daten in die Hauptspeicherschaltung (113) einzuschreiben, einen zweiten Schreibanschluß (226) zur Lieferung einer zweiten Schreibspannung, die höher ist als die Betriebsspannung, sich aber von der ersten Schreibspannung unterscheidet, um Daten in die Hauptspeicherschaltung (113) einzuschreiben, eine Betriebsauswahlschaltung (111) zur Steuerung des Betriebs zum Schreiben der Kalibrierungsdaten in die Hilfsspeicherschaltung (112) und die Hauptspeicherschaltung (113) auf der Basis der in der Hilfsspeicherschaltung (112) gespeicherten Steuerdaten, eine Signalunterscheidungseinrichtung (117) zur Unterscheidung, ob die dem ersten Schreibanschluß (225) zugeführte Spannung das externe Taktsignal oder die erste Schreibspannung ist, und zur Lieferung des externen Taktsignals an die Hilfsspeicherschaltung (112) bzw. der ersten Schreibspannung an die Hauptspeicherschaltung (113), und eine Einstellschaltung (114) zur Einstellung der Ausgangscharakteristika des Sensorelements (115) auf der Basis der in der Hilfsspeicherschaltung (112) gespeicherten Kalibrierungsdaten oder auf der Basis der in der Hauptspeicherschaltung (113) gespeicherten Kalibrierungsdaten, wobei das Sensorelement (115), die Hilfsspeicherschaltung (112), die Hauptspeicherschaltung (113), die Betriebsauswahlschaltung (111), die Signalunterscheidungseinrichtung (117) und die Einstellschaltung (114) aus aktiven Elementen und passiven Elementen bestehen, die mittels eines CMOS-Herstellungsverfahrens auf einem einzigen Halbleiterchip zusammen mit dem Ausgangsanschluß (224), dem Dateneingangsanschluß (223), dem Masseanschluß (221), dem Betriebsspannungsanschluß (222), dem ersten Schreibanschluß (225) und dem zweiten Schreibanschluß (226) ausgebildet sind, wobei der Dateneingangsanschluß (223) zugleich als Datenausgangsanschluß dient, über den in der Hilfsspeicherschaltung (112) gespeicherte Daten nach außen ausgebbar sind, die Hilfsspeicherschaltung (112) die in ihr gespeicherten Daten in Form von seriellen digitalen Daten ausgibt, und ferner eine Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung (331) zwischen dem Dateneingangsanschluß (223) und der Hilfsspeicherschaltung (112) vorgesehen ist, und in der Lage ist, zwischen der Lieferung serieller digitaler Daten von dem Dateneingangsanschluß (223) an die Hilfsspeicherschaltung (112) sowie der Lieferung von der Hilfsspeicherschaltung (112) ausgegebener serieller digitaler Daten an den Dateneingangsanschluß (223) umzuschalten.
Halbleitermeßvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Signalunterscheidungseinrichtung (117) die an den ersten Schreibanschluß (225) angelegte Spannung als erste Schreibspannung erkennt, wenn diese Spannung höher ist als die Betriebsspannung, und als externes Taktsignal erkennt, wenn diese Spannung niedriger ist als die Betriebsspannung.
Halbleitermeßvorrichtung zum Messen einer physikalischen Größe, umfassend: ein Sensorelement (115), das ein elektrisches Signal erzeugt, welches eine gemessene physikalische Größe repräsentiert, einen Ausgangsanschluß (224) zum Ausgeben des von dem Sensorelement (115) erzeugten elektrischen Signals, einen Dateneingangsanschluß (223) zum Eingeben serieller digitaler Daten als Kalibrierungsdaten und Steuerdaten zur Kalibrierung der Ausgangscharakteristika des Sensorelements (115), einen Masseanschluß (221) zur Lieferung eines Massepotentials, einen Betriebsspannungsanschluß (222) zur Lieferung einer Betriebsspannung, eine Hilfsspeicherschaltung (112) zum vorübergehenden Speichern von über den Dateneingangsanschluß (223) eingegebenen Kalibrierungsdaten, eine wiederbeschreibbare Festwert-Hauptspeicherschaltung (113) zum Speichern von in der Hilfsspeicherschaltung (112) gespeicherten Kalibrierungsdaten mittels eines elektrischen Wiederbeschreibvorgangs, und einen Schreibanschluß (225) zum Eingeben eines externen Taktsignals oder zur Lieferung einer ersten Schreibspannung, die höher ist als die Betriebsspannung, um Daten in die Hauptspeicherschaltung (113) einzuschreiben, eine Transformatorschaltung (118) zur Erzeugung einer zweiten Schreibspannung, die höher ist als die Betriebsspannung und die sich von der ersten Schreibspannung