JP4951496B2 - 画像生成方法及びその画像生成装置 - Google Patents
画像生成方法及びその画像生成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4951496B2 JP4951496B2 JP2007333426A JP2007333426A JP4951496B2 JP 4951496 B2 JP4951496 B2 JP 4951496B2 JP 2007333426 A JP2007333426 A JP 2007333426A JP 2007333426 A JP2007333426 A JP 2007333426A JP 4951496 B2 JP4951496 B2 JP 4951496B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- pattern
- imaging
- image generation
- design data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T11/00—2D [Two Dimensional] image generation
- G06T11/60—Editing figures and text; Combining figures or text
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2200/00—Indexing scheme for image data processing or generation, in general
- G06T2200/32—Indexing scheme for image data processing or generation, in general involving image mosaicing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データを記憶すること、撮像位置を変えて前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データを記憶すること、前記複数枚の分割画像データと前記設計データファイルの設計データとを用いて前記複数枚の分割画像データを1枚の画像に連結することを特徴とするものである。
電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データ記憶手段と、撮像位置を変えて前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データ記憶手段と、前記複数枚の分割画像データと前記設計データファイルの設計データとを用いて前記複数枚の分割画像データを1枚の画像に連結する画像連結手段とを備えることを特徴とするものである。
電子デバイスパターンを撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像する電子デバイスを撮像する位置に移動させる撮像位置制御手段と、電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データ記憶手段と、撮像位置を変えて前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データを記憶する分割画像データ記憶手段と、該分割画像データ記憶手段に格納されている前記複数枚の分割画像データと前記設計データ記憶手段の設計データとを用いて複数枚の分割画像データを1枚の画像に連結する画像連結手段とを備え、
前記撮像位置制御手段は前記設計データを基に撮像する条件を変更することを特徴とするものである。
電子デバイスパターンを撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像する電子デバイスを撮像する位置に移動させる撮像位置制御手段と、前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データを記憶する分割画像データを記憶する分割画像データ記憶手段と、
該分割画像データ記憶手段に格納されている複数枚の分割画像データを用いて1枚の画像データに連結する画像連結手段とを備え、前記撮像位置制御手段は、検査する範囲及び前記撮像手段の撮像分解能の情報を基に画像連結処理が必要か否かを判定し、撮像位置の設定を行うことを特徴とするものである。
2 画像処理部
10 偏向制御手段
11 ステージコントローラ
12 A/D変換器
21,25 画像メモリ
22 画像連結手段
23 設計データ記憶手段
24 撮像位置変更手段
26 パターン登録部
27 システム情報記憶部
30 表示手段
40 座標指示部
50 取得画像範囲指示部
60画像連結処理通知手段
100 電子銃
101 2次電子検出器
102 試料
103 XYステージ
104 電子線
105 コンデンサレンズ
106 偏向器
107 ExB偏向器
108 対物レンズ
221 画素生成部
222 膨張処理部
223,227 マッチング処理部
224 制約幅算出部
225 制約幅記憶部
226 メモリ
228 連結画像生成部
500 基準座標系
501 パターン
2201 基準位置合せ部
2202 画像位置ズレ補正部
Claims (13)
- 電子顕微鏡を用いた電子デバイスパターンの画像生成方法において、
電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データを記憶すること、
撮像位置を変えて前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データを記憶すること、
前記複数枚の分割画像データと前記設計データファイルの設計データとの間の位置合わせを行う第一のマッチング処理を実施すること、
当該第一のマッチング処理が施された隣接する分割画像データ間の位置合わせを行う第二のマッチング処理を実施することによって、前記複数枚の分割画像データを1枚の画像に連結することを特徴とする画像生成方法。 - 請求項1の画像生成方法において、
前記画像連結を行うに際して、前記電子デバイスパターンを隣り合う画像領域が重なる重複領域を設けることを特徴とする画像生成方法。 - 請求項1の画像生成方法において、
前記画像連結を行うに際して、前記第一のマッチング処理で、前記第二のマッチング処理で用いるパラメータを求めることを特徴とする画像生成方法。 - 請求項1の画像生成方法において、
前記画像連結を行うに際して、第一のマッチング処理で求める第二のマッチング処理のパラメータは基準位置及び検索範囲に関する情報であることを特徴とする画像生成方法。 - 電子顕微鏡を用いた電子デバイスパターンの画像生成装置であって、
電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データ記憶手段と、
撮像位置を変えて前記デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データ記憶手段と、
前記複数枚の分割画像データと前記設計データファイルの設計データとの間の位置合わせを行う第一のマッチング処理を実施し、当該第一のマッチング処理が施された隣接する分割画像データ間の位置合わせを行う第二のマッチング処理を実施することによって、前記複数枚の分割画像データを1枚の画像に連結する画像連結手段とを備えることを特徴とする画像生成装置。 - 請求項5の画像生成装置において、
前記画像連結手段は、前記電子デバイスパターンを隣り合う画像領域が重なる重複領域を設けて、前記マッチング処理を行うことを特徴とする画像生成装置。 - 請求項5の画像生成装置において、
前記画像連結手段は、前記第一のマッチング手段で、前記第二のマッチング手段で用いるパラメータを求めることを特徴とする画像生成装置。 - 請求項5の画像生成装置において、
前記画像連結手段の第一のマッチング手段で求める第二のマッチング手段のパラメータは基準位置及び検索範囲に関する情報であることを特徴とする画像生成装置。 - 電子顕微鏡を用いた電子デバイスパターンの画像生成装置において、
電子デバイスパターンを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で撮像する電子デバイスを撮像する位置に移動させる撮像位置制御手段と、
電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データ記憶手段と、
撮像位置を変えて前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データを記憶する分割画像データ記憶手段と、
該分割画像データ記憶手段に格納されている前記複数枚の分割画像データと、前記設計データ記憶手段の設計データとの間の位置合わせを行う第一のマッチング処理を実施し、当該第一のマッチング処理が施された隣接する分割画像データ間の位置合わせを行う第二のマッチング処理を実施することによって、複数枚の分割画像データを1枚の画像に連結する画像連結手段とを備え、
前記撮像位置制御手段は前記設計データを基に撮像する条件を変更することを特徴とする画像生成装置。 - 請求項9の画像生成装置において、
前記撮像位置制御手段は、撮像する条件を変える際、予め撮像する画像のパターンを含む設計データを用いて、重複領域となる領域の特徴量を求めて判定し、特徴量が特定の閾値より小さい場合は特徴量がより大きくなる重複領域の大きさを求めて、求めた重複領域の大きさとなるように撮像条件を変えて撮像することを特徴とする画像生成装置。 - 請求項10の画像生成装置において、
前記撮像位置制御手段では、前記重複領域に2以上の異なる方向の線があるか、或いはパターンの頂点座標が含まれるかを、前記閾値判定に基づいて決定することを特徴とする画像生成装置。 - 請求項11の画像生成装置において、
前記撮像位置制御手段は、撮像する画像のパターンを含む設計データを基に、特徴のあるパターンを検出し、画像間の重複領域になるように撮像条件を変えることを特徴とする画像生成装置。 - 請求項11の画像生成装置において、
前記撮像位置制御手段は、撮像する画像のパターンを含む設計データを基に、注目したい部分ついては、画像間の重複領域ではなく、画像の中央付近になるように撮像する位置を変えることを特徴とする画像生成装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007333426A JP4951496B2 (ja) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | 画像生成方法及びその画像生成装置 |
US12/344,000 US8577125B2 (en) | 2007-12-26 | 2008-12-24 | Method and apparatus for image generation |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007333426A JP4951496B2 (ja) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | 画像生成方法及びその画像生成装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011238165A Division JP2012042483A (ja) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 画像生成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009157543A JP2009157543A (ja) | 2009-07-16 |
JP4951496B2 true JP4951496B2 (ja) | 2012-06-13 |
Family
ID=40938920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007333426A Active JP4951496B2 (ja) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | 画像生成方法及びその画像生成装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8577125B2 (ja) |
JP (1) | JP4951496B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8071943B2 (en) * | 2009-02-04 | 2011-12-06 | Advantest Corp. | Mask inspection apparatus and image creation method |
US20120092482A1 (en) * | 2009-04-03 | 2012-04-19 | Shinichi Shinoda | Method and device for creating composite image |
JP5313069B2 (ja) * | 2009-07-17 | 2013-10-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査荷電粒子顕微鏡装置及びそれを用いたパターン寸法の計測方法 |
JP4982544B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2012-07-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 合成画像形成方法及び画像形成装置 |
JP5422411B2 (ja) * | 2010-01-22 | 2014-02-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置によって得られた画像データの輪郭線抽出方法、及び輪郭線抽出装置 |
JP2011221350A (ja) * | 2010-04-12 | 2011-11-04 | Advantest Corp | マスク検査装置及び画像生成方法 |
US20130170757A1 (en) * | 2010-06-29 | 2013-07-04 | Hitachi High-Technologies Corporation | Method for creating template for patternmatching, and image processing apparatus |
JP5604208B2 (ja) * | 2010-07-28 | 2014-10-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検出装置及びコンピュータプログラム |
KR101595547B1 (ko) * | 2010-11-20 | 2016-02-18 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사방법 |
JP5396496B2 (ja) * | 2012-02-13 | 2014-01-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 合成画像形成方法及び画像形成装置 |
JP5674868B2 (ja) * | 2013-07-03 | 2015-02-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査荷電粒子顕微鏡装置を用いたパターン撮像方法 |
JP6572117B2 (ja) * | 2015-12-04 | 2019-09-04 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡、画像貼り合わせ方法、プログラム |
US10091414B2 (en) * | 2016-06-24 | 2018-10-02 | International Business Machines Corporation | Methods and systems to obtain desired self-pictures with an image capture device |
CN110969674B (zh) * | 2019-11-15 | 2023-02-21 | 广东智媒云图科技股份有限公司 | 一种生成绕线画的方法、装置、终端设备及可读存储介质 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3230911B2 (ja) * | 1993-11-04 | 2001-11-19 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡及びその画像形成方法 |
US7796801B2 (en) * | 1999-08-26 | 2010-09-14 | Nanogeometry Research Inc. | Pattern inspection apparatus and method |
JP2001128106A (ja) | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Minolta Co Ltd | 撮像装置 |
JP2003098112A (ja) | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Hitachi Ltd | 薄膜デバイスの表面画像の検出・出力方法及びその装置並びにそれを用いた薄膜デバイスの製造方法及びその製造装置 |
JP2004021578A (ja) * | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Nikon Gijutsu Kobo:Kk | 画像処理方法 |
JP2004333446A (ja) | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 外観検査方法、外観検査装置、そのプログラム及びその記録媒体 |
JP2005010042A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Olympus Corp | 検査装置 |
JP2005079274A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パターン欠陥検査方法および装置 |
JP4154374B2 (ja) * | 2004-08-25 | 2008-09-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンマッチング装置及びそれを用いた走査型電子顕微鏡 |
US7456377B2 (en) * | 2004-08-31 | 2008-11-25 | Carl Zeiss Microimaging Ais, Inc. | System and method for creating magnified images of a microscope slide |
KR100723492B1 (ko) * | 2005-07-18 | 2007-06-04 | 삼성전자주식회사 | 디스플레이 드라이버 집적회로 장치와 필름 및 이들을포함하는 모듈 |
JP2007122118A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像連結方法 |
JP2008026101A (ja) * | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Toshiba Corp | パターンの検査方法、パターンの検査装置および電子デバイスの製造方法 |
-
2007
- 2007-12-26 JP JP2007333426A patent/JP4951496B2/ja active Active
-
2008
- 2008-12-24 US US12/344,000 patent/US8577125B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8577125B2 (en) | 2013-11-05 |
JP2009157543A (ja) | 2009-07-16 |
US20090202137A1 (en) | 2009-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4951496B2 (ja) | 画像生成方法及びその画像生成装置 | |
US8173962B2 (en) | Pattern displacement measuring method and pattern measuring device | |
JP4659004B2 (ja) | 回路パターン検査方法、及び回路パターン検査システム | |
US20190228522A1 (en) | Image Evaluation Method and Image Evaluation Device | |
JP4554691B2 (ja) | 補正パターン画像生成装置、パターン検査装置および補正パターン画像生成方法 | |
KR101342203B1 (ko) | Sem을 이용한 결함 검사 방법 및 장치 | |
JP5771561B2 (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
KR101828124B1 (ko) | 패턴 평가 방법 및 패턴 평가 장치 | |
KR101623135B1 (ko) | 패턴 평가 장치 및 패턴 평가 방법 | |
KR101588367B1 (ko) | 하전 입자선 장치 | |
JP5198654B2 (ja) | 合成画像作成方法及び装置 | |
KR20130108413A (ko) | 하전 입자선 장치 | |
JP4970569B2 (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
US8559697B2 (en) | Mask inspection apparatus and image generation method | |
WO2009151105A1 (ja) | パターン検査方法,パターン検査装置及びパターン処理装置 | |
JP2010145145A (ja) | 回路パターン検査装置および検査方法およびテストパターン | |
JP2010153277A (ja) | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による画像取得条件決定方法 | |
JP5198546B2 (ja) | 回路パターン検査方法、及び回路パターン検査システム | |
JP2012042483A (ja) | 画像生成装置 | |
WO2012101695A1 (ja) | パターン観察装置,レシピ作成装置,レシピ作成方法 | |
JP4409850B2 (ja) | 三次元座標測定装置及び方法 | |
JP2000251824A (ja) | 電子ビーム装置及びそのステージ移動位置合せ方法 | |
JP6027362B2 (ja) | 半導体の輪郭線データを広視野化する画像処理装置、及びコンピュータプログラム | |
JP4409861B2 (ja) | 三次元座標測定装置及び方法 | |
KR20190086730A (ko) | 하전 입자선 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110830 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120214 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120312 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150316 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4951496 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |