DE102018207131A1

DE102018207131A1 - Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks

Info

Publication number: DE102018207131A1
Application number: DE102018207131.4A
Authority: DE
Inventors: Kenji Takenouchi
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2017-05-09
Filing date: 2018-05-08
Publication date: 2018-11-15
Also published as: SG10201803307SA; CN108878355B; US10283410B2; JP6949421B2; TW201901782A; TWI751324B; JP2018190852A; CN108878355A; KR102448221B1; US20180330990A1; KR20180123637A

Abstract

Ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks mit einer Schneidklinge, wobei das Werkstück einen Körper aus Metall aufweist, der in einer überlagernden Beziehung mit projizierten Teilungslinien angeordnet ist, beinhaltet: einen ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat zum Bewegen der Schneidklinge durch erste geschnittenen Nuten, während die Schneidklinge in einer solchen Höhe positioniert ist, dass das unterste Ende der Schneidklinge tiefer als ein oberes Ende des Körpers aus Metall ist; und einen zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat zum Bewegen der Schneidklinge durch zweite geschnittenen Nuten während die Schneidklinge in einer solchen Höhe positioniert ist, dass das unterste Ende der Schneidklinge tiefer als das oberste Ende des Metallkörpers ist. Eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, wird zu dem Werkstück in dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat zugeführt.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks, das mehrere sich kreuzende projizierte Teilungslinien, die daran gesetzt sind, und einen Körper aus Metall aufweist, der in einer überlagernden Beziehung mit den projizierten Teilungslinien angeordnet ist.
Beschreibung des Stands der Technik
Es ist eine Schneidvorrichtung zum akkuraten Schneiden eines Werkstücks wie einem Halbleiter-Wafer, verpackten Substrat, Keramiksubstrat, Glassubstrat usw. mit einer ringförmigen Schneidklinge bekannt. In der Schneidvorrichtung ist die Schneidklinge drehbar an einer Spindel getragen. Die Schneidklinge wird um ihre eigene Achse gedreht und bewegt, um in ein Werkstück zu schneiden, um das Werkstück zu schneiden. Das Werkstück weist ein Gitter aus sich kreuzenden projizierten Teilungslinien an einer Flächenseite davon auf, die die Flächenseite in mehrere Bereiche aufteilen, in denen Bauelemente wie integrierte Schaltungen (ICs), Largescale-Integration-Schaltungen (LSIs) usw. ausgebildet sind. Wenn das Werkstück entlang der projizierten Teilungslinien geschnitten wird, wird es in mehrere Chips geteilt, die Bauelemente daran ausgebildet aufweisen, die im Folgenden als Bauelementchips bezeichnet werden.
Bevor das Werkstück geschnitten wird, kann das Werkstück eine Schicht, die Metall enthält, als ein Material der Bauelemente, Verdrahtung oder Testelementgruppe (TEG) aufweisen, und die Schicht kann an Positionen angeordnet sein, die mit den projizierten Teilungslinien überlagern. In dem Fall, dass die Schicht an den Positionen angeordnet ist, welche die projizierten Teilungselemente überlagern, schneidet die Schneidklinge die Schicht, wenn Sie das Werkstück schneidet. Wenn die Schneidklinge die Schicht beim Schneiden des Werkstücks schneidet, wird das Metall, das in der Schicht enthalten ist, durch die Rotation der Schneidklinge lang gezogen, wodurch Vorsprünge entstehen, die im Folgenden als Metallgrate bezeichnet werden, die sich von der Schicht erstrecken, welche das Metall enthält, aufgrund des Kontakts mit der Schneidklinge. Falls die Metallgrate ausgebildet werden, können Sie eine andere nahegelegene Schicht, die Metall enthält, kontaktieren, was möglicherweise einen Kurzschluss verursacht oder sie können sich lösen, was möglicherweise Bauelementchips beschädigt. Darüber hinaus, falls Metallgrate an den Bauelementchips, die ausgebildet wurden, überbleiben, können Probleme wie Verbindungsfehler auftreten, wenn die Bauelementchips in gegebenen Gegenständen installiert werden.
Entsprechend ist es notwendig, solche Metallgrate zu entfernen. Es wurde eine Technologie zum Entfernen der Metallgrate von einem Werkstück durch wiederholtes Bewegen der Schneidklinge durch eine geschnittene Nut, die in dem Werkstück durch die Schneidklinge ausgebildet wurde, vorgeschlagen. Insbesondere in der Nähe der sich kreuzenden Teilungslinien, wenn die Schneidklinge durch eine der projizierten Trennungslinien bewegt wird, tendieren die ausgebildeten Metallgrate dazu, zu anderen projizierten Teilungselement verformt zu werden, sodass sie die Schneidklinge vermeiden. Darum ist es nicht einfach, die Metall Grate zu entfernen. Es wurde darum eine Technologie zum Entfernen von Metallgraten in der Nähe einer Kreuzung von projizierten Teilungslinien vorgeschlagen (siehe japanische Offenlegungsschrift Nr. 2006-41261 ).
DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Jedoch existieren Fälle, wo sogar die vorhergehend vorgeschlagene Technologie scheitert, die Metallgrate vollständig in der Nähe einer Kreuzung von projizierten Teilungslinien zu entfernen. Metallgrate sind verformbar. Wenn die Schneidklinge durch eine der projizierten Teilungslinie über die Kreuzung bewegt wird, werden die Metallgrate zu der anderen projizierten Teilungslinie verlängert und einige der Metallgrate bleiben in der Nähe der Kreuzung über.
Es ist darum ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks mit einem Gitter aus sich kreuzenden projizierten Teilungslinien daran bereitzustellen, um einfach Metallgrate, die in der Nähe einer Kreuzung von projizierten Teilungslinien ausgebildet werden, wenn das Werkstück durch eine Schneidklinge entlang der projizierten Teilungslinien geschnitten wird, zu entfernen.