unterscheidet, wobei die Transformatorschaltung die zweite Schreibspannung an die Hauptspeicherschaltung (113) liefert, um in die Hauptspeicherschaltung (113) Daten auf der Basis der am Schreibanschluß anliegenden ersten Schreibspannung einzuschreiben, eine Betriebsauswahlschaltung (111) zur Steuerung des Betriebs zum Schreiben der Kalibrierungsdaten in die Hilfsspeicherschaltung (112) und die Hauptspeicherschaltung (113) auf der Basis der in der Hilfsspeicherschaltung (112) gespeicherten Steuerdaten, eine Signalunterscheidungseinrichtung (117) zur Unterscheidung, ob die dem Schreibanschluß (225) zugeführte Spannung das externe Taktsignal oder die erste Schreibspannung ist, und zur Lieferung des externen Taktsignals an die Hilfsspeicherschaltung (112) bzw. der ersten Schreibspannung an die Hauptspeicherschaltung (113), und eine Einstellschaltung (114) zur Einstellung der Ausgangscharakteristika des Sensorelements (115) auf der Basis der in der Hilfsspeicherschaltung (112) gespeicherten Kalibrierungsdaten oder auf der Basis der in der Hauptspeicherschaltung (113) gespeicherten Kalibrierungsdaten, wobei das Sensorelement (115), die Hilfsspeicherschaltung (112), die Hauptspeicherschaltung (113), die Transformatorschaltung, die Betriebsauswahlschaltung (111), die Signalunterscheidungseinrichtung (117) und die Einstellschaltung (114) aus aktiven Elementen und passiven Elementen bestehen, die mittels eines CMOS-Herstellungsverfahrens auf einem einzigen Halbleiterchip zusammen mit dem Ausgangsanschluß (224), dem Dateneingangsanschluß (223), dem Masseanschluß (221), dem Betriebsspannungsanschluß (222), dem Schreibanschluß (225) ausgebildet sind, wobei der Dateneingangsanschluß (223) zugleich als Datenausgangsanschluß dient, über den in der Hilfsspeicherschaltung (112) gespeicherte Daten nach außen ausgebbar sind, die Hilfsspeicherschaltung (112) die in ihr gespeicherten Daten in Form von seriellen digitalen Daten ausgibt, und ferner eine Eingabe/Ausgabe-Umschaltschaltung (331) zwischen dem Dateneingangsanschluß (223) und der Hilfsspeicherschaltung (112) vorgesehen ist, und in der Lage ist, zwischen der Lieferung serieller digitaler Daten von dem Dateneingangsanschluß (223) an die Hilfsspeicherschaltung sowie der Lieferung von der Hilfsspeicherschaltung ausgegebener serieller digitaler Daten an den Dateneingangsanschluß (223) umzuschalten.
Halbleitermeßvorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Signalunterscheidungseinrichtung (117) die an den Schreibanschluß (225) angelegte Spannung als erste Schreibspannung erkennt, wenn diese Spannung höher ist als die Betriebsspannung, und als externes Taktsignal erkennt, wenn diese Spannung niedriger ist als die Betriebsspannung.
Halbleitermeßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Hilfsspeicherschaltung (112) in der Lage ist, ihr eingegebene serielle digitale Daten in parallele Daten umzuwandeln und die parallelen Daten an die Schaltungen innerhalb der Meßvorrichtungen zu liefern.
Halbleitermeßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Einstellschaltung (114) eine Empfindlichkeitseinstellschaltung (337) zur Einstellung des dem Sensorelements (115) zugeführten Stroms umfaßt, um dadurch die Empfindlichkeit des Sensorelements auf der Basis der Kalibrierungsdaten einzustellen.
Halbleitermeßvorrichtung nach Anspruch 6, bei der die Einstellschaltung (114) ferner eine Temperatureigenschaftseinstellschaltung (338) umfaßt, die eine Addition und Subtraktion am Ausgangssignal der Empfindlichkeitseinstellschaltung (337) ausführt.
Halbleitermeßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, die ferner eine Verstärkerschaltung (116) zur Verstärkung eines von dem Sensorelement (115) erzeugten elektrischen Signals erzeugt und das verstärkte elektrische Signal ausgibt, und bei der die Einstellschal tung (114) eine Offset-Einstellschaltung zur Einstellung der Referenzspannung für die Einstellung des Offsets der Verstärkerschaltung (116) umfaßt.
Halbleitermeßvorrichtung nach Anspruch 8, bei der die Temperatureigenschaftseinstellschaltung (338) ferner eine Addition und eine Subtraktion am Ausgangssignal der Offset-Einstellschaltung (339) ausführt.