JP4874580B2 - 異常原因特定方法および異常原因特定システム - Google Patents
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Description
図1に示すように、半導体装置の製造システムは、クリーンルーム10を有し、クリーンルーム10内には、製造装置11、13、インライン検査装置12とインラインクオリティコントロール(QC:Quality Control)測定装置14、さらに、製造装置11、13に接続されたイクイプメントエンジニアリングシステム(EES:Equipment Engineering System)15、16が設置されている。
半導体装置の製造システムは、異常原因特定システム1を有している。異常原因特定システム1は、中央演算装置CPUを有する。すなわち、異常原因特定システム1は、コンピュータであってもよく、コンピュータにプログラムに書かれた手順を実行させることにより、異常原因特定システム1を実現させてもよい。また、異常原因特定システム1は、ロット波形データベース5、直交表データベース6、最適波形データベース7、不良原因データベース8を有している。CPUは、波形化ユニット2、波形最適化ユニット3と装置差異分析ユニット9を有している。
図3に示すように、半導体装置の製造方法では、まず、ステップSt1で、生産管理サーバ17が、半導体装置の製造単位であるロット毎に、製造フローを生成し、ロットデータベース18に記憶させる。製造フローには半導体装置を製造するための複数の製造工程の順番と、製造工程毎の製造条件が設定されている。
図4に示すように、異常原因特定方法は、まず、ステップSt11で、データ取得部31が、製造単位であるロットの識別番号を、ロットデータベース18から取得する。
fi= nfi / nri (1)
ここで、iは各領域区分に付けた番号である。
A=A1+A2+・・・+AN ・・・(式3)
また各製造装置M1、M2、・・・、MNの不良ロット処理数を、F1、F2、・・・、FNとする。試行類似ロット集合Snmの要素数Fは、式4で表される。
F=F1+F2+・・・+FN ・・・(式4)
各製造装置M1、M2、・・・、MNの不良ロット処理数の期待値E1、E2、・・・、ENは、式5で表される。
Ei=F・Ai/A (i=1、2、・・・、N) ・・・(式5)
さらに、各製造装置M1、M2、・・・、MNのχ2値を、式6で求める。
χ2 i=(Fi-Ei)^2/Ei (i=1、2、・・・、N) ・・・(式6)
そして、製造工程qにおけるχ2乗値χ2 qを、式7で求める。
χ2 q=χ2 1+χ2 2+・・・+χ2 N ・・・(式7)
最後に、自由度Nのχ2分布関数をf(χ2, N)とすると、製造工程qのχ2検定値Pqは、式8で求める。
Pq=f(χ2 q, N-1) ・・・(式8)
製造工程qのχ2検定値Pqが0.05以下なら、製造工程qにおいて、95%の信頼度で有意差があると判定される。すなわち、製造工程qのχ2検定値Pqは、望小特性であると考えられる。製造フローの全製造工程qのχ2検定値Pqの中で、最小値を取るχ2検定値Pqを試行類似ロット集合Snmの装置差異分析検定値Pnmとした。装置差異分析検定値Pnmは、試行類似ロット集合Snmを構成するロットを製造した製造装置で異常の発生している度合いである異常度を表していると考えられる。図15に示すように、試行類似ロット集合Snmごとに、異常度Pnmが1つずつ求まる。そして、試行実験nにおいて最小の異常度Pnmを、その試行実験nにおける最小異常度Pnとした。最小異常度Pnの値を図15の右欄に記載した。最小異常度Pnは、試行実験ごとにおける最小のχ2検定値Pqである。
Ki=−10log(Pi 2) (i=1、2、・・・、12) ・・・(式9)
次に因子の水準の平均値を求める。例えば、波形データj(j=1、2、・・・、11)が割り当てられている因子jの水準k(k=1、2)の平均値Xjkは、直交表で因子jの水準がkになっている試行実験におけるSN比の平均を求めればよい。例えば、波形データ1が割り当てられている因子1の水準1の平均X11は、試行1から6までの6この試行実験で水準が水準1であるので式10で求められる。