In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks mit einer sich drehenden ringförmigen Schneidklinge bereitgestellt, wobei das Werkstück projizierte Teilungslinien, die daran gesetzt sind, die mehrere erste projizierte Teilungslinien, die sich in einer ersten Richtung erstrecken, und mehrere zweite projizierte Teilungselement, die sich in einer zweiten Richtung erstrecken, die orthogonal zu der ersten Richtung liegen, beinhalten, aufweist, wobei das Werkstück auch einen Körper aus Metall aufweist, der in einer überlagernden Beziehung mit den projizierten Teilungslinien ausgebildet ist. Das Bearbeitungsverfahren beinhaltet: einen Anbringungsschritt für ein Band zum Anbringen eines Bands auf dem Werkstück; nachdem der Anbringungsschritt für ein Band durchgeführt wurde, einen Halteschritt zum Halten des Werkstücks an einem Haltetisch mit dem Band dazwischen eingefügt; nachdem der Halteschritt durchgeführt wurde, einen ersten Schneidschritt zum Schneiden des Werkstücks entlang der ersten projizierten Teilungslinien mit der Schneidklinge, während in das Band geschnitten wird, wodurch erste geschnittenen Nuten in dem Werkstück ausgebildet werden; nachdem der erste Schneidschritt ausgeführt wurde, einen zweiten Schneidschritt zum Schneiden des Werkstücks entlang der zweiten projizierten Teilungslinien mit der Schneidklinge, während das Band geschnitten wird, um dadurch zweite geschnittene Nuten in dem Werkstück auszubilden; nachdem der Schneidschritt ausgeführt wurde, einen ersten Entfernungsschritt für Metallgrate zum Bewegen der Schneidklinge durch die ersten geschnittenen Nuten während die Schneidklinge in einer solchen Höhe positioniert ist, dass das unterste Ende der Schneidklinge tiefer als ein oberes Ende des Körpers aus Metall ist, wodurch die Metallgrate von den ersten geschnittenen Nuten entfernt werden; und nachdem der zweite Schneidschritt ausgeführt wurde, einen zweiten Entfernungsschritt für Metallgrate zum Bewegen der Schneidklinge durch die zweiten geschnittenen Nuten, während die Schneidklinge in einer solchen Höhe positioniert ist, dass das unterste Ende der Schneidklinge tiefer als das obere Ende des Körpers aus Metall ist, wodurch die Metallgrate von der zweiten geschnittenen Nuten entfernt werden. Eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, wird zu dem Werkstück in dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und den zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat zugeführt.
Vorzugsweise beinhaltet das Bearbeitungsverfahren ferner: nachdem der erste Entfernungsschritt für einen Metallgrat und der zweite Entfernungsschritt für einen Metallgrat durchgeführt wurde, einen ersten Entfernungsschritt für den Grat eines Bands zum Bewegen der Schneidklinge durch die ersten geschnittenen Nuten, wodurch Grate eines Bands, die durch das Band ausgebildet werden, entfernt werden; und nachdem der erste Entfernungsschritt für einen Metallgrat und der zweite Entfernungsschritt für einen Metallgrat ausgeführt wurden, einen zweiten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands, zum Bewegen der Schneidklinge durch die zweiten geschnittenen Nuten, wodurch die Grate eines Bands, die durch das Band ausgebildet werden, entfernt werden. In dem ersten Schneidschritt, dem zweiten Schneidschritt, dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und den zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat ist eine Richtung, in welcher ein unterstes Ende der Schneidklinge dreht in Übereinstimmung mit einer Richtung, in welcher das Werkstück zugeführt wird. In dem ersten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands, ist die Richtung, in welcher das unterste Ende der Schneidklinge dreht, entgegengesetzt zu einer Richtung, in welcher das Werkstück zugeführt wird.
Weiter bevorzugt kann das Werkstück mit einer höheren Geschwindigkeit in dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat als in dem ersten Schneidschritt in dem zweiten Schneidschritt zugeführt werden. Eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, wird zu dem Werkstück in dem ersten Schneidschritt und dem zweiten Schneidschritt zugeführt.
Wenn der erste Schneidschritt zum Schneiden des Werkstücks entlang der ersten projizierten Teilungslinien, wodurch erste geschnittenen Nuten in dem Werkstück ausgebildet werden, und der zweite Schneidschritt zum Schneiden des Werkstücks entlang der zweiten projizierten Teilungslinien, wodurch zweite geschnittenen Nuten in dem Werkstück ausgebildet werden, ausgeführt wird, werden Metallgrate von einer Schicht ausgebildet, die Metall enthält, die in einer überlagernden Beziehung mit den projizierten Teilungslinien angeordnet ist. Es ist nicht einfach die Metallgrate, die in der Nähe von Kreuzungen der ersten projizierten Teilungslinien, die sich in einer ersten Richtung erstrecken, und der zweiten projizierten Teilungslinien, die sich in einer zweiten Richtung erstrecken, zu entfernen. Entsprechend dem Aspekt der vorliegenden Erfindung, nachdem das Werkstück durch die Schneidklinge geschnitten wurde, wird die Schneidklinge durch die geschnittenen Nuten bewegt, die in dem Werkstück ausgebildet sind, während eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, zu dem Werkstück zugeführt wird. Die organische Säure, die in der Flüssigkeit enthalten ist, modifiziert das Metall der Metallgrate, sodass dieser weniger biegsam sind, und das Oxidationsmittel, das in der Flüssigkeit ist, ändert die Qualität der Oberfläche der Metallgrate, so dass die Metallgrate ihre Formbarkeit verlieren. Da die Metallgrate weniger dazu neigen, sich auszudehnen, wenn die Schneidklinge durch die geschnittenen Nuten bewegt wird, können die Metallgrate, die in den Kreuzungen auftreten, geeignet davon entfernt werden.
Das obige und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise des Realisierens dieser wird klarer und die Erfindung selbst am besten durch ein Studieren der folgenden Beschreibung und beigefügten Ansprüche mit Bezug zu den angehängten Figuren verstanden, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen.
