JP5198654B2 - 合成画像作成方法及び装置 - Google Patents
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Description
27…電子線照射回数算出部 28…画像記憶部 231…マッチング処理部 232…合成部 251…平滑化処理部 252…2値化処理部 253…膨張処理部 254…マッチング処理部 255…テンプレートパターン記憶部 256…膨張処理部 261…平滑化処理部 262…2値化処理部 263…領域抽出部 264…領域複写変形部 265…画像貼付処理部 266…連結成分抽出部 267…閉図形塗潰し部 268…膨張処理部 2671…連結成分選択部 2672…閉図形生成部 2673…塗潰し部 2641…画像選択部 2642…バイリニア補間部 2643…記憶部 s0…位置情報 s1…画像データ s2…パターン部位 s3…変形量測定位置
Claims (20)
- 走査電子顕微鏡による画像を繋ぎ合わせて1つの画像を生成する合成画像作成方法において、
電子デバイスのパターンを含む撮像対象を複数の領域に分割し、該領域毎に画像を撮像し、該撮像した画像を画像メモリに格納するステップと、
前記画像の撮像位置を記憶するステップと、
前記画像の撮像順序を記憶するステップと、
前記撮像位置及び前記撮像順序に基づいて前記画像メモリから取り出した複数の画像を接合する画像合成ステップと、
を有し、
前記画像合成ステップでは、隣接する2つの画像の縁に設けた接合領域同士が重畳するように、且つ、隣接する2つの画像のうち、撮像順序が遅い画像の接合領域が消え、撮像順序が早い画像の接合領域が残るように、画像を接合することを特徴とする合成画像作成方法。 - 請求項1記載の合成画像作成方法において、
前記撮像順序は、撮像対象上の複数の領域について、隣接する領域を連続して撮像しないように、設定されていることを特徴とする合成画像作成方法。 - 請求項1記載の合成画像作成方法において、前記画像合成ステップにおける画像の接合順序は、前記撮像順序とは逆の順であることを特徴とする合成画像作成方法。
- 請求項1記載の合成画像作成方法において、
電子線の照射に起因した電子デバイスのパターンの変形に関する情報を変形情報記憶装置に記憶するステップと、
前記パターンの変形に関する情報に基づいて、前記画像の接合領域における前記パターンを補正するパターン補正ステップと、
を有する合成画像作成方法。 - 請求項4記載の合成画像作成方法において、
前記パターン補正ステップにおいて、前記2つの画像のうち、撮像順序が遅い画像の接合領域におけるパターンの変形が、撮像順序が早い画像におけるパターンの変形量と同一となるように、前記撮像順序が遅い画像のパターンを補正することを特徴とする合成画像作成方法。 - 請求項4記載の合成画像作成方法において、
前記パターンの変形に関する情報は、電子線照射回数と前記パターンの変形量を含むことを特徴とする合成画像作成方法。 - 請求項4記載の合成画像作成方法において、
前記パターンの変形に関する情報は、複数回の撮像によって得たテストパターンの画像の差分情報に基づいて作成することを特徴とする合成画像作成方法。 - 請求項4記載の合成画像作成方法において、
前記パターンの変形に関する情報は、撮像順序の早い撮像画像の接合領域を基準に、撮像順序の遅い撮像画像の接合領域の差分情報に基づいて作成することを特徴とする合成画像作成方法。 - 請求項4記載の合成画像作成方法において、
前記パターン補正ステップは、
前記画像の接合領域における前記パターンの像の部位を検出するパターン部位検出ステップと、
前記パターン部位における変形量を前記変形情報記憶装置から読み出すステップと、
前記パターン部位における変形量に基づいて前記パターンを補正するステップと、を有することを特徴とする合成画像作成方法。 - 請求項9記載の合成画像作成方法において、
前記パターン部位検出ステップは、
設計データから前記パターンに対応するテンプレートパターンを生成するテンプレートパターン生成ステップと、
前記接合領域を2値化する2値化ステップと、
前記テンプレートパターン生成ステップによって得たテンプレートと前記2値化ステップによって得た2値化画像データをマッチングさせるマッチングステップと、