X11=(K1+K2+K3+K4+K5+K6)/6 ・・・(式10)
そして、図16に示すように、因子j毎に、因子jの水準1と2の平均値Xj1とXj2を結ぶグラフを作成する。図16のグラフは要因効果図と呼ばれ、縦軸の平均値Xj1とXj2はSN比と呼ばれる。水準1が該当する波形データj(j=1、2、・・・、10)を採用する水準であるので、採用する水準1の平均値Xj1が採用しない水準2の平均値Xj2より大きいのであれば、すなわち、グラフが右下がりであれば、その波形データjを採用したほうが採用しないよりSN比が高くなる。SN比が高ければ高いほど、装置差異分析の検定値がより有意な値をとることを示す。なお、実施例1で、因子番号11には波形データを割り当てていないが、因子番号11の水準1と2でSN比に差が生じている。この差は実施例1の波形最適化における誤差と考えられる。従って、装置差異分析に用いると有効な波形データを選択するためには、波形データを割り当てていない因子11の水準1と2でSN比に差より大きい水準1と2のSN比の差を有し、水準1のSN比が水準2のSN比より大きい、右下がりの因子に割り当てられている採用水準を選択し、この採用水準に対応する波形データを選択すればよい。
最適類似波形ロット群を形成する。
2 波形化ユニット
3 波形最適化ユニット
5 ロット波形データベース
6 直交表データベース
7 最適波形データベース
8 不良原因データベース
9 装置差異分析ユニット
31 データ取得部
32 特徴量生成部
33 試行データセット生成部
34 直交表サイズ選択部
35 割り付け部
36 試行類似度算出部
37 試行集合生成部
38 工程検定値算出部
39 最適検定値設定部
41 ウエーハ表示領域
43 半径方向1/2r以内領域
44 半径方向1/2rから3/4r領域
45 半径方向3/4rから外でエッジ領域を除いた領域
46 半径方向エッジ領域
47 半径方向1/2rの境界線
48 半径方向3/4rの境界線
49 半径方向エッジ領域の境界線
51 角度方向0度から45度領域
52 角度方向45度から90度領域
53 角度方向90度から135度領域
54 角度方向135度から180度領域
55 角度方向180度から225度領域
56 角度方向225度から270度領域
57 角度方向270度から315度領域
58 角度方向315度から0度領域
61 角度方向0度境界線
62 角度方向45度境界線
63 角度方向90度境界線
64 角度方向135度境界線
65 角度方向180度境界線
66 角度方向225度境界線
67 角度方向270度境界線
68 角度方向315度境界線
71乃至81 不良表示領域
91 最適類似度算出部
92 最適集合生成部
93 最適検定値算出部
94 判定部
95 抽出部
96 出力部
97 最適データセット生成部
98 要因効果図生成部
99 有意データ選択部
Claims (5)
- 製造単位毎に製品の製造過程の複数の製造工程における複数種類の検査データを取得し、
前記検査データを前記種類毎に標準化した特徴量を生成し、
2水準直交表の2水準を前記種類の採用水準と不採用水準とし、前記2水準直交表の因子を前記種類として、前記2水準直交表の試行実験毎に前記採用水準である前記種類の前記検査データに対応する前記特徴量を選択した試行データセットを前記製造単位毎に生成し、
前記試行データセットに関して、前記製造単位間の類似の度合いを表す類似度を算出し、
前記製造単位の1つ毎に対して、前記類似度が閾値以上になる他の前記製造単位を抽出した試行集合を生成し、
前記製造工程で用いられた複数の製造装置の差異と前記試行集合を構成する前記製造単位の因果関係の度合いを表す工程検定値を、前記試行実験毎のそれぞれの前記製造工程に対して算出し、
前記試行実験毎に、前記試行集合の中から望目特性の程度が最も大きい前記工程検定値を試行実験検定値に設定し、
前記試行実験検定値の望目特性の最適化のための前記種類毎の前記採用水準と前記不採用水準の要因効果図に基づいて、前記採用水準が選択された前記種類に対応する前記特徴量からなる最適データセットを前記製造単位毎に生成し、
前記最適データセットに関して、前記製造単位間の類似の度合いを表す最適類似度を算出し、
前記製造単位の1つ毎に対して、前記最適類似度が閾値以上になる他の前記製造単位を抽出した最適集合を生成し、
前記製造工程で用いられた複数の前記製造装置の差異と前記最適集合を構成する前記製造単位の因果関係の度合いを表す最適検定値を、前記製造工程毎に算出し、
前記最適集合毎に、前記最適検定値に基づいて、前記製造装置の差異と前記最適集合の前記因果関係が有意であるか判定し、
前記最適集合毎に、有意であると判定された前記因果関係の対象である前記製造装置を異常原因として抽出することを特徴とする異常原因特定方法。 - 前記工程検定値の算出では、前記試行集合を構成するそれぞれの前記製造単位を製造した前記製造装置の、前記製造工程で用いられた複数の前記製造装置に対する偏りを統計検定し、
前記最適検定値の算出では、前記最適集合を構成するそれぞれの前記製造単位を製造した前記製造装置の、前記製造工程で用いられた複数の前記製造装置に対する偏りを統計検定することを特徴とする請求項1に記載の異常原因特定方法。 - 製造単位毎に製品の製造過程の複数の製造工程における複数種類の検査データを取得するデータ取得部と、
前記検査データを前記種類毎に標準化した特徴量を生成する特徴量生成部と、
2水準直交表の2水準を前記種類の採用水準と不採用水準とし、前記2水準直交表の因子を前記種類として、前記2水準直交表の試行実験毎に前記採用水準である前記種類の前記検査データに対応する前記特徴量を選択した試行データセットを前記製造単位毎に生成する試行データセット生成部と、
前記試行データセットに関して、前記製造単位間の類似の度合いを表す試行類似度を算出する試行類似度算出部と、
前記製造単位の1つ毎に対して、前記類似度が閾値以上になる他の前記製造単位を抽出した試行集合を生成する試行集合生成部と、
前記製造工程で用いられた複数の製造装置の差異と前記試行集合を構成する前記製造単位の因果関係の度合いを表す工程検定値を、前記試行実験毎のそれぞれの前記製造工程に対して算出する工程検定値算出部と、
前記試行実験毎に、前記試行集合の中から望目特性の程度が最も大きい前記工程検定値を最大検定値に設定する最大検定値設定部と、
前記最大検定値の望目特性の最適化のための前記種類毎の前記採用水準と前記不採用水準の要因効果図に基づいて、前記採用水準が選択された前記種類に対応する前記特徴量からなる最適データセットを前記製造単位毎に生成する最適データセット生成部と、
前記最適データセットに関して、前記製造単位間の類似の度合いを表す最適類似度を算出する最適類似度算出部と、
前記製造単位の1つ毎に対して、前記最適類似度が閾値以上になる他の前記製造単位を抽出した最適集合を生成する最適集合生成部と、
前記製造工程で用いられた複数の前記製造装置の差異と前記最適集合を構成する前記製造単位の因果関係の度合いを表す最適検定値を、前記製造工程毎に算出する最適検定値算出部と、
前記最適集合毎に、前記最適検定値に基づいて、前記製造装置の差異と前記最適集合の前記因果関係が有意であるか判定する判定部と、
前記最適集合毎に、有意であると判定された前記因果関係の対象である前記製造装置を異常原因として抽出する抽出部を有することを特徴とする異常原因特定システム。 - 前記工程検定値算出部では、前記試行集合を構成するそれぞれの前記製造単位を製造した前記製造装置の、前記製造工程で用いられた複数の前記製造装置に対する偏りを統計検定し、
前記最適検定値算出部では、前記最適集合を構成するそれぞれの前記製造単位を製造した前記製造装置の、前記製造工程で用いられた複数の前記製造装置に対する偏りを統計検定することを特徴とする請求項3に記載の異常原因特定システム。 - 前記製品として半導体装置を製造し、
前記請求項1に記載の異常原因特定方法を実施し、
前記最適集合毎に、前記異常原因となった前記製造装置が用いられた前記製造工程に関係する前記検査データを異常データとして抽出し、
前記異常データが修正されるように、前記異常原因として抽出された前記製造装置を調整することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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