DE102018205022A1 - Verfahren zum bearbeiten eines werkstücks - Google Patents
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Abstract
Ein Verfahren zum Bearbeiten eines plattenförmigen Werkstücks, das geschichtete Körper, die Metall enthalten, die in einer überlagernden Beziehung mit projizierten Teilungslinien ausgebildet sind, beinhaltet, beinhaltet die Schritte des Haltens des Werkstücks an einem Haltetisch und danach Schneiden des Werkstücks entlang der projizierten Teilungslinien mit einer ringförmigen Schneidklinge, wodurch die geschichteten Körper getrennt werden. Die Schneidklinge weist eine Nut, die in einer Flächenseite oder einer hinteren Seite eines äußeren umfänglichen Abschnitts ausgebildet ist, der in das Werkstück in dem Schritt des Schneidens des Werkstücks schneidet, auf. Der Schritt des Schneidens des Werkstücks beinhaltet den Schritt des Schneidens des Werkstücks während ein Schneidfluid, das eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, zu dem Werkstück zugeführt wird.
Description
- Gebiet der Erfindung
- Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten eines plattenförmigen Werkstücks, das geschichtete Körper, die Metall enthalten, die in einer überlappenden Beziehung zu projizierten Teilungslinien ausgebildet sind, beinhaltet.
- Beschreibung des Stands der Technik
- Elektronische Ausstattungen, typischerweise Mobiltelefone und Personalcomputer verwenden als zwingend notwendige Komponenten Bauelementchips, die Bauelemente wie elektronische Schaltungen usw. daran ausgebildet aufweisen. Ein Bauelementchip wird durch Aufteilen der Flächenseite eines Wafers, der aus einem Halbleitermaterial wie Silizium oder dergleichen ausgebildet ist, in mehrere Bereiche mit mehreren projizierten Teilungslinien, die auch als Straßen bekannt sind, Ausbilden von Bauelementen in den jeweiligen Bereichen und dann Teilen des Wafers in Bauelementchips entsprechend den Bauelementen entlang der projizierten Teilungslinien hergestellt.
- In den vergangenen Jahren sind oft Bewertungselemente, die als TEG (Testelementgruppe) bezeichnet werden, zum Bewerten elektrischer Eigenschaften von Bauelementen an projizierten Teilungslinien an Wafern, die oben beschrieben sind, ausgebildet (siehe zum Beispiel die
japanische Offenlegungsschrift Nr. Hei 6-349926 japanische Offenlegungsschrift Nr. 2005-21940 - Die Bauelementchips, auf die oben Bezug genommen wird, sind normalerweise durch einen Kunststoff eingekapselt, bevor sie an Platten oder dergleichen montiert werden. Zum Beispiel wird eine verpackte Platte durch Einkapseln mehrerer Bauelementchips mit Kunststoff und danach Teilen entlang projizierten Teilungslinien entsprechend den Bauelementchips hergestellt, wodurch verpackte Bauelemente erhalten werden, die jeweilige mit Kunststoff versiegelte Bauelementchips aufweisen.
- Mehrere geschichtete Körper, die Metall enthalten, sind an den projizierten Teilungslinien der verpackten Platte bereitgestellt. Wenn die verpackte Platte geteilt wird, werden die geschichteten Körper aufgeteilt. Die geschichteten Körper sind mit den Elektroden der Bauelementchips durch Metallleitungen oder dergleichen verbunden. Wenn die geschichteten Körper zusammen mit der verpackten Platte getrennt werden, werden die geschichteten Körper Elektroden der verpackten Bauelemente.
- DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
- Wenn geschichtete Körper, die Metall enthalten, die als eine TEG, Elektroden usw. dienen, durch eine Schneidklinge geschnitten und entfernt werden, die aus einem Bindemittel mit abrasiven Körnern, die darin dispergiert sind, ausgebildet ist, wird das Metall, das in den geschichteten Körpern enthalten ist, verlängert, wodurch Vorsprünge, die „Grate“ zu genannt werden, aufgrund des Kontakts mit der Schneidklinge auftreten. Falls die Schneidklinge den Wafer mit einer erhöhten Geschwindigkeit bearbeitet, wird mehr Wärme generiert, was zu größeren Graten führt. Darum entsprechend dem Bearbeitungsverfahren unter Verwendung der Schneidklinge ist es notwendig, die Bearbeitungsgeschwindigkeit zu reduzieren, sodass die Qualität beim Bearbeiten des Wafers nicht absinkt.
- Es ist darum ein Ziel der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zum Bearbeiten eines plattenförmigen Werkstücks, das geschichtete Körper, die Metall enthalten, die in einer überlagernden Beziehung mit projizierten Teilungslinien ausgebildet sind, beinhaltet, mit einer erhöhten Geschwindigkeit bereitzustellen, während die Qualität der Bearbeitung der Werkstücke beibehalten wird.
