JP2010269234A

JP2010269234A - 紫外線分解装置

Info

Publication number: JP2010269234A
Application number: JP2009122265A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Fujita; 敦史藤田
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2009-05-20
Filing date: 2009-05-20
Publication date: 2010-12-02
Anticipated expiration: 2029-05-20
Also published as: JP5340804B2

Abstract

【課題】安全に紫外線ランプが交換可能な安全機構を具備した紫外線分解装置を提供する。
【解決手段】紫外線を遮光する材料で形成された廃液収容器４２と、該廃液収容器の中に隙間をもって設置され、紫外線を透過する材料で形成された紫外線ランプ収容器５０と、該紫外線ランプ収容器への該紫外線ランプの出し入れを阻害する閉位置と、該紫外線ランプ収容器への該紫外線ランプの出し入れを可能とする開位置との間で選択的に位置付け可能なカバー６０と、電源７２と、該電源及び該紫外線ランプに接続され、該紫外線ランプを選択的に該電源に通電して発光させるスイッチ７４と、該電源と該スイッチと該紫外線ランプとが直列に接続された電気回路上に設置され、該カバーが開位置に位置づけられている際に該電気回路を遮断し、該カバーが閉位置に位置づけられた際に該電気回路を接続して閉回路とするインターロック機構６５と、を具備する。
【選択図】図５

Description

本発明は、廃液に含まれる有機物を紫外線を照射して分解する紫外線分解装置に関する。

半導体デバイス製造プロセスにおいては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画されたそれぞれの領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハ雄トリートに沿って切断することにより、デバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。

また、サファイア基板の表面に窒化ガリウム系化合物半導体等が積層された光デバイスウエーハもストリートに沿って切断することにより、個々の発光ダイオード（ＬＥＤ）、レーザダイオード（ＬＤ）等の光デバイスに分割され、各種電気機器に広く利用されている。

上述した半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと呼ばれる切削装置によって行われている。この切削装置は、半導体ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを有する切削手段と、切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段とを具備している。

切削水供給手段によって切削水を回転する切削ブレードに供給することにより切削ブレードを冷却すると共に、切削ブレードによる被加工物の切削部に切削水を供給しつつ切削作業を実施する。

一方、半導体ウエーハ等の被加工物の切削装置による切削に先立ち、被加工物は研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、切削装置によって切削されて個々のデバイスに分割される。

研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石を有する研削ホイールが回転可能に装着された研削手段と、研削ホイールに研削水を供給する研削水供給手段とを備えていて、被加工物を高精度に所望の厚みに研削できる。

ところで、切削装置による切削時に供給された切削水又は研削装置による研削時に供給された研削水には、シリコンや窒化ガリウム系化合物半導体を切削又は研削することによって発生する切削屑又は研削屑が混入される。

半導体材料からなる切削屑が混入された加工廃液は環境を汚染することから、廃液処理装置を用いて切削屑又は研削屑を除去した後に、加工水として再利用したり廃棄している（例えば、特開２００４−２３０５２７号公報参照）。

そして、これらの廃液処理装置においては、廃液に含まれる有機物を分解するために紫外線を廃液に照射する機構も含まれ、更に紫外線を照射する紫外線ランプの交換作業も必要となる。

特開２００４−２３０５２７号公報

而して、一般的に有機物を分解するための紫外線は非常に波長が短く（例えば１８５ｎｍ）空気中に照射されるとオゾンを発生させる。波長が非常に短い紫外線やオゾンは人体に悪影響を及ぼすために、紫外線ランプの交換作業を行う際などに紫外線ランプが人体に紫外線を照射し得る位置で動作しないための安全装置が必要である。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、安全に紫外線ランプの交換ができる安全機構を具備した紫外線分解装置を提供することである。

