JP5241302B2 - 特性分布解析方法および装置、基板分類方法および装置、上記特性分布解析方法または基板分類方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
特性分布解析方法および装置、基板分類方法および装置、上記特性分布解析方法または基板分類方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5241302B2 JP5241302B2 JP2008110221A JP2008110221A JP5241302B2 JP 5241302 B2 JP5241302 B2 JP 5241302B2 JP 2008110221 A JP2008110221 A JP 2008110221A JP 2008110221 A JP2008110221 A JP 2008110221A JP 5241302 B2 JP5241302 B2 JP 5241302B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- distribution
- feature
- characteristic
- group
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
それぞれ特性分布をもつ複数の基板からなる基板群について、上記基板を分類するための分類基準を作成する特性分布解析方法であって、
上記各基板の特性分布がもつ特徴を表す特徴分布の集合からなる第1層特徴分布群を作成する特徴分布群作成工程と、
上記各基板がもつ特性分布と上記各特徴分布との間の類似度を定量的に評価する類似度評価工程と、
上記類似度に基づいて、上記第1層特徴分布群に含まれた幾つかの特徴分布が同一の基板上に同時に出現する関連性を定量的に評価する関連性評価工程と、
上記関連性に基づいて、上記第1層特徴分布群のうちの幾つかの特徴分布を、それぞれの特徴分布の基板上での位置を維持しながら統合して、想定された基板上での新たな特徴分布を作成する特徴分布統合工程と、
上記新たな特徴分布と、上記第1層特徴分布群から上記統合の対象となった特徴分布を取り除いた残りの特徴分布群との集合を第2層特徴分布群とし、この第2層特徴分布群に対して上記類似度評価工程、関連性評価工程および特徴分布統合工程を順次繰り返し実行する階層構造作成工程と
を有する。
それぞれ特性分布をもつ複数の基板からなる基板群について、上記基板を分類するための分類基準を作成する特性分布解析装置であって、
上記各基板の特性分布がもつ特徴を表す特徴分布の集合からなる第1層特徴分布群を作成する特徴分布群作成部と、
上記各基板がもつ特性分布と上記各特徴分布との間の類似度を定量的に評価する類似度評価部と、
上記類似度に基づいて、上記第1層特徴分布群に含まれた幾つかの特徴分布が同一の基板上に同時に出現する関連性を定量的に評価する関連性評価部と、
上記関連性に基づいて、上記第1層特徴分布群のうちの幾つかの特徴分布を、それぞれの特徴分布の基板上での位置を維持しながら統合して、想定された基板上での新たな特徴分布を作成する特徴分布統合部と、
上記新たな特徴分布と、上記第1層特徴分布群から上記統合の対象となった特徴分布を取り除いた残りの特徴分布群との集合を第2層特徴分布群とする階層構造作成部と
を有する。
それぞれ特性分布をもつ複数の基板からなる基板群について、分類基準を用いて上記基板を分類する基板分類方法であって、
請求項1に記載の特性分布解析方法によって、上記分類基準として階層構造を持つ複数層の特徴分布群を作成し、
上記分類基準をなす上記特徴分布群に含まれた特徴分布と上記基板群に含まれた各基板上の特性分布とを比較して、上記特徴分布毎に上記基板を分類する。
それぞれ特性分布をもつ複数の基板からなる基板群について、分類基準を用いて上記基板を分類する基板分類装置であって、
請求項8に記載の特性分布解析装置を備え、この特性分布解析装置によって、上記分類基準として階層構造を持つ複数層の特徴分布群を作成し、
上記分類基準をなす上記特徴分布群に含まれた特徴分布と上記基板群に含まれた各基板上の特性分布とを比較して、上記特徴分布毎に上記基板を分類する分類処理部を備える。
202 欠陥
203,404,405,406 欠陥分布
301,302,…,305,502,602 特徴分布
700 特性分布解析装置
902 格子領域
G1 第1層特徴分布群
G2 第2層特徴分布群
G3 第3層特徴分布群
S101 特徴分布群作成処理
S102 類似度評価処理
S103 関連性評価処理
S104 特徴分布統合処理
S105 階層構造作成処理
Claims (15)
- それぞれ特性分布をもつ複数の基板からなる基板群について、上記基板を分類するための分類基準を作成する特性分布解析方法であって、
上記各基板の特性分布がもつ特徴を表す特徴分布の集合からなる第1層特徴分布群を作成する特徴分布群作成工程と、
上記各基板がもつ特性分布と上記各特徴分布との間の類似度を定量的に評価する類似度評価工程と、
上記類似度に基づいて、上記第1層特徴分布群に含まれた幾つかの特徴分布が同一の基板上に同時に出現する関連性を定量的に評価する関連性評価工程と、
上記関連性に基づいて、上記第1層特徴分布群のうちの幾つかの特徴分布を、それぞれの特徴分布の基板上での位置を維持しながら統合して、想定された基板上での新たな特徴分布を作成する特徴分布統合工程と、
上記新たな特徴分布と、上記第1層特徴分布群から上記統合の対象となった特徴分布を取り除いた残りの特徴分布群との集合を第2層特徴分布群とする階層構造作成工程と
を有する特性分布解析方法。 - 請求項1に記載の特性分布解析方法において、
上記階層構造作成工程によって得られた最上層の特徴分布群に対して上記類似度評価工程、関連性評価工程および特徴分布統合工程を順次繰り返し実行することを特徴とする特性分布解析方法。 - 請求項1または2に記載の特性分布解析方法において、