- In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Bearbeiten eines plattenförmigen Werkstücks bereitgestellt, das geschichtete Körper, die Metall enthalten, die in einer überlagernden Beziehung mit projizierten Teilungslinien ausgebildet sind, beinhaltet, das die Schritte des Haltens des Werkstücks an einem Haltetisch und danach des Schneidens des Werkstücks entlang der projizierten Teilungslinien mit einer ringförmigen Schneidklinge, wodurch die geschichteten Körper getrennt werden, wobei die Schneidklinge eine Nut in einer Flächenseite oder einer hinteren Seite eines äußeren umfänglichen Abschnitts aufweist, der in das Werkstück in dem Schritt des Schneidens des Werkstücks schneidet, beinhaltet und der Schritt des Schneidens des Werkstücks den Schritt des Schneidens des Werkstücks beinhaltet, während ein Schneidfluid, das eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, zu dem Werkstück zugeführt wird.
- In dem Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Nut sich radial entlang einer radialen Richtung der Schneidklinge erstrecken. Alternativ kann die Nut sich ringförmig entlang einer umfänglichen Richtung der Schneidklinge erstrecken.
- Entsprechend dem Verfahren in Übereinstimmung mit dem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird das Schneidfluid, das eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, zu der Schneidklinge und dem Werkstück beim Teilen der geschichteten Körper, die Metall enthalten, mit der Schneidklinge zugeführt. Die organische Säure und das Oxidationsmittel sind effektiv, um das Metall, das in geschichteten Körpern enthalten ist, zu modifizieren, wodurch die Duktilität des Metalls absinkt, während die Schneidklinge die geschichteten Körper teilt. Das Metall wird folglich daran gehindert, Grate auszubilden, sogar wenn das Werkstück mit einer erhöhten Geschwindigkeit bearbeitet wird.
- Entsprechend dem Verfahren in Übereinstimmung mit dem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird die Schneidklinge, welche die Nut in der Flächenseite oder der hinteren Seite des äußeren umfänglichen Abschnitts aufweist, verwendet. Die Nut ermöglicht, dass das Schneidfluid effizient dadurch zu den geschichteten Körpern geführt werden kann, sodass das Schneidfluid das Metall, das in den geschichteten Körpern enthalten ist, ausreichend modifizieren kann, um die Duktilität des Metalls zu reduzieren, während die Schneidklinge die geschichteten Körper aufteilt. Das Metall wird so daran gehindert Grate auszubilden, sogar wenn das Werkstück mit einer erhöhten Geschwindigkeit bearbeitet wird. Anders ausgedrückt die Geschwindigkeit mit welcher das Werkstück bearbeitet wird, kann erhöht werden, während die Qualität der Bearbeitung des Werkstücks beibehalten bleibt.
- Das obige und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise des Realisierens dieser wird klarer und die Erfindung selbst am besten durch ein Studieren der folgenden Beschreibung beigefügten Ansprüche mit Bezug zu den angehängten Figuren verstanden, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen.
- Figurenliste
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1A ist eine Aufsicht, die schematisch ein Werkstück beispielhaft zeigt; -
1B ist eine Aufsicht des Werkstücks von unten; -
2A ist eine vergrößerte partielle Ansicht im Querschnitt, die einen Halteschritt eines Bearbeitungsverfahrens für ein Werkstück entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt; -
2B ist eine seitliche Aufsicht, teilweise im Querschnitt, die einen Schneidschritt des Werkstücks des Bearbeitungsverfahrens für ein Werkstück entsprechend der Ausführungsform darstellt; -
3A ist eine vordere Aufsicht, die schematisch eine Schneidklinge zeigt; -
3B ist eine vordere Aufsicht, die schematisch eine Schneidklinge entsprechend einer Modifikation zeigt; und -
4 ist eine vordere Aufsicht einer Düse zum Zuführen eines Schneidfluides entsprechend einer anderen Ausführung der vorliegenden Erfindung. - DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
- Ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird im Folgenden mit Bezug zu den begleitenden Figuren beschrieben. Das Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks entsprechend der vorliegenden Ausführungsform, das auch als „Werkstückbearbeitungsverfahren“ bezeichnet wird, ist ein Verfahren zum Bearbeiten eines plattenförmigen Werkstücks, das geschichtete Körper, die Metall enthalten, die in einer überlagernden Beziehung mit projizierten Teilungslinien ausgebildet sind, beinhaltet und beinhaltet einen Halteschritt (siehe
2A ) und einen Schneidschritt (siehe2B und3 ). - In dem Halteschritt wird ein Werkstück an einem Einspanntisch (Haltetisch) einer Schneidvorrichtung gehalten. In dem Schneidschritt, während das Werkstück mit einem Schneidfluid, das eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, versorgt wird, wird das Werkstück entlang projizierten Teilungslinien mit einer ringförmigen Schneidklinge, die mehrere Schlitze aufweist, die an einem äußeren umfänglichen Abschnitt davon offen sind, geschnitten, wodurch das Werkstück zusammen mit den geschichteten Körpern aufgeteilt (getrennt) wird. Das Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück entsprechend der vorliegenden Ausführungsform wird detailliert im Folgenden beschrieben.
-
1A ist eine Aufsicht, die schematisch ein Werkstück11 als ein Beispiel zeigt, das durch das Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück entsprechend der vorliegenden Ausführungsform bearbeitet werden soll.1B ist eine Aufsicht des Werkstücks11 von unten. Wie in1A und1B gezeigt, beinhaltet das Werkstück11 zum Beispiel eine verpackte Platte mit mehreren Bauelementchips, nicht dargestellt, die in Kunststoff eingekapselt sind, und beinhaltet einen Metallrahmen13 , der eine rechteckige Form in einer Aufsicht aufweist. - Der Rahmen
13 ist aus einer 42 Legierung d. h. einer Legierung aus Eisen und Nickel oder einem Metall wie Kupfer oder dergleichen ausgebildet. Der Rahmen13 weist eine Flächenseite 13a auf, die in mehrere (drei in dieser Ausführungsform) Bauelementbereiche15 und mehrere umfängliche Randbereiche17 , welche die jeweiligen Bauelementbereiche 15 umgeben, aufgeteilt ist. Jeder der Bauelementbereiche 15 ist ferner in mehrere Bereiche durch ein Gitter aus projizierten Teilungslinien oder Straßen19 aufgeteilt, wobei die Bereiche jeweilige Stufen21 beinhaltet. - Ein Bauelementchip, nicht dargestellt, der Bauelemente wie ICs (integrierte Schaltungen), LEDs (Licht emittierende Dioden), MEMs (mikroelektromechanische Systeme) usw. beinhaltet, ist an der hinteren Seite einer jeden Stufe
21 d. h. an einer hinteren Seite13b des Rahmens13 ausgebildet. Einkapselnde Kunststoffschichten23 sind in jeweiligen Bereichen an der hinteren Seite13b des Rahmens13 ausgebildet, welche den Bauelementbereichen15 entsprechen, die in einer abdeckenden Beziehung zu den Bauelementchips an der hinteren Seiten der Stufen21 angeordnet sind. - Mehrere geschichtete Körper
25 , die Metall enthalten, sind in einer überlagernden Beziehung mit den projizierten Teilungslinien 19 um jede der Stufen21 ausgebildet. Die geschichteten Körper25 liegen an der Flächenseite13a des Rahmens 13 frei und sind mit Elektroden der Bauelementchips durch Metalldrähte, die nicht dargestellt sind, oder dergleichen verbunden. An jedem der geschichteten Körper25 sind die Elektroden der Bauelementchips, die einzeln an zwei benachbarten Stufen21 eine an jeder Seite der geschichteten Körper 25 angeordnet sind, angeschlossen. - Wenn das Werkstück
11 entlang der projizierten Teilungslinien19 in verpackte Bauelementchips mit eingekapselt Bauelementchips geschnitten wird, werden die geschichteten Körper 25 auch getrennt. Die geteilten geschichteten Körper25 dienen als die Elektroden der verpackten Bauelemente. Markierungen 27, welche die Positionen der projizierten Teilungslinien 19 angeben, sind in den äußeren umfänglichen Randbereichen 17 der Flächenseite eines 3a des Rahmens13 ausgebildet. - Entsprechend der vorliegenden Ausführungsform dient die verpackte Platte, in welcher die Bauelementchips durch das die einkapselnden Kunststoffschichten
23 eingekapselt sind, als das Werkstück11 . Jedoch ist das Werkstück11 nicht auf bestimmte Materialien, Formen, Strukturen, Größen usw. beschränkt. Ähnlich sind die Bauelementchips, die Bauelemente und die geschichteten Körper25 nicht auf bestimmte Arten, Mengen, Formen, Strukturen, Größen, Anordnungen usw. beschränkt. - Zum Beispiel kann ein Wafer, in welchem geschichtete Körper, die als TEG (Testelementgruppe) dienen, die in einer überlagernden Beziehung mit projizierten Teilungslinien
19 ausgebildet sind, oder ein Wafer, in welchem geschichtete Körper, die Metalle wie Titan (Ti), Nickel (Ni), Gold (Au) usw. enthalten, und als Elektroden dienen, die an der hinteren Seite davon ausgebildet sind, als das Werkstück11 verwendet werden. - In dem Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück entsprechend der vorliegenden Ausführungsform wird der Haltschritt ausgeführt, um das obige Werkstück
11 an einem Einspanntisch (Haltetisch) einer Schneidvorrichtung zu halten.2A ist eine vergrößerte partielle Schnittansicht, welche den Halteschritt darstellt. Der Halteschritt wird unter Verwendung einer Schneidvorrichtung2 , die in2A zum Beispiel gezeigt ist, durchgeführt. In2A sind nur die geschichteten Körper25 als eine Komponente des Werkstücks11 zum Zwecke der Darstellung gezeigt. - Wie in
