JP4694618B2 - 欠陥分布分類方法およびシステム、原因設備特定方法およびシステム、コンピュータプログラム、並びに記録媒体 - Google Patents
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Description
複数の工程を含む製造ラインにおいて処理される基板上の欠陥を抽出して分類する欠陥分布分類方法であって、
上記製造ラインは、所定の工程終了後に、各基板上の欠陥の位置を表す検査情報を取得する検査工程を含んでおり、
上記検査工程を経たm枚(ただし、mは2以上の自然数である。)の基板について各基板の表面をそれぞれn個(ただし、nは2以上の自然数である。)の領域に区画して、上記検査情報に基づいてそれぞれ上記各領域に含まれた欠陥密度を表す(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報を取得し、
上記(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報から統計的に互いに独立したp個(ただし、pはm未満の自然数である。)の、欠陥分布の特徴を表す特徴ベクトルを抽出し、
上記p個の特徴ベクトルと上記各基板の欠陥密度情報との間の相関係数、内積または共分散からなる類似度をそれぞれ求めて、上記類似度に応じて上記p個の特徴ベクトル毎に上記各基板を分類する。
上記欠陥密度情報は、上記m枚の基板についてのそれぞれn個の成分をもつ第1のベクトルの集合であり、
上記p個の特徴ベクトルはそれぞれn個の成分をもつ第2のベクトルであり、
上記類似度を、上記各基板についての第1のベクトルと上記p個の第2のベクトルとの相関係数、内積または共分散として求めることを特徴とする。
複数の工程を含む製造ラインにおいて処理される基板上の欠陥を抽出して分類する欠陥分布分類システムであって、
上記製造ラインは、所定の工程終了後に、各基板上の欠陥の位置を表す検査情報を取得する検査工程を含んでおり、
上記検査工程を経たm枚(ただし、mは2以上の自然数である。)の基板について各基板の表面をn個(ただし、nは2以上の自然数である。)の領域にそれぞれ区画して、上記検査情報に基づいてそれぞれ上記各領域に含まれた欠陥密度を表す(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報を取得する欠陥密度分布取得部と、
上記(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報から統計的に互いに独立したp個(ただし、pはm未満の自然数である。)の、欠陥分布の特徴を表す特徴ベクトルを抽出する特徴抽出部と、
上記p個の特徴ベクトルと上記各基板の欠陥密度情報との間の相関係数、内積または共分散からなる類似度をそれぞれ求めて、上記類似度に応じて上記p個の特徴ベクトル毎に上記各基板を分類する分類結果取得部とを備える。
基板に対して複数の工程を、それぞれその工程を実行可能な1機以上の設備を用いて実行する製造ラインにおいて不良発生の原因となった設備を特定する不良原因設備特定方法であって、
上記製造ラインは、所定の工程終了後に、各基板上の欠陥の位置を表す検査情報を取得する検査工程を含んでおり、
上記検査工程を経たm枚(ただし、mは2以上の自然数である。)の基板について各基板の表面をn個(ただし、nは2以上の自然数である。)の領域にそれぞれ区画して、上記検査情報に基づいてそれぞれ上記各領域に含まれた欠陥密度を表す(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報を取得し、
上記(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報から統計的に互いに独立したp個(ただし、pはm未満の自然数である。)の、欠陥分布の特徴を表す特徴ベクトルを抽出し、
上記p個の特徴ベクトルと上記各基板の欠陥密度情報との間の相関係数、内積または共分散からなる類似度をそれぞれ求めて、上記類似度に応じて上記p個の特徴ベクトル毎に上記各基板を分類し、
この得られた分類結果と、上記各基板に対して上記各工程でそれぞれ処理を実行した設備を特定する製造履歴情報とに基づいて、上記製造ラインの複数の設備のうち不良発生の原因となった原因設備を抽出する。
基板に対して複数の工程を、それぞれその工程を実行可能な1機以上の設備を用いて実行する製造ラインにおいて不良発生の原因となった設備を特定する不良原因設備特定システムであって、
