JP2005092466A - 診断プロセス支援方法とそのためのプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 単位空間の学習(S401)、被解析データのマハラノビス距離計算(S402)の後、各変数の有効順位を決定する(S403)。2次元プロット処理(S410)においては、変数を有効順に2個採用し(S411)、しきい値を小から大に漸増して、誤判定率の分布を計算する(S412)。一軸にしきい値、他軸に変数(特徴量)の採用個数を取る2次元グラフの画面に誤判定率をプロットする(S413)。変数の採用個数を1個ずつ増加しながら(S415)しきい値を漸増して誤判定率の分布を計算し(S412)誤判定率をプロットする(S413)、一連の作業を繰り返すことで2次元図がプロットされる。
【選択図】 図4
Description
以下には、従来から行われている、マハラノビス距離を評価指針とする診断プロセスについて具体的に説明する。
以上のようなマハラノビス距離を用いた診断プロセスの処理においては、まず、正常集団の多変量間の相関をあらかじめ学習する「単位空間の学習」を行い、続いて、被検査集団が、その学習した相関パターンからどれだけ離れているかを計算する「被解析データのマハラノビス距離計算」を行う。このマハラノビス距離計算までの基本的な処理の詳細は次の通りである。
Xij=(xij−mi)/σi … 式(1)
この式(1)による標準化に続き、各Xijについて、図20に示される式に従って相関行列Rを計算する。これで、単位空間の学習が終了したことになる。
近年、マハラノビス距離を使った診断の応用手法として、MT(マハラノビス・田口)システムと呼ばれる手法が普及している。これは、上述のマハラノビス距離による多変量解析診断プロセスの発展応用手法として、多変量のうち、診断に有効な変数を取捨することにより、さらに診断精度を向上する方法である。
図1は、本発明を適用した第1の実施形態に係る診断プロセス支援処理の概要を示すフローチャートである。
G/(w1・C/α+w2・R/β) … 式(2)
et
=(1−積算良品)×歩留まり+積算不良品×(1−歩留まり) … 式(3)
=(1−0.8)×0.5+0.004×(1−0.5) … 式(3)’
歩留まり=全良品数/(全良品数+全不良品数) … 式(4)
図4は、本発明を適用した第2の実施形態に係る診断プロセス支援処理の概要を示すフローチャートである。
図6は、本発明を適用した第3の実施形態に係る診断プロセス支援処理の概要を示すフローチャートである。この図6に示すように、本実施形態の基本的な流れ(S601、S602、S610(S611〜S615))は、前述した第2の実施形態の対応部分(S401、S402、S410(S411〜S415))と同様である。
em=f2(e1,e2)=w1・e1+w2・e2 … 式(5)
w1+w2=1 … 式(6)
w1=100/(100+900)=0.1
w2=900/(100+900)=0.9 … 式(7)
図9は、本発明を適用した第4の実施形態に係る診断プロセス支援処理の概要を示すフローチャートである。この図9に示すように、本実施形態は、前述した第3の実施形態と同様に、変数の有効順位を決定する際に、第1種の過誤と第2種の過誤に重みを付けて目的関数を決定する(S903)ものであるが、それに加えて、第3の実施形態と異なる点は、2次元プロット処理において歩留まりの変化を考慮する点である(S910)。
第5の実施形態においては、判定精度を測る目的関数を編集するGUIを表示して、このGUI上で、ユーザにより指定された目的関数の条件を入力して編集し、編集した目的関数に従って計算された値をリアルタイムに表示する。
(^はべき乗を示す記号)
e1=第1種の過誤率、e2=第2種の過誤率、c=LSIチップ単価、Y=半導体製品歩留り、D1=半導体異物検査装置の検出欠陥数、k=SEM像取得費用
この式(8)はまた、歩留りYと欠陥密度Dのポアソン分布モデル(Y=exp(−DA)、Aはチップ面積)を基本とする式である。
図15は、本発明を適用した第6の実施形態に係る診断プロセス支援処理の概要を示すフローチャートである。この図15に示すように、本実施形態は、製造プロセス(S1501)、単位空間の学習(S1502)の後に、マハラノビス距離を用いた診断(S1503)の結果、不良品と判定された半製品のサンプル検査時ではなく、良品と判定された半製品が、別の診断もしくは検査(S1505)の結果、誤判定率もしくは不良率に有意な変化が生じたと判定された時点(S1506のYES)で正常空間(単位空間)の再学習を行う(S1507)ものである。
図16は、本発明を適用した第7の実施形態に係る診断プロセス支援処理の概要を示すフローチャートである。この図16に示すように、本実施形態は、第6の実施形態の変形例であり、マハラノビス距離を用いた診断(S1603)の結果、良品と判定された半製品が、全数検査を通過し(S1605)、測定値の統計分析が行われた(S1606)結果、分析結果に有意な変化が生じたと判定された時点(S1607のYES)で正常空間(単位空間)の再学習を行う(S1608)ものである。