Figurenliste

1 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch einen Anbringungsschritt für ein Band zeigt;
2A ist eine Querschnittsansicht, die schematisch einen Halteschritt zeigt;
2B ist eine Querschnittsansicht, die schematisch einen ersten Schneidschritt und einen zweiten Schneidschritt zeigt;
3A ist eine Querschnittsansicht, die schematisch einen ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und einen zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat zeigt; und
3B ist eine Querschnittsansicht, die schematisch einen ersten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands und einen zweiten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands zeigt.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
Zuerst wird ein Werkstück, das durch ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bearbeitet werden soll, im Folgenden beschrieben. Das Werkstück ist ein verpacktes Substrat, das mehrere Bauelemente wie ICs, LSI-Schaltungen usw. aufweist, die mit einem Versiegelungskunststoff bedeckt sind. Alternativ kann das Werkstück ein Halbleiter-Wafer sein, der aus Silizium, Saphir oder dergleichen zum Beispiel ausgebildet ist, oder kann ein Substrat aus Glas, Quarz, Kunststoff oder dergleichen sein. 1 zeigt perspektivisch einen oberen Abschnitt eines verpackten Substrats als ein Werkstück 1. Das Werkstück 1 weist mehrere projizierte Teilungslinien 3 auf, die auch als Straßen bezeichnet werden, die an einer Oberfläche davon gesetzt sind, die mehrere erste projizierte Teilungslinien 3a, die sich entlang einer ersten Richtung 3c erstrecken, und mehrere zweite projizierte Teilungslinien 3b beinhalten, die sich entlang einer zweiten Richtung 3d die erstrecken, die senkrecht zu der ersten Richtung 3c liegt. Die projizierten Teilungslinien 3 teilen die Oberfläche des Werkstücks 1 in mehrere Bereiche auf, in welchen Bauelemente 5 wie ICs, LSI-Schaltungen usw. ausgebildet sind. Das Werkstück 1 wird entlang der projizierten Teilungslinien 3 in einzelne Bauelementchips geschnitten und geteilt, welche die Bauelemente 5 daran tragen.
Das Werkstück 1 beinhaltet auch eine Schicht 5a, die ein Metall im Wesentlichen zentral darin in einer Dickenrichtung davon enthält. Die Schicht 5a, die das Metall enthält, kann zum Beispiel eine Verdrahtungsschicht sein. Alternativ kann die Schicht 5a, die Metall enthält, in die Bauelemente 5 eingebaut sein, eine Testelementgruppe (TEG) oder dergleichen sein. Falls die Schicht 5a, die Metall enthält, in einer überlagernden Beziehung mit den projizierten Teilungslinien 3 ist, werden, wenn das Werkstück 1 entlang der projizierten Teilungslinien 3 geschnitten wird, Metallgrate ausgebildet, die sich von der Schicht 5a, die Metall enthält, erstrecken.
In dem Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks entsprechend der vorliegenden Ausführungsform ist ein Band an dem Werkstück 1 angebracht. Das Band wird im Folgenden mit Bezug zu 1 beschrieben. 1 zeigt schematisch und perspektivisch einen unteren Abschnitt eines Bands 7, das an einem Rahmen 9 angebracht ist, der aus Metall oder dergleichen ausgebildet ist. Das Band 7 weist eine Funktion, um das Werkstück 1 gegen Stöße zu schützen, die während verschiedenen Schritten auftreten, um zu verhindern, dass das Werkstück 1 beschädigt wird, während das Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks entsprechend der vorliegenden Ausführungsform an dem Werkstück 1 durchgeführt wird, auf. Das Band 7, das an dem Rahmen 9 angebracht ist, macht es außerdem einfach, das Werkstück 1 zu transportieren. Das Band 7 muss nicht an dem Rahmen 9 angebracht sein und das Band 7, das nicht an dem Rahmen 9 angebracht ist, kann dieselbe Größe wie das Werkstück 1 aufweisen, und kann an dem Werkstück 1 angebracht sein. Das Band 7 weist eine flexible filmähnliche Basis und eine Klebstoffschicht (haftvermittelnde Schicht), die an einer Oberfläche der Basis ausgebildet ist, auf. Die Basis kann aus Polyolefin (PO), Polyethylenterephthalat (PET), Polyvinylchlorid, Polyethylen oder dergleichen zum Beispiel ausgebildet sein. Die Klebstoffschicht (haftvermittelnde Schicht) kann aus einem Silikonkunststoff, Acrylmaterial, Epoxymaterial oder dergleichen zum Beispiel ausgebildet sein.
Eine Schneidvorrichtung, die in dem Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks entsprechend der vorliegenden Ausführungsform verwendet wird, wird im Folgenden mit Bezug zu 2B beschrieben. 2B zeigt schematisch die Schneidvorrichtung, die mit 2 gekennzeichnet ist. Die Schneidvorrichtung 2 beinhaltet einen Haltetisch 4, der auch als Einspanntisch bezeichnet wird, zum Halten des Werkstücks daran und eine Schneideinheit 6 zum Schneiden des Werkstücks 1, das an dem Haltetisch 4 gehalten ist. Der Haltetisch 4 weist an seiner oberen Oberfläche ein poröses Element auf, das nicht gezeigt ist. Das poröse Element weist eine Oberfläche auf, die als eine Halteoberfläche 4a zum Halten des Werkstücks 1 daran dient. Der Haltetisch 4 weist einen Saugkanal auf, der darin ausgebildet ist, der ein Ende verbunden mit einer Saugquelle, die nicht dargestellt ist, in dem Haltetisch 4 und ein anderes Ende verbunden mit dem porösen Material aufweist. Mehrere Klemmen 4b zum Greifen des Rahmens 9 sind an einer äußeren umfänglichen Oberfläche des Haltetischs 4 montiert. Das Werkstück 1 ist an der Halteoberfläche 4a platziert, wobei das Band 7 dazwischen eingefügt ist, und der Rahmen 9, der an dem Band 7 angebracht ist, wird durch die Klemmen 4b fixiert. Das Werkstück 1 ist unter einem Saugen an dem Haltetisch 4 gehalten, wenn ein negativer Druck, der durch die Saugquelle ausgebildet wird, durch die Poren in dem porösen Element an dem Werkstück 11 aufgebracht wird.
Die Schneidvorrichtung 2 weist einen Bearbeitungs-Zufuhrmechanismus, nicht dargestellt, auf, der durch einen Schritt Motor oder dergleichen ausgebildet ist, um den Haltetisch 4 in einer Bearbeitungszufuhrrichtung, zum Beispiel in der Richtung, die durch den Pfeil 18a und 2B dargestellt ist, der Schneidvorrichtung 2 zu bewegen. Zum Schneiden des Werkstücks 1 bewegt der Bearbeitungs-Zufuhrmechanismus den Haltetisch 4 in der Richtung, die durch den Pfeil 18a angedeutet ist, um dadurch das Werkstück 1 in Bearbeitungsrichtung zuzuführen. Die Schneidvorrichtung 2 weist auch einen Index-Zufuhrmechanismus, nicht dargestellt, auf, der durch einen Schrittmotor oder dergleichen angetrieben wird, um den Haltetisch 4 in einer Index-Zufuhrrichtung, nicht dargestellt, der Schneidvorrichtung 2 zu bewegen. Der Haltetisch 4 ist auch drehbar um eine Achse im Wesentlichen senkrecht zu der Halteoberfläche 4a. Wenn der Haltetisch 4 um die Achse gedreht wird, wird die Bearbeitungszufuhrrichtung für das Werkstück 1 geändert.
Die Schneideinheit 6 beinhaltet eine drehbar getragene Spindel und eine Schneidklinge 8, die um ihre eigene Achse durch die Spindel gedreht werden kann. Die Schneidklinge 8 ist zum Beispiel eine Klinge eines Unterlegscheibentyps in der Form eines ringförmigen Schleifsteins, der aus abrasiven Körnern ausgebildet ist, die durch Metall oder Kunststoff gebunden sind. Die Schneidklinge 8 weist ein Durchgangsloch auf, das zentral darin ausgebildet ist. Die Schneidklinge 8 ist zwischen einem vorderen Flansch und einem hinteren Flansch eingeklemmt und fixiert an einem Spitzenende der Spindel montiert. Die Schneidklinge 8 ist durch eine Klingenabdeckung 10 umgeben, an welcher ein paar Zufuhrdüsen 12 für ein Schneidfluid fixiert sind, die jeweils an der Flächenseite und hinteren Seite der Schneidklinge 8 angeordnet sind. Die Klingenabdeckung 10 weist auch eine Auslassöffnung 14 für ein Schneidfluid auf, die an einer äußeren umfänglichen Oberfläche der ringförmigen Schneidklinge 8 offen ist und zu der Schneidklinge 8 gerichtet ist. Die Zufuhrdüsen 12 für ein Schneidfluid und die Auslassöffnung 14 für ein Schneidfluid sind mit jeweiligen Enden der Zufuhrrohre für ein Schneidfluid (Zufuhrdurchgänge für ein Schneidfluid) 16a und 16b verbunden, deren anderen Enden mit einer Zufuhrquelle für ein Schneidfluid, nicht dargestellt, verbunden sind.
Zum Schneiden des Werkstücks 1 mit der Schneidklinge 8 führen die Zufuhrdüsen 12 für ein Schneidfluid und die Auslassöffnung 14 für ein Schneidfluid ein Schneidfluid zu der Schneidklinge 8, die sich um ihre Achse dreht. Das Schneidfluid wird danach zu einem Bearbeitungspunkt an dem Werkstück zugeführt, an dem die Schneidklinge 8 in Kontakt mit dem Werkstück 1 gehalten ist. Das Schneidfluid ist eine Flüssigkeit, die eine organische Säure oder ein Oxidationsmittel enthält, oder reines Wasser oder dergleichen. Das Schneidfluid kann zu dem Werkstück zu einem anderen Zeitpunkt zugeführt werden, als zu dem Zeitpunkt, zu dem das Werkstück 1 durch die Schneidklinge 8 geschnitten wird. Als die oben beschriebene Säure kann eine Verbindung verwendet werden, die mindestens eine Carboxylgruppe und mindestens eine Aminogruppe in ihrem Molekül aufweist. Mindestens eine der Aminogruppen sollte vorzugsweise eine sekundäre oder tertiäre Aminogruppe sein. Zusätzlich kann die Verbindung, die als die organische Säure verwendet wird, eine Substituiertengruppe aufweisen.
Aminosäuren, die als die organische Säure verwendet werden umfassen Glycin, Dihydroxyethylglycin, Glycylglycin, Hydroxyethylglycin, N-Methylglycin, β-Alanin, L-Alanin, L-2-Aminobuttersäure, L-Norvalin, L-Valin, L-Leucin, L-Norleucin, L-Alloisoleucin, L-Isoleucin, L-Phenylalanin, L-Prolin, Sarcosin, L-Ornithin, L-Lysin, Taurin, L-Serin, L-Threonin, L-Allothreonin, L-Homoserin, L-Thyroxin, L-Tyrosin, 3,5-Diiodo-L-tyrosin, β-(3,4-Dihydroxyphenyl)-L-Alanin, 4-Hydroxy-L-Prolin, L-Cystein, L-Methionin, L-Ethionin, L-Lanthionin, L-Cystathionin, L-Cystin, L-Cystinsäure, L-Glutaminsäure, L-Asparaginsäure, S-(Carboxymethyl)-L-Cystein, 4-Aminobuttersäure, L-Asparagin, L-Glutamin, Azaserin, L-Canavanin, L-Citrullin, L-Arginin, δ-Hydroxy-L-Lysin, Kreatin, L-Kynurenin, L-Histidin, 1-Methyl-L-Histidin, 3-Methyl-L-Histidin, L-Tryptophan, Actinomycin Cl, Ergothionein, Apamin, Angiotensin I, Angiotensin II, Antipain usw. Unter anderem sind Glycin, L-Alanin, L-Prolin, L-Histidin, L-Lysin, und Dihydroxyethylglycin besonders bevorzugt.
Auch umfassen Aminopolysäuren, die als organische Säure verwendet werden können, Iminodiessigsäure, Nitrilotriessigsäure, Diethylentriaminpentaessigsäure, Ethylendiamintetraessigsäure, Hydroxyethyliminodiessigsäure, Nitrilotrismethylenphosphonsäure, Ethylendiamin-N,N,N',N'-tetramethylensulfonsäure, 1,2-Diaminopropantetraessigsäure, Glycoletherdiamintetraessigsäure, Transcyclohexandiamintetraessigsäure, Ethylendiamineorthohydroxyphenylessigsäure, Ethylendiamindibernsteinsäure (SS isomer), β-Alanindiessigsäure, N-(2-Carboxyatoethyl)-L-Asparaginsäure, N,N'-Bis(2-Hydroxybenzyl)ethylendiamin-N,N'-diessigsäure usw.
Ferner umfassen Carbonsäuren, die als organische Säure verwendet werden können, gesättigte Carbonsäuren wie Ameisensäure, Glycolsäure, Propionsäure, Essigsäure, Buttersäure, Valeriansäure, Capronsäure, Oxalsäure, Malonsäure, Glutarsäure, Adipinsäure, Äpfelsäure, Bernsteinsäure, Pimelinsäure, Mercaptoessigsäure, Glyoxylsäure, Chloressigsäure, Brenztraubensäure, Acetessigsäure, Glutarsäure usw., ungesättigte Carbonsäuren wie Acrylsäure, Methacrylsäure, Crotonsäure, Fumarsäure, Maleinsäure, Mesaconsäure, Citraconsäure, Aconitsäure usw. und zyklische ungesättigte Carbonsäuren wie Benzoesäure, Toluylsäure, Phthalsäure, Naphthoesäure, Pyromellithsäure, Naphthalsäure usw. Als Oxidationsmittel, das in dem Schneidfluid enthalten ist, können zum Beispiel, Wasserstoffperoxid, Peroxide, Nitrate, Iodate, Periodate, Hypochlorite, Chlorite, Chlorate, Perchlorate, Persulfate, Dichromate, Permanganat, Cerate, Vanadate, ozonisiertes Wasser, Silber(II) Salze, Eisen(III) Salze und ihre organischen Komplexsalze verwendet werden.
Das Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks, das auch als Bearbeitungsverfahren bezeichnet wird, entsprechend der vorliegenden Erfindung wird im Folgenden beschrieben. Das Bearbeitungsverfahren wird unter Verwendung der Schneidvorrichtung 2 durchgeführt. In dem Bearbeitungsverfahren wird das Band 7 an dem Werkstück 1 angebracht und das Werkstück 1 wird an dem Haltetisch 4 gehalten, wobei das Band 7 dazwischen eingefügt ist. Danach schneidet die Schneidklinge 8 das Werkstück 1 entlang der projizierten Teilungslinien 3, wodurch geschnittenen Nuten in dem Werkstück 1 ausgebildet werden. Die Schneidklinge 8 durch die geschnittenen Nuten bewegt, wodurch Metallgrate entfernt werden. Die Schritte des Bearbeitungsverfahrens werden detailliert im Folgenden beschrieben. In dem Bearbeitungsverfahren entsprechend der vorliegenden Ausführungsform wird zuerst ein Anbringungsschritt für ein Band durchgeführt. Der Anbringungsschritt für ein Band wird im Folgenden mit Bezug zu 1 beschrieben. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch einen Anbringungsschritt für ein Band zeigt. In dem Anbringungsschritt für ein Band wird das Werkstück 1 mit seiner hinteren Seite 1b nach unten gewandt von oberhalb des Bands 7, das an dem Rahmen 9 mit seiner haftvermittelnden Oberfläche (Klebstoffschicht) nach oben ausgerichtet ist, abgesenkt. Danach wird das Band 7 an dem Werkstück 1 angebracht.
Nachdem der Anbringungsschritt für ein Band ausgeführt wurde, wird ein Halteschritt ausgeführt. 2A ist eine Querschnittsansicht, die schematisch einen Halteschritt zeigt. 2A zeigt schematisch den Rahmen 9, das Band 7 und das Werkstück 1 im Querschnitt. In dem Halteschritt wird das Werkstück 1 an der Halteoberfläche 4a des Haltetischs 4 platziert, wobei das Band 7 dazwischen eingefügt ist, und der Rahmen 9 wird durch die Klemmen 4b fixiert. Danach wird die Saugquelle in dem Haltetisch 4 betätigt, um einen negativen Druck durch den Saugkanal in dem Haltetisch 4 und den Poren in dem porösen Element an dem Werkstück 1 aufzubringen, wodurch das Werkstück 1 unter einem Saugen an dem Haltetisch 4 gehalten wird.
Auf den Halteschritt folgt ein erster Schneidschritt, um das Werkstück 1 entlang der ersten projizierten Teilungslinien 3a zu schneiden, um erste geschnittenen Nuten in dem Werkstück 1 entlang der ersten projizierten Teilungslinien 3a auszubilden. In dem ersten Schneidschritt wird zuerst der Haltetisch 4 so bewegt, dass die Schneidklinge 8 das Werkstück 1 entlang der ersten projizierten Teilungslinien 3a schneiden kann. Insbesondere ist die Schneidklinge 8 oberhalb einer Erstreckung der einen der ersten projizierten Teilungslinien 3a positioniert. Danach wird die Schneidklinge 8 zu einer Höhe abgesenkt, bei welcher sie in das Band 7 schneiden kann, sodass die Schneidklinge 8 das Werkstück 1 entlang der ersten projizierten Teilungslinien 3a teilen kann. Zu diesem Zeitpunkt wird die Spindel um ihre eigene Achse gedreht, um eine Drehung der Schneidklinge 8 zu beginnen, und die Zufuhrdüsen 12 für ein Schneidfluid und die Auslassöffnung 14 für ein Schneidfluid führen das Schneidfluid zu der Schneidklinge 8. Das Schneidfluid ist eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, oder reines Wasser.