2 A gezeigt weist die Schneidvorrichtung2 einen Einspanntisch (Haltetisch)4 zum Halten des Werkstücks11 unter einem Saugen auf. Der Einspanntisch4 ist oberhalb einer Einspannungsbasis, die nicht dargestellt ist, mit einer Saugquelle verbunden, die nicht gezeigt ist, angeordnet. Die Einspannungsbasis ist mit einem Drehaktor, der nicht dargestellt ist, wie einem Motor oder dergleichen zum Drehen um eine Drehachse im Wesentlichen parallel zu einer vertikalen Richtung gekoppelt. Die Einspannungsbasis ist oberhalb des Bearbeitungszufuhrmechanismus, der nicht dargestellt ist, angeordnet, der die Einspannungsbasis in einer Bearbeitungszufuhrrichtung bewegt. - Der Einspanntisch
4 zum Halten des Werkstücks11 daran ist abnehmbar an einer oberen Oberfläche der Einspannungsbasis montiert. Der Einspanntisch4 beinhaltet eine flache Platte, die eine rechteckige Form in einer Aufsicht zum Beispiel aufweist, und weist einen oberen Oberflächenteil auf, der als eine Halteoberfläche4a zum Halten des Werkstücks11 unter einem Saugen dient. Der Einspanntisch4 weist mehrere Auslassnuten 4b auf, die darin an der Halteoberfläche4a zum Ausrichten mit den jeweiligen projizierten Teilungslinien19 ausgebildet sind. Die Auslassnuten4b weisen obere Enden auf, die an der Halteoberfläche4a offen sind. Die Auslassnuten4b teilen die Halteoberfläche4a in mehrere Bereiche entsprechend jeweiligen Stücken oder Bauelementchips, in welche das Werkstück11 geteilt wird. - Der Einspanntisch
4 beinhaltet auch Sauglöcher4c , die vertikal durch diesen in den jeweiligen Bereichen, die durch die Auslassnuten4b geteilt werden, ausgebildet sind, wobei die Sauglöcher4c an der Halteoberfläche4a und einer unteren Oberfläche des Einspanntischs4 , die gegenüber der Halteoberfläche 4a ist, offen sind. Wenn der Einspanntisch4 an der oberen Oberfläche der Einspannung Basis installiert ist, sind die Sauglöcher4c mit der Saugquelle durch Saugkanäle, die in der Einspannung Basis ausgebildet sind, verbunden. - In dem Halteschritt ist das Werkstück
11 an der Halteoberfläche 4a des Einspanntischs4 platziert, sodass das Werkstück 11 eine hintere Seite11b aufweist, d. h. die Seite der einkapselnden Kunststoffschicht23 oder die hintere Seite13b des Rahmens13 nach unten gerichtet ist, wobei die projizierten Teilungslinien19 mit den jeweiligen Auslassnuten 4b ausgerichtet sind. Danach wird ein negativer Druck von der Saugquelle dazu gebracht, an der hinteren Seite11b des Werkstücks11 durch die Sauglöcher4c zu wirken. Das Werkstück 11 wird jetzt unter einem Saugen an dem Einspanntisch 4 gehalten, sodass das Werkstück11 eine Flächenseite 11a, d. h. die Flächenseite13a des Rahmens13 , aufweist, die nach oben frei liegt. - Dem Halteschritt folgt ein Schneidschritt, um das Werkstück
11 entlang der projizierten Teilungslinien19 zu schneiden, wodurch das Werkstück11 zusammen mit den geschichteten Körpern 25 geteilt (getrennt) wird.2B ist eine seitliche Aufsicht, teilweise im Querschnitt, welche den Schneidschritt darstellt. Der Schneidschritt wird auch unter Verwendung der Schneidvorrichtung2 durchgeführt. Wie in2B gezeigt, beinhaltet die Schneidvorrichtung2 eine Schneideinheit 6, die oberhalb des Einspanntischs4 angeordnet ist. - Die Schneideinheit
6 weist eine Spindel, die nicht dargestellt ist, auf, die als eine Welle im Wesentlichen senkrecht zu der Bearbeitungszufuhrrichtung dient. Eine ringförmige Schneidklinge8 , die aus einem Bindemittel mit abrasiven Körnern darin dispergiert ausgebildet ist, ist an einem Ende der Spindel montiert. Das äußere andere Ende der Spindel ist mit einem Drehaktor, der nicht dargestellt ist, wie einem Motor oder dergleichen gekoppelt. Die Schneidklinge8 an dem einen Ende der Spindel ist um ihre eigene Achse durch Kräfte drehbar, die von dem Drehaktor übertragen werden. - Die Spindel ist durch einen Bewegungsmechanismus, der nicht dargestellt ist, getragen, welcher die Schneidklinge
8 in der Index-Zufuhrrichtung senkrecht zu der Bearbeitungszufuhrrichtung und einer vertikalen Richtung, die senkrecht zu der Bearbeitungszufuhrrichtung und der Index Zufuhrrichtung ist, bewegt. Ein Paar Düsen10 ist an den Seiten einer Flächenseite8a und einer hinteren Seite8b der Schneidklinge 8 angeordnet, die folglich zwischen den Düsen10 angeordnet ist. Die Düsen10 sind angeordnet, sodass ein Schneidfluid 12 zu der Schneidklinge8 Werkstück11 zugeführt werden kann. - Jede der Auslassnuten
4b weist eine Breite auf, die größer als die Breite der Schneidklinge8 ist, d. h. zum Beispiel der Abstand zwischen der Flächenseite8a und der hinteren Seite 8b davon und eine größere Tiefe als der Abstand, durch welchen die Schneidklinge8 nach unten von der hinteren Seite11b des Werkstücks11 hervorsteht, wenn durch das Werkstück11 geschnitten wird. Darum, wenn die Schneidklinge8 tief in das Werkstück11 entlang der projizierten Teilungslinien19 einschneidet, wird die Schneidklinge8 nicht in Kontakt mit dem Einspanntisch4 gebracht. - Entsprechend der vorliegenden Ausführungsform wird die Schneidklinge 8, die mehrere Nuten, die in der Flächenseite
8a und hinteren Seite8b eines äußeren umfänglichen Abschnitts ausgebildet sind, der in das Werkstück11 schneidet, aufweist, verwendet. Insbesondere ist3A eine vordere Aufsicht, die schematisch die Schneidklinge8 zeigt. Wie in3A gezeigt weist die Schneidklinge8 mehrere Nuten 8d auf, die in der Flächenseite8a und der hinteren Seite 8b eines äußeren umfänglichen Abschnitts ausgebildet sind, (eine Seite einer äußeren umfänglichen Kante8c ). Die Nuten 8d erstrecken sich radial entlang radialer Richtungen der Schneidklinge8 . Das Schneidfluid12 von den Düsen10 wird effektiv zu den geschichteten Körpern25 durch die Nuten8d zugeführt. - In dem Schneidschritt wird der Einspanntisch
4 um seine eigene Achse gedreht, um eine projizierte Zielteilungslinie19 in Ausrichtung mit der Bearbeitungszufuhrrichtung der Schneidvorrichtung 2 zu bringen. Der Einspanntisch4 und die Schneideinheit 6 werden relativ zueinander bewegt, um die Ebene der Schneidklinge8 in Ausrichtung mit einer Erstreckung der projizierten Zielteilungslinie19 zu positionieren. Danach wird das untere Ende der Schneidklinge8 zu einer Position unterhalb der hinteren Seite11b des Werkstücks 11 bewegt. - Danach, während die Schneidklinge
8 um ihre eigene Achse gedreht wird, wird der Einspanntisch4 in der Bearbeitungszufuhrrichtung bewegt. Gleichzeitig führen die Düsen 10 das Schneidfluid12 , welches eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, zu der Schneidklinge8 und dem Werkstück11 . Die Schneidklinge8 schneidet in das Werkstück 11 entlang der projizierten Zielteilungslinie19 , wodurch das Werkstück11 vollständig zusammen mit den geschichteten Körpern25 an der projizierten Ziel Teilungslinie 19 geteilt wird, wodurch eine Fuge (Schlitz)11c in der Breite der geschichteten Körper25 in dem Werkstück 11 entlang der projizierten Teilungslinien19 ausgebildet wird. - Die organische Säure, die in dem Schneidfluid
12 enthalten ist, modifiziert das Metall in den geschichteten Körpern25 um seine Duktilität zu senken. Das Oxidationsmittel, das in dem Schneidfluid12 enthalten ist, macht es einfacher das Metall in den geschichteten Körpern25 an seiner Oberfläche zu oxidieren. Als ein Ergebnis ist die Duktilität des Metalls in den geschichteten Körpern25 ausreichend abgesenkt, um die Bearbeitbarkeit des Werkstücks11 zu erhöhen. - Als die organische Säure, die in dem Schneidfluid
12 enthalten ist, kann zum Beispiel eine Verbindung verwendet werden, die mindestens eine Carboxygruppe und mindestens eine Aminogruppe in ihrem Molekül aufweist. In diesem Fall ist es bevorzugt, dass mindestens eine der Aminogrupppen eine sekundäre oder tertiäre Aminogruppe ist. Zusätzlich kann die Verbindung, die in der organischen Säure verwendet wird, ein Substituentengruppe aufweisen. - Als die organische Säure können Aminosäuren verwendet werden. Beispiele der hier verwendbaren Aminosäuren umfassen Glycin, Dihydroxyethylglycin, Glycylglycin, Hydroxyethylglycin, N-Methylglycin, β-Alanin, L-Alanin, L-2-Aminobuttersäure, L-Norvalin, L-Valin, L-Leucin, L-Norleucin, L-Alloisoleucin, L-Isoleucin, L-Phenylalanin, L-Prolin, Sarcosin, L-Ornithin, L-Lysin, Taurin, L-Serin, L-Threonin, L-Allothreonin, L-Homoserin, L-Thyroxin, L-Tyrosin, 3,5-Diiodo-L-tyrosin, β-(3,4-Dihydroxyphenyl)-L-Alanin, 4-Hydroxy-L-Prolin, L-Cystein, L-Methionin, L-Ethionin, L-Lanthionin, L-Cystathionin, L-Cystin, L-Cystinsäure, L-Glutaminsäure, L-Asparaginsäure, S-(Carboxymethyl)-L-Cystein, 4-Aminobuttersäure, L-Asparagin, L-Glutamin, Azaserin, L-Canavanin, L-Citrullin, L-Arginin, δ-Hydroxy-L-Lysin, Kreatin, L-Kynurenin, L-Histidin, 1-Methyl-L-Histidin, 3-Methyl-L-Histidin, L-Tryptophan, Actinomycin C1, Ergothionein, Apamin, Angiotensin I, Angiotensin II, Antipain usw. Unter anderem sind Glycin, L-Alanin, L-Prolin, L-Histidin, L-Lysin, und Dihydroxyethylglycin besonders bevorzugt.
- Auch können Aminopolysäuren als die organische Säure verwendet werden. Beispiele der hier verwendbaren Aminopolysäuren umfassen Iminodiessigsäure, Nitrilotriessigsäure, Diethylentriaminpentaessigsäure, Ethylendiamintetraessigsäure, Hydroxyethyliminodiessigsäure, Nitrilotrismethylenphosphonsäure, Ethylendiamin-N,N,N',N'-tetramethylensulfonsäure, 1,2-Diaminopropantetraessigsäure, Glycoletherdiamintetraessigsäure, Transcyclohexandiamintetraessigsäure, Ethylendiamineorthohydroxyphenylessigsäure, Ethylendiamindibernsteinsäure (SS isomer), β-Alanindiessigsäure, N-(2-Carboxyatoethyl)-L-Asparaginsäure, N-N'-Bis(2-Hydroxybenzyl)ethylendiamin-N,N'-diessigsäure usw.
- Ferner können Carbonsäuren als die organische Säure verwendet werden. Beispiele der hier verwendbaren Carbonsäuren umfassen gesättigte Carbonsäuren wie Ameisensäure, Glycolsäure, Propionsäure, Essigsäure, Buttersäure, Valeriansäure, Capronsäure, Oxalsäure, Malonsäure, Glutarsäure, Adipinsäure, Äpfelsäure, Bernsteinsäure, Pimelinsäure, Mercaptoessigsäure, Glyoxylsäure, Chloressigsäure, Brenztraubensäure, Acetessigsäure usw., ungesättigte Carbonsäuren wie Acrylsäure, Methacrylsäure, Crotonsäure, Fumarsäure, Maleinsäure, Mesaconsäure, Citraconsäure, Aconitsäure usw. und zyklische ungesättigte Carbonsäuren wie Benzoesäure, Toluylsäure, Phthalsäure, Naphthoesäuren, Pyromellithsäure, Naphthalsäure usw. Als Oxidationsmittel, die in dem Schneidfluid
12 enthalten sein können, können dort, zum Beispiel, Wasserstoffperoxid, Peroxide, Nitrate, Iodate, Periodate, Hypochlorite, Chlorite, Chlorate, Perchlorate, Persulfate, Dichromate, Permanganate, Cerate, Vanadate, ozonisiertes Wasser, Silber(II) Salze, Eisen(III) Salze, und ihre organischen Komplexsalze verwendet werden. - Darüber hinaus kann ein Korrosionsschutz in dem Schneidfluid
12 gemischt werden. Mischen des Korrosionsschutzes ermöglicht es Korrosion (Elution) des Metalls, das in dem Werkstück11 beinhaltet ist, zu verhindern. Als Korrosionsschutz wird dort bevorzugt eine heterocyclische Ringverbindung verwendet, die wenigstens drei Stickstoffatome in ihrem Molekül hat und eine fusionierte Ringstruktur hat oder eine heterocyclische aromatische Ringverbindung, die wenigstens vier Stickstoffatome in ihrem Molekül hat. Ferner umfasst die aromatische Ringverbindung bevorzugt eine Carboxygruppe, Sulfogruppe, Hydroxygruppe, oder Alkoxygruppe. Spezifisch bevorzugte Beispiele der aromatischen Ringverbindung umfassen Tetrazolderivate, 1,2,3-Triazolderivate und 1,2,4-Triazolderivate. - Beispiele der Tetrazolderivate, die als Korrosionsschutz verwendbar sind, umfassen solche, die keine Substituentengruppe an den Stickstoffatomen, die den Tetrazolring bilden, haben und die eingefügt an der 5-Position des Tetrazols eine Substituentengruppe ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einer Sulfogruppe, einer Aminogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgruppe und einer Sulfonamidgruppe oder einer Alkylgruppe, die mit wenigstens einer Substituentengruppe subsituiert ist, die ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus einer Hydroxygruppe, einer Carboxygruppe, einer Sulfogruppe, einer Aminogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgruppe und einer Sulfonamidgruppe haben.
