DE102011086469A1

DE102011086469A1 - Prüfverfahren

Info

Publication number: DE102011086469A1
Application number: DE102011086469A
Authority: DE
Inventors: Bong-Ha HWANG
Original assignee: Koh Young Technology Inc
Current assignee: Koh Young Technology Inc
Priority date: 2010-11-20
Filing date: 2011-11-16
Publication date: 2012-07-05
Anticipated expiration: 2031-11-17
Also published as: DE102011086469B4; KR101595547B1; TWI551857B; JP5715033B2; CN102564345B; US9092843B2; TW201233998A; CN102564345A; US20120128231A1; JP2012112951A; KR20120054689A

Abstract

Zum Prüfen einer Platine wird zuerst ein Messbereich auf einer Platine eingestellt, und Referenzdaten und Messdaten des Messbereichs werden erfasst. Dann wird durch eine Blockeinheit eine Mehrzahl von Merkmalsblöcken erstellt, um eine vorbestimmte Form in den Messbereich einzubeziehen, und durch Vermischen von Merkmalsblöcken, die sich in den Merkmalsblöcken überlappen, wird ein vermischter Block erstellt. Danach wird durch Vergleichen von Referenzdaten und Messdaten, die einem Merkmalsblock mit Ausnahme des vermischten Blocks und/oder dem vermischten Block entsprechen, ein Verzerrungsgrad erfasst, und der Verzerrungsgrad wird kompensiert, um einen Prüfbereich im Zielmessbereich einzustellen. Somit kann ein Prüfbereich, in dem die Verzerrung kompensiert wird, korrekt eingestellt werden.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
GEBIET DER ERFINDUNG
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung betreffen ein Prüfverfahren. Insbesondere betreffen Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung ein Prüfverfahren für eine Platine.
ERÖRTERUNG DES HINTERGRUNDS
Im Allgemeinen wird in einer elektronischen Vorrichtung mindestens eine Leiterplatte (printed circuit board – PCB) eingesetzt, und verschiedene Schaltungselemente, wie z. B. ein Schaltungsmuster, ein Anschlusspadteil, ein mit dem Anschlusspadteil elektrisch verbundener Treiberchip etc., sind auf der PCB montiert.
Typischerweise wird ein Formmessgerät verwendet, um zu prüfen, ob die verschiedenen Schaltungselemente auf der Leiterplatte gut ausgebildet oder konfiguriert sind oder nicht.
Bei einem herkömmlichen Formmessgerät wird ein vorbestimmter Prüfbereich eingestellt, um zu prüfen, ob Schaltungselemente im Prüfbereich gut ausgebildet sind oder nicht. Bei einem herkömmlichen Verfahren zum Einstellen eines Prüfbereichs wird einfach ein Bereich, in dem sich theoretisch Schaltungselemente befinden, als Prüfbereich eingestellt.
Wenn der Prüfbereich an einem korrekten Ort eingestellt ist, wird eine Messung eines gewünschten Schaltungselements gut durchgeführt. Bei einem Messziel, wie z. B. einer PCB, kann jedoch eine Verwindung, wie z. B. eine Wölbung, Verdrehung etc., einer Grundplatte erzeugt werden. Somit wird bei dem herkömmlichen Verfahren zum Einstellen eines Prüfbereichs der Prüfbereich nicht korrekt an einem gewünschten Ort eingestellt, und ein Ort, der einem Bild entspricht, das in einer Kamera eines Bilderaufnahmeteils erfasst wird, weicht ein wenig von einem Ort ab, wo ein Schaltungselement tatsächlich vorhanden ist. Somit muss ein Prüfbereich die Verwindung des Messziels kompensieren.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung stellen ein Prüfverfahren bereit, das in der Lage ist, einen Prüfbereich, in dem die Verwindung eines Messziels kompensiert wird, einzustellen und ein Merkmalsobjekt, bei dem die Fehlidentifikationswahrscheinlichkeit eliminiert wird, korrekt auszuwählen.
Zusätzliche Merkmale der Erfindung werden in der folgenden Beschreibung dargelegt und ergeben sich zum Teil aus der Beschreibung oder erschließen sich durch die Praktizierung der Erfindung.
Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung offenbart ein Prüfverfahren. Das Prüfverfahren beinhaltet das Einstellen eines Messbereichs auf einer Platine, das Erfassen von Referenzdaten und Messdaten des Messbereichs, das Erstellen einer Mehrzahl von Merkmalsblöcken durch eine Blockeinheit, um eine vorbestimmte Form in den Messbereich einzubeziehen, das Erstellen eines vermischten Blocks durch Vermischen von Merkmalsblöcken, die sich in den Merkmalsblöcken überlappen, das Erfassen eines Verzerrungsgrads durch Vergleichen der Referenzdaten und Messdaten, die einem Merkmalsblock mit Ausnahme des vermischten Blocks und/oder dem vermischten Block entsprechen, und das Kompensieren des Verzerrungsgrads, um einen Prüfbereich im Zielmessbereich einzustellen.
Bei einem Ausführungsbeispiel kann die vorbestimmte Form im Messbereich mindestens eines eines gebogenen Musters und eines Lochmusters beinhalten.
Das Erstellen einer Mehrzahl von Merkmalsblöcken durch eine Blockeinheit, um eine vorbestimmte Form in den Messbereich einzubeziehen, kann das Finden eines Ortes einer Ecke eines der vorbestimmten Form entsprechenden gebogenen Schaltungsmusters und das Erstellen eines Randbereichs der Ecke des gebogenen Schaltungsmusters und das Erstellen der durch den erstellten Randbereich definierten Merkmalsblöcke beinhalten. Das Erstellen eines vermischten Blocks durch Vermischen von Merkmalsblöcken, die sich in den Merkmalsblöcken überlappen, kann das Vermischen von Randbereichen der sich überlappenden Merkmalsblöcke und das Erstellen des vermischten Blocks durch Extrahieren eines minimalen Vierecks der vermischten Randbereiche beinhalten.