本発明によると、廃液に含まれる有機物を紫外線照射により分解する紫外線分解装置であって、紫外線を遮光する材料で形成された廃液収容器と、該廃液収容器の中に隙間をもって設置され、紫外線を透過する材料で形成された紫外線ランプ収容器と、該廃液収容器と該紫外線ランプ収容器との間の空間に廃液を流動させるポンプと、該紫外線ランプ収容器の一部に設けられ、該紫外線ランプ収容器に該紫外線ランプの出し入れを許容する紫外線ランプ搬入出口と、該紫外線ランプ収容器への該紫外線ランプの出し入れを阻害する閉位置と、該紫外線ランプ収容器への該紫外線ランプの出し入れを可能とする開位置との間で選択的に位置付け可能なカバーと、電源と、該電源及び該紫外線ランプに接続され、該紫外線ランプを選択的に該電源に通電して発光させるスイッチと、該電源と該スイッチと該紫外線ランプとが直列に接続された電気回路上に設置され、該カバーが開位置に位置づけられている際に該電気回路を遮断し、該カバーが閉位置に位置づけられた際に該電気回路を接続して閉回路とするインターロック機構と、を具備したことを特徴とする紫外線分解装置が提供される。

好ましくは、紫外線分解装置は、一端が該紫外線ランプに接続されたランプ側コードと、該ランプ側コードの他端に接続されたランプ側コネクタと、該電源に接続され、該ランプ側コネクタに選択的に係合可能な電源側コネクタとを更に具備し、該電源側コネクタは、該カバーが閉位置に位置づけられた際に該カバーの内側に位置するように配置され、該ランプ側コードの長さは、該ランプ側コネクタと該電源側コネクタとが係合した際に、該紫外線ランプが該紫外線ランプ収容器に収容された状態でないと該カバーを閉位置に位置づけることができない長さに設定されている。

本発明によると、カバーが開いている状態ではインターロック機構が動作しないため、紫外線ランプが点灯することがなく、安全に紫外線ランプを交換できる安全機構を具備した紫外線分解装置を提供することができる。

本発明の紫外線分解装置を備えた加工廃液処理装置の透視的斜視図である。紫外線ランプが紫外線ランプ収容器から取り出されている状態の本発明実施形態に係る紫外線分解装置の縦断面図である。紫外線ランプが紫外線ランプ収容器中に収容されている状態の紫外線分解装置の縦断面図である。紫外線分解装置の電気回路図である。蓋を閉じた状態の紫外線分解装置の電流経路を示す図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態の紫外線分解装置を具備した加工廃液処理装置２の透視的斜視図が示されている。４は加工廃液処理装置２のフレームであり、このフレーム４に取り付けられて加工廃液処理装置２のハウジングを構成する各パネルを省略した状態が図１に示されている。

加工廃液処理装置２は、加工廃液を収容する廃液タンク６と、廃液タンク６に収容された加工廃液を送給する廃液送給ポンプ８を具備している。廃液タンク６には、図示しない切削装置等の加工装置に装備された加工廃液送出手段から送られる加工廃液が図示しない配管を介して導入される。廃液タンク６の上部に加工廃液を送給する廃液送給ポンプ８が配設されている。

廃液送給ポンプ８によって送給される加工廃液は、フレキシブルホースからなる図示しない配管を介して廃液濾過装置１０に送られる。廃液濾過装置１０は、清水受けパン１２と、清水受けパン１２上に配置された第１フィルタ１４ａ及び第２フィルタ１４ｂを具備している。第１フィルタ１４ａ及び第２フィルタ１４ｂは、清水受けパン１２上に着脱可能に搭載される。

第１フィルタ１４ａ又は第２フィルタ１４ｂに導入された加工廃液は、第１フィルタ１４ａ又は第２フィルタ１４ｂによって濾過され、加工廃液に混入している切削屑が補足されて清水に精製され、清水受けパン１２に流出する。

清水受けパン１２はフレキシブルホースからなる配管１６によって清水貯水タンク１８に接続されており、清水受けパン１２に流出した清水はフレキシブルホースからなる配管１６を介して清水貯水タンク１８に送られ貯水される。

貯水タンク１８に貯水された清水は、清水送給ポンプ５４（図２参照）によって送給され、図示しない配管を介して純水生成装置２０に送られる。純水生成装置２０は、支持台２２と、支持台２２に立設された仕切り板２４と、仕切り板２４の後ろ側の支持台２２上に配置された紫外線分解装置２６と、仕切り板２４の前側の支持台２２上に配置されたそれぞれイオン交換樹脂を供えた第１及び第２イオン交換装置２８ａ，２８ｂと、仕切り板２４の後ろ側の支持台２２上に配置された精密フィルタ３０を具備している。