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で他にも多種多様な形態が実施可能である。まず、各図に示した処理手順、データ構成、表示形式等は一例にすぎず、具体的な処理手順、データ構成、表示形式等は自由に選択可能である。
Claims (11)
- コンピュータを利用して、正常空間となる多変量間の相関を単位空間データとして学習し、被解析データと単位空間データとのマハラノビス距離を計算して、多変量のうち診断に有効な特徴量を取捨し、過誤を最小にするしきい値を決定する診断プロセスを支援する方法において、
前記多変量から、診断に有効な特徴量を取捨する際に、各特徴量を採用することで向上するSN比の値であるゲイン(G)を、各特徴量の計測コスト(C)と計測リスク(R)を示す各指標値のいずれか一方もしくは両方の値の関数に変換するゲイン修正ステップ、
を含むことを特徴とする診断プロセス支援方法。 - コンピュータを利用して、正常空間となる多変量間の相関を単位空間データとして学習し、被解析データと単位空間データとのマハラノビス距離を計算して、多変量のうち診断に有効な特徴量を取捨し、過誤を最小にするしきい値を決定する診断プロセスを支援する方法において、
一軸に前記しきい値、他軸に前記過誤に影響する別の値を取る2次元グラフの画面に、「良品を不良品と誤判定して排除してしまう過誤(第1種の過誤)」と「不良品を良品と誤判定して見逃してしまう過誤(第2種の過誤)」の関数として計算した誤判定率をプロットする2次元プロットステップ、
を含むことを特徴とする診断プロセス支援方法。 - 前記2次元プロットステップは、
予め決められた採用順に基づいて前記特徴量の採用個数を変化させるステップと、
前記特徴量の各採用個数毎に、前記しきい値を変化させて前記誤判定率を計算するステップと、
前記一軸に前記しきい値、前記他軸に前記特徴量の採用個数を取る前記2次元グラフの画面に、前記計算された誤判定率をプロットするステップ、
を含むことを特徴とする診断プロセス支援方法。 - 前記2次元プロットステップは、
前記誤判定率として、前記第1種と第2種の各過誤に応じた重みを付けた関数を計算するステップを含む、
ことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の診断プロセス支援方法。 - 前記2次元プロットステップは、
前記特徴量の採用個数が決定されている場合に、前記一軸に前記しきい値、前記他軸に前記第1種または第2種の過誤の前記重みを取る前記2次元グラフの画面に、前記誤判定率をプロットするステップを含む、
ことを特徴とする請求項4に記載の診断プロセス支援方法。 - 前記2次元プロットステップは、
前記特徴量の採用個数が決定されている場合に、前記一軸に前記しきい値、前記他軸に歩留まりを取る前記2次元グラフの画面に、前記誤判定率をプロットするステップを含む、
ことを特徴とする請求項2乃至請求項5のいずれかに記載の診断プロセス支援方法。 - ユーザの指定に応じて、判定精度を測る目的関数を編集する目的関数編集ステップと、
編集された目的関数に従って計算された値をリアルタイムに表示するリアルタイム表示ステップ、
を含むことを特徴とする請求項2乃至請求項6のいずれかに記載の診断プロセス支援方法。 - 不良品と判定された集団のサンプル検査時ではなく、良品と判定された後の検査もしくは診断の結果を示す所定の指標値に有意な変化が生じたと判定された時点で、新たに正常空間となる多変量間の相関を単位空間データとして再学習する再学習ステップ、
を含むことを特徴とする請求項2乃至請求項7のいずれかに記載の診断プロセス支援方法。 - 前記所定の指標値は、過誤率もしくは不良率を示す指標値、および検査項目の値の分布を示す指標値、の中から選択された指標値を含む、
ことを特徴とする請求項8に記載の診断プロセス支援方法。 - コンピュータを利用して、正常空間となる多変量間の相関を単位空間データとして学習し、被解析データと単位空間データとのマハラノビス距離を計算して、多変量のうち診断に有効な特徴量を取捨し、過誤を最小にするしきい値を決定する診断プロセスを支援するためのプログラムにおいて、
前記多変量から、診断に有効な特徴量を取捨する際に、各特徴量を採用することで向上するSN比の値であるゲイン(G)を、各特徴量の計測コスト(C)と計測リスク(R)を示す各指標値のいずれか一方もしくは両方の値の関数に変換するゲイン修正機能、
をコンピュータに実現させることを特徴とする診断プロセス支援プログラム。 - コンピュータを利用して、正常空間となる多変量間の相関を単位空間データとして学習し、被解析データと単位空間データとのマハラノビス距離を計算して、多変量のうち診断に有効な特徴量を取捨し、過誤を最小にするしきい値を決定する診断プロセスを支援するためのプログラムにおいて、
一軸に前記しきい値、他軸に前記過誤に影響する別の値を取る2次元グラフの画面に、「良品を不良品と誤判定して排除してしまう過誤(第1種の過誤)」と「不良品を良品と誤判定して見逃してしまう過誤(第2種の過誤)」の関数として計算した誤判定率をプロットする2次元プロット機能、
をコンピュータに実現させることを特徴とする診断プロセス支援プログラム。
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