Das Erfassen eines Verzerrungsgrads durch Vergleichen der Referenzdaten und Messdaten, die einem Merkmalsblock mit Ausnahme des vermischten Blocks und/oder dem vermischten Block entsprechenden, kann das Extrahieren eines Vergleichsblocks aus dem Merkmalsblock mit Ausnahme des vermischten Blocks und/oder dem vermischten Block und das Erfassen eines Verzerrungsgrads durch Vergleichen der Referenzdaten und der Messdaten, die dem extrahierten Vergleichsblock entsprechenden, miteinander beinhalten.
Bei einem Ausführungsbeispiel kann der extrahierte Vergleichsblock Plural sein, und die Vergleichsblöcke können so extrahiert werden, dass sie gleichmäßig im Messbereich verteilt sind.
Bei einem anderen Ausführungsbeispiel kann der extrahierte Vergleichsblock Plural sein, und eine größere Punktzahl kann dem Merkmalsblock oder dem vermischten Block gegeben werden, der einen kleineren Formunterschied zwischen den Referenzdaten und den Messdaten aufweist, bezogen auf den Merkmalsblock mit Ausnahme des vermischten Blocks und/oder den vermischten Block. Der Vergleichsblock kann basierend auf der Punktzahl extrahiert werden.
Der Verzerrungsgrad kann als quantitative Umrechnungsformel zwischen den Referenzdaten und den Messdaten, die dem Vergleichsblock entsprechen, erfasst werden, und die quantitative Umrechnungsformel kann unter Verwendung mindestens einer/s der folgenden: einer Ortsänderung, einer Neigungsänderung, einer Größenänderung und eines Transformationsgrads, die durch Vergleichen der Referenzdaten und der Messdaten, die dem Vergleichsblock entsprechenden, miteinander erfasst werden, bestimmt werden.
Im Fall, dass die Zahl der vermischten Merkmalsblöcke größer oder gleich einer vorbestimmten Referenzzahl ist, kann der durch die vermischten Merkmalsblöcke erfasste vermischte Block vom Extrahieren des Vergleichsblocks ausgeschlossen sein.
Die vorbestimmte Form jedes Merkmalsblocks kann einen zweidimensionalen Identifikator aufweisen, so dass die Fehlidentifikationswahrscheinlichkeit aufgrund einer umgebenden Form eliminiert wird.
Erfindungsgemäß werden durch eine Blockeinheit Merkmalsblöcke erstellt, um eine vorbestimmte Form in einen auf einer Platine eingestellten Messbereich FOV einzubeziehen, und durch Vermischen sich überlappender Merkmalsblöcke unter den Merkmalsblöcken wird ein vermischter Block erstellt, wodurch durch Vergleichen von Referenzdaten RI und Messdaten PI ein Verzerrungsgrad erfasst wird und der Verzerrungsgrad kompensiert wird. Daher kann ein Prüfbereich korrekter eingestellt werden.
Zusätzlich werden die sich überlappenden Merkmalsblöcke vermischt, um die Fehlidentifikationswahrscheinlichkeit zwischen ähnlichen Formen zu eliminieren. Somit kann ein Merkmalsobjekt effektiver ausgewählt werden.
Zusätzlich wird nach dem gleichmäßigen Verteilen der Merkmalsblöcke auf einer Platine ein Verzerrungsgrad erfasst und kompensiert, um dadurch einen Prüfbereich korrekter einzustellen.
Zusätzlich kann basierend auf dem wie oben beschrieben eingestellten Messbereich FOV eine Arbeit, wie z. B. eine Prüfung von Bauteilen, durchgeführt werden, um dadurch korrekter zu beurteilen, ob die Platine gut oder schlecht ist.
Es versteht sich, dass sowohl die vorstehende allgemeine Beschreibung als auch die folgende detaillierte Beschreibung beispielhaft und erläuternd sind und zwecks der weiter gehenden Erläuterung der beanspruchten Erfindung bereitgestellt sind.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Die anliegenden Zeichnungen, die zwecks des weiter gehenden Verständnisses der Erfindung beigeschlossen sind und in diese Beschreibung integriert sind und einen Teil derselben bilden, stellen Ausführungsformen der Erfindung dar und dienen zusammen mit der Beschreibung dazu, die Prinzipien der Erfindung zu erläutern.
1 ist ein Flussdiagramm, das ein Prüfverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung darstellt.
2 ist eine Draufsicht, die Referenzdaten bei dem in 1 gezeigten Prüfverfahren darstellt.
3 ist eine Draufsicht, die Messdaten bei dem in 1 gezeigten Prüfverfahren darstellt.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER DARGESTELLTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Die vorliegende Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen, in denen Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung gezeigt sind, umfassender beschrieben. Die vorliegende Erfindung kann jedoch in vielen unterschiedlichen Formen ausgeführt sein und sollte nicht als auf die hierin dargelegten Ausführungsbeispiele beschränkt ausgelegt werden. Vielmehr sind diese Ausführungsbeispiele zwecks der Gründlichkeit und Vollständigkeit der Offenbarung bereitgestellt und vermitteln dem Fachmann den Umfang der vorliegenden Erfindung umfassend. In den Zeichnungen können die Größen und relativen Größen der Schichten und Bereiche zwecks Klarheit übertrieben sein.
Es versteht sich, dass, wenn gesagt wird, dass ein Element oder eine Schicht „auf”, „verbunden mit” oder „gekoppelt mit” einem anderen Element oder einer anderen Schicht vorliegt, diese(s) direkt auf, verbunden oder gekoppelt mit dem anderen Element oder der anderen Schicht sein kann, oder dazwischen liegende Elemente oder Schichten vorhanden sein können. Im Gegensatz dazu sind, wenn gesagt wird, dass ein Element „direkt auf”, „direkt verbunden mit” oder „direkt gekoppelt mit” einem anderen Element oder einer anderen Schicht vorliegt, keine dazwischen liegenden Elemente oder Schichten vorhanden. Ähnliche Bezugszeichen beziehen sich durchgehend auf ähnliche Elemente. Im Rahmen dieser Schrift beinhaltet der Ausdruck „und/oder” jede und alle Kombinationen) eines oder mehrerer der zugehörigen aufgezählten Elemente.
Es versteht sich, dass, obwohl die Begriffe erster, zweiter, dritter etc. hierin verwendet sein können, um verschiedene Elemente, Bauteile, Bereiche, Schichten und/oder Abschnitte zu beschreiben, diese Elemente, Bauteile, Bereiche, Schichten und/oder Abschnitte nicht auf diese Begriffe beschränkt sein sollten. Diese Begriffe werden nur verwendet, um ein Element, Bauteil, einen Bereich, eine Schicht oder einen Abschnitt von einem anderen Bereich, einer anderen Schicht oder einem anderen Abschnitt zu unterscheiden. Somit könnte ein erstes Element, Bauteil, erster Bereich, eine erste Schicht oder ein erster Abschnitt, wenn unten erörtert, als zweites Element, Bauteil, zweiter Bereich, zweite Schicht oder zweiter Abschnitt bezeichnet werden, ohne von den Lehren der vorliegenden Erfindung abzugehen.
Räumlich relative Begriffe, wie z. B. „unterhalb”, „unter”, „unterer”, „über”, „oberer” und dergleichen, können hierin zur Vereinfachung der Beschreibung verwendet sein, um die Beziehung eines Elements oder Merkmals zu einem anderen Element/anderen Elemente oder einem anderen Merkmal/anderen Merkmalen, wie in den Figuren dargestellt, zu beschreiben. Es versteht sich, dass die räumlich relativen Begriffe verschiedene Ausrichtungen der in Benutzung oder Betrieb befindlichen Vorrichtung, zusätzlich zur in den Figuren abgebildeten Ausrichtung, einschließen sollen. Wenn beispielsweise die Vorrichtung in den Figuren umgedreht wird, wären Elemente, die als „unter” oder „unterhalb” anderer Elemente oder Merkmale beschrieben sind, dann „über” den anderen Elementen oder Merkmalen ausgerichtet. Somit kann der beispielhafte Begriff „unter” sowohl eine Ausrichtung über als auch eine Ausrichtung unter einschließen. Die Vorrichtung kann anderweitig ausgerichtet sein (um 90 Grad gedreht oder mit anderen Ausrichtungen), und die hierin verwendeten räumlich relativen Deskriptoren können entsprechend interpretiert werden.
Die hierin verwendete Terminologie dient nur dem Zweck der Beschreibung bestimmter Ausführungsbeispiele und soll für die vorliegende Erfindung nicht beschränkend sein. Im Rahmen dieser Schrift sollen die Singularformen „ein/eine/eines” und „der/die/das” auch die Pluralformen beinhalten, sofern der Kontext nicht eindeutig dagegen spricht. Es versteht sich ferner, dass die Begriffe „umfasst” und/oder „umfassend” bei Verwendung in dieser Beschreibung das Vorhandensein der genannten Merkmale, ganzen Zahlen, Schritte, Vorgänge, Elemente und/oder Bauteile konstatieren, jedoch nicht das Vorhandensein oder die Hinzufügung eines oder mehrerer anderer Merkmale, ganzer Zahlen, Schritte, Vorgänge, Elemente, Bauteile und/oder Gruppen derselben ausschließen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind hierin unter Bezugnahme auf Querschnittsdarstellungen beschrieben, die schematische Darstellungen idealisierter Ausführungsbeispiele (und Zwischenstrukturen) der vorliegenden Erfindung sind. Somit ist mit Abweichungen von den Formen der Darstellungen, beispielsweise infolge von Herstellungstechniken und/oder Toleranzen, zu rechnen. Somit sollten Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung nicht als auf die bestimmten Formen von hierin dargestellten Bereichen beschränkt ausgelegt werden, sondern Abweichungen in den Formen, die beispielsweise aus der Herstellung resultieren, sollen einbezogen sein. Beispielsweise weist ein implantierter Bereich, der als Rechteck dargestellt ist, typischerweise gerundete oder gekrümmte Merkmale und/oder einen Implantationskonzentrationsgradienten an seinen Kanten statt einer binären Änderung vom implantierten zum nicht-implantierten Bereich auf. In ähnlicher Weise kann ein durch Implantation ausgebildeter vergrabener Bereich eine gewisse Implantation im Bereich zwischen dem vergrabenen Bereich und der Oberfläche, durch welche die Implantation stattfindet, zur Folge haben. Somit sind die in den Figuren dargestellten Bereiche ihrer Natur nach schematisch und ihre Formen sollen nicht die tatsächliche Form eines Bereichs einer Vorrichtung darstellen und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht beschränken.