清水送給ポンプ５４によって送給された清水は紫外線分解装置２６に導入され、ここで紫外線が照射されることによって清水中に含まれる有機物が分解されるとともに殺菌される。紫外線分解装置２６において有機物が分解された清水は、第１イオン交換装置２８ａ又は第２イオン交換装置２８ｂに導入される。第１イオン交換装置２８ａ及び第２イオン交換装置２８ｂは図示しない電磁開閉弁によって切り替えられて使用される。

第１イオン交換装置２８ａ又は第２イオン交換装置２８ｂに導入された清水は、イオンが交換されて純水に精製される。清水がイオン交換されて精製された純水には、第１イオン交換装置２８ａ及び第２イオン交換装置２８ｂを構成するイオン交換樹脂の樹脂屑等の微細な物質が混入されている場合がある。このため、清水がイオン交換されて精製された純水を精密フィルタ３０に導入し、この精密フィルタ３０によって純水に混入されている樹脂屑等の微細な物質を補足する。

純水精製装置２０によって精製された純水は、図示しない配管を介して純水温度調整装置３２に送られる。純水温度調整装置３２に送られた純水は、ここで所定温度（例えば２３℃）に調整され、配管を介して図示しない切削装置等の加工装置に装備される加工液供給装置に送られる。

３４は加工廃液処理装置２を制御するコントローラであり、コントローラ３４は廃液処理開始情報等の処理情報を入力する操作盤３６を有している。操作盤３６には、処理情報等を入力する入力部３８と、コントローラ３４による処理情報を表示するディスプレイ４０が設けられている。

次に、図２乃至図５を参照して、本発明実施形態に係る紫外線分解装置２６について詳細に説明する。図２を参照すると、紫外線分解装置２６から紫外線ランプ６６を取り出した状態の紫外線分解装置２６の縦断面図が示されている。

紫外線分解装置２６は、紫外線を遮光する材料で形成された廃液収容器４２を備えている。廃液収容器４２は、廃液導入口４４と、廃液排出口４６と、紫外線ランプ収容器５０の挿入口４８を有している。

紫外線ランプ収容器５０は廃液収容器４２の中に隙間を持って設置され、紫外線を透過する材料から形成されている。廃液収容器４２と紫外線ランプ収容器５０との間には廃液収容室５２が画成されている。

ポンプ５４を駆動することにより、廃液（図１の説明では清水）が矢印Ａに示すように廃液導入口４４を介して廃液収容室５２内に導入され、紫外線照射によって処理された廃液が矢印Ｂに示すように廃液排出口４６から排出される。

紫外線ランプ収容器５０は、紫外線ランプの出し入れを許容する紫外線ランプ搬入出口５２ａを有している。廃液収容器４２には電源に接続された電源側コネクタ（コンセント）５６が搭載されている。廃液収容器４２には更に、電源側コネクタ５６に隣接してインターロック機構６５を構成する雌型コネクタ５８が搭載されている。

カバー６０が蝶番６２により回動可能に廃液収容器４２に取り付けられている。カバー６０は、紫外線ランプ収容器５０への紫外線ランプ６６の出し入れを阻害する図３に示した閉位置と、紫外線ランプ収容器５０への紫外線ランプ６６の出し入れを可能とする図２に示した開位置との間で選択的に位置付け可能である。カバー６０にはインターロック機構６５を構成する雄型コネクタ６４が配設されている。

紫外線ランプ６６はランプ側コード６８を介してランプ側コネクタ（プラグ）７０に接続されている。紫外線ランプ６６は廃液収容器４２に形成した紫外線ランプ収容器５０の挿入口４８の内径よりも僅かばかり小さな外径を有する大径部６７を有している。

図３に示すように、紫外線ランプ６６を紫外線ランプ収容器５０内に収容してランプ側コネクタ７０を電源側コネクタ５６に嵌合し、更にカバー６０を閉めてインターロック機構６５の雄側コネクタ６４を雌側コネクタ５８に嵌合すると、図４及び図５に示すような電源７２及びスイッチ７４を含んだ電気回路が形成される。電源７２及びスイッチ７４は図１に示す操作盤３６に配設されている。

よって、操作盤３６に設けられたスイッチ７４をオンすることにより閉回路が形成され、紫外線ランプ６６が点灯し紫外線を照射する。この紫外線は紫外線を透過する材料で形成された紫外線ランプ収容器５０を透過して、廃液収容室５２内の廃液に照射され、廃液に含まれる有機物を紫外線照射により分解する。

尚、図５に示した電流経路を参照すると明らかなように、廃液収容器４２には電源側コネクタ５６を電源に接続するための回路と、電源側コネクタ５６をインターロック機構６５の雌型コネクタ５８に接続するための回路がパターニングされている。また、カバー６０にはインターロック機構６５の雄型コネクタ６４を電源７２の負極に接続するための回路がパターニングされている。

ランプ側コード６８の長さは、ランプ側コネクタ７０と電源側コネクタ５６とを嵌合した際に、紫外線ランプ６６が紫外線ランプ収容器５０に収容された状態でないとカバー６０を図３及び図５に示す閉位置に位置づけることができない長さに設定されている。

これは、紫外線ランプ６６を紫外線ランプ収容器５０内に収容しないでカバー６０を閉じた場合に、ランプ側コード６８が長いとランプ側コード６８をカバー６０と廃液収容器４２との間に挟んだ状態でインターロック機構６５が動作してしまう恐れがあるので、このような恐れを完全に防止しようとする観点から設定されているものである。

本実施形態の紫外線分解装置２６では、インターロック機構６５を設けたために、紫外線ランプ６６を紫外線ランプ収容器５０内に収容し、ランプ側コネクタ７０を電源側コネクタ５６に嵌合しても、カバー６０を開いた状態でスイッチ７４をオンしたとしても、インターロック機構６５が接続されないため閉回路が形成されず、カバー６０を開けた状態で誤って紫外線ランプ６６が点灯されることがない。

紫外線ランプ６６を点灯させるためには、カバー６０を必ず閉めてインターロック機構６５を接続して閉回路を形成する必要があるため、例えば紫外線ランプ６６の交換作業を行う際などに紫外線ランプ６６が人体に紫外線を照射し得る位置で動作することを確実に防止することができ、安全に紫外線ランプを交換できる安全機構を提供することができる。

２加工廃液処理装置
２６紫外線分解装置
３６操作盤
４２廃液収容器
５０紫外線ランプ収容器
５２廃液収容室
５４ポンプ
５６電源側コネクタ
５８雌型コネクタ
６０カバー
６４雄型コネクタ
６５インターロック機構
６６紫外線ランプ
６８ランプ側コード
７０ランプ側コネクタ
７２電源
７４スイッチ

Claims

廃液に含まれる有機物を紫外線照射により分解する紫外線分解装置であって、
紫外線を遮光する材料で形成された廃液収容器と、
該廃液収容器の中に隙間をもって設置され、紫外線を透過する材料で形成された紫外線ランプ収容器と、
該廃液収容器と該紫外線ランプ収容器との間の空間に廃液を流動させるポンプと、
該紫外線ランプ収容器の一部に設けられ、該紫外線ランプ収容器に該紫外線ランプの出し入れを許容する紫外線ランプ搬入出口と、
該紫外線ランプ収容器への該紫外線ランプの出し入れを阻害する閉位置と、該紫外線ランプ収容器への該紫外線ランプの出し入れを可能とする開位置との間で選択的に位置付け可能なカバーと、
電源と、
該電源及び該紫外線ランプに接続され、該紫外線ランプを選択的に該電源に通電して発光させるスイッチと、
該電源と該スイッチと該紫外線ランプとが直列に接続された電気回路上に設置され、該カバーが開位置に位置づけられている際に該電気回路を遮断し、該カバーが閉位置に位置づけられた際に該電気回路を接続して閉回路とするインターロック機構と、
を具備したことを特徴とする紫外線分解装置。
一端が該紫外線ランプに接続されたランプ側コードと、
該ランプ側コードの他端に接続されたランプ側コネクタと、
該電源に接続され、該ランプ側コネクタに選択的に係合可能な電源側コネクタとを更に具備し、
該電源側コネクタは、該カバーが閉位置に位置づけられた際に該カバーの内側に位置するように配置され、
該ランプ側コードの長さは、該ランプ側コネクタと該電源側コネクタとが係合した際に、該紫外線ランプが該紫外線ランプ収容器に収容された状態でないと該カバーを閉位置に位置づけることができない長さに設定されている請求項１記載の紫外線分解装置。