- Beispiele der 1,2,3-Triazolderivate, die als Korrosionsschutz verwendbar sind, umfassen solche, die keine Substituentengruppe an den Stickstoffatomen, die den 1,2,3-Triazolring bilden, haben und die, eingefügt an der 4-Position und/oder der 5-Position des 1,2,3-triazol, eine Substituentengruppe haben, die ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus einer Hydroxygruppe, einer Carboxygruppe, einer Sulfogruppe, einer Aminogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgrupe und einer Sulfonamidgruppe, oder einer Alkyl- oder Arylgruppe, die mit wenigstens einer Substituentengruppe ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einer Hydroxygruppe, einer Carboxygruppe, einer Sulfogruppe, einer Aminogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgruppe und einer Sulfonamidgruppe, subsitutiert ist.
- Darüber hinaus umfassen Beispiele der 1,2,4-Triazolderivate, die als Korrosionsschutz verwendbar sind, solche, die keine Substituentengruppe an den Stickstoffatomen, die den 1,2,4-Triazolring bilden und die, eingefügt an der 2-Position und/oder der 5-position des 1,2,4-Triazols, eine Substituentengruppe ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einer Sulfogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgruppe und einer Sulfonamidgruppe oder eine Alkyl- oder Arylgruppe, die mit wenigstens einer Substituentengruppe ausgewählt aus der Gruppe bestehend auseiner Hydroxygruppe, einer Carboxygruppe, einer Sulfogruppe, einer Aminogruppe, einer Carbamoylgruppe, einer Carbonamidgruppe, einer Sulfamoylgruppe und einer Sulfonamidgruppe subsitutiert, haben.
- Der obige Prozess wird wiederholt, um, um Fugen
11c entlang all den projizierten Teilungslinien19 auszubilden, worauf der Schneidschritt abgeschlossen ist. Entsprechend der vorliegenden Ausführungsform, wie oben beschrieben, wird das Schneidfluid 12, das eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, zu der Schneidklinge8 in dem Werkstück 11 beim Teilen der geschichteten Körper25 , die Metall enthalten, mit der Schneidklinge8 zugeführt. Die organische Säure und das Oxidationsmittel sind effektiv, um das Metall, das in dem geschichteten Körper25 enthalten ist, zu modifizieren, wodurch die Duktilität des Metalls abgesenkt wird, während die Schneidklinge8 die geschichteten Körper25 teilt. Das Metall wird so daran gehindert Grate auszubilden, sogar wenn das Werkstück11 mit einer erhöhten Geschwindigkeit bearbeitet wird. - In dem Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück entsprechend der obigen Ausführungsform wird die Schneidklinge
8 , welche die Nuten8d aufweist, die in der Flächenseite8a und der hinteren Seite8b des äußeren umfänglichen Abschnitts davon ausgebildet sind, verwendet. Die Nuten8d ermöglichen dem Schneidfluid 12 effektiv dadurch zu den geschichteten Körpern25 zugeführt zu werden, sodass das Schneidfluid12 das Metall, das in den geschichteten Körpern25 enthalten ist, ausreichend modifizieren kann, um die Duktilität des Metalls abzusenken während die Schneidklinge8 die geschichteten Körper 25 teilt. Das Metall wird folglich daran gehindert, Grate auszubilden, sogar wenn das Werkstück mit einer erhöhten Geschwindigkeit bearbeitet wird. Anders ausgedrückt die Geschwindigkeit, mit welcher das Werkstück11 bearbeitet wird, kann erhöht werden, während die Qualität der Bearbeitung des Werkstücks11 beibehalten wird. - Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt, sondern verschiedene Änderungen und Modifikationen können darin gemacht werden. Zum Beispiel in dem Schneidschritt entsprechend der obigen Ausführungsform liegt die Flächenseite
11a des Werkstücks11 nach oben frei und die Schneidklinge8 schneidet in das Werkstück11 von der Flächenseite 11a. Jedoch kann die hintere Seite11b des Werkstücks 11 nach oben freiliegen und die Schneidklinge8 kann in das Werkstück11 von der hinteren Seite11b in dem Schneidschritt einschneiden. - In dem Schneidschritt entsprechend der obigen Ausführungsform wird darüber hinaus das Werkstück
11 zusammen mit den geschichteten Körpern25 geteilt (getrennt). Jedoch können in dem Schneidschritt mindestens die geschichteten Körper25 getrennt werden. Anders ausgedrückt, das Werkstück11 muss nicht in dem Schneidschritt geteilt werden. - In dem Schneidschritt entsprechend der obigen Ausführungsform wird die Schneidklinge
8 , die Nuten8d aufweist, die sich radial entlang der radialen Richtungen davon erstrecken, die in der Flächenseite8a und der hinteren Seite8b des äußeren umfänglichen Abschnitts davon ausgebildet sind, verwendet. Die Nuten8d sind nicht auf bestimmte, Mengen, Formen, Größen usw. beschränkt. Zum Beispiel kann eine Schneidklinge8 , die eine oder mehrere Nuten aufweist, die in der Flächenseite8a oder der hinteren Seite8b des äußeren umfänglichen Abschnitts davon ausgebildet sind, verwendet werden. -
3B ist eine vordere Aufsicht, die schematisch eine Schneidklinge 8 entsprechend einer Modifikation zeigt. Die Schneidklinge 8, die in3B gezeigt ist, weist Nuten8e auf, die in einer Flächenseite8a davon ausgebildet sind und sich ringförmig entlang der umfänglichen Richtung der Schneidklinge 8 erstrecken. In diesem Fall kann das Schneidfluid 12 auch effizient zu den geschichteten Körpern25 durch die Nuten8e zugeführt werden. - In dem obigen Schneidschritt wird das Schneidfluid
12 von den Düsen 10, die an beiden Seiten der Schneidklinge8 angeordnet sind, zugeführt. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf eine bestimmte Düsenkonfiguration zum Zuführen des Schneidfluides 12 beschränkt.4 ist eine vordere Aufsicht einer Düse zum Zuführen des Schneidfluides12 entsprechend einer anderen Ausführung der vorliegenden Erfindung. Wie in4 gezeigt, beinhaltet eine Schneideinheit 6 zusätzlich zu der Schneidklinge8 und dem Paar Düsen10 eine Duschdüse14 , die lateral zu der Schneidklinge 8, d. h. vor der Schneidklinge8 bezüglich der Richtung, entlang welcher das Schneiden des Werkstücks11 durch die Schneidklinge8 fortschreitet, angeordnet ist. - Die Düse
14 erleichtert es, das Schneidfluid12 zu der Fuge (Schlitz) 11c für ein effektiveres Modifizieren des Metalls, das in den geschichteten Körpern25 enthalten ist, zuzuführen. Insbesondere weist Düse14 eine Auslassöffnung auf, die geneigt nach unten zu einem Bereich orientiert ist, in dem die Schneidklinge8 das Werkstück11 bearbeitet, wie in4 gezeigt, sodass die Fuge11c mit einer erhöhten Menge des Schneidfluides12 für ein effektiveres modifizieren des Metalls, das in den geschichteten Körpern25 enthalten ist, versorgt und gefüllt wird. Obwohl beide die Düsen10 und die Düse14 in4 verwendet werden, können die Düsen10 ausgelassen werden und nur die Düse14 kann alleine verwendet werden. - Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das äquivalente des Umfangs der Ansprüche fallen, werden dadurch durch die Erfindung umfasst.
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
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- JP 2005021940 [0003]
Claims (3)
- Verfahren zum Bearbeiten eines plattenförmigen Werkstücks, das geschichtete Körper, die Metall enthalten, die in einer überlagernden Beziehung mit projizierten Teilungslinien ausgebildet sind, beinhaltet, die folgenden Schritte umfassend: Halten des Werkstücks an einem Haltetisch; und danach Schneiden des Werkstücks entlang der projizierten Teilungslinien mit einer ringförmigen Schneidklinge, wodurch die geschichteten Körper geteilt werden; wobei die Schneidklinge eine Nut aufweist, die in einer Flächenseite oder einer hinteren Seite eines äußeren umfänglichen Abschnitts derselben, der in das Werkstück in dem Schritt des Schneidens des Werkstücks schneidet, ausgebildet ist; und der Schritt des Schneidens des Werkstücks den Schritt des Schneidens des Werkstücks beinhaltet, während ein Schneidfluid, das eine organische Säure und ein Oxidationsmittel enthält, zu dem Werkstück zugeführt wird.
- Verfahren nach
Anspruch 1 , wobei die Nut sich radial entlang einer radialen Richtung der Schneidklinge erstreckt. - Verfahren nach
Anspruch 1 , wobei die Nut sich ringförmig entlang einer umfänglichen Richtung der Schneidklinge erstreckt.
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