を有することを特徴とする合成画像作成方法。 - 請求項10記載の合成画像作成方法において、
前記パターン部位検出ステップは、更に、
前記テンプレートの輪郭を膨脹させる膨脹化ステップと、
前記2値化画像データの輪郭を膨脹させる膨脹化ステップと、
を有し、前記マッチングステップは、前記膨脹化した画像データをマッチングさせることを特徴とする合成画像作成方法。 - 電子デバイスのパターンを含む撮像対象の走査電子顕微鏡像を取得するための撮像装置と、該撮像装置によって取得した画像データを記憶する画像メモリと、該画像メモリに格納された画像を繋ぎ合わせて1つの画像を生成する画像処理部と、を有する合成画像作成装置において、
前記画像処理部は、前記撮像装置によって撮像された画像の撮像位置及び撮像順序を記憶する記憶部と、前記パターンの設計データを記憶する設計データ記憶部と、前記画像メモリに格納されている複数の画像を接合して1枚の画像を生成する画像合成部と、を有し、
前記画像合成部は、前記撮像位置及び前記撮像順序に基づいて前記画像メモリから取り出した複数の画像を、隣接する2つの画像の縁に設けた接合領域同士が重畳するように、接合し、
更に、隣接する2つの画像のうち、撮像順序が遅い画像の接合領域が消え、撮像順序が早い画像の接合領域が残るように、画像を接合することを特徴とする合成画像作成装置。 - 請求項12記載の合成画像作成装置において、
前記撮像順序は、撮像対象上の複数の領域について、隣接する領域を連続して撮像しないように、設定されていることを特徴とする合成画像作成装置。 - 請求項12記載の合成画像作成装置において、前記画像合成部における画像の接合順序は、前記撮像順序とは逆の順であることを特徴とする合成画像作成装置。
- 請求項12記載の合成画像作成装置において、
前記記憶部は、電子線の照射に起因した電子デバイスのパターンの変形に関する情報を格納しており、
前記画像合成部は、前記パターンの変形に関する情報に基づいて、前記画像の接合領域における前記パターンを補正することを特徴とする合成画像作成装置。 - 請求項12記載の合成画像作成装置において、
前記画像合成部は、前記2つの画像のうち、撮像順序が遅い画像の接合領域におけるパターンの変形が、撮像順序が早い画像におけるパターンの変形量と同一となるように、前記撮像順序が遅い画像のパターンを補正することを特徴とする合成画像作成装置。 - 請求項15記載の合成画像作成装置において、
前記パターンの変形に関する情報は、電子線照射回数と前記パターンの変形量を含むことを特徴とする合成画像作成装置。 - 請求項15記載の合成画像作成装置において、
前記パターンの変形に関する情報は、複数回の撮像によって得たテストパターンの画像の差分情報に基づいて作成することを特徴とする合成画像作成装置。 - 請求項15記載の合成画像作成装置において、
前記パターンの変形に関する情報は、撮像順序の早い撮像画像の接合領域を基準に、撮像順序の遅い撮像画像の接合領域の差分情報に基づいて作成することを特徴とする合成画像作成装置。 - 走査電子顕微鏡と該走査電子顕微鏡による画像を繋ぎ合わせて1つの画像を生成する合成画像作成装置を備えた走査電子顕微鏡装置において、
前記合成画像作成装置は、電子デバイスのパターンを含む撮像対象の走査電子顕微鏡像を記憶する画像メモリと、該画像メモリに格納された画像を繋ぎ合わせて1つの画像を生成する画像処理部と、
前記画像処理部は、前記走査電子顕微鏡によって撮像された画像の撮像位置及び撮像順序を記憶する記憶部と、前記パターンの設計データを記憶する設計データ記憶部と、前記画像メモリに格納されている複数の画像を接合して1枚の画像を生成する画像合成部と、を有し、
前記画像合成部は、前記撮像位置及び前記撮像順序に基づいて前記画像メモリから取り出した複数の画像を、隣接する2つの画像の縁に設けた接合領域同士が重畳するように、接合し、
更に、隣接する2つの画像のうち、撮像順序が遅い画像の接合領域が消え、撮像順序が早い画像の接合領域が残るように、画像を接合する走査電子顕微鏡装置。
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