Sofern nicht anderweitig definiert, haben alle hierin verwendeten Begriffe (einschließlich technischer und wissenschaftlicher Begriffe) die gleiche Bedeutung, die üblicherweise von einem Fachmann auf dem Gebiet, zu dem die Erfindung gehört, verstanden wird. Es versteht sich ferner, dass Begriffe, wie z. B. solche, die in üblicherweise verwendeten Wörterbüchern definiert sind, mit einer Bedeutung interpretiert werden sollten, die mit ihrer Bedeutung im Kontext des relevanten Fachgebiets übereinstimmt, und nicht in einem idealisierten oder übermäßig förmlichen Sinne interpretiert werden, sofern hierin nicht ausdrücklich so definiert.
Nachstehend werden unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung detailliert beschrieben.
1 ist ein Flussdiagramm, das ein Prüfverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung darstellt. 2 ist eine Draufsicht, die Referenzdaten bei dem in 1 gezeigten Prüfverfahren darstellt. 3 ist eine Draufsicht, die Messdaten bei dem in 1 gezeigten Prüfverfahren darstellt.
Bezug nehmend auf 1 bis 3, wird zum Einstellen eines Prüfbereichs, in dem die Verwindung kompensiert wird, gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung in Schritt S110 zuerst ein Messbereich FOV auf der Platine eingestellt.
Der Messbereich FOV gibt einen vorbestimmten Bereich an, der auf der Platine eingestellt ist, um zu prüfen, ob die Platine schlecht ist oder nicht, und kann beispielsweise basierend auf einem „Gesichtsfeld” einer in einem Prüfgerät, wie z. B. einem dreidimensionalen Formmessgerät, installierten Kamera definiert sein.
Dann werden in Schritt S120 Referenzdaten RI und Messdaten PI des Messbereichs FOV erfasst.
Die Referenzdaten RI können beispielsweise einer theoretischen Draufsicht auf die Platine, wie in 2 gezeigt, entsprechen. Bei einem Ausführungsbeispiel können die Referenzdaten RI aus CAD-Informationen oder Gerber-Informationen erhalten werden, in denen eine Form der Platine aufgezeichnet ist. Die CAD-Informationen oder die Gerber-Informationen können Designinformationen der Platine beinhalten und beinhalten typischerweise Konfigurationsinformationen eines Pads 10, eines Schaltungsmusters 30, eines Lochmusters 40 etc.
Bei einem anderen Ausführungsbeispiel können die Referenzdaten RI aus in einem Lernmodus erhaltenen Lerninformationen erfasst werden. Der Lernmodus kann durch Prozesse realisiert werden, wie beispielsweise das Suchen von Platineninformationen in einer Datenbank, das Erkennen einer unbestückten Platine im Fall, dass die Platineninformationen nicht in der Datenbank sind, und das Speichern der Platineninformationen in der Datenbank nach dem Erzeugen der Platineninformationen durch das Erkennen der unbestückten Platine. Das heißt, im Lernmodus wird eine unbestückte Platine einer PCB erkannt und Designreferenzinformationen der PCB werden erfasst und die Referenzdaten RI können durch Erhalten der Lerninformationen durch den Lernmodus erfasst werden.
Die Messdaten PI können beispielsweise ein reales aufgenommenes Bild für eine PCB sein, auf dem ein auf der Platine montiertes Bauteil 20, ein Anschlusspunkt 22, eine an dem Bauteil 20 ausgebildete Polanzeige 24, ein Schaltungsmuster 30, ein Loch 42 etc. gezeigt sind. Die Messdaten PI weisen, wie in 3 gezeigt, das gleiche Bild auf wie die in 2 gezeigten Referenzdaten, mit Ausnahme zusätzlicher Elemente, wie z. B. des Bauteils 20. Aufgrund von Wölbung, Verdrehung etc. der Platine sind die Messdaten PI jedoch gegenüber den Referenzdaten RI verzerrt.
Bei einem Ausführungsbeispiel können die Messdaten PI durch das Beleuchten des Messbereichs FOV unter Verwendung des Beleuchtungsabschnitts des Prüfgeräts und das Aufnehmen eines durch das bereitgestellte Licht reflektierten Bildes unter Verwendung einer im Prüfgerät installierten Kamera erfasst werden. Alternativ können die Messdaten PI durch das Projizieren von Gittermusterlicht auf den Messbereich FOV unter Verwendung eines Gittermusterprojektionsabschnitts des Prüfgeräts, das Aufnehmen eines durch das projizierte Gittermusterlicht reflektierten Bildes zum Erhalt von Daten für eine dreidimensionale Form und das Mitteln der Daten für die dreidimensionale Form erfasst werden.
Dann wird in Schritt S130 durch eine Blockeinheit eine Mehrzahl von Merkmalsblöcken erstellt, um eine vorbestimmte Form in den Messbereich FOV einzubeziehen.
Um durch Vergleichen der Referenzdaten RI mit den Messdaten PI, was später beschrieben wird, einen Verzerrungsgrad zu erfassen, ist ein Vergleichsziel erforderlich, und das Vergleichsziel ist als Merkmalsobjekt definiert. Im vorliegenden Schritt wird das Merkmalsobjekt als Merkmalsblock einer Blockeinheit erstellt.
Die vorbestimmte Form jedes Merkmalsblocks kann einen zweidimensionalen Identifikator aufweisen, der in der Lage ist, eine zweidimensionale Ebene zu definieren, so dass die Fehlidentifikationswahrscheinlichkeit aufgrund einer umgebenden Form eliminiert wird. Der zweidimensionale Identifikator kann beispielsweise in verschiedener Weise eine gebogene Linie, ein Viereck, einen Kreis, Kombinationen derselben etc. beinhalten, und eine gerade Linie kann nicht in den zweidimensionalen Identifikator einbezogen sein, weil die gerade Linie nicht in der Lage ist, eine zweidimensionale Ebene zu definieren.
Wenn die Referenzdaten RI und die Messdaten PI miteinander verglichen werden, kann eine Ecke eines gebogenen Musters, ein Kreis, ein Loch etc., die herkömmlicherweise als Merkmalsobjekt dienen, durch eine Ecke eines benachbarten gebogenen Mustern, einen benachbarten Kreis bzw. ein benachbartes Loch etc. fehlidentifiziert werden.
Im Fall, dass der Merkmalsblock als Merkmalsobjekt dient statt nur eine Ecke eines gebogenen Musters, einen Kreis 40, ein Loch 42 etc. als Merkmalsobjekt zu erstellen, weist somit der Merkmalsblock die vorbestimmte Form auf, und die vorbestimmte Form ist sehr verschiedenartig, und somit kann die Fehlidentifizierungswahrscheinlichkeit stark reduziert werden.
Die vorbestimmte Form kann beispielsweise mindestens eines eines gebogenen Musters und eines Lochmusters aufweisen.
Die Mehrzahl von Merkmalsblöcken kann wie folgt erstellt werden. Nach dem Finden eines Ortes einer Ecke eines der vorbestimmten Form entsprechenden gebogenen Schaltungsmusters wird ein Randbereich der Ecke des gebogenen Schaltungsmusters erstellt und die durch den erstellten Randbereich definierten Merkmalsblöcke werden erstellt.
Bei einem Ausführungsbeispiel, wie in 3 gezeigt, können erste bis achte Merkmalsblöcke FB1, FB2, FB3, FB4, FB5, FB6, FB7 und FB8 erstellt werden.
Danach wird in Schritt S140 durch Vermischen von Merkmalsblöcken, die sich in den Merkmalsblöcken überlappen, ein vermischter Block erstellt.
Zum Erstellen des vermischten Blocks werden zuerst Randbereiche der sich überlappenden Merkmalsblöcke vermischt und dann wird durch Extrahieren eines minimalen Vierecks der vermischten Randbereiche der vermischte Block erstellt.
Bei einem Ausführungsbeispiel, wie in 3 gezeigt, kann durch Vermischen der sich überlappenden ersten und zweiten Merkmalsblöcke FBI und FB2 ein erster vermischter Block MB1 erstellt werden und durch Vermischen der sich überlappenden dritten und vierten Merkmalsblöcke FB3 und FB4 kann ein zweiter vermischter Block MB2 erstellt werden.
Wie in 2 und 3 gezeigt, können die Merkmalsblöcke in den Referenzdaten RI erstellt werden und der vermischte Block der Merkmalsblöcke kann in den Messdaten PI erstellt werden. Anders ausgedrückt, können die Merkmalsblöcke in den Referenzdaten RI erstellt werden und eine dazu passende Form mit einer Form innerhalb der Merkmalsblöcke kann in den Messdaten PI gefunden werden. Alternativ können die Merkmalsblöcke in den Messdaten PI erstellt werden und der vermischte Block der Merkmalsblöcke kann in den Referenzdaten RI erstellt werden.
Obwohl die Form innerhalb des Merkmalsblocks, ausgedrückt in den Messdaten PI, gegenüber den Referenzdaten RI aufgrund von Wölbung und Verdrehung der Platine etwas abweicht, kann im Fall, dass der vermischte Block erstellt wird und die Messdaten PI und die Referenzdaten RI durch eine Einheit des vermischten Blocks miteinander verglichen werden, wie oben beschrieben, die Fehlidentifikationswahrscheinlichkeit aufgrund einer ähnlichen umgebenden Form stark reduziert werden.
Insbesondere im Fall des Erstellens eines Merkmalsblocks, innerhalb dessen die gleiche Form wiederholt vorkommt, kann beim Vergleichen der Formen in dem Merkmalsblock, der den Referenzdaten RI und den Messdaten PI entspricht, miteinander ein Fehler auftreten, dass ein Objekt, das in der Lage ist, als Vergleichsziel zu dienen, falsch identifiziert wird. Im Fall, dass der vermischte Block erstellt wird und die Messdaten PI und die Referenzdaten RI durch eine Einheit des vermischten Blocks miteinander verglichen werden, wie oben beschrieben, kann jedoch die Fehlidentifikationswahrscheinlichkeit aufgrund einer ähnlichen umgebenden Form stark reduziert werden.
Da der erste Merkmalsblock FB1 und der zweite Merkmalsblock FB2 einander ähnliche Formen aufweisen, kann es beispielsweise im Fall, dass die Form innerhalb des Merkmalsblocks der Messdaten PI gegenüber der Form innerhalb des Merkmalsblocks der Referenzdaten RI aufgrund von Wölbung und Verdrehung der Platine etwas abweicht, wahrscheinlich sein, einander fehlzuidentifizieren. Beim Vergleichen unter Verwendung eines ersten vermischten Blocks MB1 kann jedoch die Fehlidentifikationswahrscheinlichkeit stark reduziert werden.
Danach wird in Schritt S150 durch Vergleichen der Referenzdaten und Messdaten, die einem Merkmalsblock mit Ausnahme des vermischten Blocks und/oder dem vermischten Block entsprechen, ein Verzerrungsgrad erfasst.
In 3 kann durch Vergleichen der Referenzdaten RI und der Messdaten PI, die den Merkmalsblöcken FB5, FB6, FB7 und FB8 mit Ausnahme der vermischten Blöcke MB1 und MB2 und/oder den vermischten Blöcken MB1 und MB2 entsprechen, ein Verzerrungsgrad erfasst werden.
Ein Zielblock zum Vergleichen der Referenzdaten RI und der Messdaten PI miteinander (nachfolgend als „Vergleichsblock” bezeichnet) wird aus den Blöcken extrahiert, und dann kann unter Verwendung des extrahierten Vergleichsblocks der Verzerrungsgrad erfasst werden.
In 3 kann nach dem Extrahieren des Vergleichsblocks aus den Merkmalsblöcken FB5, FB6, FB7 und FB8 mit Ausnahme der vermischten Blöcke MB1 und MB2 und/oder den vermischten Blöcken MB und MB2 durch Vergleichen der Referenzdaten RI und der Messdaten PI, die dem extrahierten Vergleichsblock entsprechen, ein Verzerrungsgrad erfasst werden.
Bei einem Ausführungsbeispiel kann der extrahierte Vergleichsblock Plural sein, und die Vergleichsblöcke können so extrahiert werden, dass sie gleichmäßig im Messbereich FOV verteilt sind. Die gleichmäßige Verteilung im Messbereich FOV kann durch eine Arbeit, wie z. B. eine Bildverarbeitung nach verschiedenen geometrischen Kriterien, definiert sein. Im Fall, dass die Referenzzahl vier ist und der Messbereich FOV eine rechteckig Form aufweist, kann beispielsweise der Merkmalsblock, der jeder Ecke des Messbereichs FOV am nächsten ist, extrahiert werden, um als Vergleichsblock zu dienen, und das Übrige ist von der Extraktion ausgeschlossen.
In 3 kann beispielsweise der Vergleichsblock als der erste vermischte Block MB1, der fünfte Merkmalsblock FB5 und der siebente Merkmalsblock FB7 extrahiert werden.
Insbesondere wird, im Fall, dass der Messbereich FOV eine rechteckige Form aufweist, der rechteckig geformte Messbereich FOV in 9 Teilrechtecke eines 3 × 3-Rasters unterteilt, und danach kann vorzugsweise der Merkmalsblock, der in dem jeder Ecke entsprechenden Teilrechteck vorhanden ist, als Vergleichsblock extrahiert werden. Somit können die Vergleichsblöcke so extrahiert werden, dass sie gleichmäßig im Messbereich FOV verteilt sind.
Bei einem anderen Ausführungsbeispiel kann der extrahierte Vergleichsblock Plural sein. Die Referenzdaten RI und die Messdaten PI werden miteinander verglichen, um eine Punktzahl zu geben, und dann können die Vergleichsblöcke basierend auf der gegebenen Punktzahl extrahiert werden.
In 3 ist eine größere Punktzahl dem Merkmalsblock oder dem vermischten Block gegeben, der einen kleineren Formunterschied zwischen den Referenzdaten RI und den Messdaten PI aufweist, bezogen auf die Merkmalsblöcke FB5, FB6, FB7 und FB8 mit Ausnahme der vermischten Blöcke MB1 und MB2 und/oder die vermischten Blöcke MB1 und MB2. Das heißt, die Punktzahl kann einen Grad der Formübereinstimmung beim Vergleichen der Referenzdaten RI mit den Messdaten PI ausdrücken.
Die Punktzahl kann beispielsweise basierend auf der Zahl übereinstimmender Pixel beim Definieren der Form als eine Einheit eines Pixels, einem Grad der Übereinstimmung in mindestens einem von Intensität. Sättigung und Farbton beim Vergleichen der Referenzdaten RI und der Messdaten PI, einem Transformationsgrad und einem Winkel erstellt werden. Bezüglich eines Lochs kann die Punktzahl basierend auf einem Grad, in dem eine Form des Lochs in x- und y-Richtungen transformiert ist, erstellt werden. In diesem Fall können die Blöcke, die eine hohe Punktzahl aufweisen, als Vergleichsblock erstellt werden.
Im Fall, dass die Zahl der vermischten Merkmalsblöcke größer oder gleich einer vorbestimmten Referenzzahl ist, kann der durch die vermischten Merkmalsblöcke erfasste vermischte Block vom Extrahieren des Vergleichsblocks ausgeschlossen sein. Wenn die Zahl der vermischten Merkmalsblöcke zunimmt, nimmt auch die Größe des vermischten Blocks zu. Dementsprechend nimmt die Zeit des Vergleichens der Referenzdaten RI mit den Messdaten PI, die dem vermischten Block entsprechen, stark zu. Somit kann der vermischte Block, der durch die Merkmalsblöcke größer oder gleich der Referenzzahl gebildet ist, von der Extraktion des Vergleichsblocks ausgeschlossen werden. Die Referenzzahl kann beispielsweise drei oder vier sein.
Aus ähnlichen Gründen wird im Fall, dass die Größen der Merkmalsblöcke gleich sind, vorzugsweise der nicht vermischte Merkmalsblock extrahiert, kann der vermischte Block in der Reihenfolge der Kleinheit der vermischten Zahl des vermischten Blocks extrahiert werden. Zusätzlich kann im Fall, dass die Größen der Merkmalsblöcke voneinander abweichen, der Merkmalsblock vorzugsweise in der Reihenfolge der kleinen Größe desselben extrahiert werden.
Zum Extrahieren des Vergleichsblocks können ein erstes Kriterium des Extrahierens, um gleichmäßig im Messbereich FOV verteilt zu sein, ein zweites Kriterium des Verwendens der Punktzahl und ein drittes Kriterium des Berücksichtigens der Größe des Merkmalsblocks, die oben beschrieben sind, selektiv oder vollständig angewandt werden. Zusätzlich können Kombinationen der Kriterien berücksichtigt werden oder die Kriterien können gemäß einer bevorzugten Reihenfolge nacheinander berücksichtigt werden.
Bei einem Ausführungsbeispiel können zum Extrahieren des Vergleichsblocks, ob sich der Merkmalsblock am Eckbereich des Messbereichs FOV befindet, die Punktzahl und die Größe des Merkmalsblocks nacheinander berücksichtigt werden, und der Merkmalsblock kann dementsprechend ausgewählt und extrahiert werden.
Der Verzerrungsgrad kann als Umrechnungsbeziehung zwischen den Referenzdaten RI und den Messdaten PI, die dem Vergleichsblock entsprechen, ausgedruckt werden, und die Umrechnungsbeziehung kann eine quantitative Umrechnungsformel zwischen den Referenzdaten RI und den Messdaten PI beinhalten.
Die Messdaten PI sind aufgrund von Wölbung, Verdrehung etc. der Platine gegenüber den Referenzdaten RI, die den theoretischen Referenzinformationen entsprechen, verzerrt. Die Umrechnungsformel entspricht einer Formel, welche die Referenzdaten RI und die Messdaten PI ineinander umrechnet, um einen Grad der Verzerrung, d. h. den Verzerrungsgrad, auszudrücken. Die quantitative Umrechnungsformel kann unter Verwendung mindestens einer/s der folgenden: einer Ortsänderung, einer Neigungsänderung, einer Größenänderung und eines Transformationsgrads, die durch Vergleichen der Referenzdaten RI und der Messdaten PI, die dem Vergleichsblock entsprechen, miteinander erfasst werden, bestimmt werden.
Die Umrechnungsformel kann beispielsweise unter Verwendung der Gleichung 1 erhalten werden. P_CADf(tm) = P_real Gleichung 1
In der Gleichung 1 ist P_CAD eine Koordinate eines Ziels in den CAD-Informationen oder Gerber-Informationen, d. h. eine Koordinate in den Referenzdaten RI, f(tm) entspricht der Umrechnungsformel, die als Umrechnungsmatrix oder Transfermatrix dient, und P_real ist eine Koordinate des Ziels in den Messdaten PI, die durch eine Kamera erfasst wird. Wenn die theoretische Koordinate P_CAD in den Referenzdaten RI und die reale Koordinate P_real in den Messdaten PI gefunden sind, kann die Umrechnungsmatrix bekannt sein.
Die Umrechnungsmatrix kann beispielsweise eine Koordinatenumrechnungsmatrix gemäß einer affinen Umrechnung oder einer perspektivischen Umrechnung beinhalten, in welcher die Punkt-zu-Punkt-Beziehung als Form erster Ordnung in einem n-dimensionalen Raum ausgedrückt ist. Um die Koordinatenumrechnungsmatrix zu definieren, kann die Zahl der Vergleichsblöcke korrekt erfasst werden, beispielsweise mehr als oder gleich drei im Fall einer affinen Umrechnung und mehr als oder gleich vier im Fall einer perspektivischen Umrechnung.
Dann wird in Schritt S160 der Verzerrungsgrad kompensiert, um einen Prüfbereich im Zielmessbereich einzustellen.
Da der Verzerrungsgrad einen in den Messdaten PI gegenüber den Referenzdaten RI erzeugten Grad der Verzerrung angibt, kann durch Kompensieren des Verzerrungsgrads die Form im Prüfbereich einer realen Form für die Platine ähnlicher sein. Der Prüfbereich kann für den gesamten Bereich des Messbereichs FOV eingestellt werden und kann nur für einen vorbestimmten Bereich des Messbereichs FOV eingestellt werden.
Nach dem Kompensieren des Verzerrungsgrads, um den Prüfbereich in den Messdaten PI einzustellen, kann korrekt geprüft werden, ob ein Bauteil im Prüfbereich schlecht ist oder nicht. Bei der Prüfung können die Messdaten PI verwendet werden, die zuvor im Schritt des Erfassens der Messdaten PI für den Messbereich FOV (Schritt S130) erfasst werden.
Danach kann selektiv verifiziert werden, ob der eingestellte Prüfbereich gültig ist oder nicht. Für die Verifizierung kann der Merkmalsblock oder der vermischte Block, der nicht als Vergleichsblock dient, verwendet werden.
Gemäß dem oben Gesagten werden durch eine Blockeinheit Merkmalsblöcke erstellt, um eine vorbestimmte Form in einen auf einer Platine eingestellten Messbereich FOV einzubeziehen, und durch Vermischen sich überlappender Merkmalsblöcke unter den Merkmalsblöcken wird ein vermischter Block erstellt, wodurch durch Vergleichen von Referenzdaten RI und Messdaten PI ein Verzerrungsgrad erfasst wird und der Verzerrungsgrad kompensiert wird. Daher kann ein Prüfbereich korrekter eingestellt werden.
Zusätzlich werden die sich überlappenden Merkmalsblöcke vermischt, um die Fehlidentifikationswahrscheinlichkeit zwischen ähnlichen Formen zu eliminieren. Somit kann ein Merkmalsobjekt effektiver ausgewählt werden.
Zusätzlich kann basierend auf dem wie oben beschrieben eingestellten Messbereich FOV eine Arbeit, wie z. B. eine Prüfung von Bauteilen, durchgeführt werden, um dadurch korrekter zu beurteilen, ob die Platine gut oder schlecht ist.
Wie oben beschrieben, beinhaltet das Platinenprüfgerät eine Mehrzahl von Arbeitsstufen und führt unabhängig eine Platinenprüfung für jede Arbeitsstufe aus, um dadurch die für das Prüfen der Platine benötigte Zeit stark zu reduzieren. Zusätzlich ist ein Optikmodulbewegungsteil zum Bewegen eines Optikmoduls einschließlich Projektionsteile über dem Optikmodul angeordnet, und ein Bildaufnahmeteil, das ein von dem Projektionsteil erzeugtes Gittermusterlicht empfängt, ist an einem Seitenabschnitt des Projektionsteils angeordnet, um einen Raum zu sichern, der aufgrund des Installierens der Arbeitsstufen klein wird.
Es ist für den Fachmann offensichtlich, dass in der vorliegenden Erfindung verschiedene Abwandlungen und Veränderungen vorgenommen werden können, ohne vom Geist oder Umfang der Erfindung abzugehen. Es ist somit beabsichtigt, dass die vorliegende Erfindung die Abwandlungen und Veränderungen dieser Erfindung abdeckt, vorausgesetzt sie fallen in den Umfang der beigefügten Ansprüche und ihrer Äquivalente.

Claims

Prüfverfahren, umfassend: Einstellen eines Prüfbereichs auf einer Platine; Erfassen von Referenzdaten und Messdaten des Messbereichs; Erstellen einer Mehrzahl von Merkmalsblöcken durch eine Blockeinheit, um eine vorbestimmte Form in den Messbereich einzubeziehen; Erstellen eines vermischten Blocks durch Vermischen von Merkmalsblöcken, die sich in den Merkmalsblöcken überlappen; Erfassen eines Verzerrungsgrads durch Vergleichen von Referenzdaten und Messdaten, die einem Merkmalsblock mit Ausnahme des vermischten Blocks und/oder dem vermischten Block entsprechen; und Kompensieren des Verzerrungsgrads, um einen Prüfbereich im Zielmessbereich einzustellen.
Prüfverfahren nach Anspruch 1, wobei die vorbestimmte Form im Messbereich mindestens eines eines gebogenen Musters und eines Lochmusters beinhaltet.
Prüfverfahren nach Anspruch 1, wobei das Erstellen einer Mehrzahl von Merkmalsblöcken durch eine Blockeinheit, um eine vorbestimmte Form in den Messbereich einzubeziehen, beinhaltet: Finden eines Ortes einer Ecke eines gebogenen Schaltungsmusters, das der vorbestimmten Form entspricht; und Erstellen eines Randbereichs der Ecke des gebogenen Schaltungsmusters und Erstellen der durch den erstellten Randbereich definierten Merkmalsblöcke.
Prüfverfahren nach Anspruch 3, wobei das Erstellen eines vermischten Blocks durch Vermischen von Merkmalsblöcken, die sich in den Merkmalsblöcken überlappen, beinhaltet: Vermischen von Randbereichen der sich überlappenden Merkmalsblöcke; und Erstellen des vermischten Blocks durch Extrahieren eines minimalen Vierecks der vermischten Randbereiche.
Prüfverfahren nach Anspruch 1, wobei das Erfassen eines Verzerrungsgrads durch Vergleichen von Referenzdaten und Messdaten, die einem Merkmalsblock mit Ausnahme des vermischten Blocks und/oder dem vermischten Block entsprechen, beinhaltet: Extrahieren eines Vergleichsblocks aus dem Merkmalsblock mit Ausnahme des vermischten Blocks und/oder dem vermischten Block; und Erfassen eines Verzerrungsgrads durch Vergleichen der Referenzdaten und der Messdaten, die dem extrahierten Vergleichsblock entsprechen, miteinander.
Prüfverfahren nach Anspruch 5, wobei der extrahierte Vergleichsblock Plural ist und die Vergleichsblöcke so extrahiert werden, dass sie gleichmäßig im Messbereich verteilt sind.
Prüfverfahren nach Anspruch 5, wobei der extrahierte Vergleichsblock Plural ist und wobei eine größere Punktzahl dem Merkmalsblock oder dem vermischten Block gegeben wird, der einen kleineren Formunterschied zwischen den Referenzdaten und den Messdaten aufweist, bezogen auf den Merkmalsblock mit Ausnahme des vermischten Blocks und/oder den vermischten Block, und wobei der Vergleichsblock basierend auf der Punktzahl extrahiert wird.
Prüfverfahren nach Anspruch 5, wobei der Verzerrungsgrad als quantitative Umrechnungsformel zwischen den Referenzdaten und den Messdaten, die dem Vergleichsblock entsprechen, erfasst wird und die quantitative Umrechnungsformel unter Verwendung mindestens einer/s der folgenden: einer Ortsänderung, einer Neigungsänderung, einer Größenänderung und eines Transformationsgrads, die durch Vergleichen der Referenzdaten und der Messdaten, die dem Vergleichsblock entsprechen, miteinander erfasst werden, bestimmt wird.
Prüfverfahren nach Anspruch 5, wobei im Fall, dass die Zahl der vermischten Merkmalsblöcke größer oder gleich einer vorbestimmten Referenzzahl ist, der durch die vermischten Merkmalsblöcke erfasste vermischte Block vom Extrahieren des Vergleichsblocks ausgeschlossen wird.
Prüfverfahren nach Anspruch 1, wobei die vorbestimmte Form jedes Merkmalsblocks einen zweidimensionalen Identifikator aufweist, so dass die Fehlidentifikationswahrscheinlichkeit aufgrund einer umgebenden Form eliminiert wird.