上記製造ラインは、所定の工程終了後に、各基板上の欠陥の位置を表す検査情報を取得する検査工程を含んでおり、
上記検査工程を経たm枚(ただし、mは2以上の自然数である。)の基板について各基板の表面をn個(ただし、nは2以上の自然数である。)の領域にそれぞれ区画して、上記検査情報に基づいてそれぞれ上記各領域に含まれた欠陥密度を表す(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報を取得する欠陥密度分布取得部と、
上記(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報から統計的に互いに独立したp個(ただし、pはm未満の自然数である。)の、欠陥分布の特徴を表す特徴ベクトルを抽出する特徴抽出部と、
上記p個の特徴ベクトルと上記各基板の欠陥密度情報との間の相関係数、内積または共分散からなる類似度をそれぞれ求めて、上記類似度に応じて上記p個の特徴ベクトル毎に上記各基板を分類する分類結果取得部と、
この得られた分類結果と、上記各基板に対して上記各工程でそれぞれ処理を実行した設備を特定する製造履歴情報とに基づいて、上記製造ラインの複数の設備のうち不良発生の原因となった原因設備を抽出する原因設備抽出部とを備える。
t=t1,t2,…,tn
と表し、
時刻t1→領域1
時刻t2→領域2
…
時刻tn→領域n
と対応させるものとする。このような対応関係を考えれば、独立した要因s1,s2,s3の影響を受けて観測された3枚の基板(マイクに該当)の検査特性Xは、
いま、
2個目の特徴軸S2=(S21,S22,…,S2i,…,S2n)
3個目の特徴軸S3=(S31,S32,…,S3i,…,S3n)
ここで、基板1枚当たり10行×10列=100個の領域を考えた場合、n=100であり、S11,S12,…,S1i,…,S1nは、1個目の特徴軸を表す100個の成分を意味している。
X1=(x11,x12,…,x1i,…,x1n)
とするとき、上記検査基板の、例えば特徴軸S1に対する類似度は、その検査基板の欠陥分布ベクトルX1と特徴軸S1との共分散SX1S1、ないしは相関係数rで評価することができる。この例では、類似度を相関係数rで評価するものとする。
Claims (10)
- 複数の工程を含む製造ラインにおいて処理される基板上の欠陥を抽出して分類する欠陥分布分類方法であって、
上記製造ラインは、所定の工程終了後に、各基板上の欠陥の位置を表す検査情報を取得する検査工程を含んでおり、
上記検査工程を経たm枚(ただし、mは2以上の自然数である。)の基板について各基板の表面をそれぞれn個(ただし、nは2以上の自然数である。)の領域に区画して、上記検査情報に基づいてそれぞれ上記各領域に含まれた欠陥密度を表す(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報を取得し、
上記(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報から統計的に互いに独立したp個(ただし、pはm未満の自然数である。)の、欠陥分布の特徴を表す特徴ベクトルを抽出し、
上記p個の特徴ベクトルと上記各基板の欠陥密度情報との間の相関係数、内積または共分散からなる類似度をそれぞれ求めて、上記類似度に応じて上記p個の特徴ベクトル毎に上記各基板を分類する欠陥分布分類方法。 - 請求項1に記載の欠陥分布分類方法において、
上記欠陥密度情報は、上記m枚の基板についてのそれぞれn個の成分をもつ第1のベクトルの集合であり、
上記p個の特徴ベクトルはそれぞれn個の成分をもつ第2のベクトルであり、
上記類似度を、上記各基板についての第1のベクトルと上記p個の第2のベクトルとの相関係数、内積または共分散として求めることを特徴とする欠陥分布分類方法。 - 複数の工程を含む製造ラインにおいて処理される基板上の欠陥を抽出して分類する欠陥分布分類システムであって、
上記製造ラインは、所定の工程終了後に、各基板上の欠陥の位置を表す検査情報を取得する検査工程を含んでおり、
上記検査工程を経たm枚(ただし、mは2以上の自然数である。)の基板について各基板の表面をn個(ただし、nは2以上の自然数である。)の領域にそれぞれ区画して、上記検査情報に基づいてそれぞれ上記各領域に含まれた欠陥密度を表す(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報を取得する欠陥密度分布取得部と、