Danach wird der Haltetisch 4 bewegt, um das Werkstück 1 in Bearbeitungsrichtung zu führen und die sich drehende Schneidklinge 8 wird in Kontakt mit dem Werkstück 1 gebracht, sodass ein Schneidprozess begonnen wird, um das Werkstück 1 zu schneiden. Die Schneidklinge 8 schneidet das Werkstück 1 entlang der ersten projizierten Teilungslinien 3a, wodurch eine erste geschnittene Nut in dem Werkstück 1 entlang der ersten projizierten Teilungslinien 3a ausgebildet wird, worauf das Werkstück 1 geteilt ist. Nachdem das Werkstück 1 entlang der ersten projizierten Teilungslinien 3a geschnitten wurde, wird die Schneidklinge 8 angehoben und das Werkstück 1 wird in Index-Richtung zugeführt, um eine nächste der ersten projizierten Teilungslinien 3a in Ausrichtung mit der Schneidklinge 8 zu bringen. Die Schneidklinge 8 schneidet dann das Werkstück 1 entlang der ersten projizierten Teilungslinien 3a in der oben beschriebenen Weise. Der obige Schneidprozess wird wiederholt, um das Werkstück 1 entlang all den ersten projizierten Teilungslinien 3a zu schneiden, die sich entlang der ersten Richtung 3c erstrecken, sodass geschnittenen Nuten in dem Werkstück 1 entlang all der ersten projizierten Teilungslinien 3a ausgebildet werden, worauf der erste Schneidschritt abgeschlossen ist.
Auf den ersten Schneidschritt folgt ein zweiter Schneidschritt, um das Werkstück 1 entlang all der zweiten projizierten Teilungslinien 3b zu schneiden, und zweite geschnittenen Nuten in dem Werkstück 1 entlang der zweiten projizierten Teilungslinien 3b auszubilden. In dem zweiten Schneidschritt wird zuerst der Haltetisch 4 um die Achse im Wesentlichen senkrecht zu der Halteoberfläche 4a gedreht, wodurch die Bearbeitungszufuhrrichtung für das Werkstück 1 zu einer Richtung entlang der zweiten Richtung 3d geändert wird. Danach schneidet die Schneidklinge 8 das Werkstück 1 entlang all den zweiten projizierten Teilungslinien 3b, die sich entlang der zweiten Richtung 3d die erstrecken, in der gleichen Weise wie in dem ersten Schneidschritt. Jetzt sind zweite geschnittene Nuten in dem Werkstück 1 entlang all den zweiten projizierten Teilungslinien 3b geschnitten. Wenn der erste Schneidschritt und der zweite Schneidschritt so ausgeführt werden, wird die Schicht 5a, die Metall enthält, die in einer überlagernden Beziehung mit den projizierten Teilungslinien 3 angeordnet ist, durch die Schneidklinge 8 geschnitten. Wenn die Schicht 5a, die Metall enthält, durch die Schneidklinge 8 geschnitten wird, werden Metallgrate, die sich von der Schicht 5a erstrecken, die Metall enthält, generiert und können verschiedene Probleme verursachen.
In dem ersten Schneidschritt und dem zweiten Schneidschritt, falls eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, als das Schneidfluid verwendet wird, kann das Auftreten der Metallgrate, die sich in der Dickenrichtung des Werkstücks 1 erstrecken, unterdrückt werden. Jedoch existieren Fälle, in denen Metallgrate aus der Schicht 5a, die Metall enthält, generiert werden können, sogar falls eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, als das Schneidfluid verwendet wird. Die Metallgrate haben eine Tendenz, sich länger auszudehnen, falls die Bearbeitungszufuhrgeschwindigkeit des Werkstücks 1 höher ist. Falls Wasser als das Schneidfluid zum Beispiel verwendet wird, muss der Schneidprozess mit einer Bearbeitungszufuhrgeschwindigkeit von 5 mm/s oder weniger durchgeführt werden. Stattdessen falls eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, als das Schneidfluid verwendet wird, dann werden Metallgrate daran gehindert, sich auszudehnen, der Schneidprozess kann mit einer Bearbeitungszufuhrgeschwindigkeit von ungefähr 100 mm/s für eine erhöhte Bearbeitungseffizienz durchgeführt werden.
Auf den zweiten Schneidschritt folgt ein erster Entfernungsschritt für einen Metallgrat, um Metallgrate, die in den ersten geschnittenen Nuten generiert werden, durch Bewegen der Schneidklinge 8 durch die ersten Nuten zu entfernen. In dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat wird die Schneidklinge 8 in einer solchen Höhe positioniert, dass das unterste Ende der Schneidklinge 8 tiefer als die Schicht 5a ist, die Metall enthält. Dann wird die Schneidklinge 8 durch die ersten geschnittenen Nuten bewegt, um Metallgrate von diesen zu entfernen. Auf den zweiten Schneidschritt folgt auch ein zweiter Entfernungsschritt für einen Metallgrat, um Metallgrate, die in den zweiten geschnittenen Nuten generiert sind, durch Bewegen der Schneidklinge 8 durch die zweiten geschnittenen Nuten zu entfernen. In dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat wird die Schneidklinge 8 in einer solchen Höhe positioniert, dass das unterste Ende der Schneidklinge 8 tiefer als die Schicht 5a ist, die Metall enthält. Dann wird die Schneidklinge 8 durch die zweiten geschnittenen Nuten bewegt, um Metallgrate davon zu entfernen.
In dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat darf die Schneidklinge 8 nicht in einer solchen Höhe positioniert werden, dass das unterste Ende der Schneidklinge 8 tiefer als die Schicht 5a ist, die Metall enthält. Wenn die Schneidklinge 8 durch eine geschnittene Nut bewegt wird, entfernt sie nicht nur Metallgrate, die in einem Bereich existieren, durch welchen die Schneidklinge 8 läuft, sondern auch einen Teil der Metallgrate, die unterhalb eines solchen Bereichs existieren. Folglich können in einigen Fällen alle Metallgrate entfernt werden, solange die Schneidklinge 8 in einer solchen Höhe positioniert ist, dass das unterste Ende der Schneidklinge 8 tiefer als ein oberes Ende der Schicht 5a, die Metall enthält, ist. 3A ist eine Querschnittsansicht, die schematisch den ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und den zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat zeigt. Wie in 3A gezeigt ist in dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und den zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat die Richtung, in welcher das unterste Ende der Schneidklinge 8 bei einer Drehung dieser bewegt wird, in Übereinstimmung mit einer Richtung, die durch den Pfeil 18b angegeben ist, in welcher der Haltetisch 4 zugeführt wird.
Falls eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, nicht zu dem Werkstück 1 in dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat zugeführt wird, ist es nicht einfach die Metallgrate vollständig zu entfernen, sogar wenn die Schneidklinge 8 durch die ersten geschnittenen Nuten und die zweiten geschnittenen Nuten bewegt wird. Insbesondere ist es schwierig die Metallgrate vollständig zu entfernen, die biegsam in der Nähe von Kreuzungen der ersten geschnittenen Nuten und der zweiten geschnittenen Nuten sind. Insbesondere wenn die Schneidklinge 8 durch die ersten geschnittenen Nuten bewegt wird, werden die Metallgrate, die in der Nähe der Kreuzungen existieren, zu den zweiten geschnittenen Nuten verlängert, und wenn die Schneidklinge 8 durch die zweiten geschnittenen Nuten bewegt wird, werden die Metallgrate, die in der Nähe der Kreuzungen existieren, zu den ersten geschnittenen Nuten verlängert. Da die Metallgrate biegsam sind, ist es nicht wahrscheinlich, dass die Metallgrate vollständig durch Bewegen der Schneidklinge 8 durch die geschnittenen Nuten entfernt werden. Folglich wird in dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, zu dem Werkstück 1 zugeführt. Die organische Säure, die in der Flüssigkeit enthalten ist, modifiziert das Metall der Metallgrate, sodass sie weniger biegsam sind, und das Oxidationsmittel, das in der Flüssigkeit enthalten ist, ändert die Qualität der Oberflächenbeschaffenheit der Metallgrate, sodass die Metallgrate ihre Biegsamkeit verlieren. Darum, wenn die Schneidklinge 8 durch die geschnittenen Nuten bewegt wird, da die Metallgrate sich nicht ausdehnen, um die Schneidklinge 8 zu vermeiden, weil sie weniger biegsam sind, ist es wahrscheinlicher, dass die Metallgrate durch die Schneidklinge 8 entfernt werden.
In dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat wird der Einspanntisch 4 mit einer Zufuhrgeschwindigkeit von ungefähr 500 mm/s zum Beispiel bewegt. In dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat im Gegensatz zu dem ersten Schneidschritt und dem zweiten Schneidschritt schneidet die Schneidklinge 8 das Werkstück 1 nicht. Darum kann die Zufuhrgeschwindigkeit des Haltetischs 4 erhöht sein. Die höhere Zufuhrgeschwindigkeit des Haltetischs 4 erhöht die Effizienz, mit welcher das Werkstück 1 bearbeitet wird. Falls die Schicht 5a, die Metall enthält, in dem Werkstück 1 auf einer Höhe in der Nähe der hinteren Seite 1b des Werkstücks 1 oder an der hinteren Seite 1b des Werkstücks 1 beinhaltet ist, kann die Schneidklinge 8, die auf einer Höhe positioniert ist, die dazu geeignet ist, die Metallgrate zu entfernen, das Band 7 schneiden, wenn sie das Werkstück schneidet 1. Insbesondere falls die Schneidklinge 8 das Band 7 schneidet, während die Zufuhrgeschwindigkeit des Haltetischs 4 hoch ist, kann das Band 7 Grate eines Bands generieren. Darum, nachdem der erste Entfernungsschritt für einen Metallgrat und der zweite Entfernungsschritt für einen Metallgrat durchgeführt wurde, wird ein erster Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands durchgeführt, um Grate eines Bands zu entfernen, in dem die Schneidklinge 8 durch die erste geschnittenen Nuten bewegt wird, und wird ein zweiter Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands ausgeführt, um Grate eines Bands durch Bewegen der Schneidklinge 8 durch die zweiten geschnittenen Nuten zu entfernen.
3B ist eine Querschnittsansicht, die schematisch einen ersten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands und einen zweiten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands zeigt. Wie in 3B gezeigt, ist in dem ersten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands die Richtung, in welcher sich das unterste Ende der Schneidklinge 8 bei einem Drehen dieser bewegt, entgegengesetzt zu der Richtung, die durch den Pfeil 18c angegeben ist, in welcher das Werkstück 1 zugeführt wird. Während die Grate eines Bands entfernt werden, kann das Werkstück mit reinem Wasser oder Leitungswasser versorgt werden. In dem ersten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands und in dem zweiten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands kann die Schneidklinge 8 auf einer solchen Höhe positioniert werden, dass der unterste Punkt der Schneidklinge 8 das Band erreicht, sodass diese dazu in der Lage ist, zuverlässig die Grate eines Bands zu entfernen. In dem ersten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands wird der Haltetisch 4 mit einer Geschwindigkeit von ungefähr 500 mm/s zum Beispiel bewegt. In dem ersten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands im Gegensatz zu dem ersten Schneidschritt und dem zweiten Schneidschritt schneidet die Schneidklinge 8 das Werkstück 1 nicht. Darum kann die Zufuhrgeschwindigkeit des Haltetischs 4 höher sein. Die höhere Zufuhrgeschwindigkeit des Haltetischs 4 erhöht die Effizienz, mit welcher das Werkstück 1 bearbeitet wird.