上記特徴分布群作成工程では、上記基板群の特性分布から互いに独立な分布を上記特徴分布として抽出することを特徴とする特性分布解析方法。 - 請求項1から3までのいずれか一つに記載の特性分布解析方法において、
上記類似度評価工程では、上記基板群の特性分布を表すベクトルから上記各特徴分布を表すベクトルへの射影によって上記類似度を評価することを特徴とする特性分布解析方法。 - 請求項1から4までのいずれか一つに記載の特性分布解析方法において、
上記関連性評価工程では、上記各基板がもつ特性分布と上記各特徴分布との間の上記類似度同士の間の相関係数を求め、上記相関係数に基づいて上記関連性を評価することを特徴とする特性分布解析方法。 - 請求項1から5までのいずれか一つに記載の特性分布解析方法において、
上記特徴分布統合工程では、上記第1層特徴分布群内で上記特徴分布の相互の関連性が最も大きい特徴分布の組を選択し、その組をなす特徴分布同士を統合して上記新たな特徴分布を作成することを特徴とする特性分布解析方法。 - 請求項1から6までのいずれか一つに記載の特性分布解析方法において、
上記特徴分布統合工程では、上記統合されるべき幾つかの特徴分布毎に、その特徴分布と上記各基板がもつ特性分布との間の類似度の平均値を算出し、上記統合されるべき幾つかの特徴分布がもつ特性値をそれぞれの特徴分布について算出された上記類似度の平均値で重み付けして加算することで、上記統合を行うことを特徴とする特性分布解析方法。 - 請求項2に記載の特性分布解析方法において、
上記最上層の特徴分布群に対して上記関連性評価工程を実行するとき、上記最上層の特徴分布群内でいずれの特徴分布同士の関連性も予め定めた閾値以下となるか、上記最上層の特徴分布群に含まれる特徴分布が1個になるまで、上記類似度評価工程、関連性評価工程および特徴分布統合工程を順次繰り返し実行することを特徴とする特性分布解析方法。 - それぞれ特性分布をもつ複数の基板からなる基板群について、上記基板を分類するための分類基準を作成する特性分布解析装置であって、
上記各基板の特性分布がもつ特徴を表す特徴分布の集合からなる第1層特徴分布群を作成する特徴分布群作成部と、
上記各基板がもつ特性分布と上記各特徴分布との間の類似度を定量的に評価する類似度評価部と、
上記類似度に基づいて、上記第1層特徴分布群に含まれた幾つかの特徴分布が同一の基板上に同時に出現する関連性を定量的に評価する関連性評価部と、
上記関連性に基づいて、上記第1層特徴分布群のうちの幾つかの特徴分布を、それぞれの特徴分布の基板上での位置を維持しながら統合して、想定された基板上での新たな特徴分布を作成する特徴分布統合部と、
上記新たな特徴分布と、上記第1層特徴分布群から上記統合の対象となった特徴分布を取り除いた残りの特徴分布群との集合を第2層特徴分布群とする階層構造作成部と
を有する特性分布解析装置。 - それぞれ特性分布をもつ複数の基板からなる基板群について、分類基準を用いて上記基板を分類する基板分類方法であって、
請求項1に記載の特性分布解析方法によって、上記分類基準として階層構造を持つ複数層の特徴分布群を作成し、
上記分類基準をなす上記特徴分布群に含まれた特徴分布と上記基板群に含まれた各基板上の特性分布とを比較して、上記特徴分布毎に上記基板を分類する基板分類方法。 - それぞれ特性分布をもつ複数の基板からなる基板群について、分類基準を用いて上記基板を分類する基板分類装置であって、
請求項9に記載の特性分布解析装置を備え、この特性分布解析装置によって、上記分類基準として階層構造を持つ複数層の特徴分布群を作成し、
上記分類基準をなす上記特徴分布群に含まれた特徴分布と上記基板群に含まれた各基板上の特性分布とを比較して、上記特徴分布毎に上記基板を分類する分類処理部を備えた基板分類装置。 - 請求項1に記載の特性分布解析方法をコンピュータに実行させるための特性分布解析プログラム。
- 請求項10に記載の基板分類方法をコンピュータに実行させるための基板分類プログラム。
- 請求項12に記載の特性分布解析プログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 請求項13に記載の基板分布プログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008110221A JP5241302B2 (ja) | 2008-04-21 | 2008-04-21 | 特性分布解析方法および装置、基板分類方法および装置、上記特性分布解析方法または基板分類方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008110221A JP5241302B2 (ja) | 2008-04-21 | 2008-04-21 | 特性分布解析方法および装置、基板分類方法および装置、上記特性分布解析方法または基板分類方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009260185A JP2009260185A (ja) | 2009-11-05 |
JP5241302B2 true JP5241302B2 (ja) | 2013-07-17 |
Family
ID=41387212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008110221A Active JP5241302B2 (ja) | 2008-04-21 | 2008-04-21 | 特性分布解析方法および装置、基板分類方法および装置、上記特性分布解析方法または基板分類方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5241302B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101595547B1 (ko) | 2010-11-20 | 2016-02-18 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사방법 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005309535A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-11-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 画像自動分類方法 |
-
2008
- 2008-04-21 JP JP2008110221A patent/JP5241302B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009260185A (ja) | 2009-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11921433B2 (en) | Optical metrology in machine learning to characterize features | |
US9335277B2 (en) | Region-of-interest determination apparatus, observation tool or inspection tool, region-of-interest determination method, and observation method or inspection method using region-of-interest determination method | |
JP5599387B2 (ja) | ウェハー上の欠陥を検出して検査結果を生成するシステム及び方法 | |
US9037280B2 (en) | Computer-implemented methods for performing one or more defect-related functions | |
KR20150140349A (ko) | 반도체 검사 레시피 생성, 결함 리뷰 및 계측을 위한 적응적 샘플링 | |
JP4694618B2 (ja) | 欠陥分布分類方法およびシステム、原因設備特定方法およびシステム、コンピュータプログラム、並びに記録媒体 | |
US6741941B2 (en) | Method and apparatus for analyzing defect information | |
US8081814B2 (en) | Linear pattern detection method and apparatus | |
JP2009010405A (ja) | 局所的外れ値の検出のための方法および装置 | |
CN111837228B (zh) | 用于检验的模式选择的方法和系统 | |
US7283659B1 (en) | Apparatus and methods for searching through and analyzing defect images and wafer maps | |
JP2009021348A (ja) | 異常要因特定方法およびシステム、上記異常要因特定方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
TWI836175B (zh) | 先進在線零件平均測試 | |
KR20210062713A (ko) | 설계 및 잡음 기반 케어 영역들 | |
JP4723544B2 (ja) | 基板分類方法および装置、基板分類方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
KR20210105335A (ko) | 반도체 시편에서의 결함들의 분류 | |
KR20170100710A (ko) | 반도체 장치의 결함 모델링 장치 및 방법, 이를 위한 컴퓨터 프로그램과, 이를 이용한 반도체 장치의 결함 검사 시스템 | |
JP2009098123A (ja) | 欠陥解析装置及び欠陥解析方法 | |
WO2010137463A1 (ja) | 検査結果解析方法および検査結果解析装置、異常設備検出方法および異常設備検出装置、上記検査結果解析方法または異常設備検出方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
CN113222884B (zh) | 检查样本的方法和其系统 | |
JP5241302B2 (ja) | 特性分布解析方法および装置、基板分類方法および装置、上記特性分布解析方法または基板分類方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
US8571299B2 (en) | Identifying defects | |
JP2000223385A (ja) | 電子デバイスの品質管理方法 | |
JP4948238B2 (ja) | 分布解析方法および装置、異常設備推定方法および装置、上記分布解析方法または異常設備推定方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP2007248198A (ja) | 特性分布の特徴量抽出方法および特性分布の分類方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130402 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160412 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5241302 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |