DE102019200730B4

DE102019200730B4 - Bearbeitungsvorrichtung

Info

Publication number: DE102019200730B4
Application number: DE102019200730.9A
Authority: DE
Inventors: Kenji Takenouchi
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2018-01-22
Filing date: 2019-01-22
Publication date: 2023-06-15
Anticipated expiration: 2039-01-23
Also published as: KR20190089731A; US20190229018A1; JP2019126746A; TWI781280B; CN110071056A; DE102019200730A1; US10930558B2; TW201933514A

Abstract

Bearbeitungsvorrichtung, aufweisend:Haltemittel zum Halten eines Werkstücks;Bearbeitungsmittel zum Bearbeiten des Werkstücks, das durch das Haltemittel gehalten ist;Zufuhrmittel für eine Bearbeitungsflüssigkeit zum Zuführen einer Bearbeitungsflüssigkeit, die mindestens ein Oxidationsmittel enthält, auf dem Werkstück, das durch das Haltemittel gehalten wird, zu dem Zeitpunkt der Bearbeitung des Werkstücks durch das Bearbeitungsmittel;einen Rückgewinnungsabschnitt für einen Bearbeitungsflüssigkeitsabfall zum Zurückgewinnen eines Bearbeitungsflüssigkeitsabfalls, der die Bearbeitungsflüssigkeit enthält, die von dem Zufuhrmittel für eine Bearbeitungsflüssigkeit zu dem Werkstück zugeführt wurde;einen Auslassdurchgang, durch welchen der Bearbeitungsflüssigkeitsabfall von dem Rückgewinnungsabschnitt für einen Bearbeitungsflüssigkeitsabfall aus der Bearbeitungsvorrichtung ausgelassen wird; undeinen Behandlungsmechanismus für einen Flüssigkeitsabfall, der in dem Auslassdurchgang angeordnet ist und die Bearbeitungsflüssigkeit, die in dem Bearbeitungsflüssigkeitsabfall enthalten ist, zersetzt, während die Bearbeitungsflüssigkeit durch den Auslassdurchgang fließt.

Description

Hintergrund der Erfindung
Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bearbeitungsvorrichtung wie eine Schneidvorrichtung, eine Schleifvorrichtung und eine Schneidwerkzeugschneidvorrichtung, bei denen ein Werkstück bearbeitet wird, während eine Bearbeitungsflüssigkeit zugeführt wird.
Beschreibung des Stands der Technik
Wenn ein Werkstück, das ein Metall aufweist, durch eine Schneidklinge geschnitten wird, kann ein Zusetzen der Schneidklinge auftreten und Grate werden an dem Metallteil ausgebildet. Dies führt zu einem Problem, dass auftretende Grate einen Kurzschluss zwischen Anschlüssen der Bauelemente, die in dem Werkstück ausgebildet sind, verursachen können oder Grate auf die Verbindungspads während einer Handhabung des Werkstücks fallen können, was ein zu einer fehlerhaften Verbindung führt.
Um dieses Problem zu lösen, schlägt die japanische Offenlegungsschrift JP 2015 - 177 089 A ein Verfahren zum Schneiden eines Werkstücks vor, während eine Schneidflüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, zugeführt wird. Entsprechend diesem Schneidverfahren wird das Metall durch die organische Säure, die in der Schneidflüssigkeit enthalten ist, modifiziert, wodurch die Duktilität des Metalls gesenkt wird. Als ein Ergebnis wird das Auftreten von Graten unterdrückt. Zusätzlich, da die Schneidflüssigkeit ein Oxidationsmittel enthält, wird die Eigenschaft eines Films, der an Metalloberfläche ausgebildet wird, durch die Schneidflüssigkeit verändert, wodurch das Metall dazu gebracht wird, Duktilität zu verlieren, und einfach entfernt werden kann, sodass die Verarbeitbarkeit erhöht wird.
JP 2010-269234 A betrifft eine UV-basierte Zersetzungseinrichtung.
JP H09 - 75 993 A betrifft das Zersetzen von Schmutzwasser.
DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
In Abhängigkeit von den Qualitätsstandards für Abwasser in dem Bereich, in dem die Schneidvorrichtung verwendet wird, ist es jedoch unmöglich Schneidwasserabfall, der die Schneidflüssigkeit enthält, so wie er ist, abzulassen. In der Praxis wird darum der Schneidflüssigkeitsabfall zum Beispiel abgelassen, nachdem die organischen Bestandteile in dem Schneidflüssigkeitsabfall durch eine biologische Behandlung unter Verwendung von Mikroorganismen zersetzt wurden.