上記(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報から統計的に互いに独立したp個(ただし、pはm未満の自然数である。)の、欠陥分布の特徴を表す特徴ベクトルを抽出する特徴抽出部と、
上記p個の特徴ベクトルと上記各基板の欠陥密度情報との間の相関係数、内積または共分散からなる類似度をそれぞれ求めて、上記類似度に応じて上記p個の特徴ベクトル毎に上記各基板を分類する分類結果取得部とを備えた欠陥分布分類システム。 - 基板に対して複数の工程を、それぞれその工程を実行可能な1機以上の設備を用いて実行する製造ラインにおいて不良発生の原因となった設備を特定する不良原因設備特定方法であって、
上記製造ラインは、所定の工程終了後に、各基板上の欠陥の位置を表す検査情報を取得する検査工程を含んでおり、
上記検査工程を経たm枚(ただし、mは2以上の自然数である。)の基板について各基板の表面をn個(ただし、nは2以上の自然数である。)の領域にそれぞれ区画して、上記検査情報に基づいてそれぞれ上記各領域に含まれた欠陥密度を表す(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報を取得し、
上記(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報から統計的に互いに独立したp個(ただし、pはm未満の自然数である。)の、欠陥分布の特徴を表す特徴ベクトルを抽出し、
上記p個の特徴ベクトルと上記各基板の欠陥密度情報との間の相関係数、内積または共分散からなる類似度をそれぞれ求めて、上記類似度に応じて上記p個の特徴ベクトル毎に上記各基板を分類し、
この得られた分類結果と、上記各基板に対して上記各工程でそれぞれ処理を実行した設備を特定する製造履歴情報とに基づいて、上記製造ラインの複数の設備のうち不良発生の原因となった原因設備を抽出する原因設備特定方法。 - 基板に対して複数の工程を、それぞれその工程を実行可能な1機以上の設備を用いて実行する製造ラインにおいて不良発生の原因となった設備を特定する不良原因設備特定システムであって、
上記製造ラインは、所定の工程終了後に、各基板上の欠陥の位置を表す検査情報を取得する検査工程を含んでおり、
上記検査工程を経たm枚(ただし、mは2以上の自然数である。)の基板について各基板の表面をn個(ただし、nは2以上の自然数である。)の領域にそれぞれ区画して、上記検査情報に基づいてそれぞれ上記各領域に含まれた欠陥密度を表す(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報を取得する欠陥密度分布取得部と、
上記(m×n)個の成分をもつ欠陥密度情報から統計的に互いに独立したp個(ただし、pはm未満の自然数である。)の、欠陥分布の特徴を表す特徴ベクトルを抽出する特徴抽出部と、
上記p個の特徴ベクトルと上記各基板の欠陥密度情報との間の相関係数、内積または共分散からなる類似度をそれぞれ求めて、上記類似度に応じて上記p個の特徴ベクトル毎に上記各基板を分類する分類結果取得部と、
この得られた分類結果と、上記各基板に対して上記各工程でそれぞれ処理を実行した設備を特定する製造履歴情報とに基づいて、上記製造ラインの複数の設備のうち不良発生の原因となった原因設備を抽出する原因設備抽出部とを備えた原因設備特定システム。 - 請求項5に記載の原因設備特定システムにおいて、
上記原因設備によって処理された各基板上の欠陥分布を重ね合わせて第1の欠陥分布重ね合わせ画像を作成するとともに、上記原因設備が実行する工程と同じ工程で上記原因設備以外の設備によって処理された各基板上の欠陥分布を重ね合わせて第2の欠陥分布重ね合わせ画像を作成し、或る表示画面に上記第1の欠陥分布重ね合わせ画像と第2の欠陥分布重ね合わせ画像とを対比して表示する表示処理部を備えたことを特徴とする原因設備特定システム。 - 請求項1に記載の欠陥分布分類方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラム。
- 請求項4に記載の原因設備特定方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラム。
- 請求項7に記載のコンピュータプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 請求項8に記載のコンピュータプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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