Wenn das Bearbeitungsverfahrens entsprechend der vorliegenden Ausführungsform durchgeführt wird, wird das Werkstück 1 entlang all den projizierten Teilungslinien 3 geteilt, wodurch einzelne Bauelementchips produziert werden. Entsprechend diesem Bearbeitungsverfahren, da eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, beim Entfernen der Metallgrate, die bei dem Schneidprozess generiert werden, verwendet wird, wird die Biegsamkeit der Metallgrate für ein effektives Entfernen der Metallgrate reduziert.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Beschreibung der obigen Ausführungsform beschränkt, sondern verschiedene Änderungen und Modifikationen können gemacht werden. Zum Beispiel entsprechend der obigen Ausführungsform werden der erste Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands und der zweite Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands nach dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat durchgeführt. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf eine solche Reihenfolge der Schritte beschränkt. Der erste Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands kann, nachdem der erste Entfernungsschritt für einen Metallgrat ausgeführt wurde, ausgeführt werden und danach kann der zweite Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands ausgeführt werden, nachdem der zweite Entfernungsschritt für einen Metallgrat ausgeführt wurde. Darüber hinaus kann der Entfernungsschritt für einen Metallgrat an einer projizierten Teilungslinien 3 durchgeführt werden, in dem das Werkstück 1 in einer vorbestimmten Richtung zugeführt wird und danach kann der Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands an derselben projizierten Teilungslinien 3 durchgeführt werden, indem das Werkstück 1 in einer Richtung entgegengesetzt zu der vorbestimmten Richtung bewegt wird.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das äquivalente des Umfangs der Ansprüche fallen, werden dadurch durch die Erfindung umfasst.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2006041261 [0004]

Claims

Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks mit einer sich drehenden ringförmigen Schneidklinge, wobei das Werkstück projizierte Teilungslinien daran gesetzt aufweist, die mehrere erste projizierte Teilungslinien, die sich in einer ersten Richtung erstrecken, und mehrere zweite projizierte Teilungslinien, die sich in einer zweiten Richtung erstrecken, die senkrecht zu der ersten Richtung liegt, beinhalten, wobei das Werkstück auch einen Körper aus Metall aufweist, der in einer überlagernden Beziehung mit den projizierten Teilungslinien angeordnet ist, umfassend: einen Anbringungsschritt für ein Band zum Anbringen eines Bands an dem Werkstück; nachdem der Anbringungsschritt für ein Band ausgeführt wurde, einen Halteschritt zum Halten des Werkstücks an einem Haltetisch, wobei das Band dazwischen eingefügt ist; nachdem der Halteschritt ausgeführt wurde, einen ersten Schneidschritt zum Schneiden des Werkstücks entlang der ersten projizierten Teilungslinien mit der Schneidklinge, während in das Band geschnitten wird, um dadurch erste geschnittene Nuten in dem Werkstück auszubilden; nachdem der erste Schneidschritt ausgeführt wurde, einen zweiten Schneidschritt zum Schneiden des Werkstücks entlang der zweiten projizierten Teilungslinien, wobei die Schneidklinge in das Band schneidet, wodurch zweite geschnittene Nuten in dem Werkstück ausgebildet werden; nachdem der zweite Schneidschritt ausgeführt wurde, einen ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat zum Bewegen der Schneidklinge durch die ersten geschnittenen Nuten, während die Schneidklinge in einer solchen Höhe positioniert ist, dass ein unterstes Ende der Schneidklinge tiefer als ein oberes Ende des Körpers aus Metall ist, wodurch Metallgrate von den ersten geschnittenen Nuten entfernt werden; und nachdem der zweite Schneidschritt ausgeführt wurde, einen zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat zum Bewegen der Schneidklinge durch die zweiten geschnittenen Nuten, während die Schneidklinge in einer solchen Höhe positioniert ist, dass das unterste Ende der Schneidklinge tiefer als das obere Ende des Körpers aus Metall ist, wodurch Metallgrate von den zweiten geschnittenen Nuten entfernt werden, wobei eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, zu dem Werkstück in dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat zugeführt wird.
Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks nach Anspruch 1, ferner umfassend: nachdem der erste Entfernungsschritt für einen Metallgrat und der zweite Entfernungsschritt für einen Metallgrat ausgeführt wurden, einen ersten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands zum Bewegen der Schneidklinge durch die ersten geschnittenen Nuten, wodurch Grate eines Bands, die durch das Band generiert werden, entfernt werden; und nachdem der erste Entfernungsschritt für einen Metallgrat und der zweite Entfernungsschritt für einen Metallgrat ausgeführt wurden, einen zweiten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands zum Bewegen der Schneidklinge durch die zweiten geschnittenen Nuten, wodurch die Grate eines Bands, die durch das Band generiert werden, entfernt werden, wobei in dem ersten Schneidschritt, dem zweiten Schneidschritt, dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat eine Richtung, in welcher ein unteres Ende der Schneidklinge bei einer Rotation dieser, in Übereinstimmung mit einer Richtung, in welcher das Werkstück zugeführt wird, ist und in dem ersten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Grat eines Bands die Richtung, in welcher das unterste Ende der Schneidklinge bei einer Drehung, entgegengesetzt zu der Richtung ist, in welcher das Werkstück zugeführt wird.
Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Werkstück mit einer höheren Geschwindigkeit in dem ersten Entfernungsschritt für einen Metallgrat und dem zweiten Entfernungsschritt für einen Metallgrat als in dem ersten Schneidschritt und dem zweiten Schneidschritt zugeführt wird.
Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine Flüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, zu dem Werkstück in dem ersten Schneidschritt und dem zweiten Schneidschritt zugeführt wird.