Wenn die Schneidflüssigkeit ein Oxidationsmittel enthält, können jedoch die Mikroorganismen, die bei der biologischen Behandlung verwendet werden, durch das Oxidationsmittel getötet werden und die organischen Bestandteile in dem Schneidflüssigkeitsabfall können nicht zersetzt werden, was dazu führt, dass ein Risiko eines Ablassens eines Schneidflüssigkeitsabfalls, der die Qualitätsstandards für Abwasser nicht einhält, existiert. So ein Problem ist nicht auf eine Schneidvorrichtung beschränkt und tritt in dem Fall von anderen Bearbeitungsvorrichtungen wie einer Schleifvorrichtung und einer
Schneidwerkzeugschneidvorrichtung auf, bei denen eine Bearbeitungsflüssigkeit verwendet wird.
Entsprechend ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung eine Bearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, mit der es möglich ist, das Risiko des Ablassens eines Bearbeitungsflüssigkeitsabfalls, der nicht die Qualitätsstandards für Abwasser erfüllt, zu senken.
In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, beinhaltend: ein Haltemittel zum Halten eines Werkstücks; ein Bearbeitungsmittel zum Bearbeiten eines Werkstücks, das durch das Haltemittel gehalten wird; ein Zufuhrmittel für eine Bearbeitungsflüssigkeit zum Zuführen einer Bearbeitungsflüssigkeit, die mindestens ein Oxidationsmittel enthält, zu dem Werkstück zu dem Zeitpunkt des Bearbeitens des Werkstücks, das durch das Haltemittel gehalten wird, durch das Bearbeitungsmittel; einen Wiedergewinnungsabschnitt für Bearbeitungsflüssigkeitsabfall, der einen Bearbeitungsflüssigkeitsabfall zurückgewinnt, der die Bearbeitungsflüssigkeit enthält, die von dem Zufuhrmittel für eine Bearbeitungsflüssigkeit zu dem Werkstück zugeführt wurde; einen Auslassdurchgang, durch den der Bearbeitungsflüssigkeitsabfall von dem Rückgewinnungsabschnitt für Bearbeitungsflüssigkeitsabfall nach draußen aus der Bearbeitungsvorrichtung abgelassen wird, und einen Behandlungsmechanismus für Flüssigkeitsabfall, der in dem Auslassdurchgang angeordnet ist, und die Bearbeitungsflüssigkeit zersetzt, die in dem Bearbeitungsflüssigkeitsabfall enthalten ist, während der Bearbeitungsflüssigkeitsabfall durch den Auslassdurchgang fließt.
Vorzugsweise ist das Oxidationsmittel ein Wasserstoffperoxid und der Behandlungsmechanismus für Flüssigkeitsabfall beinhaltet ein Bestrahlungsmittel für ultraviolette Strahlung (UV), das den Bearbeitungsflüssigkeitsabfall mit UV-Strahlen bestrahlt.
Die Bearbeitungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung, welche den Behandlungsmechanismus für Flüssigkeitsabfall beinhaltet, der in dem Auslassdurchgang angeordnet ist und der die Bearbeitungsflüssigkeit, die in dem Bearbeitungsflüssigkeitsabfall enthalten ist, zersetzt, ist dazu geeignet, das Risiko des Ablassens eines Bearbeitungsflüssigkeitsabfalls, der nicht die Qualitätsstandards für Abwasser erfüllt, zu senken.
Das obige und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise des Realisierens dieser wird klarer und die Erfindung selbst am besten durch ein Studieren der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche mit Bezug zu den angehängten Figuren, die einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen, verstanden.
Figurenliste

1A ist eine Aufsicht eines verpackten Substrats;
1B ist eine Aufsicht von hinten des verpackten Substrats;
1C ist eine seitliche Aufsicht des verpackten Substrats;
2 ist eine perspektivische Ansicht einer Schneidvorrichtung, die dazu geeignet ist, das verpackte Substrat zu schneiden, das in 1 dargestellt ist;
3 ist eine perspektivische Ansicht eines Schneidzufuhrmittels und eines Wasserbehälterabschnitts der Schneidvorrichtung;
4A ist eine Schnittansicht, die eine erste Ausführungsform eines Behandlungsmittels für Flüssigkeitsabfall darstellt; und
4B ist eine Schnittansicht, die eine zweite Ausführungsform eines Behandlungsmittels für Flüssigkeitsabfall darstellt.

Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird detailliert im Folgenden mit Bezug zu den Figuren beschrieben. 1A stellt eine Aufsicht eines Beispiels eines verpackten Substrats 2 dar, das dazu geeignet ist, durch eine Schneidvorrichtung entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bearbeitet zu werden. 1B ist eine Ansicht von hinten des verpackten Substrats 2 und 1C ist eine seitliche Ansicht des verpackten Substrats 2.
Das verpackte Substrat 2 weist einen rechteckigen metallischen Rahmenkörper (Leitungsrahmen) 4 auf. Drei Bauelementbereiche 6a, 6b und 6c liegen in dem dargestellten Beispiel in einem Bereich vor, der durch einen umfänglichen zusätzlichen Bereich 5 und nicht-Bauelement Bereiche 5a des metallischen Körpers 4 umgeben ist. In jedem der Bauelementbereiche 6a, 6b und 6c werden Befestigungsabschnitte 10 für Bauelementchips in mehreren Bereichen definiert, die durch Teilungslinien 8 aufgeteilt sind, die in einer sich kreuzenden Weise bereitgestellt sind, sodass die Teilungslinien 8 orthogonal zueinander sind, und mehrere Elektroden 12 sind entlang von vier Kanten von jedem der Befestigungsabschnitte 10 für Bauelementchips ausgebildet.
Die Elektroden 12 sind voneinander durch eine Gusskunststoffschicht 14, die an dem metallischen Rahmen 4 gegossen ist, umgeben. Die Teilungslinien 8, die sich in einer ersten Richtung erstrecken, und die Teilungslinien 8, die sich in einer zweiten Richtung orthogonal zu der ersten Richtung erstrecken, werden geschnitten, wodurch die Elektroden 12 eines jeden Bauelementchips an beiden Seiten der geschnittenen Nuten freigelegt werden.
Ein Bauelementchip (nicht dargestellt) ist an der hinteren Seite von jedem der Befestigungsabschnitte 10 für ein Bauelementchip in den Bauelementbereichen 6a, 6b und 6c befestigt und Elektroden, die in jedem Bauelementchip bereitgestellt sind, und die Elektroden 12 sind durch Verbindungsdrähte verbunden. Die Gusskunststoffschicht 14 ist an der hinteren Seite eines jeden der Bauelementbereiche 6a, 6b und 6c ausgebildet, sodass die Bauelementchips in den Bauelementbereichen 6a, 6b und 6c mit einem Kunststoff versiegelt sind.
2 stellt eine perspektivische Ansicht einer Schneidvorrichtung 20 entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Die Schneidvorrichtung 2, die in 2 dargestellt ist, ist eine Schneidvorrichtung eines manuellen Typs, in dem ein Werkstück, das geschnitten werden soll, an einem Haltemittel 20 platziert wird und von dem Haltemittel 20 durch einen Bediener entnommen wird. Das Bezugszeichen 22 bezeichnet eine Basis der Schneidvorrichtung 20. Eine Tischbasis 26 ist an der Basis 22 in einer solchen Weise angeordnet, dass sie sich drehen kann, und in einer X-Achsenrichtung durch einen Schneidzufuhrmechanismus (nicht dargestellt) hin und her bewegt werden kann. Ein Saugdurchgang 28, der mit einer Saugquelle verbunden ist, ist in einem im Wesentlichen zentralen Abschnitt der Tischbasis 26 offen.
Zum Zeitpunkt der Bearbeitung des verpackten Substrats 2 ist ein Einspanntisch, sowie der, der in der japanischen Offenlegungsschrift JP 2011 - 040 542 A offenbart ist, an der Tischbasis 26 platziert und das verpackte Substrat 20 wird unter einem Saugen durch den Einspanntisch gehalten. Anders ausgedrückt, in die Schneidvorrichtung der vorliegenden Ausführungsform bilden die Tischbasis und der Einspanntisch ein Haltemittel. Eine Wasserabdeckung 24 ist in der Umgebung der Tischbasis 26 angeordnet und Bälge 30 zum Schützen eines Schafts des Schneidzufuhrmechanismus sind zwischen der Wasserabdeckung 24 und einem Wasserbehälter 60, der in 3 dargestellt ist, verbunden.
Eine schrankenförmige Säule 32 ist aufgerichtet an einer hinteren Seite der Basis 22 bereitgestellt. Ein paar Führungsschienen 34, die sich in einer Y-Achsenrichtung erstrecken, sind an der Säule 32 befestigt. Ein Y-Achsenbewegungsblock 36 ist an der Säule 32 befestigt, sodass dieser in der Y-Achsenrichtung entlang der Führungsschienen 34 durch einen Y-Achsenbewegungsmechanismus (Indexmechanismus) 40 bewegt werden kann, der eine Kugelrollspindel 38 und einen Pulsmotor (nicht dargestellt) beinhaltet.
Ein Paar Führungsschienen 42, die sich in einer Z-Achsenrichtung erstrecken, sind an dem Y-Achsenbewegungsblock 36 fixiert. Ein z-Achsenbewegungsblock 44 ist an dem Y-Achsenbewegungsblock 36 befestigt, sodass er in der Z-Achsenrichtung bewegt werden kann, während der entlang der Führungsschienen 42 durch einen Z-Achsenbewegungsmechanismus 50 geführt werden kann, der eine Kugelrollspindel 46 und ein Pulsmotor 48 beinhaltet.
Eine Schneideinheit 52 als ein Bearbeitungsmittel ist an den Z-Achsenbewegungsblock 44 befestigt. Eine Spindel (nicht dargestellt) ist drehbar in einem Spindelgehäuse 53 der Schneideinheit 52 aufgenommen und eine Schneidklinge 54 ist abnehmbar an einem Spitzenendabschnitt der Spindel angebracht.
Ein paar Zufuhrdüsen 56 für eine Schneidflüssigkeit als ein Zufuhrmittel für eine Bearbeitungsflüssigkeit sind an beiden Seiten der Schneidklinge 54 angeordnet. Während eines Schneidens des verpackten Substrats 2, das durch das Haltemittel 20 gehalten wird, wird das verpackte Substrat 2 durch die Schneidklinge 54 geschnitten, während eine Schneidflüssigkeit von den Zufuhrdüsen 56 für eine Schneidflüssigkeit zugeführt wird. Eine Bildeinheit 58, die ein Mikroskop und eine Kamera aufweist, ist ferner an dem Z-Achsenbewegungsblock 44 befestigt. Die Bildaufnahmeeinheit 58 weist eine Bildkamera auf, welche das Werkstück unter Verwendung von sichtbaren Strahlen aufnimmt.
Wenn das verpackte Substrat 2, das unter einem Saugen durch den Einspanntisch gehalten ist, der an der Tischbasis 26 platziert ist, durch die Schneidklinge 54 geschnitten wird, während die Schneidflüssigkeit, die eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, von den Zufuhrdüsen 56 für eine Schneidflüssigkeit zugeführt wird, fließt ein Schneidflüssigkeitsabfall, der die Schneidflüssigkeit und Schneidspäne enthält, nach unten in den Wasserbehälter 60, der in 3 dargestellt ist, von beiden Enden bezüglich einer Querrichtung (Y-Achsenrichtung) der Bälge 30.
Der Wasserbehälter 60 ist unter einer Bewegungsroute der Tischbasis 26 angeordnet. Damit die Tischbasis 26 in der X-Achsenrichtung hin und her bewegt werden kann, weist der Wasserbehälter 60 eine rechteckige Öffnung 63 auf, die in einem zentralen Abschnitt einer unteren Platte 62 eines kistenähnlichen Elements bereitgestellt ist, und beinhaltet einen Durchgangsabschnitt 68, der durch die untere Platte 62 ausgebildet ist, eine innere umfängliche Wand 64 und eine äußere umfängliche Wand 66, die als ein Rückgewinnungsabschnitt für einen Bearbeitungsflüssigkeitsabfall dienen, um die Schneidflüssigkeit aufzunehmen, und eine Ablassöffnung 70, die in der unteren Platte 62 ausgebildet ist. Ein Ende eines Ablassrohrs 82 als ein Auslassdurchgang erstreckt sich von dem Wasserbehälter 60 nach draußen und ist mit der Ablassöffnung 70 verbunden.
Die Wasserabdeckung 24 weist ein paar Seitenplatten 24b auf, die von beiden Endabschnitten einer oberen Platte 24a, die in einer flachen Form ausgebildet ist, herabhängen und Endabschnitte der oberen Platte 24a und zwei Seitenplatten 24b sind gleitend mit der inneren umfänglichen Wand 64, die den Wasserbehälter 60 ausbildet, in Eingriff.
Ein Schneidzufuhrmechanismus 72 beinhaltet eine Kugelrollspindel 74, die sich in der X-Achsenrichtung erstreckt, ein Paar Führungsschienen 76, die parallel zu der Kugelrollspindel 74 angeordnet sind, einen Motor 80, der mit einem Ende der Kugelrollspindel 74 verbunden ist, und eine bewegliche Platte 78, welche eine Mutter aufgenommen aufweist, die in Schraubeingriff mit der Kugelrollspindel 74 gebracht wird, und die untere Abschnitte aufweist, die im gleitenden Kontakt mit den Führungsschienen 76 sind.
Wenn die Kugelrollspindel 74 durch den Motor 80 gedreht wird, wird die bewegliche Platte 78 in der X-Achsenrichtung hin und her bewegt, während sie durch das Paar Führungsschienen 76 geführt wird. Ein zylindrisches Element 81 ist an der beweglichen Platte 78 befestigt und ein Drehmechanismus, der die Tischbasis 26 dreht, ist in dem Inneren des zylindrischen Elements 82 aufgenommen.
Wie in 4A dargestellt, ist ein Behandlungsmechanismus für Flüssigkeitsabfall (Behandlungsmittel für Flüssigkeitsabfall) 84, der die Schneidflüssigkeit, die in dem Schneidflüssigkeitsabfall enthalten ist, zersetzt, während der Schneidflüssigkeitsabfall (Bearbeitungsflüssigkeitsabfall) durch das Ablassrohr 82 fließt, das mit der Ablassöffnung 70 des Wasserbehälters 60 verbunden ist, an einem Zwischenabschnitt des Ablassrohrs 82 angeordnet. Der Behandlungsmechanismus 84 für Flüssigkeitsabfall beinhaltet ein Gehäuse 86, das mit dem Ablassrohr 82 verbunden ist, eine zylindrische innere umfängliche Wand 88, die aus einem transparenten Element ausgebildet ist und mehrere lichtemittierende Dioden (LED)-Leuchten 90 als Bestrahlungsmittel für UV-Strahlen, die voneinander in der Längsrichtung und einer umfänglichen Richtung des Gehäuses 86 beabstandet angeordnet sind. Die LED-Leuchten 90 bestrahlen den Schneidflüssigkeitsabfall, der in der inneren umfänglichen Wand 89 fließt, mit UV-Strahlen, um die Schneidflüssigkeit (Bearbeitungsflüssigkeit), die in dem Schneidflüssigkeitsabfall (Bearbeitungsflüssigkeitsabfall) enthalten ist, zu zersetzen.
Zu dem Zeitpunkt des Schneidens des verpackten Substrats 2, wie in 1 dargestellt, durch die Schneidvorrichtung 2 entsprechend der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wird ein Schneiden durchgeführt, während die Schneidflüssigkeit, welch die organische Säure und das Oxidationsmittel enthält, zu einem Bearbeitungspunkt zugeführt wird, an welchem die Schneidklinge 54 in das verpackte Substrat 2 schneidet.
Durch die organische Säure, die in der Schneidflüssigkeit enthalten ist, kann ein Schneiden des verpackten Substrats durchgeführt werden, während das Metall, das in dem verpackten Substrat 2 enthalten ist, modifiziert wird, wodurch die Duktilität des Metalls abgesenkt wird. Darum treten Grate durch das Metall beim Schneiden nicht auf. Zusätzlich ermöglicht es die Verwendung des Oxidationsmittels, die Oberfläche des Metalls zu oxidieren, wodurch die Duktilität des Metalls gesenkt wird und die Bearbeitbarkeit der Metalloberfläche verbessert wird.
Als die organische Säure können zum Beispiel diese Verbindungen verwendet werden, die mindestens eine Carboxylgruppe und mindestens einer Aminogruppe in ihrem Molekül aufweisen. In diesem Fall ist mindestens eine der Aminogruppen vorzugsweise eine sekundäre oder tertiäre Aminogruppe. Darüber hinaus kann die Verbindung, die als organische Säure verwendet wird, eine Substituenten Gruppe aufweist.
Beispiele der hier als organische Säure verwendbaren Aminosäuren umfassen Glycin, Dihydroxyethylglycin, Glycylglycin, Hydroxyethylglycin, N-Methylglycin, β-Alanin, L-Alanin, L-2-Aminobuttersäure, L-Norvalin, L-Valin, L-Leucin, L-Norleucin, L-Alloisoleucin, L-Isoleucin, L-Phenylalanin, L-Prolin, Sarcosin, L-Ornithin, L-Lysin, Taurin, L-Serin, L-Threonin, L-Allothreonin, L-Homoserin, L-Thyroxin, L-Tyrosin, 3,5-Diiodo-L-tyrosin, β-(3,4-Dihydroxyphenyl)-L-Alanin, 4-Hydroxy-L-Prolin, L-Cystein, L-Methionin, L-Ethionin, L-Lanthionin, L-Cystathionin, L-Cystin, L-Cystinsäure, L-Glutaminsäure, L-Asparaginsäure, S-(Carboxymethyl)-L-Cystein, 4-Aminobuttersäure, L-Asparagin, L-Glutamin, Azaserin, L-Canavanin, L-Citrullin, L-Arginin, 5-Hydroxy-L-Lysin, Kreatin, L-Kynurenin, L-Histidin, 1-Methyl-L-Histidin, 3-Methyl-L-Histidin, L-Tryptophan, Actinomycin C1, Ergothionein, Apamin, Angiotensin I, Angiotensin II, Antipain usw. Von diesen sind Glycin, L-Alanin, L-Prolin, L-Histidin, L-Lysin, und Dihydroxyethylglycin bevorzugt.
Zusätzlich umfassen Beispiele einer Aminopolysäure, die als die organische Säure verwendet werden kann, Iminodiessigsäure, Nitrilotriessigsäure, Diethylentriaminpentaessigsäure, Ethylendiamintetraessigsäure, Hydroxyethyliminodiessigsäure, Nitrilotrismethylenphosphonsäure, Ethylendiamin-N,N,N',N'-tetramethylensulfonsäure, 1,2-Diaminopropantetraessigsäure, Glycoletherdiamintetraessigsäure, Transcyclohexandiamintetraessigsäure, Ethylendiamineorthohydroxyphenylessigsäure, Ethylendiamindibernsteinsäure (SS isomer), β-Alanindiessigsäure, N-(2-Carboxyatoethyl)-L-Asparaginsäure, N-N'-Bis(2-Hydroxybenzyl)ethylendiamin-N,N'-diessigsäure usw.
Ferner umfassen Beispiele einer Carbonsäure, die als die organische Säure verwendet werden kann, gesättigte Carbonsäuren wie Ameisensäure, Glycolsäure, Propionsäure, Essigsäure, Buttersäure, Valeriansäure, Capronsäure, Oxalsäure, Malonsäure, Glutarsäure, Adipinsäure, Äpfelsäure, Bernsteinsäure, Pimelinsäure, Mercaptoessigsäure, Glyoxylsäure, Chloressigsäure, Brenztraubensäure, Acetessigsäure und Glutarsäure, ungesättigte Carbonsäuren wie Acrylsäure, Methacrylsäure, Crotonsäure, Fumarsäure, Maleinsäure, Mesaconsäure, Citraconsäure, Aconitsäure und zyklische ungesättigte Carbonsäuren wie Benzoesäure, Toluylsäure, Phthalsäure, Naphthoesäure, Pyromellithsäure und Naphthalsäure.
Beispiele für eine Verbindung, die als Oxidationsmittel verwendet werden kann, umfassen Wasserstoffperoxid, Peroxide, Nitrate, Iodate, Periodate, Hypochlorite, Chlorite, Chlorate, Perchlorate, Persulfate, Dichromate, Permanganate, Cerate, Vanadate, ozonisiertes Wasser, Silber(II) Salze, Eisen(III) Salze und ihre organischen Komplexsalze.
Darüber hinaus kann ein Korrosionsschutz in dem Schneidfluid 30 gemischt werden. Mischen des Korrosionsschutzes ermöglicht es Korrosion (Elution) des Metalls, das in dem QFN Substrat 10 beinhaltet ist, zu verhindern. Als Korrosionsschutz wird dort bevorzugt eine heterocyclische Ringverbindung verwendet, die wenigstens drei Stickstoffatome in ihrem Molekül hat und eine kondensierte Ringstruktur hat oder eine heterocyclische aromatische Ringverbindung, die wenigstens vier Stickstoffatome in ihrem Molekül hat. Ferner umfasst die aromatische Ringverbindung bevorzugt eine Carboxygruppe, Sulfogruppe, Hydroxygruppe, oder Alkoxygruppe. Insbesondere ist die aromatische Ringverbindung bevorzugt eines aus Tetrazolderivaten, 1,2,3-Triazolderivaten und 1,2,4-Triazolderivate.
Beispiele der Tetrazolderivate, die als Korrosionsschutz verwendbar sind, umfassen solche, die keine Substituentengruppe an den Stickstoffatomen, die den Tetrazolring bilden, haben und die eingefügt an der 5-Position des Tetrazols eine Substituentengruppe ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einer Sulfogruppe, einer Aminogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgruppe und einer Sulfonamidgruppe oder wenigstens eine Substituentengruppe, die ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus einer Hydroxygruppe, einer Carboxygruppe, einer Sulfogruppe, einer Aminogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgruppe und einer Sulfonamidgruppe.
Beispiele der 1,2,3-Triazolderivate, die als Korrosionsschutz verwendbar sind, umfassen solche, die keine Substituentengruppe an den Stickstoffatomen, die den 1,2,3-Triazolring bilden, haben und die, eingefügt an der 4-Position und/oder der 5-Position des 1,2,3-triazol, eine Alkyl- oder Arylgruppe substituiert durch eine Substituentengruppe, die ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus einer Hydroxygruppe, einer Carboxygruppe, einer Sulfogruppe, einer Aminogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgrupe und einer Sulfonamidgruppe, oder wenigstens einer Substituentengruppe ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einer Hydroxygruppe, einer Carboxygruppe, einer Sulfogruppe, einer Aminogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgruppe und einer Sulfonamidgruppe, haben.
Darüber hinaus umfassen Beispiele der 1,2,4-Triazolderivate, die als Korrosionsschutz verwendbar sind, solche, die keine Substituentengruppe an den Stickstoffatomen, die den 1,2,4-Triazolring bilden und die, eingefügt an der 2-Position und/oder der 5-position des 1,2,4-Triazols, eine Alkyl- oder Arylgruppe subsitutiert durch eine Substituentengruppe ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einer Sulfogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgruppe und einer Sulfonamidgruppe oder wenigstens einer Substituentengruppe ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einer Hydroxygruppe, einer Carboxygruppe, einer Sulfogruppe, einer Aminogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgruppe und einer Sulfonamidgruppe, haben.
Da das Oxidationsmittel in der Schneidflüssigkeit, die von den Zufuhrdüsen für eine Schneidflüssigkeit 56, wie vorher beschrieben zugeführt wird, enthalten ist, werden Mikroorganismen in einer konventionellen biologischen Behandlung, die Mikroorganismen verwendet, durch das Oxidationsmittel getötet, sodass die organischen Rückstände in dem Schneidflüssigkeitsabfall nicht zersetzt werden können und der Schneidflüssigkeitsabfall, der Qualitätsstandards für Abwasser nicht erfüllt, kann abgelassen werden.
Jedoch in dem Behandlungsmechanismus 84 für Flüssigkeitsabfall einer ersten Ausführungsform, die in 4A dargestellt ist, wird der Schneidflüssigkeitsabfall, der durch das Durchgangsrohr 82 fließt, mit UV-Strahlen von mehreren LED Leuchten 90 bestrahlt, wodurch die organischen Rückstände in dem Schneidflüssigkeitsabfall zersetzt werden können, sodass das Risiko des Ablassens eines Schneidflüssigkeitsabfalls, welcher die Qualitätsstandards für Flüssigkeitsabfall nicht erfüllt, ausgeschaltet werden kann. Die Wellenlänge der UV-Strahlen ist vorzugsweise nicht mehr als 340 nm weiter bevorzugt nicht mehr als 300 nm.
4B stellt eine Schnittansicht eines Behandlungsmechanismus 84A für Flüssigkeitsabfall einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. In der vorliegenden Ausführungsform ist ein Ablassrohr 82A aus einem Material ausgebildet, das für UV-Strahlung transparent ist. Darüber hinaus ist das transparente Ablassrohr 82 von einem Gehäuse 92 umgeben. In dem Gehäuse 92 sind mehrere LED Leuchten 90 zum Bestrahlen mit UV-Strahlung angeordnet, sodass sie voneinander in der Längsrichtung und der umfänglichen Richtung des Gehäuses beabstandet sind.
In dem Behandlungsmechanismus 84A für einen Flüssigkeitsabfall der vorliegenden Ausführungsform wird auch der Flüssigkeitsabfall, der durch das transparente Abflussrohr 82A fließt, mit UV-Strahlen durch die LED Leuchten 90 bestrahlt, sodass die organischen Rückstände in dem Schneidflüssigkeitsabfall effektiv zersetzt werden können und das Risiko eines Ablassens von Schneidwasserabfall, welcher nicht die Qualitätsstandards für Flüssigkeitsabfall erfüllt, kann ausgeschaltet werden.
Wenn das verpackte Substrat 2 durch die Schneidvorrichtung 20 geschnitten wird, während die Schneidflüssigkeit zugeführt wird, welche die organische Säure und das Oxidationsmittel enthält, die mit dem vorgenannten Behandlungsmechanismus 84 für Flüssigkeitsabfall oder 84A bereitgestellt ist, wird kein Additiv außer einer optischen Energie, die eine Zersetzungswellenlänge aufweist, zum Zersetzen des Oxidationsmittels verwendet, wodurch der Bedarf für ein Additiv oder eine Temperatursteuerung ausgeschaltet werden kann und die Unterhaltskosten können auf einem niedrigen Niveau gehalten werden.
Während ein Beispiel, in dem der Behandlungsmechanismus für Flüssigkeitsabfall, der die Bestrahlung mit UV-Strahlen durchführt, für die Behandlung des Flüssigkeitsabfalls in einer Schneidvorrichtung verwendet wird, in den obigen Ausführungsformen beschrieben wurde, kann der Behandlungsmechanismus für Flüssigkeitsabfall der vorliegenden Erfindung nicht nur bei einer Schneidvorrichtung angewendet werden, sondern kann auch bei anderen Bearbeitungsvorrichtungen wie Schleifvorrichtung und einer Schneidvorrichtung mit einem Schneidwerkzeug angewendet werden.

Claims

Bearbeitungsvorrichtung, aufweisend: Haltemittel zum Halten eines Werkstücks; Bearbeitungsmittel zum Bearbeiten des Werkstücks, das durch das Haltemittel gehalten ist; Zufuhrmittel für eine Bearbeitungsflüssigkeit zum Zuführen einer Bearbeitungsflüssigkeit, die mindestens ein Oxidationsmittel enthält, auf dem Werkstück, das durch das Haltemittel gehalten wird, zu dem Zeitpunkt der Bearbeitung des Werkstücks durch das Bearbeitungsmittel; einen Rückgewinnungsabschnitt für einen Bearbeitungsflüssigkeitsabfall zum Zurückgewinnen eines Bearbeitungsflüssigkeitsabfalls, der die Bearbeitungsflüssigkeit enthält, die von dem Zufuhrmittel für eine Bearbeitungsflüssigkeit zu dem Werkstück zugeführt wurde; einen Auslassdurchgang, durch welchen der Bearbeitungsflüssigkeitsabfall von dem Rückgewinnungsabschnitt für einen Bearbeitungsflüssigkeitsabfall aus der Bearbeitungsvorrichtung ausgelassen wird; und einen Behandlungsmechanismus für einen Flüssigkeitsabfall, der in dem Auslassdurchgang angeordnet ist und die Bearbeitungsflüssigkeit, die in dem Bearbeitungsflüssigkeitsabfall enthalten ist, zersetzt, während die Bearbeitungsflüssigkeit durch den Auslassdurchgang fließt.
Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Oxidationsmittel ein Wasserstoffperoxid ist und der Behandlungsmechanismus für Flüssigkeitsabfall ein Bestrahlungsmittel für ultraviolette Strahlen beinhaltet und den Bearbeitungsflüssigkeitsabfall mit ultravioletten Strahlen bestrahlt.